JP2792495B2 - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、イオン注入装置に
係り、特にその質量分析装置に関する。
係り、特にその質量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図９に示すようにイオン注入装置には質
量分析磁石７が設けられており、質量分析磁石７は、種
々のエネルギー及び電荷をもつイオンビーム８から特定
のエネルギー及び電荷をもつイオンビーム９を、磁場強
度，イオンのエネルギー，質量，電荷の関係式に従った
曲率に変更して取り出すようになっている。
量分析磁石７が設けられており、質量分析磁石７は、種
々のエネルギー及び電荷をもつイオンビーム８から特定
のエネルギー及び電荷をもつイオンビーム９を、磁場強
度，イオンのエネルギー，質量，電荷の関係式に従った
曲率に変更して取り出すようになっている。
【０００３】また選択されなかったイオンビーム１０
は、選択されたイオンビーム９の曲率より大きい又は小
さい曲率に変更され、質量分析磁石７の内壁に衝突して
中性化される。
は、選択されたイオンビーム９の曲率より大きい又は小
さい曲率に変更され、質量分析磁石７の内壁に衝突して
中性化される。
【０００４】イオンビーム１０が内壁に衝突すると内壁
が摩耗するため、質量分析磁石７の内壁に炭素製ライナ
ー１１を設置して内壁の摩耗を防止している。
が摩耗するため、質量分析磁石７の内壁に炭素製ライナ
ー１１を設置して内壁の摩耗を防止している。
【０００５】図９に示す従来例では、ライナー１１の摩
耗度合を検出する手段を装備していないため、ライナー
１１の板厚が１／２〜１／３程度残っているときにライ
ナー１１を定期的に交換する必要があり、装置の稼動率
が低下してしまうという問題があった。
耗度合を検出する手段を装備していないため、ライナー
１１の板厚が１／２〜１／３程度残っているときにライ
ナー１１を定期的に交換する必要があり、装置の稼動率
が低下してしまうという問題があった。
【０００６】そこで特開昭５８−２８１６８号公報に開
示されたようにライナーの摩耗度合を検出する機構が開
発されている。このものは、質量分析器の分析管内の内
面にスパッタによる分析管内の損傷を防ぐための自在に
合致させることができる機構を有し、この機構の損傷を
観測するビーム検出線を備えるようにしたものである。
示されたようにライナーの摩耗度合を検出する機構が開
発されている。このものは、質量分析器の分析管内の内
面にスパッタによる分析管内の損傷を防ぐための自在に
合致させることができる機構を有し、この機構の損傷を
観測するビーム検出線を備えるようにしたものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら特開昭５
８−２８１６８号公報に開示された検出機構は、ビーム
検出線が破断したことを検出してライナーの寿命を監視
するものであるため、ビーム検出線の破断時に、ビーム
検出線を構成している金属が分析管内に飛散し、分析管
内のビーム経路を金属汚染して、出力されるイオンビー
ムに悪影響を与えてしまうという問題があった。
８−２８１６８号公報に開示された検出機構は、ビーム
検出線が破断したことを検出してライナーの寿命を監視
するものであるため、ビーム検出線の破断時に、ビーム
検出線を構成している金属が分析管内に飛散し、分析管
内のビーム経路を金属汚染して、出力されるイオンビー
ムに悪影響を与えてしまうという問題があった。
【０００８】本発明の目的は、ライナーの抵抗値を定期
的にモニターすることにより、ライナーの摩耗度合を監
視するようにした質量分析装置を提供することにある。
的にモニターすることにより、ライナーの摩耗度合を監
視するようにした質量分析装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る質量分析装置は、質量分析磁石と、ラ
イナーと、電気端子の対とを有する質量分析装置であっ
て、質量分析磁石は、入力されるイオンビームから特定
のイオンビームを選択的に取り出して出力するものであ
り、ライナーは、前記質量分析磁石の内壁に設置され、
