JP2799111B2 - 酸素ガス中の不純物の高感度分析方法および装置 - Google Patents
酸素ガス中の不純物の高感度分析方法および装置Info
- Publication number
- JP2799111B2 JP2799111B2 JP4265482A JP26548292A JP2799111B2 JP 2799111 B2 JP2799111 B2 JP 2799111B2 JP 4265482 A JP4265482 A JP 4265482A JP 26548292 A JP26548292 A JP 26548292A JP 2799111 B2 JP2799111 B2 JP 2799111B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen
- component
- detector
- precut
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定ガスである酸素
ガス中に含有されている不純物成分の濃度を高感度に分
析する方法および装置に関するものである。
ガス中に含有されている不純物成分の濃度を高感度に分
析する方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】酸素ガス中の不純物の分析にはガスクロ
マトグラフに代表される熱伝導度検出器が広く用いられ
ているが、熱伝導度検出器は検出感度が低く、数ｐｐｍ
以上の不純物しか検出できないという限界がある。
マトグラフに代表される熱伝導度検出器が広く用いられ
ているが、熱伝導度検出器は検出感度が低く、数ｐｐｍ
以上の不純物しか検出できないという限界がある。
【０００３】これに対し、質量分析器などの高感度検出
器は、不純物成分の検出感度が高いという利点があるも
のの、大量の酸素ガスが高感度検出器内に入ると、その
検出器のフィラメントが劣化して信号が弱くなったり、
フィラメントが切れたりして分析ができなくなることが
ある。すなわち、質量分析器などの高感度検出器は、高
濃度酸素ガスを直接導入することによっての酸素ガス中
に含まれる微量の不純物の分析には向いていない。
器は、不純物成分の検出感度が高いという利点があるも
のの、大量の酸素ガスが高感度検出器内に入ると、その
検出器のフィラメントが劣化して信号が弱くなったり、
フィラメントが切れたりして分析ができなくなることが
ある。すなわち、質量分析器などの高感度検出器は、高
濃度酸素ガスを直接導入することによっての酸素ガス中
に含まれる微量の不純物の分析には向いていない。
【０００４】一般に、被測定ガスを分離カラムに導いて
主成分と不純物成分とに分離すると共に、主成分をプレ
カットバルブの操作により分析系統外へ排気し、ついで
不純物成分のみを高感度検出器に流入させて不純物成分
の濃度を分析する方法が知られている。
主成分と不純物成分とに分離すると共に、主成分をプレ
カットバルブの操作により分析系統外へ排気し、ついで
不純物成分のみを高感度検出器に流入させて不純物成分
の濃度を分析する方法が知られている。
【０００５】この場合、プレカットを行うタイミング
は、予め主成分の分離カラムからの溶出時間を測定して
おき、その設定時間に合わせて手動またはタイマーによ
りプレカットバルブを操作する。また、プレカラムの出
口に検出器を設け、その検出器を監視することにより不
純物成分のみをメインカラムに送るようにすることも提
案されている。
は、予め主成分の分離カラムからの溶出時間を測定して
おき、その設定時間に合わせて手動またはタイマーによ
りプレカットバルブを操作する。また、プレカラムの出
口に検出器を設け、その検出器を監視することにより不
純物成分のみをメインカラムに送るようにすることも提
案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述の方法、すなわ
ち、予め主成分のカラムからの溶出時間を測定してお
き、その設定時間に合わせて手動またはタイマーにより
プレカットバルブを操作する方法は、不純物成分のみを
高感度検出器に流入させて不純物濃度を分析することが
できるので有力な方法である。
ち、予め主成分のカラムからの溶出時間を測定してお
き、その設定時間に合わせて手動またはタイマーにより
プレカットバルブを操作する方法は、不純物成分のみを
高感度検出器に流入させて不純物濃度を分析することが
