JP2813748B2 - 特に真空技術のための弁またはフランジ用のシール装置 - Google Patents
特に真空技術のための弁またはフランジ用のシール装置Info
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- JP2813748B2 JP2813748B2 JP1264127A JP26412789A JP2813748B2 JP 2813748 B2 JP2813748 B2 JP 2813748B2 JP 1264127 A JP1264127 A JP 1264127A JP 26412789 A JP26412789 A JP 26412789A JP 2813748 B2 JP2813748 B2 JP 2813748B2
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- sealing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/021—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L23/00—Flanged joints
- F16L23/16—Flanged joints characterised by the sealing means
- F16L23/18—Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S277/00—Seal for a joint or juncture
- Y10S277/913—Seal for fluid pressure below atmospheric, e.g. vacuum
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フランジと皿状部材に設けられた互いに対
向する少なくとも二つのシール面を備え、皿ばねとして
形成され軸方向に摺動可能なシール要素が皿状部材に接
触可能である、特に真空技術のための弁またはフランジ
用のシール装置に関する。
向する少なくとも二つのシール面を備え、皿ばねとして
形成され軸方向に摺動可能なシール要素が皿状部材に接
触可能である、特に真空技術のための弁またはフランジ
用のシール装置に関する。
例えば米国特許第4 318 532号明細書または西独国特
許第31 16 401号明細書によって、冒頭に述べた種類の
シール装置を次のように形成することが知られている。
すなわち、対向する二つのケーシングフランジに、皿ば
ねを押しつけ可能な斜めのシール面を設け、押し棒を介
して軸方向に押圧するように形成することが知られてい
る。
許第31 16 401号明細書によって、冒頭に述べた種類の
シール装置を次のように形成することが知られている。
すなわち、対向する二つのケーシングフランジに、皿ば
ねを押しつけ可能な斜めのシール面を設け、押し棒を介
して軸方向に押圧するように形成することが知られてい
る。
この公知のシール装置は、皿ばねの外周部と傾斜した
ケーシングフランジとの間のシール座のところで、力が
分散するという欠点がある。この場合、力伝達角度は常
に例えば約12゜である。
ケーシングフランジとの間のシール座のところで、力が
分散するという欠点がある。この場合、力伝達角度は常
に例えば約12゜である。
約12゜のこの角度を下回ることはできない。なぜな
ら、この角度が例えば８゜になると、皿ばねがシール座
で挟まれ、もはや開放できないからである。
ら、この角度が例えば８゜になると、皿ばねがシール座
で挟まれ、もはや開放できないからである。
すなわち、シール座における不所望な力分散が欠点で
ある。この場合、軸方向の力と、それに対して垂直な方
向のシール力が常に発生する。
ある。この場合、軸方向の力と、それに対して垂直な方
向のシール力が常に発生する。
すなわち、シール力は前記の力三角形の力分散によっ
て定まり、軸方向の力によって生じる。
て定まり、軸方向の力によって生じる。
本発明の課題を、はるかに大きなシール力を軸方向に
対して垂直な方向に発生させるために、できるだけ小さ
な力を軸方向に加えるだけで済むように、冒頭に述べた
種類のシール装置を改良することである。
対して垂直な方向に発生させるために、できるだけ小さ
な力を軸方向に加えるだけで済むように、冒頭に述べた
種類のシール装置を改良することである。
この課題を解決するための、本発明によるシール装置
は、皿状部材の環状隆起部が弾性的な範囲内で半径方向
に変形可能であり、軸方向に位置調節可能な小径のリン
グと皿状部材の環状隆起部との間に、皿ばねが設けら
れ、弁またはフランジの開放状態で半径方向面に対する
皿ばねの角度が約12゜のときに、皿ばねの外径部が皿状
部材の環状隆起部の内径部に接触し、かつ皿ばねの内径
部が軸方向に位置調節可能なリングに接触するような間
隔がリングと環状隆起部の間に設けられ、この皿ばねが
錠止状態で、軸方向に位置調節可能なリングのシール力
を、シール線に向かって半径方向外向きに、皿状部材の
環状隆起部に伝達し、皿ばねが閉鎖状態で死点まで完全
に圧縮され、それによって軸方向から半径方向への理論
的に無限大の力の伝達を可能にすることを特徴とする。
は、皿状部材の環状隆起部が弾性的な範囲内で半径方向
に変形可能であり、軸方向に位置調節可能な小径のリン
グと皿状部材の環状隆起部との間に、皿ばねが設けら
れ、弁またはフランジの開放状態で半径方向面に対する
皿ばねの角度が約12゜のときに、皿ばねの外径部が皿状
部材の環状隆起部の内径部に接触し、かつ皿ばねの内径
部が軸方向に位置調節可能なリングに接触するような間
隔がリングと環状隆起部の間に設けられ、この皿ばねが
錠止状態で、軸方向に位置調節可能なリングのシール力
を、シール線に向かって半径方向外向きに、皿状部材の
環状隆起部に伝達し、皿ばねが閉鎖状態で死点まで完全
に圧縮され、それによって軸方向から半径方向への理論
的に無限大の力の伝達を可能にすることを特徴とする。
この技術思想によって、シール面が一つだけしか存在
しないという重要な効果が得られる。一方、西独国特許
出願公開第2 947 585号公報の場合には、二つの異なる
シール面が設けられている。
しないという重要な効果が得られる。一方、西独国特許
出願公開第2 947 585号公報の場合には、二つの異なる
シール面が設けられている。
本発明に従って、皿状部材を使用することによって、
前記西独国特許出願公報に示してあるような内側のシー
ル座はもはや必要でない。すなわち、皿状部材の外周部
にシール座を一つ設けるだけでよい。
前記西独国特許出願公報に示してあるような内側のシー
ル座はもはや必要でない。すなわち、皿状部材の外周部
にシール座を一つ設けるだけでよい。
他の重要な利点は、本発明による力分散が西独国特許
第2 947 585号明細書による力分散に比べて優れている
点にある。
第2 947 585号明細書による力分散に比べて優れている
点にある。
この場合、同様に、軸方向に移動可能なリングが示し
てあるが、このリングは円錐形のシール面を備え、この
シール面は傾斜した皿ばねと共に、互いにほぼ垂直なシ
ール面を生じる。
てあるが、このリングは円錐形のシール面を備え、この
シール面は傾斜した皿ばねと共に、互いにほぼ垂直なシ
ール面を生じる。
この場合、斜めに沿って案内されるこのシール面に
は、前述の不所望な力分散が生じる。これは、シール圧
力が比較的にきびしく制限されるという欠点があり、ま
た両シール座で皿ばねが転動し、早く摩耗することにな
る。
は、前述の不所望な力分散が生じる。これは、シール圧
力が比較的にきびしく制限されるという欠点があり、ま
た両シール座で皿ばねが転動し、早く摩耗することにな
る。
本発明では、皿ばねの傾斜運動が軸方向に行われる。
この場合、皿ばねが、閉鎖状態で互いに一直線上に並
ぶ、互いに対向する円筒状の接触面に接触し、それによ
って一種の、皿ばねのスナップ作用が達成される。
この場合、皿ばねが、閉鎖状態で互いに一直線上に並
ぶ、互いに対向する円筒状の接触面に接触し、それによ
って一種の、皿ばねのスナップ作用が達成される。
本発明の好ましい実施形では、フランジ継手におい
て、２個のフランジが互いに軸方向に移動可能であると
きに、フランジの間の中間室に、フランジの分離隙間を
架橋する皿状部材がシール要素として設けられ、この皿
状部材の外周部が分離隙間に入っていて、皿状部材の内
周部に、傾斜可能な皿ばねが接触し、この皿ばねの内周
部が軸方向に移動可能なリングの外周部に支持されてい
る。
て、２個のフランジが互いに軸方向に移動可能であると
きに、フランジの間の中間室に、フランジの分離隙間を
架橋する皿状部材がシール要素として設けられ、この皿
状部材の外周部が分離隙間に入っていて、皿状部材の内
周部に、傾斜可能な皿ばねが接触し、この皿ばねの内周
部が軸方向に移動可能なリングの外周部に支持されてい
る。
弁またはフランジのシール装置は原理的には同じよう
に機能する。
に機能する。
本発明は、特許請求の範囲の個々の請求項の対象だけ
でなく、個々の請求項の相互の組合せも対象とする。明
細書と図面に開示されているすべての記載と特徴、特に
図面に示した空間的な構造は、それが個別的にまたは組
合せにおいて、技術水準と比べて新規である場合には、
本発明によって重要なものであるとして請求する。
でなく、個々の請求項の相互の組合せも対象とする。明
細書と図面に開示されているすべての記載と特徴、特に
図面に示した空間的な構造は、それが個別的にまたは組
合せにおいて、技術水準と比べて新規である場合には、
本発明によって重要なものであるとして請求する。
以下、複数の実施例を示した図に基づいて本発明を詳
しく説明する。この場合、本発明の価値のある特徴と本
発明の効果が図面とその説明から明らかになる。
しく説明する。この場合、本発明の価値のある特徴と本
発明の効果が図面とその説明から明らかになる。
第1a図には、弁シールにおけるフランジ１が示してあ
る。このフランジは内側にある段差部に、シール座10を
備えている。
る。このフランジは内側にある段差部に、シール座10を
備えている。
閉鎖位置において、このシール座には、シール尖端部
（シール刃）24の中高状の外周部が接触する。このシー
ル尖端部は金属製の皿状部材２の環状隆起部18に形成さ
れている。
（シール刃）24の中高状の外周部が接触する。このシー
ル尖端部は金属製の皿状部材２の環状隆起部18に形成さ
れている。
皿状部材２の半径方向内側には、リング４が設けられ
ている。このリングは皿状部材２と共に、中央軸19に支
承されている。この場合、リング４は中央軸19上で記入
矢印方向に或る程度の半径方向遊び25を有する。
ている。このリングは皿状部材２と共に、中央軸19に支
承されている。この場合、リング４は中央軸19上で記入
矢印方向に或る程度の半径方向遊び25を有する。
環状隆起部18の内周とリング４の外周の間の中間室32
には、皿ばね３が設けられている。この皿ばねは付勢要
素として、リング４に軸方向（矢印６方向）に加えられ
る閉鎖力を、記入した矢印７と反対方向にシール座10に
伝達する。
には、皿ばね３が設けられている。この皿ばねは付勢要
素として、リング４に軸方向（矢印６方向）に加えられ
る閉鎖力を、記入した矢印７と反対方向にシール座10に
伝達する。
皿状部材２とフランジ１の間には、小さな隙間（約0.
05mm）がある。皿ばね３は材料を選択することによって
非常に動くことができるかまたはスリットを形成して
（内側から外側へおよびその逆に）、非常に動くことが
できるようになっている。リング４に力（矢印６参照）
が作用すると、先ず、皿状部材２の環状隆起部18がフラ
ンジに接触するまで、外側へ押圧される。リング４が更
に矢印６方向に押圧されると、リングは皿ばね３と皿状
部材２を介してフランジ１に対してシール力を加える。
その際、リングは内側へ圧縮されて直径が少しだけ小さ
くなる。皿ばね３と皿状部材２は圧縮され、フランジ１
は幾分外側へ逃げる。係合している個々の面の部分は幾
分（弾性的に）変形する（ヘルツ応力）。錠止状態（第
1a図）で、矢印７方向の力（すなわち、シール力に対し
て垂直方向の力）が零になるように、そして前記の変形
を行いかつシール力を付加的に加えるために、リング４
に力を加えるように、全体が計算されて設計されてい
る。シール力は半径方向内側へ均一に分配されて向き、
それによって外周では分配されて互いに相殺される。
05mm）がある。皿ばね３は材料を選択することによって
非常に動くことができるかまたはスリットを形成して
（内側から外側へおよびその逆に）、非常に動くことが
できるようになっている。リング４に力（矢印６参照）
が作用すると、先ず、皿状部材２の環状隆起部18がフラ
ンジに接触するまで、外側へ押圧される。リング４が更
に矢印６方向に押圧されると、リングは皿ばね３と皿状
部材２を介してフランジ１に対してシール力を加える。
その際、リングは内側へ圧縮されて直径が少しだけ小さ
くなる。皿ばね３と皿状部材２は圧縮され、フランジ１
は幾分外側へ逃げる。係合している個々の面の部分は幾
分（弾性的に）変形する（ヘルツ応力）。錠止状態（第
1a図）で、矢印７方向の力（すなわち、シール力に対し
て垂直方向の力）が零になるように、そして前記の変形
を行いかつシール力を付加的に加えるために、リング４
に力を加えるように、全体が計算されて設計されてい
る。シール力は半径方向内側へ均一に分配されて向き、
それによって外周では分配されて互いに相殺される。
上述の変形はきわめて小さい。従って、皿ばね３の角
度は非常に浅くに（約10゜）保持することができる。シ
ール唇部がまだ接触しない変形の開始範囲では、力の伝
達は良好ではない（矢印方向７のシール方向と比較した
垂直方向６の力の比は約1:6〜1:10）。
度は非常に浅くに（約10゜）保持することができる。シ
ール唇部がまだ接触しない変形の開始範囲では、力の伝
達は良好ではない（矢印方向７のシール方向と比較した
垂直方向６の力の比は約1:6〜1:10）。
すなわち、先ず最初は、初期隙間８を架橋しなければ
ならない。この隙間８を克服すると、力７は大きく増大
する。そのとき、力の伝達も同じように増大し、力の伝
達は1:15になり、良好である。シール力７が大きくなれ
ばなるほど、皿ばねは死点に近づく。最後に、矢印７方
向の力が最大になると、伝達比は理論的には1:無限大で
ある。そのとき、リング４の横断面とその材料が力を決
定する。矢印６方向に外れないようにするために、スト
ッパー９が皿状部材２に固定または取り外し可能に設け
られている。
ならない。この隙間８を克服すると、力７は大きく増大
する。そのとき、力の伝達も同じように増大し、力の伝
達は1:15になり、良好である。シール力７が大きくなれ
ばなるほど、皿ばねは死点に近づく。最後に、矢印７方
向の力が最大になると、伝達比は理論的には1:無限大で
ある。そのとき、リング４の横断面とその材料が力を決
定する。矢印６方向に外れないようにするために、スト
ッパー９が皿状部材２に固定または取り外し可能に設け
られている。
皿ばねは矢印６方向へのリング４の軸方向移動によっ
て、互いに対向する円筒状接触面21,22の間で食い込ん
で固定され、皿ばねに加えられる半径方向外向きの力
は、半径方向外側へ曲がる皿状部材２の環状隆起部18に
作用する。それによってフランジは同様に、矢印７と反
対方向に半径方向外向きに押圧され、そのシール尖端部
24は大きなシール力を加えながら、ケーシング固定のフ
ランジ１のシール座10に当たる。
て、互いに対向する円筒状接触面21,22の間で食い込ん
で固定され、皿ばねに加えられる半径方向外向きの力
は、半径方向外側へ曲がる皿状部材２の環状隆起部18に
作用する。それによってフランジは同様に、矢印７と反
対方向に半径方向外向きに押圧され、そのシール尖端部
24は大きなシール力を加えながら、ケーシング固定のフ
ランジ１のシール座10に当たる。
本発明では、軸方向において、従来の装置よりもはる
かに小さな閉鎖力しか必要としない。なぜなら、力伝達
が常に矢印７と反対方向に（それに対して曲がった力を
加えないで）達成されるからである。
かに小さな閉鎖力しか必要としない。なぜなら、力伝達
が常に矢印７と反対方向に（それに対して曲がった力を
加えないで）達成されるからである。
この場合、半径方向外向きに変形可能な環状隆起部18
を備えた皿状部材２を使用ることが重要である。このフ
ランジはその外周端部に、シール尖端部24を備えてい
る。
を備えた皿状部材２を使用ることが重要である。このフ
ランジはその外周端部に、シール尖端部24を備えてい
る。
半径方向外側に変形可能なシール環状隆起部18を備え
た皿状部材を使用することによって、シール座を１個し
か設ける必要がないという利点がある。従来の普通のシ
ールの場合には、シール座が二つ設けられている。
た皿状部材を使用することによって、シール座を１個し
か設ける必要がないという利点がある。従来の普通のシ
ールの場合には、シール座が二つ設けられている。
環状隆起部18のシール尖端部24はいろいろな形に形成
可能である。シール尖端部は中高状断面に形成可能であ
る。すなわち、或る半径を有していてもよい。しかし、
台形状の断面を有するような刃先として形成してもよ
い。
可能である。シール尖端部は中高状断面に形成可能であ
る。すなわち、或る半径を有していてもよい。しかし、
台形状の断面を有するような刃先として形成してもよ
い。
更に、皿ばね３の内側接触面21が環状溝23の範囲に設
けられることが重要である。この環状溝は軸方向におい
て、上側と下側が突起17によって画成される。それによ
って、皿ばね３がその傾斜運動時に（第1a図から第1b図
への移行参照）滑り落ちることがない。
けられることが重要である。この環状溝は軸方向におい
て、上側と下側が突起17によって画成される。それによ
って、皿ばね３がその傾斜運動時に（第1a図から第1b図
への移行参照）滑り落ちることがない。
更に、皿状部材４が或る程度の半径方向遊び25をもっ
て中心軸19に支承されることが大切である。それによっ
て、シール状態で皿ばね３の食い込みによる皿状部材の
変形を吸収することができる。
て中心軸19に支承されることが大切である。それによっ
て、シール状態で皿ばね３の食い込みによる皿状部材の
変形を吸収することができる。
本発明の場合には、矢印６方向の非常に小さな閉鎖力
によって、矢印７方向の大きなシール力を発生できるこ
とが重要である。この場合、皿ばね３は実質的に摩耗し
ない。
によって、矢印７方向の大きなシール力を発生できるこ
とが重要である。この場合、皿ばね３は実質的に摩耗し
ない。
この場合、すべての材料はその弾性範囲内で応力を受
けるべきである。塑性変形は望ましくない。
けるべきである。塑性変形は望ましくない。
第４図には、皿ばね３の第１の実施例の断面が示して
ある。この皿ばねは第1b図の負荷されていない状態で組
み込まれる。
ある。この皿ばねは第1b図の負荷されていない状態で組
み込まれる。
第５図は皿ばね3aの他の実施例を示している。この場
合、外周に、半径方向内向きのスリット26が設けられ、
このスリットに対して交互に、半径方向外向きのスリッ
ト27が内周に設けられている。このスリット26,27は外
周面または内周面から所定の間隔28を有する。
合、外周に、半径方向内向きのスリット26が設けられ、
このスリットに対して交互に、半径方向外向きのスリッ
ト27が内周に設けられている。このスリット26,27は外
周面または内周面から所定の間隔28を有する。
それによって、皿ばね3aは斜め方向に良好な弾力性が
あるが、半径方向においては非常に安定しており、わず
かしか圧縮できない。従って、リング４から半径方向外
向きに水平方向に発生する力は、同じ水平方向でシール
座10に直接伝達可能である。
あるが、半径方向においては非常に安定しており、わず
かしか圧縮できない。従って、リング４から半径方向外
向きに水平方向に発生する力は、同じ水平方向でシール
座10に直接伝達可能である。
それによって、力の直線的な伝達は常に、第1a図の水
平方向に行われ、従来不利であった力の分散を生じな
い。
平方向に行われ、従来不利であった力の分散を生じな
い。
第２図と第３図は変形実施例を示している。この場
合、第２図はシール状態のフランジ継手を示し、第３図
は開放状態のフランジ継手を示している。
合、第２図はシール状態のフランジ継手を示し、第３図
は開放状態のフランジ継手を示している。
第３図では、対称に形成された二つのフランジ11,12
が互いに向き合っていて、その間に中間室29を形成して
いる。この場合、半径方向外側にある、中間室29の内側
端面には、シールのシール面16が形成されている。
