JP2776167B2 - シェンケル型直流高電圧発生装置 - Google Patents
シェンケル型直流高電圧発生装置Info
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- JP2776167B2 JP2776167B2 JP4248867A JP24886792A JP2776167B2 JP 2776167 B2 JP2776167 B2 JP 2776167B2 JP 4248867 A JP4248867 A JP 4248867A JP 24886792 A JP24886792 A JP 24886792A JP 2776167 B2 JP2776167 B2 JP 2776167B2
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- Japan
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- rectifier
- schenkel
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、出力電圧の極性を切り
換えることができるシェンケル型直流高電圧発生装置に
関する。
換えることができるシェンケル型直流高電圧発生装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は電子線照射装置、静電加速器にお
ける荷電粒子の加速電圧源等に用いられているバランス
（全波）方式のシェンケル型直流高電圧発生装置の回路
図である。数１０ｋＨｚの高周波電源１に昇圧コイル部
２の１次コイル２1が接続されており、中点が接地され
た２次コイル２2は高周波（ＲＦ）電極３、４に接続す
る。これらＲＦ電極は、円筒を二つ割した形状のもので
あり、ＲＦ電極の内側にこれら電極に対向して幅の狭い
シールド電極５、６がそれぞれ多数段設けられており、
ＲＦ電極とシールド電極間の静電容量は平滑用コンデン
サとして用いられる。最低圧側のシールド電極５、６は
接地され、最高圧側のシールド電極５、６は高電圧タ−
ミナル部７の高電圧出力端子８に接続する。各段のシー
ルド電極５とそれより高電圧側１段上のシールド電極６
間にそれぞれ整流器９を図示極性で接続し、同様に各段
のシールド電極６とそれより１段上のシールド電極５間
にそれぞれ整流器１０を接続する。高周波電源１を除い
た部分は高圧ＳＦ6ガスが充填された圧力タンク内に配
置されている。各段のシールド電極５、６には、２次コ
イル２2の電圧を順次整流逓倍した直流電圧が生じ、高
電圧出力端子８に正極性の直流出力電圧が得られる。
ける荷電粒子の加速電圧源等に用いられているバランス
（全波）方式のシェンケル型直流高電圧発生装置の回路
図である。数１０ｋＨｚの高周波電源１に昇圧コイル部
２の１次コイル２1が接続されており、中点が接地され
た２次コイル２2は高周波（ＲＦ）電極３、４に接続す
る。これらＲＦ電極は、円筒を二つ割した形状のもので
あり、ＲＦ電極の内側にこれら電極に対向して幅の狭い
シールド電極５、６がそれぞれ多数段設けられており、
ＲＦ電極とシールド電極間の静電容量は平滑用コンデン
サとして用いられる。最低圧側のシールド電極５、６は
接地され、最高圧側のシールド電極５、６は高電圧タ−
ミナル部７の高電圧出力端子８に接続する。各段のシー
ルド電極５とそれより高電圧側１段上のシールド電極６
間にそれぞれ整流器９を図示極性で接続し、同様に各段
のシールド電極６とそれより１段上のシールド電極５間
にそれぞれ整流器１０を接続する。高周波電源１を除い
た部分は高圧ＳＦ6ガスが充填された圧力タンク内に配
置されている。各段のシールド電極５、６には、２次コ
イル２2の電圧を順次整流逓倍した直流電圧が生じ、高
電圧出力端子８に正極性の直流出力電圧が得られる。
【０００３】加速電圧源では被加速粒子の荷電極性に応
じて所定極性の直流出力電圧を必要とする。上述の高電
圧発生装置にあっては、原理的には、各シールド電極間
における整流器９、１０の接続極性を逆にすることによ
り、高電圧出力端子８に負極性の直流出力電圧を得るこ
とができる。ところで、荷電粒子の加速電圧源の場合、
各整流器９、１０には極めて高い逆電圧が作用するか
ら、各整流器は多数の単位整流器を直列に接続した整流
器スタックとして構成されており、かかるスタックによ
る多数の整流器がシールド電極５、６で包囲、シールド
される形で取付け部材に配列して固定されている。した
がって、整流器９、１０の接続極性を変更するには、絶
縁ガスの回収を伴う圧力タンクの開放後、各整流器を取
付け部材から取外し、向きを逆にして再び取付けなけれ
ばならず、非常に手間が掛かる。
じて所定極性の直流出力電圧を必要とする。上述の高電
圧発生装置にあっては、原理的には、各シールド電極間
における整流器９、１０の接続極性を逆にすることによ
り、高電圧出力端子８に負極性の直流出力電圧を得るこ
とができる。ところで、荷電粒子の加速電圧源の場合、
各整流器９、１０には極めて高い逆電圧が作用するか
ら、各整流器は多数の単位整流器を直列に接続した整流
器スタックとして構成されており、かかるスタックによ
る多数の整流器がシールド電極５、６で包囲、シールド
される形で取付け部材に配列して固定されている。した
がって、整流器９、１０の接続極性を変更するには、絶
縁ガスの回収を伴う圧力タンクの開放後、各整流器を取
付け部材から取外し、向きを逆にして再び取付けなけれ
ばならず、非常に手間が掛かる。
【０００４】そこで、整流器の取付けはそのままにし
て、圧力タンクを開けずに直流出力電圧の極性を切り換
えることができる高電圧発生装置が提案されている。こ
れは図６に示す回路構成のものであり、シールド電極
５、６の各段間にはそれぞれ一組の整流器９、１０に加
えて切り換え接触子１１、１２、１３、１４を設ける。
これら切り換え接触子を圧力タンクの外部から操作され
る４本の絶縁駆動軸によって連動して全段一斉に操作
し、各整流器９、１０の各端子を上下段関係にあるシー
ルド電極５、６に選択的に切り換え接続することによ
り、各整流器の接続極性を切り換えることができる（例
えば、実願平１−４０１６号参照）。
て、圧力タンクを開けずに直流出力電圧の極性を切り換
えることができる高電圧発生装置が提案されている。こ
れは図６に示す回路構成のものであり、シールド電極
５、６の各段間にはそれぞれ一組の整流器９、１０に加
えて切り換え接触子１１、１２、１３、１４を設ける。
これら切り換え接触子を圧力タンクの外部から操作され
る４本の絶縁駆動軸によって連動して全段一斉に操作
し、各整流器９、１０の各端子を上下段関係にあるシー
ルド電極５、６に選択的に切り換え接続することによ
り、各整流器の接続極性を切り換えることができる（例
えば、実願平１−４０１６号参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】かかる整流逓倍型の高
電圧発生装置では整流逓倍段数を増やすことにより高い
直流出力電圧を得ることができ、ＭＶ（メガボルト）級
の加速電圧源の場合にはシールド電極の段数は数１０段
にも達する。このようになると、切り換え接触子機構に
おける接触圧力の合計値も大きくなり、各絶縁駆動軸に
は大きな操作力を必要とする。そして、この駆動軸に各
段間の切り換え接触子を密接して配置しなければならな
いから、切り換え接触子機構を円滑、確実に動作できる
ものとするには、十分な強度、精密な加工、組立てを要
することになり、同機構は、全体として高価なものとな
る。
電圧発生装置では整流逓倍段数を増やすことにより高い
直流出力電圧を得ることができ、ＭＶ（メガボルト）級
の加速電圧源の場合にはシールド電極の段数は数１０段
にも達する。このようになると、切り換え接触子機構に
おける接触圧力の合計値も大きくなり、各絶縁駆動軸に
は大きな操作力を必要とする。そして、この駆動軸に各
段間の切り換え接触子を密接して配置しなければならな
いから、切り換え接触子機構を円滑、確実に動作できる
ものとするには、十分な強度、精密な加工、組立てを要
することになり、同機構は、全体として高価なものとな
る。
【０００６】ところで、加速電圧源では、加速電圧の極
性切り換えが頻繁に行われることはまれであり、荷電粒
子の照射、注入に係る生産現場にあってはせいぜい半年
に１回程度の頻度で行われるに過ぎない。かかる場合に
あっては、上述の圧力タンクの外部から整流器の接続極
性の転換を行うことができる高コストの切り換え機構は
設置するまでもない。
性切り換えが頻繁に行われることはまれであり、荷電粒
子の照射、注入に係る生産現場にあってはせいぜい半年
に１回程度の頻度で行われるに過ぎない。かかる場合に
あっては、上述の圧力タンクの外部から整流器の接続極
性の転換を行うことができる高コストの切り換え機構は
設置するまでもない。
【０００７】本発明は、圧力タンクを開けることにはな
るが、整流器を着脱することなく、整流器のリード線の
みの接続変更により簡易に直流出力電圧の極性切り換え
が行えるシェンケル型直流高電圧発生装置の提供を目的
とするものである。
るが、整流器を着脱することなく、整流器のリード線の
みの接続変更により簡易に直流出力電圧の極性切り換え
が行えるシェンケル型直流高電圧発生装置の提供を目的
とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、シールド電極
の各段間に整流器が設けられているシェンケル型直流高
電圧発生装置において、各整流器の端子にそれぞれ一端
が接続されているリード線と、このリード線とシールド
電極とをそれぞれ接続する着脱可能のコネクタ部材とを
備え、このコネクタ部材によって、前記各整流器に接続
されているリード線の他端が、隣接する二つのシールド
電極の何れか一つに接続変更できるように構成されてい
ることを特徴とするものである。
の各段間に整流器が設けられているシェンケル型直流高
電圧発生装置において、各整流器の端子にそれぞれ一端
が接続されているリード線と、このリード線とシールド
電極とをそれぞれ接続する着脱可能のコネクタ部材とを
備え、このコネクタ部材によって、前記各整流器に接続
されているリード線の他端が、隣接する二つのシールド
電極の何れか一つに接続変更できるように構成されてい
ることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】直流出力電圧の極性切り換えは、整流器は着脱
せずに、その取付けはそのままにして、整流器のリード
線を隣接するシールド電極の何れか一方に切り換え接続
することにより行われ、この切り換えについては、着脱
可能のコネクタ部材による接続変更によるから、容易に
実施することができる。
せずに、その取付けはそのままにして、整流器のリード
線を隣接するシールド電極の何れか一方に切り換え接続
することにより行われ、この切り換えについては、着脱
可能のコネクタ部材による接続変更によるから、容易に
実施することができる。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１は実施例の組立て構成図、図２は図１の部分
拡大図、図３は整流器の接続変更についての説明図であ
る。なお図５ないし図６と同一符号は同等部分を示す。
シールド電極５、６の各段間に位置する整流器９、１０
の各端子１５は端子台１６に取り付けられており、同端
子台はボルトで絶縁台１７に固定されている。二つの絶
縁台１７は杆１８で結合されている。整流器のリード線
１９の一端は端子２０によって整流器の端子１５と共に
端子台１６に固定されており、リード線の他端には着脱
可能のコネクタ部材２１のプラグ部２２が取り付けられ
ている。このプラグ部のピン２３は導電部材２４の端部
に形成されたコネクタ部材のジャック部２５と弾性接触
し、電気的に接続される。導電部材２４はシールド電極
５、６の導電取付け片２６と共に絶縁台１７にボルトで
固定されており、導電取付け片２６の端部はシールド電
極５、６に固定されている取付け台２７を介してシール
ド電極に結合されている。
する。図１は実施例の組立て構成図、図２は図１の部分
拡大図、図３は整流器の接続変更についての説明図であ
る。なお図５ないし図６と同一符号は同等部分を示す。
シールド電極５、６の各段間に位置する整流器９、１０
の各端子１５は端子台１６に取り付けられており、同端
子台はボルトで絶縁台１７に固定されている。二つの絶
縁台１７は杆１８で結合されている。整流器のリード線
１９の一端は端子２０によって整流器の端子１５と共に
端子台１６に固定されており、リード線の他端には着脱
可能のコネクタ部材２１のプラグ部２２が取り付けられ
ている。このプラグ部のピン２３は導電部材２４の端部
に形成されたコネクタ部材のジャック部２５と弾性接触
し、電気的に接続される。導電部材２４はシールド電極
５、６の導電取付け片２６と共に絶縁台１７にボルトで
固定されており、導電取付け片２６の端部はシールド電
極５、６に固定されている取付け台２７を介してシール
ド電極に結合されている。
【００１１】図５ないし図６に示す高電圧出力端子８に
正極性の直流出力電圧を得るときには、図３に示すよう
に、整流器９の各リード線１９は、着脱可能のコネクタ
部材２１によって符号＋で示す隣接するシールド電極の
一方に対する実線接続位置を取るようにシールド電極５
と同６間に接続する。負極性の直流出力電圧を得る場
合、リード線１９のプラグ部２２をジャック部２５から
外し、符号−で示す隣接するシールド電極の他方に対す
る一点鎖線接続位置となるようにプラグ部２２をジャッ
ク部２５に挿入変更する。なお整流器１０のシールド電
極５、６に対する接続関係も同様であり、その図示を省
略する。
正極性の直流出力電圧を得るときには、図３に示すよう
に、整流器９の各リード線１９は、着脱可能のコネクタ
部材２１によって符号＋で示す隣接するシールド電極の
一方に対する実線接続位置を取るようにシールド電極５
と同６間に接続する。負極性の直流出力電圧を得る場
合、リード線１９のプラグ部２２をジャック部２５から
外し、符号−で示す隣接するシールド電極の他方に対す
る一点鎖線接続位置となるようにプラグ部２２をジャッ
ク部２５に挿入変更する。なお整流器１０のシールド電
極５、６に対する接続関係も同様であり、その図示を省
略する。
【００１２】図４はリード線１９と導電部材２４とを接
続する着脱可能のコネクタ部材についての他の実施例を
示す。リード線１９の他端には端子２８が取り付けられ
ており、この端子は導電部材２４にネジ２９によって固
定、接続されている。直流出力電圧の極性変更は、この
ネジ２９を外してリード線１９の端子２８を隣接するシ
ールド電極の他方に係る導電部材２４に接続変更するこ
とにより行われる。
続する着脱可能のコネクタ部材についての他の実施例を
示す。リード線１９の他端には端子２８が取り付けられ
ており、この端子は導電部材２４にネジ２９によって固
定、接続されている。直流出力電圧の極性変更は、この
ネジ２９を外してリード線１９の端子２８を隣接するシ
ールド電極の他方に係る導電部材２４に接続変更するこ
とにより行われる。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、着脱可
能のコネクタ部材を用い、リード線のつなぎ換えを行う
ように構成したので、直流出力電圧の極性切り換えが容
易に行え、整流器着脱の手間を省くことができるもので
あり、構造が簡易であるから極性切り換えを行うことが
できる直流高電圧発生装置を低コストで構成することが
できる。また、コネクタ部材としてプラグ、ジャック形
式のルーズコンタクト・コネクタを使用することにより
リード線のつなぎ換えの手間が省くことができ、ネジ止
め端子形式の場合にあっても整流器の各リード線毎にそ
の端末の一つのつなぎ換えで済むから整流器の着脱に比
べて接続変更作業を容易に実施することができる。
能のコネクタ部材を用い、リード線のつなぎ換えを行う
ように構成したので、直流出力電圧の極性切り換えが容
易に行え、整流器着脱の手間を省くことができるもので
あり、構造が簡易であるから極性切り換えを行うことが
できる直流高電圧発生装置を低コストで構成することが
できる。また、コネクタ部材としてプラグ、ジャック形
式のルーズコンタクト・コネクタを使用することにより
リード線のつなぎ換えの手間が省くことができ、ネジ止
め端子形式の場合にあっても整流器の各リード線毎にそ
の端末の一つのつなぎ換えで済むから整流器の着脱に比
べて接続変更作業を容易に実施することができる。
【図１】本発明の実施例の組立て構成図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】整流器の接続変更についての説明図である。
【図４】着脱可能のコネクタ部材についての他の実施例
の構成図である。
の構成図である。
【図５】シェンケル型高電圧発生装置の回路図である。
【図６】従来の極性変更が行えるシェンケル型高電圧発
生装置の回路図である。
生装置の回路図である。
5,6 シールド電極 9,10 整流器 15 整流器端子 19 リード線 21 着脱可能のコネクタ部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H02M 7/00 - 7/40
Claims (1)
- 【請求項１】 シールド電極の各段間に整流器が設けら
れているシェンケル型直流高電圧発生装置において、各
整流器の端子にそれぞれ一端が接続されているリード線
と、このリード線とシールド電極とをそれぞれ接続する
着脱可能のコネクタ部材とを備え、このコネクタ部材に
よって、前記各整流器に接続されているリード線の他端
を、隣接する二つのシールド電極の何れか一つに接続変
更して、直流出力電圧の極性を切り換えるように構成さ
れていることを特徴とするシェンケル型直流高電圧発生
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4248867A JP2776167B2 (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | シェンケル型直流高電圧発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4248867A JP2776167B2 (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | シェンケル型直流高電圧発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0678545A JPH0678545A (ja) | 1994-03-18 |
| JP2776167B2 true JP2776167B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=17184605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4248867A Expired - Lifetime JP2776167B2 (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | シェンケル型直流高電圧発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2776167B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5615289U (ja) * | 1979-07-13 | 1981-02-09 | ||
| JPS5822087U (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-10 | 株式会社明電舎 | 半導体整流装置 |
| JPS5895660U (ja) * | 1981-12-23 | 1983-06-29 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
| JPS60190186U (ja) * | 1984-05-23 | 1985-12-17 | 住友電装株式会社 | 連鎖接続型整流器 |
| JPH0811064Y2 (ja) * | 1988-07-12 | 1996-03-29 | 日新ハイボルテージ株式会社 | 直流高電圧発生装置 |
| JPH076714Y2 (ja) * | 1989-01-17 | 1995-02-15 | 日新ハイボルテージ株式会社 | 極性変換直流高電圧発生装置 |
-
1992
- 1992-08-26 JP JP4248867A patent/JP2776167B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0678545A (ja) | 1994-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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