できるので有力な方法である。
【０００７】しかしながらこの方法は、事前に主成分の
溶出時間の測定を行っておかなければならないという煩
わしさがある上、予めそのような測定を行っておいて
も、使用中のカラムの劣化や汚れにより主成分のカラム
からの溶出時間が変化し、誤って不純物成分に主成分が
混じってしまうという危険性がある。そして主成分が酸
素ガスのような酸化性ガスである場合には、一度でもそ
のような事態を起こすと、高感度検出器の修復に多大の
労力と費用を割かなければならなくなる。また、プレカ
ラムの出口に検出器を設け、その検出器を監視すること
により不純物成分のみをメインカラムに送るようにする
方法も、一般論としては知られていても、酸素ガスのよ
うな酸化性成分に適用するときに、どのように適用すれ
ばよいかが知られていない。
溶出時間の測定を行っておかなければならないという煩
わしさがある上、予めそのような測定を行っておいて
も、使用中のカラムの劣化や汚れにより主成分のカラム
からの溶出時間が変化し、誤って不純物成分に主成分が
混じってしまうという危険性がある。そして主成分が酸
素ガスのような酸化性ガスである場合には、一度でもそ
のような事態を起こすと、高感度検出器の修復に多大の
労力と費用を割かなければならなくなる。また、プレカ
ラムの出口に検出器を設け、その検出器を監視すること
により不純物成分のみをメインカラムに送るようにする
方法も、一般論としては知られていても、酸素ガスのよ
うな酸化性成分に適用するときに、どのように適用すれ
ばよいかが知られていない。
【０００８】本発明は、このような背景下において、主
成分が酸素成分であっても、その酸素成分中に微量に含
まれる不純物の濃度を確実かつ高精度で分析することが
できる分析方法および装置を提供することを目的とする
ものである。
成分が酸素成分であっても、その酸素成分中に微量に含
まれる不純物の濃度を確実かつ高精度で分析することが
できる分析方法および装置を提供することを目的とする
ものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の酸素ガス中の不
純物の高感度分析方法は、被測定ガスである酸素ガス
（１）をキャリアガス（２）に同伴させて分離カラム
（４）に導入することにより主成分である酸素成分と不
純物成分とに分離すると共に、その酸素成分について
は、熱伝導度検出器からなる酸素検出器（５）の検出に
基くプレカットバルブ（６）の操作により分析系統外へ
排気し、その酸素成分よりも速く溶出する不純物成分お
よびその酸素成分より遅れて溶出される不純物成分につ
いては、これを四重極型質量分析器（９）に導いて不純
物を分析することを特徴とするものである。この場合、
酸素検出器（５）とプレカットバルブ（６）の操作を連
動させ、主成分である酸素成分を自動的にプレカットし
て分析系統外へ排気することが特に好ましい。
純物の高感度分析方法は、被測定ガスである酸素ガス
（１）をキャリアガス（２）に同伴させて分離カラム
（４）に導入することにより主成分である酸素成分と不
純物成分とに分離すると共に、その酸素成分について
は、熱伝導度検出器からなる酸素検出器（５）の検出に
基くプレカットバルブ（６）の操作により分析系統外へ
排気し、その酸素成分よりも速く溶出する不純物成分お
よびその酸素成分より遅れて溶出される不純物成分につ
いては、これを四重極型質量分析器（９）に導いて不純
物を分析することを特徴とするものである。この場合、
酸素検出器（５）とプレカットバルブ（６）の操作を連
動させ、主成分である酸素成分を自動的にプレカットし
て分析系統外へ排気することが特に好ましい。
【００１０】また、本発明の酸素ガス中の不純物の高感
度分析装置は、被測定ガスである酸素ガス（１）を主成
分である酸素成分と不純物成分とに分離する分離カラム
（４）、該分離カラム（４）の下流に設ける熱伝導度検
出器からなる酸素検出器（５）、該酸素検出器（５）の
検出に基いて自動的に作動するプレカットバルブ
（６）、および、該プレカットバルブ（６）の下流に設
ける四重極型質量分析器（９）を備えてなるものであ
る。
度分析装置は、被測定ガスである酸素ガス（１）を主成
分である酸素成分と不純物成分とに分離する分離カラム
（４）、該分離カラム（４）の下流に設ける熱伝導度検
出器からなる酸素検出器（５）、該酸素検出器（５）の
検出に基いて自動的に作動するプレカットバルブ
（６）、および、該プレカットバルブ（６）の下流に設
