JPH06313782A - 電位測定装置 - Google Patents
電位測定装置Info
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- JPH06313782A JPH06313782A JP5127558A JP12755893A JPH06313782A JP H06313782 A JPH06313782 A JP H06313782A JP 5127558 A JP5127558 A JP 5127558A JP 12755893 A JP12755893 A JP 12755893A JP H06313782 A JPH06313782 A JP H06313782A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、微小な領域の表面電位の測定を可
能にすることを目的とする。 【構成】 この発明は、少なくとも電位測定面2に対向
する部分に絶縁性物質1aが付いた導電性の測定プロー
ブ1と、この測定プローブ1と電気的に導通しているダ
ミー電極3と、電位測定面2に測定プローブ1が接近し
た際にダミー電極3に現われる電位を測定する表面電位
計5とを備えたものである。
能にすることを目的とする。 【構成】 この発明は、少なくとも電位測定面2に対向
する部分に絶縁性物質1aが付いた導電性の測定プロー
ブ1と、この測定プローブ1と電気的に導通しているダ
ミー電極3と、電位測定面2に測定プローブ1が接近し
た際にダミー電極3に現われる電位を測定する表面電位
計5とを備えたものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電位測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電位測定装置としては、被測定物
に検出電極を振動させながら近付けることにより、被測
定物の表面電位に応じた大きさの交流が検出電極に流れ
ることを利用した表面電位センサが超音波TECHNO
8月号第56〜60頁に記載されている。また、特開
平1ー277842号公報には、測定ドラムに設けられ
た測定電極に感光体に相当する静電容量を有するコンデ
ンサを直列に設け、そのコンデンサの両端電圧を測定す
ることで感光体の表面電位を測定する表面電位測定方法
が記載されている。
に検出電極を振動させながら近付けることにより、被測
定物の表面電位に応じた大きさの交流が検出電極に流れ
ることを利用した表面電位センサが超音波TECHNO
8月号第56〜60頁に記載されている。また、特開
平1ー277842号公報には、測定ドラムに設けられ
た測定電極に感光体に相当する静電容量を有するコンデ
ンサを直列に設け、そのコンデンサの両端電圧を測定す
ることで感光体の表面電位を測定する表面電位測定方法
が記載されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】現在、乾式普通紙複写
機やファクシミリ等においては、高画質化は、低コスト
化、小型化、低騒音化と共に重要な課題となっている。
電子写真技術を利用した乾式普通紙複写機やファクシミ
リ等の場合には、高画質化のための1つの解決手段とし
て、帯電後,露光後等の感光体の表面電位分布を高解像
で測定し、それをもとに各種の制御を行うことが考えら
れる。そのためには、感光体の微小領域の表面電位を測
定できる小型な装置が必要である。
機やファクシミリ等においては、高画質化は、低コスト
化、小型化、低騒音化と共に重要な課題となっている。
電子写真技術を利用した乾式普通紙複写機やファクシミ
リ等の場合には、高画質化のための1つの解決手段とし
て、帯電後,露光後等の感光体の表面電位分布を高解像
で測定し、それをもとに各種の制御を行うことが考えら
れる。そのためには、感光体の微小領域の表面電位を測
定できる小型な装置が必要である。
【0004】現在、電位測定装置は、主流になっている
表面電位計でも、小型化すればある程度解像度を上げる
ことができるが、構造が多少複雑であるので、小型化に
限界があるだけでなく、小型化した場合にその出力が小
さくなってしまって測定精度が落ちるというような問題
が生ずる。したがつて、現在の表面電位計では、微小な
領域の表面電位を測定できず、高解像な表面電位分布を
測定することは不可能である。
表面電位計でも、小型化すればある程度解像度を上げる
ことができるが、構造が多少複雑であるので、小型化に
限界があるだけでなく、小型化した場合にその出力が小
さくなってしまって測定精度が落ちるというような問題
が生ずる。したがつて、現在の表面電位計では、微小な
領域の表面電位を測定できず、高解像な表面電位分布を
測定することは不可能である。
【0005】本発明は、上記欠点を改善し、微小な領域
の表面電位の測定が可能な電位測定装置を提供すること
を目的とする。
の表面電位の測定が可能な電位測定装置を提供すること