質量分析磁石で選択されなかったイオンビームを衝突さ
せて中性化するものであって、イオンビームの衝突によ
り摩耗し、その摩耗量に応じて抵抗値が変化するもので
あり、対をなす電気端子は、前記ライナーの対向する端
縁に取付けられ、該ライナーを質量分析磁石の内壁に対
して電気的に絶縁して支持し、前記ライナーの抵抗値の
変化を出力するものである。
め、本発明に係る質量分析装置は、質量分析磁石と、ラ
イナーと、電気端子の対とを有する質量分析装置であっ
て、質量分析磁石は、入力されるイオンビームから特定
のイオンビームを選択的に取り出して出力するものであ
り、ライナーは、前記質量分析磁石の内壁に設置され、
質量分析磁石で選択されなかったイオンビームを衝突さ
せて中性化するものであって、イオンビームの衝突によ
り摩耗し、その摩耗量に応じて抵抗値が変化するもので
あり、対をなす電気端子は、前記ライナーの対向する端
縁に取付けられ、該ライナーを質量分析磁石の内壁に対
して電気的に絶縁して支持し、前記ライナーの抵抗値の
変化を出力するものである。
【００１０】また前記対をなす電気端子は、ライナーの
イオンビームにより摩耗される箇所を挾んでライナーの
対向端を支持するものである。
イオンビームにより摩耗される箇所を挾んでライナーの
対向端を支持するものである。
【００１１】また測定回路を有し、該測定回路は、電気
端子を通してライナーに定電流を通過することにより、
対をなす電気端子間におけるライナーの抵抗値を測定す
るものである。
端子を通してライナーに定電流を通過することにより、
対をなす電気端子間におけるライナーの抵抗値を測定す
るものである。
【００１２】また前記対をなす電気端子の少なくとも一
方は、選択的に接地されるものである。
方は、選択的に接地されるものである。
【００１３】また前記接地される電気端子は、前記測定
回路から給電を受けて動作するリレー回路により、接地
側と前記測定回路側とに切替接続されるものである。
回路から給電を受けて動作するリレー回路により、接地
側と前記測定回路側とに切替接続されるものである。
【００１４】
【作用】図１を使用して本発明の動作原理を説明する。
本発明は、ライナーが炭素製であり、導電性をもつもの
であって、摩耗による形状変化に基づいて抵抗値が変化
することに着目し、抵抗値の変化を監視することによ
り、ライナーの摩耗度合を検出することを特徴とする。
本発明は、ライナーが炭素製であり、導電性をもつもの
であって、摩耗による形状変化に基づいて抵抗値が変化
することに着目し、抵抗値の変化を監視することによ
り、ライナーの摩耗度合を検出することを特徴とする。
【００１５】炭素製ライナー２の抵抗率ρ［Ωｃｍ］，
断面積Ｓ［ｃｍ2］，長さＬ［ｃｍ］であるとすると、
ライナー２の抵抗値Ｒは次式で表わされる。 Ｒ＝ρ・Ｌ／Ｓ いま、図１のようなライナー２における長さ方向の幅Ｘ
の部分の断面積が摩耗により、ｎ分の一に減少したとす
ると、そのときのライナー２の抵抗値Ｒ’は、次式で表
わされる。 Ｒ’＝ρ・（（Ｌ−Ｘ）／Ｓ＋Ｘ／（Ｓ／ｎ）） ＝ρ・（（Ｌ−Ｘ＋ｎＸ）／Ｓ） ＝ρ・［Ｌ＋（ｎ−１）Ｘ］／Ｓ ＝Ｒ＋ρ・（ｎ−１）・Ｘ／Ｓ 摩耗する幅Ｘは、質量分析磁石内のビームの直径にほぼ
等しく、あまり大きく変化しないと考えられるので、ラ
イナー２に通電したときの電圧降下の変化は幅Ｘの断面
積の変化に比例することになる。
断面積Ｓ［ｃｍ2］，長さＬ［ｃｍ］であるとすると、
ライナー２の抵抗値Ｒは次式で表わされる。 Ｒ＝ρ・Ｌ／Ｓ いま、図１のようなライナー２における長さ方向の幅Ｘ
の部分の断面積が摩耗により、ｎ分の一に減少したとす
ると、そのときのライナー２の抵抗値Ｒ’は、次式で表
わされる。 Ｒ’＝ρ・（（Ｌ−Ｘ）／Ｓ＋Ｘ／（Ｓ／ｎ）） ＝ρ・（（Ｌ−Ｘ＋ｎＸ）／Ｓ） ＝ρ・［Ｌ＋（ｎ−１）Ｘ］／Ｓ ＝Ｒ＋ρ・（ｎ−１）・Ｘ／Ｓ 摩耗する幅Ｘは、質量分析磁石内のビームの直径にほぼ
等しく、あまり大きく変化しないと考えられるので、ラ
イナー２に通電したときの電圧降下の変化は幅Ｘの断面
積の変化に比例することになる。
【００１６】したがって、電圧降下の変化を引き起こす
ライナー２の抵抗値を定期的に測定することにより、質
