JP2778323B2 - Printed wiring board and method of manufacturing the same - Google Patents

Printed wiring board and method of manufacturing the same

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JP2778323B2
JP2778323B2 JP4009791A JP979192A JP2778323B2 JP 2778323 B2 JP2778323 B2 JP 2778323B2 JP 4009791 A JP4009791 A JP 4009791A JP 979192 A JP979192 A JP 979192A JP 2778323 B2 JP2778323 B2 JP 2778323B2
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幸弘 谷口
正弘 古川
明由 角屋
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松利 井原
直弥 松崎
廣 菊池
真貴雄 渡辺
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板及びその
製造方法に係り、特に導体回路の高密度化、スルーホー
ルの信頼性向上に好適な高密度プリント配線板及びその
製造方法と、それらに用いられる光硬化性レジスト組成
物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed wiring board and a method of manufacturing the same, and more particularly to a high-density printed wiring board suitable for increasing the density of conductive circuits and improving the reliability of through holes, and a method of manufacturing the same. The present invention relates to a photocurable resist composition used.

【0002】[0002]

【従来の技術】次に、従来例として(1)〜(6)を説
明する。
2. Description of the Related Art Next, (1) to (6) will be described as conventional examples.

【0003】(1)従来例の1 従来のプリント配線板の代表的な一例の外観を図5に一
部断面斜視図として示す。図示のように、銅めっき7の
みで形成されるプリント配線板のスルーホール2におい
ては、引っ張り剥離強度試験によるピール強度が弱いた
め種々の前処理工程を経る過程でスルーホール2内壁
に、ふくれ部15が発生し易く、これに起因して接続不
良等の事故が生じスルーホールの信頼性に問題があっ
た。また、銅めっきからなる回路パターンおよびスルー
ホール導体をニッケルめっきで被覆し、銅めっき−ニッ
ケルめっきの2層構造としたものも提案されているが、
これで前記問題点を解決できるものではない。なお、導
体をこの種の銅−ニッケル2層構造としたものとして
は、例えば特開昭62−190792号公報がある。
(1) Conventional Example 1 FIG. 5 is a partial cross-sectional perspective view showing the appearance of a typical example of a conventional printed wiring board. As shown in the drawing, in the through hole 2 of the printed wiring board formed only by the copper plating 7, the peel strength is low due to the tensile peel strength test, so that a blister is formed on the inner wall of the through hole 2 during various pretreatment steps. No. 15 is likely to occur, resulting in an accident such as poor connection, and there is a problem in reliability of the through hole. In addition, a circuit pattern made of copper plating and a through-hole conductor are coated with nickel plating to form a two-layer structure of copper plating and nickel plating.
This cannot solve the above problem. Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-190792 discloses a conductor having a copper-nickel two-layer structure of this type.

【0004】(2)従来例の2 例えば直径0.5mm以下の小径スルーホールを有する
高密度プリント基板の回路形成法には、スルーホールの
信頼性を保つため図8に示すような、はんだめっき法が
一般的に用いられている。以下、はんだめっき法による
回路形成工程の概略図を示した図8に従って説明する。
(2) Conventional Example 2 For example, a method of forming a circuit on a high-density printed circuit board having a small-diameter through hole having a diameter of 0.5 mm or less requires a solder plating as shown in FIG. The method is commonly used. Hereinafter, description will be made with reference to FIG. 8 which shows a schematic view of a circuit forming step by a solder plating method.

【0005】工程(a):銅張り積層板1の穴あけ、銅め
っきを行ない、スルーホール2を形成する。
Step (a): A hole is formed in the copper-clad laminate 1 and copper plating is performed to form a through hole 2.

【0006】工程(b):フィルム型ホトレジスト11を
基板全面にラミネートし、回路パターンが描かれたポジ
形マスク12を用いて露光10する。
Step (b): A film type photoresist 11 is laminated on the entire surface of the substrate, and is exposed 10 using a positive type mask 12 on which a circuit pattern is drawn.

【0007】工程(c):現像により、ホトレジスト11
のパターンからなるめっきレジスト14を形成する。
Step (c): developing the photoresist 11
Is formed.

【0008】工程(d):はんだめっき13を行なう。Step (d): Solder plating 13 is performed.

【0009】工程(e):めっきレジスト14を剥離し、
下地の銅を露出させる。
Step (e): The plating resist 14 is peeled off,
The underlying copper is exposed.

【0010】工程(f):はんだめっき13をレジストマ
スクとして露出した銅をエッチング除去する。
Step (f): The exposed copper is removed by etching using the solder plating 13 as a resist mask.

【0011】工程(g):はんだめっき13のレジストマ
スクを剥離して回路パターン9を形成する。
Step (g): The circuit pattern 9 is formed by removing the resist mask of the solder plating 13.

【0012】(3)従来例の3 スルーホール内周面がニッケルと銅との二重構造になっ
ている公知例としては、平1−313996に記載され
ているが、基本的に目的やプロセスが異なっており、ま
た下記2点の相違がある。
(3) Conventional Example 3 A well-known example in which the inner peripheral surface of the through hole has a double structure of nickel and copper is described in JP-A-1-313996. Are different, and there are the following two differences.

【0013】本出願が内層回路パターンを含む多層板
であるのに対し、上記公知例では内層回路パターンを含
まない両面板である。
While the present application is a multilayer board including an inner layer circuit pattern, the above-mentioned known example is a double-sided board not including an inner layer circuit pattern.

【0014】スルーホールおよびランド部を形成して
いる銅箔が、本出願では化学銅めっきで形成するのに対
し、上記公知例では電気銅めっきで形成している。(化
学銅めっきと電気銅めっきとでは、析出形状、強度等が
異なり、前者の方が高精度、高信頼性でスルーホール形
成可) (4)従来例の4 従来銅箔のみで形成される表層の回路パターンにおいて
は、パターンを高密度化する際、下記二つの問題があっ
た。
The copper foil forming the through-holes and the lands is formed by chemical copper plating in the present application, but is formed by electrolytic copper plating in the above-mentioned known example. (Deposition shape, strength, etc. are different between chemical copper plating and electrolytic copper plating, and the former is more accurate, more reliable and allows through-hole formation.) (4) Conventional example 4 Formed using only conventional copper foil In the circuit pattern on the surface layer, there are the following two problems in increasing the density of the pattern.

【0015】パターンが細くなると銅パターン表面9
を被覆するソルダーレジスト6の密着性が不充分とな
り、銅めっきやはんだ付け後にソルダーレジストの剥が
れ20の発生する心配がある。(図14) パターン間隙が狭くなると、ソルダーレジストの僅か
な吸湿等により銅パターン間で電食(導体金属のイオン
化による流出)が発生し、絶縁不良となる心配がある。
電食のメカニズムを図15で説明すると、導体パターン
9間で電位差があり、絶縁性のソルダーレジスト6が水
分や電解質を含んでいた場合、+側で電離した銅イオン
Cuが除々に−側に引っ張られていき、遂には絶縁破壊
に至る。
When the pattern becomes thin, the copper pattern surface 9
There is a concern that the adhesion of the solder resist 6 covering the solder resist becomes insufficient and the solder resist peels off 20 after copper plating or soldering. (FIG. 14) When the pattern gap becomes narrow, electrolytic corrosion (outflow due to ionization of the conductive metal) occurs between the copper patterns due to slight moisture absorption of the solder resist or the like, and there is a concern that insulation failure may occur.
The mechanism of the electrolytic corrosion will be described with reference to FIG. 15. If there is a potential difference between the conductor patterns 9 and the insulating solder resist 6 contains moisture or an electrolyte, the copper ions Cu ionized on the + side gradually become negative. As they are pulled, they eventually lead to dielectric breakdown.

【0016】(5)従来例の5 従来多層板の内層回路パターンおよび内層スルーホール
(インナバイア、サーフィスバイア)が銅箔のみで形成
される場合においても、パターン間隙が狭くなると、基
材中の僅かな吸湿やイオン性異物等により電食が発生し
やすくなり、絶縁不良を起こす心配があった。
(5) Conventional Example 5 Even when the inner layer circuit pattern and the inner layer through holes (inner vias, surface vias) of the conventional multilayer board are formed only of copper foil, if the pattern gap becomes narrow, a small amount of the base material may be formed. Electric erosion is likely to occur due to excessive moisture absorption or ionic foreign matter, and there is a concern that insulation failure may occur.

【0017】(6)従来例の6 回路を形成してから、回路上にもソルダレジストを形成
し、化学銅めつきでスルホールを接続うるパートリアデ
ィティブ法で用いるソルダレジストに特殊な機能が要求
される。すなわち、高温、強アルカリの過酷な化学銅め
っき液に長時間浸漬され、かつ、ソルダレジストの下の
銅の配線パターンに化学銅めっきの析出電位−0.6〜
−0.9V(飽和カロメル電極参照)が長時間作用す
る。かかる過酷な工程を経た後にも、ソルダレジストと
して必要な耐熱性や、永久レジストとしてプリント回路
板を保護するために必要な絶縁性等の特性を何等、劣化
してはならない極めて高度な機能である。
(6) After forming a circuit of the prior art, a solder resist is also formed on the circuit, and a special function is required for the solder resist used in the part-reactive method in which through holes can be connected by chemical copper plating. Is done. That is, a high temperature, a strong alkali immersion in a harsh chemical copper plating solution for a long time, and the deposition potential of the chemical copper plating on the copper wiring pattern under the solder resist −0.6 to
-0.9V (see saturated calomel electrode) works for a long time. Even after such a severe process, it is an extremely advanced function that must not degrade any properties such as heat resistance required as a solder resist and insulation properties necessary to protect a printed circuit board as a permanent resist. .

【0018】かかる目的に適した耐めっき反応性を有す
るソルダレジストとして、スクリーン印刷でパターンを
形成するエポキシ樹脂系の熱硬化型のものが知られてお
り、その例が特開昭58−147416号に開示されて
いる。また、耐めっき反応性を有するUV露光、現像型
のソルダレジストも知られており、その例が特開昭62
−265321号に開示されている。かかる耐めっき反
応性を有するUV露光、現像型のソルダレジストは、U
V露光、現像でパターンを形成するため、極めて精度が
良く、高密度プリント回路板の製造に適している。とこ
ろが、大量のプリント回路板をめっきする量産では、レ
ジストの成分中にジシアンジアミドを含んでいるため、
長時間の化学銅めっきの工程で、ジシアンジアミドが微
量に化学銅めっき液に溶けだし、銅めっきの析出状態に
甚大な影響を及ぼし、スルホールの信頼性を劣化する問
題を抱えていた。
As a solder resist having plating resistance suitable for this purpose, an epoxy resin-based thermosetting type which forms a pattern by screen printing is known, and an example thereof is disclosed in JP-A-58-147416. Is disclosed. In addition, a UV exposure and development type solder resist having plating resistance is also known.
-265321. UV exposure and development type solder resists having such plating resistance are available in U
Since the pattern is formed by V exposure and development, the accuracy is extremely high, and it is suitable for manufacturing a high-density printed circuit board. However, in mass production of plating a large number of printed circuit boards, since dicyandiamide is included in the components of the resist,
In a long-time chemical copper plating process, a small amount of dicyandiamide dissolves in the chemical copper plating solution, which has a serious effect on the deposition state of the copper plating, thereby deteriorating the reliability of the through hole.

【0019】[0019]

【発明が解決しようとする課題】(1)従来例−1,2
に対する課題 しかし、図8で説明したような回路パターン形成法で
は、パターンの極細線化(解像度50μm以下)に伴な
い、従来のフィルム型の感光性レジスト11では、第7
図(a)に示すようにレジスト解像不良23が発生し、
隣合うレジストパターン11同志がドッキングしてしま
うとか、レジスト密着不良24が発生するという問題が
生じてしまい、高密度の回路形成が困難であった。
Problems to be Solved by the Invention (1) Conventional Example-1,2
However, in the circuit pattern forming method described with reference to FIG. 8, the conventional film-type photosensitive resist 11 is not suitable for forming a fine pattern (resolution of 50 μm or less).
As shown in FIG. 7A, a resist resolution defect 23 occurs,
There is a problem that adjacent resist patterns 11 are docked or a poor resist adhesion 24 occurs, and it has been difficult to form a high-density circuit.

【0020】一方、高解像度細線パターンを形成するた
めに、電着型感光レジストを用いる工法がある。電着型
感光性レジストを用いると、図9(b)に示すようにフ
ィルム型感光性レジストに比べ膜厚が薄く、銅箔表面と
の密着性が良いため高解像度細線パターンの形成が可能
である。しかし、この種のパターン形成工程において
は、スルーホール2の内壁も露光しなければならず、小
径スルーホールにおいては、第8図に示すように電着型
感光レジスト5の塗布されたスルーホール2内に露光1
0に十分な光が照射されにくく、部分的に露光されない
個所が生じる。したがって、図6の工程(c)に示すよ
うに露光、現像処理して形成したスルーホール2内の電
着型感光性レジストマスク8には、欠陥8aが発生し、
この欠陥マスク8aによりエッチング工程では、図6
(d)に示すようにスルーホール欠陥7aが発生するた
め、スルーホールの信頼性が低下する。
On the other hand, there is a method using an electrodeposition type photosensitive resist to form a high-resolution fine line pattern. When an electrodeposition type photosensitive resist is used, as shown in FIG. 9 (b), the film thickness is smaller than that of a film type photosensitive resist and the adhesion to the copper foil surface is good, so that a high resolution fine line pattern can be formed. is there. However, in this type of pattern forming step, the inner wall of the through hole 2 must also be exposed, and in the small diameter through hole, as shown in FIG. Exposure in 1
It is difficult to irradiate sufficient light to 0, and there are portions that are not partially exposed. Therefore, as shown in step (c) of FIG. 6, a defect 8a occurs in the electrodeposition type photosensitive resist mask 8 in the through hole 2 formed by exposure and development.
In the etching process using the defect mask 8a, FIG.
Since the through-hole defect 7a is generated as shown in FIG. 4D, the reliability of the through-hole is reduced.

【0021】スルーホールの信頼性を損うことなく高解
像度細線パターンを形成する方法として特開昭61−2
47090号公報があるが、電着レジストは、はんだめ
っきレジストとして用いられており、はんだめっきレジ
ストパターンが導電膜のエッチングレジストとなるた
め、エッチング精度は図8に示した従来のはんだめっき
法と変わらない。つまり、この電着レジストを用いる回
路パターンの形成法は、図8の工程(b)のホトレジスト
11の代わりに電着レジストを用いるものである。
A method for forming a high-resolution fine line pattern without impairing the reliability of through holes is disclosed in
No. 47090, the electrodeposition resist is used as a solder plating resist, and since the solder plating resist pattern serves as an etching resist for the conductive film, the etching accuracy is different from that of the conventional solder plating method shown in FIG. Absent. That is, in the method of forming a circuit pattern using the electrodeposition resist, an electrodeposition resist is used instead of the photoresist 11 in the step (b) of FIG.

【0022】したがって、本発明の目的は、上記従来例
1及び2で指摘した問題点を解決することにあり、その
第1の目的はスルーホール内導体層の信頼性を向上せし
め、高解像度細線パターンを実現することのできる改良
された高密度プリント基板を、そして第2の目的はその
製造方法を、それぞれ提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to solve the problems pointed out in the above-mentioned prior art examples 1 and 2, and a first object of the present invention is to improve the reliability of the conductor layer in the through-hole and obtain a high-resolution fine wire. It is an object of the present invention to provide an improved high-density printed circuit board capable of realizing a pattern, and a second object thereof.

【0023】(2)従来例−4,5の課題 銅箔のみのパターンで回路間隙を狭くしていった時の限
界値が120〜130μmであり、今後さらに高密度化
する時の問題となる。
(2) Problems of Conventional Examples -4 and 5 The limit value when the circuit gap is narrowed with a pattern of only copper foil is 120 to 130 μm, which will be a problem when the density is further increased in the future. .

【0024】(3)従来例−6の課題 また、本発明は、上記した従来技術の欠点のない耐めっ
き反応性を有するUV露光、現像型のソルダレジストを
実現し、高密度プリント回路板の製造を容易ならしめる
ことである。実用的なレジストとして備えるべき特性
は、多岐にわたり、その中の一つでも欠けると実用性が
著しく損なわれる。したがって、本発明の課題は、単に
従来技術の組み合わせのみでは実現できない、多くの特
性を同時に満足させたレジストを用いて高密度プリント
回路板を製造することで解決できる。このために必要と
なるレジストの特性を列挙すると次のようになる。
(3) Problems of Conventional Example-6 Further, the present invention realizes a UV exposure and development type solder resist having plating resistance which does not have the drawbacks of the above-described conventional technology, and realizes a high density printed circuit board. It is to make manufacturing easier. The characteristics to be provided as a practical resist are various, and if any one of them is missing, the practicality is significantly impaired. Therefore, the object of the present invention can be solved by manufacturing a high-density printed circuit board using a resist satisfying many characteristics at the same time, which cannot be realized only by the combination of the conventional techniques. The resist characteristics required for this purpose are listed as follows.

【0025】a)本発明のレジストは、ジシアンジアミ
ドを含まないことが必須である。大量のプリント回路板
をめっきする量産では、レジストの成分中にジシアンジ
アミドを含んでいると、長時間の化学銅めっきの工程
で、ジシアンジアミドが微量に化学銅めっき液に溶けだ
し、銅めっきの析出状態に甚大な影響を及ぼし、スルホ
ールの信頼性を劣化する。従って、本発明のレジストは
ジシアンジアミドを含まずに、以下の課題を同時に満足
させねばならない。
A) It is essential that the resist of the present invention does not contain dicyandiamide. In mass production of plating a large amount of printed circuit boards, if dicyandiamide is included in the resist components, a small amount of dicyandiamide will dissolve in the chemical copper plating solution in the long-time chemical copper plating process, and the copper plating precipitates. It has a profound effect and degrades the reliability of the through hole. Therefore, the resist of the present invention must satisfy the following problems without containing dicyandiamide.

【0026】b)本発明のレジストは、UV光の露光で
硬化することが必須である。すなわち、プリント回路板
の製造に適した300〜400nmのUV光(紫外線)
の照射により、架橋反応を生じ、照射部分のみが硬化す
る必要がある。また、照射量として実用的な0.02〜
10J/cm2の範囲で硬化することが望ましい。
B) The resist of the present invention must be cured by exposure to UV light. That is, 300 to 400 nm UV light (ultraviolet light) suitable for manufacturing a printed circuit board.
Irradiation causes a crosslinking reaction, and only the irradiated portion needs to be cured. In addition, a practical 0.02
It is desirable to cure in the range of 10 J / cm 2 .

【0027】c)本発明のレジストは、UV照射により
硬化した部分と未硬化部分の、現像液に対する溶解度差
が適切で、現像後の解像度が良好であることが必須であ
る。いいかえれば、適当な溶剤による、優れた現像性を
備えていなければならない。
C) It is essential that the resist of the present invention has an appropriate difference in solubility in a developing solution between a portion cured by UV irradiation and an uncured portion, and good resolution after development. In other words, it must have excellent developability with an appropriate solvent.

【0028】d)本発明のレジストは、プリント回路板
の両面に塗布して、両面同時に露光できることが必須で
ある。すなわち、片面から露光したUV光がレジストお
よび基材中を透過し、他面のレジストを硬化させる、い
わゆる、裏写りがあってはならない。かかる課題を解決
しないと、基材の両面に用いるネガマスクパターンの違
いが反対面にも現れるため、実用性を著しく損なう。
D) It is essential that the resist of the present invention can be applied to both sides of a printed circuit board so that both sides can be exposed simultaneously. That is, there must be no so-called show-through, in which UV light exposed from one side transmits through the resist and the base material and cures the resist on the other side. Unless such a problem is solved, the difference in the negative mask pattern used on both sides of the base material appears on the opposite side, which significantly impairs the practicality.