ける四重極型質量分析器（９）を備えてなるものであ
る。
【００１１】以下本発明を詳細に説明する。
【００１２】被測定ガスである酸素ガス（１）として
は、水素、窒素、炭化水素、炭素酸化物、希ガス、窒素
酸化物はじめとする種々の不純物を含む酸素ガスが用い
られる。このような酸素ガス（１）の一例は、空気から
分離した酸素ガスである。
は、水素、窒素、炭化水素、炭素酸化物、希ガス、窒素
酸化物はじめとする種々の不純物を含む酸素ガスが用い
られる。このような酸素ガス（１）の一例は、空気から
分離した酸素ガスである。
【００１３】キャリアガス（２）としては、たとえば、
ヘリウムガス、アルゴンガス、窒素ガスなどが使用され
る。
ヘリウムガス、アルゴンガス、窒素ガスなどが使用され
る。
【００１４】分離カラム（４）としては、天然または合
成のポリマービーズ、無機質多孔質体、カーボン系充填
剤などを充填したカラムが用いられる。
成のポリマービーズ、無機質多孔質体、カーボン系充填
剤などを充填したカラムが用いられる。
【００１５】酸素検出器（５）としては、本発明におい
ては、熱伝導度検出器を用いる。
ては、熱伝導度検出器を用いる。
【００１６】プレカットバルブ（６）としては、たとえ
ば四方コック型のバルブが用いられる。
ば四方コック型のバルブが用いられる。
【００１７】そして本発明においては、不純物の濃度を
検出するための高感度検出器として、四重極型質量分析
器（９）を用いる。
検出するための高感度検出器として、四重極型質量分析
器（９）を用いる。
【００１８】熱伝度検出器からなる酸素検出器（５）
は、これを分離カラム（４）の下流に設け、プレカット
バルブ（６）はその酸素検出器（５）の下流に設ける。
すなわち、酸素検出器（５）は分離カラム（４）とプレ
カットバルブ（６）との間に設ける。この場合、酸素検
出器（５）とプレカットバルブ（６）とをつなぐ配管の
長さを調節して、酸素成分が酸素検出器（５）で検出さ
れてからプレカットバルブ（６）に達するまでにプレカ
ットバルブ（６）の操作が充分にできる時間が確保でき
ようにする。そして四重極型質量分析器（９）は、その
プレカットバルブ（６）の下流に設ける。
は、これを分離カラム（４）の下流に設け、プレカット
バルブ（６）はその酸素検出器（５）の下流に設ける。
すなわち、酸素検出器（５）は分離カラム（４）とプレ
カットバルブ（６）との間に設ける。この場合、酸素検
出器（５）とプレカットバルブ（６）とをつなぐ配管の
長さを調節して、酸素成分が酸素検出器（５）で検出さ
れてからプレカットバルブ（６）に達するまでにプレカ
ットバルブ（６）の操作が充分にできる時間が確保でき
ようにする。そして四重極型質量分析器（９）は、その
プレカットバルブ（６）の下流に設ける。
【００１９】被測定ガスである酸素ガス（１）をキャリ
アガス（２）に同伴させて分離カラム（４）に導入する
と、主成分である酸素成分と不純物成分とに分離され
る。そこで、熱伝導度検出器からなる酸素検出器（５）
の検出に基くプレカットバルブ（６）の操作により、そ
の酸素成分を分析系統外へ排気する。そしてその酸素成
分よりも速く溶出する不純物成分およびその酸素成分よ
り遅れて溶出される不純物成分については、これを四重
極型質量分析器（９）に導いて不純物を分析する。
アガス（２）に同伴させて分離カラム（４）に導入する
と、主成分である酸素成分と不純物成分とに分離され
る。そこで、熱伝導度検出器からなる酸素検出器（５）
の検出に基くプレカットバルブ（６）の操作により、そ
の酸素成分を分析系統外へ排気する。そしてその酸素成
分よりも速く溶出する不純物成分およびその酸素成分よ
り遅れて溶出される不純物成分については、これを四重
極型質量分析器（９）に導いて不純物を分析する。
【００２０】プレカットバルブ（６）の操作は手動でも
可能であるが、切り換え忘れや遅れを生じないように、
酸素検出器（５）とプレカットバルブ（６）の操作を連
動させ、主成分である酸素成分を自動的にプレカットし
て分析系統外へ排気することが特に好ましい。
可能であるが、切り換え忘れや遅れを生じないように、
酸素検出器（５）とプレカットバルブ（６）の操作を連
動させ、主成分である酸素成分を自動的にプレカットし
て分析系統外へ排気することが特に好ましい。
【００２１】
【作用】本発明においては、被測定ガスである酸素ガス
（１）を分離カラム（４）に導入することにより主成分
である酸素成分と不純物成分とに分離するが、その際、
分離された酸素成分を熱伝導度検出器からなる酸素検出
器（５）で検出してその検出に基きその酸素成分をプレ
カットバルブ（６）で確実に分析系統外へ排気するよう
にしてあるので、その酸素成分よりも速く溶出する不純
物成分およびその酸素成分より遅れて溶出される不純物
成分のみを確実に四重極型質量分析器（９）に導いて分
析することができる。
（１）を分離カラム（４）に導入することにより主成分
である酸素成分と不純物成分とに分離するが、その際、
分離された酸素成分を熱伝導度検出器からなる酸素検出
器（５）で検出してその検出に基きその酸素成分をプレ
カットバルブ（６）で確実に分析系統外へ排気するよう
にしてあるので、その酸素成分よりも速く溶出する不純
物成分およびその酸素成分より遅れて溶出される不純物
成分のみを確実に四重極型質量分析器（９）に導いて分
析することができる。
【００２２】
【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。
る。
【００２３】実施例１ 図１は本発明の一実施例を示す装置の構成図、図２は図
１の装置による分析結果を示す代表的なクロマトグラム
である。
１の装置による分析結果を示す代表的なクロマトグラム
である。
【００２４】図１において、被測定ガスである酸素ガス
（１）はサンプリングコック（３）によりキャリアガス
（２）の一例であるヘリウムガスに同伴され、ポーラス
ポリマービーズまたは合成ゼオライトを充填した分離カ
ラム（４）を通ることにより、主成分である酸素成分と
被測定成分である不純物成分とに分けられる。
（１）はサンプリングコック（３）によりキャリアガス
（２）の一例であるヘリウムガスに同伴され、ポーラス
ポリマービーズまたは合成ゼオライトを充填した分離カ
ラム（４）を通ることにより、主成分である酸素成分と
被測定成分である不純物成分とに分けられる。
【００２５】このうち酸素成分は酸素検出器（５）の一
例であるである熱伝導度検出器で検出され、その電気信
号は増幅器（１０）で増幅され、プレカットバルブ
（６）が自動的に作動して排ガスライン（７）へ導かれ
る。次に、酸素成分のピークが無くなったことが酸素検
出器（５）で検出され、その電気信号は増幅器（１０）
を通ってプレカットバルブ（６）を自動的に元の位置に
戻す。
例であるである熱伝導度検出器で検出され、その電気信
号は増幅器（１０）で増幅され、プレカットバルブ
（６）が自動的に作動して排ガスライン（７）へ導かれ
る。次に、酸素成分のピークが無くなったことが酸素検
出器（５）で検出され、その電気信号は増幅器（１０）
を通ってプレカットバルブ（６）を自動的に元の位置に
戻す。
【００２６】その酸素成分よりも速く溶出する不純物成
分およびその酸素成分より遅れて溶出される不純物成分
は、酸素検出器（熱伝導度検出器）（５）およびプレカ
ットバルブ（６）を経て高感度の検出器（９）である四
重極型質量分析器（９）に導かれ、ここで不純物が高感
度で検出される。
分およびその酸素成分より遅れて溶出される不純物成分
は、酸素検出器（熱伝導度検出器）（５）およびプレカ
ットバルブ（６）を経て高感度の検出器（９）である四
重極型質量分析器（９）に導かれ、ここで不純物が高感
度で検出される。
【００２７】図２において、（１１）は酸素検出器（熱
伝導度検出器）（５）からの出力信号であり、破線（１
３）で示した時間（プレカット開始時間）で増幅器（１
０）によりプレカットバルブ（６）が自動的に操作さ
れ、分離カラム（４）から溶出した酸素成分が排ガスラ
イン（７）へ流れるようになっている。そして酸素成分
溶出後、破線（１４）で示した時間（プレカット終了時
間）でプレカットバルブ（６）が増幅器（１０）により
自動的に元の位置へ戻される。その結果、分離カラム
（４）からの溶出不純物成分（酸素成分よりも速く溶出
する不純物成分および酸素成分より遅れて溶出される不
純物成分）のみが四重極型質量分析器（９）へ導入され
るようになっている。（１２）は四重極型質量分析器
（９）からの出力信号であり、該分析器の質量数を４４
に合わせて二酸化炭素を検出している。
伝導度検出器）（５）からの出力信号であり、破線（１
３）で示した時間（プレカット開始時間）で増幅器（１
０）によりプレカットバルブ（６）が自動的に操作さ
れ、分離カラム（４）から溶出した酸素成分が排ガスラ
イン（７）へ流れるようになっている。そして酸素成分
溶出後、破線（１４）で示した時間（プレカット終了時