が互いに向き合っていて、その間に中間室29を形成して
いる。この場合、半径方向外側にある、中間室29の内側
端面には、シールのシール面16が形成されている。
中間室29内には、金属製の皿状部材13が設けられてい
る。皿状部材13の内周と皿ばね14の外周の間には円筒状
の接触面22が形成されている。皿ばねは前記と同じ方法
で組み込まれている。
る。皿状部材13の内周と皿ばね14の外周の間には円筒状
の接触面22が形成されている。皿ばねは前記と同じ方法
で組み込まれている。
同様に、反対側には円筒状の接触面21が設けられてい
る。
る。
この場合にも、第1a図と第1b図の実施例で示したよう
な環状溝23を設けることができる。
な環状溝23を設けることができる。
更に、前記実施例と同じ機能が得られる。すなわち、
ねじ20によるねじ継手を介して両フランジ11,12をねじ
止めする際に、軸方向に動かすことによって、先ずシー
ル面16が相互の方へ案内される。この場合、上側のシー
ル面ののそばにはテーパ部30が設けられている。このテ
ーパ部は、シール面を当接させる際に皿状部材13のそば
を案内され、このシール面を傷つけることがない。
ねじ20によるねじ継手を介して両フランジ11,12をねじ
止めする際に、軸方向に動かすことによって、先ずシー
ル面16が相互の方へ案内される。この場合、上側のシー
ル面ののそばにはテーパ部30が設けられている。このテ
ーパ部は、シール面を当接させる際に皿状部材13のそば
を案内され、このシール面を傷つけることがない。
それによって、斜めの運動が達成される。この場合、
両フランジ11,12をねじで締付けることによって同時
に、リング15を矢印６方向に向けて下方へ動かし、それ
によってシール状態で一直線上に並ぶ互いに対向する両
接触面21,22の間の中間室内で、皿ばね14が再び動かな
いように固定され、半径方向外向きのシール圧力を矢印
７方向に加える。このシール圧力は皿ばね14からシール
面16への必要なシール力を生じる。
両フランジ11,12をねじで締付けることによって同時
に、リング15を矢印６方向に向けて下方へ動かし、それ
によってシール状態で一直線上に並ぶ互いに対向する両
接触面21,22の間の中間室内で、皿ばね14が再び動かな
いように固定され、半径方向外向きのシール圧力を矢印
７方向に加える。このシール圧力は皿ばね14からシール
面16への必要なシール力を生じる。
リング15の上面と底面は両フランジ11,12に対して、
ある程度の間隔を有していなければならない。それによ
って、リングは半径方向の遊び25により、中間室29内で
動くことができる。
ある程度の間隔を有していなければならない。それによ
って、リングは半径方向の遊び25により、中間室29内で
動くことができる。
第1a図と第1b図の場合には更に、皿状部材２が図示し
ていない突起を介して軸方向に移動可能なリング４に係
合して連結されている。
ていない突起を介して軸方向に移動可能なリング４に係
合して連結されている。
第1a図において開放運動を達成するために、リング４
が矢印６方向と反対方向に下方へ動かされると、皿状部
材２の上記突起はリング４に係合する。それによって、
皿状部材２は同様に矢印６方向と反対方向にシール座10
から離れ、矢印６方向と反対方向に下方へ一緒に移動す
る。
が矢印６方向と反対方向に下方へ動かされると、皿状部
材２の上記突起はリング４に係合する。それによって、
皿状部材２は同様に矢印６方向と反対方向にシール座10
から離れ、矢印６方向と反対方向に下方へ一緒に移動す
る。
本発明の場合、力の分散は、例えば西独国特許第2 94
7 585号明細書の場合のように、シール要素を介してで
はなく、別個の部材、すなわち浮動するリング４を備え
た皿ばね3,3aを介して行われる。従って、本発明に従っ
て得られる力の分散を効果的にするために、別個の部材
によって行われる運動により、別個の部材は微細な掻き
傷や損傷を受けにくい。
7 585号明細書の場合のように、シール要素を介してで
はなく、別個の部材、すなわち浮動するリング４を備え
た皿ばね3,3aを介して行われる。従って、本発明に従っ
て得られる力の分散を効果的にするために、別個の部材
によって行われる運動により、別個の部材は微細な掻き
傷や損傷を受けにくい。
第1a図は本発明による弁シールの閉鎖状態を示す概略
図、第1b図は弁シールの開放状態を示す図、第２図は本
発明によるフランジシールの閉鎖状態を示す図、第３図
は第２図のフランジシールの開放状態を示す図、第４図
は第１の実施例の皿ばねの断面を示す図、第５図は皿ば
ねの第２実施例の平面図である。 １……フランジ、２……皿状部材、３……皿ばね、４…
…リング、５……間隔、６……方向、18……環状隆起部
図、第1b図は弁シールの開放状態を示す図、第２図は本
発明によるフランジシールの閉鎖状態を示す図、第３図
は第２図のフランジシールの開放状態を示す図、第４図
は第１の実施例の皿ばねの断面を示す図、第５図は皿ば
ねの第２実施例の平面図である。 １……フランジ、２……皿状部材、３……皿ばね、４…
…リング、５……間隔、６……方向、18……環状隆起部
Claims (6)
- 【請求項１】フランジと皿状部材に設けられた互いに対
向する少なくとも二つのシール面を備え、皿ばねとして
形成され軸方向に摺動可能なシール要素が皿状部材に接
触可能である、特に真空技術のための弁またはフランジ
用のシール装置において、皿状部材（２）の環状隆起部
（18）が弾性的な範囲内で半径方向に変形可能であり、
軸方向に位置調節可能な小径のリング（４）と皿状部材
（２）の環状隆起部（18）との間に、皿ばね（３）が設
けられ、弁またはフランジの開放状態で半径方向面に対
する皿ばねの角度が約12゜のときに、皿ばねの外径部が
皿状部材（２）の環状隆起部（18）の内径部に接触し、
かつ皿ばねの内径部が軸方向（６）に位置調節可能なリ
ング（４）に接触するような間隔（５）がリング（４）
と環状隆起部（18）の間に設けられ、この皿ばね（３）
が錠止状態で、軸方向に位置調節可能なリング（４）の
シール力を、シール線に向かって半径方向外向きに、皿
状部材（２）の環状隆起部（18）に伝達し、皿ばね
（３）が閉鎖状態で死点まで完全に圧縮され、それによ
って軸方向から半径方向への理論的に無限大の力の伝達
を可能にすることを特徴とするシール装置。 - 【請求項２】皿状部材（２）の半径方向に変形可能な隆
起部（18）の、シール座（10）に付設された外側の面
が、シール尖端部（24）として形成されていることを特
徴とする、請求項１記載のシール装置。 - 【請求項３】リング（４）が半径方向の遊び（25）をも
ってその中心軸（19）に支承されていることを特徴とす
る、請求項１または請求項２記載のシール装置。 - 【請求項４】皿ばね（3a）の外周に、半径方向内側へ向
いたスリット（26）が形成され、このスリットに対して
ずらして、半径方向外側へ向いたスリット（27）が内周
に設けられていることを特徴とする、請求項１から請求
項３までのいずれか一つに記載のシール装置。 - 【請求項５】皿状部材（２）が突起を介して、軸方向に
移動可能なリング（４）に係合していることを特徴とす
る、請求項１から請求項４までのいずれか一つに記載の
シール装置。 - 【請求項６】フランジ（11,12）が軸方向に相対的に移
動可能に２個設けられてフランジ継手を形成し、フラン
ジ（11,12）の間の中間室（29）内で、シール要素とし
ての皿状部材（13）の外周部が、分離隙間（31）を架橋
するようにフランジに接触し、傾くことができる皿ばね
（14）が皿状部材の内周部に接触し、皿ばねの内周部が
軸方向に移動可能なリング（15）の外周部に支持されて
いることを特徴とする、請求項１から請求項４までのい
ずれか一つに記載のシール装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3834913A DE3834913A1 (de) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | Dichtung fuer ventile oder flansche, insbesondere fuer die vakuumtechnik |
| DE3834913.2 | 1988-10-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02199386A JPH02199386A (ja) | 1990-08-07 |
| JP2813748B2 true JP2813748B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=6365058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1264127A Expired - Fee Related JP2813748B2 (ja) | 1988-10-13 | 1989-10-12 | 特に真空技術のための弁またはフランジ用のシール装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP0364407B1 (ja) |
| JP (1) | JP2813748B2 (ja) |
| AT (1) | ATE123123T1 (ja) |
| DE (3) | DE8817060U1 (ja) |
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| CH685256A5 (de) * | 1991-07-09 | 1995-05-15 | Cetec Ag | Dichtungsanordnung für Ventile, Schieber oder Klappen. |
| DE19902063B4 (de) * | 1999-01-20 | 2007-10-18 | Wieland-Werke Ag | Vorrichtung zur Evakuierung einer Füllkammer für eine Druckgießmaschine |
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| DE102008003725A1 (de) * | 2008-01-09 | 2009-07-16 | Vse Vacuum Technology | Vakuum-Ventil mit Dichtring |
| CN112524364A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-03-19 | 西安航天动力研究所 | 一种平面法兰用弹簧蓄能密封结构及配合安装方法 |
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| DE7523682U (de) * | 1975-12-18 | Stoehr F | Schließventil | |
| DE458579C (de) * | 1925-01-31 | 1928-04-14 | Gottfried Buchert | Heizvorrichtung fuer Anlagen zum Heissverzinken |
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| US3098666A (en) * | 1959-07-06 | 1963-07-23 | Gen Electric | Seal |
| US3108780A (en) * | 1960-04-18 | 1963-10-29 | Cons Vacuum Corp | Valve for ultra-high vacuum apparatus |
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| DE3628462A1 (de) * | 1986-08-21 | 1988-03-03 | Kloeckner Humboldt Deutz Ag | Zylinderkopfdichtung fuer brennkraftmaschinen |
-
1988
- 1988-10-13 DE DE8817060U patent/DE8817060U1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-13 DE DE3834913A patent/DE3834913A1/de not_active Withdrawn
-
1989
- 1989-10-12 DE DE58909251T patent/DE58909251D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-12 EP EP89810779A patent/EP0364407B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-12 AT AT89810779T patent/ATE123123T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-10-12 JP JP1264127A patent/JP2813748B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-12 US US07/420,476 patent/US4988075A/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
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| DE8817060U1 (de) | 1992-04-23 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |