JPH06313782A - 電位測定装置 - Google Patents
電位測定装置Info
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- JPH06313782A JPH06313782A JP5127558A JP12755893A JPH06313782A JP H06313782 A JPH06313782 A JP H06313782A JP 5127558 A JP5127558 A JP 5127558A JP 12755893 A JP12755893 A JP 12755893A JP H06313782 A JPH06313782 A JP H06313782A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、微小な領域の表面電位の測定を可
能にすることを目的とする。 【構成】 この発明は、少なくとも電位測定面２に対向
する部分に絶縁性物質１ａが付いた導電性の測定プロー
ブ１と、この測定プローブ１と電気的に導通しているダ
ミー電極３と、電位測定面２に測定プローブ１が接近し
た際にダミー電極３に現われる電位を測定する表面電位
計５とを備えたものである。
能にすることを目的とする。 【構成】 この発明は、少なくとも電位測定面２に対向
する部分に絶縁性物質１ａが付いた導電性の測定プロー
ブ１と、この測定プローブ１と電気的に導通しているダ
ミー電極３と、電位測定面２に測定プローブ１が接近し
た際にダミー電極３に現われる電位を測定する表面電位
計５とを備えたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電位測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電位測定装置としては、被測定物
に検出電極を振動させながら近付けることにより、被測
定物の表面電位に応じた大きさの交流が検出電極に流れ
ることを利用した表面電位センサが超音波ＴＥＣＨＮＯ
８月号第５６〜６０頁に記載されている。また、特開
平１ー２７７８４２号公報には、測定ドラムに設けられ
た測定電極に感光体に相当する静電容量を有するコンデ
ンサを直列に設け、そのコンデンサの両端電圧を測定す
ることで感光体の表面電位を測定する表面電位測定方法
が記載されている。
に検出電極を振動させながら近付けることにより、被測
定物の表面電位に応じた大きさの交流が検出電極に流れ
ることを利用した表面電位センサが超音波ＴＥＣＨＮＯ
８月号第５６〜６０頁に記載されている。また、特開
平１ー２７７８４２号公報には、測定ドラムに設けられ
た測定電極に感光体に相当する静電容量を有するコンデ
ンサを直列に設け、そのコンデンサの両端電圧を測定す
ることで感光体の表面電位を測定する表面電位測定方法
が記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】現在、乾式普通紙複写
機やファクシミリ等においては、高画質化は、低コスト
化、小型化、低騒音化と共に重要な課題となっている。
電子写真技術を利用した乾式普通紙複写機やファクシミ
リ等の場合には、高画質化のための１つの解決手段とし
て、帯電後，露光後等の感光体の表面電位分布を高解像
で測定し、それをもとに各種の制御を行うことが考えら
れる。そのためには、感光体の微小領域の表面電位を測
定できる小型な装置が必要である。
機やファクシミリ等においては、高画質化は、低コスト
化、小型化、低騒音化と共に重要な課題となっている。
電子写真技術を利用した乾式普通紙複写機やファクシミ
リ等の場合には、高画質化のための１つの解決手段とし
て、帯電後，露光後等の感光体の表面電位分布を高解像
で測定し、それをもとに各種の制御を行うことが考えら
れる。そのためには、感光体の微小領域の表面電位を測
定できる小型な装置が必要である。
【０００４】現在、電位測定装置は、主流になっている
表面電位計でも、小型化すればある程度解像度を上げる
ことができるが、構造が多少複雑であるので、小型化に
限界があるだけでなく、小型化した場合にその出力が小
さくなってしまって測定精度が落ちるというような問題
が生ずる。したがつて、現在の表面電位計では、微小な
領域の表面電位を測定できず、高解像な表面電位分布を
測定することは不可能である。