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、少なくとも電位測定面に対
向する部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブ
と、この測定プローブと電気的に導通しているダミー電
極と、電位測定面に前記測定プローブが接近した際に前
記ダミー電極に現われる電位を測定する表面電位計とを
備えたものである。 請求項2記載の発明は、少なくと
も電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電
性の測定プローブと、この測定プローブと電気的に導通
しているダミー電極と、電位測定面に前記測定プローブ
が接触した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定す
る表面電位計とを備えたものである。
め、請求項1記載の発明は、少なくとも電位測定面に対
向する部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブ
と、この測定プローブと電気的に導通しているダミー電
極と、電位測定面に前記測定プローブが接近した際に前
記ダミー電極に現われる電位を測定する表面電位計とを
備えたものである。 請求項2記載の発明は、少なくと
も電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電
性の測定プローブと、この測定プローブと電気的に導通
しているダミー電極と、電位測定面に前記測定プローブ
が接触した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定す
る表面電位計とを備えたものである。
【0007】請求項3記載の発明は、請求項1または2
記載の表面電位測定装置において、前記測定プローブの
一部に強誘電体を固着したものである。
記載の表面電位測定装置において、前記測定プローブの
一部に強誘電体を固着したものである。
【0008】請求項4記載の発明は、誘電体の電位測定
面に対向する導電性の測定プローブと、この測定プロー
ブと電気的に導通するダミー電極と、前記電位測定面に
前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に現わ
れる電位を測定する表面電位計とを備えたものである。
面に対向する導電性の測定プローブと、この測定プロー
ブと電気的に導通するダミー電極と、前記電位測定面に
前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に現わ
れる電位を測定する表面電位計とを備えたものである。
【0009】
【作用】請求項1記載の発明では、測定プローブとダミ
ー電極とが電気的に導通し、電位測定面に測定プローブ
が接近した際にダミー電極に現われる電位が表面電位計
により測定される。
ー電極とが電気的に導通し、電位測定面に測定プローブ
が接近した際にダミー電極に現われる電位が表面電位計
により測定される。
【0010】請求項2記載の発明では、測定プローブと
ダミー電極とが電気的に導通し、電位測定面に測定プロ
ーブが接触した際にダミー電極に現われる電位が表面電
位計により測定される。
ダミー電極とが電気的に導通し、電位測定面に測定プロ
ーブが接触した際にダミー電極に現われる電位が表面電
位計により測定される。
【0011】請求項3記載の発明では、請求項1または
2記載の表面電位測定装置において、測定プローブの一
部に強誘電体が固着されている。
2記載の表面電位測定装置において、測定プローブの一
部に強誘電体が固着されている。
【0012】請求項4記載の発明では、ダミー電極が測
定プローブと電気的に導通し、測定プローブが電位測定
面に接近した際にダミー電極に現われる電位が表面電位
計により測定される。
定プローブと電気的に導通し、測定プローブが電位測定
面に接近した際にダミー電極に現われる電位が表面電位
計により測定される。
【0013】
【実施例】図1は本発明の第1実施例の表面電位計を示
す。ほぼ円柱状の測定プローブ1は電位測定面2に接近
してほぼ垂直に対向して配置され、測定プローブ1の電
位測定面2側には樹脂,セラミックス等の絶縁性物質1
aが固着されている。また、測定プローブ1はダミー電
極3とリード線4で接続されており、測定プローブ1と
ダミー電極3とは導通している。ダミー電極3上には表
面電位計5のプローブ5aが設けられており、ダミー電
極3の電位は表面電位計5により測定される。なお、ダ
ミー電極3は表面電位計5の測定領域に対して十分に広
い面積を有する。
す。ほぼ円柱状の測定プローブ1は電位測定面2に接近
してほぼ垂直に対向して配置され、測定プローブ1の電
位測定面2側には樹脂,セラミックス等の絶縁性物質1
aが固着されている。また、測定プローブ1はダミー電
極3とリード線4で接続されており、測定プローブ1と
ダミー電極3とは導通している。ダミー電極3上には表
