JP2737804B2 - 絶縁型ヒートパイプの製造方法 - Google Patents
絶縁型ヒートパイプの製造方法Info
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- JP2737804B2 JP2737804B2 JP6471690A JP6471690A JP2737804B2 JP 2737804 B2 JP2737804 B2 JP 2737804B2 JP 6471690 A JP6471690 A JP 6471690A JP 6471690 A JP6471690 A JP 6471690A JP 2737804 B2 JP2737804 B2 JP 2737804B2
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- brazing
- tube
- sleeve
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、絶縁型ヒートパイプの製造方法に関するも
ので、特にチューブ状セラミックガイドとCu管のろう付
けによる接合において、ろう材のぬれ性を向上し、良好
な接合を得るものである。
ので、特にチューブ状セラミックガイドとCu管のろう付
けによる接合において、ろう材のぬれ性を向上し、良好
な接合を得るものである。
一般に絶縁型ヒートパイプは、チューブ状セラミック
ガイシの両端にFe−Ni合金スリーブをメタライズによっ
て接合し、このスリーブにそれぞれCu管をAgろう付けに
よって接合し、内部に絶縁性作動液、例えばフロン等を
封入したものである。この製造工程においてFe−Ni合金
スリーブとCu管の接合が重要であり、リークレイトは1
×10-7Torr /sec以下が要求されている。
ガイシの両端にFe−Ni合金スリーブをメタライズによっ
て接合し、このスリーブにそれぞれCu管をAgろう付けに
よって接合し、内部に絶縁性作動液、例えばフロン等を
封入したものである。この製造工程においてFe−Ni合金
スリーブとCu管の接合が重要であり、リークレイトは1
×10-7Torr /sec以下が要求されている。
Fe−Ni合金スリーブとCu管の接合には、通常フラック
スを用いたAgろう付け法と、真空中で行うフラックスな
しの真空ろう付け法が用いられている。しかしフラック
スを用いたAgろう付け法ではヒートパイプ内にフラック
スが残留する可能性があり、ろう付け後に洗浄を必要と
するばかりか、フラックスが残った場合には絶縁性が低
下し、また気化ガスによってヒートパイプの性能に支障
を与える。このため真空中で行うフラックスなしの真空
ろう付け法が望まれているが、雰囲気等の条件が極めて
難しい。
スを用いたAgろう付け法と、真空中で行うフラックスな
しの真空ろう付け法が用いられている。しかしフラック
スを用いたAgろう付け法ではヒートパイプ内にフラック
スが残留する可能性があり、ろう付け後に洗浄を必要と
するばかりか、フラックスが残った場合には絶縁性が低
下し、また気化ガスによってヒートパイプの性能に支障
を与える。このため真空中で行うフラックスなしの真空
ろう付け法が望まれているが、雰囲気等の条件が極めて
難しい。
本発明はこれに鑑み種々検討の結果、チューブ状セラ
ミックガイシとCu管の真空中で行うフラックスなしの真
空ろう付け法において、ろう材のぬれ性を向上し、良好
な接合を得ることができる絶縁型ヒートパイプの製造方
法を開発したものである。
ミックガイシとCu管の真空中で行うフラックスなしの真
空ろう付け法において、ろう材のぬれ性を向上し、良好
な接合を得ることができる絶縁型ヒートパイプの製造方
法を開発したものである。
即ち本発明の一つは、チューブ状セラミックガイシの
両端にFe−Ni合金スリーブを設け、該スリーブにそれぞ
れCu管をろう付けにより接合して内部に絶縁性作動液を
封入するヒートパイプの製造において、スリーブとCu管
をろう材を介して高真空中又は不活性ガス中で接合し、
該接合部に還元性ガスを含む不活性ガスを100cc/min以
上吹付けて加熱ろう付けすることを特徴とするものであ
る。
両端にFe−Ni合金スリーブを設け、該スリーブにそれぞ
れCu管をろう付けにより接合して内部に絶縁性作動液を
封入するヒートパイプの製造において、スリーブとCu管
をろう材を介して高真空中又は不活性ガス中で接合し、
該接合部に還元性ガスを含む不活性ガスを100cc/min以
上吹付けて加熱ろう付けすることを特徴とするものであ
る。
また本発明の他の一つは、チューブ状セラミックガイ
シの両端にFe−Ni合金スリーブを設け、該スリーブにそ
れぞれCu管をろう付けにより接合して内部に絶縁性作動
液を封入するヒートパイプの製造において、スリーブと
Cu管をろう材を介して還元性ガスを含む不活性ガス中で
接合し、ファンで接合部に還元性ガスを含む不活性ガス
を吹付けて加熱ろう付けすることを特徴とするものであ
る。
シの両端にFe−Ni合金スリーブを設け、該スリーブにそ
れぞれCu管をろう付けにより接合して内部に絶縁性作動
液を封入するヒートパイプの製造において、スリーブと
Cu管をろう材を介して還元性ガスを含む不活性ガス中で
接合し、ファンで接合部に還元性ガスを含む不活性ガス
を吹付けて加熱ろう付けすることを特徴とするものであ
る。
本発明は上記の如くスリーブとCu管をろう材、例えば
Agろうを介して10-3Torr以下の高真空中又はAr、He等の
不活性ガス中で接合し、該接合部に還元性ガス、例えば
H2を含むAr又はHeガスを100cc/min以上吹付けるか、あ
るいはスリーブとCu管をAgろうを介してH2を含むAr、He
等の不活性ガス中で接合し、ファンで接合部にH2を含む
Ar、He等の不活性ガスを吹付けることにより、Cu管の還
元作用を向上し、Fe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ
性を向上し、良好なろう付けを得ることができる。
Agろうを介して10-3Torr以下の高真空中又はAr、He等の
不活性ガス中で接合し、該接合部に還元性ガス、例えば
H2を含むAr又はHeガスを100cc/min以上吹付けるか、あ
るいはスリーブとCu管をAgろうを介してH2を含むAr、He
等の不活性ガス中で接合し、ファンで接合部にH2を含む
Ar、He等の不活性ガスを吹付けることにより、Cu管の還
元作用を向上し、Fe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ
性を向上し、良好なろう付けを得ることができる。
しかし、高真空中又は不活性ガス中で接合部に吹き付
けるH2を含む不活性ガスの量を100cc/min以上としたの
は、100cc/min未満ではCu管の還元作用とFe−Ni合金ス
リーブへのろう材のぬれ性が不十分で、良好なろう付け
性が得られないためである。またH2を含む不活性ガス中
で接合を行う場合、ファンで接合部にH2を含む不活性ガ
スを吹付けるのは、ガスを対流させてCu管の還元作用と
Fe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ性を高めるため
で、ガスの対流がないとCu管の還元作用とFe−Ni合金ス
リーブへのろう材のぬれ性が不十分となり、安定したろ
う付けが得られない。
けるH2を含む不活性ガスの量を100cc/min以上としたの
は、100cc/min未満ではCu管の還元作用とFe−Ni合金ス
リーブへのろう材のぬれ性が不十分で、良好なろう付け
性が得られないためである。またH2を含む不活性ガス中
で接合を行う場合、ファンで接合部にH2を含む不活性ガ
スを吹付けるのは、ガスを対流させてCu管の還元作用と
Fe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ性を高めるため
で、ガスの対流がないとCu管の還元作用とFe−Ni合金ス
リーブへのろう材のぬれ性が不十分となり、安定したろ
う付けが得られない。
尚H2を含む不活性ガスの吹付け量を増加させると、Cu
管の還元作用とFe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ性
は向上するも、吹付けるガスによってろう付け部が冷却
されるため、ろう付け時間が長くなるので、あらかじめ
ガスを予熱しておくことが望ましい。
管の還元作用とFe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ性
は向上するも、吹付けるガスによってろう付け部が冷却
されるため、ろう付け時間が長くなるので、あらかじめ
ガスを予熱しておくことが望ましい。
以下本発明の実施例について説明する。
実施例1 第1図に示す真空チャンバー(5)内に、チューブ状
セラミックガイシ(1)の両端にFi−Ni合金スリーブ
(2)をメタライズにより接合した部材と、スリーブ
(2)に接合するCu管(3)を納め、スリーブ(2)と
Cu管(3)の間にAgろう(4)を配置し、チャンバー
(5)内を真空ポンプ(6)により排気して高真空(10
-3Torr以下)とした。
セラミックガイシ(1)の両端にFi−Ni合金スリーブ
(2)をメタライズにより接合した部材と、スリーブ
(2)に接合するCu管(3)を納め、スリーブ(2)と
Cu管(3)の間にAgろう(4)を配置し、チャンバー
(5)内を真空ポンプ(6)により排気して高真空(10
-3Torr以下)とした。
そしてチャンバー(5)内にスリーブ(2)とCu管
(3)の接合部に向けてノズル(7)を設け、該ノズル
(7)より接合部にボンベ(8)より導入したH2を5%
含むArガスを150cc/min吹付け、接合部の囲りに設けたR
Fコイル(9)にRF電源(10)より5kW、75kHzの高周波
を流して、接合部を800℃に加熱してろう付けを行なっ
た。尚図におて(11)はバルブを示す。
(3)の接合部に向けてノズル(7)を設け、該ノズル
(7)より接合部にボンベ(8)より導入したH2を5%
含むArガスを150cc/min吹付け、接合部の囲りに設けたR
Fコイル(9)にRF電源(10)より5kW、75kHzの高周波
を流して、接合部を800℃に加熱してろう付けを行なっ
た。尚図におて(11)はバルブを示す。
その結果Cu管の還元作用が良好で、Cu管及びFe−Ni合
金スリーブへのろう材のぬれ性も良く、良好なろう付け
を得ることができた。
金スリーブへのろう材のぬれ性も良く、良好なろう付け
を得ることができた。
比較のためノズルよりH2を含むArガスの吹付けを止め
てろう付けを行った。その結果Cu管の還元作用が不十分
であり、Cu管及びFe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ
性も悪く、良好なろう付け性は得られなかった。
てろう付けを行った。その結果Cu管の還元作用が不十分
であり、Cu管及びFe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ
性も悪く、良好なろう付け性は得られなかった。
尚同様にしてチャンバー内を真空にした後、Arガスを
導入し、Ar雰囲気中でH2を含むArガスを接合部に吹付け
てろう付けを行った。その結果Cu管の還元作用は良好で
Cu管とFe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ性も良く、
良好なろう付けを得ることができた。
導入し、Ar雰囲気中でH2を含むArガスを接合部に吹付け
てろう付けを行った。その結果Cu管の還元作用は良好で
Cu管とFe−Ni合金スリーブへのろう材のぬれ性も良く、
良好なろう付けを得ることができた。
実施例2 第2図に示すチャンバー(5)内にチューブ状セラミ
ックガイシ(1)の両端にFi−Ni合金スリーブ(2)を
メタライズにより接合した部材とスリーブ(2)に接合
するCu管(3)を納め、スリーブ(2)とCu管(3)の
間にAgろう(4)を配置し、チャンバー(5)内を真空
ポンプ(6)により排気した後、バルブ(11)を閉じ、
バルブ(12)を開いてチャンバー(5)内にH2を5%含
むArガスにより置換した。このようにしてスリーブ
(2)とCu管(3)の接合部に向けてファン(13)によ
りチャンバー(5)内のH2を5%含むArガスを吹付け、
接合部の囲りに設けたRFコイル(9)にRF電源(10)よ
り5kW、75kHzの高周波を流して接合部を800℃に加熱し
てろう付けを行った。
ックガイシ(1)の両端にFi−Ni合金スリーブ(2)を
メタライズにより接合した部材とスリーブ(2)に接合
するCu管(3)を納め、スリーブ(2)とCu管(3)の
間にAgろう(4)を配置し、チャンバー(5)内を真空
ポンプ(6)により排気した後、バルブ(11)を閉じ、
バルブ(12)を開いてチャンバー(5)内にH2を5%含
むArガスにより置換した。このようにしてスリーブ
(2)とCu管(3)の接合部に向けてファン(13)によ
りチャンバー(5)内のH2を5%含むArガスを吹付け、
接合部の囲りに設けたRFコイル(9)にRF電源(10)よ
り5kW、75kHzの高周波を流して接合部を800℃に加熱し
てろう付けを行った。
その結果Cu管の還元作用が良好で、Cu管及びFe−Ni合
金スリーブへのろう材のぬれ性も良く、良好なろう付け
を得ることができた。
金スリーブへのろう材のぬれ性も良く、良好なろう付け
を得ることができた。
このように本発明によれば、絶縁型ヒートパイプのチ
ューブ状セラミックガイシとCu管の接合部におけるCu管
の還元作用が良好で、Cu管とFe−Ni合金スリーブのろう
材のぬれ性を向上し、良好なろう付けを得ることができ
る顕著な効果を奏する。
ューブ状セラミックガイシとCu管の接合部におけるCu管
の還元作用が良好で、Cu管とFe−Ni合金スリーブのろう
材のぬれ性を向上し、良好なろう付けを得ることができ
る顕著な効果を奏する。
第1図は本発明製造方法の一実施例を示す説明図、第2
図は本発明製造方法の他の実施例を示す説明図である。 1……チューブ状セラミックガイシ 2……Fe−Ni合金スリーブ 3……Cu管 4……Agろう 5……真空チャンバー 6……真空ポンプ 7……ノズル 8……ボンベ 9……RFコイル 10……RF電源 11……バルブ 12……バルブ 13……ファン
図は本発明製造方法の他の実施例を示す説明図である。 1……チューブ状セラミックガイシ 2……Fe−Ni合金スリーブ 3……Cu管 4……Agろう 5……真空チャンバー 6……真空ポンプ 7……ノズル 8……ボンベ 9……RFコイル 10……RF電源 11……バルブ 12……バルブ 13……ファン
Claims (2)
- 【請求項1】チューブ状セラミックガイシの両端にFe−
Ni合金スリーブを設け、該スリーブにそれぞれCu管をろ
う付けにより接合して内部に絶縁性作動液を封入するヒ
ートパイプの製造において、スリーブとCu管をろう材を
介して高真空中又は不活性ガス中で接合し、該接合部に
還元性ガスを含む不活性ガスを100cc/min以上吹付けて
加熱ろう付けすることを特徴とする絶縁型ヒートパイプ
の製造方法。 - 【請求項2】チューブ状セラミックガイシの両端にFe−
Ni合金スリーブを設け、該スリーブにそれぞれCu管をろ
う付けにより接合して内部に絶縁性作動液を封入するヒ
ートパイプの製造において、スリーブとCu管をろう材を
介して還元性ガスを含む不活性ガス中で接合し、ファン
で接合部に還元性ガスを含む不活性ガスを吹付けて加熱
ろう付けすることを特徴とする絶縁型ヒートパイプの製
造方法.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6471690A JP2737804B2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 絶縁型ヒートパイプの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6471690A JP2737804B2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 絶縁型ヒートパイプの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03267692A JPH03267692A (ja) | 1991-11-28 |
JP2737804B2 true JP2737804B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=13266155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6471690A Expired - Fee Related JP2737804B2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 絶縁型ヒートパイプの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2737804B2 (ja) |
-
1990
- 1990-03-15 JP JP6471690A patent/JP2737804B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03267692A (ja) | 1991-11-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |