JP2806664B2 - クリーンルーム用帽子 - Google Patents
クリーンルーム用帽子Info
- Publication number
- JP2806664B2 JP2806664B2 JP3318288A JP31828891A JP2806664B2 JP 2806664 B2 JP2806664 B2 JP 2806664B2 JP 3318288 A JP3318288 A JP 3318288A JP 31828891 A JP31828891 A JP 31828891A JP 2806664 B2 JP2806664 B2 JP 2806664B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hat
- head
- clean room
- dust
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Professional, Industrial, Or Sporting Protective Garments (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム内の作業
者が着用する制電防塵衣生地を使用したクリーンルーム
用帽子に関する。
者が着用する制電防塵衣生地を使用したクリーンルーム
用帽子に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体装置の集積度が高まるにつれ、よ
りグレードアップしたクリーンルームが要望される。通
常、クリーンルーム内では作業者からの発塵が全体の発
塵量の約30〜50%と高い値を占めているが、逆流帽
子型制電防塵衣を着用することにより発塵量は90%が
抑制できるといわれている。この防塵衣の頭部に対して
は図2の側面方向から見た外観図に示すような制電防塵
衣生地を使用した帽子を着用しており、耳の前部と首に
開閉用の面ファスナー1a,1b,耳の部分にはメッシ
ュ2,後頭部にはゴム4という構成を有している。
りグレードアップしたクリーンルームが要望される。通
常、クリーンルーム内では作業者からの発塵が全体の発
塵量の約30〜50%と高い値を占めているが、逆流帽
子型制電防塵衣を着用することにより発塵量は90%が
抑制できるといわれている。この防塵衣の頭部に対して
は図2の側面方向から見た外観図に示すような制電防塵
衣生地を使用した帽子を着用しており、耳の前部と首に
開閉用の面ファスナー1a,1b,耳の部分にはメッシ
ュ2,後頭部にはゴム4という構成を有している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来のクリーンルーム
用帽子には、顔面の開口部からのパーティクルの噴出に
対してせき止めるものがないので、作業者の動作により
頭部で発生したパーティクルは全て顔面の開口部よりク
リーンルーム内に噴出してしまうという問題点があっ
た。
用帽子には、顔面の開口部からのパーティクルの噴出に
対してせき止めるものがないので、作業者の動作により
頭部で発生したパーティクルは全て顔面の開口部よりク
リーンルーム内に噴出してしまうという問題点があっ
た。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明のパーティクル抑
制型クリーンルーム用帽子は、帽子の内側にゴムを通し
た防塵衣生地を頭の周囲を取り巻く鉢巻き状に設け、後
頭部に当る部分には切り込みをいれ寸法調節用の面ファ
スナーを備えている。
制型クリーンルーム用帽子は、帽子の内側にゴムを通し
た防塵衣生地を頭の周囲を取り巻く鉢巻き状に設け、後
頭部に当る部分には切り込みをいれ寸法調節用の面ファ
スナーを備えている。
【0005】
【実施例】本発明について図面を参照して説明する。図
1は本発明の一実施例を示す図で、同図(A)は側面方
向から見た外観図,同図(B)は背面方向から見た外観
図である。帽子の内側にゴムを通した幅5cm程の防塵
衣生地3を鉢巻き状に取りつけ、頭部よりのパーティク
ルの噴出を防ぐ。後頭部に当る部分には切り込み5を入
れ面ファスナー1cで頭の大きさに調整できる機能を有
する。その他の構造は従来と同じである。
1は本発明の一実施例を示す図で、同図(A)は側面方
向から見た外観図,同図(B)は背面方向から見た外観
図である。帽子の内側にゴムを通した幅5cm程の防塵
衣生地3を鉢巻き状に取りつけ、頭部よりのパーティク
ルの噴出を防ぐ。後頭部に当る部分には切り込み5を入
れ面ファスナー1cで頭の大きさに調整できる機能を有
する。その他の構造は従来と同じである。
【0006】本実施例によれば、帽子の内側に空気の流
出を防ぐ為の防塵衣生地を取り付け、ゴムを通して絞り
をつけることにより、作業者の頭髪からの発塵が直接半
導体製造装置あるいは半導体ウェハーに与える影響を少
なく出来る。又、通常のヘアーネットのように頭の上部
までネットがないのでむれることがなく、さらに後頭部
に面ファスナーを装着することにより、作業者の頭のサ
イズに合わせて使用できる。
出を防ぐ為の防塵衣生地を取り付け、ゴムを通して絞り
をつけることにより、作業者の頭髪からの発塵が直接半
導体製造装置あるいは半導体ウェハーに与える影響を少
なく出来る。又、通常のヘアーネットのように頭の上部
までネットがないのでむれることがなく、さらに後頭部
に面ファスナーを装着することにより、作業者の頭のサ
イズに合わせて使用できる。
【0007】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、作業者の
頭部で発生したパーティクルの防塵衣顔面開口部からの
噴出を押さえることができるので、クリーンルーム内の
パーティクルを抑制できる効果がある。
頭部で発生したパーティクルの防塵衣顔面開口部からの
噴出を押さえることができるので、クリーンルーム内の
パーティクルを抑制できる効果がある。
【図1】本発明の一実施例を示す図で、同図(A)は側
面方向から見た外観図、同図(B)は背面方向から見た
外観図である。
面方向から見た外観図、同図(B)は背面方向から見た
外観図である。
【図2】従来のクリーンルーム用帽子の側面方向から見
た外観図である。
た外観図である。
1a,1b,1c 面ファスナー 2 メッシュ 3 防塵衣生地 4 ゴム 5 切り込み
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) A41D 13/00 A42B 1/04 A42B 1/18
Claims (1)
- 【請求項1】 防塵衣生地使用のクリーンルーム用帽子
において、帽子の内側にゴムを通した防塵衣生地を頭の
周囲を取り巻く鉢巻き状に設け、この防塵衣生地の後頭
部に当る部分には切り込みを入れ寸法調節用の面ファス
ナーを備えたことを特徴とするクリーンルーム用帽子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3318288A JP2806664B2 (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | クリーンルーム用帽子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3318288A JP2806664B2 (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | クリーンルーム用帽子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05156503A JPH05156503A (ja) | 1993-06-22 |
JP2806664B2 true JP2806664B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=18097531
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3318288A Expired - Lifetime JP2806664B2 (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | クリーンルーム用帽子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2806664B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103190714B (zh) * | 2013-04-24 | 2015-04-08 | 上海嘉柏服装科技有限公司 | 一种无菌穿着连体洁净服及其穿着方法 |
JP6345730B2 (ja) * | 2016-04-22 | 2018-06-20 | 吉田 崇 | 作業用フード |
-
1991
- 1991-12-03 JP JP3318288A patent/JP2806664B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05156503A (ja) | 1993-06-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980707 |