面電位計5のプローブ5aが設けられており、ダミー電
極3の電位は表面電位計5により測定される。なお、ダ
ミー電極3は表面電位計5の測定領域に対して十分に広
い面積を有する。
【0014】このような構成の第1実施例は、電位測定
面2が帯電されると、電位測定面2と測定プローブ1と
の間の微小な領域のギャップの静電容量C1と,表面電
位計5のプローブ5aとダミー電極3とで構成されるコ
ンデンサの静電容量C2と,電位測定面2上の測定部の
表面電位とに対応した大きさの電位がダミー電極3に生
ずる。
面2が帯電されると、電位測定面2と測定プローブ1と
の間の微小な領域のギャップの静電容量C1と,表面電
位計5のプローブ5aとダミー電極3とで構成されるコ
ンデンサの静電容量C2と,電位測定面2上の測定部の
表面電位とに対応した大きさの電位がダミー電極3に生
ずる。
【0015】ここで、ダミー電極3の電位について考え
ると、第1実施例は2つのコンデンサC1,C2が直列
に接続されていると考えられるので、コンデンサC1が
大きければダミー電極3の電位が大きくなる。例えば、
コンデンサC1,C2が等しい場合には、電位測定面2
の表面電位の半分の大きさの電位がダミー電極3に現れ
る。したがって、コンデンサC1がコンデンサC2より
大きい方が、ダミー電極3の電位が大きくなって電位測
定面2の表面電位の測定精度が向上する。
ると、第1実施例は2つのコンデンサC1,C2が直列
に接続されていると考えられるので、コンデンサC1が
大きければダミー電極3の電位が大きくなる。例えば、
コンデンサC1,C2が等しい場合には、電位測定面2
の表面電位の半分の大きさの電位がダミー電極3に現れ
る。したがって、コンデンサC1がコンデンサC2より
大きい方が、ダミー電極3の電位が大きくなって電位測
定面2の表面電位の測定精度が向上する。
【0016】また、ダミー電極3の表面電位はダミー電
極3の広い面積にわたって一様であるので、低解像度の
表面電位計5を用いてダミー電極3の表面電位を測定す
ることができる。さらに、測定プローブ1の先端に絶縁
性物質1aが固着されているので、放電は起こりにく
い。絶縁性物質1aは強誘電体を用いてもよい。
極3の広い面積にわたって一様であるので、低解像度の
表面電位計5を用いてダミー電極3の表面電位を測定す
ることができる。さらに、測定プローブ1の先端に絶縁
性物質1aが固着されているので、放電は起こりにく
い。絶縁性物質1aは強誘電体を用いてもよい。
【0017】一例として、測定プローブ1は、直径約1
00[μm]の金属針先端にポリカーボネイトをコート
したものを用い、電位測定面2から100[μm]程度
離して設置した。また、ダミー電極3は30[mm]×
30[mm]の大きさの金属板を用い、表面電位計5は
TREK社のMODEL344を用いた。電位測定面2
を帯電させてその100[V]の電位を第1実施例で測
定した結果、1[V]程度の出力を表面電位計5から得
ることができた。
00[μm]の金属針先端にポリカーボネイトをコート
したものを用い、電位測定面2から100[μm]程度
離して設置した。また、ダミー電極3は30[mm]×
30[mm]の大きさの金属板を用い、表面電位計5は
TREK社のMODEL344を用いた。電位測定面2
を帯電させてその100[V]の電位を第1実施例で測
定した結果、1[V]程度の出力を表面電位計5から得
ることができた。
【0018】この第1実施例では、絶縁性物質1aが固
着された測定プローブ1を用いるので、放電しにくく、
電位測定面2の微小な領域の電位を測定でき、測定プロ
ーブ1の構成が非常にシンプルであり、小型化に適して
いる。
着された測定プローブ1を用いるので、放電しにくく、
電位測定面2の微小な領域の電位を測定でき、測定プロ
ーブ1の構成が非常にシンプルであり、小型化に適して
いる。
【0019】図2は本発明の第2実施例の表面電位計を
示す。ほぼ円柱状の測定プローブ11は電位測定面12
にほぼ垂直に向けて接触して配置され、測定プローブ1
1の電位測定面12との接触面側には樹脂,セラミック
ス等の絶縁性物質11aが固着されている。また、測定
プローブ11はダミー電極13とリード線14で接続さ
れており、測定プローブ11とダミー電極13とは導通
している。ダミー電極13上には表面電位計15のプロ
ーブ15aが設けられており、ダミー電極13の電位は
表面電位計15により測定される。なお、ダミー電極1
3は表面電位計15の測定領域に対して十分に広い面積
を有する。
示す。ほぼ円柱状の測定プローブ11は電位測定面12
にほぼ垂直に向けて接触して配置され、測定プローブ1
1の電位測定面12との接触面側には樹脂,セラミック
ス等の絶縁性物質11aが固着されている。また、測定
プローブ11はダミー電極13とリード線14で接続さ
れており、測定プローブ11とダミー電極13とは導通
している。ダミー電極13上には表面電位計15のプロ
ーブ15aが設けられており、ダミー電極13の電位は
表面電位計15により測定される。なお、ダミー電極1
3は表面電位計15の測定領域に対して十分に広い面積
を有する。
【0020】このような構成の第2実施例は、電位測定
面12が帯電されると、電位測定面12と測定プローブ
11との間の絶縁性物質11aの静電容量C3と,表面
電位計15のプローブ15aとダミー電極13とで構成
されるコンデンサの静電容量C4と,電位測定面12上
の測定部の表面電位とに対応した大きさの電位がダミー
電極13に生ずる。
面12が帯電されると、電位測定面12と測定プローブ
11との間の絶縁性物質11aの静電容量C3と,表面
電位計15のプローブ15aとダミー電極13とで構成
されるコンデンサの静電容量C4と,電位測定面12上
の測定部の表面電位とに対応した大きさの電位がダミー
電極13に生ずる。
【0021】ここで、ダミー電極13の電位について考
えると、第2実施例は2つのコンデンサC3,C4が直
列に接続されていると考えられるので、コンデンサC3
が大きければダミー電極13の電位が大きくなる。例え
ば、コンデンサC3,C4が等しい場合には、電位測定
面12の表面電位の半分の大きさの電位がダミー電極1
3に現れる。したがって、コンデンサC3がコンデンサ
C4より大きい方が、ダミー電極13の電位が大きくな
って電位測定面12の表面電位の測定精度が向上する。
えると、第2実施例は2つのコンデンサC3,C4が直
列に接続されていると考えられるので、コンデンサC3
が大きければダミー電極13の電位が大きくなる。例え
ば、コンデンサC3,C4が等しい場合には、電位測定
面12の表面電位の半分の大きさの電位がダミー電極1
3に現れる。したがって、コンデンサC3がコンデンサ
C4より大きい方が、ダミー電極13の電位が大きくな
って電位測定面12の表面電位の測定精度が向上する。
【0022】また、ダミー電極13の表面電位はダミー
電極13の広い面積にわたって一様であるので、低解像
度の表面電位計15を用いてダミー電極13の表面電位
を測定することができる。
電極13の広い面積にわたって一様であるので、低解像
度の表面電位計15を用いてダミー電極13の表面電位
を測定することができる。
【0023】一例として、測定プローブ11は、直径約
100[μm]の金属針先端に強誘電体である圧電セラ
ミックスを絶縁性物質11aとして固着したものを用い
た。また、ダミー電極13は30[mm]×30[m
m]の大きさの金属板を用い、表面電位計15はTRE
K社のMODEL344を用いた。電位測定面12を帯
電させてその表面電位を第2実施例で測定した結果、電
位測定面12の表面電位と同程度の大きさの電位をダミ
ー電極13より得ることができた。これは、誘電率の大
きい圧電セラミックス11aを電位測定面12に接触さ
せるためにC4に対してC3をかなり大きくできたこと
によるものである。
100[μm]の金属針先端に強誘電体である圧電セラ
ミックスを絶縁性物質11aとして固着したものを用い
た。また、ダミー電極13は30[mm]×30[m
m]の大きさの金属板を用い、表面電位計15はTRE
K社のMODEL344を用いた。電位測定面12を帯
電させてその表面電位を第2実施例で測定した結果、電
位測定面12の表面電位と同程度の大きさの電位をダミ
ー電極13より得ることができた。これは、誘電率の大
きい圧電セラミックス11aを電位測定面12に接触さ
せるためにC4に対してC3をかなり大きくできたこと
によるものである。
【0024】この第2実施例では、絶縁性物質11aが
固着された測定プローブ11を電位測定面12に接触さ
せて使用するので、電位測定面12の微小な領域の電位
を測定でき、測定プローブ11の構成が非常にシンプル
であり、小型化に適していると共に測定プローブ11と
電位測定面12との微小ギャップの制御あるいは測定の
必要がない。また、測定プローブ11に強誘電体11a
を固着しているので、放電しにくいと共に大きな出力を
得ることができる。
固着された測定プローブ11を電位測定面12に接触さ
せて使用するので、電位測定面12の微小な領域の電位
を測定でき、測定プローブ11の構成が非常にシンプル
であり、小型化に適していると共に測定プローブ11と
電位測定面12との微小ギャップの制御あるいは測定の
必要がない。また、測定プローブ11に強誘電体11a
を固着しているので、放電しにくいと共に大きな出力を
得ることができる。
【0025】図3は本発明の第3実施例の表面電位計を
示す。測定プローブ21は誘電体22の電位測定面22
aに接近して対向して配置される。この場合、測定プロ
ーブ21は電位測定面22aから電流が流れ込まないよ
うに電位測定面22aに非接触で配置される。測定プロ
ーブ21はダミー電極23とリード線24で接続されて
導通している。ダミー電極23上には表面電位計25の
プローブ25aが設けられており、ダミー電極23の電
位は表面電位計25により測定される。
示す。測定プローブ21は誘電体22の電位測定面22
