JPH10239147A - 洗浄槽内の超音波強度測定機 - Google Patents
洗浄槽内の超音波強度測定機Info
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- JPH10239147A JPH10239147A JP9311966A JP31196697A JPH10239147A JP H10239147 A JPH10239147 A JP H10239147A JP 9311966 A JP9311966 A JP 9311966A JP 31196697 A JP31196697 A JP 31196697A JP H10239147 A JPH10239147 A JP H10239147A
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- Japan
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- aluminum foil
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- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 43
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 41
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 41
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 29
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 3
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- 210000001015 abdomen Anatomy 0.000 description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H17/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves, not provided for in the preceding groups
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
- G01H3/10—Amplitude; Power
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 洗浄槽内で多数の振動子を含む振動板によっ
て発生される超音波の強度を測定する超音波強度測定機
を提供する。 【解決手段】 直方体の各辺に当たるバーを含むフレー
ムと前記フレームの互いに平行な４つのバーに対して垂
直に相互に所定の間隔に離隔されて設けられている、複
数枚のアルミニウムホイルとを含む。 【効果】 これにより、陰極線管の製造の時、シャドー
マスクの洗浄に用い得る。
て発生される超音波の強度を測定する超音波強度測定機
を提供する。 【解決手段】 直方体の各辺に当たるバーを含むフレー
ムと前記フレームの互いに平行な４つのバーに対して垂
直に相互に所定の間隔に離隔されて設けられている、複
数枚のアルミニウムホイルとを含む。 【効果】 これにより、陰極線管の製造の時、シャドー
マスクの洗浄に用い得る。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、洗浄槽内の超音波
強度測定機に係り、詳しくは洗浄槽内の位置によって異
なる超音波の強度を高精度に測定し得る超音波の強度測
定機に関する。
強度測定機に係り、詳しくは洗浄槽内の位置によって異
なる超音波の強度を高精度に測定し得る超音波の強度測
定機に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、陰極線管の製造時シャドーマス
クを洗浄するが、この際洗浄されるマスクを洗浄槽内に
入れて超音波を発生させ、その超音波の振動によってマ
スクを洗浄している。図１には一般の超音波洗浄槽の構
造を概略的に示した。図１を参照すると、洗浄槽１０の
内部の底面には多数の振動子１２を含む振動板１１が設
置されており、前記振動子１２の振動によって振動板１
１が振動することによって超音波が発生する。
クを洗浄するが、この際洗浄されるマスクを洗浄槽内に
入れて超音波を発生させ、その超音波の振動によってマ
スクを洗浄している。図１には一般の超音波洗浄槽の構
造を概略的に示した。図１を参照すると、洗浄槽１０の
内部の底面には多数の振動子１２を含む振動板１１が設
置されており、前記振動子１２の振動によって振動板１
