JP2531857B2 - Organic electroluminescent device - Google Patents

Organic electroluminescent device

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JP2531857B2
JP2531857B2 JP2336450A JP33645090A JP2531857B2 JP 2531857 B2 JP2531857 B2 JP 2531857B2 JP 2336450 A JP2336450 A JP 2336450A JP 33645090 A JP33645090 A JP 33645090A JP 2531857 B2 JP2531857 B2 JP 2531857B2
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正 楠本
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はエレクトロルミネッセンス素子やエレクトロ
ルミネッセンスランプ等のエレクトロルミネッセンスデ
バイスに係り、特に有機エレクトロルミネッセンスデバ
イスに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electroluminescence device such as an electroluminescence element or an electroluminescence lamp, and more particularly to an organic electroluminescence device.

[従来の技術] エレクトロルミネッセンス素子やエレクトロルミネッ
センスランプ等のエレクトロルミネッセンスデバイス
(以下、ELデバイスと総称する)は、自己発光性である
ために視認性が高く、また完全固体デバイスであるため
に耐衝撃性に優れるとともに取扱が容易である。このた
め、グラフィックディスプレイの画素やテレビ画像表示
装置の画素、あるいは面光源等としての研究開発および
実用化が進められている。
[Prior Art] Electroluminescence devices such as electroluminescence elements and electroluminescence lamps (hereinafter collectively referred to as EL devices) have high visibility because they are self-luminous, and shock resistance because they are completely solid-state devices. Excellent in handling and easy to handle. For this reason, research and development and practical application are being promoted as pixels for graphic displays, pixels for television image display devices, or surface light sources.

このようなELデバイスは、無機ELデバイスと有機ELデ
バイスとに大別することができる。
Such EL devices can be roughly classified into inorganic EL devices and organic EL devices.

無機ELデバイスには、例えば、ZnS等にMn等の活性剤
が添加された無機蛍光物質を透明誘電体中に分散させた
発光層を互いに対向する2つの電極(発光面側の電極は
透明電極)間に介在させた積層構造体を透明基板上に形
成してなる分散形のものや、無機蛍光物質からなる発光
層をSi3N4、Al2O3等からなる2層の透明無機絶縁層(誘
電層)により封止して2つの電極(発光面側の電極は透
明電極)間に介在させた積層構造体を透明基板上に形成
してなる3層薄膜形のもの等がある。そして、これらの
無機ELデバイス(LEDを含む)には通常、防湿あるいは
機械的保護を目的として、シリコーンオイルを介してガ
ラス板が設けられたり、樹脂からなる封止膜やガラスか
らなる保護膜が設けられたりしている。
In an inorganic EL device, for example, two light-emitting layers in which an inorganic fluorescent substance in which an activator such as Mn is added to ZnS are dispersed in a transparent dielectric are opposed to each other (the light-emitting surface side electrode is a transparent electrode). ) Dispersed type in which a laminated structure interposed between them is formed on a transparent substrate, or a two-layer transparent inorganic insulating layer made of Si 3 N 4 , Al 2 O 3 or the like having a light emitting layer made of an inorganic fluorescent substance. There is a three-layer thin film type in which a laminated structure which is sealed by a layer (dielectric layer) and is interposed between two electrodes (the electrode on the light emitting surface side is a transparent electrode) is formed on a transparent substrate. These inorganic EL devices (including LEDs) are usually provided with a glass plate via silicone oil, a sealing film made of resin or a protective film made of glass for the purpose of preventing moisture or mechanical protection. It is provided.

このような無機ELデバイスは、発光層に電場を印加し
て、電場により活性中心を直接励起するか、電場により
加速された電子により活性中心を励起して、励起された
活性中心が基底状態にもどるときに生じる発光を利用す
るものである。このため無機ELデバイスには、駆動電圧
として例えば200Vといった高電圧を要するといった難点
や、高電圧の印加に伴って駆動方法が複雑になるといっ
た難点がある。
In such an inorganic EL device, an electric field is applied to the light emitting layer to directly excite the active center by the electric field, or the active center is excited by electrons accelerated by the electric field, and the excited active center is in the ground state. It utilizes the light emission that occurs when returning. Therefore, the inorganic EL device has a drawback that a high voltage such as 200 V is required as a driving voltage, and that the driving method becomes complicated with the application of the high voltage.

一方、有機ELデバイスは、アントラセン等の蛍光性の
有機固体からなる発光層とトリフェニルアミン誘導体等
からなる正孔注入層、または発光層とペリレン誘導体等
からなる電子注入層、あるいは正孔注入層と発光層と電
子注入層とを、2つの電極(発光面側の電極は透明電
極)間に介在させた積層構造体を、一般に基板上に形成
してなる。
On the other hand, an organic EL device includes a light emitting layer made of a fluorescent organic solid such as anthracene and a hole injection layer made of a triphenylamine derivative, or an electron injection layer made of a light emitting layer and a perylene derivative, or a hole injection layer. In general, a laminated structure in which a light emitting layer and an electron injection layer are interposed between two electrodes (the light emitting surface side electrode is a transparent electrode) is formed on a substrate.

このような有機ELデバイスは、発光層に注入された電
子と正孔とが再結合するときに生じる発光を利用するも
のである。このため有機ELデバイスは、発光層の厚さを
薄くすることにより例えば4.5Vという低電圧での駆動が
可能で応答も早いといった利点や、輝度が注入電流に比
例するために高輝度のELデバイスを得ることができると
いった利点等を有している。また、発光層とする蛍光性
の有機固体の種類を変えることにより、青、緑、黄、赤
の可視域すべての色で発光が得られている。
Such an organic EL device utilizes the light emission generated when the electrons and holes injected into the light emitting layer are recombined. Therefore, the organic EL device has the advantage that it can be driven at a low voltage of 4.5 V and has a quick response by reducing the thickness of the light emitting layer, and the EL device with high brightness because the brightness is proportional to the injection current. It has the advantage of being able to obtain Further, by changing the kind of the fluorescent organic solid used as the light emitting layer, light emission is obtained in all colors of blue, green, yellow and red visible regions.

有機ELデバイスは、このような利点、特に低電圧での
駆動が可能であるという利点を有していることから、現
在、各種のデバイスとして研究開発が進められている。
Since the organic EL device has such advantages, in particular, the advantage that it can be driven at a low voltage, research and development are currently underway as various devices.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、有機ELデバイスの発光層の材料である
蛍光性の有機固体は機械的強度が低い他、熱、溶媒、水
分、酸素等に弱い。そして、発光層の一部が大気中に裸
出した状態でこの有機ELデバイスを駆動させると、発光
層の特性が急激に劣化するために、デバイスとしての寿
命が短いという問題が生じる。
[Problems to be Solved by the Invention] However, a fluorescent organic solid, which is a material for a light emitting layer of an organic EL device, has low mechanical strength and is vulnerable to heat, solvent, moisture, oxygen and the like. When this organic EL device is driven in a state where a part of the light emitting layer is exposed to the atmosphere, the characteristics of the light emitting layer are rapidly deteriorated, which causes a problem that the life of the device is short.