aに接近して対向して配置される。この場合、測定プロ
ーブ21は電位測定面22aから電流が流れ込まないよ
うに電位測定面22aに非接触で配置される。測定プロ
ーブ21はダミー電極23とリード線24で接続されて
導通している。ダミー電極23上には表面電位計25の
プローブ25aが設けられており、ダミー電極23の電
位は表面電位計25により測定される。
【0026】このような構成の第3実施例は、誘電体2
2の電位測定面22aが帯電されると、電位測定面22
aと測定プローブ21との間の微小なギャップの静電容
量C5と、表面電位計25のプローブ25aとダミー電
極23とで構成されるコンデンサの静電容量C6と、電
位測定面22aの電位とに対応した大きさの電位がダミ
ー電極23に生ずる。この第3実施例では、2つのコン
デンサC5,C6は直列に接続されていると考えられ
る。電位測定対象が誘電体22である場合には、誘電体
22が形成する静電容量C7を考慮し、C5〜C7の3
つのコンデンサが直列に接続されていると考えればよ
い。
2の電位測定面22aが帯電されると、電位測定面22
aと測定プローブ21との間の微小なギャップの静電容
量C5と、表面電位計25のプローブ25aとダミー電
極23とで構成されるコンデンサの静電容量C6と、電
位測定面22aの電位とに対応した大きさの電位がダミ
ー電極23に生ずる。この第3実施例では、2つのコン
デンサC5,C6は直列に接続されていると考えられ
る。電位測定対象が誘電体22である場合には、誘電体
22が形成する静電容量C7を考慮し、C5〜C7の3
つのコンデンサが直列に接続されていると考えればよ
い。
【0027】測定プローブ21が電位測定面22aに接
近した際にダミー電極23に現われる電位は、C5〜C
7の値により決まるので、測定プローブ21の形状や、
ダミー電極23と表面電位計25のプローブ25aとの
間の距離等で感度を調整することが可能である。
近した際にダミー電極23に現われる電位は、C5〜C
7の値により決まるので、測定プローブ21の形状や、
ダミー電極23と表面電位計25のプローブ25aとの
間の距離等で感度を調整することが可能である。
【0028】例えば、測定プローブ21は、直径約10
0μmの金属針が用いられ、電位測定面22aから10
0μm程度離して配置される。ダミー電極23は30m
m×30mmの大きさの金属板が用いられ、表面電位計
25はTREC社のMODEL344を用いた。電位測
定面22aを1000Vにコロナ帯電器で帯電させてそ
の電位をこの第3実施例で測定したところ、表面電位計
25の出力として8V程度の出力を得ることができた。
その後、測定プローブ21を接地面の近傍に移動させた
ところ、表面電位計25の出力として0Vの出力を得る
ことができた。このことから、測定プローブ21とダミ
ー電極23との間に真電荷が存在せず、電位測定面22
aの表面電位を非破壊で測定できて電位測定面22aの
表面電位に比例した出力が表面電位計25の出力として
得られていることが分かった。ただし、この第3実施例
では、電位測定面22aの表面電位の絶対値が得られな
いので、電位測定面22aの表面電位と表面電位計25
の出力電位との校正が必要となる。
0μmの金属針が用いられ、電位測定面22aから10
0μm程度離して配置される。ダミー電極23は30m
m×30mmの大きさの金属板が用いられ、表面電位計
25はTREC社のMODEL344を用いた。電位測
定面22aを1000Vにコロナ帯電器で帯電させてそ
の電位をこの第3実施例で測定したところ、表面電位計
25の出力として8V程度の出力を得ることができた。
その後、測定プローブ21を接地面の近傍に移動させた
ところ、表面電位計25の出力として0Vの出力を得る
ことができた。このことから、測定プローブ21とダミ
ー電極23との間に真電荷が存在せず、電位測定面22
aの表面電位を非破壊で測定できて電位測定面22aの
表面電位に比例した出力が表面電位計25の出力として
得られていることが分かった。ただし、この第3実施例
では、電位測定面22aの表面電位の絶対値が得られな
いので、電位測定面22aの表面電位と表面電位計25
の出力電位との校正が必要となる。
【0029】この第3実施例では、帯電した誘電体の表
面電位を非破壊で測定することができ、しかも、従来の
表面電位計に比べて微小な領域の電位を測定することが
可能である。また、校正がシンプルであり、複雑な機構
を要せず、コストが低い。さらに、測定プローブを従来
のものに比べて格段に小さくすることができ、装置への
内蔵が容易である。
面電位を非破壊で測定することができ、しかも、従来の
表面電位計に比べて微小な領域の電位を測定することが
可能である。また、校正がシンプルであり、複雑な機構
を要せず、コストが低い。さらに、測定プローブを従来
のものに比べて格段に小さくすることができ、装置への
内蔵が容易である。
【0030】
【発明の効果】以上のように請求項1記載の発明によれ
ば、少なくとも電位測定面に対向する部分に絶縁性物質
が付いた導電性の測定プローブと、この測定プローブと
電気的に導通しているダミー電極と、電位測定面に前記
測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に現われる
電位を測定する表面電位計とを備えたので、放電しにく
く、微小な領域の電位を測定でき、測定プローブの構成
が非常にシンプルであり、小型化に適している。
ば、少なくとも電位測定面に対向する部分に絶縁性物質
が付いた導電性の測定プローブと、この測定プローブと
電気的に導通しているダミー電極と、電位測定面に前記
測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に現われる
電位を測定する表面電位計とを備えたので、放電しにく
く、微小な領域の電位を測定でき、測定プローブの構成
が非常にシンプルであり、小型化に適している。
【0031】請求項2記載の発明によれば、少なくとも
電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電性
の測定プローブと、この測定プローブと電気的に導通し
ているダミー電極と、電位測定面に前記測定プローブが
接触した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定する
表面電位計とを備えたので、微小な領域の電位を測定で
き、測定プローブの構成が非常にシンプルであり、小型
化に適していると共に測定プローブと電位測定面との微
小ギャップの制御あるいは測定の必要がない。
電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電性
の測定プローブと、この測定プローブと電気的に導通し
ているダミー電極と、電位測定面に前記測定プローブが
接触した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定する
表面電位計とを備えたので、微小な領域の電位を測定で
き、測定プローブの構成が非常にシンプルであり、小型
化に適していると共に測定プローブと電位測定面との微
小ギャップの制御あるいは測定の必要がない。
【0032】請求項3記載の発明によれば、請求項1ま
たは2記載の表面電位測定装置において、前記測定プロ
ーブの一部に強誘電体を固着したので、放電しにくいと
共に大きな出力を得ることができる。
たは2記載の表面電位測定装置において、前記測定プロ
ーブの一部に強誘電体を固着したので、放電しにくいと
共に大きな出力を得ることができる。
【0033】請求項4記載の発明によれば、誘電体の電
位測定面に対向する導電性の測定プローブと、この測定
プローブと電気的に導通するダミー電極と、前記電位測
定面に前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極
に現われる電位を測定する表面電位計とを備えたので、
帯電した誘電体の表面電位を非破壊で測定することがで
き、しかも、従来の表面電位計に比べて微小な領域の電
位を測定することが可能である。また、校正がシンプル
であり、複雑な機構を要せず、コストが低い。さらに、
測定プローブを従来のものに比べて格段に小さくするこ
とができ、装置への内蔵が容易である。
位測定面に対向する導電性の測定プローブと、この測定
プローブと電気的に導通するダミー電極と、前記電位測
定面に前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極
に現われる電位を測定する表面電位計とを備えたので、
帯電した誘電体の表面電位を非破壊で測定することがで
き、しかも、従来の表面電位計に比べて微小な領域の電
位を測定することが可能である。また、校正がシンプル
であり、複雑な機構を要せず、コストが低い。さらに、
測定プローブを従来のものに比べて格段に小さくするこ
とができ、装置への内蔵が容易である。
【図1】本発明の第1実施例を示す正面図である。
【図2】本発明の第2実施例を示す正面図である。
【図3】本発明の第3実施例を示す正面図である。
1,11,21 測定プローブ 2,12,22a 電位測定面 2a,12a 絶縁性物質 3,13,23 ダミー電極 4,14,24 リード線 5,15,25 表面電位計 5a,15a,25a 表面電位計のプローブ 22 誘電体
Claims (4)
- 【請求項1】少なくとも電位測定面に対向する部分に絶
縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定プ
ローブと電気的に導通しているダミー電極と、電位測定
面に前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に
現われる電位を測定する表面電位計とを備えたことを特
徴とする電位測定装置。 - 【請求項2】少なくとも電位測定面に対向する部分に絶
縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定プ
ローブと電気的に導通しているダミー電極と、電位測定
面に前記測定プローブが接触した際に前記ダミー電極に
現われる電位を測定する表面電位計とを備えたことを特
徴とする電位測定装置。 - 【請求項3】請求項1または2記載の表面電位測定装置
において、前記測定プローブの一部に強誘電体を固着し
たことを特徴とする電位測定装置。 - 【請求項4】誘電体の電位測定面に対向する導電性の測
定プローブと、この測定プローブと電気的に導通するダ
ミー電極と、前記電位測定面に前記測定プローブが接近
した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定する表面
電位計とを備えたことを特徴とする電位測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5127558A JPH06313782A (ja) | 1993-03-05 | 1993-05-28 | 電位測定装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5-44803 | 1993-03-05 | ||
JP4480393 | 1993-03-05 | ||
JP5127558A JPH06313782A (ja) | 1993-03-05 | 1993-05-28 | 電位測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06313782A true JPH06313782A (ja) | 1994-11-08 |
Family
ID=26384771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5127558A Pending JPH06313782A (ja) | 1993-03-05 | 1993-05-28 | 電位測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06313782A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5983043A (en) * | 1997-12-24 | 1999-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Potential measuring apparatus and potential measuring method |
JP2007155974A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 感光体の微小領域電位の測定方法及び感光体の微小領域電位の測定装置 |
KR20140109823A (ko) * | 2013-03-06 | 2014-09-16 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 표면 전위 측정 장치 및 표면 전위 측정 방법 |
JP2019040853A (ja) * | 2017-08-23 | 2019-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 測定装置、測定方法及びプラズマ処理装置 |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP5127558A patent/JPH06313782A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5983043A (en) * | 1997-12-24 | 1999-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Potential measuring apparatus and potential measuring method |
JP2007155974A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 感光体の微小領域電位の測定方法及び感光体の微小領域電位の測定装置 |
KR20140109823A (ko) * | 2013-03-06 | 2014-09-16 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 표면 전위 측정 장치 및 표면 전위 측정 방법 |
JP2019040853A (ja) * | 2017-08-23 | 2019-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 測定装置、測定方法及びプラズマ処理装置 |
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