JP2806851B2 - 半導体集積回路装置およびその製造方法 - Google Patents

半導体集積回路装置およびその製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路装置
およびその製造方法に係わり、特にマウント位置出し手
段を有するLOC(Lead On Chip)型の半
導体集積回路装置およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来技術のこの種の半導体集積回路装置
について図6を参照して説明する。図6(A)は平面
図、図6(B)は図6(A)の一部を拡大して示した断
面図である。
【0003】半導体チップ1の主面上にリードフレーム
2Aのリード2が延在してX方向に並べた2枚の粘着テ
ープ層3で半導体チップ1にマウント固着している。ま
たリード2の内部の位置と半導体チップ1の周辺部に配
列されたボンディングパッド(図示省略)とがボンディ
ングワイヤ4により電気的に結線されている。
【0004】尚、図6(A)では、図面が煩雑になるの
を避けるために、リードの先端形状は左上の部分のみを
図示し、他の部分は2点鎖線で囲って図示を省略してあ
る。すなわち2点鎖線で囲って部分も左上の部分と同様
にリードの先端が密集して粘着テープ層3により半導体
チップ1の主面にマウント接着し、それぞれのボンディ
ングワイヤ4が接続している。
【0005】そして半導体チップ1とリードフレーム2
Aのリード2とを粘着テープ層3により固着する際、す
なわちマウントする際の位置合せ方法は、図6(A)の
平面図で○で示す数箇所のB部(図では6箇所)におい
て、半導体チップ1のサイズに合致する位置合せ用のリ
ード部分5を設け、このリード部分5と半導体チップ1
の端辺との位置関係を目安として粘着テープ層3により
貼り合わせていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来技術では、位置合せ用リード5が半導体チップ1
の端辺に沿って直線突起状に延在する単純な平面形状と
なるから認識時に誤検知を発生し、またマウント完了
後、粘着テープ層は樹脂モールドするまでの仮圧着であ
るため、マウント以後、何らかの応力が加わることで半
導体チップの全方向へのランダムな横ズレが発生する。
このためにマウント位置合せ不良が多発する問題を有す
る。
【0007】またこのようにマウント位置合せの目安と
してのマウント位置合せ用リードがリードフレームに必
要であるから、平面形状におけるリードフレームのリー
ドが込み合いリードフレーム設計の自由度が少なくなる
問題を有する。
【0008】したがって本発明の目的は、半導体チップ
上へのリードのマウント位置合せ不良の発生を抑制し、
かつ平面形状におけるリードフレームのリードが込み合
いを少なくすることによりリードフレームの設計自由度
を高めた半導体集積回路装置およびその製造方法を提供
することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、半導体
チップが第1の方向をたがいに平行に延在する第1およ
び第2の側面と前記第1の方向と直角の第2の方向をた
がいに平行に延在する第3および第4の側面を有し、そ
れぞれの前記側面と角部を構成する半導体チップの主面
の端辺部上を通過したリードフレームの複数のリードが
前記半導体チップの主面上にマウント固着するLOC構
造を有する半導体集積回路装置において、前記複数のリ
ードから選択されたリードのみの下面にマウント位置矯
正手段としてのストッパー部を前記半導体チップの側面
に対面させて設けた半導体集積回路装置にある。本発明
の他の特徴は、半導体チップが第1の方向をたがいに平
行に延在する第1および第2の側面と前記第1の方向と
直角の第2の方向をたがいに平行に延在する第3および
第4の側面を有し、それぞれの前記側面と角部を構成す
る半導体チップの主面の端辺部上を通過したリードフレ
ームの複数のリードが前記半導体チップの主面上にマウ
ント固着するLOC構造を有する半導体集積回路装置の
製造方法において、前記半導体チップの第1乃至第4の
側面のうち第1および第3の側面と角部を構成する半導
体チップの主面の端辺部上をそれぞれ通過する複数のリ
ードから選択されたリードのみの下面にストッパー部を
設け、前記半導体チップを前記ストッパ部の方向にシフ
トさせてその側面を前記ストッパー部に当接させること
