JP2808216B2 - 超音波洗浄槽内の音場評価方法 - Google Patents
超音波洗浄槽内の音場評価方法Info
- Publication number
- JP2808216B2 JP2808216B2 JP4242735A JP24273592A JP2808216B2 JP 2808216 B2 JP2808216 B2 JP 2808216B2 JP 4242735 A JP4242735 A JP 4242735A JP 24273592 A JP24273592 A JP 24273592A JP 2808216 B2 JP2808216 B2 JP 2808216B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sound field
- cleaning tank
- sample
- ultrasonic
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属表面へのめっきや
塗装工程での脱脂等の前処理、半導体製造における洗浄
処理、あるいは医薬品や食器等の洗浄などに利用される
超音波洗浄機において、洗浄槽内の音場の分布を評価す
る方法に関する。
塗装工程での脱脂等の前処理、半導体製造における洗浄
処理、あるいは医薬品や食器等の洗浄などに利用される
超音波洗浄機において、洗浄槽内の音場の分布を評価す
る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の超音波洗浄機は、基本的には図
４に示すように、洗浄槽１と、この洗浄槽１の底壁１ａ
下面に定着され図示しない発振部により駆動される超音
波振動子２と、洗浄槽１を支持する基台３と、洗浄槽１
の底部に開設されたドレイン４とを備えている。洗浄槽
１内に注入した洗浄液５中に洗浄対象物を浸し、超音波
振動子２を励振させて洗浄液５に超音波の音場を形成す
ることにより、洗浄対象物Ｗの表面に付着した油脂等の
汚染物が剥離除去される。
４に示すように、洗浄槽１と、この洗浄槽１の底壁１ａ
下面に定着され図示しない発振部により駆動される超音
波振動子２と、洗浄槽１を支持する基台３と、洗浄槽１
の底部に開設されたドレイン４とを備えている。洗浄槽
１内に注入した洗浄液５中に洗浄対象物を浸し、超音波
振動子２を励振させて洗浄液５に超音波の音場を形成す
ることにより、洗浄対象物Ｗの表面に付着した油脂等の
汚染物が剥離除去される。
【０００３】洗浄液５内に放射される超音波の音場によ
る洗浄力は、次のような作用によるものと考えられる。
すなわち、洗浄槽１内における洗浄液５は、超音波振動
子２から放射される超音波の半波長もしくはその整数倍
に相当する液位Ｈまで注入した場合、この洗浄液５に放
射されて液面５ａと底壁１ａとの間で反射を繰り返す超
音波の位相が互いに一致すると定在波となり、洗浄液５
には、定在波の腹に相当する部分で変位が最大、節に相
当する部分で音圧の変化が最大となるような音場が分布
する。
る洗浄力は、次のような作用によるものと考えられる。
すなわち、洗浄槽１内における洗浄液５は、超音波振動
子２から放射される超音波の半波長もしくはその整数倍
に相当する液位Ｈまで注入した場合、この洗浄液５に放
射されて液面５ａと底壁１ａとの間で反射を繰り返す超
音波の位相が互いに一致すると定在波となり、洗浄液５
には、定在波の腹に相当する部分で変位が最大、節に相
当する部分で音圧の変化が最大となるような音場が分布
する。
【０００４】したがって、音波の節となる部分では媒質
（洗浄液）の変位は零であるが、波の傾きが正となった
部分では媒質が膨張され、音圧が負となるので、媒質が
引き裂かれて空洞もしくは瞬間的な沸騰現象による気泡
が生じ（キャビテーションという）、次の半周期で波の
傾きが負になることによって、音圧が負から正へ変化す
る瞬間に空洞あるいは気泡が消滅し、このときに、洗浄
対象物Ｗの表面の汚染物質に対する強烈な破壊作用や剥
離作用を生じる。また、音波の腹となる部分では、媒質
の音圧は殆ど変化しないが、振動変位が大きいことか
ら、これによる摩擦や攪拌現象も洗浄力として有効に作
用すると考えられる。そしてこのような音場の強さや分
布は、液位Ｈ及び周波数によって異なることから、洗浄
を効率的に行うには、音場の分布を予め評価することが
必要になる。
（洗浄液）の変位は零であるが、波の傾きが正となった
部分では媒質が膨張され、音圧が負となるので、媒質が
引き裂かれて空洞もしくは瞬間的な沸騰現象による気泡
が生じ（キャビテーションという）、次の半周期で波の
傾きが負になることによって、音圧が負から正へ変化す
る瞬間に空洞あるいは気泡が消滅し、このときに、洗浄
対象物Ｗの表面の汚染物質に対する強烈な破壊作用や剥