有機ELデバイスにおける発光層への水分や酸素の侵入
は、有機ELデバイスを構成する積層構造体、すなわち2
つの電極間に少なくとも発光層を介在させてなる積層構
造体を、適当な物質からなる保護膜で被覆することによ
り防止することができる。ここでいう適当な物質とは、
発光層の特性の劣化を防止するうえからは防湿性に優れ
るとともに酸素透過性に劣り、色の制限は特にないが、
保護膜を設けた面を発光面とする場合には透明であるこ
とが必要で、さらには電気絶縁性に優れた物質である。
The ingress of water and oxygen into the light emitting layer of the organic EL device is caused by the laminated structure of the organic EL device, that is, 2
It is possible to prevent this by covering a laminated structure in which at least a light emitting layer is interposed between two electrodes with a protective film made of an appropriate substance. The appropriate substance here is
From the viewpoint of preventing the deterioration of the characteristics of the light emitting layer, it is excellent in moisture resistance and inferior in oxygen permeability, and there is no particular limitation on color.
When the surface on which the protective film is provided is used as a light emitting surface, it needs to be transparent and is a substance having excellent electric insulation.

このような条件を満たす物質としては、Si3N4、Si
O2、Al2O3等の窒化物あるいは酸化物があり、これらの
物質からなる保護膜は物理的蒸着法や化学的蒸着法によ
り成膜することができるが、この場合には、発光層の材
料である蛍光性の有機固体の機械的熱的強度が低いため
に、蒸着により蛍光性の有機固体が物理的に損傷してし
まい、高輝度、高寿命の有機ELデバイスが得られなくな
る。また、上述の窒化物あるいは酸化物からなる保護膜
の熱膨張率と蛍光性の有機固体の熱膨張率とは大きく異
なるため、このような保護膜により積層構造体を被覆し
た場合には、熱膨張率の違いから保護膜にひび割れが生
じてしまい、十分な保護効果が得られない。
Materials that meet these conditions include Si 3 N 4 and Si
There are nitrides or oxides such as O 2 and Al 2 O 3, and a protective film made of these substances can be formed by a physical vapor deposition method or a chemical vapor deposition method. Since the fluorescent organic solid, which is the material of (1), has a low mechanical and thermal strength, the fluorescent organic solid is physically damaged by vapor deposition, and it becomes impossible to obtain an organic EL device having high brightness and long life. Further, since the coefficient of thermal expansion of the protective film made of the above-mentioned nitride or oxide is greatly different from the coefficient of thermal expansion of the fluorescent organic solid, when the laminated structure is coated with such a protective film, the thermal Due to the difference in expansion coefficient, the protective film is cracked, and a sufficient protective effect cannot be obtained.

また、積層構造体を適当な樹脂からなる封止膜やガラ
スからなる保護膜により被覆した場合には、これらの膜
を設ける際に用いる溶媒あるいは、これらの膜を設ける
際の熱により、発光層の材料である蛍光性の有機固体が
変性してしまうため、高輝度、高寿命の有機ELデバイス
が得られなくなる。なお、画素等として利用される有機
ELデバイスに適用可能な樹脂薄膜であって、前述の条件
を満たすものは、現在までのところ開発されていない。
When the laminated structure is covered with a sealing film made of an appropriate resin or a protective film made of glass, the light emitting layer may be heated by the solvent used when these films are provided or the heat when these films are provided. Since the fluorescent organic solid, which is the material of (3), is denatured, it becomes impossible to obtain an organic EL device with high brightness and long life. It should be noted that organic used as pixels, etc.
A resin thin film applicable to EL devices, which satisfies the above-mentioned conditions, has not been developed so far.

このように、有機ELデバイスにおける発光層の材料で
ある蛍光性の有機固体は水や酸素に弱く、かつ機械的強
度が低いことや熱あるいは溶媒に弱いことから、従来の
有機ELデバイスにおいては有機固体の特性を劣化させる
ことなく発光層への水分や酸素の侵入を防止することが
できず、デバイスの寿命が短いという問題点があった したがって本発明の目的は、画素等としても利用可能
な有機ELデバイスであって、長寿命のデバイスを製造す
ることが構造的に可能な有機ELデバイスを提供すること
にある。
As described above, the fluorescent organic solid, which is the material of the light emitting layer in the organic EL device, is weak against water and oxygen, and has low mechanical strength and is weak against heat or solvent. There is a problem in that moisture and oxygen cannot be prevented from entering the light emitting layer without deteriorating the characteristics of the solid and the life of the device is short. Therefore, the object of the present invention can be used as a pixel or the like. It is to provide an organic EL device that is structurally capable of manufacturing a long-life device.

[課題を解決するための手段] 本発明は上記目的を達成するためになされたものであ
り、本発明の有機ELデバイスは、互いに対向する2つの
電極間に蛍光性の有機固体からなる発光層が少なくとも
介在してなる積層構造体を有する有機エレクトロルミネ
ッセンスデバイス(有機ELデバイス)において、前記積
層構造体の外表面が、クロロトリフルオロエチレン単独
重合体、ジクロロジフルオロエチレン単独重合体、およ
びクロロトリフルオロエチレンとジクロロジフルオロエ
チレンとの共重合体からなる群より選択される少なくと
も1種の重合体であって、その分子量が400〜600000で
ある重合体を蒸着源とする蒸着法により成膜された1層
または複層構造のフッ素系高分子薄膜により被覆されて
いることを特徴とするものである。
[Means for Solving the Problems] The present invention has been made to achieve the above object, and an organic EL device of the present invention has a light emitting layer made of a fluorescent organic solid between two electrodes facing each other. In an organic electroluminescent device (organic EL device) having a laminated structure in which at least is interposed, the outer surface of the laminated structure has a chlorotrifluoroethylene homopolymer, a dichlorodifluoroethylene homopolymer, and chlorotrifluoro At least one polymer selected from the group consisting of copolymers of ethylene and dichlorodifluoroethylene, which is formed by a vapor deposition method using a polymer having a molecular weight of 400 to 600,000 as a vapor deposition source 1 It is characterized in that it is covered with a fluorine-containing polymer thin film having a layered or multi-layered structure.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の有機ELデバイスの特徴は、上述のように、こ
の有機ELデバイスを構成する積層構造体の外表面が特定
のフッ素系高分子薄膜により被覆さている点にあり、こ
れにより、発光層への水分や酸素の侵入を防止するもの
である。
The feature of the organic EL device of the present invention is that, as described above, the outer surface of the laminated structure constituting the organic EL device is covered with a specific fluorine-based polymer thin film. It prevents the ingress of water and oxygen.

このフッ素系高分子薄膜は、前述のように、クロロト
リフルオロエチレン の単独重合体、ジクロロジフルオロエチレン の単独重合体、およびクロロトリフルオロエチレンとジ
クロロジフルオロエチレンとの共重合体のいずれか1種
または複数種を蒸着源とする蒸着法により成膜されたも
のである。
This fluoropolymer thin film is, as described above, chlorotrifluoroethylene. Homopolymer of dichlorodifluoroethylene The homopolymer and the copolymer of chlorotrifluoroethylene and dichlorodifluoroethylene described above are used as a vapor deposition source to form a film.

ここで、蒸着源として共重合体を用いる場合、この共
重合体における共重合比は問わない。また、蒸着源の形
成は特に限定されるものではなく、粉末状、粒状、バル
ク状、ディスク状、ペレット状等、成膜する際に適用す
る蒸着法の種類に応じて適宜選択されるが、その分子量
は400以上600000以下に限定される。分子量が400未満で
は得られる薄膜の防湿性が十分でない。特に好ましい分
子量は1000〜500000である。
Here, when using a copolymer as a vapor deposition source, the copolymerization ratio in this copolymer does not matter. Further, the formation of the vapor deposition source is not particularly limited, and may be appropriately selected depending on the type of vapor deposition method applied at the time of film formation, such as powder, granular, bulk, disc, and pellet, Its molecular weight is limited to 400 or more and 600,000 or less. When the molecular weight is less than 400, the moisture resistance of the obtained thin film is not sufficient. A particularly preferred molecular weight is 1000-500000.

蒸着源として特に好ましい重合体はクロロトリフルオ
ロエチレン単独重合体であり、具体例としてはダイキン
工業(株)製のダイフロンCTFE(商品名)、3M社製のKe
l−F CTFE(商品名)等を挙げることができる。
A particularly preferable polymer as the vapor deposition source is chlorotrifluoroethylene homopolymer, and specific examples thereof include Daiflon CTFE (trade name) manufactured by Daikin Industries, Ltd. and Ke manufactured by 3M Company.
l-F CTFE (trade name) and the like can be mentioned.

このような蒸着源を用いて薄膜を成膜する際の蒸着方
法としては、真空蒸着法(蒸着重合法を含む)、スパッ
タ法、化学気相蒸着法(CVD法)等を適用することがで
きるが、特に、真空蒸着法またはスパッタ法を適用する
ことが好ましい。なお真空蒸着法およびスパッタ法は、
例えば以下のように細分することができるが、いずれの
手法であっても適用することができる。
As a vapor deposition method for forming a thin film using such a vapor deposition source, a vacuum vapor deposition method (including a vapor deposition polymerization method), a sputtering method, a chemical vapor deposition method (CVD method), or the like can be applied. However, it is particularly preferable to apply the vacuum deposition method or the sputtering method. The vacuum deposition method and sputtering method
For example, it can be subdivided as follows, but any method can be applied.

真空蒸着法 抵抗加熱法、電子ビーム加熱法、高周波誘導加熱法、
反応性蒸着、分子線エピタキシー法、ホットウォール蒸
着法、イオンプレーティング法、クラスターイオンビー
ム法等。
Vacuum evaporation method Resistance heating method, Electron beam heating method, High frequency induction heating method,
Reactive vapor deposition, molecular beam epitaxy, hot wall vapor deposition, ion plating, cluster ion beam method, etc.

スパッタ法 2極スパッタ法、2極マグネトロンスパッタ法、3極
および4極プラズマスパッタ法、反応性スパッタ法等。
Sputtering method 2-pole sputtering method, 2-pole magnetron sputtering method, 3-pole and 4-pole plasma sputtering method, reactive sputtering method, etc.

成膜条件は適用する蒸着法の種類により異なるが、例
えば真空蒸着法(抵抗加熱法、電子ビーム加熱法、高周
波誘導加熱法)の場合は、真空度を蒸着前真空度で1×
10-2Pa以下、好ましくは6×10-3Pa以下とし、蒸着源の
加熱温度を700℃以下、好ましくは600℃以下とし、蒸着
速度を50nm/秒以下、好ましくは3nm/秒以下とし、基板
温度を200℃以下、好ましくは100℃以下として成膜する
ことが望ましい。
The film forming conditions vary depending on the type of vapor deposition method to be applied. For example, in the case of a vacuum vapor deposition method (a resistance heating method, an electron beam heating method, a high frequency induction heating method), the degree of vacuum is 1 × the vacuum degree before vapor deposition.
10 −2 Pa or less, preferably 6 × 10 −3 Pa or less, the heating temperature of the vapor deposition source is 700 ° C. or less, preferably 600 ° C. or less, and the vapor deposition rate is 50 nm / sec or less, preferably 3 nm / sec or less, It is desirable to form the film at a substrate temperature of 200 ° C. or lower, preferably 100 ° C. or lower.

膜厚は、1nm以上、好ましくは10nm以上100μm以下と
する。膜厚を1nm未満とした場合には、均一な薄膜とな
らない。また膜厚が100μmを超える膜は作製に時間が
かかり、実用的でない。
The film thickness is 1 nm or more, preferably 10 nm or more and 100 μm or less. If the film thickness is less than 1 nm, it will not be a uniform thin film. Further, a film having a film thickness of more than 100 μm is not practical because it takes time to manufacture.

このようにしてフッ素系高分子薄膜を成膜した場合、
この薄膜の成膜に起因して発光層の材料である蛍光性の
有機固体の特性が劣化することはほとんどない。そし
て、このようにして得られるフッ素系高分子薄膜は、蒸
着源として使用した重合体と同様の重合体からなるピン
ホールのない薄膜であるため、薄膜化に伴う電気抵抗
率、絶縁破壊強度、防湿性等の低下が小さく、蒸着源と
して使用した重合体と同様に、電気抵抗率、絶縁破壊強
度、防湿性等に優れている。また、このフッ素系高分子
薄膜は透明であるため、発光層からの発色光に悪影響を
及ぼすことがなく、この薄膜により被覆されている面を
発光面として使用することもできる。
When the fluorine-based polymer thin film is formed in this way,
The characteristics of the fluorescent organic solid, which is the material of the light emitting layer, are hardly deteriorated due to the formation of this thin film. And, the fluorine-based polymer thin film thus obtained is a thin film without pinholes made of the same polymer as the polymer used as the vapor deposition source, so that the electrical resistivity, the dielectric breakdown strength, accompanying the thinning, The decrease in moisture proof property is small, and it is excellent in electrical resistivity, dielectric breakdown strength, moisture proof property, etc., like the polymer used as the vapor deposition source. Further, since the fluorine-based polymer thin film is transparent, it does not adversely affect the color light emitted from the light emitting layer, and the surface covered with the thin film can be used as the light emitting surface.

なお、このフッ素系高分子薄膜は1層構造でも十分に
その役割を果たすことができるが、必要に応じて2層以
上の複層構造としてもよい。複層構造とする場合、各層
の成分は同じであっても異なっていてもよい。
The fluorine-based polymer thin film can sufficiently fulfill its role even with a single-layer structure, but may have a multilayer structure of two or more layers as necessary. In the case of a multilayer structure, the components of each layer may be the same or different.

本発明の有機ELデバイスは、上述したフッ素系高分子
薄膜により積層構造体の外表面が被覆されている点に特
徴があり、他の部分の構造、形状、大きさ等は、有機EL
素子や有機ELランプ等の有機ELデバイスとして機能すれ
ば特に限定されるものではない。
The organic EL device of the present invention is characterized in that the outer surface of the laminated structure is covered with the above-mentioned fluoropolymer thin film, and the structure, shape, size, etc. of the other parts are
There is no particular limitation as long as it functions as an organic EL device such as an element or an organic EL lamp.

例えば、上述したフッ素系高分子薄膜により被覆され
る積層構造体の構成は、従来有機ELデバイスと同様に、
下記〜のいずれかの構成とすることができる。
For example, the structure of the laminated structure covered with the above-mentioned fluorine-based polymer thin film is similar to that of a conventional organic EL device,
The configuration can be any one of the following.

電極(陰極)/発光層/正孔注入層/電極(陽極) 電極(陽極)/発光層/電子注入層/電極(陰極) 電極(陽極)/正孔注入層/発光層/電子注入層/電
極(陰極) 電極(陽極または陰極)/発光層/電極(陰極または
陽極) そして、このような積層構造体は、通常、基板上に形
成されるが、基板および積層構造体の大きさ、形状、材
質等も、面光源、グラフィックディスプレイの画素、テ
レビ画像表示装置の画素等、目的とする有機ELデバイス
の用途に応じて適宜選択される。
Electrode (cathode) / luminescent layer / hole injection layer / electrode (anode) Electrode (anode) / luminescent layer / electron injection layer / electrode (cathode) Electrode (anode) / hole injection layer / luminescent layer / electron injection layer / Electrode (cathode) Electrode (anode or cathode) / light-emitting layer / electrode (cathode or anode) And such a laminated structure is usually formed on a substrate, and the size and shape of the substrate and the laminated structure. The material and the like are also appropriately selected according to the intended use of the organic EL device such as a surface light source, a pixel of a graphic display, a pixel of a television image display device, and the like.

本発明の有機ELデバイスのうち、積層構造体が基板上
に形成されてなる有機ELデバイスは、例えば以下の手順
にしたがって製造することができる。
Among the organic EL devices of the present invention, the organic EL device in which the laminated structure is formed on the substrate can be manufactured, for example, according to the following procedure.

1.基板上への第1の電極の形成 第1の電極の形成は、電極材料に応じて、真空蒸着
法、スパッタ法、CVD法、メッキ法、印刷法等の方法に
より行うことができる。
1. Formation of First Electrode on Substrate The first electrode can be formed by a method such as a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, a CVD method, a plating method, or a printing method depending on the electrode material.

このときの電極材料としては、金、銀、銅、アルミニ
ウム、インジウム、マグネシウム、ナトリウム、カリウ
ム等の導電性金属や、これらの導電性金属からなる例え
ばマグネシウムとインジウムとの混合物等の混合物の
他、ナトリウム−カリウム、マグネシウム−銅、スズ−
鉛、銀−スズ−鉛、ニッケル−クロム、ニッケル−クロ
ム−鉄、銅−マンガン−ニッケル、ニッケル−マンガン
−鉄、銅−ニッケル等の合金や、酸化第二スズ、酸化イ
ンジウム、酸化亜鉛、ITO(インジウムチンオキサイ
ド)等の酸化物や、沃化銅(CuI)等の化合物や、アル
ミニウム(Al)と酸化アルミニウム(Al2O3)の積層
物、合成樹脂と銀、シリコーンゴムと銀、銀含有硼珪酸
ガラス等の複合材料等、導電材料として従来より利用さ
れているものを使用することができる。
As the electrode material at this time, a conductive metal such as gold, silver, copper, aluminum, indium, magnesium, sodium, potassium or the like, or a mixture such as a mixture of magnesium and indium made of these conductive metals, Sodium-potassium, magnesium-copper, tin-
Alloys of lead, silver-tin-lead, nickel-chromium, nickel-chromium-iron, copper-manganese-nickel, nickel-manganese-iron, copper-nickel, etc., stannic oxide, indium oxide, zinc oxide, ITO Oxides such as (indium tin oxide), compounds such as copper iodide (CuI), laminates of aluminum (Al) and aluminum oxide (Al 2 O 3 ), synthetic resin and silver, silicone rubber and silver, silver A material that has been conventionally used as a conductive material, such as a composite material such as borosilicate glass, can be used.

第1の電極側(基板側)を発光面とする場合には、発
光層からの発光の透過率を高めるうえから、酸化第二ス
ズ、酸化インジウム、酸化亜鉛、ITO、CuI等の透明電極
材料を使用することが好ましい。また、その厚さは10nm
〜1μm、特に200nm以下であることが好ましく、これ
に伴って、この電極の成膜は真空蒸着法、スパッタ法あ
るいはCVD法により行うことが好ましい。
When the first electrode side (substrate side) is used as the light emitting surface, transparent electrode materials such as stannic oxide, indium oxide, zinc oxide, ITO and CuI are used in order to increase the transmittance of light emitted from the light emitting layer. Is preferably used. Also, its thickness is 10 nm
The thickness is preferably ˜1 μm, and particularly preferably 200 nm or less. Along with this, the film formation of this electrode is preferably performed by a vacuum deposition method, a sputtering method or a CVD method.

第1の電極は陽極でも陰極でもよく、陽極とする場合
には後述する第2の電極(対向電極)の材料よりも仕事
関数の大きい導電材料を使用することが好ましく、陰極
とする場合には仕事関数の小さい導電性材料を使用する
ことが好ましい。さらには、陽極材料の仕事関数は4eV
以上、陰極材料の仕事関数は4eV未満であることが好ま
しい。
The first electrode may be an anode or a cathode, and when it is used as an anode, it is preferable to use a conductive material having a work function larger than that of a material of a second electrode (counter electrode) described later. It is preferable to use a conductive material having a low work function. Furthermore, the work function of the anode material is 4 eV.
As described above, the work function of the cathode material is preferably less than 4 eV.

なお、第1の電極が形成される基板の材料としてはガ
ラス、プラスチック、石英、セラミックス等、従来と同
様のものを使用することができる。基板側を発光面とす
る場合には、透明材料を使用する。第1の電極の形成に
先立って、超音波洗浄法等により洗浄することが好まし
い。
As the material of the substrate on which the first electrode is formed, glass, plastic, quartz, ceramics and the like, which are the same as conventional ones, can be used. A transparent material is used when the substrate side is the light emitting surface. It is preferable that cleaning is performed by an ultrasonic cleaning method or the like before the formation of the first electrode.

また、有機ELデバイスを面光源として利用するにあた
っては、基板として導電性部材からなる基板を用いても
よく、この場合には基板を第1の電極とすることができ
る。
When using the organic EL device as a surface light source, a substrate made of a conductive member may be used as the substrate, and in this case, the substrate can be the first electrode.

2.第1の電極上への発光層の形成 発光層の形成は、真空蒸着法、スパッタ法、スピンコ
ート法、キャスト法等により行うことができるが、均質
かつ平滑な膜(層)で、しかもピンホールがない膜
(層)を得るためには、真空蒸着法により行うことが好
ましい。この発光層は、第1の電極上に直接形成しても
よいし、第1の電極上に正孔注入層または電子注入層を
介して形成してもよい。
2. Formation of Light-Emitting Layer on First Electrode The light-emitting layer can be formed by a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, a spin coating method, a casting method, etc., but with a homogeneous and smooth film (layer), Moreover, in order to obtain a film (layer) without pinholes, it is preferable to carry out by vacuum deposition. This light emitting layer may be formed directly on the first electrode, or may be formed on the first electrode via a hole injection layer or an electron injection layer.