によりマウント位置を矯正してマウント固着する半導体
集積回路装置の製造方法にある。あるいは、半導体チッ
プが第1の方向をたがいに平行に延在する第1および第
2の側面と前記第1の方向と直角の第2の方向をたがい
に平行に延在する第3および第4の側面を有し、それぞ
れの前記側面と角部を構成する半導体チップの主面の端
辺部上を通過したリードフレームの複数のリードが前記
半導体チップの主面上にマウント固着するLOC構造を
有する半導体集積回路装置の製造方法において、前記半
導体チップの第1乃至第4の側面のそれぞれの側面と角
部を構成する半導体チップの主面の端辺部上を通過する
複数のリードから選択されたリードのみの下面にストッ
パー部を設け、前記半導体チップを前記ストッパー部間
にはめ込むことにより位置合わせを行ってマウント固着
する半導体集積回路装置の製造方法にある。
【0010】ここで、前記ストッパー部が前記リード下
面に粘着テープ等の接着手段で固着されることができ
る。
【0011】あるいは、前記ストッパー部はリードの先
端部分を折り曲げることにより構成されることができ
る。
【0012】また、前記ストッパー部が前記半導体チッ
プの側面に粘着テープ等の接着手段で固着されることが
できる。
【0013】このような本発明によれば、リードフレー
ムのリード下面にマウント位置矯正手段としてのストッ
パー部を設けているから半導体チップをその側面からリ
ードフレームとの位置合わせをすることができ、これに
より位置合せ用のリード部分の誤認識の問題は関係なく
なり、また横ズレも従来より抑制することができてリー
ドと半導体チップとの所定の位置関係の精度が向上す
る。
【0014】また平面形状における位置合せ用のリード
部分が不必要になるから、平面形状におけるリードフレ
ームのリードが込み合いを少なくなり、これによりリー
ドフレームの平面レイアウトの設計自由度を高めること
ができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を説
明する。
【0016】図1は本発明の第1の実施の形態を示す図
であり、図1(A)は平面図、図1(B)は図1(A)
のA部を拡大して示した断面図である。
【0017】リードフレーム2AのX方向にたがいに平
行に延在する2本の外枠から内部方向に複数のリード2
が延び、リードの先端部分が半導体チップ1の中央近傍
上に位置している。そして半導体チップ1の主面の中央
近傍上でX方向に並べた2枚の粘着テープ層3によりリ
ード2が半導体チップ1に粘着してマウント固着してい
る。
【0018】また、リード2の内部の位置と半導体チッ
プ1の周辺部に配列されたボンディングパッド(図示省
略)とがボンディングワイヤ4により電気的に結線され
ている。
【0019】尚、図1(A)では、図6(A)と同様
に、図面が煩雑になるのを避けるために、リードの先端
形状は左上の部分のみを図示し、他の部分は2点鎖線で
囲って図示を省略してある。すなわち2点鎖線で囲って
部分も左上の部分と同様にリードの先端が密集して粘着
テープ層3により半導体チップ1の主面にマウント接着
し、それぞれのボンディングワイヤ4が接続している。
【0020】そして図1(A)の平面図で○で示す数箇
所のA部(図では4箇所)において、すなわちX方向の
一方側(図で右側)の2箇所とY方向の一方側(図で下
側)の2箇所において、図1(B)の拡大断面図で示す
ように、リード2の下面から下方に突出するストッパー
部6を設け、このストッパー部6が半導体チップ1の側
面に当接するようになっていることにより、半導体チッ
プに対するリードフレームの位置出しを行なっている。
このマウント位置矯正手段のストッパー部6は、半導体
チップ1のXY方向の2辺に対しそれぞれ数箇所設けて
半導体チップを支持することが好ましい。
【0021】マウント位置の矯正方法としては、図1
(A)で右下方向に半導体チップ1をシフトさせて、リ
ードフレームのリード下面に設けられたストッパー部6
に半導体チップの側面を当接させることにより行われ
る。
【0022】これにより、半導体チップとリードフレー
ムとの位置合わせが行なわれる。またマウント後の相対
的の横ズレも、少なくともストッパー部6が位置する方
向に関しては皆無となる。
【0023】また、この位置合わせ手段であるストッパ
ー部6はリード2の主面より垂直方向(下方向)に延び
るものであるからリードフレームの平面形状のレイアウ
トには影響を与えず、かつ図6(A)で示した従来の位
