JP2795467B2 - Good adhesive metal paste - Google Patents

Good adhesive metal paste

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将 愛知後
駿 岡田
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、特殊なフラックスを含む金属ペーストに関
する。さらに詳しくは、セラミック基板に通常のスクリ
ーン技術を用いて特定形状に金属ペーストを印刷しその
後この金属ペーストを高温に加熱し、該ペーストの一部
を燃焼し去りセラミック基板に焼結した導電性のパター
ンを残し、ハイブリッド回路として利用するための金属
ペーストにおいて、セラミック基板との接着性を大幅に
向上せしめるペースト組成に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a metal paste containing a special flux. In more detail, a metal paste is printed on a ceramic substrate in a specific shape using a normal screen technique, and then the metal paste is heated to a high temperature, and a part of the paste is burned off and sintered to a ceramic substrate. The present invention relates to a paste composition that significantly improves adhesion to a ceramic substrate in a metal paste to be used as a hybrid circuit while leaving a pattern.

[従来の技術] 金属ペーストは、本質的に導電性金属、ガラス、金属
酸化物の粉末およびビヒクルからなる。
BACKGROUND OF THE INVENTION Metal pastes consist essentially of conductive metal, glass, metal oxide powders and vehicles.

この中で、導電性金属は、焼結して導電体としての役
割を果たしガラスならびに金属酸化物は、導電体とセラ
ミック基板との接着性に寄与する。
Among them, the conductive metal sinters to serve as a conductor, and the glass and the metal oxide contribute to the adhesion between the conductor and the ceramic substrate.

またビヒクルは、粉末をペースト状にし所望の印刷
性、ならびに安定性を与えるために使用される。
The vehicle is also used to make the powder into a paste to provide desired printability and stability.

これらの金属ペーストに要求される物性の中で、接着
強度が常に問題となる項目である。初期接着はもちろん
のこと、エージング後の強度が重要であり、とくに最近
の高密度実装の流れの中で、各種部品を搭載するボンデ
ィングパッドの面積が従来より小さくなる傾向にあり、
ますます接着強度を高める必要性がある。
Among the physical properties required for these metal pastes, the adhesive strength is always an issue. The strength after aging is important, as well as the initial bonding, and the area of the bonding pads for mounting various components tends to be smaller than before, especially in the recent high-density mounting flow.
There is an increasing need to increase the bonding strength.

従来焼成型金属ペーストの接着のためにガラス粉末を
添加したり、金属酸化物を添加したりするのはよく知ら
れている。金属酸化物としてよく知られているのは酸化
ビスマスである。酸化ビスマスは、基板であるアルミナ
と化学反応をすることがよく知られており、多くのペー
ストに配合されている。またガラスは、金属の焼結層に
くさび形に食い込み、アルミナ基板との界面で物理的な
接着層を形成する。
Conventionally, it is well known to add a glass powder or a metal oxide for bonding a fired metal paste. A well-known metal oxide is bismuth oxide. It is well known that bismuth oxide chemically reacts with alumina as a substrate, and is blended in many pastes. Further, the glass penetrates into the sintered layer of the metal in a wedge shape, and forms a physical adhesive layer at the interface with the alumina substrate.

[発明が解決しようとする課題] 多くのペーストで知られているような、酸化ビスマス
ならびにガラスによる接着においてはつぎのような問題
点がある。酸化ビスマスは、アルミナ基板上で強固な接
着層を形成するが、その接着層は、エージングテストの
際のハンダの侵入により、容易に破壊される欠点を有す
るし焼成時の還元雰囲気により容易に還元されて金属ビ
スマスになりステイン現象の原因になったりする。これ
を避けるため酸化ビスマスの添加量を減らし接着力の低
下をカバーするためにガラス量を増やすとハンダ濡れが
悪くなったり、ヒートサイクル試験で接着力が大幅に低
下するなどの問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] There are the following problems in bonding with bismuth oxide and glass as is known for many pastes. Bismuth oxide forms a strong adhesive layer on the alumina substrate, but the adhesive layer has the disadvantage that it is easily destroyed by the penetration of solder during the aging test, and is easily reduced by the reducing atmosphere during firing. It becomes metallic bismuth and causes a stain phenomenon. To avoid this, if the amount of bismuth oxide is reduced and the amount of glass is increased to cover the decrease in adhesive strength, there are problems such as poor solder wettability and a significant decrease in adhesive strength in a heat cycle test.