１が振動することによって超音波が発生する。
【０００３】前記振動板１１の振動によって発生する超
音波の位相を図２に概略的に示した。即ち、音源である
振動板１１から発生する超音波は、振動子１２（図１参
照）の特性によって、水面２０から反射され、腹２１と
節２２を持つ定在波(standing wave) の形態を持つよう
になる。ところで、前記超音波の強度は、腹２１で最大
になり、節２２で最小になる。したがって、前記洗浄槽
１０（図１）内に入っている被洗浄物（図示せず）は波
動の腹２１では洗浄がうまく行われるのに対して節２２
の部分では洗浄がうまく行われない。この洗浄がうまく
行われない部分（非洗浄領域）は、マスク洗浄の信頼性
に悪影響を及ぼすので、前記腹２１と節２２の位置を正
確に測定することが重要である。前記腹２１と節２２の
位置は、水面に対して垂直方向に超音波の強度を測定す
ることで分かる。
音波の位相を図２に概略的に示した。即ち、音源である
振動板１１から発生する超音波は、振動子１２（図１参
照）の特性によって、水面２０から反射され、腹２１と
節２２を持つ定在波(standing wave) の形態を持つよう
になる。ところで、前記超音波の強度は、腹２１で最大
になり、節２２で最小になる。したがって、前記洗浄槽
１０（図１）内に入っている被洗浄物（図示せず）は波
動の腹２１では洗浄がうまく行われるのに対して節２２
の部分では洗浄がうまく行われない。この洗浄がうまく
行われない部分（非洗浄領域）は、マスク洗浄の信頼性
に悪影響を及ぼすので、前記腹２１と節２２の位置を正
確に測定することが重要である。前記腹２１と節２２の
位置は、水面に対して垂直方向に超音波の強度を測定す
ることで分かる。
【０００４】また、前記各振動子１２の特性は相異なる
場合もあるので、このような違いによって、前記水面２
０と平行な同一面上でも超音波の強度は相異なっても良
い。しかし、このような超音波の強度を各位置によって
高精度に測定することは難しい。
場合もあるので、このような違いによって、前記水面２
０と平行な同一面上でも超音波の強度は相異なっても良
い。しかし、このような超音波の強度を各位置によって
高精度に測定することは難しい。
【０００５】従来は、数学的で物理的な理論に従って前
記洗浄槽内の超音波強度を計算した。即ち、前記音源の
振動板と水面との距離を測定し、これを資料として定在
波理論によって超音波の強度を精密に知ることはできな
い。
記洗浄槽内の超音波強度を計算した。即ち、前記音源の
振動板と水面との距離を測定し、これを資料として定在
波理論によって超音波の強度を精密に知ることはできな
い。
【０００６】超音波の強度を測定するための実際の方法
の一つは、前記洗浄槽内に１枚のアルミニウムホイルを
入れて超音波を発生させ、アルミニウムホイルの洗浄状
態を観察することで超音波の強度を測定するものであ
る。即ち、超音波の強度が強いアルミニウムホイルの部
分は洗浄が強く行われて微細な穴や磨耗が発生し、強度
の弱い部分はもとの状態をそのまま保つ。
の一つは、前記洗浄槽内に１枚のアルミニウムホイルを
入れて超音波を発生させ、アルミニウムホイルの洗浄状
態を観察することで超音波の強度を測定するものであ
る。即ち、超音波の強度が強いアルミニウムホイルの部
分は洗浄が強く行われて微細な穴や磨耗が発生し、強度
の弱い部分はもとの状態をそのまま保つ。
【０００７】しかし、このような方法においてもアルミ
ニウムホイルの位置決めが正確でないため、超音波の強
度を位置に応じて高精度に測定することができない。ま
た、１枚のアルミニウムホイルによる測定では洗浄槽内
の各位置による強度の分布を全部分かることはできな
い。
ニウムホイルの位置決めが正確でないため、超音波の強
度を位置に応じて高精度に測定することができない。ま
た、１枚のアルミニウムホイルによる測定では洗浄槽内
の各位置による強度の分布を全部分かることはできな
い。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の問題
点を解決するために創案されたものであって、複数枚の
アルミニウムホイルを具備して洗浄槽内の各位置による
波超音の強度分布を高精度に測定できる超音波強度測定
機を提供することにその目的がある。
点を解決するために創案されたものであって、複数枚の
アルミニウムホイルを具備して洗浄槽内の各位置による
波超音の強度分布を高精度に測定できる超音波強度測定
機を提供することにその目的がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明による超音波強度測定機は、洗浄槽内で振
動板によって発生する超音波の強度を測定する超音波強
度測定機において、直方体の各辺に当たるバーを含むフ
レームと、前記フレームの相互に平行な４つのバーに対
