JP2813495B2 - Organic EL element sealing method - Google Patents

Organic EL element sealing method

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JP2813495B2
JP2813495B2 JP3187906A JP18790691A JP2813495B2 JP 2813495 B2 JP2813495 B2 JP 2813495B2 JP 3187906 A JP3187906 A JP 3187906A JP 18790691 A JP18790691 A JP 18790691A JP 2813495 B2 JP2813495 B2 JP 2813495B2
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glass
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、エレクトロルミネッセ
ンス素子(EL素子)の封止方法に係り、特に有機EL
素子の封止方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for sealing an electroluminescent device (EL device), and more particularly to a method for sealing an organic EL device.
The present invention relates to a method for sealing an element.

【0002】[0002]

【背景技術】EL素子には無機EL素子と有機EL素子
とがあり、いずれのEL素子も自己発光性であるために
視認性が高く、また完全固体素子であるために耐衝撃性
に優れるとともに取扱が容易である。このため、グラフ
ィックディスプレイの画素やテレビ画像表示装置の画
素、あるいは面光源等としての研究開発および実用化が
進められている。有機EL素子は、アントラセン等の蛍
光性の有機固体からなる発光層とトリフェニルアミン誘
導体等からなる正孔注入層、または発光層とペリレン誘
導体等からなる電子注入層、あるいは正孔注入層と発光
層と電子注入層とを、2つの電極(発光面側の電極は透
明電極)間に介在させた積層構造体を、一般に基板上に
形成してなる。
BACKGROUND ART EL elements include an inorganic EL element and an organic EL element. Both EL elements are self-luminous and have high visibility, and since they are completely solid elements, they have excellent impact resistance. Easy to handle. For this reason, research and development and practical application as pixels for graphic displays, pixels for television image display devices, and surface light sources are being promoted. The organic EL element is composed of a light emitting layer made of a fluorescent organic solid such as anthracene and a hole injection layer made of a triphenylamine derivative, or an electron injection layer made of a light emitting layer and a perylene derivative, or a hole injection layer made of a perylene derivative. A laminated structure in which a layer and an electron injection layer are interposed between two electrodes (the electrode on the light emitting surface side is a transparent electrode) is generally formed on a substrate.

【0003】このような有機EL素子は、発光層に注入
された電子と正孔とが再結合するときに生じる発光を利
用するものである。このため有機EL素子は、発光層の
厚さを薄くすることにより例えば4.5Vという低電圧
での駆動が可能で応答も速いといった利点や、輝度が注
入電流に比例するために高輝度のEL素子を得ることが
できるといった利点等を有している。また、発光層とす
る蛍光性の有機固体の種類を変えることにより、青、
緑、黄、赤の可視域すべての色で発光が得られている。
有機EL素子は、このような利点、特に低電圧での駆動
が可能であるという利点を有していることから、現在、
実用化のための研究が進められている。
[0003] Such an organic EL element utilizes light emission generated when electrons and holes injected into the light emitting layer recombine. For this reason, the organic EL element has an advantage that it can be driven at a low voltage of, for example, 4.5 V and has a quick response by reducing the thickness of the light emitting layer, and has a high luminance EL because the luminance is proportional to the injection current. This has the advantage that an element can be obtained. By changing the type of fluorescent organic solid used as the light emitting layer, blue,
Light emission is obtained in all colors of green, yellow and red.
Organic EL elements have such advantages, in particular, that they can be driven at a low voltage.
Research for practical use is underway.

【0004】ところで、有機EL素子の発光層の材料で
ある蛍光性の有機固体は、水分、酸素等に弱い。また、
発光層上に直接あるいは正孔注入層または電子注入層を
介して設けられる電極(以下、対向電極ということがあ
る)は、酸化により特性が劣化し易い。このため、従来
の有機EL素子を大気中で駆動させると発光特性が急激
に劣化する。したがって、実用的な有機EL素子や有機
ELデバイスを得るためには、発光層に水分や酸素等が
侵入しないように、また対向電極が酸化されないよう
に、素子を封止して長寿命化を図る必要がある。
[0004] Incidentally, a fluorescent organic solid which is a material of a light emitting layer of an organic EL element is vulnerable to moisture, oxygen and the like. Also,
An electrode provided directly on a light emitting layer or through a hole injection layer or an electron injection layer (hereinafter, sometimes referred to as a counter electrode) tends to deteriorate in characteristics due to oxidation. For this reason, when the conventional organic EL element is driven in the atmosphere, the light emission characteristics are rapidly deteriorated. Therefore, in order to obtain a practical organic EL element or an organic EL device, the element is sealed so that moisture and oxygen do not enter the light emitting layer and the counter electrode is not oxidized to extend the life. It is necessary to plan.

【0005】しかしながら、有機EL素子については、
有効な封止方法が未だ開発されていない。例えば、無機
EL素子を封止する方法、すなわち、背面電極(対向電
極)の外側に背面ガラス板を設け、背面電極と背面ガラ
ス板との間にシリコーンオイルを封入する方法を有機E
L素子に適用した場合には、対向電極を介して、あるい
は対向電極と正孔注入層または電子注入層とを介してシ
リコーオイルが発光層に侵入し、このシリコーンオイル
により発光層が変性してしまうために、有機EL素子の
発光特性が大幅に劣化するかもしくは全く発光しなくな
る。また、機械的保護等のために設けられている樹脂コ
ーティング層を有機EL素子の封止に応用した場合に
も、樹脂コーティング液(一般に、溶媒はテトラヒドロ
フラン、クロロホルム、ジクロロメタン等のハロゲン系
溶媒か、ベンゼン、キシレン、トルエン等の芳香族炭化
水素系溶媒)が上記のようにして発光層を溶かしてしま
うために、有機EL素子の発光特性が大幅に劣化するか
もしくは全く発光しない。
However, regarding the organic EL device,
An effective sealing method has not yet been developed. For example, a method of sealing an inorganic EL element, that is, a method of providing a back glass plate outside a back electrode (counter electrode) and sealing silicone oil between the back electrode and the back glass plate is referred to as an organic E method.
When applied to the L element, the silicone oil penetrates the light emitting layer through the counter electrode or through the counter electrode and the hole injection layer or the electron injection layer, and the silicone oil modifies the light emitting layer. As a result, the light emitting characteristics of the organic EL element are significantly deteriorated or no light is emitted. Further, when a resin coating layer provided for mechanical protection or the like is applied to encapsulation of an organic EL element, a resin coating solution (generally, a solvent is a halogen-based solvent such as tetrahydrofuran, chloroform, dichloromethane, or the like) Since the luminescent layer is dissolved by the aromatic hydrocarbon solvent such as benzene, xylene, and toluene as described above, the luminescent characteristics of the organic EL element are significantly deteriorated or do not emit light at all.

【0006】有機EL素子開発のこのような動向の中に
あって、本発明者らは、前述の積層構造体を特定のフッ
素系高分子薄膜で被覆することにより長寿命の有機EL
デバイスを得ることに成功し、この有機ELデバイスに
ついては既に特許出願を行った(特願平2−33645
0号、特願平2−409017号、特願平3−1298
52号。以下、これらを先願の有機ELデバイスと総称
することがある。)。
In this trend of the development of organic EL devices, the present inventors have proposed a long-life organic EL device by coating the above-mentioned laminated structure with a specific fluorine-based polymer thin film.
A device was successfully obtained, and a patent application was filed for this organic EL device (Japanese Patent Application No. 2-33645).
No. 0, Japanese Patent Application No. 2-409017, Japanese Patent Application No. 3-1298
No. 52. Hereinafter, these may be collectively referred to as the organic EL device of the prior application. ).

【0007】[0007]

【発明の目的】本発明の目的は、先願の有機ELデバイ
スよりも長寿命の有機ELデバイスを製造することが可
能な、有機EL素子の封止方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of sealing an organic EL device, which can produce an organic EL device having a longer life than the organic EL device of the prior application.

【0008】上記目的を達成する本発明の方法は、互い
に対向する2つの電極間に蛍光性の有機固体からなる発
光層が少なくとも介在してなる積層構造体を基板上に
する有機EL素子における前記の積層構造体の外表面
に、前記の発光層の形成時から続く一連の真空環境下で
電気絶縁性高分子化合物からなる保護層を設けた後、こ
の保護層の外側に、電気絶縁性ガラス,電気絶縁性高分
子化合物および電気絶縁性気密流体からなる群より選択
される1つからなるシールド層を設けることを特徴とす
るものである。
According to the method of the present invention for achieving the above object, a laminated structure having at least a light emitting layer made of a fluorescent organic solid interposed between two electrodes facing each other is provided on a substrate. the outer surface of the laminated structure of the organic EL device, after providing the protective layer comprising the aforementioned <br/> electrically insulating polymer compound under a set of vacuum environment followed by the formation of the light-emitting layer, the protective A shield layer made of one selected from the group consisting of an electrically insulating glass, an electrically insulating polymer compound, and an electrically insulating airtight fluid is provided outside the layer.

【0009】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
方法は、上述のように、互いに対向する2つの電極間に
蛍光性の有機固体からなる発光層が少なくとも介在して
なる積層構造体の外表面に保護層を設け、この保護層の
外側にシールド層を設けることにより、有機EL素子を
封止するものである。ここで、上記積層構造体の構成と
しては下記〜 電極(陰極)/発光層/正孔注入層/電極(陽極) 電極(陽極)/発光層/電子注入層/電極(陰極) 電極(陽極)/正孔注入層/発光層/電子注入層/電
極(陰極) 電極(陽極または陰極)/発光層/電極(陰極または
陽極) があるが、本発明の方法はいずれの構成の積層構造体を
有する有機EL素子に対しても適用することができる。
また、これらの積層構造体の形状、大きさ、材質、製造
方法等は有機EL素子の用途等に応じて適宜選択される
ものであるが、本発明の方法では積層構造体の形状、大
きさ、材質、製造方法等は問わない。ただし、長寿命の
有機EL素子を得るうえからは、積層構造体の形成過程
での発光層の特性劣化をできるだけ抑止することが望ま
しく、そのためには、発光層の形成から対向電極の形成
までを一連の真空環境下で行うことが特に好ましい。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. According to the method of the present invention, as described above, a protective layer is provided on an outer surface of a laminated structure in which at least a light-emitting layer made of a fluorescent organic solid is interposed between two electrodes facing each other. By providing a shield layer on the outside, the organic EL element is sealed. Here, the configuration of the laminated structure is as follows: electrode (cathode) / light-emitting layer / hole injection layer / electrode (anode) electrode (anode) / light-emitting layer / electron injection layer / electrode (cathode) electrode (anode) / Hole injection layer / light-emitting layer / electron injection layer / electrode (cathode) electrode (anode or cathode) / light-emitting layer / electrode (cathode or anode). The present invention can also be applied to an organic EL element having the same.
The shape, size, material, manufacturing method, and the like of these laminated structures are appropriately selected according to the use of the organic EL device, and the like. The material, the manufacturing method, and the like are not limited. However, in order to obtain a long-life organic EL element, it is desirable to suppress the deterioration of the characteristics of the light emitting layer during the formation process of the laminated structure as much as possible. It is particularly preferable to perform the treatment under a series of vacuum environments.

【0010】本発明の方法では、まず、上述した積層構
造体の外表面に電気絶縁性高分子化合物膜からなる保護
層を設ける。保護層は、少なくとも対向電極の主表面上
に設けられていればよいが、積層構造体の外表面全面に
設けられていることが特に好ましい。また、構造上、対
向電極が発光層、正孔注入層または電子注入層のいずれ
かの層の主表面の一部に設けられている有機EL素子で
は、少なくとも、対向電極の下地となった層の主表面の
うちで対向電極が設けられていない部分上と、対向電極
の主表面上とに保護層を設けることが好ましい。
In the method of the present invention, first, a protective layer made of an electrically insulating polymer compound film is provided on the outer surface of the above-mentioned laminated structure. The protective layer may be provided at least on the main surface of the counter electrode, but is particularly preferably provided on the entire outer surface of the multilayer structure. Further, in an organic EL element in which a counter electrode is provided on a part of the main surface of any of a light emitting layer, a hole injection layer, and an electron injection layer, at least a layer serving as a base of the counter electrode is provided. It is preferable to provide a protective layer on a portion of the main surface of the substrate where no counter electrode is provided and on a main surface of the counter electrode.

【0011】保護層の材料である電気絶縁性高分子化合
物は、物理蒸着法(以下、PVD法ということがある)
により成膜可能なもの、化学気相蒸着法(以下、CVD
法ということがある)により成膜可能なもの、またはパ
ーフルオロアルコール、パーフルオロエーテル、パーフ
ルオロアミン等のフッ素系溶媒に可溶のものであればよ
いが、透湿度の小さなものが特に好ましい。各電気絶縁
性高分子化合物の具体例としては、それぞれ以下のもの
が挙げられる。
The electrically insulating polymer compound as a material of the protective layer is formed by a physical vapor deposition method (hereinafter, sometimes referred to as a PVD method).
Can be formed by chemical vapor deposition (hereinafter referred to as CVD)
Any method can be used as long as it can be formed into a film by the method described above or is soluble in a fluorinated solvent such as perfluoroalcohol, perfluoroether, or perfluoroamine. Specific examples of each electrically insulating polymer compound include the following.

【0012】PVD法により成膜可能な電気絶縁性高
分子化合物 ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリメ
チルメタクリレート、ポリイミド(2種類のモノマーを
基板上に堆積させて重合させたもの。テクニカルジャー
ナル,1988,30,22参照。)、ポリユリア(2種類のモノ
マーを基板上に堆積させて重合させたもの。テクニカル
ジャーナル,1988,30,22参照。)、特開昭63−189
64号公報に開示されているフッ素系高分子化合物、特
開昭63−22206号公報に開示されているフッ素系
高分子化合物、特開昭63−238115号公報に開示
されているフッ素系高分子化合物、ポリテトラフルオロ
エチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリジク
ロロジフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン
とジクロロジフルオロエチレンとの共重合体、環状構造
を有する含フッ素共重合体(特願平3−129852号
公報参照)等。
Electrically insulating polymer compound capable of forming a film by the PVD method: polyethylene, polypropylene, polystyrene, polymethyl methacrylate, polyimide (a product obtained by depositing and polymerizing two kinds of monomers on a substrate. Technical Journal, 1988, 30) , 22), polyurea (polymerized by depositing and polymerizing two types of monomers on a substrate; see Technical Journal, 1988, 30, 22), and JP-A-63-189.
No. 64, a fluorine-containing polymer disclosed in JP-A-63-22206, and a fluorine-containing polymer disclosed in JP-A-63-238115 Compound, polytetrafluoroethylene, polychlorotrifluoroethylene, polydichlorodifluoroethylene, copolymer of chlorotrifluoroethylene and dichlorodifluoroethylene, fluorine-containing copolymer having a cyclic structure (Japanese Patent Application No. 3-129852) See).

【0013】CVD法[プラズマ重合法(プラズマC
VD)]により成膜可能な電気絶縁性高分子化合物 ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリビニ
ルトリメチルシラン、ポリメチルトリメトキシシラン、
ポリシロキサン等。
[0013] CVD method [plasma polymerization method (plasma C
VD)], an electrically insulating polymer compound capable of forming a film by using polyethylene, polytetrafluoroethylene, polyvinyltrimethylsilane, polymethyltrimethoxysilane,
Polysiloxane and the like.

【0014】パーフルオロアルコール、パーフルオロ
エーテル、パーフルオロアミン等のフッ素系溶媒に可溶
の電気絶縁性高分子化合物 特開昭63−18964号公報に開示されているフッ素
系高分子化合物、特開昭63−22206号公報に開示
されているフッ素系高分子化合物、特開昭63−238
115号公報に開示されているフッ素系高分子化合物、
ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリジクロロジフル
オロエチレン、クロロトリフルオロエチレンとジクロロ
ジフルオロエチレンとの共重合体、環状構造を有する含
フッ素共重合体(特願平3−129852号公報参照)
等のフッ素系高分子化合物。
An electrically insulating polymer compound soluble in a fluorine-based solvent such as perfluoroalcohol, perfluoroether, perfluoroamine, etc. A fluorine-based polymer compound disclosed in JP-A-63-18964, Fluoropolymer compounds disclosed in JP-A-63-22206, JP-A-63-238
No. 115 fluorinated polymer compound,
Polychlorotrifluoroethylene, polydichlorodifluoroethylene, a copolymer of chlorotrifluoroethylene and dichlorodifluoroethylene, a fluorinated copolymer having a cyclic structure (see Japanese Patent Application No. 3-129852)
And other fluoropolymer compounds.

【0015】保護層は、用いる高分子化合物に応じて、
それぞれPVD法(上記の高分子化合物)、CVD法
(上記の高分子化合物)、キャスト法またはスピンコ
ート法(上記の高分子化合物)により設けることがで
きるが、後述するように、当該保護層は発光層の形成時
から続く一連の真空環境下で設けることが特に好ましい
ので、PVD法またはCVD法によって設けることが望
ましい。保護層の厚さは、用いる材料や形成方法にもよ
るが、10nm〜100μmであることが好ましい。ま
た、保護層を設けた側を発光面とする場合には、有機E
L素子からのEL光に対する透光性に優れた保護層が得
られるように材料および形成方法を選択する。各方法に
よる保護層の形成は、例えば以下のようにして行うこと
ができる。
[0015] The protective layer depends on the polymer compound used.
Each PVD method (the above polymer compound), CVD method (the above polymer compound), can be provided by a casting method or spin coating method (the above polymer compound), as described later, the protective layer When forming the light emitting layer
It is particularly preferable to provide under a series of vacuum environments following
Therefore, it is desirable to provide by the PVD method or the CVD method.
Good. The thickness of the protective layer is preferably from 10 nm to 100 μm, although it depends on the material used and the forming method. When the side on which the protective layer is provided is used as the light emitting surface, the organic E
A material and a formation method are selected so that a protective layer having excellent transparency to EL light from the L element is obtained. The formation of the protective layer by each method can be performed, for example, as follows.

【0016】・PVD法 PVD法としては、真空蒸着法(蒸着重合法を含む)、
スパッタ法等を適用することができるが、特に、真空蒸
着法またはスパッタ法を適用することが好ましい。なお
真空蒸着法およびスパッタ法は、例えば以下のように細
分することができるが、いずれの手法であっても適用す
ることができる。 a.真空蒸着法 抵抗加熱法、電子ビーム加熱法、高周波誘導加熱法、反
応性蒸着法、分子線エピタキシー法、ホットウォール蒸
着法、イオンプレーティング法、クラスターイオンビー
ム法、蒸着重合法等 b.スパッタ法 2極スパッタ法、2極マグネトロンスパッタ法、3極お
よび4極プラズマスパッタ法、反応性スパッタ法、イオ
ンビームスパッタ法等 成膜条件は原料および適用するPVD法の種類により異
なるが、例えば真空蒸着法(抵抗加熱法、電子ビーム加
熱法、高周波誘導加熱法)の場合は、蒸着前真空度は概
ね1×10-2Pa以下好ましくは6×10-3Pa以下、
蒸着源の加熱温度は概ね700℃以下好ましくは600
℃以下、基板温度は概ね200℃以下好ましくは100
℃以下であり、蒸着速度を50nm/秒以下好ましくは
3nm/秒以下として成膜することが望ましい。
PVD method PVD methods include a vacuum deposition method (including a vapor deposition polymerization method),
Although a sputtering method or the like can be applied, it is particularly preferable to apply a vacuum evaporation method or a sputtering method. Note that the vacuum deposition method and the sputtering method can be subdivided, for example, as follows, and any of the methods can be applied. a. Vacuum evaporation method Resistance heating method, electron beam heating method, high frequency induction heating method, reactive evaporation method, molecular beam epitaxy method, hot wall evaporation method, ion plating method, cluster ion beam method, evaporation polymerization method, etc. b. Sputtering method Two-pole sputtering method, two-pole magnetron sputtering method, three-pole and four-pole plasma sputtering method, reactive sputtering method, ion beam sputtering method, etc. Deposition conditions vary depending on the raw material and the type of PVD method to be applied. In the case of the vapor deposition method (resistance heating method, electron beam heating method, high frequency induction heating method), the degree of vacuum before vapor deposition is generally 1 × 10 −2 Pa or less, preferably 6 × 10 −3 Pa or less,
The heating temperature of the deposition source is generally 700 ° C. or less, preferably 600 ° C.
℃ or less, the substrate temperature is generally 200 ℃ or less, preferably 100
° C or lower and the deposition rate is preferably 50 nm / sec or less, more preferably 3 nm / sec or less.

【0017】・CVD法 エチレン、プロピレン等の気体のモノマーをプラズマに
より重合するプラズマ重合が好ましい。一般の熱分解C
VDは基板温度が高温になるため不適である。
CVD method Plasma polymerization in which gaseous monomers such as ethylene and propylene are polymerized by plasma is preferred. General pyrolysis C
VD is not suitable because the substrate temperature becomes high.

【0018】・キャスト法 原料を、パーフルオロアルコール、パーフルオロエーテ
ルまたはパーフルオロアミン等のフッ素系溶媒に溶解さ
せ、この溶液を積層構造体上に展開した後、8〜16時
間風乾させることにより保護層を得る。乾燥時間は8時
間以上であれば何時間でもよいが、16時間を超えて乾
燥させても乾燥の程度に大きな差はでないので不適であ
る。乾燥時間は通常、12時間程度が適当である。溶液
中の原料の濃度は目的とする保護層の厚さに応じて適宜
選択される。
Casting method Raw materials are dissolved in a fluorinated solvent such as perfluoroalcohol, perfluoroether or perfluoroamine, and this solution is spread on a laminated structure, and then air-dried for 8 to 16 hours for protection. Get the layers. The drying time may be any time as long as it is 8 hours or more, but drying over 16 hours is not suitable because there is no great difference in the degree of drying. Usually, a drying time of about 12 hours is appropriate. The concentration of the raw material in the solution is appropriately selected according to the intended thickness of the protective layer.

【0019】・スピンコート法 上記キャスト法の場合と同様にして得た溶液を、100
〜20000rpm好ましくは200〜8000rpm
で回転させている積層構造体上に適当量滴下し、この積
層構造体をそのままさらに5〜60秒好ましくは10〜
30秒回転させた後、キャスト法の場合と同様にして乾
燥させることにより保護層を得る。このときの溶液の滴
下量は、積層構造体あるいは封止しようとする有機EL
素子の大きさにより異なるが、通常のスライドガラスの
大きさ(25×75×1.1mm)の積層構造体または
有機EL素子で0.6〜6ml好ましくは0.5〜3m
lである。溶液中の原料の濃度はキャスト法の場合と同
様に、目的とする保護層の厚さに応じて適宜選択される
が、その範囲はキャスト法の場合より狭く、膜厚の制御
や膜の均一性等の点から、1〜40g/100ml好ま
しくは4〜20g/100mlである。
Spin coating method The solution obtained in the same manner as in the above casting method was
~ 20,000 rpm, preferably 200 ~ 8000 rpm
An appropriate amount is dropped on the laminated structure rotating in the above, and the laminated structure is further kept as it is for 5 to 60 seconds, preferably 10 to
After rotating for 30 seconds, the protective layer is obtained by drying in the same manner as in the case of the casting method. At this time, the amount of the solution dropped depends on the laminated structure or the organic EL to be sealed.
Although it depends on the size of the element, 0.6 to 6 ml, preferably 0.5 to 3 m for a laminated structure or an organic EL element having a size of a normal slide glass (25 × 75 × 1.1 mm).
l. The concentration of the raw material in the solution is appropriately selected according to the thickness of the target protective layer, as in the case of the casting method, but the range is narrower than in the case of the casting method, and control of the film thickness and uniformity of the film are performed. From the viewpoint of properties and the like, the amount is 1 to 40 g / 100 ml, preferably 4 to 20 g / 100 ml.

【0020】なお、キャスト法およびスピンコート法の
いずれの方法においても、風乾後に真空乾燥機等を用い
て、30〜100℃好ましくは50〜80℃で、1〜2
4時間好ましくは8〜16時間、さらに乾燥することが
望ましい。
In each of the casting method and the spin coating method, air drying is performed at 30 to 100 ° C., preferably 50 to 80 ° C., using a vacuum dryer or the like.
It is desirable to further dry for 4 hours, preferably 8 to 16 hours.

【0021】長寿命の有機EL素子を得るうえからは、
保護層の形成過程での発光層や対向電極の特性劣化をで
きるだけ抑止することが望ましく、そのためにはPVD
法やCVD法により真空環境下で保護層を設けることが
特に好ましい。そして、同様の理由から、積層構造体を
構成する発光層の形成から保護層の形成までを一連の真
空環境下で行うことが特に好ましい。
In order to obtain a long-life organic EL device,
It is desirable to suppress the deterioration of the characteristics of the light emitting layer and the counter electrode during the formation of the protective layer as much as possible.
It is particularly preferable to provide a protective layer by a vacuum method or a CVD method in a vacuum environment. For the same reason, it is particularly preferable that the steps from the formation of the light emitting layer constituting the laminated structure to the formation of the protective layer are performed in a series of vacuum environments.

【0022】本発明の方法では、このようにして設けた
保護層の外側に、電気絶縁性ガラス、電気絶縁性高分子
化合物および電気絶縁性気密流体からなる群より選択さ
れる1つからなるシールド層を設ける。このとき、積層
構造体は保護層により守られたかたちになっているの
で、シールド層の形成には種々の方法を適用することが
できる。以下、材料毎にシールド層の形成方法を説明す
る。
In the method of the present invention, a shield made of one selected from the group consisting of an electrically insulating glass, an electrically insulating polymer compound, and an electrically insulating airtight fluid is provided outside the protective layer provided in this manner. Provide a layer. At this time, since the laminated structure is protected by the protective layer, various methods can be applied to the formation of the shield layer. Hereinafter, a method of forming the shield layer for each material will be described.

【0023】a.電気絶縁性ガラス ガラス基板等の基板上に設けられた積層構造体の外表面
に保護層を設けた後、保護層の上からこの電気絶縁性ガ
ラスを被せ、基板の縁部と電気絶縁性ガラスの縁部とを
接着剤等を用いて貼り合わせることによりシールド層を
設ける。この電気絶縁性ガラスにおける保護層側の表面
は、フォトマスクグレードの研磨面であることが好まし
い。また、このガラスはアルカリ含有量の少ない高体積
抵抗(350℃において107 Ωm以上)のものが好ま
しく、具体例としてはコーニング社製#7059が挙げ
られる。この電気絶縁性ガラスは、保護層に直接接触さ
せて設けてもよいし、ポリビニルアルコールやナイロン
66等からなる吸湿層を介して保護層の外側に設けても
よい。吸湿層を介在させる場合、吸湿層は予め電気絶縁
性ガラスの表面に設けておくことが好ましい。また、こ
の場合のガラス面は、フォトマスクグレードより粗い面
でもよい。
A. Electrically Insulating Glass After providing a protective layer on the outer surface of a laminated structure provided on a substrate such as a glass substrate, the electrical insulating glass is placed over the protective layer, and the edge of the substrate is covered. And the edge of the electrically insulating glass are bonded to each other with an adhesive or the like to provide a shield layer. The surface on the protective layer side of the electrically insulating glass is preferably a polished surface of a photomask grade. The glass preferably has a high alkali resistance and a high volume resistance (10 7 Ωm or more at 350 ° C.). A specific example is Corning # 7059. This electrically insulating glass may be provided in direct contact with the protective layer, or may be provided outside the protective layer via a moisture absorbing layer made of polyvinyl alcohol, nylon 66, or the like. When a moisture absorbing layer is interposed, the moisture absorbing layer is preferably provided in advance on the surface of the electrically insulating glass. In this case, the glass surface may be a surface rougher than the photomask grade.

【0024】b.電気絶縁性高分子化合物 電気絶縁性の液状樹脂または固形樹脂を用いて、例えば
以下の方法によりシールド層を形成する。なお、以下に
例示する方法のうち、浸漬法およびトランスファー成形
法では素子全体(積層構造体が基板上に設けられている
場合はこの基板も含める)がシールド層により覆われる
ため、封止しようとする有機EL素子からのEL光に対
して実用上十分な透光性が得られるようにシールド層の
材料を選択する。また、他の方法では、積層構造体が基
板上に設けられている場合には保護層側の面だけにシー
ルド層を形成することが可能であるため、保護層側の面
を発光面としない限りは、シールド層の透光性について
は勘案しなくてもよい。
B. Electrically insulating polymer compound A shield layer is formed using, for example, the following method using an electrically insulating liquid resin or solid resin. Among the methods exemplified below, in the immersion method and the transfer molding method, the whole element (including the substrate when the laminated structure is provided on the substrate) is covered with the shield layer, so that the sealing is performed. The material of the shield layer is selected so that practically sufficient translucency for the EL light from the organic EL element to be obtained is obtained. In another method, when the laminated structure is provided on the substrate, the shield layer can be formed only on the surface on the protective layer side, so that the surface on the protective layer side is not used as the light emitting surface. As far as possible, it is not necessary to consider the translucency of the shield layer.

【0025】1.液状樹脂を用いる場合 ・注型法:この方法では、保護層を設けた有機EL素子
(以下、保護層付素子ということがある)を型容器内に
置き、この型容器内へ、触媒や硬化剤を添加しておいた
液状樹脂を注入して保護層付素子の保護層側の面をこの
液状樹脂により覆い、硬化・離型した後にオーブン中で
完全に硬化させることによりシールド層を設ける。より
好ましくは、硬化・離型の後に、温度制御したオーブン
中で硬化させる。この場合の液状樹脂は、電気絶縁性
(以下、条件(i) ということがある)であれば熱硬化型
でも光硬化型でもよいが、保護層側の面を発光層とする
場合には、封止しようとする有機EL素子からのEL光
に対して実用上十分な透光性を有する(以下、条件(ii)
ということがある)樹脂層が得られるものを選択する。
また熱硬化型の樹脂については、保護層を形成している
電気絶縁性高分子化合物の軟化点よりも硬化温度が低い
(以下、条件(iii) ということがある)ものを用いるこ
とが好ましい。
1. When a liquid resin is used: Casting method: In this method, an organic EL device provided with a protective layer (hereinafter, sometimes referred to as a device with a protective layer) is placed in a mold container, and the inside of the mold container is removed. Inject the liquid resin to which a catalyst and a curing agent have been added, cover the surface of the element with a protective layer on the protective layer side with this liquid resin, cure and release it, and then completely cure it in an oven. Provide a shield layer. More preferably, after the curing and release, the composition is cured in a temperature-controlled oven. The liquid resin in this case may be a thermosetting type or a photocuring type as long as it is electrically insulating (hereinafter sometimes referred to as condition (i)), but when the surface on the protective layer side is a light emitting layer, Has practically sufficient translucency for EL light from the organic EL element to be sealed (hereinafter, condition (ii)
A resin layer can be obtained.
As for the thermosetting resin, it is preferable to use a resin having a curing temperature lower than the softening point of the electrically insulating polymer compound forming the protective layer (hereinafter, may be referred to as condition (iii)).

【0026】条件(i) および(ii)を満たす熱硬化型の液
状樹脂の中で特に好ましいものとしては、エポキシ樹
脂、シリコーン樹脂、エポキシシリコーン樹脂、フェノ
ール樹脂、ジアクリルフタレート樹脂、アルキッド樹脂
等が挙げられ、実用に際しては、条件(iii) を満たすか
否かにより適宜選択される。また条件(i) および(ii)を
満たす光硬化型の液状樹脂としては、BY−300B
(エン・チオール系の光硬化型液状樹脂の商品名、旭電
化社製)、BU−230U(アクリル系の光硬化型液状
樹脂の商品名、東亜合成化学社製)、UV1001(ポ
リエステル系の光硬化型液状樹脂の商品名、ソニーケミ
カル社製)等の紫外線硬化型のものや、LCR000
(商品名、アイ・シー・ジャパン社製)等の可視光硬化
型のものが挙げられる。これらの液状樹脂の硬化温度お
よび硬化時間は樹脂によって異なるが、例えば熱硬化型
のエポキシ樹脂を用いた場合は160〜180℃で1〜
2分である。また、熱硬化型および光硬化型のいづれの
液状樹脂についても、触媒や硬化剤を樹脂に添加した後
に真空中での脱気工程を加えることがより好ましい。
Among the thermosetting liquid resins satisfying the conditions (i) and (ii), particularly preferred are epoxy resins, silicone resins, epoxy silicone resins, phenol resins, diacryl phthalate resins, alkyd resins and the like. In practical use, it is appropriately selected depending on whether or not the condition (iii) is satisfied. The photocurable liquid resin satisfying the conditions (i) and (ii) is BY-300B
(Trade name of en-thiol-based photo-curable liquid resin, manufactured by Asahi Denka Co., Ltd.), BU-230U (trade name of acrylic-based photo-curable liquid resin, manufactured by Toa Gosei Chemical Co., Ltd.), UV1001 (polyester-based light UV-curable resin such as a product name of a curable liquid resin (manufactured by Sony Chemical Co., Ltd.), and LCR000
(Trade name, manufactured by IC Japan Co., Ltd.) and the like. The curing temperature and curing time of these liquid resins differ depending on the resin. For example, when a thermosetting epoxy resin is used, the
2 minutes. It is more preferable to add a deaeration step in vacuum after adding a catalyst or a curing agent to the resin for both thermosetting and photocuring liquid resins.

【0027】・真空ポッティング法:この方法では、上
述した注型法の全工程を真空中で行うことによりシール
ド層を設ける。注型法よりもさらに好ましい方法であ
る。
Vacuum potting method: In this method, a shield layer is provided by performing all the steps of the casting method described above in a vacuum. This is a more preferable method than the casting method.

【0028】・浸漬法:この方法では、前述した液状樹
脂中に保護層付素子を浸漬した後に引上げ、この後、保
護層付素子に付着した液状樹脂液を加熱処理または風乾
により硬化させることによりシールド層を設ける。樹脂
は、条件(i)および(ii)を満たすものであれば種々の熱
可塑性樹脂、熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を用いる
ことができる。
Immersion method: In this method, the element with a protective layer is immersed in the liquid resin described above and then pulled up, and then the liquid resin liquid attached to the element with the protective layer is cured by heat treatment or air drying. Provide a shield layer. As the resin, various thermoplastic resins, thermosetting resins or photocurable resins can be used as long as they satisfy the conditions (i) and (ii).

【0029】・その他:液状樹脂をヘラ等により保護層
付素子の保護層側の面に塗布した後に硬化させるとによ
り、シールド層を設けてもよい。液状樹脂としては上述
した液状樹脂をそのまま用いることができるが、保護層
側の面を発光面としない場合には、条件(ii)を満たさな
い液状樹脂であっても用いることができる。
Others: A shield layer may be provided by applying a liquid resin to the surface of the element with a protective layer on the protective layer side using a spatula or the like and then curing the liquid resin. As the liquid resin, the above-described liquid resin can be used as it is, but when the surface on the protective layer side is not used as the light emitting surface, a liquid resin that does not satisfy the condition (ii) can be used.

【0030】2.固形樹脂を液状にして用いる場合 ・ホットメルト法:この方法では、加熱溶融した樹脂を
注型あるいは真空ポッティングすることによりシールド
層を設ける。この方法で用いる樹脂としては、条件(i)
を満たし、かつ保護層を形成している電気絶縁性高分子
化合物の軟化点よりも融点の低い(以下、条件(iv)とい
うことがある)熱可塑性樹脂が好ましい。
2. When the solid resin is used in a liquid state • Hot melt method: In this method, a heat-melted resin is cast or vacuum potted to provide a shield layer. As the resin used in this method, the condition (i)
And a melting point lower than the softening point of the electrically insulating polymer compound forming the protective layer (hereinafter, may be referred to as condition (iv)).

【0031】条件(i) を満たす熱可塑性樹脂の具体例と
してはポリ塩化ビニル、ポリ臭化ビニル、ポリフッ化ビ
ニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−
エチレン共重合体、塩化ビニル−プロピレン共重合体、
塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル−ブ
タジエン共重合体、塩化ビニル−アクリル酸エステル共
重合体、塩化ビニル−アクリルニトリル共重合体、塩化
ビニル−スチレン−アクリルニトリル三元共重合体、塩
化ビニル−塩化ビニリデン−酢酸ビニル共重合体、ポリ
塩化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフ
ッ化ビニリデン、ポリクロロトリフルオロエチレン、特
開昭63−18964号公報に開示されているフッ素系
高分子化合物、特開昭63−22206号公報に開示さ
れているフッ素系高分子化合物、特開昭63−2381
15号公報に開示されているフッ素系高分子化合物等
の、ハロゲン化ビニル重合体またはハロゲン化ビニル共
重合体;
Specific examples of the thermoplastic resin satisfying the condition (i) include polyvinyl chloride, polyvinyl bromide, polyvinyl fluoride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride
Ethylene copolymer, vinyl chloride-propylene copolymer,
Vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-butadiene copolymer, vinyl chloride-acrylate copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, vinyl chloride-styrene-acrylonitrile terpolymer, chloride Vinyl-vinylidene chloride-vinyl acetate copolymer, polyvinylidene chloride, polytetrafluoroethylene, polyvinylidene fluoride, polychlorotrifluoroethylene, a fluorine-based polymer compound disclosed in JP-A-63-18964, Fluorinated polymer compounds disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-22206;
No. 15, a halogenated vinyl polymer or a vinyl halide copolymer such as a fluorine-containing polymer compound;

【0032】ポリビニルアルコール、ポリアリルアルコ
ール、ポリビニルエーテル、ポリアリルエーテル等の、
不飽和アルコールもしくは不飽和エーテルの重合体また
は不飽和アルコールと不飽和エーテルとの共重合体;ア
クリル酸やメタアクリル酸等の不飽和カルボン酸の重合
体または共重合体;ポリ酢酸ビニル等のポリビニルエス
テルやポリフタル酸等のポリアクリルエステル等、アル
コール残基中に不飽和結合を持つものの重合体または共
重合体;ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エ
ステル、マレイン酸エステル重合体、フマル酸エステル
重合体等の、酸残基中または酸残基中とアルコール残基
中とに不飽和結合を持つものの重合体または共重合体;
アクリルニトリル重合体、メタアクリルニトリル重合
体、アクリルニトリルとメタアクリルニトリルとの共重
合体、ポリシアン化ビニリデン、マロノニトリル重合
体、フマロノニトリル重合体、マロノニトリルとフマロ
ノニトリルとの共重合体;
[0032] Polyvinyl alcohol, polyallyl alcohol, polyvinyl ether, polyallyl ether, etc.
Polymer of unsaturated alcohol or unsaturated ether or copolymer of unsaturated alcohol and unsaturated ether; polymer or copolymer of unsaturated carboxylic acid such as acrylic acid or methacrylic acid; polyvinyl such as polyvinyl acetate Polymers or copolymers having unsaturated bonds in alcohol residues, such as esters and polyacrylic esters such as polyphthalic acid; polyacrylic esters, polymethacrylic esters, maleic ester polymers, and fumaric ester polymers Such as a polymer or copolymer having an unsaturated bond in an acid residue or in an acid residue and an alcohol residue;
Acrylonitrile polymer, methacrylonitrile polymer, copolymer of acrylonitrile and methacrylonitrile, polyvinylidene polycyanide, malononitrile polymer, fumarononitrile polymer, copolymer of malononitrile and fumarononitrile;

【0033】ポリスチレン、ポリα−メチルスチレン、
ポリp−メチルスチレン、スチレン−p−メチルスチレ
ン共重合体、ポリビニルベンゼン、ポリハロゲン化スチ
レン等、芳香族ビニル化合物の重合体また共重合体;ポ
リビニルピリジン、ポリ−N−ビニルピロリジン、ポリ
−N−ビニルピロリドン等、複素環式化合物の重合体ま
たは共重合体;ポリカーボネート等のポリエステル縮合
物や、ナイロン6、ナイロン66等のポリアミド縮合
物;無水マレイン酸、無水フマール酸、無水マレイン酸
のイミド化合物および無水フマール酸のイミド化合物か
らなる群より選択される1種の物質の重合体、または前
記群より選択される少なくも2種の物質の共重合体;ポ
リアミド、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリフェ
ニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリ
スルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート等の
耐熱性高分子化合物;ポリエチレン、ポリプロピレン、
ポリエチレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレー
ト、特開平2−253952号公報に開示されているサ
ーモトロピック液晶ポリマー;等が挙げられ、実用に際
しては、条件(iv)を満たすか否かにより適宜選択され
る。
Polystyrene, poly α-methylstyrene,
Polymers or copolymers of aromatic vinyl compounds such as poly-p-methylstyrene, styrene-p-methylstyrene copolymer, polyvinylbenzene, polyhalogenated styrene; polyvinylpyridine, poly-N-vinylpyrrolidine, poly-N A polymer or copolymer of a heterocyclic compound such as vinylpyrrolidone; a polyester condensate such as polycarbonate or a polyamide condensate such as nylon 6 or nylon 66; an imide compound of maleic anhydride, fumaric anhydride, or maleic anhydride Of one substance selected from the group consisting of imide compounds of fumaric anhydride and fumaric anhydride, or copolymers of at least two substances selected from the group; polyamides, polyetherimides, polyimides, and polyphenylene oxides , Polyphenylene sulfide, polysulfone, polyether Rusuruhon, heat resistant polymer compound of polyarylate, polyethylene, polypropylene,
Polyethylene terephthalate, polymethyl methacrylate, thermotropic liquid crystal polymers disclosed in JP-A-2-253952; and the like, and in practical use, are appropriately selected depending on whether or not the condition (iv) is satisfied.