表面電位計でも、小型化すればある程度解像度を上げる
ことができるが、構造が多少複雑であるので、小型化に
限界があるだけでなく、小型化した場合にその出力が小
さくなってしまって測定精度が落ちるというような問題
が生ずる。したがつて、現在の表面電位計では、微小な
領域の表面電位を測定できず、高解像な表面電位分布を
測定することは不可能である。
【０００５】本発明は、上記欠点を改善し、微小な領域
の表面電位の測定が可能な電位測定装置を提供すること
を目的とする。
の表面電位の測定が可能な電位測定装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、少なくとも電位測定面に対
向する部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブ
と、この測定プローブと電気的に導通しているダミー電
極と、電位測定面に前記測定プローブが接近した際に前
記ダミー電極に現われる電位を測定する表面電位計とを
備えたものである。 請求項２記載の発明は、少なくと
も電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電
性の測定プローブと、この測定プローブと電気的に導通
しているダミー電極と、電位測定面に前記測定プローブ
が接触した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定す
る表面電位計とを備えたものである。
め、請求項１記載の発明は、少なくとも電位測定面に対
向する部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブ
と、この測定プローブと電気的に導通しているダミー電
極と、電位測定面に前記測定プローブが接近した際に前
記ダミー電極に現われる電位を測定する表面電位計とを
備えたものである。 請求項２記載の発明は、少なくと
も電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電
性の測定プローブと、この測定プローブと電気的に導通
しているダミー電極と、電位測定面に前記測定プローブ
が接触した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定す
る表面電位計とを備えたものである。
【０００７】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の表面電位測定装置において、前記測定プローブの
一部に強誘電体を固着したものである。
記載の表面電位測定装置において、前記測定プローブの
一部に強誘電体を固着したものである。
【０００８】請求項４記載の発明は、誘電体の電位測定
面に対向する導電性の測定プローブと、この測定プロー
ブと電気的に導通するダミー電極と、前記電位測定面に
前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に現わ
れる電位を測定する表面電位計とを備えたものである。
面に対向する導電性の測定プローブと、この測定プロー
ブと電気的に導通するダミー電極と、前記電位測定面に
前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に現わ
れる電位を測定する表面電位計とを備えたものである。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明では、測定プローブとダミ
ー電極とが電気的に導通し、電位測定面に測定プローブ
が接近した際にダミー電極に現われる電位が表面電位計
により測定される。
ー電極とが電気的に導通し、電位測定面に測定プローブ
が接近した際にダミー電極に現われる電位が表面電位計
により測定される。
【００１０】請求項２記載の発明では、測定プローブと
ダミー電極とが電気的に導通し、電位測定面に測定プロ
ーブが接触した際にダミー電極に現われる電位が表面電
位計により測定される。
ダミー電極とが電気的に導通し、電位測定面に測定プロ
ーブが接触した際にダミー電極に現われる電位が表面電
位計により測定される。
【００１１】請求項３記載の発明では、請求項１または
２記載の表面電位測定装置において、測定プローブの一
部に強誘電体が固着されている。
２記載の表面電位測定装置において、測定プローブの一