して垂直に相互に所定の間隔に離隔されて設けられてい
る複数個のアルミニウムホイルとを含むことを特徴とす
る。より詳しくは、洗浄槽内で多数の振動子を含む振動
板によって発生する超音波の強度を測定する超音波強度
測定機において、直方体の各辺に当たるバーを含むフレ
ームと、前記フレームの互いに平行な４つのバーに対し
て垂直に相互に所定の間隔に離隔されて設置されている
複数枚のアルミニウムホイルとを含むことを特徴とする
ものである。
めに、本発明による超音波強度測定機は、洗浄槽内で振
動板によって発生する超音波の強度を測定する超音波強
度測定機において、直方体の各辺に当たるバーを含むフ
レームと、前記フレームの相互に平行な４つのバーに対
して垂直に相互に所定の間隔に離隔されて設けられてい
る複数個のアルミニウムホイルとを含むことを特徴とす
る。より詳しくは、洗浄槽内で多数の振動子を含む振動
板によって発生する超音波の強度を測定する超音波強度
測定機において、直方体の各辺に当たるバーを含むフレ
ームと、前記フレームの互いに平行な４つのバーに対し
て垂直に相互に所定の間隔に離隔されて設置されている
複数枚のアルミニウムホイルとを含むことを特徴とする
ものである。
【００１０】前記アルミニウムホイルは、前記フレーム
に着脱自在に設けられていることが望ましい。
に着脱自在に設けられていることが望ましい。
【００１１】また、前記アルミニウムホイルの外周辺部
若しくは縁部を保持する補助フレームをさらに含むこと
が望ましい。
若しくは縁部を保持する補助フレームをさらに含むこと
が望ましい。
【００１２】また、前記４本のバーには所定の間隔に溝
が形成され、前記補助フレームは前記溝に着脱自在に結
合されていることが望ましい。
が形成され、前記補助フレームは前記溝に着脱自在に結
合されていることが望ましい。
【００１３】また、前記溝は、前記振動板によって発生
する超音波の波長の１／６の間隔に形成されていること
が望ましい。
する超音波の波長の１／６の間隔に形成されていること
が望ましい。
【００１４】また、前記アルミニウムホイルは、前記振
動板によって発生される超音波波長の１／６に当たる間
隔に離隔されて設けられていることが望ましい。
動板によって発生される超音波波長の１／６に当たる間
隔に離隔されて設けられていることが望ましい。
【００１５】また、本発明による超音波強度測定機にあ
って、前記フレームの水平断面積は、前記振動板の面積
に相応することが望ましい。
って、前記フレームの水平断面積は、前記振動板の面積
に相応することが望ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づいて本
発明の望ましい実施例を説明する。
発明の望ましい実施例を説明する。
【００１７】
【実施例】図３を参照すると、本発明による洗浄槽内の
超音波強度測定機には、直方体の各辺に当たる１２本の
バー３１よりなるフレーム３０が具備されている。前記
フレーム３０には複数枚のアルミニウムホイル３２が設
けられているが、このアルミニウムホイル３２は、相互
に平行な４本のバー３１ａ、３１ｂ、３１ｃおよび３１
ｄに対して垂直に所定の間隔に離隔されて設けられてい
る。
超音波強度測定機には、直方体の各辺に当たる１２本の
バー３１よりなるフレーム３０が具備されている。前記
フレーム３０には複数枚のアルミニウムホイル３２が設
けられているが、このアルミニウムホイル３２は、相互
に平行な４本のバー３１ａ、３１ｂ、３１ｃおよび３１
ｄに対して垂直に所定の間隔に離隔されて設けられてい
る。
【００１８】前記各アルミニウムホイル３２は、そのア
ルミニウムホイル３２の外周辺部（縁部）を包んで保持
する補助フレーム３３によって固定されている。前記補
助フレーム３３がバー３１ａ、３１ｂ、３１ｃおよび３
１ｄに所定の間隔に形成された溝３４に着脱自在（着脱
可能）に差し込まれることによってアルミニウムホイル
３２はフレーム３０に取り付けられる。
ルミニウムホイル３２の外周辺部（縁部）を包んで保持
する補助フレーム３３によって固定されている。前記補
助フレーム３３がバー３１ａ、３１ｂ、３１ｃおよび３
１ｄに所定の間隔に形成された溝３４に着脱自在（着脱
可能）に差し込まれることによってアルミニウムホイル
３２はフレーム３０に取り付けられる。
【００１９】前記アルミニウムホイル３２間の間隔
（Ｇ）は、測定しようとする超音波波長λの１／６に当
たる距離ほどであることが望ましいが、本実施例によっ
て限られるものではない。
（Ｇ）は、測定しようとする超音波波長λの１／６に当
たる距離ほどであることが望ましいが、本実施例によっ
て限られるものではない。
【００２０】以上のような構造の本発明による超音波強
度測定機は、図４に示したように、洗浄槽４０内に浸し
て超音波の強度を測定し得るものである。前記洗浄槽４
０には洗浄液４１が入っており、洗浄槽４０の底面には
複数個の振動子４３を持つ振動板４２が設けられてい
る。超音波強度測定機は、アルミニウムホイル３２が前
記振動板４２に対して垂直となるように設けられている
のが望ましい。
度測定機は、図４に示したように、洗浄槽４０内に浸し
て超音波の強度を測定し得るものである。前記洗浄槽４
０には洗浄液４１が入っており、洗浄槽４０の底面には
複数個の振動子４３を持つ振動板４２が設けられてい
る。超音波強度測定機は、アルミニウムホイル３２が前
記振動板４２に対して垂直となるように設けられている
のが望ましい。
【００２１】前記フレーム３０の水平断面積は、前記振
動板４２の面積に相応する程度であることが望ましい。
したがって、前記のアルミニウムホイル３２の数は、振
動板４２の大きさ及びその振動板４２から発生する超音
波の波長によって適切に決定することができる。
動板４２の面積に相応する程度であることが望ましい。
したがって、前記のアルミニウムホイル３２の数は、振
動板４２の大きさ及びその振動板４２から発生する超音
波の波長によって適切に決定することができる。
【００２２】超音波強度測定機が洗浄槽４０内に設置さ
れた状態で、振動子４３によって振動板４２が振動され
ることで超音波が発生する。超音波は前述したように定
在波を成し、波動の腹２１（図１参照）の部分では洗浄
がうまく行われているのに対し、波動の節２２（図１参
照）の部分では洗浄がほとんど行われていない。振動板
４２から発生される、このような超音波の強度分布によ
って前記強度測定機のアルミニウムホイル３２は洗浄さ
れる。この時、前記波動の腹２１に当たるアルミニウム
ホイル３２の部分は強く洗浄されて小さな穴が形成さ
れ、波動の節２２に当たるアルミニウムホイル３２の部
分は洗浄がほぼ行われない。このような洗浄現象は複数
枚のアルミニウムホイル３２の全体に渡って生じる。
れた状態で、振動子４３によって振動板４２が振動され
ることで超音波が発生する。超音波は前述したように定
在波を成し、波動の腹２１（図１参照）の部分では洗浄
がうまく行われているのに対し、波動の節２２（図１参
照）の部分では洗浄がほとんど行われていない。振動板
４２から発生される、このような超音波の強度分布によ
って前記強度測定機のアルミニウムホイル３２は洗浄さ
れる。この時、前記波動の腹２１に当たるアルミニウム
ホイル３２の部分は強く洗浄されて小さな穴が形成さ
れ、波動の節２２に当たるアルミニウムホイル３２の部
分は洗浄がほぼ行われない。このような洗浄現象は複数
枚のアルミニウムホイル３２の全体に渡って生じる。
【００２３】一定時間が過ぎた後、前記超音波強度測定
機を洗浄槽４０から取り出した後、それぞれのアルミニ
ウムホイル３２を取り外して洗浄状態を検査することで
超音波の強度分布が分かる。アルミニウムホイル３２で
たくさんの穴ができた部分は洗浄力が強い部分であり、
もとの状態をそのまま維持したり小粒が集まっている部
分は洗浄力が弱い部分である。前記小粒は、洗浄力が強
いアルミニウムホイル３２の部分から落ち出したもので
ある。
機を洗浄槽４０から取り出した後、それぞれのアルミニ
ウムホイル３２を取り外して洗浄状態を検査することで
超音波の強度分布が分かる。アルミニウムホイル３２で
たくさんの穴ができた部分は洗浄力が強い部分であり、
もとの状態をそのまま維持したり小粒が集まっている部
分は洗浄力が弱い部分である。前記小粒は、洗浄力が強
いアルミニウムホイル３２の部分から落ち出したもので
ある。
【００２４】前記の穴と粒子の分布は、前記アルミニウ
ムホイル３２上で連続的に現れるので超音波の強度分布
を連続的に把握し得る。この場合、１枚のアルミニウム
ホイル３２を分析することによって強度の垂直分布が分
かり、このようなそれぞれのアルミニウムホイル３２に
対する分析を組合せることによって超音波強度の水平分
布も分かるものである。
ムホイル３２上で連続的に現れるので超音波の強度分布
を連続的に把握し得る。この場合、１枚のアルミニウム
ホイル３２を分析することによって強度の垂直分布が分
かり、このようなそれぞれのアルミニウムホイル３２に
対する分析を組合せることによって超音波強度の水平分
布も分かるものである。
【００２５】
【発明の効果】以上のごとく本発明による超音波強度測
定機は、振動板に対して垂直に設けられる複数枚のアル
ミニウムホイルに生じた洗浄状態を検査することによっ
て、超音波の連続的な強度の分布を各位置によって測定
することができる。またアルミニウムホイルをフレーム
に着脱自在に結合することができ、よって使用及び維持
が簡単であり、低コストで超音波の強度を測定すること
ができる。
定機は、振動板に対して垂直に設けられる複数枚のアル
ミニウムホイルに生じた洗浄状態を検査することによっ
て、超音波の連続的な強度の分布を各位置によって測定
することができる。またアルミニウムホイルをフレーム
に着脱自在に結合することができ、よって使用及び維持
が簡単であり、低コストで超音波の強度を測定すること
ができる。
【図１】 一般の超音波洗浄槽の構造を示した側面図で
ある。
ある。
【図２】 振動板によって発生する超音波の位相を概略
的に示した図である。
的に示した図である。
【図３】 本発明による超音波強度測定機を示した斜視
図である。
図である。
【図４】 本発明による超音波強度測定機の使用状態を
示した図である。
示した図である。
１０…洗浄槽、 １１…振動
板、１２…振動子、 ２０…水
面、２１…腹、 ２２…
節、３０…フレーム、 ３１…バ
ー、３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ…バー、３２…ア
ルミニウムホイル、 ３３…補助フレーム、
３４…溝、 Ｇ…間隔、４
０…洗浄槽、 ４１…洗浄液、
４２…振動板、 ４３…振動
子。
板、１２…振動子、 ２０…水
面、２１…腹、 ２２…
節、３０…フレーム、 ３１…バ
ー、３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ…バー、３２…ア
ルミニウムホイル、 ３３…補助フレーム、
３４…溝、 Ｇ…間隔、４
０…洗浄槽、 ４１…洗浄液、
４２…振動板、 ４３…振動
子。
Claims (7)
- 【請求項１】 洗浄槽内で振動板によって発生する超音
波の強度を測定する超音波強度測定機において、 直方体の各辺に当たるバーを含むフレームと、 前記フレームの相互に平行な４つのバーに対して垂直に
相互に所定の間隔に離隔されて設けられている複数個の
アルミニウムホイルとを含むことを特徴とする超音波強
度測定機。 - 【請求項２】 前記アルミニウムホイルは、前記フレー
ムに着脱自在に設けられていることを特徴とする請求項
１に記載の超音波強度測定機。 - 【請求項３】 前記アルミニウムホイルの外周辺部を保
持する補助フレームをさらに含むことを特徴とする請求
項１に記載の超音波強度測定機。 - 【請求項４】 前記４本のバーには所定の間隔に溝が形
成され、前記補助フレームは前記溝に着脱自在に結合さ
れていることを特徴とする請求項３に記載の超音波強度
測定機。 - 【請求項５】 前記溝は、前記振動板によって発生する
超音波の波長の１／６の間隔に形成されていることを特
徴とする請求項４に記載の超音波強度測定機。 - 【請求項６】 前記アルミニウムホイルは、前記振動板
によって発生する超音波の波長の１／６の間隔に離隔さ
れて設けられていることを特徴とする請求項１に記載の
超音波強度測定機。 - 【請求項７】 前記フレームの水平断面積は、前記振動
板の面積に相応することを特徴とする請求項１に記載の
超音波強度測定機。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR96P62125 | 1996-12-05 | ||
| KR1019960062125A KR100189840B1 (ko) | 1996-12-05 | 1996-12-05 | 세정조 내의 초음파 음압측정기 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239147A true JPH10239147A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=19486001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9311966A Withdrawn JPH10239147A (ja) | 1996-12-05 | 1997-11-13 | 洗浄槽内の超音波強度測定機 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5962773A (ja) |
| JP (1) | JPH10239147A (ja) |
| KR (1) | KR100189840B1 (ja) |
| CN (1) | CN1184250A (ja) |
| BR (1) | BR9704237A (ja) |
| DE (1) | DE19729609A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GB0127529D0 (en) * | 2001-11-16 | 2002-01-09 | Secretary Trade Ind Brit | Ultrasonic power meter |
| KR101348083B1 (ko) * | 2012-12-07 | 2014-01-08 | 주식회사 인팩 | 자동화 수동변속기의 클러치 액추에이터 시험장치 |
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