間）でプレカットバルブ（６）が増幅器（１０）により
自動的に元の位置へ戻される。その結果、分離カラム
（４）からの溶出不純物成分（酸素成分よりも速く溶出
する不純物成分および酸素成分より遅れて溶出される不
純物成分）のみが四重極型質量分析器（９）へ導入され
るようになっている。（１２）は四重極型質量分析器
（９）からの出力信号であり、該分析器の質量数を４４
に合わせて二酸化炭素を検出している。
【００２８】図１の装置を使用して超高純度酸素ガス中
の不純物の濃度を測定した。酸素成分が四重極型質量分
析器（９）に入るとイオン化部のフィラメントを焼き切
ってしまうが、上記の装置においては熱伝導度検出器か
らなる酸素検出器（５）により酸素成分を検出しながら
プレカットを行っているので、酸素成分は四重極型質量
分析器（９）に入らないようになっている。
の不純物の濃度を測定した。酸素成分が四重極型質量分
析器（９）に入るとイオン化部のフィラメントを焼き切
ってしまうが、上記の装置においては熱伝導度検出器か
らなる酸素検出器（５）により酸素成分を検出しながら
プレカットを行っているので、酸素成分は四重極型質量
分析器（９）に入らないようになっている。
【００２９】また酸素検出器（５）である熱伝導度検出
器のフィラメントも酸素ガスに弱いので、焼き切れない
ように電流を１００ｍＡと少なくすると共に、その熱伝
導度検出器の温度も５０℃と低くして使用した。
器のフィラメントも酸素ガスに弱いので、焼き切れない
ように電流を１００ｍＡと少なくすると共に、その熱伝
導度検出器の温度も５０℃と低くして使用した。
【００３０】上記測定装置を使用して測定した３種類の
超高純度酸素ガスＡ，Ｂ，Ｃ中の各不純物成分の濃度を
次の表１に示す。
超高純度酸素ガスＡ，Ｂ，Ｃ中の各不純物成分の濃度を
次の表１に示す。
【００３１】
【表１】
【００３２】
【発明の効果】本発明においては、被測定ガスである酸
素ガス（１）を分離カラム（４）に導入することにより
主成分である酸素成分と不純物成分とに分離するとき
に、分離された酸素成分を熱伝導度検出器からなる酸素
検出器（５）で検出してその検出に基きその酸素成分を
プレカットバルブ（６）で分析系統外へ排気するように
してあるので、その酸素成分よりも速く溶出する不純物
成分およびその酸素成分より遅れて溶出される不純物成
分のみを四重極型質量分析器（９）に導いて分析するこ
とができる。
素ガス（１）を分離カラム（４）に導入することにより
主成分である酸素成分と不純物成分とに分離するとき
に、分離された酸素成分を熱伝導度検出器からなる酸素
検出器（５）で検出してその検出に基きその酸素成分を
プレカットバルブ（６）で分析系統外へ排気するように
してあるので、その酸素成分よりも速く溶出する不純物
成分およびその酸素成分より遅れて溶出される不純物成
分のみを四重極型質量分析器（９）に導いて分析するこ
とができる。
【００３３】このように本発明によれば確実に酸素成分
のプレカットを行うことが可能であり、後段の四重極型
質量分析器（９）を傷めることなく酸素ガス中の不純物
成分を高感度で分析することが可能である。
のプレカットを行うことが可能であり、後段の四重極型
質量分析器（９）を傷めることなく酸素ガス中の不純物
成分を高感度で分析することが可能である。
【００３４】よって本発明は、酸素ガス中の不純物の高
感度分析の目的に極めて実用的でかつ効果の大きいもの
である。
感度分析の目的に極めて実用的でかつ効果の大きいもの
である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の一実施例を示す装置の構成図で
ある。
ある。
【図２】図２は図１の装置による分析結果を示す代表的
なクロマトグラムである。
なクロマトグラムである。
（１）…酸素ガス、 （２）…キャリアガス、 （３）…サンプリングコック、 （４）…分離カラム、 （５）…熱伝導度検出器からなる酸素検出器、 （６）…プレカットバルブ、 （７）…排ガスライン、 （８）…キャリアガス、 （９）…四重極型質量分析器、 （１０）…増幅器、 （１１）…酸素検出器（５）からの出力信号、 （１２）…四重極型質量分析器（９）からの出力信号、 （１３）…プレカット開始時間、 （１４）…プレカット終了時間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−176548（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−83596（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−148162（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−75467（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 30/88 G01N 30/62 G01N 30/72 G01N 30/78
Claims (3)
- 【請求項１】被測定ガスである酸素ガス（１）をキャリ
アガス（２）に同伴させて分離カラム（４）に導入する
ことにより主成分である酸素成分と不純物成分とに分離
すると共に、その酸素成分については、熱伝導度検出器
からなる酸素検出器（５）の検出に基くプレカットバル
ブ（６）の操作により分析系統外へ排気し、その酸素成
分よりも速く溶出する不純物成分およびその酸素成分よ
り遅れて溶出される不純物成分については、これを四重
極型質量分析器（９）に導いて不純物を分析することを
特徴とする酸素ガス中の不純物の高感度分析方法。 - 【請求項２】酸素検出器（５）とプレカットバルブ
（６）の操作を連動させ、主成分である酸素成分を自動
的にプレカットして分析系統外へ排気することを特徴と
する請求項１記載の分析方法。 - 【請求項３】被測定ガスである酸素ガス（１）を主成分
である酸素成分と不純物成分とに分離する分離カラム
（４）、該分離カラム（４）の下流に設ける熱伝導度検
出器からなる酸素検出器（５）、該酸素検出器（５）の
検出に基いて自動的に作動するプレカットバルブ
（６）、および、該プレカットバルブ（６）の下流に設
ける四重極型質量分析器（９）を備えてなる、酸素ガス
中の不純物の高感度分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265482A JP2799111B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 酸素ガス中の不純物の高感度分析方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265482A JP2799111B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 酸素ガス中の不純物の高感度分析方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0688815A JPH0688815A (ja) | 1994-03-29 |
| JP2799111B2 true JP2799111B2 (ja) | 1998-09-17 |
Family
ID=17417794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4265482A Expired - Fee Related JP2799111B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 酸素ガス中の不純物の高感度分析方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2799111B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4744618B2 (ja) * | 2009-04-13 | 2011-08-10 | シャープ株式会社 | ガス成分検出装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5183596A (ja) * | 1975-01-20 | 1976-07-22 | Hitachi Ltd | Ryurokirikaesochi |
| JPS58176548A (ja) * | 1982-04-09 | 1983-10-17 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | ガスクロマトグラフ |
| JPS6275467U (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-14 | ||
