JP2760385B2 - 放電加工装置 - Google Patents
放電加工装置Info
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- JP2760385B2 JP2760385B2 JP4056513A JP5651392A JP2760385B2 JP 2760385 B2 JP2760385 B2 JP 2760385B2 JP 4056513 A JP4056513 A JP 4056513A JP 5651392 A JP5651392 A JP 5651392A JP 2760385 B2 JP2760385 B2 JP 2760385B2
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- fluid
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主として、加工原点用
基準治具を加工起点として、被加工体に対する加工電極
の位置決めを行なうようにした放電加工装置に関するも
のである。
基準治具を加工起点として、被加工体に対する加工電極
の位置決めを行なうようにした放電加工装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】この種の放電加工装置においては、高い
加工精度を維持するために、被加工体に対する加工電極
の位置決めを精度良く行なう必要がある。しかるに、上
記放電加工を加工液中において行なうようにした放電加
工装置では、次のような問題がある。
加工精度を維持するために、被加工体に対する加工電極
の位置決めを精度良く行なう必要がある。しかるに、上
記放電加工を加工液中において行なうようにした放電加
工装置では、次のような問題がある。
【０００３】すなわち、上記放電加工装置では、図１５
および図１６に示すように、加工液１０５を出入りさせ
る槽１０７内に配置したテーブル１０６上に被加工体１
０４を装着し、自動制御手段などで、加工ヘッド１０１
に装備した加工電極１０２を降下して、被加工体１０４
にアクセスする際、同じく、上記槽１０７内に配置した
基準球（加工原点用基準治具）１０３に電極１０２Ａを
接触して、これを加工起点として、上記被加工体１０４
に対する上記加工電極１０２の位置決めを行なう。そし
て、放電加工に際しては、図１５に示すように、上記槽
１０７内に加工液１０５を満たし、被加工体１０４を上
記加工液１０５に浸漬する。同時に、上記基準球１０３
も上記加工液１０５に浸漬される。また、放電加工後
は、上記槽１０７から加工液１０５を放出して、液レベ
ルを下げ、上記加工電極１０２を上方に退避させ、次の
電極と交換し、これを、再び、図１６に示すように降下
し、電極１０２Ａを基準球１０３に接触させる。
および図１６に示すように、加工液１０５を出入りさせ
る槽１０７内に配置したテーブル１０６上に被加工体１
０４を装着し、自動制御手段などで、加工ヘッド１０１
に装備した加工電極１０２を降下して、被加工体１０４
にアクセスする際、同じく、上記槽１０７内に配置した
基準球（加工原点用基準治具）１０３に電極１０２Ａを
接触して、これを加工起点として、上記被加工体１０４
に対する上記加工電極１０２の位置決めを行なう。そし
て、放電加工に際しては、図１５に示すように、上記槽
１０７内に加工液１０５を満たし、被加工体１０４を上
記加工液１０５に浸漬する。同時に、上記基準球１０３
も上記加工液１０５に浸漬される。また、放電加工後
は、上記槽１０７から加工液１０５を放出して、液レベ
ルを下げ、上記加工電極１０２を上方に退避させ、次の
電極と交換し、これを、再び、図１６に示すように降下
し、電極１０２Ａを基準球１０３に接触させる。
【０００４】
【発明が解決しようとしている課題】ここで問題となる
のは、前段で加工液１０５に浸漬された基準球１０３に
は、その表面と上記加工液との相互の付着性で、上記加
工液の一部（図１６には符号１０５Ａで示されている）
が上記基準球１０３の頂部に残留することである。この
残留加工液１０５Ａは、その表面張力により盛上がった
状態で、かなりの量になるから、放電加工時に加工液１
０５中に拡散した塵埃が上記残留加工液１０５Ａ内に留
まると、電極１０２Ａが上記基準球１０３の頂部に接触
する時、これらの間に上記塵埃が挟まり、加工起点に誤
差を生じさせることになる。これは放電加工の精度に影
響する。
のは、前段で加工液１０５に浸漬された基準球１０３に
は、その表面と上記加工液との相互の付着性で、上記加
工液の一部（図１６には符号１０５Ａで示されている）
が上記基準球１０３の頂部に残留することである。この
残留加工液１０５Ａは、その表面張力により盛上がった
状態で、かなりの量になるから、放電加工時に加工液１
０５中に拡散した塵埃が上記残留加工液１０５Ａ内に留
まると、電極１０２Ａが上記基準球１０３の頂部に接触
する時、これらの間に上記塵埃が挟まり、加工起点に誤
差を生じさせることになる。これは放電加工の精度に影
響する。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、上記事情に基いてなされたも
ので、加工原点用基準治具の頂部に対する加工液の残留
を出来るだけ少なくし、排除できるように、その形状を
改良し、また、少なくとも、上記加工原点用基準治具の
近傍における加工液自体の汚損を回避し、放電加工の精
度を高く維持するようにした放電加工装置を提供しよう
とするものである。
ので、加工原点用基準治具の頂部に対する加工液の残留
を出来るだけ少なくし、排除できるように、その形状を
改良し、また、少なくとも、上記加工原点用基準治具の
近傍における加工液自体の汚損を回避し、放電加工の精
度を高く維持するようにした放電加工装置を提供しよう
とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このため、本発明では、
加工液中に浸漬された被加工体に対して加工電極をアク
セスして、放電加工する際、上記被加工体に対する上記
加工電極の加工起点となる加工原点用基準治具を、上記
加工液中に浸漬される状態で装備すると共に、この加工
液中での加工の間、上記被加工体側から上記加工原点用
基準治具を隔離する隔離手段を備えた放電加工装置にお
いて、上記隔離手段は、加工液中で原点用基準治具を隔
離する隔壁と、濾過された加工液を上記隔壁で囲まれた
上記加工原点用基準治具側に供給する手段とを具備し、
且つ、上記濾過加工液の供給圧力を用いて隔壁を昇降
し、隔離動作を実現する。
加工液中に浸漬された被加工体に対して加工電極をアク
セスして、放電加工する際、上記被加工体に対する上記
加工電極の加工起点となる加工原点用基準治具を、上記
加工液中に浸漬される状態で装備すると共に、この加工
液中での加工の間、上記被加工体側から上記加工原点用
基準治具を隔離する隔離手段を備えた放電加工装置にお
いて、上記隔離手段は、加工液中で原点用基準治具を隔
離する隔壁と、濾過された加工液を上記隔壁で囲まれた
上記加工原点用基準治具側に供給する手段とを具備し、
且つ、上記濾過加工液の供給圧力を用いて隔壁を昇降
し、隔離動作を実現する。
【０００７】従って、加工液中での加工の間、上記隔壁
により、被加工体側から加工原点用基準治具を隔離で
き、しかも、上記加工原点用基準治具の近傍における加
工液自体の汚損を回避し、放電加工の精度を高く維持す
ることができる。
により、被加工体側から加工原点用基準治具を隔離で
き、しかも、上記加工原点用基準治具の近傍における加
工液自体の汚損を回避し、放電加工の精度を高く維持す
ることができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図１ないし
図６を参照しながら詳細に説明する。ここでの放電加工
装置の各構成要素、すなわち、加工ヘッド１、加工電極
２、電極２Ａ、基準球（加工原点用基準治具）３、被加
工体４、加工液５、テーブル６、および、槽７について
の基本的機能は、上述の従来例の場合と同じなので、そ
の説明を省略し、本発明の要部について詳述する。すな
わち、上記基準球３は、例えば、その頂部の形状が、図
１および図２に示すように、頂端３Ａを残して、そこか
ら円錐形状にカットした形状になるように、尖鋭化して
あって、その頂部表面における加工液の付着を低減する
ようになっている。
図６を参照しながら詳細に説明する。ここでの放電加工
装置の各構成要素、すなわち、加工ヘッド１、加工電極
２、電極２Ａ、基準球（加工原点用基準治具）３、被加
工体４、加工液５、テーブル６、および、槽７について
の基本的機能は、上述の従来例の場合と同じなので、そ
の説明を省略し、本発明の要部について詳述する。すな
わち、上記基準球３は、例えば、その頂部の形状が、図
１および図２に示すように、頂端３Ａを残して、そこか
ら円錐形状にカットした形状になるように、尖鋭化して
あって、その頂部表面における加工液の付着を低減する
ようになっている。
【０００９】この場合、上記カットの角度が水平面に対
して１５ないし３９度であると、残留加工液５Ａと上記
基準球３の表面との相互の付着力よりも、上記残留加工
液５Ａの凝集力が打ち勝って、流れ落ちるか、たとえ、
付着した状態のまま、図３に示すように、カット面に残
留していても、頂端から離れていて、上記基準球３の頂
部に上記電極２Ａが接触する時、これらの間に塵埃など
が挟まれるおそれがないのである。なお、上記カットの
角度を１５度以下にすると、図４に示すように、表面張
力のために、残留加工液５Ａが上記基準球３の頂端を覆
った状態で頂部に残ることが実験から確認されていて、
この場合には、本発明の初期の目的を達成できない。ま
た、上記基準球３の側面に電極２Ａを接触し、基準位置
を測定する場合には、図５に示すように、カット面に残
留加工液５Ａが残されても、基準球３の表面と電極２Ａ
の表面との間に上記残留加工液５Ａが存在しないから、
測定の精度を高く維持できる。しかし、実験によれば、
上記カットの角度が水平面に対して４０度以上である
と、図６に示すように、残留加工液５Ａに上記電極２Ａ
の表面が接触する。この場合、上記残留加工液５Ａは、
その表面張力によりカット面上で安定していた状態が崩
れ、上記基準球３と電極との間に流れ込み、付着力で留
まるおそれがあるから、これでは本発明の初期の目的を
達成できない。従って、上述のように、カットの角度を
１５ないし３９度に選択することに意義がある。
して１５ないし３９度であると、残留加工液５Ａと上記
基準球３の表面との相互の付着力よりも、上記残留加工
液５Ａの凝集力が打ち勝って、流れ落ちるか、たとえ、
付着した状態のまま、図３に示すように、カット面に残
留していても、頂端から離れていて、上記基準球３の頂
部に上記電極２Ａが接触する時、これらの間に塵埃など
が挟まれるおそれがないのである。なお、上記カットの
角度を１５度以下にすると、図４に示すように、表面張
力のために、残留加工液５Ａが上記基準球３の頂端を覆
った状態で頂部に残ることが実験から確認されていて、
この場合には、本発明の初期の目的を達成できない。ま
た、上記基準球３の側面に電極２Ａを接触し、基準位置
を測定する場合には、図５に示すように、カット面に残
留加工液５Ａが残されても、基準球３の表面と電極２Ａ
の表面との間に上記残留加工液５Ａが存在しないから、
測定の精度を高く維持できる。しかし、実験によれば、
上記カットの角度が水平面に対して４０度以上である
と、図６に示すように、残留加工液５Ａに上記電極２Ａ
の表面が接触する。この場合、上記残留加工液５Ａは、
その表面張力によりカット面上で安定していた状態が崩
れ、上記基準球３と電極との間に流れ込み、付着力で留
まるおそれがあるから、これでは本発明の初期の目的を
達成できない。従って、上述のように、カットの角度を
１５ないし３９度に選択することに意義がある。
【００１０】図７ないし図９に示す基準球３の各実施例
では、頂端３Ａを上方に突出して、そこで電極２Ａと接
触するように構成し、カット面３Ｂは、上記頂端を残し
て、適当に下がった位置において、水平に形成されてい
る。このような形状でも、本発明の初期の目的を達成で
きる。
では、頂端３Ａを上方に突出して、そこで電極２Ａと接
触するように構成し、カット面３Ｂは、上記頂端を残し
て、適当に下がった位置において、水平に形成されてい
る。このような形状でも、本発明の初期の目的を達成で
きる。
【００１１】なお、上記実施例において、基準球３の表
面に対する残留加工液の付着力を低減するために、その
表面に、適当な材料のコーティングを施してもよい。
面に対する残留加工液の付着力を低減するために、その
表面に、適当な材料のコーティングを施してもよい。
【００１２】また、図１０ないし図１３に示すように、
上記加工電極２による加工液５中での加工の間、上記被
加工体４側から上記基準球３を隔離する隔離手段を備え
て、塵埃に汚損された加工液５が上記基準球３の表面を
汚損しないように工夫した機構が、本発明の放電加工装
置に装備されると良い。
上記加工電極２による加工液５中での加工の間、上記被
加工体４側から上記基準球３を隔離する隔離手段を備え
て、塵埃に汚損された加工液５が上記基準球３の表面を
汚損しないように工夫した機構が、本発明の放電加工装
置に装備されると良い。
【００１３】ここでは、槽７に供給される加工液の供給
経路が、特別に構成される。すなわち、図１０に示す実
施例には、加工液供給源８からポンプ９を介して直接、
上記槽７に加工液５を供給するルート１０の他に、ポン
プ１１、フィルター１２および切換えバルブ１３を経由
して、上記槽７内のシリンダ１４に上記加工液５を供給
するルート１５、１５’がある。上記切換えバルブ１３
は、そのソレノイドコイル１３ＡにＮＣ制御装置１６か
ら電気信号を受けることで、上記ルート１５、１５’に
対する上記加工液５の供給を選択し、また、上記加工液
供給源８への戻しルート１７を選択するように、切換え
られる。
経路が、特別に構成される。すなわち、図１０に示す実
施例には、加工液供給源８からポンプ９を介して直接、
上記槽７に加工液５を供給するルート１０の他に、ポン
プ１１、フィルター１２および切換えバルブ１３を経由
して、上記槽７内のシリンダ１４に上記加工液５を供給
するルート１５、１５’がある。上記切換えバルブ１３
は、そのソレノイドコイル１３ＡにＮＣ制御装置１６か
ら電気信号を受けることで、上記ルート１５、１５’に
対する上記加工液５の供給を選択し、また、上記加工液
供給源８への戻しルート１７を選択するように、切換え
られる。
【００１４】上記隔離手段は、図１１および図１２に詳
細に示すように、上記基準球３を支持するために上記槽
７内に直立する支柱３Ｃを囲繞して、上記シリンダ１４
を配置するとともに、上記シリンダ１４内で摺動するピ
ストン１８を、上記支柱３Ｃに摺動自在に嵌合する、絶
縁材からなる円筒状の隔壁１９に取り付けた構成になっ
ていて、上記ピストン１８で上下に仕切られた上記シリ
ンダ１４内の空間に、それぞれ、各ルート１５、１５’
を連通し、ポンプ圧を受けた清浄加工液を選択的に導入
し、反対側の加工液を上記戻しルート１７を介して上記
加工液供給源８に戻すようになっている。また、上記隔
離手段は、上記隔壁１９に通路１９Ａを形成しており、
上記ピストン１８が上記シリンダ１４の最上部に上昇し
た時（図１１参照）に、上記下側空間と、上記隔壁１９
および支柱３Ｃの上端で仕切られた空間とを、上記通路
１９Ａを介して連通し、これによって、下側空間の清浄
加工液を基準球３の周囲に供給するようになっている。
細に示すように、上記基準球３を支持するために上記槽
７内に直立する支柱３Ｃを囲繞して、上記シリンダ１４
を配置するとともに、上記シリンダ１４内で摺動するピ
ストン１８を、上記支柱３Ｃに摺動自在に嵌合する、絶
縁材からなる円筒状の隔壁１９に取り付けた構成になっ
ていて、上記ピストン１８で上下に仕切られた上記シリ
ンダ１４内の空間に、それぞれ、各ルート１５、１５’
を連通し、ポンプ圧を受けた清浄加工液を選択的に導入
し、反対側の加工液を上記戻しルート１７を介して上記
加工液供給源８に戻すようになっている。また、上記隔
離手段は、上記隔壁１９に通路１９Ａを形成しており、
上記ピストン１８が上記シリンダ１４の最上部に上昇し
た時（図１１参照）に、上記下側空間と、上記隔壁１９
および支柱３Ｃの上端で仕切られた空間とを、上記通路
１９Ａを介して連通し、これによって、下側空間の清浄
加工液を基準球３の周囲に供給するようになっている。
【００１５】このため、放電加工を実施するとき、ルー
ト１０および１５を介して、上記加工液供給源８から加
工液を上記槽７に供給すると、ルート１５を介して上記
シリンダ１４の下側空間に供給された加工液でピストン
１８が押し上げられ、図１２の状態から図１１の状態
に、隔壁１９が上昇し、基準球３を囲む。この状態で、
通路１９Ａを介して、シリンダ１４の下側空間から加工
液が上記基準球３の周囲に供給される。そして、上記加
工液は、最終的には上記隔壁１９の上縁を介して上記槽
７内に溢流する。なお、上記通路１９Ａを介して加工液
が上記シリンダ１４から流失することで、上記シリンダ
１４内でのピストン押し上げ圧力が、低減するが、この
場合、上記通路１９Ａの流量と、ポンプ容量との兼ね合
いで、上記ピストン１８にかかる所要圧力を維持するこ
とができる。
ト１０および１５を介して、上記加工液供給源８から加
工液を上記槽７に供給すると、ルート１５を介して上記
シリンダ１４の下側空間に供給された加工液でピストン
１８が押し上げられ、図１２の状態から図１１の状態
に、隔壁１９が上昇し、基準球３を囲む。この状態で、
通路１９Ａを介して、シリンダ１４の下側空間から加工
液が上記基準球３の周囲に供給される。そして、上記加
工液は、最終的には上記隔壁１９の上縁を介して上記槽
７内に溢流する。なお、上記通路１９Ａを介して加工液
が上記シリンダ１４から流失することで、上記シリンダ
１４内でのピストン押し上げ圧力が、低減するが、この
場合、上記通路１９Ａの流量と、ポンプ容量との兼ね合
いで、上記ピストン１８にかかる所要圧力を維持するこ
とができる。
【００１６】なお、上記実施例では、通路１９Ａを隔壁
１９の内部に貫通して形成しているが、図１３および図
１４に示すように、隔壁の内面に、溝状に形成しても良
いことは勿論である。また、上記実施例で、符号２０は
槽７から加工液供給源８へ加工液を戻すためのルートで
あり、そこには、上記ＮＣ制御装置で制御される開閉バ
ルブ２１が設けられおり、上記開閉バルブ２１は、基準
球３に電極をアクセスする時に、開放されて、上記槽７
内の加工液５のレベルを下げるために用いられる。
１９の内部に貫通して形成しているが、図１３および図
１４に示すように、隔壁の内面に、溝状に形成しても良
いことは勿論である。また、上記実施例で、符号２０は
槽７から加工液供給源８へ加工液を戻すためのルートで
あり、そこには、上記ＮＣ制御装置で制御される開閉バ
ルブ２１が設けられおり、上記開閉バルブ２１は、基準
球３に電極をアクセスする時に、開放されて、上記槽７
内の加工液５のレベルを下げるために用いられる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
加工液中に浸漬された被加工体に対して加工電極をアク
セスして、放電加工する際、上記被加工体に対する上記
加工電極の加工起点となる加工原点用基準治具を、上記
加工液中に浸漬される状態で装備すると共に、この加工
液中での加工の間、上記被加工体側から上記加工原点用
基準治具を隔離する隔離手段を備えた放電加工装置にお
いて、上記隔離手段は、加工液中で原点用基準治具を隔
離する隔壁と、濾過された加工液を上記隔壁で囲まれた
上記加工原点用基準治具側に供給する手段とを具備し、
且つ、上記濾過加工液の供給圧力を用いて隔壁を昇降
し、隔離動作を効率よく実現する。
加工液中に浸漬された被加工体に対して加工電極をアク
セスして、放電加工する際、上記被加工体に対する上記
加工電極の加工起点となる加工原点用基準治具を、上記
加工液中に浸漬される状態で装備すると共に、この加工
液中での加工の間、上記被加工体側から上記加工原点用
基準治具を隔離する隔離手段を備えた放電加工装置にお
いて、上記隔離手段は、加工液中で原点用基準治具を隔
離する隔壁と、濾過された加工液を上記隔壁で囲まれた
上記加工原点用基準治具側に供給する手段とを具備し、
且つ、上記濾過加工液の供給圧力を用いて隔壁を昇降
し、隔離動作を効率よく実現する。
【００１８】従って、加工液中での加工の間、上記隔壁
により、被加工体側から加工原点用基準治具を隔離で
き、しかも、上記加工原点用基準治具の近傍における加
工液自体の汚損を回避し、放電加工の精度を高く維持す
ることができる。
により、被加工体側から加工原点用基準治具を隔離で
き、しかも、上記加工原点用基準治具の近傍における加
工液自体の汚損を回避し、放電加工の精度を高く維持す
ることができる。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す概略構成図であ
る。
る。
【図２】本発明に係わる基準球の形状の拡大側面図であ
る。
る。
【図３】上記基準球の形状の機能を説明するための模式
的側面図である。
的側面図である。
【図４】同じく、基準球の形状の機能を説明するための
模式的側面図である。
模式的側面図である。
【図５】同じく、基準球の形状の機能を説明するための
模式的側面図である。
模式的側面図である。
【図６】同じく、基準球の形状の機能を説明するための
模式的側面図である。
模式的側面図である。
【図７】本発明に係わる基準球の形状の他の形態を示す
側面図である。
側面図である。
【図８】同じく、基準球の形状の他の形態を示す側面図
である。
である。
【図９】同じく、基準球の形状の他の形態を示す側面図
である。
である。
【図１０】本発明に係わる隔離手段の実施例を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図１１】上記隔離手段の使用態様を示す拡大縦断側面
図である。
図である。
【図１２】上記隔離手段の使用態様を示す拡大縦断側面
図である。
図である。
【図１３】上記隔離手段の他の実施例の拡大縦断側面図
である。
である。
【図１４】同じく、横断面図である。
【図１５】従来例の構成および使用態様を示す概略構成
図である。
図である。
【図１６】同じく、従来例の構成および使用態様を示す
概略構成図である。
概略構成図である。
１ 加工ヘッド ２ 加工電極 ２Ａ 電極 ３ 基準球（加工原点用基準治具） ３Ａ 頂端 ３Ｂ カット面 ３Ｃ 支柱 ４ 被加工体 ５ 加工液 ５Ａ 残留加工液 ６ テーブル ７ 槽 ８ 加工液供給源 ９ ポンプ １０ ルート １１ ポンプ １２ フィルター １３ 切換えバルブ １４ シリンダ １５、１５’ ルート １６ ＮＣ制御装置 １７ 戻しルート １８ ピストン １９ 隔壁 １９Ａ 通路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23H 7/26
Claims (5)
- 【請求項１】 加工液中に浸漬された被加工体に対して
加工電極をアクセスして、放電加工する際、上記被加工
体に対する上記加工電極の加工起点となる加工原点用基
準治具を、上記加工液中に浸漬される状態で装備すると
共に、この加工液中での加工の間、上記被加工体側から
上記加工原点用基準治具を隔離する隔離手段を備えた放
電加工装置において、上記隔離手段は、加工液中で原点
用基準治具を隔離する隔壁と、濾過された加工液を上記
隔壁で囲まれた上記加工原点用基準治具側に供給する手
段とを具備し、且つ、上記濾過加工液の供給圧力を用い
て隔壁を昇降し、隔離動作を実現することを特徴とする
放電加工装置。 - 【請求項２】 上記加工原点用基準治具の頂部の形状を
尖鋭化して、上記治具の頂部表面における加工液の付着
を低減するようにしたことを特徴とする請求項１に記載
の放電加工装置。 - 【請求項３】 上記加工原点用基準治具の頂部の形状
が、頂端を残して、そこから円錐形状にカットした形状
になっていることを特徴とする請求項１に記載の放電加
工装置。 - 【請求項４】 上記カットの角度が水平面に対して１５
ないし３９度であることを特徴とする請求項３に記載の
放電加工装置。 - 【請求項５】 上記加工原点用基準治具の表面に、加工
液の付着力を低減するためのコーティングを施してある
ことを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の放
電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056513A JP2760385B2 (ja) | 1992-02-10 | 1992-02-10 | 放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056513A JP2760385B2 (ja) | 1992-02-10 | 1992-02-10 | 放電加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05220627A JPH05220627A (ja) | 1993-08-31 |
| JP2760385B2 true JP2760385B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=13029210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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-
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