量分析磁石用ライナー２の摩耗の程度を知ることができ
る。例えばライナー２としてグラファイトを用いた場
合、グラファイトのρは約１×１０-3［０．２×１０-3
〜４×１０-3］Ωｃｍ，幅２ｃｍ，長さ１０ｃｍ，高さ
２０ｃｍのライナー２の抵抗値は約１ｍΩ，ビーム径は
約１ｃｍであり、ライナー２がｎ分の一に摩耗したとき
のライナー２の抵抗値Ｒ’は、［０．０５×ｎ＋０．９
５］ｍΩとなる。
ライナー２の抵抗値を定期的に測定することにより、質
量分析磁石用ライナー２の摩耗の程度を知ることができ
る。例えばライナー２としてグラファイトを用いた場
合、グラファイトのρは約１×１０-3［０．２×１０-3
〜４×１０-3］Ωｃｍ，幅２ｃｍ，長さ１０ｃｍ，高さ
２０ｃｍのライナー２の抵抗値は約１ｍΩ，ビーム径は
約１ｃｍであり、ライナー２がｎ分の一に摩耗したとき
のライナー２の抵抗値Ｒ’は、［０．０５×ｎ＋０．９
５］ｍΩとなる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図により説明す
る。図２は本発明の一実施形態に係る質量分析装置を示
す構成図である。
る。図２は本発明の一実施形態に係る質量分析装置を示
す構成図である。
【００１８】図において本発明に係る質量分析装置は基
本的構成として、質量分析磁石１と、ライナー２と、電
気端子３ａ，３ａの対とを有している。
本的構成として、質量分析磁石１と、ライナー２と、電
気端子３ａ，３ａの対とを有している。
【００１９】質量分析磁石１は、入力されるイオンビー
ム（図９のイオンビーム８に相当する）から特定のイオ
ンビーム（図９のイオンビーム９に相当する）を選択的
に取り出して出力するものである。またライナー２は炭
素製であって、導電性を有し、質量分析磁石１の内壁１
ａに設置され、質量分析磁石１で選択されなかったイオ
ンビーム（図９のイオンビーム１０に相当する）を衝突
させて中性化するものであって、イオンビームの衝突に
より摩耗し、その摩耗量に応じて抵抗値が変化するもの
である。
ム（図９のイオンビーム８に相当する）から特定のイオ
ンビーム（図９のイオンビーム９に相当する）を選択的
に取り出して出力するものである。またライナー２は炭
素製であって、導電性を有し、質量分析磁石１の内壁１
ａに設置され、質量分析磁石１で選択されなかったイオ
ンビーム（図９のイオンビーム１０に相当する）を衝突
させて中性化するものであって、イオンビームの衝突に
より摩耗し、その摩耗量に応じて抵抗値が変化するもの
である。
【００２０】また対をなす電気端子３ａ，３ａは、ライ
ナー２の対向する端縁に取り付けられ、ライナー２を質
量分析磁石１の内壁１ａに対して電気的に絶縁して支持
し、ライナー２の抵抗値の変化を出力するものである。
ナー２の対向する端縁に取り付けられ、ライナー２を質
量分析磁石１の内壁１ａに対して電気的に絶縁して支持
し、ライナー２の抵抗値の変化を出力するものである。
【００２１】また対をなす電気端子３ａ，３ａは図３に
示すように、絶縁体３ｃに支持されて質量分析磁石１の
内壁１ａを貫通して外部に引き出されている。質量分析
磁石１の内外は絶縁体３ｃにより気密に隔離されている
ため、質量分析磁石１の内部は真空状態に保持され、電
気端子３ａを設けたことにより真空状態が開放されるこ
とはない。
示すように、絶縁体３ｃに支持されて質量分析磁石１の
内壁１ａを貫通して外部に引き出されている。質量分析
磁石１の内外は絶縁体３ｃにより気密に隔離されている
ため、質量分析磁石１の内部は真空状態に保持され、電
気端子３ａを設けたことにより真空状態が開放されるこ
とはない。
【００２２】さらに対をなす電気端子３ａ，３ａは、ラ
イナー２のイオンビーム（図９のイオンビーム１０に相
当する）により摩耗される箇所（図１の幅Ｘ’の部分）
２ａを挾んでライナー２の対向端に取り付けられてい
る。
イナー２のイオンビーム（図９のイオンビーム１０に相
当する）により摩耗される箇所（図１の幅Ｘ’の部分）
２ａを挾んでライナー２の対向端に取り付けられてい
る。
【００２３】さらに測定回路６を有しており、測定回路
６は、電気端子３ａ，３ａを通してライナー２に定電流
を通電することにより、対をなす電流端子３ａ，３ａ間
におけるライナー２の抵抗値を測定するものである。
尚、測定回路６と電気端子３ａとの間は電気ケーブル４
ａ，４ｂにより電気的に接続され、また電気ケーブル４
ａ，４ｂの途中には、スイッチ５ａ，５ｂが設けられて
おり、スイッチ５ａ，５ｂは電気端子３ａ，３ａをアー
ス側又は測定回路側に選択的に切替えて接続するように
なっている。電気端子３ａ，３ａは質量分析時にはアー
ス側に接続され、質量分析停止中には測定回路６側に切
替接続されるようになっている。
６は、電気端子３ａ，３ａを通してライナー２に定電流
を通電することにより、対をなす電流端子３ａ，３ａ間
におけるライナー２の抵抗値を測定するものである。
尚、測定回路６と電気端子３ａとの間は電気ケーブル４
ａ，４ｂにより電気的に接続され、また電気ケーブル４
ａ，４ｂの途中には、スイッチ５ａ，５ｂが設けられて
おり、スイッチ５ａ，５ｂは電気端子３ａ，３ａをアー
ス側又は測定回路側に選択的に切替えて接続するように
なっている。電気端子３ａ，３ａは質量分析時にはアー
ス側に接続され、質量分析停止中には測定回路６側に切
替接続されるようになっている。
【００２４】図５は測定回路６として、電源６ａと電流
計６ｂの組合せを使用した場合の電気回路図である。電
源６ａと電流計６ｂは、スイッチ５ａ，５ｂに直列に接
続されている。
計６ｂの組合せを使用した場合の電気回路図である。電
源６ａと電流計６ｂは、スイッチ５ａ，５ｂに直列に接
続されている。
【００２５】図４に示すようにライナー２にイオンビー
ムが衝突してライナー２が摩耗し、その摩耗部２ａがｎ
分の一まで摩耗された場合、電源６ａから１ｍｖの電圧
を印加したとき、電流計６ｂは１／（０．０５ｎ＋０．
９５）Ａの電流が流れる。電源６ａの印加電圧と電流計
６ｂの電流値との関係からライナー２の抵抗値を算出
し、ライナー２がｎ分の一だけ摩耗した時点の抵抗値に
達したときにライナー２の交換を行う。
ムが衝突してライナー２が摩耗し、その摩耗部２ａがｎ
分の一まで摩耗された場合、電源６ａから１ｍｖの電圧
を印加したとき、電流計６ｂは１／（０．０５ｎ＋０．
９５）Ａの電流が流れる。電源６ａの印加電圧と電流計
６ｂの電流値との関係からライナー２の抵抗値を算出
し、ライナー２がｎ分の一だけ摩耗した時点の抵抗値に
達したときにライナー２の交換を行う。
【００２６】図６は測定回路６として、抵抗ブリッジ回
路を用いた場合の電気回路図である。抵抗ブリッジ回路
６ｃの一つの辺にスイッチ５ａ，５ｂを介してライナー
２を接続し、対となる可変抵抗６ｄの抵抗値との関係か
らライナー２の抵抗値を読み取るようにしている。
路を用いた場合の電気回路図である。抵抗ブリッジ回路
６ｃの一つの辺にスイッチ５ａ，５ｂを介してライナー
２を接続し、対となる可変抵抗６ｄの抵抗値との関係か
らライナー２の抵抗値を読み取るようにしている。
【００２７】図７は測定回路６として、ディジタルマル
チメータを用いた場合の電気回路図である。ライナー２
の抵抗値をディジタルマルチメータ６ｄにより読み取る
ようにしている。
チメータを用いた場合の電気回路図である。ライナー２
の抵抗値をディジタルマルチメータ６ｄにより読み取る
ようにしている。
【００２８】図８は測定回路６として、電源６ａと電流
計６ｂの組み合わせを使用し、スイッチ５ａ，５ｂをリ
レー回路５ｃ，５ｄに変更した場合の電気回路図であ
る。
計６ｂの組み合わせを使用し、スイッチ５ａ，５ｂをリ
レー回路５ｃ，５ｄに変更した場合の電気回路図であ
る。
【００２９】電源６ａと電流計６ｂがリレー回路５ｃ，
５ｄに直列に接続されている。リレー５，ｃ，５ｄは、
測定回路からの制御信号により、ビーム発生中はライナ
ー２をアース側に接続し、質量分析停止中はライナー２
を測定回路６に接続する。
５ｄに直列に接続されている。リレー５，ｃ，５ｄは、
測定回路からの制御信号により、ビーム発生中はライナ
ー２をアース側に接続し、質量分析停止中はライナー２
を測定回路６に接続する。
【００３０】図８に示す実施形態では、リレー回路５
ｃ，５ｄを用いてライナー２をアース側と測定回路６に
選択的に切り替えて接続しており、かつリレー回路５
ｃ，５ｄを制御信号により遠隔制御することができるた