置合せ用のリード部分5は不必要であるから、本発明の
リードフレームは平面レイアウトの設計自由度が向上す
る。
【0024】図2は本発明の第2の実施の形態を示す図
であり、図2(A)は平面図、図2(B)は図2(A)
のA部を拡大して示した断面図である。尚、図2におい
て図1と同一もしくは類似の箇所は同じ符号を付してあ
るから重複する説明は省略する。
【0025】この第2の実施の形態では図2(A)に示
すように、半導体チップ1のX方向の両端側およびY方
向の両端側のそれぞれの箇所(○で示すA部)にリード
2の下面から下方に突出するストッパー部6を設けてい
る。
【0026】この実施の形態のマウント位置の矯正方法
は、これらのストッパー部6に対し半導体チップ1をは
め込む方法を用いる。これにより位置合わせが行なわ
れ、またマウント後の相対的の横ズレも全ての方向に対
して防止することができる。
【0027】図3乃至図5はストッパー部の例をそれぞ
れ示す断面図である。
【0028】図3において、ストッパー部6は接着手
段、例えば粘着テープ8によってリード2の下面に接着
されている。粘着テープ8は絶縁材であるから、ストッ
パー部6は導電材料で形成することもできる。勿論、ス
トッパー部6を絶縁材料で形成することもできる。
【0029】図4では、半導体チップのボンディングパ
ッドとボンディングワイヤにより結線されないリード2
の先端部分9を下方向に直角に折り曲げることによりス
トッパー部6を構成し、この先端部分9によるストッパ
ー部6に貼り付けた絶縁体10を介して半導体チップ1
の側面に当接させるようにしている。
【0030】図5では、ストッパー部6を半導体チップ
1の側面に側面粘着テープ11で貼り付ける構成となっ
ている。これにより高精度にマウント位置が矯正される
と同時に本来のマウントにおける半導体チップとリード
フレームとの固着の信頼性が向上する。ここでは図3の
タイプに側面粘着テープ11を付加した例を示したが、
図4のようにリードの先端部分を折り曲げて構成したス
トッパー部6の側面に側面粘着テープ11を用いてもよ
い。この側面粘着テープ11を用いたストッパー部は上
記実施の形態のうち特に図1に示す第1の実施の形態に
適用することが好ましい。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、リ
ードフレームのリード下面にマウント位置矯正手段とし
てのストッパー部を設けたからマウント位置合せ不良を
低減することができ、認識検知ステップを省略すること
ができるからマウント作業性が向上し、従来の位置合せ
不良約1000ppmを皆無にすることができる。
【0032】またマウント位置矯正手段としてのストッ
パー部をリード下面に設けたから従来のマウント位置合
せ用リードが不必要となり、これによりリードフレーム
の平面レイアウトの設計自由度が向上する。
【0033】さらにマウンターの機構において位置合せ
のための認識部が不必要になるから、マウンター装置の
簡素化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す図であり、
(A)は平面図、(B)は(A)の一部を拡大して示し
た断面図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態を示す図であり、
(A)は平面図、(B)は(A)の一部を拡大して示し
た断面図である。
【図3】本発明のストッパー部の一例を示す断面図であ
る。
【図4】本発明のストッパー部の他の例を示す断面図で
ある。
【図5】本発明のストッパー部の別の例を示す断面図で
ある。
【図6】従来技術を示す図であり、(A)は平面図、
(B)は(A)の一部を拡大して示した断面図である。
【符号の説明】
1 半導体チップ 2 リード 2A リードフレーム 3 粘着テープ層 4 ボンディングワイヤ 5 位置合せ用のリード部分 6 ストッパー部 8 粘着テープ 9 リード先端部分 10 絶縁体 11 側面粘着テープ

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体チップが第1の方向をたがいに平
    行に延在する第1および第2の側面と前記第1の方向と
    直角の第2の方向をたがいに平行に延在する第3および
    第4の側面を有し、それぞれの前記側面と角部を構成す
    る半導体チップの主面の端辺部上を通過したリードフレ
    ームの複数のリードが前記半導体チップの主面上にマウ