【0034】・流動浸漬法:微細孔底板と、多孔質底板
と、この多孔質底板の下方に空気(圧搾空気)溜りとを
備えた容器を用い、この容器の微細孔底板上に200〜
300メッシュの大きさに粉砕した固形樹脂(粉体樹
脂)を置いて、下方から多孔質底板を介して圧搾空気を
流すと、粉体樹脂は流体のように扱うことができる。し
たがって、この方法では、粉体樹脂に圧搾空気を流した
状態の容器を傾けて、粉体樹脂の軟化点以上の温度に加
熱した保護層付素子をこの容器内に入れ、加熱された保
護層付素子に粉体樹脂を溶融付着させることによりシー
ルド層を設ける。この方法で使用する樹脂としては、ホ
ットメルト法の説明の中で例示した熱可塑性樹脂が好ま
しい。
Fluid immersion method: A container provided with a microporous bottom plate, a porous bottom plate, and an air (compressed air) reservoir below the porous bottom plate is used.
When a solid resin (powder resin) crushed to a size of 300 mesh is placed and compressed air is flowed from below through a porous bottom plate, the powder resin can be treated like a fluid. Therefore, in this method, the container with the compressed air flowing through the powder resin is tilted, and the element with the protective layer heated to a temperature equal to or higher than the softening point of the powder resin is put into the container, and the heated protective layer A shield layer is provided by melting and adhering a powder resin to the attached element. As the resin used in this method, the thermoplastic resin exemplified in the description of the hot melt method is preferable.

【0035】・トランスファー成形法:この方法では、
保護層付素子を金型(小穴を有するもの)内に置き、ポ
ット内で溶融させた樹脂を、小穴を通じて金型のキャビ
ティ内に送り込んで硬化させることによりシールド層を
設ける。この方法で使用する樹脂としては、ホットメル
ト法の説明の中で例示した熱可塑性樹脂の中で前述の条
件(ii)を満たすものが好ましい。
Transfer molding method: In this method,
The element with a protective layer is placed in a mold (having a small hole), and the resin melted in the pot is fed into the cavity of the mold through the small hole and cured to provide a shield layer. The resin used in this method is preferably a thermoplastic resin exemplified in the description of the hot melt method and satisfying the above condition (ii).

【0036】・その他:樹脂溶液を保護層付素子の保護
層側の面に塗布した後、樹脂溶液中の溶媒を加熱処理ま
たは風乾により揮散させることによりシールド層を設け
てもよい。この場合の樹脂は、保護相側の面を発光面と
しない場合には少なくとも条件(i) を満たし、かつハロ
ゲン系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒、フッ素系溶媒等の
溶媒のいずれかに可溶であればよい。好ましい樹脂とし
ては、アクリル樹脂、ポリスチレン等が挙げられる。ま
た、有機溶媒揮散型接着剤も好ましい例の1つであり、
具体的には1001B(エラストマー系の有機溶媒揮散
型接着剤の商品名、日本ゼオン社製)やSG4693
(有機溶媒揮散型接着剤の商品名、3M社製)等があ
る。
Others: The shield layer may be provided by applying a resin solution to the surface of the element with a protective layer on the protective layer side, and then volatilizing the solvent in the resin solution by heat treatment or air drying. In this case, the resin satisfies at least condition (i) when the surface on the protective phase side is not used as the light-emitting surface, and is compatible with any of solvents such as a halogen-based solvent, an aromatic hydrocarbon-based solvent, and a fluorine-based solvent. It only has to be soluble. Preferred resins include acrylic resins and polystyrene. Further, an organic solvent volatilization type adhesive is also one of preferred examples,
Specifically, 1001B (trade name of an elastomer-based organic solvent volatile adhesive, manufactured by Zeon Corporation) and SG4693
(Trade name of an organic solvent-evaporating adhesive, manufactured by 3M).

【0037】3.フィルム封止 この方法では、高分子フィルムで保護層付素子を覆うこ
とによりシールド層を設ける。この場合、保護層付素子
の全体(積層構造体が基板上に設けられている保護層付
素子ではこの基板も含める)を高分子フィルムで覆って
もよし、積層構造体が基板上に設けられている保護層付
素子では、保護層付素子の保護層側の面のみを高分子フ
ィルムで覆ってもよい。保護層付素子の全体を高分子フ
ィルムで覆う場合は、高分子フィルを上下から保護層付
素子に被せ、上下の高分子フィルム同士を保護層付素子
の縁部にそって互いに熱融着させる。また、保護層側の
面のみを高分子フィルムで覆う場合は、高分子フィルム
の縁部と基板とを接着剤等により接着させるか、積層構
造体が高分子基板上に設けられている場合には高分子フ
ィルムの縁部と基板とを熱融着させる。
3. Film Sealing In this method, a shield layer is provided by covering the element with a protective layer with a polymer film. In this case, the whole of the device with a protective layer (including the substrate in the case of a device with a protective layer in which a laminated structure is provided on a substrate) may be covered with a polymer film, or the laminated structure may be provided on a substrate. In such a device with a protective layer, only the surface on the protective layer side of the device with a protective layer may be covered with a polymer film. When covering the entire device with a protective layer with a polymer film, a polymer fill is placed over the device with a protective layer from above and below, and the upper and lower polymer films are thermally fused to each other along the edge of the device with a protective layer. . When only the surface on the protective layer side is covered with the polymer film, the edge of the polymer film and the substrate are bonded with an adhesive or the like, or when the laminated structure is provided on the polymer substrate. Thermally bonds the edge of the polymer film to the substrate.

【0038】高分子フィルムの材質は条件(i) および(i
i)を満たす高分子化合物が好ましい。具体例としては、
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポ
リエーテルスルホン、ポリアリレート、ポリカーボネー
ト、ポリウレタン、アクリル樹脂、ポリアクリルニトリ
ル、ポリビニルアセタール、ポリアミド、ポリイミド、
ジアクリルフタレート樹脂、セルロース系プラスチッ
ク、ポリ酢酸ビニル、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリ
デン等や、これらの2つまたは3つ以上の共重合体が挙
げられる。特に好ましい高分子フィルムとしては、ポリ
ビニルフロライド、ポリクロロトリフルオロエチレン、
ポリテトラフルオロエチレン、特開昭63−18964
号公報に開示されているフッ素系高分子化合物、特開昭
63−22206号公報に開示されているフッ素系高分
子化合物、特開昭63−238115号公報に開示され
ているフッ素系高分子化合物等のような透湿度の小さい
高分子化合物を延伸等の方法でフィルムにしたものが挙
げられる。なお、保護層付素子における発光面以外の面
を覆う高分子フィルムは、条件(ii)を満たさなくてもよ
い。
The material of the polymer film depends on the conditions (i) and (i)
Polymer compounds satisfying i) are preferred. As a specific example,
Polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polymethyl methacrylate, polystyrene, polyethersulfone, polyarylate, polycarbonate, polyurethane, acrylic resin, polyacrylonitrile, polyvinyl acetal, polyamide, polyimide,
Examples include diacryl phthalate resin, cellulosic plastic, polyvinyl acetate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, and copolymers of two or more of these. Particularly preferred polymer films include polyvinyl fluoride, polychlorotrifluoroethylene,
Polytetrafluoroethylene, JP-A-63-18964
Fluoropolymer disclosed in JP-A-63-22206, Fluorinated polymer disclosed in JP-A-63-238115 And those obtained by forming a polymer compound having a small water vapor transmission rate into a film by a method such as stretching. The polymer film covering the surface other than the light emitting surface of the element with a protective layer may not satisfy the condition (ii).

【0039】このとき用いる高分子フィルムは単層でも
よいが、ナイロン66やポリビニルアルコール等からな
る吸湿層が設けられた複層構造の高分子フィルムを用い
ることがより好ましい。吸湿層が設けられた複層構造の
高分子フィルムは、吸湿層が少なくとも保護層と接する
ようにして使用する。
The polymer film used at this time may be a single layer, but it is more preferable to use a polymer film having a multilayer structure provided with a moisture absorbing layer made of nylon 66, polyvinyl alcohol or the like. The polymer film having a multilayer structure provided with a moisture absorbing layer is used such that the moisture absorbing layer is at least in contact with the protective layer.