め、ライナー２の摩耗度合を遠隔制御して自動計測する
ことができるという利点がある。
ｃ，５ｄを用いてライナー２をアース側と測定回路６に
選択的に切り替えて接続しており、かつリレー回路５
ｃ，５ｄを制御信号により遠隔制御することができるた
め、ライナー２の摩耗度合を遠隔制御して自動計測する
ことができるという利点がある。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ラ
イナーに定電流を流して、ライナーの摩耗による断面積
の変化を抵抗値の変化として検出するため、ライナーの
摩耗度合を定量的に検出することができる。これによっ
て装置の稼動率の低下や保守部品代の増加を防ぐことが
できる。
イナーに定電流を流して、ライナーの摩耗による断面積
の変化を抵抗値の変化として検出するため、ライナーの
摩耗度合を定量的に検出することができる。これによっ
て装置の稼動率の低下や保守部品代の増加を防ぐことが
できる。
【００３２】また対をなす電気端子は、ライナーのイオ
ンビームにより摩耗される箇所を挾んでライナーの対向
端に取り付けられるため、ライナーの摩耗に比例した抵
抗値の変化を正確に測定することができる。
ンビームにより摩耗される箇所を挾んでライナーの対向
端に取り付けられるため、ライナーの摩耗に比例した抵
抗値の変化を正確に測定することができる。
【００３３】また測定回路としては、電気端子を通して
ライナーに定電流を通電することにより、対をなす電気
端子間におけるライナーの抵抗値を測定するものであれ
ば、いずれのものでも使用することができる。
ライナーに定電流を通電することにより、対をなす電気
端子間におけるライナーの抵抗値を測定するものであれ
ば、いずれのものでも使用することができる。
【００３４】また対をなす電気端子の少なくとも一方
は、選択的に接地されるものであるため、質量分析時に
おける質量分析磁石の機能を害することがない。
は、選択的に接地されるものであるため、質量分析時に
おける質量分析磁石の機能を害することがない。
【００３５】また接地される電気端子は、測定回路から
給電を受けて動作するリレー回路により、接地側と前記
測定回路側とに切替接続することにより、リレー回路を
制御信号により遠隔制御することができ、ライナーの摩
耗度合を遠隔制御して自動計測することができる。
給電を受けて動作するリレー回路により、接地側と前記
測定回路側とに切替接続することにより、リレー回路を
制御信号により遠隔制御することができ、ライナーの摩
耗度合を遠隔制御して自動計測することができる。
【図１】本発明の動作原理を説明する図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る質量分析装置を示す
図である。
図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る質量分析装置におい
てイオンビーム発生時の動作を説明する図である。
てイオンビーム発生時の動作を説明する図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る質量分析装置におい
てイオンビーム停止時の動作を説明する図である。
てイオンビーム停止時の動作を説明する図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る質量分析装置におい
て測定回路に電圧計を使用した場合の実施形態を示す電
気回路図である。
て測定回路に電圧計を使用した場合の実施形態を示す電
気回路図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る質量分析装置におい
て測定回路に抵抗ブリッジを使用した場合の実施形態２
を示す電気回路図である。
て測定回路に抵抗ブリッジを使用した場合の実施形態２
を示す電気回路図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る質量分析装置におい
て測定回路にディジタルマルチメータを使用した場合の
実施形態３を示す電気回路図である。
て測定回路にディジタルマルチメータを使用した場合の
実施形態３を示す電気回路図である。
