JP2734941B2 - 固体レーザ発振装置 - Google Patents
固体レーザ発振装置Info
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- JP2734941B2 JP2734941B2 JP5184576A JP18457693A JP2734941B2 JP 2734941 B2 JP2734941 B2 JP 2734941B2 JP 5184576 A JP5184576 A JP 5184576A JP 18457693 A JP18457693 A JP 18457693A JP 2734941 B2 JP2734941 B2 JP 2734941B2
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- Japan
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- light
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体レーザ発振装置に
関し、特にその高効率化に関する。
関し、特にその高効率化に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の固体レーザ発振装置は、励起ラン
プから光をレーザ発振媒体へ集光するための反射鏡面と
して金（Ａｕ）をもちいることが一般的（たとえば特開
昭６３−１８５０８１号公報）であり、また、その反射
面は、反射鏡のレーザ発振媒体及び励起ランプを含む内
側の面に施されていた。図２は金を用いたレーザ発振装
置を示し、金属ブロック７ａ，７ｂの内面に金膜６が施
され反射鏡面を形成している。また、反射鏡面として銀
がもちいらる場合、銀は酸化等により変質し易いため、
透光性の保護膜として、酸化チタニウムの薄膜が用いら
れていた。
プから光をレーザ発振媒体へ集光するための反射鏡面と
して金（Ａｕ）をもちいることが一般的（たとえば特開
昭６３−１８５０８１号公報）であり、また、その反射
面は、反射鏡のレーザ発振媒体及び励起ランプを含む内
側の面に施されていた。図２は金を用いたレーザ発振装
置を示し、金属ブロック７ａ，７ｂの内面に金膜６が施
され反射鏡面を形成している。また、反射鏡面として銀
がもちいらる場合、銀は酸化等により変質し易いため、
透光性の保護膜として、酸化チタニウムの薄膜が用いら
れていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の反射鏡で
は、一般的固体レーザ発振媒体（特にＮｄ：ＹＡＧ）で
の励起有効波長での反射率は、銀の方が金より数％優れ
ている。また、通常、固体レーザ発振装置は、冷却媒体
として、純水が用いられるため、銀の酸化を防ぐため、
保護用薄膜が用いられているが、酸化の他に、紫外線等
による変質もあり、銀を利用する反射鏡で十分実用に共
するものはなかった。
は、一般的固体レーザ発振媒体（特にＮｄ：ＹＡＧ）で
の励起有効波長での反射率は、銀の方が金より数％優れ
ている。また、通常、固体レーザ発振装置は、冷却媒体
として、純水が用いられるため、銀の酸化を防ぐため、
保護用薄膜が用いられているが、酸化の他に、紫外線等
による変質もあり、銀を利用する反射鏡で十分実用に共
するものはなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の固体レーザ発振
装置は、励起ランプからの光をレーザ発振媒体に集光し
てレーザ光を出力する固体レーザ発振装置であって、略
円筒あるいは略楕円筒に形成され、内部に固体レーザ発
振媒体および励起ランプが配置され、紫外線を吸収する
透光性ガラスと、前記透光性ガラスの外表面に密着して
形成され、前記励起ランプから出力された光を反射する
銀膜と、前記銀膜の外表面であって前記励起ランプから
の光を反射しない側の表面に密着して形成され、２００
〜２５０℃で焼結されたテフロン膜とを備えるものであ
る。
装置は、励起ランプからの光をレーザ発振媒体に集光し
てレーザ光を出力する固体レーザ発振装置であって、略
円筒あるいは略楕円筒に形成され、内部に固体レーザ発
振媒体および励起ランプが配置され、紫外線を吸収する
透光性ガラスと、前記透光性ガラスの外表面に密着して
形成され、前記励起ランプから出力された光を反射する
銀膜と、前記銀膜の外表面であって前記励起ランプから
の光を反射しない側の表面に密着して形成され、２００
〜２５０℃で焼結されたテフロン膜とを備えるものであ
る。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の反射鏡の断面図である。
まず、励起ランプ１から放射された光は、レーザ発振媒
体２へ直接入射するものもあるが、そのほとんどの光
は、励起ランプ１及びレーザ発振媒体２を取り囲む紫外
線吸収透光性ガラス３ａ，３ｂへ入射する。その後、光
は、ガラス３の外周部に蒸着またはスパッタにより形成
された銀膜４で反射されレーザ発振媒体２へ集光され
る。また、通常、反射鏡内外は、純水による冷却が行な
われるため、銀の酸化及び変質を防ぐため、銀膜４の外
周部にさらにテフロン膜５をコーティングし、さらにそ
の耐水、耐環境性を強化するために、２００℃〜２５０
℃で熱処理を行なう。又、熱処理温度が２００℃以下で
は膜の十分な耐強度が得られず、２５０℃以上では、熱
処理時に銀の変質等が問題となる場合がある。
る。図１は本発明の一実施例の反射鏡の断面図である。
まず、励起ランプ１から放射された光は、レーザ発振媒
体２へ直接入射するものもあるが、そのほとんどの光
は、励起ランプ１及びレーザ発振媒体２を取り囲む紫外
線吸収透光性ガラス３ａ，３ｂへ入射する。その後、光
は、ガラス３の外周部に蒸着またはスパッタにより形成
された銀膜４で反射されレーザ発振媒体２へ集光され
る。また、通常、反射鏡内外は、純水による冷却が行な
われるため、銀の酸化及び変質を防ぐため、銀膜４の外
周部にさらにテフロン膜５をコーティングし、さらにそ
の耐水、耐環境性を強化するために、２００℃〜２５０
℃で熱処理を行なう。又、熱処理温度が２００℃以下で
は膜の十分な耐強度が得られず、２５０℃以上では、熱
処理時に銀の変質等が問題となる場合がある。
【０００６】上記実施例では、紫外線吸収性ガラス３
ａ，３ｂ、銀膜４，テフロン膜５の順に形成する製造方
法によって反射鏡を形成したが、図２に示す金属ブロッ
ク７ａ，７ｂの内側に、テフロン膜５をコーティング
し、その上に銀膜４をコーティングし、最後に紫外線吸
収性ガラス３ａ，３ｂを形成してもよい。
ａ，３ｂ、銀膜４，テフロン膜５の順に形成する製造方
法によって反射鏡を形成したが、図２に示す金属ブロッ
ク７ａ，７ｂの内側に、テフロン膜５をコーティング
し、その上に銀膜４をコーティングし、最後に紫外線吸
収性ガラス３ａ，３ｂを形成してもよい。
【０００７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、固体レー
ザ媒質の励起有効波長での反射率の優れる銀を用い、ま
た、紫外線による銀の変質を防ぐため、紫外線を吸収遮
断するガラスの外側に蒸着又はスパッタし、純水等によ
る銀の酸化を防ぐため、テフロンのコーティングを施
し、その耐環境性を向上させるため２００℃〜２５０℃
で熱処理を施しているため、十分実用に共する耐光，耐
水等耐環境性を有し、安価で容易な高効率な固体レーザ
発振装置を供給することができる。また、半円又は半楕
円構造のため、保守性に優れるという効果を有する。
ザ媒質の励起有効波長での反射率の優れる銀を用い、ま
た、紫外線による銀の変質を防ぐため、紫外線を吸収遮
断するガラスの外側に蒸着又はスパッタし、純水等によ
る銀の酸化を防ぐため、テフロンのコーティングを施
し、その耐環境性を向上させるため２００℃〜２５０℃
で熱処理を施しているため、十分実用に共する耐光，耐
水等耐環境性を有し、安価で容易な高効率な固体レーザ
発振装置を供給することができる。また、半円又は半楕
円構造のため、保守性に優れるという効果を有する。
【図１】本発明による実施例の断面図。
【図２】従来のレーザ発振装置の反射部の断面図。
１ 励起ランプ ２ レーザ発振媒体 ３ａ，３ｂ 紫外線吸収半円又は半楕円透光性ガラス ４ 銀膜 ５ テフロンコーティング膜 ６ 金膜 ７ａ，７ｂ 金属ブロック
Claims (2)
- 【請求項１】 励起ランプからの光をレーザ発振媒体に
集光してレーザ光を出力する固体レーザ発振装置であっ
て、 略円筒あるいは略楕円筒に形成され、内部に固体レーザ
発振媒体および励起ランプが配置され、紫外線を吸収す
る透光性ガラスと、 前記透光性ガラスの外表面に密着して形成され、前記励
起ランプから出力された光を反射する銀膜と、 前記銀膜の外表面であって前記励起ランプからの光を反
射しない側の表面に密着して形成され、２００〜２５０
℃で焼結されたテフロン膜とを備える ことを特徴とする
固体レーザ発振装置。 - 【請求項２】 前記銀膜は蒸着膜であることを特徴とす
る請求項１に記載された固体レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5184576A JP2734941B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 固体レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5184576A JP2734941B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 固体レーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0745891A JPH0745891A (ja) | 1995-02-14 |
| JP2734941B2 true JP2734941B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=16155628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5184576A Expired - Lifetime JP2734941B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 固体レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2734941B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5227375B2 (ja) * | 1972-06-14 | 1977-07-20 | ||
| JPS62181901U (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-18 | ||
| JP2503160B2 (ja) * | 1991-05-30 | 1996-06-05 | 三井東圧化学株式会社 | 反射体 |
-
1993
- 1993-07-27 JP JP5184576A patent/JP2734941B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0745891A (ja) | 1995-02-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971202 |