部に強誘電体が固着されている。
【００１２】請求項４記載の発明では、ダミー電極が測
定プローブと電気的に導通し、測定プローブが電位測定
面に接近した際にダミー電極に現われる電位が表面電位
計により測定される。
定プローブと電気的に導通し、測定プローブが電位測定
面に接近した際にダミー電極に現われる電位が表面電位
計により測定される。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の第１実施例の表面電位計を示
す。ほぼ円柱状の測定プローブ１は電位測定面２に接近
してほぼ垂直に対向して配置され、測定プローブ１の電
位測定面２側には樹脂，セラミックス等の絶縁性物質１
ａが固着されている。また、測定プローブ１はダミー電
極３とリード線４で接続されており、測定プローブ１と
ダミー電極３とは導通している。ダミー電極３上には表
面電位計５のプローブ５ａが設けられており、ダミー電
極３の電位は表面電位計５により測定される。なお、ダ
ミー電極３は表面電位計５の測定領域に対して十分に広
い面積を有する。
す。ほぼ円柱状の測定プローブ１は電位測定面２に接近
してほぼ垂直に対向して配置され、測定プローブ１の電
位測定面２側には樹脂，セラミックス等の絶縁性物質１
ａが固着されている。また、測定プローブ１はダミー電
極３とリード線４で接続されており、測定プローブ１と
ダミー電極３とは導通している。ダミー電極３上には表
面電位計５のプローブ５ａが設けられており、ダミー電
極３の電位は表面電位計５により測定される。なお、ダ
ミー電極３は表面電位計５の測定領域に対して十分に広
い面積を有する。
【００１４】このような構成の第１実施例は、電位測定
面２が帯電されると、電位測定面２と測定プローブ１と
の間の微小な領域のギャップの静電容量Ｃ１と，表面電
位計５のプローブ５ａとダミー電極３とで構成されるコ
ンデンサの静電容量Ｃ２と，電位測定面２上の測定部の
表面電位とに対応した大きさの電位がダミー電極３に生
ずる。
面２が帯電されると、電位測定面２と測定プローブ１と
の間の微小な領域のギャップの静電容量Ｃ１と，表面電
位計５のプローブ５ａとダミー電極３とで構成されるコ
ンデンサの静電容量Ｃ２と，電位測定面２上の測定部の
表面電位とに対応した大きさの電位がダミー電極３に生
ずる。
【００１５】ここで、ダミー電極３の電位について考え
ると、第１実施例は２つのコンデンサＣ１，Ｃ２が直列
に接続されていると考えられるので、コンデンサＣ１が
大きければダミー電極３の電位が大きくなる。例えば、
コンデンサＣ１，Ｃ２が等しい場合には、電位測定面２
の表面電位の半分の大きさの電位がダミー電極３に現れ
る。したがって、コンデンサＣ１がコンデンサＣ２より
大きい方が、ダミー電極３の電位が大きくなって電位測
定面２の表面電位の測定精度が向上する。
ると、第１実施例は２つのコンデンサＣ１，Ｃ２が直列
に接続されていると考えられるので、コンデンサＣ１が
大きければダミー電極３の電位が大きくなる。例えば、
コンデンサＣ１，Ｃ２が等しい場合には、電位測定面２
の表面電位の半分の大きさの電位がダミー電極３に現れ
る。したがって、コンデンサＣ１がコンデンサＣ２より
大きい方が、ダミー電極３の電位が大きくなって電位測
定面２の表面電位の測定精度が向上する。
【００１６】また、ダミー電極３の表面電位はダミー電
極３の広い面積にわたって一様であるので、低解像度の
表面電位計５を用いてダミー電極３の表面電位を測定す
ることができる。さらに、測定プローブ１の先端に絶縁
性物質１ａが固着されているので、放電は起こりにく
い。絶縁性物質１ａは強誘電体を用いてもよい。
極３の広い面積にわたって一様であるので、低解像度の
表面電位計５を用いてダミー電極３の表面電位を測定す
ることができる。さらに、測定プローブ１の先端に絶縁
性物質１ａが固着されているので、放電は起こりにく
い。絶縁性物質１ａは強誘電体を用いてもよい。
【００１７】一例として、測定プローブ１は、直径約１
００［μｍ］の金属針先端にポリカーボネイトをコート
したものを用い、電位測定面２から１００［μｍ］程度
離して設置した。また、ダミー電極３は３０［ｍｍ］×
３０［ｍｍ］の大きさの金属板を用い、表面電位計５は
ＴＲＥＫ社のＭＯＤＥＬ３４４を用いた。電位測定面２
を帯電させてその１００［Ｖ］の電位を第１実施例で測
定した結果、１［Ｖ］程度の出力を表面電位計５から得