【0029】e)本発明のレジストは、UV露光の際、
ネガマスクをレジストに密着して露光できることが必須
である。かかる課題を解決しないと、レジスト自体の粘
着性や、露光時の昇温によるレジストの軟化が原因とな
り、レジストとネガマスクが接着する。すると、露光毎
にネガマスクを洗浄する必要が生じ、実用性が著しく損
なわれてしまう。
E) The resist of the present invention is obtained by
It is essential that the negative mask can be exposed in close contact with the resist. If this problem is not solved, the resist and the negative mask adhere to each other due to the tackiness of the resist itself and the softening of the resist due to a rise in temperature during exposure. Then, it becomes necessary to clean the negative mask for each exposure, and the practicality is significantly impaired.

【0030】f)本発明のレジストは、塗布性が良好で
あることが必須である。すなわち、プリント回路板の片
面にスクリーン印刷やロールコータ等でレジストを塗布
する際、厚さが均一で、かつ、ボイドが残らないよう
に、適切なインクとしての粘度特性を備えている必要が
ある。
F) The resist of the present invention must have good coatability. That is, when a resist is applied to one side of a printed circuit board by screen printing, a roll coater, or the like, it is necessary to have a viscosity property as an appropriate ink so that the thickness is uniform and no void remains. .

【0031】g)本発明のレジストは、片面にレジスト
を塗布した後、予備乾燥させ、他面にもレジストを塗布
できなくてはならない。予備乾燥が不足すると、片面に
粘稠なレジストを塗布したままで、他面にレジストを印
刷することができなくなる。予備乾燥が過剰になると、
レジストの反応が進み、両面のレジストの特性に差が生
じる。かかる問題がないように、適切に予備乾燥できる
ことが必須である。
G) The resist of the present invention must be such that after one side of the resist is coated, it is pre-dried and the other side is coated with the resist. If the pre-drying is insufficient, the resist cannot be printed on the other surface while the viscous resist is applied on one surface. If pre-drying becomes excessive,
The reaction of the resist proceeds, and a difference occurs in the characteristics of the resist on both sides. In order to avoid such a problem, it is essential to be able to perform predrying appropriately.

【0032】h)本発明のレジストは、製品であるプリ
ント回路板上に形成されており、ソルダレジストとし
て、繰返しはんだ付けに耐える良好な耐熱性を有するこ
とが必須である。すなわち、およそ260℃、10秒の
はんだ浸漬を約10回繰り返しても、あるいはこれに相
当する熱風、赤外線、溶剤蒸気等によるはんだ付けによ
っても、プリント回路板上のレジストにフクレ、剥離等
の異常が生じないことが必須である。かかる特性は、過
酷な化学銅めっきの工程を経た後のレジストに要求され
るものであることが、強調されるべきである。
H) The resist of the present invention is formed on a printed circuit board as a product, and it is essential that the solder resist has good heat resistance to withstand repeated soldering. That is, even if solder immersion at 260 ° C. for 10 seconds is repeated about 10 times, or by soldering with hot air, infrared rays, solvent vapor, or the like, the resist on the printed circuit board has abnormalities such as blistering and peeling. Is essential. It should be emphasized that such properties are required for resists after a severe chemical copper plating process.

【0033】i)本発明のレジストは、製品であるプリ
ント回路板上に形成されており、高い絶縁性を保持でき
ることが必須である。すなわち、配線間の絶縁劣化を生
じない優れた絶縁性、特に、吸湿時の絶縁性を保持でき
ることが必要である。かかる特性は、過酷な化学銅めっ
きの工程を経た後のレジストに要求されるものであるこ
とが、強調されるべきである。
I) The resist of the present invention is formed on a printed circuit board as a product, and it is essential that the resist can maintain high insulation. That is, it is necessary to be able to maintain excellent insulation properties that do not cause insulation deterioration between wirings, especially insulation properties when absorbing moisture. It should be emphasized that such properties are required for resists after a severe chemical copper plating process.

【0034】j)本発明のレジストは、製品であるプリ
ント回路板上に形成されており、耐薬品性に優れること
が必須である。すなわち、プリント回路板に部品を搭載
する実装工程で用いられるはんだ付けフラックス、洗浄
溶剤等により、レジストが溶解、変質しない必要があ
る。かかる特性は、過酷な化学銅めっきの工程を経た後
のレジストに要求されるものであることが、強調される
べきである。
J) The resist of the present invention is formed on a printed circuit board as a product, and it is essential that the resist has excellent chemical resistance. That is, it is necessary that the resist is not dissolved or deteriorated by a soldering flux, a cleaning solvent, or the like used in a mounting process of mounting components on a printed circuit board. It should be emphasized that such properties are required for resists after a severe chemical copper plating process.

【0035】k)本発明のレジストは、製品であるプリ
ント回路板上に形成した後、良好な耐アルカリ性を有す
ることが必須である。すなわち、過酷な化学銅めっきの
工程を経るので、高温、強アルカリの化学銅めっき液に
よって、レジストが溶解、変質しない必要がある。
K) It is essential that the resist of the present invention has good alkali resistance after being formed on a printed circuit board as a product. That is, since a severe chemical copper plating process is performed, the resist must not be dissolved or deteriorated by a high-temperature, strongly alkaline chemical copper plating solution.

【0036】l)本発明のレジストは、製品であるプリ
ント回路板上に形成した後、良好な耐めっき反応性を有
することが必須である。かかる特性は、具体的には次の
ようなものである。パートリアディティブ法でプリント
回路板を製造する際、化学銅めっきの工程で、導体回路
上のレジストが剥離しないことが必須である。レジスト
を形成したプリント回路板は、高温、強アルカリの過酷
な化学銅めっき液に長時間浸漬され、かつ、ソルダレジ
ストの下の銅の配線パターンに化学銅めっきの析出電位
−0.6〜−0.9Vが長時間作用する。かかる過酷な
工程を経た後でも、銅とレジストの界面で、密着力の低
下や剥離が生じてはならない。
L) It is essential that the resist of the present invention has good plating resistance after being formed on a printed circuit board as a product. Such characteristics are specifically as follows. When manufacturing a printed circuit board by the part-reactive method, it is essential that the resist on the conductor circuit does not peel off in the step of chemical copper plating. The printed circuit board on which the resist is formed is immersed in a harsh chemical copper plating solution of high temperature and strong alkali for a long time, and the deposition potential of chemical copper plating on the copper wiring pattern under the solder resist is -0.6 to-. 0.9V works for a long time. Even after passing through such a severe process, a decrease in adhesion and peeling must not occur at the interface between the copper and the resist.

【0037】密着力の低下や剥離が生じる機構は定かで
はないが、経験的に、化学銅めっきの析出電位が剥離反
応の駆動力となることや、銅とレジストの界面に酸化銅
が存在すると剥離が著しく急速に進行することなどが判
っている。これらのことから、化学銅めっき析出電位に
よって、回路銅箔とレジスト界面の酸化物が電気化学的
に還元される結果、密着力の原因となる銅とレジスト間
の結合が破壊され、剥離が生じると推定している。従っ
て、耐めっき反応性(耐剥離性)は一種の耐カソード剥
離性でもある。
The mechanism by which the adhesion force is reduced or peeling is not clear, but empirically, if the deposition potential of the chemical copper plating becomes the driving force for the peeling reaction or if copper oxide exists at the interface between copper and the resist. It has been found that peeling proceeds extremely rapidly. From these facts, the oxide at the interface between the circuit copper foil and the resist is electrochemically reduced by the chemical copper plating deposition potential, resulting in the destruction of the bond between the copper and the resist, which causes adhesion, and peeling It is estimated. Accordingly, plating reactivity (peeling resistance) is also a kind of cathodic peeling resistance.

【0038】かかる耐めっき反応性と、一般的に云われ
る耐めっき性とは、厳密に区別すべきである。一般に耐
めっき性と称する内容は、前記した耐アルカリ性を示し
ている場合が多く、これは、耐めっき反応性(耐剥離
性)とは全く異なるものである。
It should be strictly distinguished between the plating resistance and the generally known plating resistance. In general, what is referred to as plating resistance often indicates the above-described alkali resistance, which is completely different from plating resistance (peeling resistance).

【0039】耐めっき反応性(耐剥離性)の課題は、パ
ートリアディティブ法でプリント回路板を製造する際、
最も留意すべき点の一つで、この問題が解決されない
と、回路銅箔上のレジストが剥離してしまい、全く実用
性が失われる。
The problem of plating reactivity (peeling resistance) is that when a printed circuit board is manufactured by the part-reactive method,
One of the most notable points is that if this problem is not solved, the resist on the circuit copper foil will peel off, losing practicality at all.

【0040】m)本発明のレジストは、製品であるプリ
ント回路板上に形成した後、化学銅めっきの工程で、レ
ジストからめっき液中に有害な成分が溶出または抽出さ
れないことが必須である。かかる耐めっき溶出性が未解
決であると、レジストからの、溶出または抽出された成
分が、銅めっきの析出反応に悪影響をおよぼす結果、め
っき反応が停止、ないし、遅滞したり、析出した銅の結
晶配向性や物性を著しく劣化する。従って、プリント回
路板のスルホールの接続信頼性やはんだの濡れ性、接続
信頼性を低下してしまい、全く実用性が失われる。
M) After forming the resist of the present invention on a printed circuit board as a product, it is essential that no harmful components are eluted or extracted from the resist into the plating solution in the step of chemical copper plating. If such plating elution resistance is unresolved, the components eluted or extracted from the resist adversely affect the deposition reaction of copper plating, and as a result, the plating reaction is stopped or delayed, or the deposited copper is Crystal orientation and physical properties are significantly degraded. Therefore, the connection reliability of the through hole of the printed circuit board, the wettability of the solder, and the connection reliability are reduced, and the practicality is lost at all.

【0041】有害な成分が銅めっきの析出反応に悪影響
をおよぼす機構は、めっき反応が還元剤の銅表面におけ
る触媒反応を含んでいるため、著しく複雑であり、経験
的にレジストの組成を選択して、耐めっき溶出性を確保
する必要がある。
The mechanism by which harmful components adversely affect the deposition reaction of copper plating is extremely complicated because the plating reaction involves a catalytic reaction of the reducing agent on the copper surface. Therefore, it is necessary to ensure plating elution resistance.

【0042】耐めっき溶出性の課題は、パートリアディ
ティブ法でプリント回路板を製造する際、最も留意すべ
き点の一つで、この問題が解決されないと、製造したプ
リント回路板が全く実用にならなくなるのみならず、化
学銅めっき液まで汚染してしまい、大量のめっき液を廃
棄する必要が生じ、その損失は著しい。
The problem of plating elution resistance is one of the most important points to consider when manufacturing printed circuit boards by the part-reactive method. Unless this problem is solved, the manufactured printed circuit boards will not be practically used. Not only that, it also contaminates the chemical copper plating solution, necessitating the disposal of a large amount of plating solution, and the loss is remarkable.

【0043】さらに、耐めっき溶出性と前記した耐アル
カリ性とは厳密に区別すべきである。すなわち、耐アル
カリ性が不足すると、レジスト自体がアルカリに溶解し
てしまうのに対し、耐めっき溶出性が不足すると、レジ
スト中の特定成分のみがめっき液に溶出する。
Furthermore, the plating elution resistance and the alkali resistance described above should be strictly distinguished. That is, if the alkali resistance is insufficient, the resist itself dissolves in the alkali, whereas if the plating elution resistance is insufficient, only specific components in the resist elute into the plating solution.

【0044】本発明の目的は、上記した a)から m)
までの課題を全て満足する光硬化性レジスト組成物を用
いた高密度プリント回路板を提供することにある。
The object of the present invention is to provide the above-mentioned a) to m)
To provide a high-density printed circuit board using a photocurable resist composition that satisfies all of the above problems.

【0045】本発明の他の目的は、上記した a)から
m)までの課題を全て満足する光硬化性レジスト組成物
を用いたプリント回路板の製造方法を提供することであ
る。
Another object of the present invention is to provide the above a)
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a printed circuit board using a photocurable resist composition that satisfies all of the problems up to m).

【0046】[0046]

【課題を解決するための手段】(手段−1)上記課題−
1項の第1の目的は、 (1)導体層が内周面に配設されたスルーホールと基板
表面に回路パターンが配設されて成るプリント配線板に
おいて、前記スルーホール内の導体層が耐銅エッチング
液性を有する金属めっき下地層と、その上に前記回路パ
ターンの少なくともランド部に至るまで一体的に被覆さ
れた銅めっきとの二重層から成る高密度プリント配線板
により、達成される。
(Means for Solving the Problems) (Means-1) The above problems-
The first object of the present invention is to provide a printed wiring board comprising: a through-hole having a conductor layer disposed on an inner peripheral surface thereof and a circuit pattern disposed on a substrate surface; This is achieved by a high-density printed wiring board comprising a double layer of a metal plating base layer having a resistance to a copper etchant and a copper plating integrally coated on at least a land portion of the circuit pattern. .

【0047】上記耐銅エッチング液性を有する金属めっ
き下地層の材質は、製造工程により、つまり基板上の銅
箔をエッチングして回路パターンを形成する際に使用す
るエッチング液の種類により決定される。通常、アルカ
リ性のエッチング液が使われるが、このような場合には
アルカリに耐性のある例えばニッケルめっきが実用的で
好ましい。また、酸性のエッチング液の場合には、酸に
耐性のある例えば錫−鉛系のはんだめっきが好ましく、
金めっきのように酸性溶液にもアルカリ性溶液にも耐性
がある場合には、どちらの場合にも使用可能である。
The material of the metal plating underlayer having the copper etchant resistance is determined by the manufacturing process, that is, by the type of etchant used when etching the copper foil on the substrate to form a circuit pattern. . Usually, an alkaline etching solution is used. In such a case, for example, nickel plating which is resistant to alkali is practical and preferable. Further, in the case of an acidic etching solution, for example, tin-lead-based solder plating having acid resistance is preferable,
If it is resistant to both acidic and alkaline solutions, such as gold plating, it can be used in either case.

【0048】また、この下地層導体の実用的な厚みは少
なくとも0.1μm以上が好ましく、より好ましくは0.
5〜2μm程度ある。
The practical thickness of the underlayer conductor is preferably at least 0.1 μm, more preferably 0.1 μm.
It is about 5 to 2 μm.

【0049】また、例えば20μm以下、実用的には1
〜15μm程度のごく薄い銅めっきであれば、上記耐銅
エッチング液性を有する金属めっきの下地として存在し
ても良い。さらにまた、上記スルーホール内とランド部
とを除く回路基板上にソルダーレジストが被覆されるこ
とが望ましい。このソルダーレジストはスルーホール内
から少なくともランド部に至る導体上に銅めっきを形成
するときのめっきレジストマスクとして、また、表面回
路パターンを被覆することから絶縁保護膜としての役割
を果たしている。
Also, for example, 20 μm or less, practically 1 μm
If it is a very thin copper plating of about 15 μm, it may be present as a base of the metal plating having the copper etching solution resistance. Further, it is desirable that a solder resist is coated on the circuit board except for the inside of the through hole and the land. This solder resist serves as a plating resist mask when forming copper plating on a conductor from at least the land portion to the inside of the through hole, and also serves as an insulating protective film because it covers the surface circuit pattern.

【0050】そして、上記第2の目的は、 (2)銅張り積層基板にスルーホールを形成する工程
と、前記スルーホール内に導体層を形成する工程と、前
記基板上にスルーホール開口部周縁に形成されるランド
を含み回路パターンを形成する工程とを有して成るプリ
ント配線基板の製造方法において、前記スルーホール内
に導体層を形成する工程の第一工程を、スルーホール内
を含む基板全表面に耐銅エッチング液性を有する金属め
っきを形成した後、前記基板表面に形成された耐銅エッ
チング液性を有する金属めっきを機械的研磨により除去
し、スルーホール内に限り耐銅エッチング液性を有する
金属めっきを形成する工程とし、前記ランドを含み回路
パターンを形成する工程を、電着型UVレジストから成
る感光性レジストを全面に塗膜し所定の回路パターンの
描かれたマスクを通して露光、現象処理してエッチング
レジストマスクパターンを形成し、このレジストマスク
パターンを用いて基板上の銅箔を選択エッチングし、レ
ジストマスクパターンを剥離、除去してランドを含む回
路パターンを形成する工程とし前記スルーホール内に
導体層を形成する工程の第二工程を前記スルーホール内
に形成された前記耐銅エッチング液性を有する金属めっ
きから少なくとも開口部のランドに至るまで銅めっき被
覆し、スルーホール内に前記耐銅エッチング液性を有す
る金属めっきと、その上に被覆された銅めっきとの二重
層からなる導体層を形成する工程として成ることを特徴
とするプリント配線基板の製造方法により、達成され
る。
The second object is as follows: (2) a step of forming a through-hole in a copper-clad laminate substrate, a step of forming a conductor layer in the through-hole, and a step of forming a through-hole opening on the substrate. Forming a circuit pattern including a land formed in the through-hole, wherein the first step of forming a conductor layer in the through-hole includes the step of forming a circuit pattern in the through-hole. After forming a metal plating having a copper etching resistant property on the entire surface, the metal plating having a copper etching resistant property formed on the substrate surface is removed by mechanical polishing, and the copper etching resistant solution is provided only in the through holes. Forming a metal plating having a characteristic , and a circuit including the land.
In the step of forming a pattern, a photosensitive resist made of an electrodeposition type UV resist is coated on the entire surface, exposed through a mask on which a predetermined circuit pattern is drawn, and processed to form an etching resist mask pattern. Selectively etching the copper foil on the substrate using the pattern, peeling and removing the resist mask pattern to form a circuit pattern including lands, and in the through hole
The second step of the step of forming a conductor layer is covered with copper plating from the metal plating having the copper etchant resistance formed in the through hole to at least the land of the opening, and the copper resistant layer is formed in the through hole. This is achieved by a method for manufacturing a printed wiring board, which comprises a step of forming a conductor layer composed of a double layer of metal plating having etchant properties and copper plating coated thereon.

【0051】そして、好ましくは、 (3)銅張り積層基板にスルーホールを形成する工程
と、前記スルーホール内に導体層を形成する工程と、前
記基板上にスルーホール開口部周縁に形成されるランド
を含み回路パターンを形成する工程とを有して成るプリ
ント配線基板の製造方法において、前記スルーホール内
に導体層を形成する工程の第一工程を、スルーホール内
を含む基板全表面に耐銅エッチング液に耐性を有する下
地層としてニッケルめっきを形成した後、前記基板表面
に形成されたニッケルめっきを機械研磨により除去し、
スルーホール内に限りニッケルめっきを形成する工程と
し、前記ランドを含み回路パターンを形成する工程を、
電着型UVレジストから成る感光性レジストを全面に塗
膜し所定の回路パターンの描かれたマスクを通して露
光、現象処理してエッチングレジストマスクパターンを
形成し、このレジストマスクパターンを用いて基板上の
銅箔を選択エッチングし、レジストマスクパターンを剥
離、除去してランドを含む回路パターンを形成する工程
とし前記スルーホール内に導体層を形成する工程の第
二工程を前記スルーホール内に形成された前記ニッケル
めっきから少なくとも開口部のランドに至るまで銅めっ
き被覆し、スルーホール内にニッケルめっきと、その上
に被覆された銅めっきとの二重層からなる導体層を形成
する工程として成ることを特徴とするプリント配線基板
の製造方法により、達成される。
Preferably, (3) a step of forming a through-hole in the copper-clad laminate substrate, a step of forming a conductor layer in the through-hole, and a step of forming a through-hole around the through-hole on the substrate And a step of forming a circuit pattern including lands, wherein the first step of forming a conductor layer in the through hole is performed on the entire surface of the substrate including the inside of the through hole. After forming nickel plating as a base layer having resistance to a copper etching solution, the nickel plating formed on the substrate surface is removed by mechanical polishing,
The step of forming nickel plating only in the through hole, the step of forming a circuit pattern including the land ,
A photosensitive resist composed of an electrodeposition type UV resist is coated on the entire surface, exposed through a mask on which a predetermined circuit pattern is drawn, subjected to a phenomenon treatment to form an etching resist mask pattern, and using this resist mask pattern on a substrate. Step of forming a circuit pattern including lands by selectively etching a copper foil and removing and removing a resist mask pattern
And forming a conductor layer in the through hole.
The two steps consist of a double layer of nickel plating and nickel plating in the through hole, and copper plating coated thereon, from the nickel plating formed in the through hole to at least the land of the opening. This is achieved by a method for manufacturing a printed wiring board, which is characterized by comprising a step of forming a conductor layer.