[課題を解決するための手段] 本発明は、金属粉、ガラス粉、金属酸化物粉およびビ
ヒクルからなる金属ペーストであって、金属酸化物粉と
してZnO粉およびTiO2粉を含むことを必須とし、これらZ
nO粉とTiO2粉の合計量がペースト全量の3〜5%(重量
%、以下同様)でありTiO2粉はペースト全量の0.05〜0.
5%であることを特徴とする金属ペーストに関する。こ
こで用いる金属粉としては、銀粉、パラジウム粉、金
粉、ニッケル粉、亜鉛粉、これらの混合粉またはこれら
の合金粉などが好ましい。ガラス粉としては好ましくは
軟化点300〜700℃、とくに好ましくは350〜600℃のホウ
酸鉛あるいはホウ珪酸塩ガラスなどを好適に用いること
ができるが、これらに限定されるものではない。金属酸
化物としては、前記の特定の金属酸化物粉(ZnO粉およ
びTiO2粉)のほか、酸化ニッケル粉、酸化マンガン粉、
酸化鉛粉、酸化カドミニウム粉または酸化バナジウム粉
などを用いることができる。またビヒクルとしては、た
とえばエチルセルローズまたはアクリル樹脂などのバイ
ンダー樹脂をターピネオールまたはブチルカルビトール
アセテートなどの高沸点溶剤に溶解し、高度な粘度とチ
クソトロピック性を有したものが好適に利用できるが、
これらに限定されるものではない。
[Means for Solving the Problems] The present invention is a metal paste composed of a metal powder, a glass powder, a metal oxide powder and a vehicle, and it is essential that the metal paste contains ZnO powder and TiO 2 powder as the metal oxide powder. , These Z
The total amount of the nO powder and the TiO 2 powder is 3 to 5% (% by weight, the same applies hereinafter) of the total amount of the paste, and the TiO 2 powder is 0.05 to 0.
5% of a metal paste. As the metal powder used here, silver powder, palladium powder, gold powder, nickel powder, zinc powder, a mixed powder thereof, or an alloy powder thereof is preferable. As the glass powder, lead borate or borosilicate glass having a softening point of preferably 300 to 700 ° C., particularly preferably 350 to 600 ° C., can be suitably used, but is not limited thereto. As the metal oxide, in addition to the specific metal oxide powders (ZnO powder and TiO 2 powder), nickel oxide powder, manganese oxide powder,
Lead oxide powder, cadmium oxide powder, vanadium oxide powder, or the like can be used. As the vehicle, for example, a resin having a high viscosity and thixotropic properties obtained by dissolving a binder resin such as ethyl cellulose or an acrylic resin in a high boiling point solvent such as terpineol or butyl carbitol acetate can be preferably used.
It is not limited to these.

各成分の金属ペーストにおける配合割合は金属粉とし
ては、ペースト中で70〜85重量%が好ましく、とくに75
〜85%が好ましく、ガラス粉としては、1〜5重量%が
好ましく、とくに1〜4%が好ましく、金属酸化物粉と
しては前記の特定の金属酸化物(ZnO粉およびTiO2粉)
を含めて3〜12重量%が好ましく、とくに5〜10%が好
ましく、ビヒクルは5〜25重量%が好ましく、とくに8
〜20%が好ましい。
The mixing ratio of each component in the metal paste is preferably 70 to 85% by weight of the metal powder in the paste.
The glass powder is preferably 1 to 5% by weight, particularly preferably 1 to 4%, and the metal oxide powder is the above-mentioned specific metal oxide (ZnO powder and TiO 2 powder)
Is preferably 3 to 12% by weight, particularly 5 to 10% by weight, and the vehicle is preferably 5 to 25% by weight, particularly 8%.
~ 20% is preferred.

また各粉末の粒径としては、0.1〜10ミクロンの範囲
が好ましく、とくに0.5〜5ミクロンの範囲が焼き付け
時の導体焼結の点より好ましい。
The particle size of each powder is preferably in the range of 0.1 to 10 microns, and particularly preferably in the range of 0.5 to 5 microns from the viewpoint of conductor sintering during baking.

各粉末の形状は、本発明においてとくに限定されず、
球状、フレーク状またはこれらの混合物など種々の形状
の粉末を用いることができるが、焼き付け時の導体の焼
結を促進するためには単分散性にすぐれた前記形状の粉
末を用いるのが好ましい。
The shape of each powder is not particularly limited in the present invention,
Powders of various shapes such as spherical, flake, or a mixture thereof can be used. However, in order to promote sintering of the conductor at the time of baking, it is preferable to use powders of the above-mentioned shape having excellent monodispersity.

本発明においては、金属酸化物粉として、ZnO粉およ
びTiO2粉を用いることを必須にしているのが最大の特徴
であり、その添加量を特定しているのも特筆すべき点で
ある。従来酸化亜鉛を、厚膜ペーストに配合することは
知られていた。しかしながら、接着力を充分高くするた
めに配合量を大きくするとたちまちハンダ濡れ性に悪い
影響を及ぼし配合量を制限される。従って、接着強度へ
の寄与は、酸化ビスマスほど高くはない。特公昭61−51
361号公報においてもペースト中1〜3%のZnOを含む組
成物が明らかにされているが、3%以上の添加は望まし
くないことを認めている。しかしながら、接着強度の観
点からは、これ以上の添加が望ましい。本発明者らは、
叙上の事情に鑑み、前記従来技術の有する不都合を解消
するべく鋭意研究を重ねた結果、TiO2粉の併用が、ZnO
粉の充分に接着強度に寄与しうる添加量をハンダ濡れを
損なうことなく達成できることを見出し、本発明を完成
するに至った。
In the present invention, the most important feature is that ZnO powder and TiO 2 powder are required to be used as the metal oxide powder, and it is notable that the amount of addition is specified. Conventionally, it has been known to mix zinc oxide into a thick film paste. However, if the compounding amount is increased to sufficiently increase the adhesive force, the solder wettability is immediately adversely affected and the compounding amount is limited. Therefore, the contribution to adhesive strength is not as high as bismuth oxide. Tokiko Sho 61-51
JP-A-361 also discloses a composition containing 1 to 3% ZnO in the paste, but recognizes that addition of 3% or more is undesirable. However, from the viewpoint of adhesive strength, it is desirable to add more. We have:
It made in view of the above circumstances, the result of so diligent studies prior art to overcome the disadvantages possessed by, the combination of TiO 2 powder, ZnO
It has been found that the amount of powder that can sufficiently contribute to the adhesive strength can be achieved without impairing solder wetting, and the present invention has been completed.

ZnO粉は、ペーストの焼成過程において、金属の低温
での焼結を防止しバインダーの揮散を良好にするととも
に、ガラスに溶解しガラスの結晶化、高軟化点化、高粘
性化をもたらし溶融したガラスが、焼結粒界を通って導
体表面へ移行していくのを防止しハンダ濡れ性を維持し
同時に導体層とセラミックの界面での強固なガラス接着
層を形成することにより、接着に寄与する。しかし接着
強度をさらに高めるためにZnO粉を増やすと、ガラスの
形成温度が高くなりすぎ、金属の焼結温度のほうが、低
くなる結果、焼結を阻害する結果となる。ところが本発
明のようにTiO2粉を同時に添加しておくことによりZnO
粉とガラスとから形成される新しいガラスの結晶性が低
下しZnO粉をある程度以上配合しても、金属の焼結温度
以下で、ガラス化が進みハンダ濡れに悪影響をおよぼす
ことなく接着強度を高めることができる。
ZnO powder, in the process of sintering the paste, prevented sintering of the metal at low temperatures and improved the volatilization of the binder, and melted in the glass, resulting in crystallization, high softening point, and high viscosity of the glass and melted. Prevents glass from migrating to the conductor surface through the sintered grain boundaries, maintains solder wettability, and at the same time contributes to adhesion by forming a strong glass adhesion layer at the interface between the conductor layer and ceramic I do. However, if the ZnO powder is increased to further increase the bonding strength, the temperature for forming the glass becomes too high, and the sintering temperature of the metal becomes lower, which results in inhibiting the sintering. However, by adding TiO 2 powder at the same time as in the present invention, ZnO
The crystallinity of new glass formed from powder and glass decreases, and even if ZnO powder is mixed to a certain degree or more, vitrification advances at a temperature lower than the sintering temperature of the metal and increases the adhesion strength without adversely affecting solder wetting be able to.

あらかじめ、ZnO粉とガラスとから結晶性ガラスを作
っておき、これをペースト中に配合したのでは同様の効
果は出ない。何故なら、このようなガラスは、総じて軟
化点が高く流動性も悪いため、焼成過程において、金属
層とセラミックの界面への移行が緩慢であり理想的な接
着層を形成しえないからである。
The same effect cannot be obtained by preparing a crystalline glass from ZnO powder and glass in advance and blending it in a paste. This is because such a glass generally has a high softening point and poor fluidity, so that during the firing process, the transition to the interface between the metal layer and the ceramic is slow and an ideal adhesive layer cannot be formed. .