ることができた。
００［μｍ］の金属針先端にポリカーボネイトをコート
したものを用い、電位測定面２から１００［μｍ］程度
離して設置した。また、ダミー電極３は３０［ｍｍ］×
３０［ｍｍ］の大きさの金属板を用い、表面電位計５は
ＴＲＥＫ社のＭＯＤＥＬ３４４を用いた。電位測定面２
を帯電させてその１００［Ｖ］の電位を第１実施例で測
定した結果、１［Ｖ］程度の出力を表面電位計５から得
ることができた。
【００１８】この第１実施例では、絶縁性物質１ａが固
着された測定プローブ１を用いるので、放電しにくく、
電位測定面２の微小な領域の電位を測定でき、測定プロ
ーブ１の構成が非常にシンプルであり、小型化に適して
いる。
着された測定プローブ１を用いるので、放電しにくく、
電位測定面２の微小な領域の電位を測定でき、測定プロ
ーブ１の構成が非常にシンプルであり、小型化に適して
いる。
【００１９】図２は本発明の第２実施例の表面電位計を
示す。ほぼ円柱状の測定プローブ１１は電位測定面１２
にほぼ垂直に向けて接触して配置され、測定プローブ１
１の電位測定面１２との接触面側には樹脂，セラミック
ス等の絶縁性物質１１ａが固着されている。また、測定
プローブ１１はダミー電極１３とリード線１４で接続さ
れており、測定プローブ１１とダミー電極１３とは導通
している。ダミー電極１３上には表面電位計１５のプロ
ーブ１５ａが設けられており、ダミー電極１３の電位は
表面電位計１５により測定される。なお、ダミー電極１
３は表面電位計１５の測定領域に対して十分に広い面積
を有する。
示す。ほぼ円柱状の測定プローブ１１は電位測定面１２
にほぼ垂直に向けて接触して配置され、測定プローブ１
１の電位測定面１２との接触面側には樹脂，セラミック
ス等の絶縁性物質１１ａが固着されている。また、測定
プローブ１１はダミー電極１３とリード線１４で接続さ
れており、測定プローブ１１とダミー電極１３とは導通
している。ダミー電極１３上には表面電位計１５のプロ
ーブ１５ａが設けられており、ダミー電極１３の電位は
表面電位計１５により測定される。なお、ダミー電極１
３は表面電位計１５の測定領域に対して十分に広い面積
を有する。
【００２０】このような構成の第２実施例は、電位測定
面１２が帯電されると、電位測定面１２と測定プローブ
１１との間の絶縁性物質１１ａの静電容量Ｃ３と，表面
電位計１５のプローブ１５ａとダミー電極１３とで構成
されるコンデンサの静電容量Ｃ４と，電位測定面１２上
の測定部の表面電位とに対応した大きさの電位がダミー
電極１３に生ずる。
面１２が帯電されると、電位測定面１２と測定プローブ
１１との間の絶縁性物質１１ａの静電容量Ｃ３と，表面
電位計１５のプローブ１５ａとダミー電極１３とで構成
されるコンデンサの静電容量Ｃ４と，電位測定面１２上
の測定部の表面電位とに対応した大きさの電位がダミー
電極１３に生ずる。
【００２１】ここで、ダミー電極１３の電位について考
えると、第２実施例は２つのコンデンサＣ３，Ｃ４が直
列に接続されていると考えられるので、コンデンサＣ３
が大きければダミー電極１３の電位が大きくなる。例え
ば、コンデンサＣ３，Ｃ４が等しい場合には、電位測定
面１２の表面電位の半分の大きさの電位がダミー電極１
３に現れる。したがって、コンデンサＣ３がコンデンサ
Ｃ４より大きい方が、ダミー電極１３の電位が大きくな
って電位測定面１２の表面電位の測定精度が向上する。
えると、第２実施例は２つのコンデンサＣ３，Ｃ４が直
列に接続されていると考えられるので、コンデンサＣ３
が大きければダミー電極１３の電位が大きくなる。例え
ば、コンデンサＣ３，Ｃ４が等しい場合には、電位測定
面１２の表面電位の半分の大きさの電位がダミー電極１
３に現れる。したがって、コンデンサＣ３がコンデンサ
Ｃ４より大きい方が、ダミー電極１３の電位が大きくな
って電位測定面１２の表面電位の測定精度が向上する。
【００２２】また、ダミー電極１３の表面電位はダミー
電極１３の広い面積にわたって一様であるので、低解像
度の表面電位計１５を用いてダミー電極１３の表面電位
を測定することができる。
電極１３の広い面積にわたって一様であるので、低解像
度の表面電位計１５を用いてダミー電極１３の表面電位
を測定することができる。
【００２３】一例として、測定プローブ１１は、直径約
１００［μｍ］の金属針先端に強誘電体である圧電セラ
ミックスを絶縁性物質１１ａとして固着したものを用い
た。また、ダミー電極１３は３０［ｍｍ］×３０［ｍ
ｍ］の大きさの金属板を用い、表面電位計１５はＴＲＥ
Ｋ社のＭＯＤＥＬ３４４を用いた。電位測定面１２を帯
電させてその表面電位を第２実施例で測定した結果、電
位測定面１２の表面電位と同程度の大きさの電位をダミ
ー電極１３より得ることができた。これは、誘電率の大
きい圧電セラミックス１１ａを電位測定面１２に接触さ
せるためにＣ４に対してＣ３をかなり大きくできたこと
によるものである。
１００［μｍ］の金属針先端に強誘電体である圧電セラ
ミックスを絶縁性物質１１ａとして固着したものを用い
た。また、ダミー電極１３は３０［ｍｍ］×３０［ｍ
ｍ］の大きさの金属板を用い、表面電位計１５はＴＲＥ
Ｋ社のＭＯＤＥＬ３４４を用いた。電位測定面１２を帯
電させてその表面電位を第２実施例で測定した結果、電
位測定面１２の表面電位と同程度の大きさの電位をダミ
ー電極１３より得ることができた。これは、誘電率の大
きい圧電セラミックス１１ａを電位測定面１２に接触さ
せるためにＣ４に対してＣ３をかなり大きくできたこと
によるものである。
【００２４】この第２実施例では、絶縁性物質１１ａが
固着された測定プローブ１１を電位測定面１２に接触さ
せて使用するので、電位測定面１２の微小な領域の電位
を測定でき、測定プローブ１１の構成が非常にシンプル
であり、小型化に適していると共に測定プローブ１１と
電位測定面１２との微小ギャップの制御あるいは測定の
必要がない。また、測定プローブ１１に強誘電体１１ａ
を固着しているので、放電しにくいと共に大きな出力を
得ることができる。
固着された測定プローブ１１を電位測定面１２に接触さ
せて使用するので、電位測定面１２の微小な領域の電位
を測定でき、測定プローブ１１の構成が非常にシンプル
であり、小型化に適していると共に測定プローブ１１と
電位測定面１２との微小ギャップの制御あるいは測定の
必要がない。また、測定プローブ１１に強誘電体１１ａ
を固着しているので、放電しにくいと共に大きな出力を
得ることができる。
【００２５】図３は本発明の第３実施例の表面電位計を
示す。測定プローブ２１は誘電体２２の電位測定面２２
ａに接近して対向して配置される。この場合、測定プロ
ーブ２１は電位測定面２２ａから電流が流れ込まないよ
うに電位測定面２２ａに非接触で配置される。測定プロ
ーブ２１はダミー電極２３とリード線２４で接続されて
導通している。ダミー電極２３上には表面電位計２５の
プローブ２５ａが設けられており、ダミー電極２３の電
位は表面電位計２５により測定される。
示す。測定プローブ２１は誘電体２２の電位測定面２２
ａに接近して対向して配置される。この場合、測定プロ
ーブ２１は電位測定面２２ａから電流が流れ込まないよ
うに電位測定面２２ａに非接触で配置される。測定プロ
ーブ２１はダミー電極２３とリード線２４で接続されて
導通している。ダミー電極２３上には表面電位計２５の
プローブ２５ａが設けられており、ダミー電極２３の電
位は表面電位計２５により測定される。
【００２６】このような構成の第３実施例は、誘電体２
２の電位測定面２２ａが帯電されると、電位測定面２２
ａと測定プローブ２１との間の微小なギャップの静電容
量Ｃ５と、表面電位計２５のプローブ２５ａとダミー電
極２３とで構成されるコンデンサの静電容量Ｃ６と、電
位測定面２２ａの電位とに対応した大きさの電位がダミ
ー電極２３に生ずる。この第３実施例では、２つのコン
デンサＣ５，Ｃ６は直列に接続されていると考えられ
る。電位測定対象が誘電体２２である場合には、誘電体
２２が形成する静電容量Ｃ７を考慮し、Ｃ５〜Ｃ７の３
つのコンデンサが直列に接続されていると考えればよ
い。
２の電位測定面２２ａが帯電されると、電位測定面２２
ａと測定プローブ２１との間の微小なギャップの静電容
量Ｃ５と、表面電位計２５のプローブ２５ａとダミー電
極２３とで構成されるコンデンサの静電容量Ｃ６と、電
位測定面２２ａの電位とに対応した大きさの電位がダミ
ー電極２３に生ずる。この第３実施例では、２つのコン
デンサＣ５，Ｃ６は直列に接続されていると考えられ
る。電位測定対象が誘電体２２である場合には、誘電体
２２が形成する静電容量Ｃ７を考慮し、Ｃ５〜Ｃ７の３
つのコンデンサが直列に接続されていると考えればよ
い。
【００２７】測定プローブ２１が電位測定面２２ａに接
近した際にダミー電極２３に現われる電位は、Ｃ５〜Ｃ
７の値により決まるので、測定プローブ２１の形状や、
ダミー電極２３と表面電位計２５のプローブ２５ａとの
間の距離等で感度を調整することが可能である。
近した際にダミー電極２３に現われる電位は、Ｃ５〜Ｃ
７の値により決まるので、測定プローブ２１の形状や、
ダミー電極２３と表面電位計２５のプローブ２５ａとの
間の距離等で感度を調整することが可能である。
【００２８】例えば、測定プローブ２１は、直径約１０
０μｍの金属針が用いられ、電位測定面２２ａから１０
０μｍ程度離して配置される。ダミー電極２３は３０ｍ
ｍ×３０ｍｍの大きさの金属板が用いられ、表面電位計
２５はＴＲＥＣ社のＭＯＤＥＬ３４４を用いた。電位測
定面２２ａを１０００Ｖにコロナ帯電器で帯電させてそ
の電位をこの第３実施例で測定したところ、表面電位計
２５の出力として８Ｖ程度の出力を得ることができた。
その後、測定プローブ２１を接地面の近傍に移動させた
ところ、表面電位計２５の出力として０Ｖの出力を得る
ことができた。このことから、測定プローブ２１とダミ
ー電極２３との間に真電荷が存在せず、電位測定面２２
ａの表面電位を非破壊で測定できて電位測定面２２ａの
表面電位に比例した出力が表面電位計２５の出力として
得られていることが分かった。ただし、この第３実施例
では、電位測定面２２ａの表面電位の絶対値が得られな
いので、電位測定面２２ａの表面電位と表面電位計２５
の出力電位との校正が必要となる。
０μｍの金属針が用いられ、電位測定面２２ａから１０
０μｍ程度離して配置される。ダミー電極２３は３０ｍ
ｍ×３０ｍｍの大きさの金属板が用いられ、表面電位計
２５はＴＲＥＣ社のＭＯＤＥＬ３４４を用いた。電位測
定面２２ａを１０００Ｖにコロナ帯電器で帯電させてそ
の電位をこの第３実施例で測定したところ、表面電位計
２５の出力として８Ｖ程度の出力を得ることができた。
その後、測定プローブ２１を接地面の近傍に移動させた
ところ、表面電位計２５の出力として０Ｖの出力を得る
ことができた。このことから、測定プローブ２１とダミ
ー電極２３との間に真電荷が存在せず、電位測定面２２
ａの表面電位を非破壊で測定できて電位測定面２２ａの
表面電位に比例した出力が表面電位計２５の出力として
得られていることが分かった。ただし、この第３実施例
では、電位測定面２２ａの表面電位の絶対値が得られな
いので、電位測定面２２ａの表面電位と表面電位計２５
の出力電位との校正が必要となる。
【００２９】この第３実施例では、帯電した誘電体の表
面電位を非破壊で測定することができ、しかも、従来の
表面電位計に比べて微小な領域の電位を測定することが
可能である。また、校正がシンプルであり、複雑な機構
を要せず、コストが低い。さらに、測定プローブを従来
のものに比べて格段に小さくすることができ、装置への
内蔵が容易である。
面電位を非破壊で測定することができ、しかも、従来の
表面電位計に比べて微小な領域の電位を測定することが
可能である。また、校正がシンプルであり、複雑な機構
を要せず、コストが低い。さらに、測定プローブを従来
のものに比べて格段に小さくすることができ、装置への
内蔵が容易である。
【００３０】
【発明の効果】以上のように請求項１記載の発明によれ
ば、少なくとも電位測定面に対向する部分に絶縁性物質
が付いた導電性の測定プローブと、この測定プローブと
電気的に導通しているダミー電極と、電位測定面に前記
測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に現われる
電位を測定する表面電位計とを備えたので、放電しにく
く、微小な領域の電位を測定でき、測定プローブの構成
が非常にシンプルであり、小型化に適している。
ば、少なくとも電位測定面に対向する部分に絶縁性物質
が付いた導電性の測定プローブと、この測定プローブと
電気的に導通しているダミー電極と、電位測定面に前記
測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に現われる
電位を測定する表面電位計とを備えたので、放電しにく
く、微小な領域の電位を測定でき、測定プローブの構成
が非常にシンプルであり、小型化に適している。
【００３１】請求項２記載の発明によれば、少なくとも
電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電性
の測定プローブと、この測定プローブと電気的に導通し
ているダミー電極と、電位測定面に前記測定プローブが
接触した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定する
表面電位計とを備えたので、微小な領域の電位を測定で
き、測定プローブの構成が非常にシンプルであり、小型
化に適していると共に測定プローブと電位測定面との微
小ギャップの制御あるいは測定の必要がない。
電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電性
の測定プローブと、この測定プローブと電気的に導通し
ているダミー電極と、電位測定面に前記測定プローブが
接触した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定する
表面電位計とを備えたので、微小な領域の電位を測定で
き、測定プローブの構成が非常にシンプルであり、小型
化に適していると共に測定プローブと電位測定面との微
小ギャップの制御あるいは測定の必要がない。
【００３２】請求項３記載の発明によれば、請求項１ま
たは２記載の表面電位測定装置において、前記測定プロ
ーブの一部に強誘電体を固着したので、放電しにくいと
共に大きな出力を得ることができる。
たは２記載の表面電位測定装置において、前記測定プロ
ーブの一部に強誘電体を固着したので、放電しにくいと
共に大きな出力を得ることができる。
【００３３】請求項４記載の発明によれば、誘電体の電
位測定面に対向する導電性の測定プローブと、この測定
プローブと電気的に導通するダミー電極と、前記電位測
定面に前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極
に現われる電位を測定する表面電位計とを備えたので、
帯電した誘電体の表面電位を非破壊で測定することがで
き、しかも、従来の表面電位計に比べて微小な領域の電
位を測定することが可能である。また、校正がシンプル
であり、複雑な機構を要せず、コストが低い。さらに、
測定プローブを従来のものに比べて格段に小さくするこ
とができ、装置への内蔵が容易である。
位測定面に対向する導電性の測定プローブと、この測定
プローブと電気的に導通するダミー電極と、前記電位測
定面に前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極
に現われる電位を測定する表面電位計とを備えたので、
帯電した誘電体の表面電位を非破壊で測定することがで
き、しかも、従来の表面電位計に比べて微小な領域の電
位を測定することが可能である。また、校正がシンプル
であり、複雑な機構を要せず、コストが低い。さらに、
測定プローブを従来のものに比べて格段に小さくするこ
とができ、装置への内蔵が容易である。
【図１】本発明の第１実施例を示す正面図である。
【図２】本発明の第２実施例を示す正面図である。
【図３】本発明の第３実施例を示す正面図である。
１，１１，２１ 測定プローブ ２，１２，２２ａ 電位測定面 ２ａ，１２ａ 絶縁性物質 ３，１３，２３ ダミー電極 ４，１４，２４ リード線 ５，１５，２５ 表面電位計 ５ａ，１５ａ，２５ａ 表面電位計のプローブ ２２ 誘電体
Claims (4)
- 【請求項１】少なくとも電位測定面に対向する部分に絶
縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定プ
ローブと電気的に導通しているダミー電極と、電位測定
面に前記測定プローブが接近した際に前記ダミー電極に
現われる電位を測定する表面電位計とを備えたことを特
徴とする電位測定装置。 - 【請求項２】少なくとも電位測定面に対向する部分に絶
縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定プ
ローブと電気的に導通しているダミー電極と、電位測定
面に前記測定プローブが接触した際に前記ダミー電極に
現われる電位を測定する表面電位計とを備えたことを特
徴とする電位測定装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載の表面電位測定装置
において、前記測定プローブの一部に強誘電体を固着し
たことを特徴とする電位測定装置。 - 【請求項４】誘電体の電位測定面に対向する導電性の測
定プローブと、この測定プローブと電気的に導通するダ
ミー電極と、前記電位測定面に前記測定プローブが接近
した際に前記ダミー電極に現われる電位を測定する表面
電位計とを備えたことを特徴とする電位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5127558A JPH06313782A (ja) | 1993-03-05 | 1993-05-28 | 電位測定装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-44803 | 1993-03-05 | ||
| JP4480393 | 1993-03-05 | ||
| JP5127558A JPH06313782A (ja) | 1993-03-05 | 1993-05-28 | 電位測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06313782A true JPH06313782A (ja) | 1994-11-08 |
Family
ID=26384771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5127558A Pending JPH06313782A (ja) | 1993-03-05 | 1993-05-28 | 電位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06313782A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5983043A (en) * | 1997-12-24 | 1999-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Potential measuring apparatus and potential measuring method |
| JP2007155974A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 感光体の微小領域電位の測定方法及び感光体の微小領域電位の測定装置 |
| KR20140109823A (ko) * | 2013-03-06 | 2014-09-16 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 표면 전위 측정 장치 및 표면 전위 측정 방법 |
| JP2019040853A (ja) * | 2017-08-23 | 2019-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 測定装置、測定方法及びプラズマ処理装置 |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP5127558A patent/JPH06313782A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5983043A (en) * | 1997-12-24 | 1999-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Potential measuring apparatus and potential measuring method |
| JP2007155974A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 感光体の微小領域電位の測定方法及び感光体の微小領域電位の測定装置 |
| KR20140109823A (ko) * | 2013-03-06 | 2014-09-16 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 표면 전위 측정 장치 및 표면 전위 측정 방법 |
| JP2019040853A (ja) * | 2017-08-23 | 2019-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 測定装置、測定方法及びプラズマ処理装置 |
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