【0040】c.電気絶縁性気密流体 前述した条件(i) を満たすガラス製容器、セラミクス製
容器、プラスチック製容器等の容器内に、条件(i) を満
たす気体または液体と共に保護層を設けた有機EL素子
(保護層付素子)を封入することによりシールド層を設
ける。保護層付素子の発光面の外側にも容器壁および気
密流体を位置させる場合には、これらは前述した条件(i
i)をも満たす必要がある。積層構造体が基板上に設けら
れている保護層付素子では、この基板を上記容器の一部
として利用してもよい。容器の形成は、必要部材同士を
低融点ガラス、ハンダ、気密封止用エポキシ樹脂等で接
着することにより行われる。容器内に封入する気体とし
ては、Heガス、Arガス、Neガス等の不活性ガスが
好ましい。また液体としては、シリコーンオイル等が好
ましい。基板を容器の一部として利用してこの容器内に
液体を封入する場合には、保護層付素子の保護層側を発
光面としないことを前提として、シリカゲル、活性炭等
の吸湿材を混入させてもよい。
C. Electrically insulating airtight fluid A protective layer was provided together with a gas or liquid satisfying the condition (i) in a container such as a glass container, a ceramics container and a plastic container satisfying the above condition (i). A shield layer is provided by enclosing an organic EL element (element with a protective layer). When the container wall and the airtight fluid are also positioned outside the light emitting surface of the element with a protective layer, these conditions are set as described above (i.
i) must also be satisfied. In an element with a protective layer in which a laminated structure is provided on a substrate, the substrate may be used as a part of the container. The container is formed by bonding necessary members to each other with low-melting glass, solder, epoxy resin for hermetic sealing, or the like. As the gas to be sealed in the container, an inert gas such as He gas, Ar gas, Ne gas or the like is preferable. As the liquid, silicone oil or the like is preferable. When the substrate is used as a part of the container and the liquid is sealed in the container, assuming that the protective layer side of the device with the protective layer is not used as the light emitting surface, a moisture absorbing material such as silica gel or activated carbon is mixed. You may.

【0041】以上説明したようにして保護層とシールド
層とを設けることにより、これらの層により水分や酸素
の発光層への侵入が抑制され、これにより有機EL素子
が長寿命化される。
By providing the protective layer and the shield layer as described above, the penetration of moisture and oxygen into the light emitting layer is suppressed by these layers, thereby extending the life of the organic EL element.

【0042】[0042]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
説明する。 実施例1 25×75×1.1mmのサイズのガラス板[HOYA
(株)製の白板ガラス]を基板として用い、この基板上
にITO膜を100nmの厚さで成膜して透明電極とし
た(以下、ITO膜が成膜された基板を透明支持基板と
いう)。この透明支持基板をイソプロピルアルコールで
30分間超音波洗浄した後、純水で5分間洗浄し、その
後イソプロピルアルコールでリンスした後に乾燥N2
スを吹き付けて乾燥させた。そして最後に、UVオゾン
洗浄装置[(株)サムコインターナショナル製]で10
分間洗浄した。洗浄後の透明支持基板を市販の真空蒸着
装置[日本真空技術(株)製]の基板ホルダーに固定
し、モリブデン製抵抗加熱ボートにN,N′−ジフェニ
ル−N,N′−ビス−(3−メチルフェニル)−[1,
1′−ビフェニル]−4,4′−ジアミン(以下、TP
DAという)を200mg入れ、他のモリブデン製抵抗
加熱ボートに昇華精製されたトリス(8−キノリノー
ル)アルミニウム(以下、Alq.という)を200m
g入れて、真空チャンバー内を1×10-4Paまで減圧
した。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Example 1 A glass plate having a size of 25 × 75 × 1.1 mm [HOYA
White plate glass manufactured by Co., Ltd.] as a substrate, and an ITO film having a thickness of 100 nm was formed on this substrate to form a transparent electrode (hereinafter, the substrate on which the ITO film was formed is referred to as a transparent support substrate). . The transparent support substrate was ultrasonically cleaned with isopropyl alcohol for 30 minutes, then with pure water for 5 minutes, rinsed with isopropyl alcohol, and dried by blowing dry N 2 gas. Finally, a UV ozone cleaning device [manufactured by Samco International Co., Ltd.]
Washed for minutes. The washed transparent supporting substrate was fixed to a substrate holder of a commercially available vacuum evaporation apparatus [manufactured by Nippon Vacuum Engineering Co., Ltd.], and N, N′-diphenyl-N, N′-bis- (3) was placed in a molybdenum resistance heating boat. -Methylphenyl)-[1,
1′-biphenyl] -4,4′-diamine (hereinafter referred to as TP
DA) and 200 mg of tris (8-quinolinol) aluminum (hereinafter referred to as Alq.) Purified by sublimation into another molybdenum resistance heating boat.
g, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa.

【0043】次に、TPDAを入れた前記抵抗加熱ボー
トを215〜220℃まで加熱して、TPDAを蒸着速
度0.1〜0.3nm/sでITO膜上に堆積させて、
膜厚60nmの正孔注入層を成膜した。このときの基板
温度は室温であった。次いで、正孔注入層が成膜された
透明支持基板を基板ホルダーに固定したまま、Alq.
を入れたモリブデン製抵抗加熱ボートを275℃まで加
熱して、Alq.を蒸着速度0.1〜0.2nm/sで
正孔注入層上に堆積させて、膜厚60nmの発光層を成
膜した。このときの基板温度も室温であった。次に、マ
グネシウム1gを予め入れておいたモリブデン製抵抗加
熱ボートと銀500mgを予め入れておいたモリブデン
製抵抗加熱ボートとをそれぞれ加熱し、マグネシウムを
約1.5nm/sの蒸着速度で蒸着させ、同時に銀を約
0.1nm/sの蒸着速度で蒸着させて、マグネシウム
と銀との混合金属からなる膜厚150nmの電極(対向
電極)を発光層上に設けた。ガラス基板上にITO膜
(電極)、正孔注入層、発光層、および対向電極を設け
たことで有機EL素子が得られた。
Next, the resistance heating boat containing TPDA was heated to 215 to 220 ° C. to deposit TPDA on the ITO film at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm / s.
A hole injection layer having a thickness of 60 nm was formed. At this time, the substrate temperature was room temperature. Then, while the transparent support substrate on which the hole injection layer was formed was fixed to the substrate holder, Alq.
Is heated to 275 ° C., and the Alq. Was deposited on the hole injection layer at a deposition rate of 0.1 to 0.2 nm / s to form a light emitting layer having a thickness of 60 nm. The substrate temperature at this time was also room temperature. Next, a molybdenum resistance heating boat containing 1 g of magnesium in advance and a molybdenum resistance heating boat containing 500 mg of silver in advance are each heated to deposit magnesium at a deposition rate of about 1.5 nm / s. At the same time, silver was vapor-deposited at a vapor deposition rate of about 0.1 nm / s, and a 150-nm-thick electrode (counter electrode) made of a mixed metal of magnesium and silver was provided on the light-emitting layer. An organic EL element was obtained by providing an ITO film (electrode), a hole injection layer, a light emitting layer, and a counter electrode on a glass substrate.

【0044】この後、ガラス基板上に設けられたITO
膜、正孔注入層、発光層、および対向電極からなる積層
構造体の外表面に、積層構造体の形成に用いた真空蒸着
装置と同じ装置を用いて、正孔注入層および発光層の形
成からの一連の真空環境下で、以下の要領で保護層を設
けた。まず、蒸着源としてテトラフルオロエチレンとパ
ーフルオロ−2,2−ジメチル−1,3−ジオキソール
との無定形共重合体粉末(商品名テフロンAF、デュポ
ン社製)1.5gを収容したアルミナ製坩堝を予め入れ
ておいたタングステン製バスケットの上方(アルミナ製
坩堝の上)に12μmφのステンレス製メッシュをかぶ
せた。次いで、真空チャンバー内を1×10-4Paまで
減圧した後、タングステン製バスケットに通電加熱して
蒸着源を455℃に加熱して、積層構造体の外表面に蒸
着速度0.5nm/sで膜厚0.8μm(800nm)
のテフロンAF薄膜(保護層)を設けた。なお、ITO
電極を除く各層の膜厚および蒸着速度は、真空チャンバ
ー内に配置されている水晶振動式膜厚計[日本真空技術
(株)製]により蒸着膜の膜厚をモニターしながら制御
した。また、得られた各層の膜厚は触針式膜厚計で測定
し、水晶振動式膜厚計の読みと一致することを確認し
た。
Thereafter, the ITO provided on the glass substrate
Forming the hole injection layer and the light emitting layer on the outer surface of the layered structure including the film, the hole injection layer, the light emitting layer, and the counter electrode using the same apparatus as the vacuum evaporation apparatus used for forming the layered structure. , A protective layer was provided in the following manner under a series of vacuum environments. First, an alumina crucible containing 1.5 g of an amorphous copolymer powder of tetrafluoroethylene and perfluoro-2,2-dimethyl-1,3-dioxole (trade name: Teflon AF, manufactured by DuPont) as a vapor deposition source Was placed over a tungsten basket (on an alumina crucible) in which was previously placed a stainless steel mesh of 12 μmφ. Next, after the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa, the tungsten source was electrically heated to heat the deposition source to 455 ° C., and the deposition rate was 0.5 nm / s on the outer surface of the laminated structure. 0.8 μm (800 nm)
Was provided with a Teflon AF thin film (protective layer). In addition, ITO
The thickness and deposition rate of each layer except for the electrodes were controlled while monitoring the thickness of the deposited film using a quartz-crystal vibrating thickness gauge [manufactured by Nippon Vacuum Engineering Co., Ltd.] arranged in a vacuum chamber. The thickness of each of the obtained layers was measured with a stylus-type film thickness meter, and it was confirmed that the thickness agreed with the reading of the quartz-crystal vibrating thickness meter.

【0045】次に、保護層を設けた有機EL素子(以
下、保護層付素子ということがある)を真空チャンバー
から取り出して、保護層の外側に以下の要領でシールド
層を設けた。まず、一主表面に吸湿層として膜厚350
nmのポリビニルアルコール(以下、PVAという)層
が設けられた電気絶縁性ガラス基板(ガラス板のサイズ
は25×75×1.1mm)を用意した。このガラス基
板は、PVA粉末3重量%、塩酸0.5重量%、水9
6.5重量%を混ぜ合わせた液体1mlをスライドガラ
スに滴下し、スピンコート装置[ミカサ(株)製]で5
00rpm 、30秒の条件でスピンコートした後に8時間
風乾し、さらに真空乾燥器[ヤマト化学(株)製]の中
に入れ60℃で10時間乾燥させて得た。次いで、上記
ガラス基板のPVA層側の面の縁部にエポキシ系接着剤
(商品名セメダインスパー5、セメダイン社製)を幅約
0.5mmで塗布した後、このガラス基板と保護層付素
子とを重ね合わせた。このときの重ね合わせは、PVA
層と保護層とが接するようにして行った。またエポキシ
系接着剤は、主剤と硬化剤とをヘラで20回かき混ぜて
から用いた。この後、エポキシ系接着剤を10時間大気
中で硬化さて、電気絶縁性ガラス板からなるシールド層
を設けた。
Next, the organic EL device provided with the protective layer (hereinafter, sometimes referred to as a device with a protective layer) was taken out of the vacuum chamber, and a shield layer was provided outside the protective layer in the following manner. First, a film thickness of 350 was formed on one main surface as a moisture absorbing layer.
An electrically insulating glass substrate (a glass plate size of 25 × 75 × 1.1 mm) provided with a polyvinyl alcohol (hereinafter referred to as PVA) layer having a thickness of nm was prepared. This glass substrate is composed of 3% by weight of PVA powder, 0.5% by weight of hydrochloric acid and 9% by weight of water.
1 ml of a liquid mixed with 6.5% by weight was dropped on a slide glass, and the solution was mixed with a spin coater [manufactured by Mikasa Corporation].
After spin coating under the conditions of 00 rpm and 30 seconds, the resultant was air-dried for 8 hours, further placed in a vacuum drier (manufactured by Yamato Chemical Co., Ltd.) and dried at 60 ° C. for 10 hours. Next, an epoxy-based adhesive (trade name: Cemedine Spar 5, manufactured by Cemedine Co.) is applied to the edge of the surface on the PVA layer side of the glass substrate with a width of about 0.5 mm. Were superimposed. The superposition at this time is PVA
The test was performed so that the layer and the protective layer were in contact with each other. The epoxy adhesive was used after stirring the main agent and the curing agent 20 times with a spatula. Thereafter, the epoxy adhesive was cured in the air for 10 hours to provide a shield layer made of an electrically insulating glass plate.

【0046】参考例1 実施例1と全く同様にして有機EL素子を作製した後、
積層構造体の形成に用いた真空蒸着装置の真空環境を一
旦破ってから、積層構造体の形成に用いた真空蒸着装置
と同じ装置を用いて、有機EL素子の積層構造体の外表
面に以下の要領で保護層を設けた。まず、タングステン
製のバスケットに、蒸着源として高密度ポリエチレン
[商品名440M、出光石油化学(株)製]1gを収容
したアルミナ製坩堝を入れ、このアルミナ製坩堝の上に
12μmφのステンレス製メッシュをかぶせた。次いで
サンプルホルダーに上で得られた有機EL素子をセット
し、真空チャンバー内を1×10-4Paまで減圧した
後、タングステン製バスケットに通電加熱して蒸着源を
400℃に加熱して、積層構造体の外表面に0.5nm
/sの蒸着速度で膜厚0.3μm(300nm)の高密
度ポリエチレン薄膜(保護層)を設けた。この後、保護
層を設けた有機EL素子を真空チャンバーから取り出し
て、以下の要領でシールド層を設けた。まず、エポキシ
系接着剤(商品名セメダインスパー5、セメダイン社
製)の主剤と硬化剤とをヘラで20回かき混ぜた。次い
で、この混合物をヘラに乗せ、保護層の上に2mmの厚
みで塗布した。この後、大気中に5時間放置してエポキ
シ系接着剤を硬化させることにより、シールド層を設け
た。
Reference Example 1 An organic EL device was manufactured in exactly the same manner as in Example 1,
Once the vacuum environment of the vacuum deposition apparatus used to form the laminated structure is broken, the same device as the vacuum deposition apparatus used to form the laminated structure is used, and the following is applied to the outer surface of the laminated structure of the organic EL element. The protective layer was provided in the same manner as described above. First, an alumina crucible containing 1 g of high-density polyethylene (trade name: 440M, manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd.) as a vapor deposition source is placed in a tungsten basket, and a stainless steel mesh of 12 μmφ is placed on the alumina crucible. I covered it. Next, the organic EL device obtained above was set on a sample holder, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa. 0.5 nm on the outer surface of the structure
A high-density polyethylene thin film (protective layer) having a thickness of 0.3 μm (300 nm) was provided at a deposition rate of / s. Thereafter, the organic EL device provided with the protective layer was taken out of the vacuum chamber, and a shield layer was provided in the following manner. First, a main agent of an epoxy-based adhesive (trade name: Cemedine Spar 5, manufactured by Cemedine Co., Ltd.) and a curing agent were mixed with a spatula 20 times. Then, the mixture was put on a spatula and applied on the protective layer to a thickness of 2 mm. Thereafter, the epoxy adhesive was cured by being left in the air for 5 hours to provide a shield layer.

【0047】実施例2 図1に示すように、25×75×1.1mmのサイズの
ガラス板1[HOYA(株)製の白板ガラス]上に、1
0mm×75mm×100nmのITO膜2aおよび2
bが成膜されたものを透明支持基板3として用いて、以
下の要領で保護層付素子を得た。まず、ITO膜2aに
マスクをかけた後に実施例1と全く同様にして、正孔注
入層と発光層とを成膜した。次いで、蒸着装置に付いて
いるマスク自動交換機構を用いて、ITO膜2aにかけ
たマスクを外した。次に、上記機構でもってITO膜2
aの長手方向の外側縁部に幅5mmに亘ってマスクをか
けた後、実施例1と全く同様にして対向電極と保護層と
を設けて保護層付素子を得た。図2に示すように、この
ようにして得られた保護層付素子4では、2つのITO
膜2aおよび2bの間のガラス板1表面上からITO膜
2bの主表面上にかけて正孔注入層5が設けられてお
り、この正孔注入層5上に発光層6が設けられている。
そして、この発光層6上とITO膜2aの内側半分の主
表面上とには対向電極7が設けられており、対向電極7
の主表面上には保護層8が設けられている。この保護層
付素子4では、ITO電極2b、正孔注入層5、発光層
6、および対向電極7により積層構造体9が形成されて
いる。これで、正孔注入層から保護層までが全て、一連
の真空環境下で作製された。
Example 2 As shown in FIG. 1, a glass plate 1 [white plate glass manufactured by HOYA CORPORATION] having a size of 25 × 75 × 1.1 mm was placed on a glass plate 1.
0 mm × 75 mm × 100 nm ITO films 2 a and 2
The device with the protective layer was obtained in the following manner using the film on which b was formed as the transparent support substrate 3. First, after masking the ITO film 2a, a hole injection layer and a light emitting layer were formed in exactly the same manner as in Example 1. Next, the mask applied to the ITO film 2a was removed using an automatic mask changing mechanism provided for the vapor deposition apparatus. Next, the ITO film 2 is formed by the above mechanism.
After masking the outer edge in the longitudinal direction of a over a width of 5 mm, a counter electrode and a protective layer were provided in exactly the same manner as in Example 1 to obtain a device with a protective layer. As shown in FIG. 2, in the element 4 with the protective layer thus obtained, two ITOs
A hole injection layer 5 is provided from the surface of the glass plate 1 between the films 2a and 2b to the main surface of the ITO film 2b, and the light emitting layer 6 is provided on the hole injection layer 5.
A counter electrode 7 is provided on the light emitting layer 6 and on a main surface of an inner half of the ITO film 2a.
Is provided with a protective layer 8 on the main surface thereof. In the element 4 with a protective layer, a laminated structure 9 is formed by the ITO electrode 2b, the hole injection layer 5, the light emitting layer 6, and the counter electrode 7. Thus, everything from the hole injection layer to the protective layer was manufactured under a series of vacuum environments.

【0048】この後、保護層付素子4を真空チャンバー
から取り出して、以下の要領でシールド層を設けて、封
止まで施した有機EL素子を得た。まず、ITO膜2b
の長手方向の外側縁部から幅5mmに亘って、ITO膜
2b上に設けられている正孔注入層5、発光層6、対向
電極7および保護層8を切除した。またガラス板1の短
手方向の縁部についても、その厚さが実質的にガラス板
1の厚さとITO膜の厚さとの和になるように、幅5m
mに亘って正孔注入層5、発光層6、対向電極7および
保護層8を切除した。
Thereafter, the element 4 with the protective layer was taken out of the vacuum chamber, and a shield layer was provided in the following manner to obtain an organic EL element which had been sealed. First, the ITO film 2b
The hole injection layer 5, the light emitting layer 6, the counter electrode 7, and the protective layer 8 provided on the ITO film 2b were cut off over a width of 5 mm from the outer edge in the longitudinal direction. The width of the edge of the glass plate 1 in the width direction is 5 m so that the thickness is substantially the sum of the thickness of the glass plate 1 and the thickness of the ITO film.
m, the hole injection layer 5, the light emitting layer 6, the counter electrode 7, and the protective layer 8 were cut off.

【0049】次いで、18×73×2mmの凹部と、こ
の凹部の底に設けられた直径2mmの貫通孔(以下、注
入口という)とを有するガラス板(外寸:20×75×
3mm、以下シールドガラスという)を用意し、このシ
ールドガラスと保護層付素子4とをエポキシ系接着剤
(商品名:セメダインスーパー5、セメダイン社製)に
より貼り合わせた。エポキシ系接着剤は、主剤と硬化剤
とを混ぜ合わせてヘラで20回かき混ぜてから、上記保
護層付素子4の縁部に幅1mmでほぼ20×75mmの
長方形に塗布した。またシールドガラスと保護層付素子
4とは、対向電極7および保護層8がシールドガラスの
凹部内に収まるようにして貼り合わせた。貼り合わせ
後、大気中に10時間放置して、エポキシ系接着剤を硬
化させた。
Next, a glass plate having an 18 × 73 × 2 mm recess and a 2 mm diameter through hole (hereinafter referred to as an injection port) provided at the bottom of the recess (external dimensions: 20 × 75 ×
3 mm, hereinafter referred to as shield glass) was prepared, and the shield glass and the element 4 with a protective layer were bonded together with an epoxy-based adhesive (trade name: Cemedine Super 5, manufactured by Cemedine Co., Ltd.). The epoxy adhesive was mixed with the main agent and the curing agent, stirred with a spatula 20 times, and then applied to the edge of the element 4 with a protective layer in a rectangular shape having a width of 1 mm and a size of approximately 20 × 75 mm. The shield glass and the element 4 with a protective layer were bonded together such that the counter electrode 7 and the protective layer 8 were accommodated in the concave portion of the shield glass. After bonding, the epoxy-based adhesive was cured by being left in the air for 10 hours.