【図８】図５の実施形態１においてスイッチをリレー回
路に変更した場合の実施形態４を示す電気回路図であ
る。
路に変更した場合の実施形態４を示す電気回路図であ
る。
【図９】従来の分析磁石を説明する図である。
１ 質量分析磁石 ２ ライナー ２ａ ライナーの摩耗箇所 ３ａ 電気端子 ５ａ，５ｂ スイッチ ５ｃ，５ｄ リレー回路 ６ 測定回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 49/00 - 49/48 G21K 1/093 H05H 7/00 - 7/22 G21B 1/00
Claims (5)
- 【請求項１】 質量分析磁石と、ライナーと、電気端子
の対とを有する質量分析装置であって、 質量分析磁石は、入力されるイオンビームから特定のイ
オンビームを選択的に取り出して出力するものであり、 ライナーは、前記質量分析磁石の内壁に設置され、質量
分析磁石で選択されなかったイオンビームを衝突させて
中性化するものであって、イオンビームの衝突により摩
耗し、その摩耗量に対応した抵抗値が変化するものであ
り、 対をなす電気端子は、前記ライナーの対向する端縁に取
付けられ、該ライナーを質量分析磁石の内壁に対して電
気的に絶縁して支持し、前記ライナーの抵抗値の変化を
出力するものであることを特徴とする質量分析装置。 - 【請求項２】 前記対をなす電気端子は、ライナーのイ
オンビームにより摩耗される箇所を挾んでライナーの対
向端を支持するものであることを特徴とする請求項１に
記載の質量分析装置。 - 【請求項３】 測定回路を有し、 該測定回路は、電気端子を通してライナーに定電流を通
過することにより、対をなす電気端子間におけるライナ
ーの抵抗値を測定するものであることを特徴とする請求
項１又は２に記載の質量分析装置。 - 【請求項４】 前記対をなす電気端子の少なくとも一方
は、選択的に接地されるものであることを特徴とする請
求項１又は２に記載の質量分析装置。 - 【請求項５】 前記接地される電気端子は、前記測定回
路から給電を受けて動作するリレー回路により、接地側
と前記測定回路側とに切替接続されるものであることを
特徴とする請求項３又は４に記載の質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8007821A JP2792495B2 (ja) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8007821A JP2792495B2 (ja) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09199077A JPH09199077A (ja) | 1997-07-31 |
| JP2792495B2 true JP2792495B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=11676268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8007821A Expired - Fee Related JP2792495B2 (ja) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2792495B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6608315B1 (en) * | 2000-11-01 | 2003-08-19 | Kourosh Saadatmand | Mechanism for prevention of neutron radiation in ion implanter beamline |
-
1996
- 1996-01-19 JP JP8007821A patent/JP2792495B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH09199077A (ja) | 1997-07-31 |
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