JP2756197B2 - 自動合焦装置 - Google Patents

自動合焦装置

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JP2756197B2
JP2756197B2 JP3085286A JP8528691A JP2756197B2 JP 2756197 B2 JP2756197 B2 JP 2756197B2 JP 3085286 A JP3085286 A JP 3085286A JP 8528691 A JP8528691 A JP 8528691A JP 2756197 B2 JP2756197 B2 JP 2756197B2
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    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/60Control of cameras or camera modules
    • H04N23/67Focus control based on electronic image sensor signals
    • H04N23/673Focus control based on electronic image sensor signals based on contrast or high frequency components of image signals, e.g. hill climbing method

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光学系の焦点調節を行う
自動合焦装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、自動合焦装置には、図12に示す
ようにワーク1に対して対物レンズ2及び鏡筒3からな
る光学系の焦点調節を行う装置がある。この装置では、
基台4上に移動台5が移動自在に支持され、この移動台
5上に対物レンズ2,鏡筒3及びカメラ6が一体に固定
される。カメラ6は鏡筒3及び対物レンズ2を介してワ
ーク1を撮像して映像信号を出力し、焦点検出部7がカ
メラ6からの映像信号よりワーク1の合焦位置を検出し
てこの合焦位置に応じた出力信号をモータ8へ出力す
る。モータ8は焦点検出部7の出力信号により駆動され
て移動台5を移動させることによりワーク1を合焦位置
へ移動させる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記自動合焦装置で
は、対物レンズ2の倍率(光学系全体の倍率)と移動台
5の最小移動ピッチとにより焦点検出部7のモータ8に
対する駆動制御を変えなければならないので、用途によ
り専用のものを準備する必要があって自由度が小さく、
各用途に柔軟に対応することが困難である。また、移動
台5のバックラッシュによりワーク1が合焦位置からず
れて位置合わせされ、この影響が無視できない。さら
に、この装置のワーク1に対する光学系の合焦位置と人
間の見たワーク1に対する光学系の合焦位置とがずれる
場合がある。本発明は上記欠点を改善し、用途に柔軟に
対応することができてバックラッシュによる影響や当該
装置による合焦位置と人間の目で観察部より見た被写体
の合焦位置とのずれを解消することができる自動合焦装
置を提供することを目的とする。
【0004】本発明は上記欠点を改善し、用途に柔軟に
対応することができてバックラッシュによる影響や人間
の目との合焦位置ずれを解消することができる自動合焦
装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、図1に示すように人間の目で被
写体を観察するための観察部と、支持体にて支持されて
いる被写体を光学系を介して撮像して映像信号を出力す
る撮像手段11と、合焦位置検索範囲および焦点調節の
移動ピツチを任意に設定する設定手段12と、前記撮像
手段11からの映像信号を前記設定手段12で設定され
た焦点調節の移動ピッチに対応した部分だけ抽出する抽
出手段13と、この抽出手段13で抽出された映像信号
より前記設定手段12で設定された合焦位置検索範囲内
で被写体の合焦位置を検出する焦点検出手段14と、こ
の焦点検出手段14の検出結果により前記支持体と前記
光学系との一方を移動させて焦点調節を行う駆動手段1
5と、前記一方を一旦所定の位置に戻した後に所定の方
向から予め設定されたバックラッシュ量及び、前記焦点
検出手段14による合焦位置と人間の目で前記観察部よ
り見た前記被写体の合焦位置とのずれに応じて予め設定
されたオフセット値だけ移動させて停止させるバックラ
ッシュ除去・オフセット補正手段16とを備えたもので
ある。
【0006】
【作用】請求項1の発明では、人間の目で観察部より被
写体が観察され、合焦位置検索範囲および焦点調節の移
動ピツチが設定手段12により任意に設定され、撮像手
段11が被写体を光学系を介して撮像して映像信号を出
力する。この撮像手段11からの映像信号が抽出手段1
3により設定手段12で設定された焦点調節の移動ピッ
チに対応した部分だけ抽出され、焦点検出手段14が抽
出手段13で抽出された映像信号より設定手段12で設
定された合焦位置検索範囲内で被写体の合焦位置を検出
する。駆動手段15が焦点検出手段14の検出結果によ
り支持体と光学系との一方を移動させて焦点調節を行
い、バックラッシュ除去・オフセット補正手段16が前
記一方を一旦所定の位置に戻した後に所定の方向から予
め設定されたバックラッシュ量及び、焦点検出手段14
による合焦位置と人間の目で観察部より見た被写体の
焦位置とのずれに応じて予め設定されたオフセット値だ
け移動させて停止させる。
【0007】
【実施例】図は本発明の一実施例を示す。
【0008】基台21にはワーク22が載置され、光学
系支持体23が基台21に固定される。光学系支持体2
3には固定台24が固定され、この固定台24に移動台
25がZ軸方向へ移動可能に取り付けられる。この移動
台25には対物レンズ26を有する顕微鏡からなる光学
系27及びテレビジョンカメラからなる撮像装置28が
一体に固定され、光学系27は基台21上に載置された
ワーク22を対物レンズ26を介して観察部29より観
察することができるものである。テレビジョンカメラ2
8は基台21上に載置されたワーク22を対物レンズ2
6を介して(光学系27を介して)撮像して映像信号に
変換する。ステッピングモータ30は光学系27を光軸
方向(Z軸方向)へ移動させてその焦点調節を行い得る
ように固定台24に取り付けられ、モータ駆動回路31
により駆動されて光学系27及び撮像素子からなるカメ
ラ28をZ軸方向へ移動させる。焦点調節部32は後述
するようにホストコンピュータ33からの信号により基
づいてカメラ28からの映像信号よりワーク22の合焦
位置を検出してこの合焦位置に応じた出力信号をモータ
駆動回路31に出力し、モータ駆動回路31が焦点調節
部32の出力信号によりステッピングモータ30を駆動
して光学系27及びカメラ28をZ軸方向へ移動させ焦
点調節を行う。また、モニタ用受像機34はカメラ28
からの映像信号が焦点調節部32を介して入力され、ワ
ーク22を表示する。
【0009】カメラ28からの映像信号は図に示すよ
うにゲート回路35において検出域設定部36からの信
号により特定の検出域内の信号が選択的に通過し、高域
通過フィルタ(HPF)37により高周波成分のみが取
り出される。このHPF37の出力信号はピークホール
ド回路38によりピークが検出されて保持されることに
より高周波成分の量が検出され、A/D変換器39によ
りA/D変換されて焦点調節部32へ出力される。
【0010】図は上記焦点調節部32の構成を示す。
【0011】焦点調節部32はマイクロコンピュータを
用いて構成され、機能的には制御部40,メモリ41,
合焦位置検出部42,バックラッシュ除去部43,オフ
セット補正部44を有する。A/D変換器39からの信
号が焦点調節部32に入力される度にその信号がメモリ
41に書き込まれる。移動台25は、バックラッシュ除
去部43により予め設定されたバックラッシュ量だけ移
動され、オフセット補正部44により予め設定されたオ
フセット値だけ移動される。このオフセットは、焦点
調節部32の合焦位置と、人間の目で観察部29より見
た、支持体としての基台21にて支持されているワーク
22からなる被写体に対する観察部29よりの光学系の
合焦位置(以下人間の目による合焦位置ともいう)との
ずれに応じて設定された値である。合焦位置検出部42
はバックラッシュによる影響及びオフセットが除去され
た映像信号からワーク22の合焦位置を検出する。この
合焦位置検出部42の検出結果(出力信号)と光学系2
7の位置との関係は図5に示すようになり、合焦位置検
出部42の検出結果は光学系27の位置が合焦位置のと
きに最大となって光学系27の位置が合焦位置より離れ
るに従って次第に小さくなる。
【0012】次に、焦点調節部32について詳細に説明
する。
【0013】焦点調節部32は移動台25を制御するた
めに2つのパラメータJ,Sを用いている。Jは焦点調
節動作時における移動台25の移動ピッチを決定する。
の目盛aは移動台25が停止してワーク22の撮像
を行う位置を示し、この目盛aの間隔を決定するパラメ
ータがJである。例えば、ステッピングモータ30を駆
動する1つのパルス当り0.2μm移動する移動台25
を用いると、移動台25をステッピングモータ30によ
り1μmピツチの移動ピッチで動かして焦点調節を行う
場合には、ホストコンピュータ33によりJを5に設定
して不揮発性のメモリ41に格納する。これにより焦点
調節部32はカメラ28からの映像信号を5つのパルス
がステッピングモータ30へ出力される毎にとり込む。
この移動台25の移動ピッチをユニットと呼ぶ。J=5
の場合は1ユニット当り5パルスとなる。
【0014】Sは合焦位置検索範囲を決定するパラメー
タであり、図に示すようにホストコンピュータ33に
よりS=50と設定してメモリ41に格納した場合、原
点から50サンプリングポイントの範囲で合焦位置を検
索する。
【0015】焦点調節の精度は光学系27の焦点深度と
移動台25の分解能によって左右され、光学系27の焦
点深度は光学系27の倍率が大きいほど浅くなって光学
系27のFナンバーが小さいほど浅くなる。したがつ
て、精度良く焦点調節をするためには、移動台25の移
動量が光学系27の焦点深度を考慮した量となるように
Jの値を設定しなければならない。本実施例では、図
に示すように1ユニット当りのパルス数Jは光学系27
の焦点深度の幅(ピントの合う範囲)が5〜10ユニッ
トになるように設定する。また、ステッピングモータ3
0を1パルス分だけ動かした場合の移動台25の移動量
が光学系27の焦点深度の1/5〜1/10以下になる
ような移動台25を使用する。
【0016】例えば、1ユニット当りのパルス数Jを設
定する場合には、まず、光学系27の焦点深度Dを求め
る。幾何学的に求めた焦点深度Dはおおよそ次式のよう
になる。
【0017】
【数1】
【0018】光学系27のF値が分かっている場合には
【0019】
【数2】
【0020】次に、ステッピングモータ30を1パルス
分だけ動かした場合の移動台25の移動量ΔZを次式で
求める。
【0021】
【数3】
【0022】また、1ユニット当りのパルス数JはDの
1/5〜1/10程度となるようにする。
【0023】
【数4】
【0024】焦点サーチ範囲は1ユニットに付き移動台
25がJ・ΔZ移動することを考慮してZ軸方向のワー
ク22のばらつきより大きくなるように設定する。
【0025】図はこの実施例の測距特性を示す。
【0026】この測距特性はm=40、NA=0.5、
q=800本、D=1.0μmの場合における移動台2
5の移動量と測距値との関係を示す特性である。
【0027】また、この実施例ではパラメータOを設定
する。このパラメータOはワーク22によって異なり、
図9に示すようにこの実施例による合焦位置と人間の目
による合焦位置とのずれに相当するオフセット値に設定
されており、上記ずれ量に対応するパルス数から逆算し
て必要なユニット数を求め、パラメータOの設定値とし
てある。観察部29より観察するのに適正値とするた
め、光学系27は実施例による合焦位置よりパラメータ
Oだけずれて停止し、これによりこの実施例による合焦
位置と人間の目による合焦位置とのずれが補正される。
【0028】さらに、この実施例では使用する移動台2
5のバックラッシュ量以上になるようにバックラッシュ
除去動作量Bを設定し、焦点調節動作時に移動台25の
バックラッシュを除去するような動作を行なう。この動
作では図10に示すように焦点調節動作を開始すると、
光学系27は現在位置から原点より(O+B)ユニッ
トだけ右側(図2でワーク22より離れる上側)の位置
まで一旦戻り、それから原点に戻ることにより移動
台25のバックラッシュに影響されずに正確に原点位置
に戻る。次に、光学系27が位置から焦位置検索範
囲Sのユニット数だけ離れた位置まで移動してカメラ
28からの映像信号のサンプリングを行ない、ピントの
最も合う合焦位置を計算する。そして、光学系27が上
記位置から合焦位置よりも上記パラメータOを加えた
(O+B)ユニットだけ右側の位置に一旦戻り、それ
から合焦位置よりOユニットだけ右側の位置まで移動
して停止することにより移動台25のバックラッシュに
影響されずに正確に合焦位置よりOユニットだけ右側の
位置に停止する。このように、光学系27は必ず右側
にBユニットだけ余分に移動してから左側にBユニット
だけ移動することにより移動台25のバックラッシュに
影響されなくなる。
【0029】図11はマイクロコンピュータを用いて構
成された焦点調節部32の処理フローを示す。
【0030】焦点調節部32は操作者によってホストコ
ンピュータ33から与えられる信号により上記パラメー
タJ,S,O,Bが移動台25の移動ピッチ,バックラ
ッシュ量や光学系27の焦点深度、この実施例による合
焦位置と人間の目による合焦位置とのずれ等に応じて設
定されてこれらを不揮発性のメモリ41に格納する。焦
点調節部32はパラメータJ,S,O,Bの設定後に焦
点調節動作を開始し、モータ駆動回路31を介してステ
ッピングモータ30を駆動して移動台25を移動させる
ことによって光学系27を現在位置から原点より(+
B)ユニットだけ右側の位置まで一旦戻し、それから
原点位置に戻す。次に、焦点調節部32は光学系27
を原点位置から焦位置検索範囲Sのユニット数だけ離
れた位置まで移動させながらカメラ28からの映像信
号を5つのパルスがステッピングモータ30へ出力され
る毎にサンプリングして取り込む。そして、焦点調節部
32はその取り込んだ映像信号から光学系27のピント
が最も合う合焦位置を計算する。次に、焦点調節部32
は光学系27を上記位置から合焦位置よりも(O+
B)ユニットだけ右側の位置に一旦戻し、それから合
焦位置よりも(O+B)ユニットだけ右側の位置まで
移動させて停止させる。
【0031】また、移動台25の移動範囲を制限する機
械的なリミットスイッチと電気的なリミットスイッチと
が設けられており、その移動範囲内で上記合焦位置検索
範囲が任意に設定される。機械的なリミットスイッチと
電気的なリミットスイッチとはそれぞれ移動台25が移
動範囲の制限位置に達したことを検出し、この検出信号
により移動範囲制限回路がステッピングモータ30を制
御して移動台25を移動範囲外に移動しないように制御
する。
【0032】この実施例では、パラメータJ,Sにより
移動台25の移動範囲、焦点位置検索範囲を任意に設定
できるので、光学系27の倍率や移動台25の移動ピッ
チが変わってもパラメータJ,Sの変更で対応すること
ができ、各用途に柔軟に対応することが可能になる。ま
た、パラメータOをこの実施例による合焦位置と人間の
目による合焦位置とのずれに応じて設定してその分だけ
光学系27をずらせるようにしたので、この実施例によ
る合焦位置と人間の目による合焦位置とを合わせること
が可能となる。さらに、パラメータBを任意に設定して
移動台25のバックラッシュによる影響を除去するよう
にしたので、移動台25のバックラッシュに影響されな
くなる。
【0033】なお、上記実施例では光学系27およびカ
メラ28を移動させたが、光学系27およびカメラ28
を固定して基台21をステッピングモータ30で移動さ
せるようにしてもよい。
【0034】
【発明の効果】以上のように請求項1の発明によれば、
人間の目で被写体を観察するための観察部と、支持体に
て支持されている被写体を光学系を介して撮像して映像
信号を出力する撮像手段と、合焦位置検索範囲および焦
点調節の移動ピツチを任意に設定する設定手段と、前記
撮像手段からの映像信号を前記設定手段で設定された焦
点調節の移動ピッチに対応した部分だけ抽出する抽出手
段と、この抽出手段で抽出された映像信号より前記設定
手段で設定された合焦位置検索範囲内で被写体の合焦位
置を検出する焦点検出手段と、この焦点検出手段の検出
結果により前記支持体と前記光学系との一方を移動させ
て焦点調節を行う駆動手段と、前記一方を一旦所定の位
置に戻した後に所定の方向から予め設定されたバックラ
ッシュ量及び、前記焦点検出手段による合焦位置と人間
の目で前記観察部より見た前記被写体の合焦位置とのず
れに応じて予め設定されたオフセット値だけ移動させて
停止させるバックラッシュ除去・オフセット補正手段と
を備えたので、光学系の倍率や上記一方の移動ピッチが
変わってもパラメータの変更で対応することができ、各
用途に柔軟に対応することが可能になる。しかも、前記
一方のバックラッシュによる影響を除去することがで
き、さらに、この装置による合焦位置と人間の目で観察
部より見た被写体の合焦位置とを合わせることが可能に
なってこの装置による合焦位置と人間の目で観察部より
見た被写体の合焦位置とのずれを解消することが可能と
なり、精度の良い焦点調節を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1の発明を示すブロック図である。
【図2】本発明の一実施例を示す概略図である。
【図3】同実施例の一部を示すブロックである。
【図4】同実施例の焦点検出部を示すブロック図であ
る。
【図5】同実施例の合焦検出部の検出結果と光学系位置
との関係を示す特性曲線図である。
【図6】同実施例のパラメータJを説明するための図で
ある。
【図7】同実施例のパラメータJ,Sを説明するための
図である。
【図8】同実施例の測距特性を示す特性図である。
【図9】同実施例のパラメータOを説明するための図で
ある。
【図10】同実施例の動作を説明するための図である。
【図11】同実施例の焦点調節部の処理フローを示すフ
ローチャートである。
【図12】従来の自動合焦装置を示す概略図である。
【符号の説明】
11 撮像手段 12 設定手段 13 抽出手段 14 焦点検出手段 15 駆動手段 16 バックラッシュ除去・オフセット補正手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02B 7/11

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】人間の目で被写体を観察するための観察部
    と、支持体にて支持されている被写体を光学系を介して
    撮像して映像信号を出力する撮像手段と、合焦位置検索
    範囲および焦点調節の移動ピツチを任意に設定する設定
    手段と、前記撮像手段からの映像信号を前記設定手段で
    設定された焦点調節の移動ピッチに対応した部分だけ抽
    出する抽出手段と、この抽出手段で抽出された映像信号
    より前記設定手段で設定された合焦位置検索範囲内で被
    写体の合焦位置を検出する焦点検出手段と、この焦点検
    出手段の検出結果により前記支持体と前記光学系との一
    方を移動させて焦点調節を行う駆動手段と、前記一方を
    一旦所定の位置に戻した後に所定の方向から予め設定さ
    れたバックラッシュ量及び、前記焦点検出手段による合
    焦位置と人間の目で前記観察部より見た前記被写体の
    焦位置とのずれに応じて予め設定されたオフセット値だ
    け移動させて停止させるバックラッシュ除去・オフセッ
    ト補正手段とを備えたことを特徴とする自動合焦装置。
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