JP2742035B2 - 探針貫入装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物質に固有の弾性
波を利用して地中埋設物の種類を特定するため、地中に
探針を貫入するための探針貫入装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】埋設物の種類を特定する方法としては、
作業者が地中に探針を貫入し、この探針を打振したとき
の反射音やフーリェスペクトル分析などによって操作者
自身が識別する方法がある。しかしながらこの場合、反
射の強度やノイズによって識別精度が決まるので、安定
した識別が困難となる。また、人による判断を伴うこと
から、時間がかかるとともに、識別作業の省力化・省人
化の妨げとなる。

【０００３】このような不都合を解消するために地中埋
設物に振動を与え、この地中埋設物の振動による弾性波
を受振し、この弾性波から地中埋設物の種類を識別する
認識装置を利用した客観的な探知方法が考えられる。こ
の方法では、まず地中埋設物に振動を与える発振用探針
と受振用探針とを地中埋設物に当接するまで地中に貫入
させる。次に、発振用探針が地中埋設物に振動を与える
ことによって発生する弾性波を受振用探針によって受振
し、この弾性波を識別することによって地中埋設物の種
類を識別する。

【０００４】また、地中にパイルなどを貫入させる方法
としては、特開昭５５−９８５２７号公報に、延長方向
に振動するパイルの先端に土質破壊貫入用振動をさらに
与えてパイルを打ち込む方法が開示されている。また、
地中に埋設管を埋設する方法としては、特開昭５８−８
００９５号公報に、埋設管の先頭位置に設けられたヘッ
ドに横振動を与えつつ、軸方向の荷重を検出することに
よって、ヘッドに作用する土の抵抗力を検出する装置が
開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の技術
では、発振用探針と受振用探針とを貫入する際、貫入角
度あるいは埋設物の形状によっては探針と埋設物の当接
が不安定あるいは不確実となるため、弾性波による地中
埋設物の正確な識別ができないという問題が生じる。

【０００６】また、弾性波による地中埋設物の識別を行
う際には、各探針が埋設物に接触した時点で貫入を停止
させる必要があるが、各探針に力を加えて貫入させるだ
けでは地中に貫入させるための貫入力が大きくなった
り、あるいは貫入力の変化量が変動するため各探針の先
端と埋設物との当接の判断が困難となり、貫入を速やか
に停止できないという問題が生じる。

【０００７】本発明の目的は、２本の探針を地中に貫入
する際、各探針を確実に地中埋設物に当接でき、しかも
１本でも地中埋設物に当接したことを容易に判断するこ
とができる探針貫入装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、地中埋設物に
振動を与えるための発振用探針と、地中埋設物からの弾
性波を受振する受振用探針と、前記発振用探針および前
記受振用探針を地中に貫入するための貫入手段とを備え
る探針貫入装置において、両端部に結合部を有し、中間
部が前記貫入手段によって揺動自在に軸支される揺動部
材と、前記揺動部材の一方の結合部と前記発振用探針と
をピン結合する第１連結部材と、前記揺動部材の他方の
結合部と前記受振用探針とをピン結合する第２連結部材
と、前記発振用探針および前記受振用探針を直線的に案
内する直線案内手段とを含むことを特徴とする探針貫入
装置である。本発明に従えば、発振用探針と受振用探針
とは貫入手段によって地中に貫入され、直線案内手段に
よって各探針の軸線方向に案内される。各探針のうちた
とえば発振用探針が地中埋設物に当接して貫入が止まる
と、発振用探針と揺動部材とをピン結合する第１連結部
材を支点とし、第２連結部材がピン結合される側を押下
げ、第２連結部材とピン結合される受振用探針が押下げ
られ地中埋設物に当接する。受振用探針が先に埋設物に
当接した場合も同様の作用によって両方の探針が埋設物
に当接する。したがって、埋設物に無理な力をかけず埋
設物の形状に関係なく各探針を地中埋設物に当接させる
ことができる。

【０００９】また本発明は、前記発振用探針および前記
受振用探針に、振動を与える貫入用加振器が取付けられ
ることを特徴とする。本発明に従えば、発振用探針およ
び受振用探針には振動を与える貫入用加振器が取付けら
れており、各探針と土との粘着抵抗および摩擦抵抗を減
少させ、貫入が滑らかになる。さらに、地中埋設物に当
接したか否かの判断も容易に行うことができるため、当
接した時点で貫入動作を速やかに停止することができ
る。

【００１０】また本発明は、前記貫入用加振器は、各探
針の軸線に垂直な平面において各探針の先端が円運動す
るように振動を与えることを特徴とする。本発明に従え
ば、貫入用加振器が、各探針の軸線に垂直な平面におい
て各探針の先端が円運動するように振動を与えることに
よって、さらに滑らかに各探針を地中に貫入させること
ができるため、地中埋設物に当接したか否かの区別がよ
り明確になる。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の一形態で
ある探針貫入装置１を示す正面図である。探針貫入装置
１は、ロボットアーム３が移動自在の台車４に搭載さ
れ、ロボットアーム３の先端には探知部２が装着されて
構成される。ロボットアーム３は、台車４に対して軸線
Ｌ１まわりに回転自在に連結される基部５と、基部５に
対して軸線Ｌ２まわりに角変位自在に連結されるアーム
６と、アーム６に対して軸線Ｌ３まわりに角変位自在に
連結されるアーム７と、アーム７に対して軸線Ｌ４まわ
りに角変位自在に連結され、探知部２を軸線Ｌ５まわり
に回転自在に連結する回転部材８とから構成され、この
回転部材８にはロボットアーム３に印加される力を検出
する６軸力センサ１４が設けられる。探針貫入装置１
は、台車４によって所望の地点まで移動し、探知部２の
貫入する位置決めをロボットアーム３によって行う。ロ
ボットアーム３は、６軸力センサ１４の出力に基づいて
ロボット制御装置９によって制御され、探知部２を所望
の位置に所望の角度に位置決めする。探知部２は、発振
用探針１０と、受振用探針１１と、各探針１０，１１を
支持するケーシング３７とリンク手段５７とを含んで構
成され、受振用探針１１からのデータはデータ処理装置
１３によって処理される。

【００１２】図２は、データ処理装置１３を示すブロッ
ク図である。データ処理装置１３は、信号処理回路１
６、識別回路１７、表示処理回路１８、表示装置１９お
よびデータベース回路２０を含んで構成され、受振用探
針１１に連結される。

【００１３】第１ハウジング３５内に設けられた発振用
探針１０の一方端部側には、埋設物２５に衝撃を与える
ための衝撃発生器２１が設けられる。この衝撃発生器２
１は制御装置１５によって制御される。発振用探針１０
の他方端部は、埋設物２５に当接するまで地中２６に貫
入され、衝撃発生器２１によって加えられた衝撃は、発
振用探針１０を伝播して埋設物２５に伝わって、埋設物
２５から物質に固有の弾性波が発生する。発振用探針１
０は、たとえば地表面に対して３０°〜４５°の角度で
挿入され、また１．１ｋｇ重〜１．３ｋｇ重の衝撃で加
振される。

【００１４】第２ハウジング３６に設けられた受振用探
針１１の一方端部側にはセンサ２７が取付けられる。受
振用探針１１の他方端部は、埋設物２５に当接するまで
地中２６に貫入される。埋設物２５で発生した弾性波は
受振用探針１１で受振され、この受振用探針１１を伝播
してセンサ２７で電気信号に変換される。この電気信号
は、信号処理回路１６の信号増幅器２８、データベース
回路２０および表示処理回路１８に入力される。

【００１５】信号処理回路１６は、信号増幅器２８、Ａ
／Ｄ（アナログ／デジタル）変換器２９、波形記憶回路
３０、ＦＦＴ（高速フーリエ変換）演算回路３１および
入力ベクトル生成回路３２を含んで構成される。信号処
理回路１６では、受振した弾性波から地中埋設物を識別
するための識別信号が作成される。すなわち、センサ２
７で変換された電気信号は、信号増幅器２８に入力され
て増幅される。また、必要に応じて、信号増幅器２８が
備えるフィルタを用いて不要な信号が取除かれる。信号
増幅器２８で処理された信号はＡ／Ｄ変換器２９によっ
てデジタル信号に変換され、されに波形記憶回路３０に
入力されて時間軸応答信号として記憶される。

【００１６】波形記憶回路３０に記憶された時間軸応答
信号は、ＦＦＴ演算回路３１でフーリエ変換されて周波
数応答信号が作成される。作成された周波数応答信号
は、入力ベクトル生成回路３２で複数の周波数帯域毎に
分割された分割応答信号が作成される。たとえば、２０
Ｈｚ〜５ｋＨｚの周波数帯域の信号が、１０〜１００の
範囲に分割される。たとえば５０に分割される。これら
の分割信号は、予め学習し、データベース回路２０に記
憶されるデータ中の各成分の最大値で割算され、０〜１
の値に正規化される。このようにして作成された分割応
答信号が前記識別信号である。

【００１７】識別回路２７は、ニューラルネットワーク
３３および出力ベクトル判定回路３４を含んで構成され
る。ニューラルネットワーク３３としては、たとえばＢ
ＰＮＮが使用される。ニューラルネットワーク３３に
は、入力ベクトル生成回路３２からの分割応答信号が入
力され、この分割応答信号に基づく地中埋設物の種類毎
の出力信号を作成して出力ベクトル判定回路３４に与え
る。出力ベクトル判定回路３４を、ニューラルネットワ
ーク３３からの出力信号レベルに基づいて、地中埋設物
の種類を判定する。波形記憶回路３０、ＦＦＴ演算回路
３１、入力ベクトル生成回路３２、ニューラルネットワ
ーク３３および出力ベクトル判定回路３４からの出力信
号は、表示処理回路１８で画像処理され、たとえば液晶
表示装置で実現される表示装置１９に表示される。

【００１８】図３は、発振用探針１０と受振用探針１１
の連結状態を示す簡略化した正面図であり、図４は探知
部２の断面図である。探知部２はケーシング３７と発振
用探針１０と受振用探針１１とリンク機構５７とを含ん
で構成される。ケーシング３７は第１ハウジング３５と
第２ハウジング３６を摺動自在に収納する。第１ハウジ
ング３５内には衝撃発生器２１からの衝撃を埋設物２５
に伝達する発振用探針１０が取付けられる。発振用探針
１０の中間部は約３０度屈曲し、先端部は軸線Ｌ５に平
行な軸線Ｌ６を有する。

【００１９】第２ハウジング３６内には、センサ２７が
固定された受振用探針１１が取付けられる。この受振用
探針１１は軸線Ｌ５と平行な軸線Ｌ７を有する。第１、
第２ハウジング３５，３６は中空の略直方体状に形成さ
れ、互いに隣接し、下方に開口する中空のケーシング３
７内に軸線Ｌ５方向に互いに独立して摺動自在に収納さ
れる。こうして発振用探針１０と受振用探針１１とは互
いに平行に直線方向に案内される。第１、第２ハウジン
グ３５，３６の一端部３８，３９には探針１０，１１が
それぞれ固定され、第１、第２ハウジング３５，３６の
他端部４０，４１とケーシング３７の底部４２との間に
は、ばね４３，４４がそれぞれ設けられる。

【００２０】第１、第２ハウジング３５，３６およびケ
ーシング３７はリンク機構５７によって連結され、この
リンク機構５７は一対の揺動部材４６と一対の第１連結
部材４７と一対の第２連結部材４８とによって構成され
る。第１ハウジング３５の一端部３８には発振用探針１
０を挟んで下方に突出する一対の突部５２が設けられ、
同様に第２ハウジング３６にも受振用探針１１を挟んで
突出する一対の突部５４が設けられる。リンク機構５７
は探針１０，１１を挟んで複数の部材が対称に構成され
ており、図３および図４では正面から見た構成を示して
いるが、背面側にも同様の構成が設けられる。突部５２
にはピン５３を介して第１連結部材４７の一端が角変位
自在に連結され、突部５４にも同様にピン５５を介して
第２連結部材４８が連結される。第１連結部材４７の他
端は、ピン５１によって角変位自在に揺動部材４６の一
端が連結され、同様に第２連結部材５８はピン５３を介
して揺動部材４６の他端に連結される。揺動部材４６の
中央部は、ケーシング３７の開口端から下方に突出する
一対の突部５０の一端にピン４９によって角変位自在に
連結される。角変位が生じても揺動部材の機能が保証さ
れる。

【００２１】第２ハウジング３６に固定される受振用探
針１１は軸線Ｌ５に平行な軸線Ｌ７を有する。第１ハウ
ジング３５に固定される発振用探針１０は、図４に示す
ように受振用探針１１に近接する側へ屈曲し、受振用探
針１１と距離Ａをなす部位でさらに屈曲し、軸線Ｌ６を
有し受振用探針１１の軸線Ｌ７と平行をなす方向に延び
る。したがって、受振用探針１１と発振用探針１０とは
互いに近接し平行に延びているため埋設物２５の大きさ
や形の制限をあまり受けることはなく各探針１０，１１
の先端を埋設物２５に当接させることができる。本発明
の実施のこの形態では、たとえば距離Ａは２５ｍｍ程度
に選ばれ、第１、第２ハウジング３５，３６の下端から
探針１０，１１の先端までの距離Ｂは本発明の実施のこ
の形態では、たとえば４００ｍｍに選ばれる。ケーシン
グ３７の底部はロボットアーム３の回転部材８に軸線Ｌ
５まわりに回転自在に連結される。探針１０，１１の中
央部付近には後述する貫入用加振器５８が設けられる。

【００２２】次に探知部２の動作について説明する。図
３に示すように、ロボットアーム３は各探針１０，１１
を所望の地点に所望の角度に配置し、ケーシング３を介
して各探針の軸線Ｌ６，Ｌ７方向に貫入力を加え貫入さ
せる。先に受振用探針２５の先端が埋設物２５に当接し
た場合は、まず受振用探針１１の貫入が止まり、ケーシ
ング３７を介して揺動部材４６に伝えられるロボットア
ーム３の貫入力は、貫入の止まった受振用探針１１に連
結される第２連結部材４８のピン５３を支点とし、ピン
４９を介して揺動部材４６の中央部とピン５１とを押し
下げる。ピン５１は第１連結部材４７を介して発振用探
針１０をさらに押下げ、発振用探針１０の先端を埋設物
２５に当接させる。こうして探針１０，１１の各先端が
埋設物に当接すると反力が急に大きくなり、この反力を
６軸力センサ１４で検知することによって、各探針１
０，１１の先端が埋設物２５に当接したと判断し、ロボ
ットアーム３は貫入を止める。発振用探針１０が先に埋
設物２５に当接した時も同様の作用により両方の探針１
０，１１が埋設物に当接し、貫入が止まる。その後、前
述のように発振用探針１０を介して埋設物２５に衝撃を
加え、埋設物２５で発生した弾性波を受振用探針１１で
受振し、センサ３３を介してデータ処理装置１３へ送ら
れ地中埋設物の種類を判定する。

【００２３】第１、第２ハウジング３５，３６とケーシ
ング３７の底部４２とをそれぞれ連結するばね４３，４
４は、探針１０，１１のうちの一方の探針が埋設物２５
に当接したとき、この一方の探針側のばねは弾性力によ
って貫入力を吸収し埋設物２５に過大な力をかけること
を防ぐ。また、ばね３５，３６は各探針１０，１１の貫
入量の差ｄを制限し、たとえば埋設物２５の端部に一方
の探針のみ当接し、他方の探針が埋設物２５を外れて貫
入することによって、リンク機構５７を破損することを
防ぐ。

【００２４】図５は、探針１０，１１にそれぞれ取付け
られる貫入用加振器５８の各例を示す断面図であり、図
５（ａ）は探針１０，１１の各軸線Ｌ６，Ｌ７を含む平
面内で各探針１０，１１を振動させる貫入用加振器５８
であり、図５（ｂ）は各軸線Ｌ６，Ｌ７に垂直な平面内
で各探針１０，１１が円運動するように振動を与える貫
入用加振器５８である。

【００２５】図５（ａ）で示す貫入用加振器５８は、各
探針１０，１１が互いに平行をなす部位の上方に取付け
られ、中空のケーシング６２内に固定され回転軸線Ｌ８
まわりに回転自在の回転軸６３を有するモータ６４と、
回転軸６３から偏心した位置に重心を有し、回転軸６３
に取付けられる発振錘６５とを含んで構成される。回転
軸線Ｌ８は各探針１０，１１の各軸線Ｌ６，Ｌ７に対し
て垂直に交わる。発振錘６５は回転軸６３に偏心して取
付けられているため、発振錘６５の回転によって回転軸
６３の軸線Ｌ８に垂直な平面内で円運動するようにモー
タ６４は振動し、さらにケーシング６２を介して各探針
１０，１１を軸線Ｌ６，Ｌ７を含む平面内で振動させ
る。

【００２６】図５（ｂ）で示す貫入用加振器５８は、ケ
ーシング６２とモータ６４と回転軸６３と発振錘６５と
によって構成され、回転軸６３の回転軸線Ｌ９は各探針
１０，１１の各軸線Ｌ６，Ｌ７に平行に設けられる。し
たがって発振錘６５の回転によってモータ６４は、回転
軸線Ｌ９に垂直な平面内で円運動するように振動し、こ
の振動をケーシング６２を介して各探針１０，１１を回
転軸線Ｌ９に垂直な平面、すなわち各探針１０，１１の
軸線Ｌ６，Ｌ７に垂直な平面内で円運動するように振動
させる。

【００２７】探針１０，１１が地中に貫入する際、それ
ぞれ貫入用加振器５８によって振動が与えられるため、
探針１０，１１が接する土粒子に振動を与えることによ
り、探針１０，１１と土との粘着抵抗および摩擦抵抗を
軽減させ、探針１０，１１を貫入さすのに必要な貫入力
を減少させることができる。

【００２８】探針１０，１１を貫入させる際、各探針１
０，１１に振動を与える場合と与えない場合との違いを
比較するために実験を行った。

【００２９】実験で使用した土壌は乾燥したローム土で
あり、地表から深さ１２ｃｍの位置に埋設物２５を埋め
た。各探針１０，１１の貫入角度を４５°とし、各探針
１０，１１の送り速度を毎秒２．５ｍｍとして、各探針
１０，１１の先端の地表からの垂直深さＨと、その時に
必要な貫入力Ｗとを調べた。各探針１０，１１の先端が
埋設物２５に当接したか否かの判断は垂直深さＨ＝１２
ｃｍ以上になった時点を当接したと判断する。

【００３０】この実験では比較するため４種類の貫入方
法Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの実験を行った。貫入方法Ａは、各探
針１０，１１に振動を与えずに貫入を行う方法である。
貫入方法Ｂは、各探針１０，１１の先端を中心とし基端
部側をゆっくりとこじりながら力を加え、貫入を行う方
法である。貫入方法Ｃは、図５（ａ）の貫入用加振器５
８を用いて、軸線Ｌ６，Ｌ７を含む平面内で各探針１
０，１１を振動させながら貫入を行う方法である。貫入
方法Ｄは、図５（ｂ）の貫入用加振器５８を用いて、各
探針１０，１１が軸線Ｌ６，Ｌ７に垂直な平面内で円運
動するように摺動しながら貫入を行う方法である。貫入
方法Ｃおよび貫入方法Ｄにおいて、各貫入用加振器５８
の振動数は１２２Ｈｚに設定した。図６は、上述の実験
の結果を示すグラフである。縦軸は各探針１０，１１を
貫入さすのに必要な貫入力Ｗであり、横軸は各探針１
０，１１の先端の地表からの深さを示す垂直深さＨであ
る。

【００３１】グラフからわかるように、貫入方法Ａでは
垂直深さＨ＝３ｃｍ付近から貫入力Ｗが上下に変動しつ
つ徐々に増加し、埋設物２５が埋め込まれる垂直深さＨ
＝１２ｃｍに近付くにつれて傾きが増し、貫入力Ｗが５
ｋｇを超えてもＨ＝１２ｃｍに達しない。貫入方法Ｂで
は、垂直深さＨ＝３ｃｍの辺りから貫入力Ｗはほぼ直線
状に上昇し、Ｈ＝１１．５ｃｍの辺りから急に上昇し、
最終的に埋設物２５に当接するのに約４．５ｋｇの力が
必要である。貫入方法Ｃでは垂直深さＨ＝６ｃｍの辺り
まで貫入力はほぼ０ｋｇであり、そこから上昇し、垂直
深さＨ＝９ｃｍ、貫入力Ｗ＝１ｋｇの辺りで一旦下降し
た後、埋設物２５に当接するまで貫入力Ｗは上昇し、最
終的に貫入力Ｗ＝約４．５ｋｇで埋設物２５に当接す
る。貫入方法Ｄでは、垂直深さＨ＝９ｃｍ辺りで一旦貫
入力Ｗが若干上昇するものの、垂直深さＨ＝１１．５ｃ
ｍまで貫入力Ｗはほぼ０ｋｇであり、そこから急激に上
昇し、埋設物２５に当接するときの貫入力Ｗは１．７５
ｋｇである。したがって貫入方法Ｄの埋設物２５に当接
するときの貫入力は他の貫入方法Ａ，Ｂ，Ｃに比べて半
分以下の力である。さらに、埋設物２５が埋まる手前５
ｍｍまで貫入力Ｗはほぼ０ｋｇであり、そこから急激に
上昇するため、他の貫入方法Ａ，Ｂ，Ｃに比べて埋設物
２５に当接したか否かの判断が非常に容易である。

【００３２】

【発明の効果】以上のように本発明に従えば地中埋設物
の形状の影響をあまり受けることなく受振用探針と発振
用探針の先端を地中埋設物に当接させることが可能であ
る。また、各探針に貫入用加振器をそれぞれ設けること
によって各探針の貫入を滑らかにできるため、地中埋設
物に当接したか否かの判断も容易に行うことができる。
そのため、当接した状態での貫入を速やかに停止でき
る。

【００３３】さらに、前期貫入用加振器を各探針の軸線
に垂直な平面に対して各探針が円運動するように振動を
与えることによってさらに滑らかに各探針を地中に貫入
させることができるため、地中埋設物に当接したか否か
の区別がより明確になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態である探針貫入装置１を
示す正面図である。

【図２】データ処理装置１３のブロック図である。

【図３】発振用探針１０と受振用探針１１の連結状態を
示す簡略化した正面図である。

【図４】探知部２の断面図である。

【図５】貫入用加振器５８の各例を示す断面図である。

【図６】各探針１０，１１の貫入力Ｗと垂直深さＨの関
係を示すグラフである。

【符号の説明】

１ 探針貫入装置 ２ 探知部 ３ ロボットアーム ４ 台車 ９ ロボット制御装置 １０ 発振用探針 １１ 受振用探針 １３ データ処理装置 ２５ 埋設物 ３７ ケーシング ４６ 揺動部材 ４７ 第１連結部材 ４８ 第２連結部材 ５７ リンク機構 ５８ 貫入用加振器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中山 章弘 岐阜県各務原市川崎町１番地 川崎重工 業株式会社 岐阜工場内 (72)発明者 木村 智納 岐阜県各務原市川崎町１番地 川崎重工 業株式会社 岐阜工場内 (72)発明者 宇野 昌嘉 岐阜県各務原市川崎町１番地 川崎重工 業株式会社 岐阜工場内 (56)参考文献 特開 平９−137450（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−98527（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−105977（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−336719（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−154491（ＪＰ，Ｕ)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 地中埋設物に振動を与えるための発振用
   探針と、 地中埋設物からの弾性波を受振する受振用探針と、 前記発振用探針および前記受振用探針を地中に貫入する
   ための貫入手段とを備える探針貫入装置において、 両端部に結合部を有し、中間部が前記貫入手段によって
   揺動自在に軸支される揺動部材と、 前記揺動部材の一方の結合部と前記発振用探針とをピン
   結合する第１連結部材と、 前記揺動部材の他方の結合部と前記受振用探針とをピン
   結合する第２連結部材と、 前記発振用探針および前記受振用探針を直線的に案内す
   る直線案内手段とを含むことを特徴とする探針貫入装
   置。
2. 【請求項２】 前記発振用探針および前記受振用探針
   に、振動を与える貫入用加振器が取付けられることを特
   徴とする請求項１記載の探針貫入装置。
3. 【請求項３】 前記貫入用加振器は、各探針の軸線に垂
   直な平面において各探針の先端が円運動するように振動
   を与えることを特徴とする請求項２記載の探針貫入装
   置。