離作用を生じる。また、音波の腹となる部分では、媒質
の音圧は殆ど変化しないが、振動変位が大きいことか
ら、これによる摩擦や攪拌現象も洗浄力として有効に作
用すると考えられる。そしてこのような音場の強さや分
布は、液位Ｈ及び周波数によって異なることから、洗浄
を効率的に行うには、音場の分布を予め評価することが
必要になる。
【０００５】従来、洗浄槽１内での音場の分布パターン
を評価する方法としては、アルミ箔穿孔法によるものが
一般的に行われている。この方法は、図５に示すよう
に、ワイヤなどの方形枠６に厚さが１０乃至２０μｍ程
度の薄いアルミ箔７を張り付けたものを、洗浄槽１内に
充填した液体Ｌに浸漬し、この液体Ｌに超音波を放射す
ると、振動エネルギーの大きな部分ではアルミニウム箔
７が破断して穿孔７ａが形成されるので、この穿孔７ａ
の分布パターンから音場のエネルギー分布を把握するこ
とができる。
を評価する方法としては、アルミ箔穿孔法によるものが
一般的に行われている。この方法は、図５に示すよう
に、ワイヤなどの方形枠６に厚さが１０乃至２０μｍ程
度の薄いアルミ箔７を張り付けたものを、洗浄槽１内に
充填した液体Ｌに浸漬し、この液体Ｌに超音波を放射す
ると、振動エネルギーの大きな部分ではアルミニウム箔
７が破断して穿孔７ａが形成されるので、この穿孔７ａ
の分布パターンから音場のエネルギー分布を把握するこ
とができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
アルミ箔穿孔法によると、以下に列挙するような問題が
ある。 (1) アルミ箔７には、音場エネルギーにより穿孔７ａと
共に多数の皺７ｂも同時に形成され、また、薄い箔の取
扱いが困難なため評価作業中に音場によらない多数の皺
が発生する。このアルミ箔を直接顧客に見せる場合の不
便を避けるため、これを複写機等で複写したものを資料
とする場合が多いが、この場合皺７ｂも穿孔７ａと同様
に複写されてしまうことになり、この複写後の資料から
的確な評価を行うことが困難である。
アルミ箔穿孔法によると、以下に列挙するような問題が
ある。 (1) アルミ箔７には、音場エネルギーにより穿孔７ａと
共に多数の皺７ｂも同時に形成され、また、薄い箔の取
扱いが困難なため評価作業中に音場によらない多数の皺
が発生する。このアルミ箔を直接顧客に見せる場合の不
便を避けるため、これを複写機等で複写したものを資料
とする場合が多いが、この場合皺７ｂも穿孔７ａと同様
に複写されてしまうことになり、この複写後の資料から
的確な評価を行うことが困難である。
【０００７】(2) 穿孔７ａの分布パターンは二次元的で
あるため、三次元的な洗浄対象物を実際に浸した場合の
洗浄パターンを的確に把握することが困難である。 (3) アルミ箔７の穿孔７ａの形態が必ずしも媒質の振動
変位の大きさに対応したものとならず、また、穿孔７ａ
による再現性が大まかであることから、音場の強弱を正
確に補足しにくい。 (4) 複数のアルミ箔７をその厚さ方向に並べて浸すこと
により音場の分布を三次元的に評価しても、洗浄対象の
物体によって実際の音場が変化してしまうため、アルミ
ニウム箔７による評価の有効性が損なわれる。 (5) 振動エネルギーによって破断されたアルミ箔破片
は、その大きさが数十μｍ乃至数百μｍと大きいため
に、音場内に浮遊することにより音場を乱し、評価結果
に悪影響を与える。
あるため、三次元的な洗浄対象物を実際に浸した場合の
洗浄パターンを的確に把握することが困難である。 (3) アルミ箔７の穿孔７ａの形態が必ずしも媒質の振動
変位の大きさに対応したものとならず、また、穿孔７ａ
による再現性が大まかであることから、音場の強弱を正
確に補足しにくい。 (4) 複数のアルミ箔７をその厚さ方向に並べて浸すこと
により音場の分布を三次元的に評価しても、洗浄対象の
物体によって実際の音場が変化してしまうため、アルミ
ニウム箔７による評価の有効性が損なわれる。 (5) 振動エネルギーによって破断されたアルミ箔破片
は、その大きさが数十μｍ乃至数百μｍと大きいため
に、音場内に浮遊することにより音場を乱し、評価結果
に悪影響を与える。
【０００８】本発明は、上記のような問題に鑑みてなさ
れたもので、その課題とするところは、従来のアルミ箔
による音場の平面的な評価方法から脱却し、音場の分布
を容易かつ的確に把握することにある。
れたもので、その課題とするところは、従来のアルミ箔
による音場の平面的な評価方法から脱却し、音場の分布
を容易かつ的確に把握することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
る本発明に係る超音波洗浄槽内の音場評価方法によれ
ば、表面に顔料などを含む着色料の付着層を形成した試
料が評価対象の洗浄槽内の液体中に浸漬され、この着色
料の侵食によって得られる色彩パターンに基づき音場の
評価が行われる。
る本発明に係る超音波洗浄槽内の音場評価方法によれ
ば、表面に顔料などを含む着色料の付着層を形成した試
料が評価対象の洗浄槽内の液体中に浸漬され、この着色
料の侵食によって得られる色彩パターンに基づき音場の
評価が行われる。
【００１０】本発明の一実施例によれば、着色料の付着
層が異なる色彩の着色料が多層に付着されたものから成
り、また、試料としては、薄板あるいは三次元の立体が
用いられる。
層が異なる色彩の着色料が多層に付着されたものから成
り、また、試料としては、薄板あるいは三次元の立体が
用いられる。
【００１１】
【作用】洗浄槽内の液体中に超音波が放射されることに
よって、この液体には、超音波の半周期における正圧
（圧縮）と、次の半周期における負圧（膨張）が繰り返
し生じ、このような音圧の変化は、定在波の腹に相当す
る部分で零であり、節に相当する部分において最も顕著
である。このため、表面に顔料などを含む着色料を付着
した試料を洗浄槽内の液体中に浸漬すると、音圧変化の
大きい部分におけるキャビテーション作用によって、試
料表面に付着した着色料が微小破壊あるいは剥離を受け
て顕著に侵食され、その内側の色彩が侵食部に露呈する
ので、音場の分布に対応した色彩パターンが形成され
る。
よって、この液体には、超音波の半周期における正圧
（圧縮）と、次の半周期における負圧（膨張）が繰り返
し生じ、このような音圧の変化は、定在波の腹に相当す
る部分で零であり、節に相当する部分において最も顕著
である。このため、表面に顔料などを含む着色料を付着
した試料を洗浄槽内の液体中に浸漬すると、音圧変化の
大きい部分におけるキャビテーション作用によって、試
料表面に付着した着色料が微小破壊あるいは剥離を受け
て顕著に侵食され、その内側の色彩が侵食部に露呈する
ので、音場の分布に対応した色彩パターンが形成され
る。
【００１２】この場合、超音波の音圧変化が大きい部分
ほど侵食作用が顕著となるため、一例として試料の表面
に異なる色彩の着色料を多層に付着しておくことによ
り、着色料が内層部まで著しく侵食された部分とそうで
ない部分とでは、侵食部に現れる色彩が異なる。したが
って、この侵食部の分布及びその色彩の分布から、音場
の強弱パターンを的確に視覚化することができる。
ほど侵食作用が顕著となるため、一例として試料の表面
に異なる色彩の着色料を多層に付着しておくことによ
り、着色料が内層部まで著しく侵食された部分とそうで
ない部分とでは、侵食部に現れる色彩が異なる。したが
って、この侵食部の分布及びその色彩の分布から、音場
の強弱パターンを的確に視覚化することができる。
【００１３】また、試料表面の着色料を液体に放射され
た超音波によって侵食する機構は、実際の洗浄対象物の
表面に付着した油脂等の汚染物を洗浄液内で超音波の放
射によって除去する場合と全く同一である。したがっ
て、薄板の表面に着色料を形成した試料を用いれば、音
場分布の二次元的なパターンを得ることができ、立体、
好ましくは洗浄対象物と同一物体の表面に着色料を付着
した試料を用いれば、実際に洗浄を行った場合と合致し
た洗浄パターンが得られる。
た超音波によって侵食する機構は、実際の洗浄対象物の
表面に付着した油脂等の汚染物を洗浄液内で超音波の放
射によって除去する場合と全く同一である。したがっ
て、薄板の表面に着色料を形成した試料を用いれば、音
場分布の二次元的なパターンを得ることができ、立体、
好ましくは洗浄対象物と同一物体の表面に着色料を付着
した試料を用いれば、実際に洗浄を行った場合と合致し
た洗浄パターンが得られる。
【００１４】
【実施例】図１は、本発明に係る超音波洗浄槽の音場評
価方法の一実施例を示す概略的な斜視図であり、超音波
洗浄機１０の上部の洗浄槽１１内に適当な溶剤を混合し
た水溶液１２を充填し、この水溶液１２に薄板状の試料
１３を垂直に立てた状態で浸漬してある。試料１３は、
図２にその断面を示すように、ＯＨＰフィルムからなる
本体１３ａの表面に、この本体１３ａとは明瞭に対比可
能な色彩を有する顔料を適当なペーストに混合した着色
料からなる付着層１３ｂを形成したものである。そし
て、好ましくはこの付着層１３ｂは、互いに異なる色彩
の着色料１３ｂ1 〜１３ｂn を蒸着、噴霧、浸漬あるい
は塗布等の手段によって、均一な膜厚で複数層に付着さ
れる。
価方法の一実施例を示す概略的な斜視図であり、超音波
洗浄機１０の上部の洗浄槽１１内に適当な溶剤を混合し
た水溶液１２を充填し、この水溶液１２に薄板状の試料
１３を垂直に立てた状態で浸漬してある。試料１３は、
図２にその断面を示すように、ＯＨＰフィルムからなる
本体１３ａの表面に、この本体１３ａとは明瞭に対比可
能な色彩を有する顔料を適当なペーストに混合した着色
料からなる付着層１３ｂを形成したものである。そし
て、好ましくはこの付着層１３ｂは、互いに異なる色彩
の着色料１３ｂ1 〜１３ｂn を蒸着、噴霧、浸漬あるい
は塗布等の手段によって、均一な膜厚で複数層に付着さ
れる。
【００１５】この状態で、洗浄槽１１の底壁下面に固定
された図示しない超音波振動子を駆動させ、洗浄槽１１
内の水溶液１２に超音波を放射すると、この水溶液１２
に浸漬された試料１３の表面の着色料付着層１３ｂに
は、音場の強弱分布に対応した色彩パターンが経時的に
顕在化する。これは、超音波の伝播によって水溶液１２
に音場が生じ、先に述べたような音波の節となる部分で
のキャビテーションの発生及び消滅によって、前記付着
層１３ｂがその表層側から微小破壊あるいは剥離作用を
受けて徐々に侵食Ａされるからである。したがって、音
圧変化が小さい部分では侵食が零又はきわめて少ないた
め、試料１３の表面が付着層１３ｂの最も表層の着色料
１３ｂ1 の色彩を示し、音圧変化が大きい部分ほど侵食
Ａの進行が顕著になるため、付着層１３ｂが内層まで侵
食されて、内層の着色料の色彩が露呈される。
された図示しない超音波振動子を駆動させ、洗浄槽１１
内の水溶液１２に超音波を放射すると、この水溶液１２
に浸漬された試料１３の表面の着色料付着層１３ｂに
は、音場の強弱分布に対応した色彩パターンが経時的に
顕在化する。これは、超音波の伝播によって水溶液１２
に音場が生じ、先に述べたような音波の節となる部分で
のキャビテーションの発生及び消滅によって、前記付着
層１３ｂがその表層側から微小破壊あるいは剥離作用を
受けて徐々に侵食Ａされるからである。したがって、音
圧変化が小さい部分では侵食が零又はきわめて少ないた
め、試料１３の表面が付着層１３ｂの最も表層の着色料
１３ｂ1 の色彩を示し、音圧変化が大きい部分ほど侵食
Ａの進行が顕著になるため、付着層１３ｂが内層まで侵
食されて、内層の着色料の色彩が露呈される。
【００１６】なお、着色料１３としては、本発明者が種
々の塗料等を用いて実験を重ねたところ、とくに毛髪着
色料が適していることが判明した。
々の塗料等を用いて実験を重ねたところ、とくに毛髪着
色料が適していることが判明した。
【００１７】図３は、本発明による他の実施例を示すも
ので、試料１４として、超音波洗浄機による実際の洗浄
対象物と同一の立体物、例えばカップ等の容器１４ａの
表面全体に、上述と同様に、異なる色彩の毛髪着色料を
多層塗布したものを用いている。この方法によると、色
彩パターンが三次元的に形成されるので、音場の強弱分
布を三次元的に把握できるばかりでなく、実際にこの容
器１４ａの洗浄を行った場合と合致した洗浄パターンが
得られるので、その評価をきわめて適正に行うことがで
きる。
ので、試料１４として、超音波洗浄機による実際の洗浄
対象物と同一の立体物、例えばカップ等の容器１４ａの
表面全体に、上述と同様に、異なる色彩の毛髪着色料を
多層塗布したものを用いている。この方法によると、色
彩パターンが三次元的に形成されるので、音場の強弱分
布を三次元的に把握できるばかりでなく、実際にこの容
器１４ａの洗浄を行った場合と合致した洗浄パターンが
得られるので、その評価をきわめて適正に行うことがで
きる。
【００１８】なお、このような底の深い容器１４ａの場
合、通常の手段では洗浄しにくい底部内側面が、超音波
洗浄器によって良好に洗浄されるか否かを評価可能であ
ることが期待されるが、実験の結果、容器１４ａの底部
内側面にも顕著な洗浄パターンが形成されることが確認
された。
合、通常の手段では洗浄しにくい底部内側面が、超音波
洗浄器によって良好に洗浄されるか否かを評価可能であ
ることが期待されるが、実験の結果、容器１４ａの底部
内側面にも顕著な洗浄パターンが形成されることが確認
された。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によると、音圧の正負の変化が大きい音波の節の部分
で、試料表面に付着した着色料が微小破壊あるいは剥離
を受けて侵食され、その内側の色彩が侵食部に露呈する
ので、音場の分布に対応した色彩パターンが形成され、
試料の表面には異なる色彩の着色料を複数層に付着して
おくことによって、侵食部の色彩から、音場の強弱を的
確に評価することができる。また、試料表面に色彩パタ
ーンが形成される機構は、実際の洗浄対象物の表面に付
着した汚染物を洗浄液内で超音波の放射によって除去す
る場合と全く同一であるため、この色彩パターンの形成
によって音場が乱されることもなく、実際に洗浄を行っ
た場合の洗浄パターンを正確に推定することができる。
によると、音圧の正負の変化が大きい音波の節の部分
で、試料表面に付着した着色料が微小破壊あるいは剥離
を受けて侵食され、その内側の色彩が侵食部に露呈する
ので、音場の分布に対応した色彩パターンが形成され、
試料の表面には異なる色彩の着色料を複数層に付着して
おくことによって、侵食部の色彩から、音場の強弱を的
確に評価することができる。また、試料表面に色彩パタ
ーンが形成される機構は、実際の洗浄対象物の表面に付
着した汚染物を洗浄液内で超音波の放射によって除去す
る場合と全く同一であるため、この色彩パターンの形成
によって音場が乱されることもなく、実際に洗浄を行っ
た場合の洗浄パターンを正確に推定することができる。
【図１】本発明に係る超音波洗浄槽内の音場評価方法の
一実施例を示す概略的な斜視図である。
一実施例を示す概略的な斜視図である。
【図２】上記実施例で用いられる試料の断面図である。
【図３】本発明に係る超音波洗浄槽内の音場評価方法の
他の実施例を示す概略的な斜視図である。
他の実施例を示す概略的な斜視図である。
【図４】超音波洗浄機の概略構造を示す断面図である。
【図５】従来の超音波洗浄槽内の音場評価方法の一例を
示す概略的な斜視図である。
示す概略的な斜視図である。
１０ 超音波洗浄機 １１ 洗浄槽 １２ 水溶液 １３，１４ 試料 １３ａ 試料本体 １３ｂ 着色料付着層 １３ｂ1 〜１３ｂn 着色料
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−135130（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−159121（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−128127（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−282332（ＪＰ，Ａ) 特公 昭44−30842（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭33−7050（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭39−21978（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭60−45809（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭63−35382（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B08B 3/00 - 3/14 G01H 3/00
Claims (4)
- 【請求項１】表面に異なる色彩の着色料の付着層を複数
層にわたって形成した試料を、評価対象の超音波の音場
が形成されている洗浄槽内の液体中に浸漬することによ
り前記着色料の侵食による色彩パターンを得、この色彩
パターンに基づき前記超音波洗浄槽内の音場を評価する
ことを特徴とする超音波洗浄槽内の音場評価方法。 - 【請求項２】請求項１において、前記着色料は、前記試料の表面への噴霧、浸漬又は塗布
によって形成される ことを特徴とする超音波洗浄槽内の
音場評価方法。 - 【請求項３】請求項１において、 前記試料は、薄板であることを特徴とする超音波洗浄槽
内の音場評価方法。 - 【請求項４】請求項１において、 前記試料は、三次元の立体であることを特徴とする超音
波洗浄槽内の音場評価方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4242735A JP2808216B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 超音波洗浄槽内の音場評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4242735A JP2808216B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 超音波洗浄槽内の音場評価方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0663521A JPH0663521A (ja) | 1994-03-08 |
| JP2808216B2 true JP2808216B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=17093475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4242735A Expired - Lifetime JP2808216B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | 超音波洗浄槽内の音場評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2808216B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5114289B2 (ja) * | 2008-05-27 | 2013-01-09 | サクラ精機株式会社 | 超音波洗浄用インジケータ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6045809B2 (ja) * | 1980-03-27 | 1985-10-12 | キヤノン株式会社 | 音圧分布測定法 |
-
1992
- 1992-08-19 JP JP4242735A patent/JP2808216B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0663521A (ja) | 1994-03-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW550630B (en) | Method and apparatus for wet processing wafers | |
| US6026832A (en) | Ultrasonic cleaning apparatus | |
| US4602184A (en) | Apparatus for applying high frequency ultrasonic energy to cleaning and etching solutions | |
| US20070283985A1 (en) | Ultrasonic Processing Method and Apparatus with Multiple Frequency Transducers | |
| JPH09505637A (ja) | 超音波攪拌機 | |
| US3698408A (en) | Ultrasonic processing apparatus | |
| US20200346254A1 (en) | Ultrasonic concrete form cleaning method | |
| KR890008953A (ko) | 반도체 기판의 표면처리방법 | |
| JP2808216B2 (ja) | 超音波洗浄槽内の音場評価方法 | |
| JP2010153541A (ja) | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 | |
| US20090165830A1 (en) | Ultrasound Actuator for Cleaning Objects | |
| TWI290729B (en) | Apparatus and system for cleaning semiconductor substrates | |
| WO2012147038A1 (en) | Improved ultrasonic treatment method and apparatus | |
| JPH0234923A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH10239147A (ja) | 洗浄槽内の超音波強度測定機 | |
| JPH09199464A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| Sarasua et al. | Non-immersion ultrasonic cleaning for heliostats | |
| Gadkari et al. | Micro fabrication using electro deposition and ultrasonic acoustic liquid manipulation | |
| JP4023103B2 (ja) | 超音波流体処理装置 | |
| JP7295490B2 (ja) | 超音波処理方法及び超音波処理装置 | |
| JPH0947733A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH0523648A (ja) | 被洗浄物の洗浄方法 | |
| JPH0446638B2 (ja) | ||
| JP2001017930A (ja) | 基板の洗浄方法及びその装置 | |
| JPH09122611A (ja) | 超音波洗浄装置 |