    ント固着するLOC構造を有する半導体集積回路装置に
    おいて、前記複数のリードから選択されたリードのみの
    下面にマウント位置矯正手段としてのストッパー部を前
    記半導体チップの側面に対面させて設けたことを特徴と
    する半導体集積回路装置。
  2. 【請求項2】 前記ストッパー部が前記リード下面に接
    着手段で固着されていることを特徴とする請求項1記載
    の半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】 前記接着手段は粘着テープであることを
    特徴とする請求項2記載の半導体集積回路装置。
  4. 【請求項4】 前記ストッパー部はリードの先端部分を
    折り曲げることにより構成されていることを特徴とする
    請求項1記載の半導体集積回路装置。
  5. 【請求項5】 前記ストッパー部が前記半導体チップの
    側面に接着手段で固着されていることを特徴とする請求
    項1、請求項2、請求項3もしくは請求項4に記載の半
    導体集積回路装置。
  6. 【請求項6】 前記接着手段は粘着テープであることを
    特徴とする請求項5記載の半導体集積回路装置。
  7. 【請求項7】 前記半導体チップの第1乃至第4の側面
    のうち第1および第3の側面と角部を構成する半導体チ
    ップの主面の端辺部上をそれぞれ通過する複数のリード
    から選択されたリードのみの下面に前記ストッパー部を
    設け、これにより前記前記半導体チップの第1乃至第4
    の側面のうち第1および第3の側面のみを前記ストッパ
    ー部と対面させたことを特徴とする請求項1、請求項
    2、請求項3、請求項4、請求項5もしくは請求項6に
    記載の半導体集積回路装置。
  8. 【請求項8】 前記半導体チップの第1乃至第4の側面
    と角部を構成する半導体チップの主面の端辺部上をそれ
    ぞれ通過する複数のリードから選択されたリードのみの
    下面に前記ストッパー部を設け、これにより前記半導体
    チップの第1乃至第4の側面のそれぞれを前記ストッパ
    ー部と対面させたことを特徴とする請求項1、請求項
    2、請求項3、請求項4、請求項5もしくは請求項6に
    記載の半導体集積回路装置。
  9. 【請求項9】 半導体チップが第1の方向をたがいに平
    行に延在する第1および第2の側面と前記第1の方向と
    直角の第2の方向をたがいに平行に延在する第3および
    第4の側面を有し、それぞれの前記側面と角部を構成す
    る半導体チップの主面の端辺部上を通過したリードフレ
    ームの複数のリードが前記半導体チップの主面上にマウ
    ント固着するLOC構造を有する半導体集積回路装置の
    製造方法において、前記半導体チップの第1乃至第4の
    側面のうち第1および第3の側面と角部を構成する半導
    体チップの主面の端辺部上をそれぞれ通過する複数のリ
    ードから選択されたリードのみの下面にストッパー部を
    設け、前記半導体チップを前記ストッパ部の方向にシ
    フトさせてその側面を前記ストッパー部に当接させるこ
    とによりマウント位置を矯正してマウント固着すること
    を特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
  10. 【請求項10】 半導体チップが第1の方向をたがいに
    平行に延在する第1および第2の側面と前記第1の方向
    と直角の第2の方向をたがいに平行に延在する第3およ
    び第4の側面を有し、それぞれの前記側面と角部を構成
    する半導体チップの主面の端辺部上を通過したリードフ
    レームの複数のリードが前記半導体チップの主面上にマ
    ウント固着するLOC構造を有する半導体集積回路装置
    の製造方法において、前記半導体チップの第1乃至第4
    の側面のそれぞれの側面と角部を構成する半導体チップ
    の主面の端辺部上を通過する複数のリードから選択され
    たリードのみの下面にストッパー部を設け、前記半導体
    チップを前記ストッパー部間にはめ込むことにより位置
    合わせを行ってマウント固着することを特徴とする半導
    体集積回路装置の製造方法。
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