本発明において、ZnO粉とTiO2粉の合計量がペースト
全量の3重量%未満であると接着強度の向上に余り効果
がなく、5重量%を超えるばあいハンダ濡れを悪化させ
る。またTiO2粉がペースト全量の0.05重量%未満である
とハンダ濡れに悪影響を及ぼし、また0.5重量%を超え
るばあいもハンダ濡れを悪化せしめる。
In the present invention, if the total amount of ZnO powder and TiO 2 powder is less than 3% by weight of the total amount of the paste, there is little effect on the improvement of the adhesive strength, and if it exceeds 5% by weight, the solder wetting is deteriorated. Also, if the TiO 2 powder is less than 0.05% by weight of the total amount of the paste, it has an adverse effect on solder wetting, and if it exceeds 0.5% by weight, solder wetting is worsened.

つぎに、本発明の金属ペーストの製法について説明す
る。
Next, a method for producing the metal paste of the present invention will be described.

金属ペーストは、金属粉、ガラス粉および金属酸化物
粉をビヒクルに混練分散させることによって製造する。
混練方法はたとえば万能撹拌混合機を用いて予備混練し
たのち3本ロールミルを用いて混練する方法が採用され
る。
The metal paste is produced by kneading and dispersing metal powder, glass powder and metal oxide powder in a vehicle.
As a kneading method, for example, a method of preliminarily kneading using a universal stirring mixer and then kneading using a three-roll mill is employed.

ついで、たとえばこの金属ペーストをアルミナセラミ
ックの基板上でのスクリーン印刷し、ついで150〜170℃
で10〜15分間乾燥させる。
Then, for example, this metal paste is screen-printed on an alumina ceramic substrate, and then 150 to 170 ° C.
Dry for 10-15 minutes.

最後に空気中あるいは窒素雰囲気下で800〜900℃の範
囲で約5〜10分間のピーク温度保持時間を含む40分の全
サイクル時間で焼成する。
Finally, firing is performed in air or in a nitrogen atmosphere at a temperature of 800 to 900 ° C. for a total cycle time of 40 minutes including a peak temperature holding time of about 5 to 10 minutes.

[実施例] 以下、本発明の金属ペーストを実施例に基づき説明す
るが本発明はもとよりかかる実施例にのみ限定されるも
のではない。
[Examples] Hereinafter, the metal paste of the present invention will be described based on examples, but the present invention is not limited to the examples.

実施例1〜6および比較例1〜5 第1表に示す金属粉、金属酸化物粉、ガラス粉および
ビヒクルを各処方にしたがって配合し、この組成物の万
能撹拌混合機(井上製作所(株)製)に計りとり24時間
予備混練を行なった。つぎにこの組成物を3本ロールミ
ルにて12回ミキシングしその後万能撹拌混合機中で真空
脱泡を行なってペーストをえた。えられたペーストを純
度96重量%アルミナセラミック(厚さ0.635mm)の基板
に適当なパターンにスクリーン印刷を行なってのち熱風
乾燥機を用いて120℃で10分間乾燥を行なった。その後
空気中あるいは窒素中でベルト炉においてピーク温度85
0℃もしくは900℃、ピーク温度保持時間7分を含む全サ
イクル時間40分のプロファイルで焼成を行なった。
Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 5 The metal powder, metal oxide powder, glass powder and vehicle shown in Table 1 were blended according to the respective formulations, and a universal stirring mixer of this composition (Inoue Seisakusho Co., Ltd.) Was pre-kneaded for 24 hours. Next, this composition was mixed 12 times with a three-roll mill, and then subjected to vacuum defoaming in a universal stirring mixer to obtain a paste. The obtained paste was screen-printed in a suitable pattern on a substrate of 96% pure alumina ceramic (thickness: 0.635 mm), and then dried at 120 ° C. for 10 minutes using a hot air drier. After that, the peak temperature was 85 in a belt furnace in air or nitrogen.
The firing was performed with a profile of 0 ° C. or 900 ° C. and a total cycle time of 40 minutes including a peak temperature holding time of 7 minutes.

えられた導体組成物の厚膜の性能評価を下記の方法に
したがって行なった。その結果を第2表に示す。
The performance of the thick film of the obtained conductor composition was evaluated according to the following method. Table 2 shows the results.

性能評価方法 (ハンダ濡れ性) 下記のパターンに印刷を行なって、焼成した基板にフ
ラックスを付け230℃±5℃のハンダ槽に3±0.5秒間こ
の基板を漬けて引き上げたときの基板のパッド部のハン
ダ濡れ面積がパッド部の90%以上であるときを良好とし
90%未満であるときを不良とした。
Performance evaluation method (Solder wettability) Print the following pattern, apply flux to the baked substrate, immerse this substrate in a 230 ° C ± 5 ° C solder bath for 3 ± 0.5 seconds, and pull up the pad part of the substrate Good when the solder wet area of the pad is 90% or more of the pad
When it was less than 90%, it was regarded as defective.

ハ ン ダ:63%Sn−37%Pb フラックス:タムラ化研(株)製XA−100 パターン :1mm×1mmパッド6個 2mm×1mmパッド12個 (接着強度) 下記のパターンに印刷を行なって焼成した基板にフラ
ックスを付け、230℃±5℃のハンダ槽に3±0.5秒間、
この基板を浸漬して引き上げた。
Solder: 63% Sn-37% Pb Flux: XA-100 manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd. Pattern: 6 x 1mm x 1mm pads x 12 x 2mm x 1mm pads (adhesive strength) Apply flux to the substrate and place it in a solder bath at 230 ℃ ± 5 ℃ for 3 ± 0.5 seconds.
This substrate was immersed and pulled up.

つぎに0.8mmφのスズメッキ銅線をハンダごてで2mm×
2mmパッド上に付けた。このサンプルを引っ張り試験機
((株)島津製作所製)により10mm/分の速度で引っ張
り、基板から金属ペーストがはがれるときの接着強度を
測定した。接着強度は、エージングする前の値(初期強
度)、250時間、150±2℃に加熱した後の値(熱エージ
ング強度)の両方を測定した。
Next, a tin-plated copper wire of 0.8mmφ is soldered with 2mm ×
Attached on a 2mm pad. The sample was pulled at a speed of 10 mm / min by a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation), and the adhesive strength when the metal paste was peeled from the substrate was measured. As the adhesive strength, both the value before aging (initial strength) and the value after heating at 150 ± 2 ° C. for 250 hours (thermal aging strength) were measured.

ハ ン ダ:63%Sn−37%Pb フラックス:タムラ化研(株)製XA−100 パターン :2mm×2mmパッド8個 [発明の効果] 本発明の金属ペーストは、ハイブリッド回路を製造す
るにあたって、導電体とセラミック基板との接着性を大
幅に向上せしめ、加えてすぐれたハンダ濡れ性を与える
ものである。
Solder: 63% Sn-37% Pb Flux: XA-100 manufactured by Tamura Kaken Corporation Pattern: 8 x 2mm x 2mm pads [Effects of the Invention] The metal paste of the present invention significantly improves the adhesion between the conductor and the ceramic substrate when producing a hybrid circuit, and also provides excellent solder wettability.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 駿 神奈川県逗子市沼間5丁目765―120 (72)発明者 桜庭 正美 京都府長岡京市竹ノ台2 (56)参考文献 特開 昭64−86404(JP,A) 特開 昭63−207001(JP,A) 特開 昭63−48704(JP,A) 特公 昭61−51361(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01B 1/20 H01B 1/16 H05K 1/09 C23C 24/00──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Shun Okada 5-765-120 Numa, Zushi City, Kanagawa Prefecture (72) Inventor Masami Sakuraba 2 Takenodai, Nagaokakyo City, Kyoto Prefecture (56) References JP-A 64-86404 (JP, A) JP-A-63-207001 (JP, A) JP-A-63-48704 (JP, A) JP-B-61-51361 (JP, B2) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6) H01B 1/20 H01B 1/16 H05K 1/09 C23C 24/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】金属粉、ガラス粉、金属酸化物粉およびビ
ヒクルからなる金属ペーストであって、金属酸化物粉と
してZnO粉およびTiO2粉を含むことを必須とし、これらZ
nO粉とTiO2粉の合計量がペースト全量の3〜5重量%で
ありTiO2粉はペースト全量の0.05〜0.5重量%であるこ
とを特徴とする金属ペースト。
1. A metal paste comprising a metal powder, a glass powder, a metal oxide powder, and a vehicle, which must contain ZnO powder and TiO 2 powder as the metal oxide powder.
A metal paste, wherein the total amount of nO powder and TiO 2 powder is 3 to 5% by weight of the total amount of the paste, and the TiO 2 powder is 0.05 to 0.5% by weight of the total amount of the paste.
【請求項2】重量比率で70〜85重量%の金属粉、1〜5
重量%のガラス粉、3〜12重量%の金属酸化物粉、およ
び5〜25重量%のビヒクルを含むことを特徴とする請求
項1記載の金属ペースト。
2. A metal powder having a weight ratio of 70 to 85% by weight, 1 to 5%.
The metal paste according to claim 1, comprising: glass powder of 3% by weight, 3 to 12% by weight of metal oxide powder, and 5 to 25% by weight of vehicle.
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