発光層の材料としては、フタロペリノン誘導体、チア
ジアゾール誘導体、スチルベン誘導体、特開平2−1916
94号公報に開示されているクマリン誘導体、特開平2−
160894号公報や特開平2−209988号公報あるいは特開昭
63−295695号公報に開示されているジスチリルベンゼン
誘導体、キレート化オキシノイド化合物等、従来より有
機ELデバイスの発光層材料として利用されている蛍光性
の有機固体の中から、目的とする有機ELデバイスに要求
される発光色の種類や電気的、光学的特性、あるいは積
層構造体の層構成等に応じて適宜選択される。この発光
層の厚さは、5nm〜5μmであることが好ましい。
Examples of the material for the light emitting layer include phthaloperinone derivatives, thiadiazole derivatives, stilbene derivatives, and JP-A-2-1916.
Coumarin derivatives disclosed in JP-A-94-
JP 160894, JP-A 2-209988, and JP
The organic EL device of interest is selected from among the fluorescent organic solids conventionally used as the light emitting layer material of the organic EL device, such as the distyrylbenzene derivative and the chelated oxinoid compound disclosed in JP-A-63-295695. Is appropriately selected according to the type of emission color required, the electrical and optical characteristics, the layer structure of the laminated structure, and the like. The thickness of the light emitting layer is preferably 5 nm to 5 μm.

発光層と第1の電極との間に必要に応じて形成される
正孔注入層は、低い印加電圧の下でも多くの正孔を発光
層に注入して、有機ELデバイスの発光性能を向上させる
ために設けられる層である。したがって、この正孔注入
層の材料としては、従来と同様に、104〜106V/cmの下で
少なくとも10-6cm2/V・秒の正孔移動係数を有する物質
が好ましく、具体的には、トリフェニルアミン誘導体、
ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラ
ゾロン誘導体、アリールアミン誘導体、ヒドラゾン誘導
体、スチルベン誘導体、フェニレンジアミン誘導体等を
挙げることができる。
The hole injection layer, which is formed between the light emitting layer and the first electrode as needed, injects a large number of holes into the light emitting layer even under a low applied voltage to improve the light emitting performance of the organic EL device. This is a layer provided for the purpose. Therefore, as the material of the hole injection layer, a substance having a hole transfer coefficient of at least 10 −6 cm 2 / V · sec under 10 4 to 10 6 V / cm is preferable as in the conventional case. Specifically, a triphenylamine derivative,
Examples thereof include polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, arylamine derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, and phenylenediamine derivatives.

また、発光層と第1の電極との間に必要に応じて形成
される電子注入層は、低い印加電圧の下でも多くの電子
を発光層に注入して、有機ELデバイスの発光性能を向上
させるために設けられる層である。この電子注入層の材
料としては、ニトロ置換フルオレノン誘導体、アントラ
キノンジメタン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオ
ピランジオキシド誘導体、フルオレニリデンメタン誘導
体、アントロン誘導体、ジオキサゾール誘導体等、従来
より有機ELデバイスの電子注入層の材料として利用され
ている物質を使用することができる。
In addition, the electron injection layer, which is formed between the light emitting layer and the first electrode as needed, injects many electrons into the light emitting layer even under a low applied voltage, thereby improving the light emitting performance of the organic EL device. This is a layer provided for the purpose. Materials for this electron injection layer include nitro-substituted fluorenone derivatives, anthraquinone dimethane derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, fluorenylidene methane derivatives, anthrone derivatives, dioxazole derivatives, etc. The substances used as the material of the injection layer can be used.

なお、正孔注入層および電子注入層は電荷の注入性、
輸送性、障壁性のいずれかを有する層であり、上で例示
した有機材料の他に、Si系、SiC系、CdS系等の結晶性な
いし非結晶性材料等の無機材料を使用することもでき
る。
The hole injection layer and the electron injection layer have charge injecting properties,
It is a layer having either transportability or barrier properties, and in addition to the organic materials exemplified above, it is also possible to use an inorganic material such as a crystalline or non-crystalline material such as Si-based, SiC-based, CdS-based, etc. it can.

有機材料を用いた正孔注入層および電子注入層は発光
層と同様にして形成することができ、無機材料を用いた
正孔注入層および電子注入層は真空蒸着法やスパッタ法
等により形成することができるが、有機および無機のい
ずれの材料を用いた場合でも、発光層と同様の理由か
ら、真空蒸着法により形成することが好ましい。
The hole injecting layer and the electron injecting layer using an organic material can be formed in the same manner as the light emitting layer, and the hole injecting layer and the electron injecting layer using an inorganic material are formed by a vacuum deposition method or a sputtering method. However, for both organic and inorganic materials, the vacuum vapor deposition method is preferable for the same reason as for the light emitting layer.

3.発光層上への第2の電極(対向電極)の形成 第2の電極は第1の電極の形成と同様にして形成する
ことができるが、発光層への水分や酸素の侵入を防止す
るうえから、真空蒸着法、スパッタ法、またはCVD法に
より行うことが好ましい。この第2の電極は、発光層上
に直接形成してもよいし、発光層上に正孔注入層または
電子注入層を介して形成してもよい。ただし、発光層上
に正孔注入層を介して形成する場合には、第1の電極と
発光層との間に正孔注入層が介在していないことを前提
とし、発光層上に電子注入層を介して形成する場合に
は、第1の電極と発光層との間に電子注入層が介在して
いないことを前提とする。
3. Formation of the second electrode (counter electrode) on the light emitting layer The second electrode can be formed in the same manner as the formation of the first electrode, but prevents entry of moisture and oxygen into the light emitting layer. For this reason, it is preferable to perform the vacuum evaporation method, the sputtering method, or the CVD method. This second electrode may be formed directly on the light emitting layer, or may be formed on the light emitting layer via a hole injection layer or an electron injection layer. However, when the light-emitting layer is formed with a hole injection layer interposed therebetween, it is assumed that the hole injection layer is not interposed between the first electrode and the light-emitting layer, and the electron injection is performed on the light-emitting layer. In the case of formation through a layer, it is assumed that no electron injection layer is interposed between the first electrode and the light emitting layer.

そして、第2の電極を発光層上に直接形成する場合に
は、真空蒸着法により形成することが好ましい。
When the second electrode is formed directly on the light emitting layer, it is preferable to form the second electrode by a vacuum evaporation method.

第2の電極の材料としては、第1の電極と同様の材料
を用いることができるが、第1の電極を陽極とした場合
には陰極とし、第1の電極を陰極とした場合に陽極とす
るのに伴って、その材料を適宜選択する。
As the material of the second electrode, the same material as that of the first electrode can be used, but when the first electrode is the anode, it is the cathode, and when the first electrode is the cathode, it is the anode. Therefore, the material is appropriately selected.

第2の電極と発光層との間に必要に応じて形成される
正孔注入層または電子注入層の材料は前述した通りであ
るが、その形成方法は、発光層を設けるときと同じ理由
から、真空蒸着法が好ましい。
The material of the hole injection layer or the electron injection layer formed as needed between the second electrode and the light emitting layer is as described above, but the forming method is the same as when the light emitting layer is provided. Preferably, a vacuum deposition method is used.

第2の電極(対向電極)を形成したことで、基板上へ
積層構造体が形成されたことになる。
By forming the second electrode (counter electrode), a laminated structure is formed on the substrate.

4.積層構造体の外表面を被覆するフッ素系高分子薄膜の
形成 本発明の有機ELデバイスにおける特徴部分の形成であ
り、その材料および形成方法は前述した通りである。
4. Formation of Fluorine-Based Polymer Thin Film Covering Outer Surface of Laminated Structure This is formation of a characteristic part in the organic EL device of the present invention, and its material and forming method are as described above.

このフッ素系高分子薄膜を形成したことで、本発明の
有機ELデバイスの製造が基本的に終了すが、本発明の有
機ELデバイスは、発光層への水分や酸素の侵入の防止を
更に十分なものとすることやデバイスの機械的保護等を
目的として、従来の無機ELデバイスのように、フッ素系
高分子薄膜の外側にシリコーンオイルを介してガラス板
を設けたり、フッ素系高分子薄膜の外周にエポキシ樹脂
等の樹脂からなる封止膜やガラスからなる保護膜を設け
たりしてもよい。
By forming this fluorine-based polymer thin film, the production of the organic EL device of the present invention is basically completed, but the organic EL device of the present invention further sufficiently prevents the ingress of water and oxygen into the light emitting layer. In order to improve the mechanical properties of the device and to protect the device, a glass plate is placed on the outside of the fluorine-based polymer thin film via silicone oil, or a fluorine-based polymer thin film is used. A sealing film made of resin such as epoxy resin or a protective film made of glass may be provided on the outer periphery.

[作 用] 上述のようにして製造することができる本発明の有機
ELデバイスにおいては、発光層の材料である蛍光性の有
機固体の特性を劣化させることなく前述した特性を有す
るフッ素系高分子薄膜を成膜することができる。また、
このフッ素系高分子薄膜を発生層の形成方法とは異なる
形成方法あるいは成膜装置により成膜した場合でも、発
光層が大気中に裸出している時間を比較的短くして製造
することが可能であるため、製造過程において水分や酸
素が発光層へ侵入するのを十分に防止することができ
る。
[Operation] The organic material of the present invention that can be produced as described above.
In the EL device, the fluoropolymer thin film having the above-mentioned characteristics can be formed without degrading the characteristics of the fluorescent organic solid that is the material of the light emitting layer. Also,
Even when this fluorine-based polymer thin film is formed by a forming method or film forming apparatus different from the forming method of the generation layer, it is possible to manufacture the light emitting layer with a relatively short exposure time in the atmosphere. Therefore, it is possible to sufficiently prevent moisture and oxygen from entering the light emitting layer in the manufacturing process.

そして、本発明の有機EL素子において積層構造体を被
覆するフッ素系高分子薄膜は電気抵抗率、絶縁破壊強
度、防湿性等に優れているため、製造後においても、ま
た有機ELデバイスの駆動時においても、発光層への水分
や酸素の侵入を十分に防止することができる。
And, since the fluorine-based polymer thin film coating the laminated structure in the organic EL element of the present invention is excellent in electrical resistivity, dielectric breakdown strength, moisture resistance, etc., even after manufacturing, when driving the organic EL device. Also, in this case, it is possible to sufficiently prevent moisture and oxygen from entering the light emitting layer.

さらに、基板上への積層構造体の形成方法およびフッ
素系高分子薄膜の成膜方法として真空蒸着法を適用する
ことにより、積層構造体の形成およびフッ素系高分子薄
膜の成膜を1つの蒸着装置内で連続して行うことが可能
となり、この場合には各層の界面が水分や酸素と触れな
いため、より高寿命の有機ELデバイスを得ることができ
る。
Furthermore, by applying a vacuum deposition method as a method for forming a laminated structure and a method for forming a thin film of a fluorine-based polymer on a substrate, the formation of the laminated structure and the film formation of a thin film of a fluorine-based polymer can be performed by one vapor deposition. It becomes possible to continuously perform in the apparatus, and in this case, the interface of each layer does not come into contact with moisture or oxygen, so that an organic EL device having a longer life can be obtained.

積層構造体の外表面が、発光層の特性を劣化させるこ
となく設けられた上述のフッ素系高分子薄膜で被覆され
ている本発明の有機ELデバイスにおいては、デバイスの
製造過程で発光層の特性が劣化することを十分に防止す
ることが可能であるとともに、製造後においても発光層
の特性の劣化が十分に防止される。
In the organic EL device of the present invention in which the outer surface of the laminated structure is covered with the above-mentioned fluorine-based polymer thin film provided without deteriorating the properties of the light emitting layer, the characteristics of the light emitting layer are produced in the process of manufacturing the device. It is possible to sufficiently prevent deterioration of the light emitting layer, and it is possible to sufficiently prevent deterioration of the characteristics of the light emitting layer even after manufacturing.

すなわち、本発明の有機ELデバイスは画素等としても
利用可能な有機ELデバイスであって、長寿命のデバイス
を得ることが構造的に可能な有機ELデバイスである。
That is, the organic EL device of the present invention is an organic EL device that can also be used as a pixel or the like, and is an organic EL device that is structurally capable of obtaining a device having a long life.

[実施例] 以下、本発明の実施例について図面を用いて説明す
る。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

実施例1 25×75×1.1mmの大きさのガラス板上に膜厚100nmのIT
O電極が成膜されたもの(HOYA(株)製)を透明支持基
板として用い、まず、この透明支持基板をイソプロピル
アルコールで30分間超音波洗浄した後、純水で30分間洗
浄し、さらにイソプロピルアルコールで30分間超音波洗
浄した。
Example 1 IT having a thickness of 100 nm was formed on a glass plate having a size of 25 × 75 × 1.1 mm.
An O-electrode-deposited film (manufactured by HOYA Co., Ltd.) was used as a transparent support substrate. First, this transparent support substrate was ultrasonically cleaned with isopropyl alcohol for 30 minutes, then with pure water for 30 minutes, and then with isopropyl Sonicated with alcohol for 30 minutes.

次いで、洗浄後の透明支持基板を市販の真空蒸着装置
(日本真空技術(株)製)の基板ホルダーに固定し、モ
リブデン製抵抗加熱ボートに正孔注入層の材料としてN,
N′−ジフェニル−N,N′−ビス−(3−メチルフェニ
ル)−(1,1′−ビフェニル)−4,4′−ジアミン(以
下、TPDAという)を200mg入れ、他のモリブデン製抵抗
加熱ボートに発光層の材料としてトリス(8−キノリノ
ール)アルミニウム(以下、Alq.という)を200mg入れ
て、真空チャンバー内を1×10-4Paまで減圧した。
Then, the transparent supporting substrate after cleaning was fixed to a substrate holder of a commercially available vacuum vapor deposition device (manufactured by Nippon Vacuum Technology Co., Ltd.), and a molybdenum resistance heating boat was filled with N, as a material for the hole injection layer.
Add 200 mg of N'-diphenyl-N, N'-bis- (3-methylphenyl)-(1,1'-biphenyl) -4,4'-diamine (hereinafter referred to as TPDA) and use other molybdenum resistance heating 200 mg of tris (8-quinolinol) aluminum (hereinafter referred to as Alq.) Was put into the boat as a material for the light emitting layer, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 1 × 10 −4 Pa.

この後、TPDAを入れたモリブデン製抵抗加熱ボートを
215〜220℃まで加熱して、透明支持基板を構成するITO
膜上に0.1〜0.3nmの蒸着速度でTPDAを堆積させて、膜厚
60nmの正孔注入層を成膜した。このときの基板温度は室
温であった。
After this, put a molybdenum resistance heating boat containing TPDA.
ITO that forms a transparent support substrate by heating to 215-220 ℃
TPDA is deposited on the film at a deposition rate of 0.1 to 0.3 nm to obtain a film thickness.
A 60 nm hole injection layer was formed. At this time, the substrate temperature was room temperature.

次いで、正孔注入層が成膜された透明支持基板を基板
ホルダーに固定したまま、Alq.を入れたモリブデン製抵
抗加熱ボートを265〜273℃まで加熱して、正孔注入層上
に0.1〜0.2nmの蒸着速度でAlq.を堆積させて、膜厚60nm
の発光層を成膜した。このときの基板温度も室温であっ
た。
Next, while keeping the transparent support substrate on which the hole injection layer was formed on the substrate holder, a molybdenum resistance heating boat containing Alq. Was heated to 265 to 273 ° C. Alq. Is deposited at a deposition rate of 0.2 nm to obtain a film thickness of 60 nm.
Was formed into a light emitting layer. The substrate temperature at this time was also room temperature.

次に、モリブデン製抵抗加熱ボートに電極材料として
マグネシウムを1g入れ、他のモリブデン製抵抗加熱ボー
トに電極材料としてインジウムを500mg入れて、真空チ
ャンバー内を2×10-4Paまで減圧した。
Next, 1 g of magnesium was placed as an electrode material in a resistance heating boat made of molybdenum, and 500 mg of indium was placed as an electrode material in another resistance heating boat made of molybdenum, and the pressure in the vacuum chamber was reduced to 2 × 10 −4 Pa.

次いで、マグネシウムを入れたモリブデン製抵抗加熱
ボートを500℃程度に、またインジウムを入れたモリブ
デン製抵抗加熱ボートを800℃程度にそれぞれ加熱し
て、発光層上に1.7〜2.8nmの蒸着速度でマグネシウム
を、また同時に0.03〜0.08nmの蒸着速度でインジウムを
それぞれ堆積させて、マグネシウムとインジウムとの混
合金属からなる膜厚150nmの電極(対向電極)を成膜し
た。このときの基板温度も室温であった。
Next, the resistance heating boat made of molybdenum containing magnesium is heated to about 500 ° C, and the resistance heating boat made of molybdenum containing indium is heated to about 800 ° C, respectively, and magnesium is deposited on the light emitting layer at a deposition rate of 1.7 to 2.8 nm. And at the same time, indium was deposited at a vapor deposition rate of 0.03 to 0.08 nm to form a 150 nm thick electrode (counter electrode) made of a mixed metal of magnesium and indium. The substrate temperature at this time was also room temperature.

この後、ガラス板上に形成されたITO電極、正孔注入
層、発光層、および対向電極からなる積層構造体の外表
面を、積層構造体の形成に用いた真空蒸着装置と同じ装
置を用いて以下の要領でフッ素系高分子薄膜により被覆
した。
After that, the outer surface of the laminated structure composed of the ITO electrode, the hole injection layer, the light emitting layer, and the counter electrode formed on the glass plate was formed using the same device as the vacuum vapor deposition device used for forming the laminated structure. And coated with a fluoropolymer thin film in the following manner.

まず、第1図に示すように、真空蒸着装置1を構成す
る真空チャンバー2内に配設されているタングステン製
のバスケット抵抗加熱体3に、蒸着源として市販のクロ
ロトリフルオロエチレン単独重合体(商品名:Kel−F、
3M社製、分子量100000、以下PCTFEという)1.5gを収容
したアルミナ製坩堝4を入れ、このアルミナ製坩堝4の
上に12μmφのステンレス製メッシュ5をかぶせた。
First, as shown in FIG. 1, a tungsten basket resistance heater 3 disposed in a vacuum chamber 2 constituting a vacuum vapor deposition apparatus 1 was placed on a commercially available chlorotrifluoroethylene homopolymer ( Product name: Kel-F,
An alumina crucible 4 containing 1.5 g of 3M, molecular weight 100000, hereinafter referred to as PCTFE) was placed, and a 12 μmφ stainless steel mesh 5 was placed on the alumina crucible 4.

また、積層構造体を形成した後の透明支持基板6を、
タングステン製のバスケット抵抗加熱体3の上方にシャ
ッター7を介して配置した。
In addition, the transparent support substrate 6 after forming the laminated structure,
It was arranged above the tungsten basket resistance heating element 3 via a shutter 7.

次いで、真空チャンバー2内を1×10-4Paまで減圧し
た後、タングステン製のバスケット抵抗加熱体3に通電
して蒸着源を478℃に加熱して、積層構造体の外表面に
0.5nm/秒の蒸着速度で膜厚1.2μmのフッ素系高分子薄
膜(PCTFE薄膜)を成膜して、本発明の有機ELデバイス
を得た。このときの基板温度も室温であった。
Next, after decompressing the inside of the vacuum chamber 2 to 1 × 10 −4 Pa, the tungsten basket resistance heating element 3 is energized to heat the vapor deposition source to 478 ° C.
A 1.2 μm thick fluoropolymer thin film (PCTFE thin film) was deposited at a deposition rate of 0.5 nm / sec to obtain an organic EL device of the present invention. The substrate temperature at this time was also room temperature.

なお、ITO電極を除く各層の膜厚および蒸着速度は、
真空チャンバー2内に配置されている水晶振動式膜厚計
(日本真空技術(株)製)8により蒸着膜の膜厚をモニ
ターしながら制御した。また、得られた各層の膜厚は触
針式膜厚計で測定し、水晶振動式膜厚計8の読みと一致
することを確認した。なお水晶振動式膜厚計8には、こ
の水晶振動式膜厚計8を冷却するための冷却水用管を内
包した支持具9が配設されており、この支持具9は、真
空チャンバー2の外側に配置されている支持壁10により
支持されている。
The film thickness and vapor deposition rate of each layer except the ITO electrode are
Control was performed while monitoring the film thickness of the vapor deposition film by a crystal vibration type film thickness meter (manufactured by Nippon Vacuum Technology Co., Ltd.) 8 arranged in the vacuum chamber 2. Further, the film thickness of each layer obtained was measured with a stylus type film thickness meter, and it was confirmed that the film thickness was in agreement with the reading of the crystal vibration type film thickness meter 8. The crystal vibrating film thickness meter 8 is provided with a support 9 containing a cooling water pipe for cooling the crystal vibrating film thickness meter 8. The support 9 is a vacuum chamber 2 It is supported by a support wall 10 arranged on the outer side of.

実施例2 PCTFE薄膜の膜厚を400nm(0.4μm)とした以外は実
施例1と同様にして、本発明の有機ELデバイスを得た。
Example 2 An organic EL device of the present invention was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the PCTFE thin film was 400 nm (0.4 μm).

比較例 PCTFE薄膜を成膜しなかった以外は実施例1と同様に
して、有機ELデバイスを得た。
Comparative Example An organic EL device was obtained in the same manner as in Example 1 except that the PCTFE thin film was not formed.

有機ELデバイスの寿命試験 実施例1、実施例2、および比較例で得られた各有機
ELデバイスを大気中に2日間放置した後、各資料に一定
値の直流電流(1.0mA)を流し続けて、一定時間ごとに
輝度および印加電圧を大気中で測定した。
Life test of organic EL devices Organics obtained in Example 1, Example 2, and Comparative Example
After leaving the EL device in the atmosphere for 2 days, a constant value of direct current (1.0 mA) was continuously applied to each sample, and the brightness and the applied voltage were measured in the atmosphere at regular intervals.

これらの結果のうち輝度の測定結果を第2a図に、また
印加電圧の測定結果を第2b図に示す。
Of these results, the measurement result of the luminance is shown in FIG. 2a, and the measurement result of the applied voltage is shown in FIG. 2b.

なお輝度の測定は、第3図に示すように、有機ELデバ
イス20の基板21表面に設けられたITO電極22を陽極と
し、ITO電極22上に正孔注入層23および発光層24を介し
て設けられた対向電極25を陰極として、この有機ELデバ
イス20に電流発生器26から電流を流し続け、有機ELデバ
イス20からの光Lをフォドダイオード27で光電変換し
て、このフォトダイオード27からの出力電圧の値から相
対輝度を算出することで行った。また印加電圧の測定
は、第3図に示したように、電圧計28により経時的に行
った。なお、第3図に示した有機ELデバイス20において
は、ITO電極22、正孔注入層23、発光層24、および対向
電極25からなる積層構造体の外表面はPCTFE薄膜29によ
り被覆されている。
In addition, as shown in FIG. 3, the measurement of the brightness is performed by using the ITO electrode 22 provided on the surface of the substrate 21 of the organic EL device 20 as an anode, and through the hole injection layer 23 and the light emitting layer 24 on the ITO electrode 22. The counter electrode 25 provided is used as a cathode, and a current is continuously supplied from the current generator 26 to the organic EL device 20, and the light L from the organic EL device 20 is photoelectrically converted by the photodiode 27, and the light is emitted from the photodiode 27. It was carried out by calculating the relative luminance from the value of the output voltage of. The applied voltage was measured with a voltmeter 28 over time, as shown in FIG. In the organic EL device 20 shown in FIG. 3, the outer surface of the laminated structure including the ITO electrode 22, the hole injection layer 23, the light emitting layer 24, and the counter electrode 25 is covered with the PCTFE thin film 29. .

第2a図および第2b図から明らかなように、実施例1お
よび実施例2で得られた本発明の有機ELデバイスの寿命
は、発光層の一部が大気中に裸出している比較例の有機
ELデバイスの寿命に比べて圧倒的に長い。このことか
ら、PCTFE薄膜により水分や酸素の発光層への侵入が防
止されていることがわかる。
As is clear from FIGS. 2a and 2b, the lifetime of the organic EL devices of the present invention obtained in Example 1 and Example 2 is the same as that of the comparative example in which a part of the light emitting layer is exposed in the atmosphere. Organic
Overwhelmingly longer than the life of EL devices. This shows that the PCTFE thin film prevents moisture and oxygen from entering the light emitting layer.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明を実施することにより、
デバイスとしての寿命の長い有機ELデバイスを提供する
ことが可能になる。
[Effects of the Invention] As described above, by carrying out the present invention,
It becomes possible to provide an organic EL device having a long life as a device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は実施例1で用いた真空蒸着装置を示す概略図で
あり、第2a図は実施例1、実施例2、および比較例で得
られた各有機ELデバイスに一定値の電流を流し続けたと
きの輝度を経時的に測定した結果を示すグラフ、第2b図
は実施例1、実施例2、および比較例で得られた各有機
ELデバイスに一定値の電流を流し続けたときの印加電圧
を経時的に測定した結果を示すグラフ、第3図は実施例
1、実施例2、および比較例で得られた各有機ELデバイ
スに一定値の電流を流し続けたときの輝度および印加電
圧を経時的に測定するために用いた装置の概略図であ
る。 20……有機ELデバイス、21……基板、22……ITO電極、2
3……正孔注入層、24……発光層、25……対向電極、29
……PCTFE薄膜。
FIG. 1 is a schematic diagram showing the vacuum vapor deposition apparatus used in Example 1, and FIG. 2a is a diagram showing a constant current flowing through each of the organic EL devices obtained in Example 1, Example 2 and Comparative Example. FIG. 2b is a graph showing the result of time-dependent measurement of the luminance when continued, and FIG. 2b shows each organic material obtained in Example 1, Example 2 and Comparative Example.
FIG. 3 is a graph showing the results of measuring the applied voltage with time when a constant value of current was continuously applied to the EL device, and FIG. 3 shows the organic EL devices obtained in Example 1, Example 2 and Comparative Example. FIG. 3 is a schematic view of an apparatus used to measure luminance and applied voltage over time when a constant current is continuously supplied. 20 …… Organic EL device, 21 …… Substrate, 22 …… ITO electrode, 2
3 …… Hole injection layer, 24 …… Light emitting layer, 25 …… Counter electrode, 29
...... PCTFE thin film.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】互いに対向する2つの電極間に蛍光性の有
機固体からなる発光層が少なくとも介在してなる積層構
造体を有する有機エレクトロルミネッセンスデバイスに
おいて、 前記積層構造体の外表面が、クロロトリフルオロエチレ
ン単独重合体、ジクロロジフルオロエチレン単独重合
体、およびクロロトリフルオロエチレンとジクロロジフ
ルオロエチレンとの共重合体からなる群より選択される
少なくとも1種の重合体であって、その分子量が400〜6
00000である重合体を蒸着源とする蒸着法により成膜さ
れた1層または複層構造のフッ素系高分子薄膜により被
覆されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッ
センスデバイス。
1. An organic electroluminescent device having a laminated structure in which at least a light emitting layer made of a fluorescent organic solid is interposed between two electrodes facing each other, wherein the outer surface of the laminated structure is chlorotritin. At least one polymer selected from the group consisting of fluoroethylene homopolymer, dichlorodifluoroethylene homopolymer, and copolymer of chlorotrifluoroethylene and dichlorodifluoroethylene, having a molecular weight of 400 to 6
An organic electroluminescent device characterized by being coated with a fluorine-containing polymer thin film having a single-layer or multi-layer structure, which is formed by an evaporation method using a polymer of 00000 as an evaporation source.
【請求項2】フッ素系高分子薄膜の膜厚が、1nm以上100
μm以下である、請求項1記載の有機エレクトロルミネ
ッセンスデバイス。
2. The thickness of the fluoropolymer thin film is 1 nm or more and 100.
The organic electroluminescent device according to claim 1, which has a thickness of not more than μm.
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