【0052】(4)上記(3)の耐銅エッチング液性を有
する金属めっき下地層として、例えばはんだめっきの如
く酸性エッチング液に耐性を有する下地導体層を形成す
る工程とし、基板上にスルーホール開口部周縁に形成さ
れるランドを含み銅張り積層板の銅箔を選択エッチング
するエッチング液として酸性液を使用して回路パターン
を形成する工程とした高密度プリント基板の製造方法に
より、達成される。
(4) A step of forming a base conductor layer having resistance to an acidic etching solution such as solder plating as a metal plating base layer having a copper etching solution resistance of the above (3), and a through hole is formed on the substrate. This is achieved by a method for manufacturing a high-density printed circuit board in which a circuit pattern is formed using an acidic solution as an etchant for selectively etching a copper foil of a copper-clad laminate including lands formed at the periphery of an opening. .

【0053】(5)上記(3)の耐銅エッチング液性を有
する金属めっき下地層として、例えば金めっきの如く酸
性及びアルカリ性エッチング液に耐性を有する下地導体
層を形成する工程とし、基板上にスルーホール開口部周
縁に形成されるランドを含み銅張り積層板の銅箔を選択
エッチングするエッチング液として酸性もしくはアルカ
リ性エッチング液を使用して回路パターンを形成する工
程とした高密度プリント基板の製造方法により、達成さ
れる。
(5) The step (3) of forming a base conductor layer having resistance to an acidic and alkaline etching solution such as gold plating as a metal plating base layer having resistance to a copper etching solution as described in (3) above. A method for manufacturing a high-density printed circuit board including a step of forming a circuit pattern using an acidic or alkaline etchant as an etchant for selectively etching a copper foil of a copper-clad laminate including lands formed at the periphery of a through-hole opening portion Is achieved by

【0054】(6)上記スルーホール内から少なくとも
ランド部に至るまで銅めっきを一体的に形成するに際
し、銅めっきの前工程として前記スルーホール内とラン
ド部とを除く回路基板上にソルダーレジストを被覆する
工程を付加して成る上記(2)乃至(5)何れか記載の高密
度プリント基板の製造方法により、達成される。
(6) When copper plating is integrally formed from the inside of the through hole to at least the land, a solder resist is applied on the circuit board excluding the inside of the through hole and the land as a pre-process of copper plating. This is achieved by the method for manufacturing a high-density printed circuit board according to any one of the above (2) to (5), which further comprises a step of coating.

【0055】(7)上記スルーホール内に導体層を形成
する工程のうち、耐銅エッチング液性を有する金属めっ
き下地層を形成する工程を、スルーホール内を含む基板
全表面に実施した後、前記基板表面に形成された分の耐
銅エッチング液性を有する金属めっきを機械的研磨によ
り除去し、スルーホール内に限り残存、形成する工程と
し、銅めっきを施す工程を、感光性レジストを全面に塗
膜し所定の回路パターンの描かれたマスクを通して露
光、現象処理してエッチングレジストマスクパターンを
形成し、このレジストマスクパターンを用いて基板上の
銅箔を選択エッチングし、レジストマスクパターンを剥
離、除去してランドを含む回路パターンを形成した後、
前記スルーホール内に形成された耐銅エッチング液性を
有する金属めっき下地層から少なくとも開口部のランド
に至るまで銅めっき被覆する工程として成る上記(2)記
載のプリント基板の製造方法により、また、 (8)上記スルーホール内に導体層を形成する工程のう
ち、ニッケルめっきの如き耐銅エッチング液性を有する
金属めっき導体層を施す工程を、スルーホール内を含む
基板全表面に実施した後、前記基板表面に形成された分
の導体層を機械的研磨により除去し、スルーホール内に
限り形成する工程とし、銅めっきを施す工程を、感光性
レジストを全面に塗膜し所定の回路パターンの描かれた
マスクを通して露光、現象処理してエッチングレジスト
マスクパターンを形成し、このレジストマスクパターン
を用いて基板上の銅箔を選択エッチングし、レジストマ
スクパターンを剥離、除去してランドを含む回路パター
ンを形成した後、前記スルーホール内に形成されたニッ
ケルめっきの如き導体層から少なくとも開口部のランド
に至るまで銅めっき被覆する工程として成る上記(2)記
載のプリント基板の製造方法により達成される。
(7) In the step of forming a conductor layer in the through hole, the step of forming a metal plating underlayer having copper etchant resistance is performed on the entire surface of the substrate including the inside of the through hole. The metal plating having a copper etching solution resistance corresponding to the amount formed on the substrate surface is removed by mechanical polishing, and the metal plating is left only in the through-hole, and the step of forming the copper plating is performed. Exposure through a mask on which a predetermined circuit pattern is drawn, and processing by phenomena to form an etching resist mask pattern. Using this resist mask pattern, selectively etch the copper foil on the substrate and peel off the resist mask pattern. After removing to form a circuit pattern including lands,
According to the method of manufacturing a printed circuit board according to the above (2), which is a step of performing copper plating coating from a metal plating base layer having a copper etchant resistance formed in the through hole to at least a land of the opening, (8) In the step of forming a conductor layer in the through-hole, after performing a step of applying a metal-plated conductor layer having copper etchant resistance such as nickel plating to the entire surface of the substrate including the inside of the through-hole, The conductor layer formed on the substrate surface is removed by mechanical polishing, and the step of forming only the inside of the through hole is performed.The step of applying copper plating is performed by coating a photosensitive resist on the entire surface and forming a predetermined circuit pattern. Exposure and phenomena processing are performed through the drawn mask to form an etching resist mask pattern, and the copper foil on the substrate is selectively etched using this resist mask pattern. And forming a circuit pattern including lands by stripping and removing the resist mask pattern, and then performing copper plating covering from the conductor layer such as nickel plating formed in the through hole to at least the land of the opening. This is achieved by the method for manufacturing a printed circuit board according to the above (2).

【0056】(9)上記耐銅エッチング液性を有する金
属めっきを少なくとも0.1μmの厚さとなるまで析出
形成する工程と成した上記(7)もしくは(8)記載のプリ
ント基板の製造方法により、達成される。
(9) The method for producing a printed circuit board according to the above (7) or (8), wherein the step of depositing and forming the metal plating having the copper etching solution resistance to a thickness of at least 0.1 μm is performed. Achieved.

【0057】(10)上記感光性レジストとしては電着
型UVレジストが好ましいが、用途によってはフィルム
状レジストとも使用できる。
(10) The photosensitive resist is preferably an electrodeposition type UV resist, but may be used as a film resist depending on the application.

【0058】(11)上記耐銅エッチング液性を有する
金属めっき下地層を形成する工程の前工程として、20
μm以下、好ましくは1〜15μmの化学銅めっき、も
しくは電気銅めっきを析出させる工程を付加することも
できる。
(11) As a step prior to the step of forming the metal plating base layer having the resistance to the copper etching solution, 20
It is also possible to add a step of depositing a chemical copper plating or a copper plating having a thickness of 1 μm or less, preferably 1 to 15 μm.

【0059】(手段−2)上記課題−2項の問題を解決
するためには電食しにくく、かつソルダーレジストとの
密着性の良い金属(例えばニッケル、パラジウム等)を
銅パターン上に被覆することが望ましい。
(Means 2) In order to solve the above-mentioned problem-2, a metal (for example, nickel, palladium or the like) which is hardly electrolytically eroded and has good adhesion to a solder resist is coated on a copper pattern. Is desirable.

【0060】(手段−3)上記課題−3項の目的を達成
するために、本発明は耐めっき性を有する感光性ソルダ
レジスト組成物として、室温で固形状の多官能不飽和化
合物と、室温で液体状の多官能不飽和化合物と、光重合
開始剤と、エポキシ樹脂と、エポキシ樹脂の硬化剤と、
メラミンもしくはその誘導体と、消泡剤と、顔料と、有
機溶剤とを含んでなることを特徴とする光硬化性レジス
ト組成物を用いる。
(Means-3) In order to achieve the object of the above-mentioned task-3, the present invention provides a photosensitive solder resist composition having plating resistance, comprising: a polyfunctional unsaturated compound which is solid at room temperature; A liquid polyfunctional unsaturated compound, a photopolymerization initiator, an epoxy resin, and a curing agent for the epoxy resin,
A photocurable resist composition comprising melamine or a derivative thereof, an antifoaming agent, a pigment, and an organic solvent is used.

【0061】本発明で用いる室温で固形状の多官能不飽
和化合物とは、例えば、ジアリルフタレート樹脂のよう
に、分子内に多数の不飽和基を有する化合物で、かかる
固形樹脂に適切なものを用いることで、前記した多くの
課題を同時に満足するレジストを得ることができる。
The polyfunctional unsaturated compound which is solid at room temperature used in the present invention is, for example, a compound having a large number of unsaturated groups in a molecule such as a diallyl phthalate resin. By using such a resist, it is possible to obtain a resist that satisfies the above-mentioned many problems at the same time.

【0062】具体的に、ジアリルフタレート樹脂とは、
オルト、イソまたはテレフタル酸のジアリルエステルの
プレポリマーを含んでなるものである。かかるプレポリ
マーはβ−ポリマーとも称され、例えば、吉見直喜著
「ジアリルフタレート樹脂」日刊工業社刊(昭和44
年)に、その詳しい製法、性質が記載されている。ま
た、市販品をダイソーK.K.より入手することも可能であ
る。本発明で用いるのに好ましいプレポリマーは、分子
量として約3000〜30000であり、3000以下
ではネガマスクとの密着露光性が劣り、また、3000
0以上では現像性に支障が生じる。また、プレポリマー
を用いる場合にも、プレポリマーの合成にともなって残
留もしくは生成するジアリルフタレートモノマーもしく
は三次元網状構造のγ-ポリマーの少量が含まれること
を妨げるものではない。
Specifically, the diallyl phthalate resin is
It comprises a prepolymer of diallyl ester of ortho, iso or terephthalic acid. Such a prepolymer is also referred to as a β-polymer. For example, Naoki Yoshimi, “Diallyl phthalate resin”, published by Nikkan Kogyosha (Showa 44)
Year) describes its detailed manufacturing method and properties. Commercial products can also be obtained from Daiso KK. A preferred prepolymer for use in the present invention has a molecular weight of about 3,000 to 30,000, and a molecular weight of 3,000 or less results in poor adhesion exposure to a negative mask, and a molecular weight of 3,000 or less.
If the value is 0 or more, the developing property is impaired. Also, when a prepolymer is used, it does not prevent a small amount of the diallyl phthalate monomer or the γ-polymer having a three-dimensional network structure remaining or produced in the synthesis of the prepolymer.

【0063】さらに、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物は、少なくとも2個以上のエチ
レン結合を分子内に有する室温で液体状の多官能不飽和
化合物を含んでなるものである。かかる化合物は、例え
ば、不飽和カルボン酸と2価以上のポリヒドロキシ化合
物とのエステル化反応によって得られる。不飽和カルボ
ン酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン
酸、クロトン酸、マレイン酸等であり、一方、2価以上
ののポリヒドロキシ化合物としては、エチレングリコー
ル、ジエチレングリコール、トリメチロールプロパン、
ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールやその
誘導体を挙げることができる。
Further, the photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention comprises a polyfunctional unsaturated compound which is liquid at room temperature and has at least two or more ethylene bonds in a molecule. . Such a compound is obtained, for example, by an esterification reaction between an unsaturated carboxylic acid and a dihydroxy or higher polyhydroxy compound. As unsaturated carboxylic acids, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, etc., on the other hand, as dihydroxy or higher polyhydroxy compounds, ethylene glycol, diethylene glycol, trimethylolpropane,
Pentaerythritol, dipentaerythritol and derivatives thereof can be mentioned.

【0064】かかる、不飽和カルボン酸とポリヒドロキ
シ化合物とのエステル化反応によって得られた化合物と
しては、ジエチレングリコールジアクリレート、ポリエ
チレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコ
ールジアクリレート、1.5ペンタンジオールジアクリレ
ート、1.6ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチ
ロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリ
レート、1.3ブタンジオールジメタクリレート等に代表
されるジアクリレート、ジメタクリレート、トリアクリ
レート化合物やジペンタエリスリトールのトリ、テト
ラ、ペンタ、ヘキサアクリレートもしくはメタクリレー
ト、ソルビトールのトリ、テトラ、ペンタ、ヘキサアク
リレートもしくはメタクリレートなどに代表される多官
能アクリレート、メタクリレート化合物や、オリゴエス
テルアクリレート、オリゴエステルメタクリレート等、
を挙げることができる。
Compounds obtained by the esterification reaction between the unsaturated carboxylic acid and the polyhydroxy compound include diethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, 1.5 pentanediol diacrylate, and 1.6 hexanediol. Diacrylate, dimethacrylate, triacrylate compounds represented by diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, 1.3 butanediol dimethacrylate and the like, and tri, tetra, penta, hexaacrylate of dipentaerythritol Or methacrylate, sorbitol tri, tetra, penta, hexaacrylate or methacrylate Polyfunctional acrylates typified over preparative, methacrylate compounds and, oligoester acrylates, oligoester methacrylate,
Can be mentioned.

【0065】また、2価以上のエポキシ樹脂と不飽和カ
ルボン酸付加反応によって生成される化合物を、室温で
液体状の多官能不飽和化合物として用いることもでき
る。かかる化合物の例としては、ビスフェノールA型や
ノボラック型のエポキシ樹脂とアクリル酸もしくはメタ
クリル酸との付加反応により生成された室温で液体状の
多官能不飽和化合物を挙げることができる。
A compound formed by addition reaction of a divalent or higher valent epoxy resin with an unsaturated carboxylic acid can be used as a polyfunctional unsaturated compound which is liquid at room temperature. Examples of such compounds include polyfunctional unsaturated compounds which are liquid at room temperature and are formed by an addition reaction of bisphenol A type or novolak type epoxy resin with acrylic acid or methacrylic acid.

【0066】多官能不飽和化合物の分子内に含む官能基
の数は多い程、好ましく、少なくとも2以上、好ましく
は3以上、さらに好ましくは6以上である。
The number of functional groups contained in the molecule of the polyfunctional unsaturated compound is preferably as large as possible, more preferably at least 2 or more, preferably 3 or more, more preferably 6 or more.

【0067】以上の例は、単官能不飽和化合物の添加を
制限するものではないし、必要により多官能不飽和化合
物との混合物も使用できる。
The above examples do not limit the addition of a monofunctional unsaturated compound, and a mixture with a polyfunctional unsaturated compound can be used if necessary.

【0068】さらに、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物は、光重合開始剤を含んでなる
ものである。光重合開始剤例として、アセトフェノン、
ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、ベンジル、ベンゾイ
ン、ベンゾインアルキルエーテル、ベンゾインアルキル
ケタール、チオキサントン、チオキサントン、アントラ
キノン、アントラキノンやその誘導体もしくは類似物、
1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンやその誘導
体もしくは類似物、2-メチル-1-(4-(メチルチオ)フェ
ニル)-2-モルフォリノ-プロペン-1に代表されるα-ア
ミノケトン化合物等が挙げられる。必要により、光重合
開始剤の混合物を使用できる。また必要により、光重合
開始剤の作用を増感するアミン化合物等を使用すること
も可能である。
Furthermore, the photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention comprises a photopolymerization initiator. Examples of photopolymerization initiators, acetophenone,
Benzophenone, Michler's ketone, benzyl, benzoin, benzoin alkyl ether, benzoin alkyl ketal, thioxanthone, thioxanthone, anthraquinone, anthraquinone and derivatives or analogs thereof,
Examples thereof include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, derivatives or analogs thereof, and α-amino ketone compounds represented by 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-propene-1. If necessary, a mixture of photopolymerization initiators can be used. If necessary, an amine compound or the like which sensitizes the action of the photopolymerization initiator can be used.

【0069】さらに、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物は、エポキシ樹脂を含んでなる
ものである。エポキシ樹脂としては、平均して1分子あ
たり2個以上のエポキシ基を有するもので、例えばビス
フェノールA、ハロゲン化ビスフェノールA、カテコー
ル、レゾルシノール等のような多価フェノール又はグリ
セリンのような多価アルコールとエピクロルヒドリンと
を塩基性触媒の存在下で反応されて得られるポリグリシ
ジルエーテルあるいはポリグリシジルエステル、ノボラ
ック型フェノール樹脂とエピクロルヒドリンとを縮合せ
しめて得られるエポキシノボラック、過酸化法でエポキ
シ化したエポキシ化ポリオレフィン、エポキシ化ポリブ
タジエン、ジシクロペンタジエン化オキサイド、あるい
はエポキシ化植物油等が挙げられる。
Further, the photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention comprises an epoxy resin. As the epoxy resin, those having an average of two or more epoxy groups per molecule, for example, a polyhydric phenol such as bisphenol A, halogenated bisphenol A, catechol, resorcinol or a polyhydric alcohol such as glycerin. Polyglycidyl ether or polyglycidyl ester obtained by reacting epichlorohydrin with a basic catalyst, an epoxy novolak obtained by condensing epichlorohydrin with a novolak-type phenol resin, an epoxidized polyolefin epoxidized by a peroxide method, Epoxidized polybutadiene, dicyclopentadiene oxide, or epoxidized vegetable oil may, for example, be mentioned.

【0070】さらに、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物は、エポキシ樹脂の硬化剤を含
んでなるものである。エポキシ樹脂の硬化剤としては、
アミン系の化合物やイミダゾール類が好適である。アミ
ン系の化合物には、たとえば、脂肪族では、エチレンジ
アミン、ヘキサメチレンジアミン、トリエチレンテトラ
ミンなどの代表的なものがあり、芳香族では、ジフェニ
ルアミン、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、フェニレ
ンジアミンなどの代表的なものがあり、またイミダゾー
ル類では、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチル
イミダゾール、2-フェニルイミダゾールなどのアルキル
イミダゾールや、イミダゾールの誘導体としては、プリ
ン、2,6-ジアミノプリン、2-アミノベンズイミダゾール
などの代表的なものがあり、また、2,4-ジアミノ-6-ビ
ニル-s-トリアジンとアルキルイミダゾールとの付加反
応で得られる2,4-ジアミノ-6{2'-メチルイミダゾール-
(1')}エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6{2'-エチル
-4'-メチルイミダゾール-(1')}エチル-s-トリアジン、
2,4-ジアミノ-6{2'-ウンデシルイミダゾール-(1')}エチ
ル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6{2'-フェニルイミダ
ゾール-(1')}エチル-s-トリアジンもしくは2,4-ジアミ
ノ-6{2'-メチルイミダゾール-(1')}エチル-s-トリアジ
ン・イソシアヌール酸付加物等が挙げられる。また、他
のアミン系硬化剤としては、三ふっ化ホウ素モノエチル
アミン等が挙げられる。必要により、アミン系硬化剤の
混合物を使用できる。特にレジストの保存安定性および
レジスト乾燥時にゲル化しないという点から2-ビニル-
4,6-ジアミノ-s-トリアジンとアルキルイミダゾールと
の付加反応で得られる化合物が好ましい。
Furthermore, the photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention comprises a curing agent for epoxy resin. As a curing agent for epoxy resin,
Amine compounds and imidazoles are preferred. Examples of amine-based compounds include, for example, aliphatic compounds such as ethylenediamine, hexamethylenediamine, and triethylenetetramine, and aromatic compounds such as diphenylamine, 4,4′-diaminodiphenylmethane, and phenylenediamine. There are also imidazoles, alkyl imidazoles such as 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole and 2-phenylimidazole, and derivatives of imidazole include purine, 2,6-diaminopurine, Representative examples include 2-aminobenzimidazole and the like, and 2,4-diamino-6 {2′- obtained by the addition reaction of 2,4-diamino-6-vinyl-s-triazine with alkylimidazole. Methyl imidazole
(1 ′)} Ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 {2′-ethyl
-4'-methylimidazole- (1 ')} ethyl-s-triazine,
2,4-diamino-6 {2'-undecylimidazole- (1 ')} ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 {2'-phenylimidazole- (1')} ethyl-s-triazine Alternatively, 2,4-diamino-6 {2′-methylimidazole- (1 ′)} ethyl-s-triazine / isocyanuric acid adduct and the like can be mentioned. Examples of other amine-based curing agents include boron trifluoride monoethylamine. If necessary, a mixture of amine-based curing agents can be used. In particular, 2-vinyl-
Compounds obtained by the addition reaction of 4,6-diamino-s-triazine with alkylimidazole are preferred.