| JPS63148162A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-21 | Shimadzu Corp | アルゴンガス管理装置 |
-
1992
- 1992-09-07 JP JP4265482A patent/JP2799111B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0688815A (ja) | 1994-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0024566B1 (en) | An apparatus for the analysis of oxygen, nitrogen and hydrogen contained in metals | |
| Amy et al. | A General Technique for Collecting Gas Chromatographic Fractions for Introduction into the Mass Spectrometer. | |
| CN112526016A (zh) | 一种六氟化硫气体中硫酰氟组分含量的检测方法 | |
| CN105181851A (zh) | 环境中氮氧化物的测定方法 | |
| KR100796840B1 (ko) | 이온 이동도 분광법에 의한 산소내 일산화탄소 및탄화수소의 전체 농도를 측정하는 방법 | |
| JP3260828B2 (ja) | 微量不純物の分析方法 | |
| JPH11118763A (ja) | 大気圧イオン化質量分析を使用する超高純度ガスの測定 | |
| JP2799111B2 (ja) | 酸素ガス中の不純物の高感度分析方法および装置 | |
| JP3097031B2 (ja) | ガス中の不純物の分析方法及び装置 | |
| JP3103985B2 (ja) | 濃縮分析法及び装置 | |
| JP3834550B2 (ja) | マイクロクロマトグラフと質量スペクトル計とを結合するためのデバイスならびに分析デバイス | |
| JP2799116B2 (ja) | 気状水素化物中の不純物の高感度分析方法および装置 | |
| JP3964785B2 (ja) | イオン移動度スペクトル分析法によりアルゴン中の窒素濃度を測定する方法 | |
| Davidson et al. | Direct determination of the helium 3 content of atmospheric air by mass spectrometry | |
| JP2858143B2 (ja) | 濃縮分析方法及びその装置 | |
| JP4235512B2 (ja) | よう素除去効率試験方法 | |
| JP4118745B2 (ja) | 濃縮分析装置及び方法 | |
| JP3033611B2 (ja) | 微量同位体分析装置 | |
| KR100809148B1 (ko) | 이온 이동도 분광법으로 헬륨내의 불순물의 농도를측정하는 방법 | |
| Dear et al. | Determination of organic compounds in the hydrogen used for cooling large electricity generators | |
| JPS6217707Y2 (ja) | ||
| JPH0446379B2 (ja) | ||
| Roboz | Mass spectrometric determination of trace impurities in oxygen | |
| Miller et al. | Analysis of stack gases using a portable gas chromatographic sampling and analyzing system | |
| Russow et al. | A new approach to determining the content and 15N abundance of total dissolved nitrogen in aqueous samples: TOC analyser-QMS coupling |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980615 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |