JP2747473B2 - ＮＯｘ混入を防止できる液化炭酸ガス製造装置 - Google Patents
ＮＯｘ混入を防止できる液化炭酸ガス製造装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は燃焼排ガスからＰＳＡ法
により液化炭酸ガスを製造する装置に関するものであ
る。
により液化炭酸ガスを製造する装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】燃焼排ガス中のＣＯ2をＰＳＡ法によっ
て回収した炭酸ガスには一般的にＣＯ2以外にＮ2、
Ｏ2、ＮＯx等が極少量存在する。Ｎ2、Ｏ2等は炭酸ガス
の液化の際に気相側に移動しそのほとんどを除去できる
が、ＮＯxについては液化工程によっても除かれること
なくそのほとんどを液化ガス中に取り込まれるため、液
化工程に先がけて除去する必要がある。
て回収した炭酸ガスには一般的にＣＯ2以外にＮ2、
Ｏ2、ＮＯx等が極少量存在する。Ｎ2、Ｏ2等は炭酸ガス
の液化の際に気相側に移動しそのほとんどを除去できる
が、ＮＯxについては液化工程によっても除かれること
なくそのほとんどを液化ガス中に取り込まれるため、液
化工程に先がけて除去する必要がある。
【０００３】従来ＮＯxの除去方法として、(1) ＫＭnＯ
4水溶液により酸化吸収する方法、(2) ＮＯxのうちＮＯ
を酸化剤を担持した吸着剤により全てＮＯxに酸化し、
その後アルカリ吸収あるいは吸着する方法、(3) 触媒に
より分解除去する方法が知られている。
4水溶液により酸化吸収する方法、(2) ＮＯxのうちＮＯ
を酸化剤を担持した吸着剤により全てＮＯxに酸化し、
その後アルカリ吸収あるいは吸着する方法、(3) 触媒に
より分解除去する方法が知られている。
【０００４】これらのうち、ＫＭnＯ4水溶液で洗浄する
方法及びＮＯを酸化してアルカリ吸収あるいは吸着する
方法はいずれも脱ＮＯx率が低いことから現在では触媒
によって分解除去する方法が主になっている。触媒で除
去する方法としては、貴金属触媒を用いてＯ2の存在下
でNOをＮＯ2に酸化し、これを吸着除去する方法が知ら
れている（特開平１−290518号公報）。また、ＮＯxを
パラジウム等の貴金属触媒を用いてＨ2の存在下で還元
してＮ2とＨ2Ｏに分解して除去する方法も知られている
（特開平２−43923号公報）。
方法及びＮＯを酸化してアルカリ吸収あるいは吸着する
方法はいずれも脱ＮＯx率が低いことから現在では触媒
によって分解除去する方法が主になっている。触媒で除
去する方法としては、貴金属触媒を用いてＯ2の存在下
でNOをＮＯ2に酸化し、これを吸着除去する方法が知ら
れている（特開平１−290518号公報）。また、ＮＯxを
パラジウム等の貴金属触媒を用いてＨ2の存在下で還元
してＮ2とＨ2Ｏに分解して除去する方法も知られている
（特開平２−43923号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】燃焼排ガスよりＰＳＡ
法にて回収された炭酸ガスにはＮ2、Ｏ2、ＮＯx以外に
頻度はさほど大きくないが、ＣＯガスが混入することが
ある。これは原料ガスである燃焼排ガス中に燃焼条件の
コントロール不良時ＣＯが生成し、これがＰＳＡ装置に
て完全に分離できないためである。このＣＯがＮＯxを
分解する貴金属触媒を被毒させ一時的に失活させる。従
ってその間ＮＯxの分解が起こらずＮＯxを含んだ不良液
化炭酸ガスが製造されてしまう。
法にて回収された炭酸ガスにはＮ2、Ｏ2、ＮＯx以外に
頻度はさほど大きくないが、ＣＯガスが混入することが
ある。これは原料ガスである燃焼排ガス中に燃焼条件の
コントロール不良時ＣＯが生成し、これがＰＳＡ装置に
て完全に分離できないためである。このＣＯがＮＯxを
分解する貴金属触媒を被毒させ一時的に失活させる。従
ってその間ＮＯxの分解が起こらずＮＯxを含んだ不良液
化炭酸ガスが製造されてしまう。
【０００６】本発明は上記のような問題点を解決するた
めになされたものでＮＯxを含まない高純度の液化炭酸
ガスを簡便な手段で安定して製造しうる装置を提供する
ことを目的としている。
めになされたものでＮＯxを含まない高純度の液化炭酸
ガスを簡便な手段で安定して製造しうる装置を提供する
ことを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題は、断続的にＣ
Ｏガスが混入する燃焼排ガスから炭酸ガスを吸着回収す
るＰＳＡ装置と、該回収炭酸ガス中のＮＯｘを水素で還
元分解除去し、ＣＯガスによって被毒するが該被毒は一
時的である貴金属系触媒を収容した反応器と、該ＮＯｘ
除去炭酸ガスを液化する液化コンデンサを有し、前記貴
金属系触媒を収容した反応器と液化コンデンサの間のラ
インにはＮＯｘ計およびラインの流れを切換える弁を介
して炭酸ガス抜出ラインが接続され、さらに該ＮＯｘ計
の出力信号により前記弁によるラインの切換えを指示す
るシーケンサが設けられていることをと特徴とする、該
貴金属系触媒の被毒中も運転を続ける液化炭酸ガス製造
装置、及び断続的にＣＯガスが混入する燃焼排ガスをＰ
ＳＡ装置に供給して炭酸ガスを吸着回収し、該回収炭酸
ガスを、ＣＯガスによって被毒するが該被毒は一時的で
ある貴金属系触媒に接触させてこの炭酸ガス中のＮＯｘ
を水素で還元分解除去し、該ＮＯｘ除去炭酸ガスのＮＯ
ｘ濃度を測定して予め設定しておいた濃度を越えたとき
には前記触媒がＣＯにより被毒中であるとして該炭酸ガ
スを炭酸ガス液化コンデンサには送らずに抜き出し、前
記設定濃度以下になったときは前記触媒のＣＯガスによ
る被毒が解消したとして該炭酸ガスを炭酸ガス液化コン
デンサに送って液化することを特徴とする、該貴金属系
触媒の被毒中も運転を続ける液化炭酸ガスの製造方法に
よって解決される。
Ｏガスが混入する燃焼排ガスから炭酸ガスを吸着回収す
るＰＳＡ装置と、該回収炭酸ガス中のＮＯｘを水素で還
元分解除去し、ＣＯガスによって被毒するが該被毒は一
時的である貴金属系触媒を収容した反応器と、該ＮＯｘ
除去炭酸ガスを液化する液化コンデンサを有し、前記貴
金属系触媒を収容した反応器と液化コンデンサの間のラ
インにはＮＯｘ計およびラインの流れを切換える弁を介
して炭酸ガス抜出ラインが接続され、さらに該ＮＯｘ計
の出力信号により前記弁によるラインの切換えを指示す
るシーケンサが設けられていることをと特徴とする、該
貴金属系触媒の被毒中も運転を続ける液化炭酸ガス製造
装置、及び断続的にＣＯガスが混入する燃焼排ガスをＰ
ＳＡ装置に供給して炭酸ガスを吸着回収し、該回収炭酸
ガスを、ＣＯガスによって被毒するが該被毒は一時的で
ある貴金属系触媒に接触させてこの炭酸ガス中のＮＯｘ
を水素で還元分解除去し、該ＮＯｘ除去炭酸ガスのＮＯ
ｘ濃度を測定して予め設定しておいた濃度を越えたとき
には前記触媒がＣＯにより被毒中であるとして該炭酸ガ
スを炭酸ガス液化コンデンサには送らずに抜き出し、前
記設定濃度以下になったときは前記触媒のＣＯガスによ
る被毒が解消したとして該炭酸ガスを炭酸ガス液化コン
デンサに送って液化することを特徴とする、該貴金属系
触媒の被毒中も運転を続ける液化炭酸ガスの製造方法に
よって解決される。
【０００８】燃焼排ガスは燃焼の結果炭酸ガスを生成し
たものであればよく、原料も石炭、石油、天然ガス等そ
の種類を問わないが、ＣＯ2含有量の多い方が経済的に
有利である。
たものであればよく、原料も石炭、石油、天然ガス等そ
の種類を問わないが、ＣＯ2含有量の多い方が経済的に
有利である。
【０００９】ＰＳＡ法も要は加圧して炭酸ガスを吸着剤
に吸着させ、次いで減圧して炭酸ガスを脱着させるもの
であればよい。このＰＳＡ装置から排出される炭酸ガス
は原料ガス組成により異なるが通常ＣＯ2 97〜99.5％程
度、特に98.5〜99％程度、ＮＯx 50〜200ppm程度、特に
50〜100ppm程度が一般的である。
に吸着させ、次いで減圧して炭酸ガスを脱着させるもの
であればよい。このＰＳＡ装置から排出される炭酸ガス
は原料ガス組成により異なるが通常ＣＯ2 97〜99.5％程
度、特に98.5〜99％程度、ＮＯx 50〜200ppm程度、特に
50〜100ppm程度が一般的である。
【００１０】ＰＳＡ装置の出口側にＮＯｘをＨ2で還元
分解する貴金属触媒を配置する。貴金属触媒には白金、
パラジウム、ロジウム、ルテニウム、金等が知られるが
好ましい触媒は白金である。Ｈ2の量はガス中に存在す
るＯ2およびＮＯｘの量により定められる。その量はＯ2
に対して０.５〜２倍モルおよびＮＯｘに対して３〜７
倍モルの合計量である。反応温度は４０〜１００℃程度
が好ましい。４０℃未満ではＮＯｘの分解が不充分にな
り、一方 １００℃を越えるとＮＨ3等が副生しやすくな
るので実用的には５０〜６０℃が好ましい。
分解する貴金属触媒を配置する。貴金属触媒には白金、
パラジウム、ロジウム、ルテニウム、金等が知られるが
好ましい触媒は白金である。Ｈ2の量はガス中に存在す
るＯ2およびＮＯｘの量により定められる。その量はＯ2
に対して０.５〜２倍モルおよびＮＯｘに対して３〜７
倍モルの合計量である。反応温度は４０〜１００℃程度
が好ましい。４０℃未満ではＮＯｘの分解が不充分にな
り、一方 １００℃を越えるとＮＨ3等が副生しやすくな
るので実用的には５０〜６０℃が好ましい。
【００１１】上記触媒と炭酸ガス液化コンデンサの間に
ＮＯx計及び炭酸ガス抜出ラインを接続する。ＮＯx計は
要は炭酸ガスを抜出すか液化コンデンサに送気するかの
限界値を検出しうるものであればよくその種類は問わな
い。炭酸ガス抜出ラインの接続位置は通常はＮＯx計よ
り液化コンデンサ側である。炭酸ガスを液化コンデンサ
に送るか抜出ラインに送るかを切換えるために抜出ライ
ン分岐部と液化コンデンサの間及び抜出ラインに弁を設
ける必要がある。この弁は別個に設けてもよく、分岐部
に切換弁を設けてもよい。ＮＯx計の出力信号によりこ
れらの弁を自動的に操作しうるようにしておくことが好
ましい。抜出ラインの先端は解放しておいてもよいが、
ＰＳＡ装置の入口側へ接続して循環ラインを形成しても
よい。この弁の操作方法はＮＯx計が一定濃度を越える
ＮＯxを検知したときに弁を切り換えて炭酸ガスを抜出
ラインに送り、ＮＯx濃度が一定値以下になったら弁を
切り換えて元に復帰させればよい。この一定値は液化炭
酸ガス製品あるいはドライアイス等のそれから得られる
製品の規格等から定まることはいうまでもない。
ＮＯx計及び炭酸ガス抜出ラインを接続する。ＮＯx計は
要は炭酸ガスを抜出すか液化コンデンサに送気するかの
限界値を検出しうるものであればよくその種類は問わな
い。炭酸ガス抜出ラインの接続位置は通常はＮＯx計よ
り液化コンデンサ側である。炭酸ガスを液化コンデンサ
に送るか抜出ラインに送るかを切換えるために抜出ライ
ン分岐部と液化コンデンサの間及び抜出ラインに弁を設
ける必要がある。この弁は別個に設けてもよく、分岐部
に切換弁を設けてもよい。ＮＯx計の出力信号によりこ
れらの弁を自動的に操作しうるようにしておくことが好
ましい。抜出ラインの先端は解放しておいてもよいが、
ＰＳＡ装置の入口側へ接続して循環ラインを形成しても
よい。この弁の操作方法はＮＯx計が一定濃度を越える
ＮＯxを検知したときに弁を切り換えて炭酸ガスを抜出
ラインに送り、ＮＯx濃度が一定値以下になったら弁を
切り換えて元に復帰させればよい。この一定値は液化炭
酸ガス製品あるいはドライアイス等のそれから得られる
製品の規格等から定まることはいうまでもない。
【００１２】
【作用】燃焼中におけるＣＯの発生は断続的であり、そ
の燃焼排ガス中の濃度も一定でないことが多い。ＰＳＡ
装置で吸着されたＣＯは脱着工程時の比較的初期に放出
されるので、ＰＳＡ装置を経た炭酸ガス中のＣＯガスは
さらに断続的な発生となることが分かった。ＮＯx触媒
のＣＯガスによる一時的被毒現象はＣＯの存在により直
ちに発生し、また消失すれば再び直ちに回復する。この
一時的な被毒は触媒温度が低い場合にはＣＯ濃度が極め
て低くても起こる。失活している間の時間はCO濃度に依
存し、通常多く認められている500ppm程度で５分間程度
である。従って最大５分間のガスを製品ガスとしないよ
うプロセスラインから除去できれは、ＮＯx混入のない
液化炭酸ガスを製造することが可能である。
の燃焼排ガス中の濃度も一定でないことが多い。ＰＳＡ
装置で吸着されたＣＯは脱着工程時の比較的初期に放出
されるので、ＰＳＡ装置を経た炭酸ガス中のＣＯガスは
さらに断続的な発生となることが分かった。ＮＯx触媒
のＣＯガスによる一時的被毒現象はＣＯの存在により直
ちに発生し、また消失すれば再び直ちに回復する。この
一時的な被毒は触媒温度が低い場合にはＣＯ濃度が極め
て低くても起こる。失活している間の時間はCO濃度に依
存し、通常多く認められている500ppm程度で５分間程度
である。従って最大５分間のガスを製品ガスとしないよ
うプロセスラインから除去できれは、ＮＯx混入のない
液化炭酸ガスを製造することが可能である。
【００１３】そこで、本発明の装置においては脱ＮＯx
の触媒出口にＮＯx計を設置して触媒の失活による炭酸
ガス中のＮＯxを検知し、ＮＯxを含む炭酸ガスを液化工
程に送らないようにしている。
の触媒出口にＮＯx計を設置して触媒の失活による炭酸
ガス中のＮＯxを検知し、ＮＯxを含む炭酸ガスを液化工
程に送らないようにしている。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例を第一図に示す。原料ガスと
しては高炉熱風炉排ガスを用い、ＰＳＡ装置手前にて前
処理を行ったガスをＰＳＡ装置（ゼオライト吸着剤）に
てＣＯ2を約99％まで濃縮して回収した。この回収炭酸
ガスには不純分としてＮ2約１％、Ｏ2 300ppm、ＮＯx 5
0ppmが含まれていた。脱ＮＯx触媒にはアルミナ上にPt
を担持した触媒を用い、該触媒前に添加したＨ2(約400p
pm) によりＮＯxをＮＯx分析計で検知できない程度(0.0
1ppm以下) まで除去できた。触媒温度は55〜60℃と低温
度であった。原料ガス中のＣＯガスの発生は濃度のばら
つきはあるが、ほとんどが１〜２分間程度のパルス的発
生であった。
しては高炉熱風炉排ガスを用い、ＰＳＡ装置手前にて前
処理を行ったガスをＰＳＡ装置（ゼオライト吸着剤）に
てＣＯ2を約99％まで濃縮して回収した。この回収炭酸
ガスには不純分としてＮ2約１％、Ｏ2 300ppm、ＮＯx 5
0ppmが含まれていた。脱ＮＯx触媒にはアルミナ上にPt
を担持した触媒を用い、該触媒前に添加したＨ2(約400p
pm) によりＮＯxをＮＯx分析計で検知できない程度(0.0
1ppm以下) まで除去できた。触媒温度は55〜60℃と低温
度であった。原料ガス中のＣＯガスの発生は濃度のばら
つきはあるが、ほとんどが１〜２分間程度のパルス的発
生であった。
【００１５】ＰＳＡを経た回収炭酸ガス中のＣＯ濃度は
ＰＳＡ入口濃度とはほとんど相関関係が認められなかっ
た。これは原料ガス中のＣＯの発生がパルス的であり、
ＣＯのゼオライトへの吸着がＣＯ2にくらべ弱いためと
考えられた。従って回収炭酸ガス中のＣＯ濃度もパルス
的発生となった。回収炭酸ガス中のＣＯ濃度は熱風炉の
燃焼条件が良好の時はＣＯ分析計にて検知されることは
ないが、不良時は数百ppmを検出した。脱ＮＯx触媒の一
時的被毒の程度すなわち時間はＣＯ濃度に依存し、被毒
よりの回復に要する時間はＣＯの濃度が高いほど長くな
った。触媒に被毒の影響が出現するＣＯ濃度は触媒の使
用条件にもよるが低い場合は10ppm程度でも出現した。
例えば150ppm程度のＣＯが回収炭酸ガス中に認められた
場合、触媒は約２分間反応を妨害されこの間に最大10pp
m程度のＮＯxが製品ガスに認められるようになった。
ＰＳＡ入口濃度とはほとんど相関関係が認められなかっ
た。これは原料ガス中のＣＯの発生がパルス的であり、
ＣＯのゼオライトへの吸着がＣＯ2にくらべ弱いためと
考えられた。従って回収炭酸ガス中のＣＯ濃度もパルス
的発生となった。回収炭酸ガス中のＣＯ濃度は熱風炉の
燃焼条件が良好の時はＣＯ分析計にて検知されることは
ないが、不良時は数百ppmを検出した。脱ＮＯx触媒の一
時的被毒の程度すなわち時間はＣＯ濃度に依存し、被毒
よりの回復に要する時間はＣＯの濃度が高いほど長くな
った。触媒に被毒の影響が出現するＣＯ濃度は触媒の使
用条件にもよるが低い場合は10ppm程度でも出現した。
例えば150ppm程度のＣＯが回収炭酸ガス中に認められた
場合、触媒は約２分間反応を妨害されこの間に最大10pp
m程度のＮＯxが製品ガスに認められるようになった。
【００１６】放散弁及び遮断弁作動のＮＯx値は液化炭
酸中に許容されるＮＯxを設定した。ＮＯx検知により放
散弁及び遮断弁はそれぞれ特定のシーケンサにより開閉
をさせることで、炭酸ガス圧縮機、液化コンデンサ等に
異常ないように制御した。なお放散弁及び遮断弁はＮＯ
x計の検知により作動するが、ＮＯx計にかえて触媒前の
ＣＯ計によるＣＯ検知をもってかえることも可能であ
る。
酸中に許容されるＮＯxを設定した。ＮＯx検知により放
散弁及び遮断弁はそれぞれ特定のシーケンサにより開閉
をさせることで、炭酸ガス圧縮機、液化コンデンサ等に
異常ないように制御した。なお放散弁及び遮断弁はＮＯ
x計の検知により作動するが、ＮＯx計にかえて触媒前の
ＣＯ計によるＣＯ検知をもってかえることも可能であ
る。
【００１７】
【発明の効果】触媒被毒成分でかつ燃焼排ガスにおいて
の発生の可能性が高いＣＯガスを特定の方法で除去する
には一般的には高価な触媒が必要で、かつこの触媒下で
必要とされるＣＯの酸化用Ｏ2はＮＯx還元触媒への影響
があり、またＣＯのＯ2酸化には通常被処理ガスの昇温
が必要となるので昇温のためのエネルギーもコスト高と
なる。さらにこのＣＯ酸化触媒も永久被毒の問題すなわ
ち寿命の問題を有す。
の発生の可能性が高いＣＯガスを特定の方法で除去する
には一般的には高価な触媒が必要で、かつこの触媒下で
必要とされるＣＯの酸化用Ｏ2はＮＯx還元触媒への影響
があり、またＣＯのＯ2酸化には通常被処理ガスの昇温
が必要となるので昇温のためのエネルギーもコスト高と
なる。さらにこのＣＯ酸化触媒も永久被毒の問題すなわ
ち寿命の問題を有す。
【００１８】従って燃焼排ガス中においてＣＯの発生頻
度の少ない場合は上記のような高価な触媒やエネルギー
を消費することは経済的でなく、逆にＮＯx触媒が一時
的に被毒している数分間のみ製品ガスの放散をする方が
経済的である。また設備を全停止する必要もないので操
業上も問題なく炭酸ガス品質を維持することが可能であ
る。
度の少ない場合は上記のような高価な触媒やエネルギー
を消費することは経済的でなく、逆にＮＯx触媒が一時
的に被毒している数分間のみ製品ガスの放散をする方が
経済的である。また設備を全停止する必要もないので操
業上も問題なく炭酸ガス品質を維持することが可能であ
る。
【図１】本発明の一実施例である装置の構成を示すフロ
ーシートである。
ーシートである。
１ 原料ガス ２ ＰＳＡ ３ 回収炭酸ガス ４ 貴金属触媒 ５ ＮＯx計 ６ 圧縮機 ７ 触媒失活信号 ８ シーケンサ ９ 放散弁及び遮断弁開閉信号 10 遮断弁 11 放散弁 12 ＮＯx含有不良炭酸ガス 13 液化コンデンサ 14 製品液化炭酸ガス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 隆昌 東京都千代田区九段北四丁目１−３ ア ドケムコ株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−43923（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−31813（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−17221（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】 断続的にＣＯガスが混入する燃焼排ガス
から炭酸ガスを吸着回収するＰＳＡ装置と、該回収炭酸
ガス中のＮＯｘを水素で還元分解除去し、ＣＯガスによ
って被毒するが該被毒は一時的である貴金属系触媒を収
容した反応器と、該ＮＯｘ除去炭酸ガスを液化する液化
コンデンサを有し、前記貴金属系触媒を収容した反応器
と液化コンデンサの間のラインにはＮＯｘ計およびライ
ンの流れを切換える弁を介して炭酸ガス抜出ラインが接
続され、さらに該ＮＯｘ計の出力信号により前記弁によ
るラインの切換えを指示するシーケンサが設けられてい
ることをと特徴とする、該貴金属系触媒の被毒中も運転
を続ける液化炭酸ガス製造装置 - 【請求項２】 断続的にＣＯガスが混入する燃焼排ガス
をＰＳＡ装置に供給して炭酸ガスを吸着回収し、該回収
炭酸ガスを、ＣＯガスによって被毒するが該被毒は一時
的である貴金属系触媒に接触させてこの炭酸ガス中のＮ
Ｏｘを水素で還元分解除去し、該ＮＯｘ除去炭酸ガスの
ＮＯｘ濃度を測定して予め設定しておいた濃度を越えた
ときには前記触媒がＣＯにより被毒中であるとして該炭
酸ガスを炭酸ガス液化コンデンサには送らずに抜き出
し、前記設定濃度以下になったときは前記触媒のＣＯガ
スによる被毒が解消したとして該炭酸ガスを炭酸ガス液
化コンデンサに送って液化することを特徴とする、該貴
金属系触媒の被毒中も運転を続ける液化炭酸ガスの製造
方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3293482A JP2747473B2 (ja) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | ＮＯｘ混入を防止できる液化炭酸ガス製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3293482A JP2747473B2 (ja) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | ＮＯｘ混入を防止できる液化炭酸ガス製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05123523A JPH05123523A (ja) | 1993-05-21 |
| JP2747473B2 true JP2747473B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=17795312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3293482A Expired - Fee Related JP2747473B2 (ja) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | ＮＯｘ混入を防止できる液化炭酸ガス製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2747473B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062731Y2 (ja) * | 1988-07-20 | 1994-01-26 | トキコ株式会社 | 気体分離装置 |
| JPH0231813A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-02-01 | Tokico Ltd | 気体分離装置 |
| JPH0653213B2 (ja) * | 1988-08-04 | 1994-07-20 | 新日本製鐵株式会社 | 液化炭酸製造プラントにおける原料ガスの脱硝方法及び装置 |
-
1991
- 1991-11-08 JP JP3293482A patent/JP2747473B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05123523A (ja) | 1993-05-21 |
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