【0071】さらに、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物は、メラミンもしくはその誘導
体を含んでなるものである。メラミンもしくはその誘導
体としては、メラミン、2,4-ジアミノ-6-メチル-s-トリ
アジン、2,4-ジアミノ-6-フェニル-s-トリアジンなどの
代表的なものがあり、また、2,4-ジアミノ-6-ビニル-s-
トリアジンとアルキルイミダゾールとの付加反応で得ら
れる2,4-ジアミノ-6{2'-メチルイミダゾール-(1')}エチ
ル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6{2'-エチル-4'-メチ
ルイミダゾール-(1')}エチル-s-トリアジン、2,4-ジア
ミノ-6{2'-ウンデシルイミダゾール-(1')}エチル-s-ト
リアジン、2,4-ジアミノ-6{2'-フェニルイミダゾール-
(1')}エチル-s-トリアジンもしくは2,4-ジアミノ-6{2'-
メチルイミダゾール-(1')}エチル-s-トリアジン・イソシ
アヌール酸付加物等もメラミンの誘導体として挙げられ
る。
Further, the photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention comprises melamine or a derivative thereof. Representative examples of melamine or a derivative thereof include melamine, 2,4-diamino-6-methyl-s-triazine, and 2,4-diamino-6-phenyl-s-triazine, and 2,4 -Diamino-6-vinyl-s-
2,4-diamino-6 {2'-methylimidazole- (1 ')} ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 {2'-ethyl-4 obtained by addition reaction of triazine and alkylimidazole '-Methylimidazole- (1')} ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 {2'-undecylimidazole- (1 ')} ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 { 2'-phenylimidazole-
(1 ')} Ethyl-s-triazine or 2,4-diamino-6 {2'-
Methylimidazole- (1 ′)} ethyl-s-triazine / isocyanuric acid adducts and the like are also mentioned as melamine derivatives.

【0072】かかるメラミンの誘導体として好ましいも
のは、分子中にジアミノトリアジン骨格を含むものであ
り、さらに水に対する溶解度がおよそ1wt%以下のも
のが好ましく、さらに好ましくはおよそ0.1wt%以
下のものであり、さらに好ましくはおよそ0.01wt
%以下のものである。
Preferred as such a melamine derivative is one having a diaminotriazine skeleton in the molecule, more preferably having a solubility in water of about 1 wt% or less, more preferably about 0.1 wt% or less. Yes, more preferably about 0.01 wt.
% Or less.

【0073】さらに、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物は、消泡剤を含んでなるもので
ある。かかる消泡剤としては、シリコーンオイルに代表
されるシロキサン結合を含む有機珪素化合物が主に用い
られる。
Furthermore, the photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention comprises an antifoaming agent. As such an antifoaming agent, an organic silicon compound containing a siloxane bond typified by silicone oil is mainly used.

【0074】さらに、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物は、顔料を含んでなるものであ
る。かかる顔料としては、耐熱性の優れたフタロシアニ
ン骨格をもつ顔料である、フタロシアニン、フタロシア
ニングリーン、フタロシアニンブルーなどが主に用いら
れる。
Further, the photosensitive solder resist composition having plating resistance of the present invention contains a pigment. As such pigments, phthalocyanine, phthalocyanine green, phthalocyanine blue, and the like, which are pigments having a phthalocyanine skeleton excellent in heat resistance, are mainly used.

【0075】さらに、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物は、有機溶剤を含んでなるもの
である。かかる有機溶剤としては、メチル、エチル、ブ
チルセルソルブやそのアセテートなどや、メチル、エチ
ル、ブチルカルビトールなどや、テルピネオールなどの
高沸点溶剤などが主に用いられる。
Furthermore, the photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention comprises an organic solvent. As such organic solvents, methyl, ethyl, butyl cellosolve, acetates thereof, and the like, methyl, ethyl, butyl carbitol, and high-boiling solvents such as terpineol are mainly used.

【0076】さらに、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物は、必要に応じて他の添加剤を
加えて、さらに性能を向上させることもできる。かかる
添加剤としては、レジストの粘度を調整するための揺変
剤や、レジストの耐熱性を調整するための充填剤や、レ
ジストの解像度を調整するための紫外線吸収剤や、レジ
ストの保存安定性を調整するための重合禁止剤などを挙
げることができる。
Further, the photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention can be further improved in performance by adding other additives as necessary. Such additives include a thixotropic agent for adjusting the viscosity of the resist, a filler for adjusting the heat resistance of the resist, an ultraviolet absorber for adjusting the resolution of the resist, and the storage stability of the resist. And the like.

【0077】かかる揺変剤の一例は、石英超微粉末であ
り、かかる充填剤の一例は、石英の微粉末等であり、か
かる紫外線吸収剤の一例は、4-t-ブチル-4'-メトキシ-
ジベンゾイルメタン、2-エチルヘキシル-p-メトキシシ
ンナメート、2-(2'-ヒドロキシ-3',5'-ジ-tert-ブチル
フェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2'-ヒドロキシ-3'-t
ert-ブチル-5'-メチルフェニル)-5-クロロベンゾトリア
ゾール、2-(2'-ヒドロキシ-3',5'-ジ-tert-ブチルフェ
ニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-{2'-ヒドロキシ
-3-(3'',4'',5'',6''-テトラヒドロフタルイミドメチ
ル)-5'-メチルフェニル}ベンゾトリアゾール等である。
かかる重合禁止剤の一例は、ハイドロキノンもしくはそ
の誘導体などである。
One example of such a thixotropic agent is ultrafine quartz powder, one example of such a filler is fine quartz powder, and one example of such an ultraviolet absorber is 4-t-butyl-4′-. Methoxy-
Dibenzoylmethane, 2-ethylhexyl-p-methoxycinnamate, 2- (2'-hydroxy-3 ', 5'-di-tert-butylphenyl) benzotriazole, 2- (2'-hydroxy-3'-t
ert-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- (2'-hydroxy-3 ', 5'-di-tert-butylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- {2' -Hydroxy
-3- (3 ", 4", 5 ", 6" -tetrahydrophthalimidomethyl) -5'-methylphenyl} benzotriazole and the like.
An example of such a polymerization inhibitor is hydroquinone or a derivative thereof.

【0078】本発明の組成物を構成するのに好ましい配
合割合は、室温で固形状の多官能不飽和化合物を100
重量部に対して、室温で液体状の多官能不飽和化合物を
5乃至30重量部、好ましくは10乃至30重量部、さ
らに好ましくは10乃至20重量部であり、光重合開始
剤を2乃至12重量部であり、エポキシ樹脂を5乃至4
0重量部であり、エポキシ樹脂の硬化剤を0.1乃至5
重量部であり、メラミンもしくはその誘導体を1乃至2
0重量部、好ましくは2乃至15重量部、さらに好まし
くは4乃至10重量部であり、消泡剤を0.5乃至10
重量部であり、顔料を0.2乃至10重量部であり、有
機溶剤を50乃至100重量部である。必要によって
は、エポキシ樹脂の硬化剤とメラミンの誘導体を一種類
の化合物で兼用することもできる。
The preferred compounding ratio for constituting the composition of the present invention is that the polyfunctional unsaturated compound which is solid at room temperature is 100 parts by mass.
The polyfunctional unsaturated compound which is liquid at room temperature is 5 to 30 parts by weight, preferably 10 to 30 parts by weight, more preferably 10 to 20 parts by weight, and the photopolymerization initiator is 2 to 12 parts by weight. Parts by weight, 5 to 4 parts of epoxy resin
0 parts by weight, and 0.1 to 5
Parts by weight, and 1 to 2 melamine or a derivative thereof
0 parts by weight, preferably 2 to 15 parts by weight, more preferably 4 to 10 parts by weight.
Parts by weight, the pigment is 0.2 to 10 parts by weight, and the organic solvent is 50 to 100 parts by weight. If necessary, one type of compound may be used as the epoxy resin curing agent and the melamine derivative.

【0079】かかる配合割合の上、下限は、前述した本
発明の課題(a)から(m)までが、すべて同時に満足
できるように、注意深く選択された結果から選ばれたも
のである。
The upper and lower limits of the mixing ratio are selected from the results of careful selection so that the above-mentioned objects (a) to (m) of the present invention can all be satisfied simultaneously.

【0080】次に、本発明の第2の目的である、上記の
耐めっき性を有する感光性ソルダレジスト組成物を用い
て、高密度プリント回路板を製造する手段を、図21に
従って述べる。
Next, means for manufacturing a high-density printed circuit board using the above-mentioned photosensitive solder resist composition having plating resistance, which is the second object of the present invention, will be described with reference to FIG.

【0081】当該業者に周知の方法で銅張り積層板1
(図21、1))に孔2をあけた後、化学銅めっき用触
媒をスルホール内を含む基板の全面に付与する(図2
1、2))。
The copper-clad laminate 1 is obtained by a method well known to those skilled in the art.
(1 in FIG. 21), a catalyst for chemical copper plating is applied to the entire surface of the substrate including the inside of the through hole (FIG. 2).
1, 2)).

【0082】次いで、当該業者に周知の方法で所定部を
エッチングして、基板の両面に導体回路9を形成する
(図21、3))。
Next, a predetermined portion is etched by a method well known to those skilled in the art to form conductor circuits 9 on both surfaces of the substrate (FIGS. 21 and 3).

【0083】次いで、本発明の耐めっき性を有する感光
性ソルダレジスト組成物を導体回路を含む基板の片面に
塗布し、レジストが塗布された基板を乾燥し、レジスト
を固化する。かかる方法を繰返し裏面で行なうか、ある
いは、耐めっき性を有する感光性ソルダレジスト組成物
を基板の両面に同時に塗布してから乾燥することで、基
板の両面に固化したレジスト層を形成する。乾燥温度は
60乃至100℃で、乾燥時間は0.2乃至2時間が好
ましい。
Next, the photosensitive solder resist composition having plating resistance of the present invention is applied to one surface of a substrate including a conductive circuit, and the substrate coated with the resist is dried to solidify the resist. This method is repeatedly performed on the back surface, or a photosensitive resist composition having plating resistance is simultaneously applied to both surfaces of the substrate and then dried to form a solidified resist layer on both surfaces of the substrate. The drying temperature is preferably 60 to 100 ° C., and the drying time is preferably 0.2 to 2 hours.

【0084】次いで、基板両面の固化したレジスト層上
にネガマスクを密着させ、両面から同時に0.1乃至1
J/cm2のUV光を照射して露光する。次いで、レジ
スト面からネガマスクを剥離し、未露光部を現像により
溶解、除去する。かかる現像に適する溶剤として、1,
1,1−トリクロロエタンの如き不燃性の塩素系溶剤が
用いられ、現像時間として0.5乃至5分が選択され
る。
Next, a negative mask is brought into close contact with the solidified resist layers on both sides of the substrate, and 0.1 to 1
Exposure is performed by irradiating UV light of J / cm 2 . Next, the negative mask is removed from the resist surface, and the unexposed portions are dissolved and removed by development. Solvents suitable for such development include:
A nonflammable chlorine-based solvent such as 1,1-trichloroethane is used, and a development time of 0.5 to 5 minutes is selected.

【0085】次いで、基板を加熱して、パターンを形成
したレジスト部を硬化する。硬化条件は120乃至18
0℃、0.2乃至2時間が選択される。
Next, the substrate is heated to cure the resist portion on which the pattern has been formed. Curing conditions are 120 to 18
0 ° C., 0.2 to 2 hours are selected.

【0086】好ましくは、加熱硬化したレジストに、再
度、UV光を照射して、レジストの硬化を促進する。か
かる後露光に適した露光量は1乃至10J/cm2であ
る。
Preferably, the resist cured by heating is again irradiated with UV light to accelerate the curing of the resist. The exposure amount suitable for such post-exposure is 1 to 10 J / cm 2 .

【0087】以上の工程を経て、基板上にレジスト層6
が形成される(図21、4))。
Through the above steps, a resist layer 6 is formed on the substrate.
Are formed (FIGS. 21 and 4).

【0088】次いで、基板は化学銅めつき液に浸漬さ
れ、スルホール孔内、ランド上をはじめとする主要部分
のみに厚い化学銅めつき7が施され、高密度プリント回
路板が製造される(第21図、5))。銅めつきの厚さ
は、通常、10乃至40μmが選択される。かかる化学
銅めつき中に、回路銅箔上のレジストに全く剥離が生じ
ないことは、本発明の特筆すべき重要な利点である。
Next, the substrate is immersed in a chemical copper plating solution, and a thick chemical copper plating 7 is applied only to the main portion including the through holes and lands, thereby producing a high-density printed circuit board. FIG. 21 and 5)). The thickness of the copper plating is usually selected to be 10 to 40 μm. It is a significant and important advantage of the present invention that no such delamination of the resist on the circuit copper foil occurs during such chemical copper plating.

【0089】以上のような高密度プリント回路板の製造
において、本発明のレジストは前述した本発明の課題
(a)から(m)を、すべて同時に満足できる。このた
め従来にない高密度プリント回路板の製造が可能となっ
たのである。
In the production of a high-density printed circuit board as described above, the resist of the present invention can simultaneously satisfy all of the above-mentioned problems (a) to (m) of the present invention. For this reason, it has become possible to manufacture an unprecedented high-density printed circuit board.

【0090】[0090]

【作用】基板上の銅箔を選択エッチングして回路パター
ンを形成する際に、スルーホールは予め形成されている
ニッケルめっきの如き耐銅エッチング液性を有する金属
めっき下地層により信頼性が保持され、表面回路パター
ンは電着型レジストの使用を可能とし、高解像度での細
線パターンの形成が実現でき、小径スルーホールを有す
る高密度回路基板の形成に有効である。例えば、図7を
用いてその理由を具体的に説明するが、先に従来技術の
問題点として説明した図6と対比してみると本発明の作
用上の特徴が一層容易に理解できよう。
When the copper foil on the substrate is selectively etched to form a circuit pattern, the reliability of the through-hole is maintained by a metal plating base layer having a copper etching solution resistance such as nickel plating formed in advance. The surface circuit pattern allows the use of an electrodeposition type resist, enables formation of a fine line pattern with high resolution, and is effective for forming a high-density circuit board having small-diameter through holes. For example, the reason will be described in detail with reference to FIG. 7, but in comparison with FIG. 6 described above as a problem of the prior art, the operational characteristics of the present invention can be more easily understood.

【0091】この図7はプリント基板の工程図を示した
ものであるが、スルーホール内の問題解決の説明をする
ために作成した模式図であることから、主要な工程のみ
を示し、前後の工程をかなり省略している。
FIG. 7 shows a process diagram of the printed circuit board. Since FIG. 7 is a schematic diagram prepared for explaining the problem in the through hole, only the main processes are shown. The steps are considerably omitted.

【0092】先ず、工程(a)では、銅張り積層板のスル
ーホール2内に予めニッケルめっき4が被覆されてお
り、工程(b)では、電着レジスト5をスルーホール2内
を含む基板全面に付着させ、工程(c)では、回路パター
ンの描かれたマスク(図は省略)を用いて露光、現像処理
を経てレジストマスクパターン8を形成する。このと
き、小径スルーホール2内に露光斑によるレジスト欠損
部8aが発生したとしても、次ぎの工程でわかるように
本発明ではこのレジスト欠損部8aによって何らの悪影
響をも受けることはない。すなわち、工程(d)では、工
程(c)により得られたレジストマスクパターン8を用い
て露出している基板表面の銅箔を選択エッチングし、回
路パターンを形成するが、この時、スルーホール2内に
たとえレジスト欠損部8aが存在したとしても、ニッケ
ルめっき4が銅箔のエッチング液に対して耐エッチング
性を有しているためスルーホール2内の信頼性を損なう
ことなく、高解像度細線パターンの形成を可能とする。
First, in the step (a), the nickel plating 4 is previously coated in the through hole 2 of the copper clad laminate, and in the step (b), the electrodeposition resist 5 is coated on the entire surface of the substrate including the inside of the through hole 2. In step (c), a resist mask pattern 8 is formed through exposure and development using a mask (not shown) on which a circuit pattern is drawn. At this time, even if a resist defect 8a due to exposure unevenness occurs in the small-diameter through hole 2, in the present invention, the resist defect 8a does not have any adverse effect as will be understood in the next step. That is, in the step (d), the exposed copper foil on the substrate surface is selectively etched using the resist mask pattern 8 obtained in the step (c) to form a circuit pattern. Even if there is a resist defect 8a in the inside, since the nickel plating 4 has etching resistance to the etching solution for the copper foil, the reliability in the through hole 2 is not impaired, and the high resolution fine line pattern is not lost. Can be formed.

【0093】なお、工程(d)の後には、スルーホール及
びランド部9aを除き全面にソルダーレジストを塗布す
る工程及びこのソルダーレジストのマスク作用を利用し
て、スルーホールからランド部9aに至るまで選択的に
一体的に銅めっきを形成する工程が控えているがこれら
については次ぎの実施例の項で具体的に説明する。
After the step (d), a step of applying a solder resist on the entire surface except for the through hole and the land portion 9a and a process from the through hole to the land portion 9a by utilizing the mask function of the solder resist. The step of selectively and integrally forming the copper plating is omitted, but these will be specifically described in the following Examples.

【0094】また、本発明においてスルーホール2内に
被覆したニッケルめっき4は、化学銅めっきプロセスを
用いる場合には触媒付与性に優れ、また、電解めっきす
る場合には下地導体層として作用し、更に銅めっき膜と
の密着性も良いため、穴内のふくれが出にくく、ピール
強度も向上する。
In the present invention, the nickel plating 4 covering the inside of the through-hole 2 is excellent in providing a catalyst when using a chemical copper plating process, and acts as a base conductor layer when performing electrolytic plating. Further, since the adhesiveness with the copper plating film is good, blisters in the holes are hardly generated, and the peel strength is improved.

【0095】更にまた、図7工程(a)では、銅張り積層
板のスルーホール2内に予めニッケルめっき4が被覆さ
れているが、この工程に至る過程ではスルーホール2内
を含む基板全面にニッケルめっき4が形成され、基板表
面に形成されたニッケルめっき4は研磨等の手段で取り
除かれ、スルーホール内にのみ残している。また、研磨
手段の代わりにリソグラフィと、めっき技術とを用いて
スルーホール2内にのみニッケルめっき4を形成するこ
とも可能である。何れにしても基板表面にはニッケルめ
っきを形成しないか、形成してもこれを取り除く必要が
あるが、その理由は以下の通りである。つまり、基板表
面の銅箔上にニッケルめっきの如き銅箔のエッチング液
に耐性のある導体層が形成されてしまうと、銅箔をエッ
チングして回路パターンを形成するときに、この導体層
が邪魔となり、前工程としてニッケルめっきについても
回路パターン形成のエッチング工程が必要となる。当然
のことながらこのニッケルめっきは銅箔のエッチング液
に対し耐性があることから、異なるエッチング液を使用
しなければならず、工程の増加となり好ましくない。
Further, in the step (a) of FIG. 7, the nickel plating 4 is previously coated in the through hole 2 of the copper clad laminate, but in the process leading to this step, the entire surface of the substrate including the inside of the through hole 2 is covered. The nickel plating 4 is formed, and the nickel plating 4 formed on the surface of the substrate is removed by means of polishing or the like, and is left only in the through hole. It is also possible to form the nickel plating 4 only in the through hole 2 by using lithography and plating technology instead of the polishing means. In any case, nickel plating is not formed on the substrate surface, or it is necessary to remove nickel plating even if it is formed, for the following reasons. In other words, if a conductor layer that is resistant to an etching solution of copper foil such as nickel plating is formed on the copper foil on the substrate surface, this conductor layer hinders the formation of a circuit pattern by etching the copper foil. Accordingly, an etching step for forming a circuit pattern is required for nickel plating as a previous step. As a matter of course, this nickel plating is resistant to the etching solution for the copper foil, so that a different etching solution must be used, which increases the number of steps, which is not preferable.

【0096】また、銅パターン表面にニッケルを被覆し
た場合においては、銅とニッケルの安定性を図16のP
H−電位状態図で比較すると、銅に比べニッケルの方が
不働態、不変態領域が広く、イオン化しにくいことがわ
かる。その他パラジウム、金等においても同理由によ
り、銅に比べ電食しにくい。またニッケルは酸化した不
働態(NiO,NiO2等)領域が広いため、水素の官
能基(−H,−OH)を多く含むソルダーレジストは、
ニッケル層中の酸素と強い水素結合を持つことになる。
(図17) よって銅箔パターン表面をニッケルで被覆することによ
り、銅の電食が抑えられ、かつソルダーレジストとの密
着性も向上する。
In the case where the copper pattern surface is coated with nickel, the stability of copper and nickel is reduced by P in FIG.
Comparing with the H-potential state diagram, it can be seen that nickel has a wider passivation and non-transformation region and is less ionizable than copper. In addition, palladium, gold, and the like are also less susceptible to electrolytic corrosion than copper for the same reason. In addition, since nickel has a wide oxidized passive state (NiO, NiO 2, etc.) region, a solder resist containing a large amount of hydrogen functional groups (—H, —OH)
It has a strong hydrogen bond with oxygen in the nickel layer.
(FIG. 17) By coating the copper foil pattern surface with nickel, the electrolytic corrosion of copper is suppressed and the adhesion to the solder resist is also improved.

【0097】[0097]

【実施例】(実施例1)以下、本発明の一実施例を図面を
用いて説明する。図1は本発明のプリント基板構造の概
略を示したものである。内層回路入多層銅張り積層板1
aのスルーホール2内には下地として厚さ1μmのニッ
ケルめっき4が形成されており、その表面には銅めつき
7が被覆され二重構造になっている。また内層に埋設さ
れたスルーホール2aには銅めっき7が形成され、その
表面にはニツケルめっき4が被覆され二重構造になって
いる。基板表面および内層の銅箔回路パターン9のラン
ド部9aにはスルーホール2,2a内の銅めっき7と一
体的に形成された銅めっき7が被覆され、銅箔回路パタ
ーン9表面には厚さ1μmのニッケルめっきが被覆され
ている。またスルーホール2内とこのランド部を除いた
表面回路パターン9を含む基板全表面にはソルダーレジ
スト6が被覆されている。
(Embodiment 1) An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows the structure of a printed circuit board according to the present invention. Multi-layer copper-clad laminate 1 with inner layer circuit
In the through hole 2a, a nickel plating 4 having a thickness of 1 μm is formed as a base, and the surface thereof is coated with a copper plating 7 to form a double structure. Copper plating 7 is formed in the through hole 2a embedded in the inner layer, and the surface thereof is coated with nickel plating 4 to form a double structure. The copper plating 7 formed integrally with the copper plating 7 in the through holes 2 and 2 covers the land portion 9a of the substrate surface and the copper foil circuit pattern 9 in the inner layer. 1 μm nickel plating is coated. Further, the entire surface of the substrate including the through hole 2 and the surface circuit pattern 9 excluding the lands is covered with a solder resist 6.

【0098】図2、図3、図4は、本発明の高密度プリ
ント基板の製造方法の一例を説明する工程図であり、以
下図示の工程(a)〜(p)に従い、内容を順次説明す
る。
FIGS. 2, 3 and 4 are process diagrams for explaining an example of the method for manufacturing a high-density printed circuit board according to the present invention, and the contents will be sequentially described in accordance with the following steps (a) to (p). I do.

【0099】工程(a)内層コアとなる両面銅張り積層
板1の所定の位置にドリリング等によりスルーホール2
aの穴明けを行う。
Step (a) A through hole 2 is formed at a predetermined position of a double-sided copper-clad laminate 1 serving as an inner layer core by drilling or the like.
Drill a.

【0100】工程(b)スルーホール2a内および銅箔
表面に定法に従い錫/パラジウム触媒を付与した後、全
面に電気銅めっきまたは化学銅めっきにより所定の厚み
の銅7を析出させる。
Step (b) After applying a tin / palladium catalyst to the inside of the through-hole 2a and the copper foil surface according to a standard method, copper 7 having a predetermined thickness is deposited on the entire surface by electrolytic copper plating or chemical copper plating.

【0101】工程(c)銅表面の粗化したのち塩化パラ
ジウム溶液にて銅を活性化しスルーホール2aを含む全
面にニッケル4を0.5〜5μmめっきする。
Step (c) After the copper surface is roughened, copper is activated with a palladium chloride solution, and nickel 4 is plated with 0.5 to 5 μm on the entire surface including the through holes 2a.

【0102】工程(d)表面のニッケル層をベルトサン
ダーにより機械的に研磨除去する。
Step (d) The nickel layer on the surface is mechanically polished and removed by a belt sander.

【0103】工程(e)露出した表面銅めっきを粗化し
た後、電着レジスト5(シプレイ社製イーグル200
0)を電圧80V,通電時間15秒の条件にて、スルー
ホール2aを含む基板全体にコーティングし、回路ネガ
マスクを所定の位置に合わせ露光量200mJ/cm2
条件で露光する。その後現像液(シプレイ社製XP−6
504)にて未露光部のレジストの現像除去を行ない、
電着レジスト5による回路を形成する。この電着レジス
ト5は次工程のエッチングレジストとなる。
Step (e) After roughening the exposed surface copper plating, an electrodeposition resist 5 (Eagle 200 manufactured by Shipley Co., Ltd.) is used.
0) is coated on the entire substrate including the through-hole 2a under the conditions of a voltage of 80 V and a conduction time of 15 seconds, and a circuit negative mask is positioned at a predetermined position and exposed at a light exposure of 200 mJ / cm 2 . Then, a developer (XP-6 manufactured by Shipley Co., Ltd.)
In 504), the unexposed portion of the resist is developed and removed.
A circuit is formed by the electrodeposition resist 5. This electrodeposited resist 5 becomes an etching resist in the next step.

【0104】工程(f)表面に露出した銅をアルカリエ
ッチング液(メルテックス社製エープロ建浴液)にて溶
解除去した後、電着レジストを剥離液(シプレイ社製X
P−6504)にて剥離することにより銅箔回路9を独
立形成させる。この時スルーホール2a内はニッケルに
て保護されているため内層銅箔が溶解されない。
Step (f) After the copper exposed on the surface is dissolved and removed with an alkaline etching liquid (Apro bath solution manufactured by Meltex Co., Ltd.), the electrodeposited resist is removed by a stripping liquid (X-ray manufactured by Shipley Co., Ltd.).
(P-6504), the copper foil circuit 9 is formed independently. At this time, since the inside of the through hole 2a is protected by nickel, the inner layer copper foil is not melted.

【0105】工程(g)基板銅箔表面を粗化したのち塩
化パラジウム溶液にて銅を活性化しスルーホール2aを
含む全面にニッケル4を0.5〜5μmめっきする。
Step (g) After the surface of the substrate copper foil is roughened, copper is activated with a palladium chloride solution, and nickel 4 is plated on the entire surface including the through holes 2a by 0.5 to 5 μm.

【0106】工程(h)上記(a)〜(g)により所定
回路9、スルーホール2aおよびランド部9aが形成さ
れた内層コア1に、外層銅箔と所定枚数のプリプレグを
所定の順序に積層し、定法に従い熱プレスを行ない多層
銅張り積層板1aを形成する。
Step (h) An outer copper foil and a predetermined number of prepregs are laminated in a predetermined order on the inner core 1 on which the predetermined circuit 9, the through hole 2a and the land 9a are formed by the above (a) to (g). Then, hot pressing is performed according to a standard method to form a multilayer copper-clad laminate 1a.

【0107】工程(i)多層銅張り積層板1aの所定の
位置にドリリング等により貫通スルーホール2の穴明け
を行う。
Step (i) A through-hole 2 is formed in a predetermined position of the multilayer copper-clad laminate 1a by drilling or the like.

【0108】工程(j)スルーホール2内および銅箔表
面に定法に従い錫/パラジウム触媒を付与した後、スル
ーホール2を含む基板全面にニッケル4を0.5〜5μ
m程めっきする。
Step (j) After applying a tin / palladium catalyst to the inside of the through-hole 2 and the surface of the copper foil according to a standard method, nickel 4 is applied to the entire surface of the substrate including the through-hole 2 by 0.5 to 5 μm.
Plate about m.

【0109】工程(k)基板表面のニッケル層5をベル
トサンダー等により機械的に研磨除去する。
Step (k) The nickel layer 5 on the substrate surface is mechanically polished and removed by a belt sander or the like.

【0110】工程(l)露出した表面銅めっきを粗化し
た後、電着レジスト5(シプレイ社製イーグル200
0)を電圧80V,通電時間15秒の条件にて、スルー
ホール2aを含む基板全体にコーティングし、回路ネガ
マスクを所定の位置に合わせ露光量200mJ/cm2
条件で露光する。その後現像液(シプレイ社製XP−6
504)にて未露光部のレジストの現像除去を行ない、
電着レジスト5による回路を形成する。この電着レジス
ト5は次工程のエッチングレジストとなる。
Step (l) After roughening the exposed surface copper plating, an electrodeposition resist 5 (Eagle 200 manufactured by Shipley Co., Ltd.) was used.
0) is coated on the entire substrate including the through-hole 2a under the conditions of a voltage of 80 V and a conduction time of 15 seconds, and a circuit negative mask is positioned at a predetermined position and exposed at a light exposure of 200 mJ / cm 2 . Then, a developer (XP-6 manufactured by Shipley Co., Ltd.)
In 504), the unexposed portion of the resist is developed and removed.
A circuit is formed by the electrodeposition resist 5. This electrodeposited resist 5 becomes an etching resist in the next step.

【0111】工程(m)表面に露出した銅をアルカリエ
ッチング液(メルテックス社製エープロ建浴液)にて溶
解除去した後、電着レジストを剥離液(シプレイ社製X
P−6504)にて剥離することにより銅箔回路9を独
立形成させる。この時スルーホール2内はニッケルにて
保護されているため内層銅箔が溶解されない。
Step (m) After the copper exposed on the surface is dissolved and removed with an alkali etching solution (Apro bath solution manufactured by Meltex Co., Ltd.), the electrodeposited resist is removed by a stripping solution (X, manufactured by Shipley Co., Ltd.).
(P-6504), the copper foil circuit 9 is formed independently. At this time, since the inside of the through hole 2 is protected by nickel, the inner layer copper foil is not melted.

【0112】工程(n)基板銅箔表面を粗化したのち塩
化パラジウム溶液にて銅を活性化しスルーホール2およ
び表面回路パターン9上にニッケル4を0.5〜5μm
めっきする。
Step (n) After roughening the surface of the substrate copper foil, activate copper with a palladium chloride solution to deposit nickel 4 on the through-hole 2 and the surface circuit pattern 9 in a thickness of 0.5 to 5 μm.
Plating.

【0113】工程(o)耐めっき性ソルダーレジスト6
をスクリーン印刷法,スプレーコーター法等により両面
に塗布した後、レジストポジマスクを所定の位置に合わ
せ露光量200〜1000mJの条件で露光する。その
後現像液(111−トリクロロエタン)にて未露光部の
レジストの現像除去を行ない、スルーホール2、スルー
ホールランド9aおよび面付け部品ランド16を除く基
板表面全体にソルダーレジスト9を形成する。
Step (o) Plating-resistant solder resist 6
Is applied on both sides by a screen printing method, a spray coater method, or the like, and then a resist-positive mask is positioned at a predetermined position and exposed under the conditions of an exposure amount of 200 to 1000 mJ. Thereafter, the unexposed portion of the resist is developed and removed with a developing solution (111-trichloroethane), and a solder resist 9 is formed on the entire surface of the substrate except for the through-holes 2, the through-hole lands 9a and the imposed component lands 16.

【0114】工程(p)露出しているニッケル4を塩化
パラジウム溶液にて活性化した後、スルーホール2、ス
ルーホールランド9aおよび面付けランド上に化学銅め
っき4を所定厚析出させることによりプリント基板が完
成する。
Step (p) After activating the exposed nickel 4 with a palladium chloride solution, a predetermined thickness of chemical copper plating 4 is printed on the through-hole 2, the through-hole land 9a and the imposition land to print. The substrate is completed.

【0115】(実施例2)実施例1において(c)および
(d)の工程を省くことも可能であり完成したプリント
基板の構造は変わらない。
(Embodiment 2) The steps (c) and (d) in the embodiment 1 can be omitted, and the structure of the completed printed circuit board is not changed.

【0116】(実施例3)実施例1において(g)の工程
を省くことも可能であり完成したプリント基板の構造は
図11となる。
(Embodiment 3) The step (g) in the embodiment 1 can be omitted, and the structure of the completed printed circuit board is shown in FIG.

【0117】(実施例4)実施例1において(n)の工程
を省くことも可能であり完成したプリント基板は図12
となる。
(Embodiment 4) In the embodiment 1, the step (n) can be omitted.
Becomes

【0118】(実施例5)また、工程(e),(l)のホト
レジストとして、この例では電着型UVレジスト5を使
用したが、これも電着型UVレジストに限らず、用途に
よってはこれまでプリント基板の製造で常用されてきた
フィルム型感光性レジスト、その他半導体工業等で使用
されている光を露光源とするUVレジスト、電子線ビー
ムを露光源とする電子線レジスト等が実用可能であるこ
とは云うまでもない。
(Embodiment 5) Although the electrodeposition type UV resist 5 was used as the photoresist in the steps (e) and (l) in this example, the photoresist is not limited to the electrodeposition type UV resist and may be used depending on the application. Film-type photosensitive resists commonly used in the manufacture of printed circuit boards, UV resists that use light as an exposure source, and electron beam resists that use an electron beam as an exposure source, which are used in the semiconductor industry, etc., can be used. Needless to say,

【0119】(実施例6)上記実施例2〜5の組合せによ
り、他幾種かのプリント基板構造が可能である。例えば
実施例3と実施例4の組合せにより、プリント基板構造
は図13となる。
(Embodiment 6) By combining the above Embodiments 2 to 5, several other types of printed circuit board structures are possible. For example, a combination of the third embodiment and the fourth embodiment results in a printed circuit board structure shown in FIG.

【0120】(実施例7)上記銅めっきプロセスとして
は、化学銅めっきが実用的で望ましいが、電解めっきも
使用可能である。
(Embodiment 7) As the copper plating process, chemical copper plating is practical and desirable, but electrolytic plating can also be used.

【0121】(実施例8)なお、上記工程(f),(m)の
銅箔エッチングによる表面回路パターン9の形成は、本
実施例では塩化第2鉄、塩化第2銅、アルカリエッチン
グ液により行なったが、その他周知のエッチング液で同
様に行なうことができる。つまり、本実施例のアルカリ
エッチング液の代わりに例えば、塩化第2鉄の如き鉄系
の酸性エッチング液でも良い。ただし、この場合にはス
ルーホール2内の導体層としたニッケルめっき4は、酸
性エッチング液に対し耐性がなく溶解してしまうので溶
解しない他のめっき、例えばPb−Sn系の如きはんだ
めっきに替える必要がある。
(Embodiment 8) The formation of the surface circuit pattern 9 by the copper foil etching in the above steps (f) and (m) is performed in this embodiment by using ferric chloride, cupric chloride and an alkali etching solution. However, the etching can be performed in the same manner using other well-known etching liquids. That is, instead of the alkaline etching solution of this embodiment, for example, an iron-based acidic etching solution such as ferric chloride may be used. However, in this case, the nickel plating 4 serving as the conductor layer in the through hole 2 has no resistance to the acidic etching solution and dissolves. Therefore, the plating is replaced with another plating that does not dissolve, for example, a solder plating such as Pb-Sn. There is a need.

【0122】(実施例9)また、ニッケルめっき4の代わ
りに、金(Au)めっきの如く酸に対しても、アルカリに
対しても耐性のある導体層とすれば銅箔エッチング液に
左右されることはない。このようなはんだめっきも、金
めっきも周知の化学めっき、もしくは電解めっきにより
ニッケルめっき同様に容易に形成することができる。
(Example 9) In place of the nickel plating 4, if a conductor layer resistant to acid and alkali such as gold (Au) plating is used, it is affected by the copper foil etching solution. Never. Both such solder plating and gold plating can be easily formed by well-known chemical plating or electrolytic plating similarly to nickel plating.

【0123】(実施例10)また、これらの実施例ではス
ルーホール2内のニッケルめっきの如き下地導体層4を
基板の穴に直接形成したが、スルーホールの穴あけ後に
予め20μm以下の薄い銅めっきを形成しても良く、こ
れによればニッケルめっき等の導体層4を形成する際の
めっき処理がよりし易くなる。つまり、導体層4の形成
においては、下地にこの薄い銅めっきがあるため、化学
めっきの際には触媒付与工程を省略するこもできる上、
電解めっきも可能となる。ただし、この薄い銅めっきは
厚さ制限が必要で、20μmを超えると従来のふくらみ
の問題が生じ逆効果となり好ましくない。従って、前述
のとおり厚さ20μm以下、より好ましくはできるだけ
薄い1〜15μmの導体として最低限の厚さとすること
が望ましい。
(Embodiment 10) In these embodiments, the underlying conductor layer 4 such as nickel plating in the through hole 2 was directly formed in the hole of the substrate. However, after drilling the through hole, a thin copper plating of 20 μm or less was previously formed. May be formed, and according to this, the plating process at the time of forming the conductor layer 4 such as nickel plating may be more easily performed. That is, in the formation of the conductor layer 4, since this thin copper plating is present on the base, the catalyst applying step can be omitted in the case of chemical plating.
Electroplating is also possible. However, this thin copper plating requires a thickness restriction, and if it exceeds 20 μm, the conventional swelling problem occurs and the effect is adversely affected, which is not preferable. Therefore, as described above, it is desirable that the conductor has a minimum thickness of 20 μm or less, more preferably 1 to 15 μm as thin as possible.

【0124】また、さらに、本発明の耐めっき性を有す
る感光性ソルダレジスト組成物を用いた高密度プリント
回路板の製造について、具体的に説明する。以下の各実
施例に用いた、感光性ソルダレジスト組成物は、共通し
て次のような方法で製造した。
Further, the production of a high-density printed circuit board using the photosensitive solder resist composition having plating resistance of the present invention will be specifically described. The photosensitive solder resist composition used in each of the following examples was commonly manufactured by the following method.

【0125】本発明で用いる室温で固形状の多官能不飽
和化合物としてのジアリルフタレート樹脂を秤量し、セ
パラブルフラスコに入れ、これに、秤量した有機溶剤を
加え、混合した後、80乃至100℃で30分乃至2時
間の間、撹拌しながら溶解する。溶解物を室温まで冷却
した後、残りのレジストの素材を加え、充分に撹拌して
混合する。次いで、三本ロールミルを用いて2乃至4回
の混練を施し、スクリーン印刷用のレジストインクを調
整する。
The diallyl phthalate resin as a polyfunctional unsaturated compound which is solid at room temperature and used in the present invention is weighed, placed in a separable flask, and the weighed organic solvent is added thereto. And dissolve with stirring for 30 minutes to 2 hours. After the melt is cooled to room temperature, the remaining resist material is added, and the mixture is sufficiently stirred and mixed. Next, kneading is performed two to four times using a three-roll mill to prepare a resist ink for screen printing.

【0126】一方、プリント回路板の製造は、共通して
次のような方法に従った。
On the other hand, the production of printed circuit boards was commonly performed according to the following method.

【0127】1.6mm厚で35μmの銅箔を有するガ
ラスエポキシ両面銅張り積層板1(図21、1))の所
定の位置にドリルで孔2をあけた後、化学銅めっき用触
媒をスルホール内を含む基板の全面に付与した(図2
1、2))。
After drilling holes 2 at predetermined positions on a glass epoxy double-sided copper-clad laminate 1 (FIGS. 21 and 1) having a copper foil of 1.6 mm thickness and 35 μm, a catalyst for chemical copper plating was passed through a through hole. (See FIG. 2).
1, 2)).

【0128】次いで、エッチング用のドライフィルムレ
ジストを用いて、テンティング法により、所定部をエッ
チングして、基板の両面に導体回路9を形成した(図2
1、3))。
Next, a predetermined portion was etched by a tenting method using a dry film resist for etching to form conductor circuits 9 on both surfaces of the substrate (FIG. 2).
1, 3)).

【0129】次いで、前記の方法で調整した感光性ソル
ダレジストインクを導体回路を含む基板の片面にスクリ
ーン印刷法で塗布し、レジストが塗布された基板を乾燥
し、レジストを固化した。かかる方法を繰返し裏面で行
ない、基板の両面に固化したレジスト層を形成した。乾
燥温度は80℃で、乾燥時間は1時間である。
Next, the photosensitive solder resist ink prepared as described above was applied to one surface of a substrate including a conductive circuit by a screen printing method, and the substrate coated with the resist was dried to solidify the resist. This method was repeated on the back surface to form a solidified resist layer on both surfaces of the substrate. The drying temperature is 80 ° C. and the drying time is 1 hour.

【0130】次いで、基板両面の固化したレジスト層上
にネガマスクを密着させ、両面から同時に0.5J/c
2のUV光を照射して露光した。次いで、レジスト面
からネガマスクを剥離し、未露光部を現像により溶解、
除去した。現像溶剤として1,1,1−トリクロロエタ
ンを用い、現像時間として1分を選択した。
Next, a negative mask was brought into close contact with the solidified resist layer on both sides of the substrate, and 0.5 J / c
Exposure was performed by irradiating m 2 UV light. Next, the negative mask is peeled from the resist surface, and the unexposed portions are dissolved by development,
Removed. 1,1,1-trichloroethane was used as a developing solvent, and 1 minute was selected as a developing time.

【0131】次いで、基板を加熱して、パターンを形成
したレジスト部を硬化した。硬化条件は150℃、1時
間である。
Next, the substrate was heated to cure the resist portion on which the pattern was formed. The curing condition is 150 ° C. for one hour.

【0132】さらに、加熱硬化したレジストに、再度、
3J/cm2のUV光を照射して、レジストの硬化を促
進した。
Further, the heat-cured resist is again
Irradiation with UV light of 3 J / cm 2 accelerated the curing of the resist.

【0133】以上の工程を経て、基板上にレジスト層6
を形成した(図21、4))。
Through the above steps, a resist layer 6 is formed on the substrate.
Was formed (FIGS. 21 and 4).

【0134】次いで、基板を化学銅めつき液に浸漬し、
スルホール孔内、ランド上をはじめとする主要部分のみ
に厚い化学銅めつき7を施した(図21、5))。化学
銅めつき液には、次の組成のものを用いた。めつき条件
は浴温70℃、浴pHが12.5、めっき時間は15時
間であり、この間、めっき液組成、めつき条件が常に一
定となるように、めっき液成分の自動補給を行なった。
析出電位は、約−0.7V(飽和カロメル電極参照)で
あり、めっき厚は約30μmとなった。
Next, the substrate was immersed in a chemical copper plating solution,
A thick chemical copper plating 7 was applied only to the main portion including the through hole and the land (FIGS. 21 and 5). The chemical copper plating solution having the following composition was used. The plating conditions were a bath temperature of 70 ° C., a bath pH of 12.5, and a plating time of 15 hours. During this time, the plating solution components were automatically replenished so that the plating solution composition and the plating conditions were always constant. .
The deposition potential was about -0.7 V (see saturated calomel electrode), and the plating thickness was about 30 µm.

【0135】 化学銅めつき液の組成 CuSO4・5H2O…………………12g EDTA・2Na……………………42g 37%ホルマリン……………………3ml NaOH……………pH12.5とする量 エトキシ界面活性剤……………100mg 2,2'-ジピリジル………………… 50mg 脱イオン水……………全量を1lとする量 本発明の耐めっき性を有する感光性ソルダレジスト組成
物を用いたプリント回路板の生産性、回路板特性につい
ては、共通して、以下の項目と評価方法に従って判定し
た。
Composition of chemical copper plating solution CuSO 4 .5H 2 O 12 g EDTA 2Na 42 g 37% formalin 3 ml NaOH …………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………. The printed circuit board productivity and circuit board characteristics using a photosensitive solder resist composition having plating resistance were commonly determined according to the following items and evaluation methods.

【0136】(1)塗布性:スクリーン印刷後の塗膜中
に残存するボイド、気泡等がなく、平滑な面を有するも
のを良とした。
(1) Coating property: A coating film having no voids, air bubbles, etc. remaining in the coating film after screen printing and having a smooth surface was evaluated as good.

【0137】(2)密着露光性:レジスト面にネガマス
クを密着してUV光で露光した後、ネガマスクを剥離す
る際、ネガマスクにレジストが付着しないものを良とし
た。
(2) Adhesion exposure property: After exposing the negative mask to the resist surface and exposing it with UV light, when the negative mask was peeled off, the resist that did not adhere to the negative mask was evaluated as good.

【0138】(3)現像性:1,1,1,−トリクロロ
エタンのスプレー現像を常温で1分間施した際、未露光
部が完全に溶解し、かつ、露光部のレジストに膨潤等が
ないものを良とした。
(3) Developability: When 1,1,1, -trichloroethane is spray-developed at room temperature for 1 minute, the unexposed portion is completely dissolved, and the resist in the exposed portion has no swelling or the like. Was regarded as good.

【0139】(4)耐裏写り性:1.6mm厚のガラス
エポキシ積層板の両面に、約40μmの厚さにレジスト
を塗布して、乾燥した後、片面から0.5J/cm2
UV光を照射して露光する。現像後の観察で、裏面のレ
ジストが硬化せずに、完全に溶解できるものを良とし
た。
(4) Show-through resistance: A resist having a thickness of about 40 μm was applied to both sides of a glass epoxy laminate having a thickness of 1.6 mm, dried, and then exposed to a UV of 0.5 J / cm 2 from one side. Exposure is performed by irradiating light. In the observation after development, a resist which did not cure the resist on the back surface and could be completely dissolved was evaluated as good.

【0140】(5)耐アルカリ性:化学銅めっき後の観
察で、レジストの表面が、溶解、変色、粗化されていな
いものを良とした。
(5) Alkali resistance: Observed after chemical copper plating, a resist whose resist surface was not dissolved, discolored or roughened was evaluated as good.

【0141】(6)耐めっき反応性:化学銅めっき後の
観察で、銅めっき析出部と接続している導体回路上に塗
布されているレジストに、剥離や変色のないものを良と
した。
(6) Plating resistance: Observation after chemical copper plating showed that the resist applied on the conductor circuit connected to the copper plating deposition portion was free from peeling or discoloration.

【0142】(7)耐めっき溶出性:1l当り1dm2
のレジストが接触する化学銅めっき液で、約30μm厚
のめっきを施した時、析出した銅の結晶配向性に異常が
生じないものを良とした。
(7) Elution resistance to plating: 1 dm 2 per liter
A chemical copper plating solution contacting with the resist and having a thickness of about 30 μm and having no abnormality in the crystal orientation of the deposited copper was evaluated as good.

【0143】(8)耐熱性:化学銅めっき後のプリント
回路板にはんだ用のフラックスを塗布し、260℃のは
んだ槽に10秒間浸漬して、室温まで空冷する。この操
作を10回繰り返した後の観察で、レジストにフクレ、
剥離等の異常がないものを良とした。
(8) Heat resistance: Solder flux is applied to a printed circuit board after chemical copper plating, immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds, and air-cooled to room temperature. Observation after repeating this operation 10 times,
A sample having no abnormality such as peeling was regarded as good.

【0144】(9)絶縁性:ガラスエポキシ銅張り積層
板に形成したJIS−C−2519に準じた櫛形パター
ン上にレジストを塗布し、化学銅めっき後の吸湿時の絶
縁抵抗が109Ω以上となるものを良とした。
(9) Insulation: A resist is applied on a comb pattern conforming to JIS-C-2519 formed on a glass epoxy copper clad laminate, and the insulation resistance when absorbing moisture after chemical copper plating is 10 9 Ω or more. Is good.

【0145】(実施例11)本発明の耐めっき反応性を有
する感光性ソルダレジスト組成物を表1に従って調整
し、前記1)乃至9)の特性を判定した。その結果を表
2に示す。
Example 11 A photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention was prepared according to Table 1, and the characteristics 1) to 9) were determined. Table 2 shows the results.

【0146】[0146]

【表1】 [Table 1]

【0147】[0147]

【表2】 [Table 2]

【0148】本発明の室温で固形状の多官能不飽和化合
物としてジアリルフタレート樹脂(ダイソーダップA:
ダイソーK.K.製、平均分子量10000)を用い、
室温で液体状の多官能不飽和化合物としてペンタエリス
リトールテトラアクリレートを使用した。光重合開始剤
には、ベンゾフェノンと4,4'-ビス(N,N'-ジメチルアミ
ノ)ベンゾフェノンの混合物を用いた。エポキシ樹脂と
して、ビスフェノールA型のエピコート828(油化シ
ェルエポキシK.K.製)を用い、エポキシ樹脂の硬化
剤には2-フェニルイミダゾールを使用した。メラミンも
しくはその誘導体として表2に示す如きの化合物を添加
した。消泡剤としてシリコーンオイルSH−203(ト
ーレシリコーンK.K.製)を用い、顔料にはフタロシ
アニングリーンを使用した。有機溶剤にはエチルセルソ
ルブアセテートとブチルセルソルブアセテートの混合物
を用いた。
As the polyfunctional unsaturated compound which is solid at room temperature in the present invention, a diallyl phthalate resin (Daiso Dap A:
Daiso K. K. Manufactured, average molecular weight 10,000)
Pentaerythritol tetraacrylate was used as a polyfunctional unsaturated compound which was liquid at room temperature. As the photopolymerization initiator, a mixture of benzophenone and 4,4′-bis (N, N′-dimethylamino) benzophenone was used. Bisphenol A type Epicoat 828 (manufactured by Yuka Shell Epoxy KK) was used as the epoxy resin, and 2-phenylimidazole was used as a curing agent for the epoxy resin. The compounds shown in Table 2 were added as melamine or its derivatives. Silicone oil SH-203 (manufactured by Toray Silicone KK) was used as an antifoaming agent, and phthalocyanine green was used as a pigment. A mixture of ethyl cellosolve acetate and butyl cellosolve acetate was used as the organic solvent.

【0149】かかるレジストを用いて、プリント回路板
を製造した結果、全ての特性を満足するには、本発明の
メラミンもしくはその誘導体として、メラミンと共通す
る2,4-ジアミノ-s-トリアジンの構造を分子中に有する
化合物を用いればよいことが判った。また、その添加量
は、室温で固形状の多官能不飽和化合物の100重量部
に対して、1乃至20重量部が適切であることも判っ
た。1重量部未満では、レジストと導体回路との密着力
が不足し、耐めっき反応性が充分でなく、20重量部を
超えると、過剰のメラミンが化学銅めっき液にわずかに
溶け出し、析出した銅の結晶配向性に異常を生じること
が判った。
As a result of manufacturing a printed circuit board using such a resist, to satisfy all the characteristics, the structure of 2,4-diamino-s-triazine, which is common to melamine as melamine of the present invention or its derivative, is required. It was found that a compound having in the molecule may be used. It was also found that the addition amount is suitably 1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the solid polyfunctional unsaturated compound at room temperature. If the amount is less than 1 part by weight, the adhesion between the resist and the conductor circuit is insufficient, and the plating resistance is not sufficient. If the amount exceeds 20 parts by weight, excess melamine is slightly dissolved and precipitated in the chemical copper plating solution. It was found that the crystal orientation of copper was abnormal.

【0150】銅の結晶配向性については、下記のような
判定基準により、正常、異常を判断した。X線回折の結
果、図22に示すような(111)面の配向が優先する
正常な銅めっき膜に対し、異常な銅めっき膜では図23
に示すように(200)面が優先配向する。かかる異常
は、めっき膜の引張り強度や伸び率等の機械的物性には
顕著に現れない場合もあるが、プリント回路板をはんだ
付け実装する際の、銅めっきスルホールのクラック発生
の原因となるため、スルホール信頼性の観点から、あっ
てはならない異常である。
Regarding the crystal orientation of copper, normal or abnormal was determined according to the following criteria. As a result of X-ray diffraction, a normal copper plating film in which the orientation of the (111) plane is prioritized as shown in FIG.
As shown in (1), the (200) plane is preferentially oriented. Such abnormalities may not appear remarkably in the mechanical properties such as the tensile strength and elongation of the plating film.However, when soldering and mounting the printed circuit board, it causes cracks in the copper plating through holes. This is an anomaly that should not exist from the viewpoint of through hole reliability.

【0151】さらに、表2の結果から、構造中に2,4-ジ
アミノ-s-トリアジン骨格を含まないメラミン誘導体
は、耐めっき反応性が充分でないことも判った。
Further, from the results in Table 2, it was also found that the melamine derivative having no 2,4-diamino-s-triazine skeleton in the structure had insufficient plating resistance.

【0152】(実施例12)本発明の耐めっき反応性を有
する感光性ソルダレジスト組成物を表3に従って調整
し、前記1)乃至9)の特性を判定した。その結果を表
4に示す。
(Example 12) The photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention was prepared according to Table 3, and the characteristics 1) to 9) were determined. Table 4 shows the results.

【0153】[0153]

【表3】 [Table 3]

【0154】[0154]

【表4】 [Table 4]

【0155】本例では、レジストの耐めっき反応性を確
保するために、メラミン3重量部を使用し、表4に示す
ようにエポキシ樹脂の硬化剤の効果を求めた。表4に明
らかな如く、2-フェニルイミダゾールの適正範囲は0.
1乃至5重量部であった。硬化剤が不足の場合には、レ
ジストの効果不足から化学銅めつき液中での耐アルカリ
性が不充分となり、過剰の場合には、レジストの乾燥時
に硬化反応が進行してしまい、現像の時に未露光部が完
全には溶解しきれなかった。
In this example, 3 parts by weight of melamine was used in order to secure the plating resistance of the resist, and the effect of the epoxy resin curing agent was determined as shown in Table 4. As is clear from Table 4, the appropriate range for 2-phenylimidazole is 0.1.
It was 1 to 5 parts by weight. When the curing agent is insufficient, the alkali resistance in the chemical copper plating solution becomes insufficient due to the insufficient effect of the resist, and when the curing agent is excessive, the curing reaction proceeds during drying of the resist, and during the development, The unexposed portions were not completely dissolved.

【0156】また、硬化剤量が適正であれば、硬化剤の
種類によらず、ほぼ、同等の特性がえられることも判っ
た。
It was also found that if the amount of the curing agent was appropriate, almost the same characteristics could be obtained regardless of the type of the curing agent.

【0157】(実施例13)本発明の耐めっき反応性を有
する感光性ソルダレジスト組成物を表5に従って調整
し、前記1)乃至9)の特性を判定した。その結果を表
6に示す。
Example 13 A photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention was prepared according to Table 5, and the characteristics 1) to 9) were determined. Table 6 shows the results.

【0158】[0158]

【表5】 [Table 5]

【0159】[0159]

【表6】 [Table 6]

【0160】本例では、レジストの耐めっき反応性を確
保するために、分子内に2,4-ジアミノ-s-トリアジン環
とエポキシ樹脂の硬化剤として作用するイミダゾール環
の両者を含む、2,4-ジアミノ-s-トリアジン変性イミダ
ゾールを使用したときの効果を求めた。かかる化合物
は、一般的に、2,4-ジアミノ-6-ビニル-s-トリアジンと
イミダゾールの活性水素の付加反応により合成されるも
ので、四国化成K.K.より上市されている。
In this example, in order to ensure the plating resistance of the resist, both the 2,4-diamino-s-triazine ring and the imidazole ring acting as a curing agent for the epoxy resin are contained in the molecule. The effect when 4-diamino-s-triazine-modified imidazole was used was determined. Such compounds are generally synthesized by the addition reaction of 2,4-diamino-6-vinyl-s-triazine and imidazole with active hydrogen. K. More marketed.

【0161】一連の2,4-ジアミノ-s-トリアジン変性イ
ミダゾールを用いて感光性ソルダレジストを調整し、そ
の効果を求めた結果、表6に示すように1乃至20重量
部の範囲で効果を有することが判った。1重量部未満で
は、耐めっき反応性が不足し、20重量部を超えると現
像性が劣化することも判った。
A photosensitive solder resist was prepared using a series of 2,4-diamino-s-triazine-modified imidazoles, and the effect was determined. As a result, as shown in Table 6, the effect was obtained in the range of 1 to 20 parts by weight. It was found to have. It was also found that if less than 1 part by weight, the plating resistance was insufficient, and if more than 20 parts by weight, the developability was deteriorated.

【0162】また、耐めっき反応性を確保するために
は、エポキシ樹脂を硬化するに足るだけの2,4-ジアミノ
-s-トリアジン変性イミダゾールの添加量では不足であ
り、エポキシ樹脂を硬化する以上の多量の2,4-ジアミノ
-s-トリアジン変性イミダゾールが必要であることも判
った。
In order to secure plating resistance, 2,4-diamino acid sufficient to cure the epoxy resin is used.
Insufficient amount of -s-triazine-modified imidazole added, large amount of 2,4-diamino beyond curing epoxy resin
It was also found that -s-triazine-modified imidazole was required.

【0163】さらに、表5に示す組成で、2,4-ジアミノ
-s-トリアジン変性イミダゾールの添加量を変えたレジ
ストを用い、めつき液との接触面積とめっき膜の結晶配
向性との関係を求めた。この結果を図25に示す。
Further, in the composition shown in Table 5, 2,4-diamino
The relationship between the contact area with the plating solution and the crystal orientation of the plating film was determined using a resist in which the amount of added -s-triazine-modified imidazole was changed. FIG. 25 shows the result.

【0164】レジストの接触する負荷面積が1dm2
lの場合には20重量部でも異常析出は生じないが、レ
ジスト面積が2dm2/lでは15重量部以下が正常
で、2dm2/lを超えるとやや異常(図中に中間とし
て表示)な銅めっきが析出した。4dm2/lでは10
重量部以下が正常であることが判った。このように、添
加量の上限がレジスト負荷面積に影響されることは、添
加成分の溶出が極微量ではあるものの、無視できないこ
とを示しており、かかる添加量の上限は、実験的にのみ
求められることも判った。
The load area contacting the resist is 1 dm 2 /
In the case of 1, no abnormal precipitation occurs even at 20 parts by weight, but when the resist area is 2 dm 2 / l, 15 parts by weight or less is normal, and when it exceeds 2 dm 2 / l, a little abnormal (shown as middle in the figure). Copper plating was deposited. 10 at 4 dm 2 / l
It was found that parts by weight or less were normal. Thus, the fact that the upper limit of the addition amount is affected by the resist loading area indicates that although the elution of the additional component is very small, it cannot be ignored, and the upper limit of the addition amount is determined only experimentally. I knew it would be done.

【0165】一方、添加量の下限は硬化温度、時間の範
囲と耐めっき反応性の関係から制限され、1重量部より
2重量部の方が、良好な耐めっき反応性を得る硬化温
度、時間の範囲が広く、4重量部ではさらに広くなるこ
ともわかった。かかる特性は、プリント回路板を量産す
る場合の歩留りにかかわる特性であり、硬化温度、時間
の範囲が広い程、安定に歩留り良く、プリント回路板を
量産できるので好ましい。
On the other hand, the lower limit of the amount of addition is limited by the relationship between the range of the curing temperature and time and the plating resistance, and 2 parts by weight is more preferable than 1 part by weight for obtaining the curing temperature and the time at which good plating resistance is obtained. It was also found that the range was wider at 4 parts by weight. Such characteristics are characteristics relating to the yield when mass-producing the printed circuit boards, and the wider the range of the curing temperature and time, the more stable the yield and the more preferable the mass production of the printed circuit boards.

【0166】以上の結果から、2,4-ジアミノ-s-トリア
ジン変性イミダゾールの添加量は1乃至20重量部の範
囲で効果を有し、2乃至15重量部の範囲がより好まし
く、さらに好ましくは4乃至10重量部の範囲であるこ
とも判った。
From the above results, the addition amount of 2,4-diamino-s-triazine-modified imidazole is effective in the range of 1 to 20 parts by weight, more preferably in the range of 2 to 15 parts by weight, and still more preferably. It was also found to be in the range of 4 to 10 parts by weight.

【0167】(実施例14)本発明の耐めっき反応性を有
する感光性ソルダレジスト組成物を表7に従って調整
し、メラミン誘導体の作用を、めっき液と接触するレジ
スト負荷量との関係で、さらに詳しく調べた。
Example 14 A photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention was prepared according to Table 7, and the effect of the melamine derivative was further evaluated in relation to the resist load in contact with the plating solution. I examined it in detail.

【0168】[0168]

【表7】 [Table 7]

【0169】結果は図25に示すようで、メラミン誘導
体としてメラミンを用いた場合には、レジスト負荷2d
2/l以上で銅の結晶配向性にやや異常が生じ、正常
な銅が析出しなくなるのに対し、2,4-ジアミノ-6{2'-メ
チルイミダゾール-(1')}エチル-s-トリアジンを用いた
場合には、レジスト負荷3dm2/l以上で銅の結晶配
向性に異常が生じた。これに対し、2,4-ジアミノ-6{2'-
ウンデシルイミダゾール-(1')}エチル-s-トリアジンを
用いた場合には、レジスト負荷4dm2/lでも銅の結
晶配向性に異常が生じなかった。また、比較として、従
来のジシアンジアミドを添加したレジストでは、1dm
2/lでも銅の結晶配向性に異常が生じた。
The results are shown in FIG. 25. When melamine was used as the melamine derivative, the resist load was 2 d.
At m 2 / l or more, the crystal orientation of copper is slightly abnormal and normal copper is not deposited, whereas 2,4-diamino-6 {2′-methylimidazole- (1 ′)} ethyl-s When -triazine was used, an abnormality occurred in the crystal orientation of copper when the resist load was 3 dm 2 / l or more. In contrast, 2,4-diamino-6 {2'-
When undecyl imidazole- (1 ′)} ethyl-s-triazine was used, no abnormality occurred in the crystal orientation of copper even at a resist load of 4 dm 2 / l. For comparison, a conventional resist to which dicyandiamide was added was 1 dm
Even at 2 / l, abnormalities occurred in the crystal orientation of copper.

【0170】かかる結果から、メラミン誘導体を用いる
場合にも、分子量が大で、水に対する溶解度が小さいも
の程、レジスト負荷を大としてめっきを行なっても、異
常な銅が析出しにくく、プリント回路板の量産に好まし
いことが判った。
From these results, even when a melamine derivative is used, as the molecular weight is higher and the solubility in water is lower, abnormal copper is less likely to be deposited even when plating is performed with a larger resist load. Was found to be preferable for mass production of

【0171】逆に、水に溶解し易いもの程、レジスト内
を拡散して、めっき液中に溶出する傾向が大であること
も判った。かかる観点から、メラミン誘導体の水に対す
る溶解度は、メラミンと同程度の約1wt%以下が必要
で、より好ましくは2,4-ジアミノ-6{2'-メチルイミダゾ
ール-(1')}エチル-s-トリアジンと同程度の約0.1w
t%以下であり、さらに好ましくは2,4-ジアミノ-6{2'-
ウンデシルイミダゾール-(1')}エチル-s-トリアジンと
同程度の約0.01wt%以下であることも判った。本
発明ではジシアンジアミドを使用しないのは、ジシアン
ジアミドの水に対する溶解度が数wt%以上もあること
から、めつき液に溶出しやすいためでもある。
Conversely, it was also found that the more easily dissolved in water, the greater the tendency to diffuse in the resist and elute into the plating solution. From this viewpoint, the solubility of the melamine derivative in water is required to be about 1 wt% or less, which is almost the same as that of melamine, and more preferably 2,4-diamino-6 {2′-methylimidazole- (1 ′)} ethyl-s. -Approximately 0.1w of triazine
t% or less, and more preferably 2,4-diamino-6 {2′-
It was also found that the content was about 0.01 wt% or less, which is almost the same as that of undecyl imidazole- (1 ′)} ethyl-s-triazine. In the present invention, dicyandiamide is not used because the solubility of dicyandiamide in water is several wt% or more, so that it is easily eluted into the plating solution.

【0172】(実施例15)本発明の耐めっき反応性を有
する感光性ソルダレジスト組成物を表8に従って調整
し、前記1)乃至9)の特性を判定した。その結果を表
9に示す。
Example 15 A photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention was prepared according to Table 8, and the characteristics 1) to 9) were determined. Table 9 shows the results.

【0173】[0173]

【表8】 [Table 8]

【0174】[0174]

【表9】 [Table 9]

【0175】本例では、室温で固形状の多官能不飽和化
合物と、室温で液体状の多官能不飽和化合物の効果を求
めた。
In this example, the effects of a polyfunctional unsaturated compound which was solid at room temperature and a polyfunctional unsaturated compound which was liquid at room temperature were determined.

【0176】表9に示すように、室温で固形状の多官能
不飽和化合物として、ダイソーダップA(分子量100
00)とダップL(分子量3500)とイソダップ(分
子量8000)を比較したところ、顕著な差異はなく、
いずれも耐めっき反応性を有する感光性ソルダレジスト
に使用できることが判った。
As shown in Table 9, as a polyfunctional unsaturated compound which is solid at room temperature, Daiso Dap A (molecular weight: 100
00), Dap L (molecular weight 3500) and Isodap (molecular weight 8000) showed no significant difference.
It has been found that any of them can be used for a photosensitive solder resist having plating resistance.

【0177】一方、室温で液体状の多官能不飽和化合物
として2、3、4、6官能脂肪族不飽和化合物とビスフ
ェノールA系芳香族2官能アクリレートを用いた場合を
比較した。表9に示すように、不飽和化合物の添加量が
5乃至30重量部、好ましくは10乃至30重量部、さ
らに好ましくは10乃至20重量部で全ての特性を満足
するレジストが得られることが判った。添加量が不足の
場合には、露光時の架橋が不足して、現像の際、レジス
トが膨潤してしまい、添加量が過剰の場合には、密着露
光性に難が生じることも判った。
On the other hand, a comparison was made between 2,3-, 4-, and 6-functional aliphatic unsaturated compounds and bisphenol A-based aromatic bifunctional acrylates as liquid polyfunctional unsaturated compounds at room temperature. As shown in Table 9, it is found that a resist satisfying all the characteristics can be obtained when the added amount of the unsaturated compound is 5 to 30 parts by weight, preferably 10 to 30 parts by weight, more preferably 10 to 20 parts by weight. Was. It was also found that when the amount of addition was insufficient, the crosslinking at the time of exposure was insufficient, and the resist swelled during development, and when the amount of addition was excessive, difficulty was encountered in the adhesion exposure property.

【0178】さらに、不飽和化合物の官能基数は多い方
が、添加量の適正範囲が広いことも判った。かかる観点
から、官能基数は2以上、好ましくは3以上が望まし
く、さらに6官能脂肪族アクリレートが最も優れている
ことも判った。
Furthermore, it was also found that the larger the number of functional groups of the unsaturated compound, the wider the appropriate range of the amount added. From this viewpoint, the number of functional groups is desirably 2 or more, preferably 3 or more, and it has also been found that hexafunctional aliphatic acrylates are the most excellent.

【0179】(実施例16)本発明の耐めっき反応性を有
する感光性ソルダレジスト組成物を表10に従って調整
し、前記1)乃至9)の特性を判定した。その結果を表
11に示す。
Example 16 A photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention was prepared according to Table 10, and the characteristics 1) to 9) were determined. Table 11 shows the results.

【0180】[0180]

【表10】 [Table 10]

【0181】[0181]

【表11】 [Table 11]

【0182】本例では、感光性ソルダレジストの特性に
与える光重合開始剤とUV吸収剤と顔料の影響について
求めた。
In this example, the effects of the photopolymerization initiator, UV absorber and pigment on the characteristics of the photosensitive solder resist were determined.

【0183】表11の結果から、顔料のフタロシアニン
グリーンを全く含まないレジストでは、レジスト中のU
V光の透過性が大きすぎるため、耐裏写り性が不充分で
あることが判った。裏写り性を良好とするには、UV吸
収作用を有するフタロシアニングリーンの如き顔料を、
約0.2重量部以上、レジストに添加すれば良いことも
判った。
From the results in Table 11, it can be seen that the resist containing no phthalocyanine green pigment at all contained U in the resist.
It was found that the transmittance of V light was too large and the show-through resistance was insufficient. In order to improve the show-through property, a pigment such as phthalocyanine green having a UV absorbing action is used.
It was also found that about 0.2 parts by weight or more should be added to the resist.

【0184】また、光重合開始剤はベンゾフェノンや4,
4'-ビス(N,N'-ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2-メチ
ル-1-{4-(メチルチオ)フェニル}-2-モルフォリノ-1-プ
ロパン-1、ベンゾインアルキルエーテル、チオキサンソ
ン誘導体とジメチルアミノ安息香酸エステルなどの、各
種のラジカル発生型の光重合開始剤が適していることが
判った。光重合開始剤の最適配合量は、およそ、2乃至
12重量部であることも判った。UV吸収作用を有する
光重合開始剤が不足すると、レジストのUV透過性が高
まり、裏写り性に難が生じるとともに、UV露光時の架
橋不足から、レジストの耐アルカリ性も劣化する。
The photopolymerization initiator was benzophenone or 4,4
4'-bis (N, N'-diethylamino) benzophenone, 2-methyl-1- {4- (methylthio) phenyl} -2-morpholino-1-propane-1, benzoin alkyl ether, thioxanthone derivative and dimethylaminobenzoic acid It has been found that various radical-generating photopolymerization initiators such as esters are suitable. It was also found that the optimal amount of the photopolymerization initiator was about 2 to 12 parts by weight. When the photopolymerization initiator having a UV absorbing action is insufficient, the UV transmittance of the resist is increased, the show-through property is difficult, and the alkali resistance of the resist is also deteriorated due to insufficient crosslinking at the time of UV exposure.

【0185】さらに、顔料や光重合開始剤のUV吸収作
用は、UV吸収剤の添加によっても、ある程度は補償で
きることも判った。すなわち、4-t-メトキシベンゾイル
メタンの如きUV吸収剤をレジストに添加することによ
り、顔料を全く含まない場合でも、耐裏写り性を改善で
きることも判った。
Further, it has been found that the UV absorbing action of the pigment and the photopolymerization initiator can be compensated to some extent by the addition of the UV absorbing agent. That is, it was also found that by adding a UV absorber such as 4-t-methoxybenzoylmethane to the resist, the show-through resistance can be improved even when no pigment is contained.

【0186】(実施例17)本発明の耐めっき反応性を有
する感光性ソルダレジスト組成物を表12に従って調整
し、前記1)乃至9)の特性を判定した。その結果を表
13に示す。
Example 17 A photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention was prepared according to Table 12, and the characteristics 1) to 9) were determined. Table 13 shows the results.

【0187】[0187]

【表12】 [Table 12]

【0188】[0188]

【表13】 [Table 13]

【0189】本例では、エポキシ樹脂の種類と量がレジ
ストの特性に及ぼす影響を求めた。ビスフェノールA型
エポキシ樹脂であるエピコート828とエピコート10
01および、フェノールノボラック型エポキシ樹脂であ
るエピコート152とエピコート154の4種を用いて
レジストを調製し、その特性を調べた。
In this example, the effect of the type and amount of the epoxy resin on the characteristics of the resist was determined. Epicoat 828 and Epicoat 10 which are bisphenol A type epoxy resins
01 and Epicoat 152 and Epicoat 154 which are phenol novolak epoxy resins, resists were prepared and their characteristics were examined.

【0190】結果は表13に示すようで、いずれのエポ
キシ樹脂を用いても、良好な特性が得られることが判っ
た。配合量については、5乃至40重量部が最適であ
り、不足すると耐めっき反応性が充分でなく、過剰では
密着露光性に難が生じることも判った。
The results are shown in Table 13, and it was found that good properties were obtained using any of the epoxy resins. It is also found that the compounding amount is optimally 5 to 40 parts by weight. If the amount is insufficient, the plating resistance is not sufficient, and if it is excessive, the adhesion exposure property is difficult.

【0191】(実施例18)本発明の耐めっき反応性を有
する感光性ソルダレジスト組成物を表14に従って調整
し、前記1)乃至9)の特性を判定した。その結果を表
15に示す。
Example 18 A photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention was prepared according to Table 14, and the characteristics 1) to 9) were determined. Table 15 shows the results.

【0192】[0192]

【表14】 [Table 14]

【0193】[0193]

【表15】 [Table 15]

【0194】本例では、消泡剤と有機溶剤の配合量と特
性の関係を調べた。
In this example, the relationship between the compounding amounts of the antifoaming agent and the organic solvent and the characteristics was examined.

【0195】表15に示すように、シリコーンオイルS
H−203の如き消泡剤は、0.5乃至10重量部が好
ましく、不足すると印刷時の泡抜けが悪く、塗布性が不
良となり、過剰では密着露光性に難が生じることも判っ
た。
As shown in Table 15, silicone oil S
The antifoaming agent such as H-203 is preferably used in an amount of 0.5 to 10 parts by weight. If the amount is insufficient, it is found that bubble removal during printing is poor and the applicability is poor.

【0196】また、セルソルブアセテートやカルビトー
ルのような有機溶剤の配合量は、50乃至100重量部
が適切であることも判った。有機溶剤の配合量も、不足
すると塗布性が不良となり、過剰ではレジストインクの
粘度が低くなりすぎて、印刷し難くなることも判った。
It has also been found that the amount of the organic solvent such as cellosolve acetate and carbitol is preferably 50 to 100 parts by weight. It was also found that if the amount of the organic solvent was insufficient, the coatability was poor, and if the amount was excessive, the viscosity of the resist ink was too low, making printing difficult.

【0197】[0197]

【表16】 [Table 16]

【0198】[0198]

【表17】 [Table 17]

【0199】[0199]

【発明の効果】(1)上述したように、本発明のプリン
ト基板は構造的に、スルーホール内の銅めっき7の下地
に密着性の良いニッケルめっきの如き耐銅エッチング液
性を有する金属めっき4が被覆されているため、銅めっ
き7のピール強度が強大し、また、穴内ふくれも出にく
く、スルーホール内の信頼性が格段に向上する。
(1) As described above, the printed circuit board of the present invention is structurally formed of a metal plating having a copper etching solution resistance such as nickel plating having good adhesion to the base of the copper plating 7 in the through hole. Since the coating 4 is coated, the peel strength of the copper plating 7 is high, and the blisters in the holes are hardly generated, so that the reliability in the through holes is remarkably improved.

【0200】(2)製造プロセスにおいては、図7で説
明したようにスルーホール2内をニッケルめっきの如き
耐銅エッチング液性を有する金属めっき4で保護した状
態で、レジストマスク5による回路パターンの形成がで
きるため、たとえスルーホール2内に露光不足によるレ
ジストマスクの欠損部8aが生じたとしても、下地のニ
ッケルめっきの如き耐銅エッチング液性を有する金属め
っき4が回路パターン形成のエッチング液に対して耐エ
ッチング性を有しているため、スルーホールの信頼性を
損うことなく、高解像度細線パターンの形成が可能とな
る。
(2) In the manufacturing process, as described with reference to FIG. 7, while the inside of the through hole 2 is protected by a metal plating 4 having a resistance to a copper etchant such as nickel plating, a circuit pattern is formed by a resist mask 5. Therefore, even if a defective portion 8a of the resist mask is formed in the through hole 2 due to insufficient exposure, the metal plating 4 having a copper etching resistant property such as the underlying nickel plating is used as the etching solution for forming the circuit pattern. On the other hand, since it has etching resistance, it is possible to form a high-resolution fine line pattern without impairing the reliability of the through hole.

【0201】(3)エッチングレジストを従来のドライ
フィルムから電着レジストに変更することにより、形成
可能な導体パターン巾が100μmから50μmになり、
2.54mm格子間のパターン配線本数が3〜5本から5〜9
本に高密度化される(図18)。
(3) By changing the etching resist from a conventional dry film to an electrodeposition resist, the width of the conductor pattern that can be formed is reduced from 100 μm to 50 μm.
The number of pattern wirings between 2.54mm grids is 3-5 to 5-9
Densified into books (FIG. 18).

【0202】(4)スルーホール内周面をニッケルで保
護した状態でエッチングするので、高信頼性スルーホー
ルの形成が可能である。また従来のドライフィルムで
は、図19(a)の様にテンティング状態でスルーホー
ルを保護するため、ドライフィルム19を固定するための
ランド部9aが必ず必要であったが、本プロセスでは図
19(b)の様にこれが不要となるため、図20に示すラ
ンドレススルーホール18の形成が可能となり、パターン
配線密度が向上できる。
(4) Since etching is performed while protecting the inner peripheral surface of the through hole with nickel, a highly reliable through hole can be formed. Also, in the conventional dry film, a land 9a for fixing the dry film 19 is always necessary to protect the through hole in the tenting state as shown in FIG. 19A. Since this is not required as shown in FIG. 2B, the landless through hole 18 shown in FIG. 20 can be formed, and the pattern wiring density can be improved.

【0203】(5)基板表層パターンおよび内層パター
ンの導体表面にニツケルを被覆することにより、銅の電
食による絶縁性低下を抑えることができるため、導体間
隙を従来の130μmから50μmまで下げられ、パター
ン配線密度が向上できる。
(5) By coating nickel on the conductor surface of the substrate surface layer pattern and the inner layer pattern, it is possible to suppress the deterioration of insulation due to electrolytic corrosion of copper, so that the conductor gap can be reduced from the conventional 130 μm to 50 μm. The pattern wiring density can be improved.

【0204】また基板表層パターンにおいては、塗布し
たソルダーレジストとの密着性が向上するため、パター
ンの極細線化に対応できる。
Further, in the surface pattern of the substrate, the adhesion to the applied solder resist is improved, so that the pattern can be made ultra-fine.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例のプリント配線板の外観を示
す一部断面斜視図である。
FIG. 1 is a partially sectional perspective view showing the appearance of a printed wiring board according to one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例となるプリント配線板の製造
工程を示す概略図である。
FIG. 2 is a schematic view illustrating a manufacturing process of a printed wiring board according to one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例となるプリント配線板の製造
工程を示す概略図である。
FIG. 3 is a schematic view illustrating a manufacturing process of a printed wiring board according to one embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例となるプリント配線板の製造
工程を示す概略図である。
FIG. 4 is a schematic view showing a manufacturing process of a printed wiring board according to one embodiment of the present invention.

【図5】従来のプリント配線板の外観を示す一部断面斜
視図である。
FIG. 5 is a partially sectional perspective view showing the appearance of a conventional printed wiring board.

【図6】従来の電着レジストを用いた回路形成工程を示
す概略図である。
FIG. 6 is a schematic view showing a circuit forming step using a conventional electrodeposition resist.

【図7】本発明の回路形成時のスルーホール内の作用を
説明する工程概略図である。
FIG. 7 is a schematic process diagram illustrating an operation in a through hole when a circuit is formed according to the present invention.

【図8】はんだめっき法による回路形成工程の説明図で
ある。
FIG. 8 is an explanatory diagram of a circuit forming step by a solder plating method.

【図9】(a),(b)はそれぞれフィルム型レジスト
及び電着型レジストによるパターン形成状態を示す外観
図である。
FIGS. 9A and 9B are external views showing a pattern formation state using a film type resist and an electrodeposition type resist, respectively.

【図10】電着型レジストを用いた場合のスルーホール
の穴内露光を示す概略断面図である。
FIG. 10 is a schematic sectional view showing in-hole exposure of a through hole when an electrodeposition type resist is used.

【図11】本発明の一実施例のプリント配線板の外観を
示す一部断面斜視図である。
FIG. 11 is a partial cross-sectional perspective view showing the appearance of a printed wiring board according to one embodiment of the present invention.

【図12】本発明の一実施例のプリント配線板の外観を
示す一部断面斜視図である。
FIG. 12 is a partially sectional perspective view showing the appearance of a printed wiring board according to one embodiment of the present invention.

【図13】本発明の一実施例のプリント配線板の外観を
示す一部断面斜視図である。
FIG. 13 is a partial cross-sectional perspective view showing the appearance of a printed wiring board according to one embodiment of the present invention.

【図14】(a)熱処理前、(b)熱処理後のソルダー
レジスト剥がれのメカニズムを示したパターン断面図で
ある。
FIGS. 14A and 14B are pattern cross-sectional views showing the mechanism of solder resist peeling before (a) heat treatment and (b) after heat treatment.

【図15】銅の電食メカニズムを示したパターン断面図
である。
FIG. 15 is a pattern cross-sectional view showing a mechanism of electrolytic corrosion of copper.

【図16】銅およびニッケルの電位−pH状態図であ
る。
FIG. 16 is a potential-pH state diagram of copper and nickel.

【図17】ソルダーレジストとニッケル層との界面拡大
図である。
FIG. 17 is an enlarged view of an interface between a solder resist and a nickel layer.

【図18】(a)3/5ch基板、(b)5/9ch基
板それぞれのパターン配線密度を比較したプリント配線
板の外観を示す一部断面斜視図である。
FIG. 18 is a partial cross-sectional perspective view showing the appearance of a printed wiring board in which the pattern wiring densities of (a) 3 / 5ch substrate and (b) 5 / 9ch substrate are compared.

【図19】(a)ドライフィルム、(b)電着レジスト
それぞれのエッチング時のスルーホール保護状態を比較
したプリント配線板の外観を示す一部断面斜視図であ
る。
FIG. 19 is a partial cross-sectional perspective view showing the appearance of a printed wiring board in which the protection state of through holes during etching of (a) a dry film and (b) an electrodeposition resist is compared.

【図20】(a)ランド有りスルーホール、(b)ラン
ドレススルーホールそれぞれを有するプリント配線板の
外観を示す一部断面斜視図である。
FIG. 20 is a partial cross-sectional perspective view showing the appearance of a printed wiring board having (a) through holes with lands and (b) landless through holes.

【図21】本発明に係るパートリアディティブ法プリン
ト回路板の製造順序を示す断面図である。
FIG. 21 is a cross-sectional view showing a manufacturing sequence of a part-reactive printed circuit board according to the present invention.

【図22】本発明の耐めっき反応性を有する感光性ソル
ダレジスト組成物を用いてパートリアディティブ法プリ
ント回路板を製造した時に得られる正常な銅めっき膜の
X線回折図である。
FIG. 22 is an X-ray diffraction pattern of a normal copper plating film obtained when a part-reactive printed circuit board is manufactured using the photosensitive solder resist composition having plating resistance according to the present invention.

【図23】適切でないレジスト組成物を用いてパートリ
アディティブ法プリント回路板を製造した時に得られる
異常な銅めっき膜のX線回折図である。
FIG. 23 is an X-ray diffraction diagram of an abnormal copper plating film obtained when a part-reactive printed circuit board is manufactured using an inappropriate resist composition.

【図24】本発明のメラミン誘導体の添加量の上限を銅
めっき膜質から求めた図である。
FIG. 24 is a view showing the upper limit of the amount of the melamine derivative of the present invention obtained from the quality of a copper plating film.

【図25】本発明のメラミン誘導体の質の違いを、レジ
スト負荷と銅めっき膜質の関係から求めた図である。
FIG. 25 is a diagram showing differences in quality of the melamine derivative of the present invention obtained from the relationship between resist load and copper plating film quality.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…銅張り積層板、 1a…内層回路入多層銅張り積層板、 2…スルーホール、 2a…内層スルーホール、 3…触媒、 4…ニッケルめっき、 5…電着レジスト、 6…ソルダーレジスト、 7…銅めっき、 7a…銅めっき欠損部、 8…エッチングレジスト、 8a…レジスト欠損部、 9…表面回路パターン、 9a…ランド部、 10…露光、 11…フィルム型感光性レジスト、 12…ポジマスク(回路パターンマスク)、 13…はんだめっき、 14…めっきレジスト、 15…穴内ふくれ、 16…面付け部品接続端子、 17…水素結合部、 18…ランドレススルーホール、 19…ドライフィルム、 20…ソルダーレジスト剥がれ部、 23…レジスト解像不足、 24…レジスト密着不良。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Copper-clad laminated board, 1a ... Multi-layer copper-clad laminated board with an inner layer circuit, 2 ... Through-hole, 2a ... Inner-layer through-hole, 3 ... Catalyst, 4 ... Nickel plating, 5 ... Electrodeposition resist, 6 ... Solder resist, 7 ... copper plating, 7a ... copper plating defective part, 8 ... etching resist, 8a ... resist defective part, 9 ... surface circuit pattern, 9a ... land part, 10 ... exposure, 11 ... film type photosensitive resist, 12 ... positive mask (circuit 13: Solder plating, 14: Plating resist, 15: Bulging in the hole, 16: Connection terminal for mounting parts, 17: Hydrogen bonding part, 18: Landless through hole, 19: Dry film, 20: Solder resist peeling part 23: Lack of resist resolution, 24: Poor resist adhesion.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H05K 3/28 H05K 3/28 C 3/42 650 3/42 650C 3/46 3/46 N (72)発明者 古川 正弘 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地株 式会社日立製作所情報通信事業部内 (72)発明者 角屋 明由 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地株 式会社日立製作所情報通信事業部内 (72)発明者 佐藤 良三 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地株 式会社日立製作所情報通信事業部内 (72)発明者 井原 松利 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地株 式会社日立製作所情報通信事業部内 (72)発明者 松崎 直弥 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地株 式会社日立製作所情報通信事業部内 (72)発明者 菊池 廣 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 渡辺 真貴雄 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 今林 慎一郎 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 平3−6880(JP,A) 特開 昭58−56495(JP,A) 特開 平3−254181(JP,A) 特開 平2−10889(JP,A) 特開 平4−136857(JP,A) 特公 平3−2358(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05K 1/11 H05K 3/28 H05K 3/42 650──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI H05K 3/28 H05K 3/28 C 3/42 650 3/42 650C 3/46 3/46 N (72) Inventor Masahiro Furukawa Kanagawa 216, Totsuka-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Hitachi, Ltd.Information and Communication Division, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Akiyoshi Tsunoya 216, Totsuka-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture, Ltd. Ryozo Sato 216 Totsuka-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside the information and communication division of Hitachi, Ltd. (72) Inventor Matsutoshi 216, Totsukacho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture Inside the information and communication division of Hitachi, Ltd. ) Inventor Naoya Matsuzaki 216 Totsuka-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Information and Communication Division, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Hiroshi Kikuchi Yokohama, Kanagawa Prefecture 292, Yoshida-cho, Totsuka-ku, Ltd.Hitachi, Ltd., Production Technology Laboratory (72) Inventor Makio Watanabe 292, Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa, Japan 292, Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside of Hitachi, Ltd. Production Engineering Laboratory (56) References JP-A-3-6880 (JP, A) JP-A-58-56495 (JP, A) JP-A-3 −254181 (JP, A) JP-A-2-10889 (JP, A) JP-A-4-136857 (JP, A) JP-B-3-2358 (JP, B2) (58) Fields investigated (Int. . 6, DB name) H05K 1/11 H05K 3/28 H05K 3/42 650

Claims (14)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 銅張り積層基板にスルーホールを形成す
る工程と、前記スルーホール内に導体層を形成する工程
と、前記基板上にスルーホール開口部周縁に形成される
ランドを含み回路パターンを形成する工程とを有して成
るプリント配線基板の製造方法において、 前記スルーホール内に導体層を形成する工程の第一工程
を、スルーホール内を含む基板全表面に耐銅エッチング
液性を有する金属めっきを形成した後、前記基板表面に
形成された耐銅エッチング液性を有する金属めっきを機
械的研磨により除去し、スルーホール内に限り耐銅エッ
チング液性を有する金属めっきを形成する工程とし、前記ランドを含み回路パターンを形成する 工程を、電着
型UVレジストから成る感光性レジストを全面に塗膜し
所定の回路パターンの描かれたマスクを通して露光、現
象処理してエッチングレジストマスクパターンを形成
し、このレジストマスクパターンを用いて基板上の銅箔
を選択エッチングし、レジストマスクパターンを剥離、
除去してランドを含む回路パターンを形成する工程と
前記スルーホール内に導体層を形成する工程の第二工程
前記スルーホール内に形成された前記耐銅エッチング
液性を有する金属めっきから少なくとも開口部のランド
に至るまで銅めっき被覆し、スルーホール内に前記耐銅
エッチング液性を有する金属めっきと、その上に被覆さ
れた銅めっきとの二重層からなる導体層を形成する工程
として成ることを特徴とするプリント配線基板の製造方
法。
1. A circuit pattern including a step of forming a through hole in a copper-clad laminate substrate, a step of forming a conductor layer in the through hole, and a land formed on a periphery of the through hole opening on the substrate. Forming a conductive layer in the through-hole, wherein the first step of forming the conductor layer in the through-hole is performed by copper-resistant etching on the entire surface of the substrate including the inside of the through-hole. After forming the metal plating having the liquid property, the metal plating having the copper etching liquid resistance formed on the substrate surface is removed by mechanical polishing, and the metal plating having the copper etching liquid resistance only in the through holes is formed. The step of forming and the step of forming a circuit pattern including the land are performed by coating a photosensitive resist composed of an electrodeposition type UV resist on the entire surface and a predetermined circuit pattern is drawn. Exposure through a mask, phenomena treatment to form an etching resist mask pattern, use this resist mask pattern to selectively etch the copper foil on the substrate, peel off the resist mask pattern,
Removing and forming a circuit pattern including lands;
A second step of forming a conductor layer in the through hole
A copper plating coating from the metal plating having the copper etchant resistance formed in the through hole to at least the land of the opening, and the metal plating having the copper etchant resistance in the through hole, A method for manufacturing a printed wiring board, comprising a step of forming a conductor layer composed of a double layer with copper plating coated thereon.
【請求項2】 銅張り積層基板にスルーホールを形成す
る工程と、前記スルーホール内に導体層を形成する工程
と、前記基板上にスルーホール開口部周縁に形成される
ランドを含み回路パターンを形成する工程とを有して成
るプリント配線基板の製造方法において、 前記スルーホール内に導体層を形成する工程の第一工程
を、スルーホール内を含む基板全表面にニッケルめっき
を形成した後、前記基板表面に形成されたニッケルめっ
きを機械研磨により除去し、スルーホール内に限りニッ
ケルめっきを形成する工程とし、前記ランドを含み回路パターンを形成する 工程を、電着
型UVレジストから成る感光性レジストを全面に塗膜し
所定の回路パターンの描かれたマスクを通して露光、現
象処理してエッチングレジストマスクパターンを形成
し、このレジストマスクパターンを用いて基板上の銅箔
を選択エッチングし、レジストマスクパターンを剥離、
除去してランドを含む回路パターンを形成する工程と
前記スルーホール内に導体層を形成する工程の第二工程
前記スルーホール内に形成された前記ニッケルめっき
から少なくとも開口部のランドに至るまで銅めっき被覆
し、スルーホール内にニッケルめっきと、その上に被覆
された銅めっきとの二重層からなる導体層を形成する工
程として成ることを特徴とするプリント配線基板の製造
方法。
2. A circuit pattern including a step of forming a through-hole in a copper-clad laminate substrate, a step of forming a conductor layer in the through-hole, and a land formed on the periphery of the through-hole opening on the substrate. Forming a conductive layer in the through-hole, the step of forming a conductive layer in the through-hole, nickel plating on the entire surface of the substrate including the inside of the through-hole After the formation, the nickel plating formed on the substrate surface is removed by mechanical polishing, and the nickel plating is formed only in the through holes, and the step of forming a circuit pattern including the land is performed by an electrodeposition type UV resist. Is coated on the entire surface with a photosensitive resist consisting of Using the resist mask pattern, selectively etch the copper foil on the substrate, peel off the resist mask pattern,
Removing and forming a circuit pattern including lands;
A second step of forming a conductor layer in the through hole
A conductive layer comprising a double layer of nickel plating in the through hole and copper plating coated thereon, from the nickel plating formed in the through hole to at least the land of the opening. Forming a printed wiring board.
【請求項3】 上記ニッケルめっきを施す前に20μm
以下の銅めっきを析出させる前工程を付加して成ること
を特徴とする請求項2に記載のプリント配線基板の製造
方法。
3. The method according to claim 1, wherein said nickel plating is 20 μm.
3. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 2, further comprising the following pre-process of depositing copper plating.
【請求項4】 導体層が内周面に配設されたスルーホー
ルと基被表面に回路パターンが配設されて成るプリント
配線基板において、 前記スルーホール内の導体層が耐銅エッチング液性を有
する金属めっき下地層と、その上に前記回路パターンの
少なくともランド部に至るまで一体的に被覆された銅め
っきとの二重層から成り、上記スルーホール内とランド
部とを除く回路基板上にソルダーレジストが被覆されて
成り、上記ソルダーレジストは、室温で固形状の多官能
不飽和化合物と、室温で液体状の多官能不飽和化合物
と、光重合開始剤と、エポキシ樹脂と、工ポキシ樹脂の
硬化剤と、メラミンもしくはその誘導体を含んでなる光
硬化性レジスト組成物を用いることを特徴とするプリン
ト配線基板。
4. A through hoe having a conductor layer disposed on an inner peripheral surface thereof.
Printed with a circuit pattern on the base and the base surface
In the wiring board,  The conductor layer in the through hole has copper etchant resistance.
Metal plating underlayer, and the circuit pattern
Copper foil covered at least up to the land
It consists of a double layer of
The solder resist is coated on the circuit board except the part
The above solder resist is a solid polyfunctional at room temperature.
Unsaturated compounds and polyfunctional unsaturated compounds that are liquid at room temperature
And a photopolymerization initiator,EpoxyResin and epoxy resin
Light comprising a curing agent and melamine or a derivative thereof
Pudding characterized by using a curable resist composition
Wiring board.
【請求項5】 導体層が内周面に配設されたスルーホー
ルと基板表面に回路パターンが配設されて成るプリント
配線基板において、 前記スルーホール内の導体層がニッケルめっきと、その
上に前記回路パターンの少なくともランド部に至るまで
一体的に被覆された銅めっきとの二重層から成り、上記
スルーホール内とランド部とを除く回路基板上にソルダ
ーレジストが被覆されて成り、上記ソルダーレジストに
おいて、室温で固形状の多官能不飽和化合物と、室温で
液体状の多官能不飽和化合物と、光重合開始剤と、エポ
キシ樹脂と、工ポキシ樹脂の硬化剤と、メラミンもしく
はその誘導体を含んでなる光硬化性レジスト組成物を用
いることを特徴とするプリント配線基板。
5. A printed wiring board comprising a through hole in which a conductor layer is disposed on an inner peripheral surface and a circuit pattern disposed on a substrate surface, wherein the conductor layer in the through hole is nickel-plated, and The circuit pattern is formed by a double layer of copper plating integrally covered up to at least a land portion, and a solder resist is coated on a circuit board excluding the through holes and the land portion, and the solder resist is formed. in a solid polyfunctional unsaturated compound at room temperature, and a liquid polyfunctional unsaturated compound at room temperature, and a photopolymerization initiator, Epo
A printed wiring board using a photocurable resist composition comprising a xy resin, a hardening agent for a modified epoxy resin, and melamine or a derivative thereof.
【請求項6】 上記室温で固形状の多官能不飽和化合物
がジアリルフタレートのプレポリマーであり、室温で液
体状の多官能不飽和化合物か多官能アクリレートもしく
はメタクリレート化合物であることを特徴とする請求項
4または請求項5に記載のプリント配線基板。
6. The polyfunctional unsaturated compound which is solid at room temperature is a prepolymer of diallyl phthalate, and is a polyfunctional unsaturated compound or a polyfunctional acrylate or methacrylate compound which is liquid at room temperature. The printed wiring board according to claim 4 or claim 5.
【請求項7】 上記ジアリルフタレートのプレポリマー
の分子量が3000乃至30000であり、室温で液体
状の多官能不飽和化合物が多官能アクリレートもしくは
メタクリレート化合物の官能基数が3以上であるこどを
特徴とする請求項6に記載のプリント配線基板。
7. The method according to claim 1, wherein the molecular weight of the diallyl phthalate prepolymer is 3,000 to 30,000, and the polyfunctional unsaturated compound which is liquid at room temperature has at least three functional groups of a polyfunctional acrylate or methacrylate compound. The printed wiring board according to claim 6.
【請求項8】 上記メラミンもしくはその誘導体がジア
ミノトリアジン骨格を有する化合物であることを特徴と
する請求項4または請求項5に記載のプリント配線基
板。
8. The printed wiring board according to claim 4, wherein the melamine or a derivative thereof is a compound having a diaminotriazine skeleton.
【請求項9】 上記メラミンもしくはその誘導体が、水
に対する溶解度として、1wt%以下であることを特徴
とする請求項4または請求項5に記載のプリント配線基
板。
9. The printed wiring board according to claim 4, wherein the melamine or a derivative thereof has a solubility in water of 1 wt% or less.
【請求項10】 上記エポキシ樹脂の硬化剤がイミダゾ
ールの誘導体であることを特徴とする請求項4または請
求項5に記載のプリント配線基板。
10. The printed wiring board according to claim 4, wherein the curing agent for the epoxy resin is a derivative of imidazole.
【請求項11】 上記メラミンもしくはその誘導体と
ポキシ樹脂の硬化剤とが、共通する化合物によって作用
をもたらされるものであることを特徴とする請求項4ま
たは請求項5に記載のプリント配線基板。
11. The melamine or a derivative thereof and d
The printed wiring board according to claim 4 or 5, wherein the curing agent of the oxy resin is one that is acted on by a common compound.
【請求項12】 上記メラミンもしくはその誘導体がメ
ラミン、2,4-ジアミノ-6-メチル-s-トリアジン、2,4-
ジアミノ-6-フェニル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-
ヒドロキシ-s-トリアジンから選ぱれたものであること
を特徴とする請求項4または請求項5に記載のプリント
配線基板。
12. The melamine or a derivative thereof is melamine, 2,4-diamino-6-methyl-s-triazine, 2,4-
Diamino-6-phenyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-
The printed wiring board according to claim 4, wherein the printed wiring board is selected from hydroxy-s-triazine.
【請求項13】 上記化合物が2,4-ジアミノ-6{2'-メチ
ルイミダゾール-(1')}エチル-s-トリアジン、2,4-ジア
ミノ-6{2'-エチル-4'-メチルイミダゾール(1')}エチル
-s-トリアジン、2,4‐ジアミノ-6{2‐ウンデシルイミ
ダゾール(1')}エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6
{2'-フェニルイミダゾール(1')}エチル-s-トリアジン
もしくは2、4ジアミノ-6{2'-メチルイミダゾール(1')}エ
チル-s-トリアジン・イソシアヌール酸付加物から選ば
れたものであることを特徴とする請求項11記載のプリ
ント配線基板。
13. The compound 2,4-diamino -6 {2 '- methylimidazole - (1')} ethyl -s- triazine, 2,4-diamino -6 {2 '- ethyl-4' - methyl Imidazole (1 ' )} ethyl
-s-triazine, 2,4-diamino-6 {2-undecylimidazole (1 ' )} ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6
{2'-phenylimidazole (1 ' )} ethyl-s-triazine or 2,4-diamino-6 {2'-methylimidazole (1 ' )} ethyl-s-triazine / isocyanuric acid adduct The printed wiring board according to claim 11, wherein
【請求項14】 上記化合物がジアリルフタレートのプ
レポリマー100重量部に対し、1乃至20重量部であ
ることを特徴とする請求項11記載のプリント配線基
板。
14. The printed circuit board according to claim 11, wherein said compound is present in an amount of 1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the diallyl phthalate prepolymer.
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