JP2753160B2 - アクティブマトリックス形液晶表示素子の基板 - Google Patents

アクティブマトリックス形液晶表示素子の基板

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JP2753160B2 JP26085791A JP26085791A JP2753160B2 JP 2753160 B2 JP2753160 B2 JP 2753160B2 JP 26085791 A JP26085791 A JP 26085791A JP 26085791 A JP26085791 A JP 26085791A JP 2753160 B2 JP2753160 B2 JP 2753160B2
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pixel electrode
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、開口率を大幅に向上で
きる透過型および反射型のアクティブマトリックス形
晶表示素子の基板に関する。
【0002】
【従来の技術】アクティブマトリックス形液晶表示素子
は、ダイオード、バリスタ、MOS(金属−酸化物−半
導体)トランジスタ等のMIS(金属−絶縁−半導体)
トランジスタやTFT(薄膜トランジスタ)などからな
るスイッチ素子を各画素に設けて、このスイッチ素子に
より各画素のオン、オフを行うもので、クロストーク現
象がない等の利点を有している。
【0003】図6ないし図8は、スイッチ素子としてT
FTを用いた従来のアクティブマトリックス形液晶表示
素子の基板(以下、基板と略称する)を示す概略構成図
である。この基板は、ガラス基板1の上に複数の走査電
極2と信号電極3とがマトリックス状に配線されたもの
で、これら走査電極2と信号電極3とによって区切られ
た各画素にはスイッチ素子4と画素電極6が設けられて
いる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】アクティブマトリック
ス形液晶表示素子において、直接表示に関係する部分は
画素電極6の部分である。従って、画素電極6の部分の
面積比率(以下、開口率と記す)が大きいほど液晶表示
素子の画質は向上する。しかし電極2,3と画素電極6
との間やスイッチ素子4と画素電極6との間には、製作
上の都合から広い絶縁間隔が必要であり、これが開口率
を低下させる原因となっていた。
【0005】しかも前記従来の基板を用いた液晶表示素
においては、走査電極2や信号電極3の部分の電位に
起因する周辺電界の乱れが、画素電極6の周縁部にまで
及んでいたので、この電界の乱れに起因する画質低下を
避けるために、図7及び図8中2点鎖線で示すように、
画素電極6の周縁部をも覆う幅の広いブラックマスク7
を対向基板に設けなければ成らず、これも開口率を低下
させる原因となっていた。
【0006】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、アクティブマトリックス形液晶表示素子の開口率を
向上できる基板を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のアクティブマト
リックス形液晶表示素子の基板では、走査電極、信号電
極、スイッチ素子及び画素電極を覆う絶縁膜を設け、こ
の絶縁膜の上に画素電極及び信号電極上の一部又は全部
を含む範囲に及ぶ第2画素電極を各画素毎に他から絶縁
された状態で設けることによって、前記課題を解決し
た。さらに、上記構成に加えて、透明性容量電極を、
素電極の領域を切り欠いた部分に画素電極の領域と重な
らないように走査電極に接続させて形成したり、各走査
電極を、走査電極と第2画素電極との間で所定の容量値
を付与するため画素電極の領域に重ならずかつ第2画素
電極に一部重畳するように形成したりすることでより良
い効果を得ることができる。また、各画素に複数のスイ
ッチ素子と複数の画素電極が設けられたアクティブマト
リックス形液晶表示素子の基板においては、複数の画素
電極及び信号電極上の一部又は全部を含む範囲に及ぶ第
2画素電極を設けるとよい。
【0008】
【作用】本発明の基板では、スイッチ素子をオンして画
素電極に電荷を与えると、静電誘導によって第2の画素
電極に電荷が生じ、これによって画素上に存在する液晶
分子に電界が印加される。
【0009】この基板では、走査電極、信号電極、スイ
ッチ素子及び画素電極を覆う絶縁膜上に第2の画素電極
を設けたので、画素電極及びスイッチ素子上から走査電
極および信号電極上の一部又は全部を含む範囲に及ぶよ
うに第2の画素電極を各画素毎に形成できる。
【0010】そしてこのように第2の画素電極を形成す
ることによって、開口率を増すことができるうえに、走
査電極、信号電極、スイッチ素子の各部分の電位に起因
する電界の乱れを第2の画素電極によってシールドで
き、液晶分子の配向への影響を回避できる。
【0011】
【実施例】以下、図面を参照して本発明のアクティブマ
トリックス形液晶表示素子の基板を詳しく説明する。な
お前記従来例と同一構成部分には、同一符号を付して説
明を簡略化する。
【0012】(基本構成例) まず、以下の実施例の基本となるアクティブマトリック
ス形液晶表示素子の基板の構成、動作原理等について説
明する。 図1及び図2は、本発明のアクティブマトリッ
クス形液晶表示素子の基板の基本構成を示すもので、図
中符号10は絶縁膜である。この絶縁膜10は、走査電
極2、信号電極3、スイッチ素子4及び画素電極6を全
て覆うようにガラス基板1全面に渡って形成されてい
る。この絶縁膜10は、窒化シリコン(SiN)等の各
種の絶縁性材料によって形成される。
【0013】この絶縁膜10の上には、第2画素電極9
が設けられている。この第2画素電極9は、図1、図3
に示すように、画素電極(以下、第1画素電極と記す)
6を完全に覆い、さらに第1画素電極6に接続されてい
るスイッチ素子4および第1画素電極6を囲む走査電極
2、信号電極3の一部をも覆うように形成されている。
この第2画素電極9は、他から絶縁された状態で設けら
れている。即ち、走査電極2、信号電極3、スイッチ素
子4、第1画素電極6等と電気的に接続されていない独
立した状態で設けられている。
【0014】第2画素電極9は、第1画素電極6と同様
の導電性材料、例えばインジウムすず酸化物(ITO)
等を用いて形成できる。この第2画素電極9の膜厚は良
好な透明性を有するように、5000オングストローム
以下、好ましくは500〜2000オングストローム程
度に形成されることが望ましい。
【0015】この基板では、スイッチ素子4をオンして
第1画素電極6に電荷を与えると、静電誘導によって第
2画素電極9に電荷が生じ、これによって画素上に存在
する液晶分子に電界が印加される。
【0016】この基板では、走査電極2、信号電極3、
スイッチ素子4および画素電極6を覆う絶縁膜10上に
第2画素電極9を設けたので、第1画素電極6及びスイ
ッチ素子4上から走査電極2および信号電極3上の一部
又は全部を含む範囲に及ぶように第2画素電極9を各画
素毎に形成できた。従って、この基板を用いると、液晶
表示素子の開口率を増すことができる。
【0017】しかもこの基板では前記のように第1画素
電極6及びスイッチ素子4上から走査電極2および信号
電極3上の一部又は全部を含む範囲に及ぶように第2画
素電極9を形成したので、走査電極2、信号電極3、ス
イッチ素子4の部分の電位に起因する電界の乱れを第2
画素電極9によってシールドでき、液晶分子の配向への
影響を回避できた。従ってこの基板によれば、従来のよ
うにブラックマスクを設ける必要がなくこの点でも開口
率を向上できる。
【0018】加えてこの基板の第2画素電極9の膜厚は
液晶表示素子の動作特性に影響を与えないので、この基
板によればゾルゲル法またはバイアススパッタ法の様に
表面が平坦化できる方法で第2画素電極9を形成するこ
とにより第2画素電極9の膜厚を増して基板の平坦度を
向上し、高画質化を図ることができる。
【0019】なおこの基板を用いた場合でも、下記の通
り、液晶へ加わる電圧は従来の基板とほとんど同じであ
る。本発明の基板を用いた液晶表示素子では、図4に示
すように、各電極間に容量が形成される。図中CLCは液
晶容量、CSiN は絶縁膜容量、CPSは寄生容量、Vは第
1画素電極6の電位、VX は走査電極2、信号電極3あ
るいはスイッチ素子4の電位である。
【0020】従来の基板を用いた場合、液晶への印加電
圧VLC
【数1】 である。
【0021】他方この発明の基板を用いた場合、液晶へ
の印加電圧V′LC
【数2】 である。
【0022】しかしCPS《 CSiN なので、CPSはほと
んど0と見なすことができ、
【数3】 と成る。
【0023】従ってこの発明の基板を用いた場合でも、
液晶へ印加される電圧は従来とほとんど同じである。
【0024】またこの基板に於て新たに設けた第2画素
電極9を形成する材料には、以下に説明するように、I
TOよりもかなり比抵抗の大きな材料でも利用できる。
図5は本発明の基板を用いた液晶表示素子の画素部の等
価回路を示すものである。図中Ronはスイッチ素子4
のオン時の抵抗値、R2 は第2画素電極9の抵抗、CLC
は液晶容量である。
【0025】Ronは通常約106 Ωであり、R2 はR
2《 Ronであることが必要なので、仮にR2 <1Ωを
目標にすると、
【数4】 S:画素面積 t:第1画素電極6の膜厚 ρ2:第2画素電極9をなす材料の比抵抗
【0026】ここでS=100μm×100μm,t=
1μmと仮定すると、ρ2 <100ΩcmであればR2
<1Ωとなる。
【0027】一般的なITOの比抵抗は200μΩcm
なので、前記の結果からこの基板の第2画素電極9をな
す材料にはITOよりも約6桁比抵抗が大きいものまで
利用できることが分かる。
【0028】(実施例1) 図9は本実施例の基板を示す平面図である。この実施例
の基板が基本構成の基板と異なる点は、一つの第2画素
電極9に対して複数(図9においては3個)のスイッチ
素子41,42,43及びこれらと接続された複数(図
9においては3個)の画素電極61,62,63を有す
る点である。本実施例では、基本構成の基板と同様の効
果に加えて下記の特有の効果がある。すなわち一つの第
2画素電極9に対向している複数のスイッチ素子のう
ち、たとえ一つのスイッチ素子が不良となったとして
も、液晶表示素子として決定的な不良となることを防ぐ
ことが出来る。
【0029】まずスイッチ素子41に断線欠陥が生じて
いた場合について説明する。この場合スイッチ素子41
に接続された画素電極61がフローティング状態となる
だけで、第2画素電極9の電位は、正常なスイッチ電極
42,43に対応する画素電極62,63の電位により
決定され、液晶表示素子としては全く欠陥を生じない。
更に2個のスイッチ素子41及び42に断線欠陥が生じ
ていた場合も全く同様に、スイッチ素子41,42に接
続された画素電極61,62がフローティング状態とな
るだけで、第2画素電極9の電位は、正常なスイッチ電
極43に対応する画素電極63の電位により決定され、
液晶表示素子としては全く欠陥を生じない。
【0030】次にスイッチ素子41に短絡欠陥が生じて
いた場合について説明する。この場合スイッチ素子41
に接続された画素電極61はエラー電位VE となる。ス
イッチング素子41が正常であった場合の画素電極61
の電位をVX とすると、第2画素電極9の電位VLC
【0031】
【数5】
【0032】となる。エラー電位VE は最悪の場合、V
E =−VX であり、このときの画素電極9の電位VLC
【0033】
【数6】
【0034】となる。すべてのスイッチング素子41,
42及び43が正常であった場合の第2画素電極9の電
位VLCOK
【0035】
【数7】
【0036】であるため、最悪で約30%の電位変化が
生じるものの、全くの黒点または白点となることは無
い。
【0037】本実施例では、一つの第2画素電極9に対
して3個のスイッチ素子41,42,43及びこれらと
接続された3個の画素電極61,62,63を有する場
合について説明したが、本実施例はこれに限られる物で
はなく、一つの第2画素電極9に対してn個のスイッチ
素子及びこれらと接続されたn個の画素電極を有する場
合にも有効であり、この場合の第2画素電極9の電位V
LC及びVLCOK
【0038】
【数8】 及び
【数9】
【0039】となり、nが大きいほど第2画素電極9の
電位変化は小さくなり、画質の劣化が起こりにくくな
る。
【0040】(実施例2) 図10は本実施例の基板を示す平面図であり、図11は
図10のA−A線視断面図である。この実施例の基板が
基本構成の基板と異なる点は、走査電極2の線幅を広く
し、図10及び図11に示したように次段に隣接する走
査電極2の大部分を覆うように第2画素電極9を形成し
た点である。ただし、広幅にした走査電極2は画素電極
6とは重なっていない。本実施例では、基本構成の基板
と同様の効果に加えて下記の特有の効果がある。すなわ
ち第2画素電極9と、隣接しているが当の第2画素電極
9に対向する画素電極6を駆動するためのスイッチ素子
4には接続されていない走査電極2とが、絶縁膜10を
介して対向しているため、この第2画素電極9と走査電
極2との間で容量を持つことになり、液晶表示素子をス
イッチ素子4で駆動する時の電荷保持用の容量素子とし
ての機能を合わせ持つ事ができる。ここで、第2画素電
極9により覆われる走査電極2の面積を適宜設定するこ
とにより、容量値を電荷保持用として最適な値に設定す
ることができる。
【0041】(実施例3) 図12は本実施例の基板を示す平面図であり、図13は
図12のA−A線視断面図である。この実施例の基板が
実施例2の基板と異なる点は、第1画素電極6の領域を
切り欠いて設けた凹部6a内にこの第1画素電極6の領
域と重ならないように走査電極2に接続して容量電極1
1を第1画素電極6と同じ材料で形成した点である。本
実施例でも実施例2と同様の効果が得られる。以上第2
画素電極9の材質としてITOを例示したが、第2画素
電極9の材質はこれにかぎられるものではなく、反射型
アクティブマトリックス形液晶表示素子の基板において
はAlの様な金属であっても良い。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように本発明のアクティブ
マトリックス形液晶表示素子の基板は、走査電極、信号
電極、スイッチ素子及び画素電極を覆う絶縁膜を設け、
この絶縁膜の上に他から絶縁された状態で第2画素電極
を設けたものなので、画素電極及びスイッチ素子上から
走査電極および信号電極上の一部又は全部を含む範囲に
及ぶように第2の画素電極を各画素毎に形成できた。従
って、本発明の基板を用いると、透過型および反射型の
液晶表示素子の開口率を増すことができる。
【0043】しかも本発明の基板では前記のように画素
電極及びスイッチ素子上から走査電極および信号電極上
の一部又は全部を含む範囲に及ぶように第2の画素電極
9を各画素毎に形成したので、走査電極、信号電極、ス
イッチ素子の部分の電位に起因する電界の乱れを第2の
画素電極によってシールドでき、液晶分子の配向への影
響を回避できた。従って本発明の基板によれば、従来の
ようにブラックマスクを設ける必要がなくこの点でも
晶表示素子の開口率を向上できる。
【0044】加えて本発明の基板の第2の画素電極の膜
厚は液晶表示素子の動作特性に影響を与えないので、こ
の基板によれば第2の画素電極の膜厚を増して基板の平
坦度を向上し、高画質化を図ることができる。
【0045】 そして、本発明の基板は、以上の基本的な
構成に基づく効果に加えて、次のような特有の効果を有
している。複数の画素電極及び信号電極上の一部又は全
部を含む範囲に及ぶ第2画素電極を設けた基板の場合、
一つの第2画素電極に対向している複数のスイッチ素子
のうち、たとえ一つのスイッチ素子に断線欠陥、短絡欠
陥等の不良が発生したとしても、液晶表示素子として決
定的な不良となることを防ぐことができる。また、第2
画素電極に対向する容量電極を走査電極に接続して形成
した場合、あるいは、走査電極の線幅を各画素電極にお
いて広幅に形成した場合、第2画素電極と容量電極また
は走査電極との間で容量を持つことになり、液晶表示素
子をスイッチ素子で駆動する時の電荷保持用の容量素子
としての機能を合わせ持つ事ができる。ここで、容量電
極の面積、または第2画素電極により覆われる走査電極
の面積を適宜設定することにより、容量値を電荷保持用
として最適な値に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1のアクティブマトリックス形液晶表示
素子の基板を示す図3中A−A線視断面図。
【図2】同基板を示す図3中B−B線視断面図。
【図3】同基板を示す平面図。
【図4】同基板を用いた液晶表示素子における各電極間
に形成される容量を示す図。
【図5】同基板を用いた液晶表示素子の画素部の等価回
路を示す図。
【図6】従来の基板を示す斜視図。
【図7】図6中C−C線視断面図。
【図8】図6中D−D線視断面図。
【図9】実施例2のアクティブマトリックス形液晶表示
素子の基板を示す平面図。
【図10】実施例3のアクティブマトリックス形液晶表
示素子の基板を示す平面図。
【図11】図10中A−A線視断面図。
【図12】実施例4のアクティブマトリックス形液晶表
示素子の基板を示す平面図。
【図13】図12中A−A線視断面図。
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 走査電極 3 信号電極 4 スイッチ素子 6 画素電極6a (画素電極に設けた)凹部 7 ブラックマスク 9 第2画素電極 10 絶縁膜 11 容量電極 41 スイッチ素子 42 スイッチ素子 43 スイッチ素子 61 スイッチ素子41に接続された画素電極 62 スイッチ素子42に接続された画素電極 63 スイッチ素子43に接続された画素電極

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 走査電極と信号電極とがマトリックス状
    に配線され、これら走査電極と信号電極とによって区切
    られた各画素にスイッチ素子と透明性画素電極が設けら
    れたアクティブマトリックス形液晶表示素子の基板にお
    いて、 前記走査電極、信号電極、スイッチ素子及び画素電極を
    覆う絶縁膜を設け、この絶縁膜の上に画素電極及び信号
    電極上の一部又は全部を含む範囲に及ぶ透明性第2画素
    電極を各画素毎に他から絶縁された状態で設けるととも
    に、透明性容量電極を、前記画素電極の領域を切り欠い
    た部分に前記画素電極の領域と重ならないように走査電
    極に接続させて形成したことを特徴とするアクティブマ
    トリックス形液晶表示素子の基板。
  2. 【請求項2】 走査電極と信号電極とがマトリックス状
    に配線され、これら走査電極と信号電極とによって区切
    られた各画素にスイッチ素子と画素電極が設けられた反
    射型アクティブマトリックス形液晶表示素子の基板にお
    いて、 前記走査電極、信号電極、スイッチ素子及び画素電極を
    覆う絶縁膜を設け、この絶縁膜の上に画素電極及び信号
    電極上の一部又は全部を含む範囲に及ぶ光反射性第2画
    素電極を各画素毎に他から絶縁された状態で設けるとと
    もに、前記各走査電極を、走査電極と前記第2画素電極
    との間で所定の容量値を付与するため前記画素電極の領
    域に重ならずかつ前記第2画素電極に一部重畳するよう
    形成したことを特徴とするアクティブマトリックス形
    液晶表示素子の基板。
  3. 【請求項3】 走査電極と信号電極とがマトリックス状
    に配線され、これら走査電極と信号電極とによって区切
    られた各画素に複数のスイッチ素子と複数の画素電極が
    設けられたアクティブマトリックス形液晶表示素子の基
    板において、 前記走査電極、信号電極、スイッチ素子及び画素電極を
    覆う絶縁膜を設け、この絶縁膜の上に複数の画素電極及
    び信号電極上の一部又は全部を含む範囲に及ぶ第2画素
    電極を各画素毎に他から絶縁された状態で設けたことを
    特徴とするアクティブマトリックス形液晶表示素子の基
    板。
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