【0050】次いで、シールドガラスに設けられている
注入口から、吸湿用のシリカゲル(粒径50μm)を8
体積%分散させたシリコーンオイル[商品名:TSK4
51、東芝(株)製。以下絶縁油という]を注入して、
シールドガラスの凹部と保護層付素子とにより形成され
た空間内を絶縁油で満たした。この後、注入口をガラス
製の蓋で封鎖して、シールド層まで設けた有機EL素子
を得た。なお、ガラス製の蓋は、上述したエポキシ系接
着剤によりシールドガラスに接着させた。
Next, 8 g of silica gel (particle size: 50 μm) for absorbing moisture was injected through an injection port provided in the shield glass.
Silicone oil dispersed in volume% [trade name: TSK4
51, manufactured by Toshiba Corporation. Hereafter called insulating oil]
The space formed by the concave portion of the shield glass and the element with a protective layer was filled with insulating oil. Thereafter, the injection port was closed with a glass lid to obtain an organic EL element provided up to the shield layer. The glass lid was adhered to the shield glass with the above-mentioned epoxy adhesive.

【0051】最終的に得られた有機EL素子の端面を模
式的に図3に示す。図3に示すように、封止まで施した
有機EL素子10は、ガラス板1の表面に設けられたI
TO膜2b、正孔注入層5、発光層6および対向電極7
からなる積層構造体9を備え、この積層構造体9の外表
面にはテフロンAF薄膜からなる保護層8が設けられて
いる。そして、保護層8の外側には絶縁油からなるシー
ルド層11が設けられており、シールド層11の外側に
は、このシールド層11を設けるためにエポキシ系接着
剤12により貼り合わされたシールドガラス13が位置
している。また、シールドガラス13に設けられている
注入口14は、エポキシ系接着剤15により接着された
ガラス製の蓋16により封鎖されている。なお対向電極
7は、ガラス板1の表面に設けられたITO膜2aとも
接している。
FIG. 3 schematically shows an end face of the organic EL device finally obtained. As shown in FIG. 3, the organic EL element 10 which has been subjected to sealing is provided with an I
TO film 2b, hole injection layer 5, light emitting layer 6, and counter electrode 7
And a protective layer 8 made of a Teflon AF thin film is provided on the outer surface of the multilayer structure 9. A shield layer 11 made of insulating oil is provided outside the protective layer 8, and a shield glass 13 bonded with an epoxy-based adhesive 12 to provide the shield layer 11 is provided outside the shield layer 11. Is located. The injection port 14 provided in the shield glass 13 is closed by a glass lid 16 adhered by an epoxy adhesive 15. The counter electrode 7 is also in contact with the ITO film 2a provided on the surface of the glass plate 1.

【0052】比較例1 実施例1と全く同様にして有機EL素子を得、この有機
EL素子には保護層およびシールド層を設けなかった。
Comparative Example 1 An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1, and this organic EL device was not provided with a protective layer and a shield layer.

【0053】比較例2 実施例1と全く同様にして有機EL素子を得、この有機
EL素子には実施例1と全く同様にして保護層のみを設
けた。
Comparative Example 2 An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1, and this organic EL device was provided with only a protective layer exactly as in Example 1.

【0054】比較例3 実施例1と全く同様にして有機EL素子を得、この有機
EL素子の対向電極上に直接、実施例2と同様にしてエ
ポキシ系接着剤の硬化層を設けた。
Comparative Example 3 An organic EL device was obtained in exactly the same manner as in Example 1, and a cured layer of an epoxy-based adhesive was provided directly on the counter electrode of this organic EL device in the same manner as in Example 2.

【0055】寿命測定 実施例1,実施例2,参考例1および比較例1〜比較例
3で得られた各有機EL素子を大気中に7日間放置した
後、各試料に初期輝度が100cd/m2 になるように
直流電流を流し、この後、定電流(初期輝度が100c
d/m2 になった直流電流値)で一定時間ごとに輝度を
大気中で測定して、輝度が初期輝度の1/2になるのに
要する時間を試料毎に測定した。また、輝度が初期輝度
の1/2になった後も電流を流し続けて、輝度が0cd
/m2 になるまでの時間を測定し、この時間を素子の破
壊時間とした。なお輝度の測定は、その上に電子注入層
が設けられたITO膜を陽極とし、このITO膜上に正
孔注入層および発光層を介して設けられた対向電極を陰
極としてこの有機EL素子に直流電源から電流を流し続
け、有機EL素子からのEL光をフォトダイオードで光
電変換して得られた出力電圧の値から輝度を算出するこ
とで行った。測定結果を表1に示す。
Life Measurement The organic EL devices obtained in Example 1 , Example 2, Reference Example 1, and Comparative Examples 1 to 3 were allowed to stand in the air for 7 days. m 2, and then a constant current (initial luminance is 100c).
d / m 2 ), the luminance was measured in the air at regular intervals, and the time required for the luminance to become の of the initial luminance was measured for each sample. Also, the current continues to flow even after the luminance has become 1/2 of the initial luminance, and the luminance is 0 cd.
/ M 2 was measured, and this time was taken as the destruction time of the device. The luminance was measured by using an ITO film on which an electron injection layer was provided as an anode, and a counter electrode provided on the ITO film via a hole injection layer and a light emitting layer as a cathode. The current was continuously supplied from the DC power supply, and the luminance was calculated from the value of the output voltage obtained by photoelectrically converting the EL light from the organic EL element by the photodiode. Table 1 shows the measurement results.

【0056】[0056]

【表1】 [Table 1]

【0057】表1から明らかなように、本発明の方法に
より封止した実施例1,実施例2の有機EL素子は、比
較例1〜比較例3のいずれの有機EL素子よりも遥かに
長寿命であり、参考例1の有機EL素子に比べても明ら
かに長寿命である。
As is clear from Table 1, the organic EL devices of Examples 1 and 2 sealed by the method of the present invention are much longer than any of the organic EL devices of Comparative Examples 1 to 3. Life , which is clear even compared to the organic EL device of Reference Example 1.
Crab has a long life.

【0058】[0058]

【発明の効果】以上説明したように、本発明を実施する
ことにより、素子としての寿命の長い有機EL素子を提
供することが可能になり、これに伴って長寿命の有機E
Lデバイスを提供することも可能となる。
As described above, by practicing the present invention, it is possible to provide an organic EL device having a long lifetime as a device, and accordingly, a long-life organic EL device.
It is also possible to provide an L device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】は実施例3で用いた透明支持基板を模式的に示
す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a transparent support substrate used in Example 3.

【図2】は実施例3で得られた保護層付素子の断面を模
式的に示す図である。
FIG. 2 is a view schematically showing a cross section of the element with a protective layer obtained in Example 3.

【図3】は実施例3で最終的に得られた、封止まで施し
た有機EL素子を模式的に示す端面図である。
FIG. 3 is an end view schematically showing an organic EL element finally obtained in Example 3 and subjected to sealing.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ガラス板、 2a,2b…ITO膜、 3…透明支
持基板、 4…保護層付素子、 5…正孔注入層、 6
…発光層、 7…対向電極、 8…保護層、9…積層構
造体、10…封止まで施した有機EL素子、 11…シ
ールド層、12,15…エポキシ系接着剤、 13…シ
ールドガラス、 14…注入口、16…ガラス製の蓋。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass plate, 2a, 2b ... ITO film, 3 ... Transparent support substrate, 4 ... Element with a protective layer, 5 ... Hole injection layer, 6
... Light-emitting layer, 7 ... Counter electrode, 8 ... Protective layer, 9 ... Laminated structure, 10 ... Organic EL element that has been subjected to sealing, 11 ... Shield layer, 12, 15 ... Epoxy adhesive, 13 ... Shield glass, 14 ... injection port, 16 ... glass lid.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−267097(JP,A) 特開 平4−212287(JP,A) 特開 昭60−81797(JP,A) 実開 昭62−157095(JP,U) 実開 平3−37991(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05B 33/04──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-4-267097 (JP, A) JP-A-4-212287 (JP, A) JP-A-60-81797 (JP, A) 157095 (JP, U) Hikaru Hei 3-37991 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) H05B 33/04

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 互いに対向する2つの電極間に蛍光性の
有機固体からなる発光層が少なくとも介在してなる積層
構造体を基板上に有する有機EL素子における前記の積
層構造体の外表面に、前記の発光層の形成時から続く一
連の真空環境下で電気絶縁性高分子化合物からなる保護
層を設けた後、この保護層の外側に、電気絶縁性ガラ
ス,電気絶縁性高分子化合物および電気絶縁性気密流体
からなる群より選択される1つからなるシールド層を設
けることを特徴とする有機EL素子の封止方法。
1. An organic EL device having a laminated structure having at least a light-emitting layer made of a fluorescent organic solid interposed between two electrodes facing each other on an outer surface of the laminated structure in an organic EL device. One that continues from the time of forming the light emitting layer
After providing a protective layer made of an electrically insulating polymer compound in a continuous vacuum environment , outside the protective layer, select from a group consisting of an electrically insulating glass, an electrically insulating polymer compound, and an electrically insulating airtight fluid. A method for sealing an organic EL element, comprising providing a single shield layer.
【請求項2】 保護層を物理蒸着法または化学気相蒸着
法により設ける、請求項1に記載の有機EL素子の封止
方法。
2. The method according to claim 1, wherein the protective layer is formed by physical vapor deposition or chemical vapor deposition.
The method for sealing an organic EL element according to claim 1 , wherein the method is provided by a method.
【請求項3】 シルード層の材料として電気絶縁性ガラ
スまたは電気絶縁性高分子フィルムを用い、該電気絶縁
性ガラスまたは電気絶縁性高分子フィルムからなるシー
ルド層と有機EL素子との間に吸湿層を介在させる、
求項1または請求項2に記載の有機EL素子の封止方
法。
3. An electrically insulating glass as a material of a siled layer.
Or an electrically insulating polymer film
Made of conductive glass or electrically insulating polymer film
3. The method for sealing an organic EL element according to claim 1 , wherein a moisture absorbing layer is interposed between the shield layer and the organic EL element.
【請求項4】 シルード層の材料として電気絶縁性気密
液体を用い、該電気絶縁性気密液体からなるシールド層
内に吸湿材を混入させる、請求項1または請求項2に記
載の有機EL素子の封止方法。
4. An electrically insulating and airtight material as a material of a siled layer.
Shielding layer made of the electrically insulating airtight liquid using a liquid
The method according to claim 1 or 2, wherein a moisture absorbing material is mixed in the inside.
Sealing method of the organic EL element described above.
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