JP2730903B2 - 流体トランスジューサ - Google Patents

流体トランスジューサ

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JP2730903B2 JP63058110A JP5811088A JP2730903B2 JP 2730903 B2 JP2730903 B2 JP 2730903B2 JP 63058110 A JP63058110 A JP 63058110A JP 5811088 A JP5811088 A JP 5811088A JP 2730903 B2 JP2730903 B2 JP 2730903B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は流体トランスジューサに係り、より詳細に
は、振動素子センサを有する流体トランスジューサに関
する。
従来の技術 このようなセンサは、密度や圧力のようなパラメータ
を、これらが振動素子に影響を及ぼしてその共振周波数
を変えるようにさせることによって測定する。この振動
素子は、通常は、ビームモードで共振するチューブであ
るが、又はフープモードで共振する円筒である。いずれ
の場合にも、振動は、変位又は歪或いはその時間導関数
を感知することによって監視され、駆動システムが励起
力を供給する。選択された振動モードの共振は、ピック
アップ側と駆動側との間に適当なフィードバック増幅器
を配置してループを閉じることによって維持される。こ
の増幅器は、ピックアップ信号を増幅してそれを正しい
位相で駆動システムに供給する。
振動素子の共振周波数は、流体の密度によって質量的
な負荷がかゝる。振動素子は、随伴流体の量によって決
まる量だけその質量が増加したかのようにみえ、従っ
て、共振周波数は、密度に独特に関係付けされる。
これらの原理に基づいて動作するトランスジューサが
英国特許GB1,264,317号;GB1,175,586号；及びGB2,062,8
65号に開示されている。
この形式のトランスジューサの重要な用途は、例え
ば、パイプラインに流れる流体において流体パラメータ
を測定することである。それ故、このようなトランスジ
ューサは、できるだけ流れを妨害しないようにすること
が望ましい。流れ全体を便利に単一のチューブトランス
ジューサに通すことができる場合には、流れの妨害はほ
とんど生じない。然し、不都合なことに、実際のトラン
スジューサの寸法は、許容できない圧力低下を生じるこ
となく全ての流れを受け入れるに充分な大きさであるこ
とは滅多になく、従って、複雑で且つ不所望な分流器に
しばしば頼ることになり、流れの一部分がサンプリング
用のトランスジューサに向けられるか或いは流れ全体が
複数の並列のトランスジューサによって測定されること
になる。
発明が解決しようとする課題 トランスジューサの分野においては、流れにあまり妨
害を与えずに流体の計測を行なうことのできるトランス
ジューサを提供することが周知の目的となっている。浸
漬式のトランスジューサ（即ち、流体そのものの中に入
れられるトランスジューサ）は、振動円筒センサと共に
実用的ではあるが、しばしば許容できないような流れの
妨害を生じさせ、然も、振動素子に非常に接近させて励
起及びピックアップ手段を支持することが必要であり、
このため、構造体が振動チューブ自体よりもしばしば非
常に大きなものとなってしまう。
課題を解決するための手段 本発明によれば、流体内に浸漬される感知素子を具備
し、この感知素子は一対の枝を有し、これらの枝は、共
通のヨークから延びていて該ヨークによって互いに結合
されると共に、共通の周波数において互いに逆位相で共
振振動するようになっており、更に、上記の枝に上記共
振逆位相振動を励起する手段と、上記振動の周波数を感
知する手段を具備し、上記の励起手段及び感知手段が上
記感知素子の少なくとも１つの空胴内に収容されたこと
を特徴とする流体トランスジューサが提供される。
好ましくは、上記励起手段は、連続的な励起（共振点
におけるのが便利である）を与えるように構成される。
本発明による流体トランスジューサは、その好ましい
実施例において、２つの枝の各々に別々の励起手段及び
ピックアップ手段を備えているが、１つの枝励起及び／
又は１つの枝ピックアップ手段を用いてもよい。
又、励起手段及び感知手段は、圧電式のものであるの
が便利である。
本発明による流体トランスジューサは、好ましくはＣ
字型断面のような凹面をもたせるか或いは枝のチップ部
分の付近に空胴を設けることによって密度に対する感度
を高めるように枝を整形することにより密度計として構
成することができる。
本発明の特徴及び効果を更に理解するために、添付図
面を参照して本発明の実施例を一例として詳細に説明す
る。
実施例 第１図に示された流体トランスジューサ10において、
フォーク状の感知素子は、ヨーク部分11と、該ヨーク部
分から実質的に平行な関係で延びている２つの振動する
枝12、14とを備えている。ヨーク部分11は、フォークの
ベース部分を形成するのに加えて、支持フランジ15に接
続することにより枝のための支持体としても働き、この
接続はベロー16を介して行なわれる。ベロー16は、支持
フランジ15に対しフォークの振動分離作用を果たす。
枝14には、その根本部分に空胴17が形成されており、
その内面には圧電セラミック素子18が接着剤によって付
着されている。ヨーク11、ベロー16及び支持フランジ15
は、内部空胴（詳細には示さず）を有していて、１群の
ワイヤ19を内部に通せるようになっており、その一対は
圧電素子18に接続され、それ故、この素子はフォーク構
造体に振動を励起するように電気的に励起される。第２
の圧電素子100が空胴17の隣接面に接合され、この素子
への電気的な接続により、枝14の振動を表わす信号が得
られる。枝12は空胴102を有し、この空胴には２つの圧
電素子が同様に取り付けられて、枝12に対する励起及び
ピックアップ信号を発生する。
作動中に、トランスジューサは、計測されるべき流体
中に枝が完全に浸漬されるように配置される。振動は、
各枝に１つづつある２つの励起圧電素子を付勢すること
によって励起され、そしてこれも又、各枝に１つづつあ
る２つのピックアップ圧電素子がフォーク構造体の振動
特性を表わす信号を発生する。枝の励起は、枝の振動が
互いに逆の基本的な片持梁モードとなるように構成され
る。これは、構造体の質量の中心が動かない状態で振動
がバランスされるという利点を有する。これに対し、例
えば、外部の振動によって中心質量が強制的に動かされ
た場合には、フォークの振動性能に最小限の影響しか及
ばない。
枝が動く時には、それを取り巻く若干の液体が変位さ
れる。枝の有効質量は、この運動区分に随伴する流体の
量によって決定される量だけ増加され、従って、その作
用は流体の密度に関係したものとなり、密度計が形成さ
れる。密度の変化に対する応答は、随伴流体の量が枝の
質量に対して増加するにつれて大きくなる。このため、
枝12及び14は、対向する凹面20、21を有するＣ字型断面
（第２図）のものであり、これらの面は、流体随伴表面
積を増加すると共に、断面体積を減少して、枝により多
くの流体が随伴されるようにし、これによって、密度に
対する感度を増加するように働く。「Ｄ」字型断面又は
簡単なバーのような他の断面の枝を使用することもでき
るが、凹面を有する断面が好ましい。他の断面を使用す
る場合には、枝の先端部に閉じた空胴又は開いた空胴を
形成することにより、移動する流体の質量と枝の質量と
の比を改善することができる。
任意に設けられるシュラウド103がフォーク素子10を
取り巻いている。シュラウド103を取り付ける場合に
は、細長い支持フランジ104が使用される。シュラウド1
03は、当該周波数範囲にわたって共振しないように配置
されており、例えば、甚だしく流れを妨げずにフォーク
構造体を保護するためにワイヤメッシュ構造にされる。
このような保護は、計測される流体内に含まれた異物が
枝に当たることが考えられる場合に重要である。
ここに述べる実施例のトランスジューサを首尾よく動
作させて使用できる前に、校正を行なわなければならな
い。製造されたトランスジューサは、通常、少なくとも
１つの既知の液体中で、実質的に境界制限のない条件が
適用されるに充分な容積部において校正される。然し乍
ら、使用に際しては、フォーク構造体の近くに境界やバ
リアがあることは不可避であり、計測される流体の付近
の面が流体に加えられる質量を実際上増加させるので、
校正が無効となってしまう。
別の形状のシュラウド103をトランスジューサに設け
れば、この問題は解決される。シュラウド103は、フォ
ーク構造体の周りに本質的に固体の円筒を形成すること
によって作ることができ、シュラウド103は支持フラン
ジ104にしっかりと取り付けられる。オリフィス105は、
計測されるべき流体を入れたり出したりできるようにす
る。この形式のシュラウドは、既知の再現可能な境界を
画成するように働き、それ故、フォークトランスジュー
サをそのシュラウドと共に校正することができ、計測領
域の付近に境界が存在しても校正状態は有効に保たれ
る。
振動素子トランスジューサは、使用する材料のヤング
の係数の変化と、温度及びその熱膨張とに基づいた温度
特性を有している。実際のトランスジューサの場合、温
度の影響を補償するためには温度に対して校正を行なう
のが効果的である。このため、音叉型のトランスジュー
サ10には、その内部に温度センサ106が取り付けられて
おり、これに対してワイヤ束19によって電気的な接続が
行なわれる。
本発明は、比較的簡単な構成することのできる流体ト
ランスジューサを提供する。例えば、オイルの計測を行
なう場合、フォーク構造体10は、長さが100mmで直径が3
5mmの金属の円柱30（第３図）から加工される。先ず第
１に、外側の枝面とヨーク部分15とを画成するように外
面部分36が切削される。次いで、スロット31が、枝の最
終的な長さを決定する深さまで延びるように且つ穴のあ
いた端面の直径を横切るように形成される（円柱30の端
面の平面図である第３図（ｃ）を参照されたい）。この
スロット31は、枝間の分離を確率するように働く。
スロットの設けられた端面に穴32が形成され、その反
対面に更に別の穴33、34及び35が形成される（円柱30の
反対の端面の平面図である第３図（ａ）を参照された
い）。スロット31に重畳する深さまで延びる穴33及び34
は、圧電素子を後で導入するために枝の根本部分に空胴
を確率する。穴33及び35は、大きな直径の枝根本部の空
胴に効果的に延びる大きなボア（各々39、300）に掘削
される。穴34は、温度センサを受け入れる。穴32は、最
終的な枝に凹面を画成するように働き、従って、「Ｄ」
型断面となる。穴32は、枝の全長にわたって延びるのが
好ましい。
ここで、圧電素子が穴33及び35内の位置に接合されそ
して温度センサが穴34に接合される。これは、等価空胴
17、102及び106（第１図）から明らかである。或いは
又、穴34及び35は、圧電素子を接合する各空胴に対向す
る平らな面を形成するように更に複雑なスロット形状3
7、38（第３図に概略を示す）であってもよい。このよ
うな複雑な形状は、金属フォークの場合には火花蝕刻プ
ロセスによって形成することができる。
ベロー16は、薄壁の円筒として形成され、２つの折り
返された部分107、108によって弾力性が与えられる。ベ
ロー16は、嵌合周囲109に沿ってトランスジューサ10の
ヨーク部分11に溶接される。
支持プレート15（104、及びシュラウド）は、便利な
形状であればいかなる形状でもよく、例えば、流体パイ
プに入れられて、ねじ切りされた部分110と「Ｏ」リン
グ111とによって流体パイプのタップでシールされる。
ベロー16は、周囲112に沿ってそこに溶接される。シュ
ラウド103も（もし取り付けられる場合は）溶接され
る。支持プレート15の空胴、ベロー16の中空部及び枝の
根本の空胴17、102の延長部は、電気信号を中継するワ
イヤを配置するための経路として働く内部の中空部を形
成する。ワイヤ束19の出口はシールされ、中空部には既
知の不活性ガスが充填され、例えば、水が凝結したり内
部で腐食したりするのを防止する。或いは又、中空部を
排気することもできる。
本発明を例えば流体密度トランスジューサとして構成
する場合に利用される前記装置の特性は、随伴流体の密
度の変化に伴う振動周波数（例えば、共振周波数）の変
化である。周波数を測定するためには、多数の態様が利
用できるが、その１つについて一例として説明する。
枝上の高い歪（振動が生じたとき）の点に取り付けら
れて固有の軸からずらされた圧電装置、例えば、圧電素
子18に、電圧を印加することによって振動が励起され
る。このように電圧を印加すると、圧電素子は、その収
縮及び接合によって枝の根本的に歪を加えたり弛緩した
りし、これによって、振動が励起される。これに対し、
歪の変更点において構造体に接続された圧電素子は、回
収できる歪変化を表わす信号を発生する。従って、圧電
素子を駆動することによっていったん振動が確立される
と、駆動力を除去することができ、確保された振動を表
わす信号が回収される。或いは又、第１の圧電素子を振
動の励起に使用し、第２の圧電素子を振動信号の回収に
使用することができる。同様に、単一の素子又は個別の
振動素子と、個別のピックアップ素子を各枝に１つづつ
配置することもできる。間欠的な励起に代わるものとし
て、１つ又は２つの素子及び１つ又は２つのピックアッ
プによる連続的な励起を使用することができる。
第４図に示す本発明の好ましい実施例では、流体密度
トランスジューサ40は、枝43及び44の各空胴の外面に取
り付けられた圧電駆動素子41及び42によって連続的な励
起を受ける。圧電素子41の接続部45のような電気的な接
続部がハウジング47内に収容された電気基板46まで確立
される。これらの接続部は、ａからｊまで示されてい
る。この電子基板の機能は、素子41及び42に励起信号を
供給することであり、従って、これらの素子は、並列に
接続されていて保持増幅器50（第５図）によって駆動さ
れる。増幅器50の入力信号は、枝43及び44の空胴に各々
取り付けられた圧電ピックアップ47及び48から得られ
る。これらピックアップ47及び48からの信号は、二重入
力の差の増幅器51の非反転及び反転入力に各々接続され
る。ピックアップからの信号は互いに逆の方向で互いに
逆の極性の入力に接続されるので、共通モードのノイズ
が除去される。増幅器51の出力は、整相回路52を経て保
持増幅器50の入力に接続され、励起された振動と感知さ
れた振動との間にフィードバックが確立される。このよ
うにして、トランスジューサ40は、連続的な振動状態に
維持される。フィードバック路の整相回路52は、以下で
詳細に述べるように、正しい振動モードが持続されるよ
うに確保する。
入力の差の増幅器51の出力は、流体トランスジューサ
素子の振動周波数を表わす周期的な信号である。前記し
たように、この出力は、温度に基づくものであり、温度
センサ400からの信号に応答してオフセット53を加える
ことにより信号が温度に対して補正される。加えられた
補正の程度は、各トランスジューサごとに個々に校正さ
れる。補正された信号は、例えば、出力信号Ｋとして外
部電気コネクタ49を経て送られる。従って、この信号
（即ち、Ｋと１との間）は、トランスジューサを取り巻
く流体の密度を表わす。或いは又、無補正の信号が補正
及び校正値を記憶する外部の計算手段へ出力され送られ
てもよい。
入力増幅器51、整相回路52及び保持増幅器50を通るフ
ィードバック路は、トランスジューサの各枝47、48がそ
の基本的な片持梁モードでバランスして振動するように
構成される。２つの駆動素子と２つのピックアップを使
用することにより、素子が確実に正しくバランスした振
動モードに入るようにするという問題を容易に解決でき
るようにする。これは、整相回路52の調整によって達成
できると分かっている。又、整相回路は、もし所望なら
ば、他の振動モードを促進するように調整することもで
きる。
以上の説明から、本発明の多数の効果が明らかとなろ
う。
トランスジューサは、測定されるべき流体に対して内
実な表面を呈するので、内部が汚染されたり電子基板の
シール構成の信頼性が損なわれたりするという問題が回
避される。更に、この内実性により、測定されるべき流
体の圧力に依存しなくてもよくなる。このような依存性
は、内部と外部の圧力差による圧力効果を得ていた中空
チューブや円筒型のトランスジューサの特徴である。ト
ランスジューサの設置は非常に簡単であり、例えば、パ
イプ又はタンクの壁を貫通して行なわれる。トランスジ
ューサ40は、固定フランジ402によってパイプの壁401に
取り付けられる。或る用途では、振動を分離する必要が
なく、トランスジューサ40がフランジ402に直接溶接さ
れ、簡単で且つ非常に堅牢な構造がもたらされる。
異物が表面に当たったり表面の近くを通ったりするこ
とが予想される場合には、前記したような適当な形式の
任意のシュラウドを取り付けることができる。シュラウ
ドが効果を奏する別の環境としては、衝撃の防止により
枝の動きから潜在的に危険な高い電圧が高インピーダン
スの圧電素子によってもはや発生されないように確保す
る真に安全なトランシジューサが挙げられる。このよう
なシュラウド付きの校正されたトランスジューサは、ポ
ータブル式の流体メータとして使用することができ、こ
れは、そのバランスのとられた振動により、手持ち操作
で誘起されることの或る振動に対して構造体が実質的に
不感であるから、本質的に、計算棒として使用できる。
２つのピックアップ素子を使用する特定の効果は、送
信中に現われる共通モード信号を除去するように感知信
号を接続できることである。
本発明の更に別の重要な効果は、流れている流体に露
出される部分が小さいことである。例えば、パイプ401
を方向403に流れている流体に対してトランスジューサ4
0により露出される部分は、オイル計測の場合、パイプ
の全断面積が80500mm2であるのに対して典型的に70×2.
5mm2の１つの枝の部分だけであり、流れを妨げることは
ほとんどなくなる。これらの寸法の枝が金属で形成され
たフォーク状構造体は、1KHzの範囲の周波数において自
由に空気共振する。
このフォーク状構造体を90°回転して取り付けること
により流れを妨げる部分が更に小さくなることが明らか
であろう。細いベースパイプ60（直径が約50mm）内の流
れを計測しようとするときの好ましい態様においては、
第６図に示すように、フォーク状の構造体61をエルボ部
分62に取り付ける。従って、パイプの直径より大きな枝
の長さを受け入れることができる。このフォーク状の構
造体を流路に導入した場合に生じる圧力の低下は、エル
ボによって元々生じるものよりも著しく大きくはない。
エルボの部分にはプローブ挿入のための検査プレートが
しばしば取り付けられ、トランスジューサのフランジ63
をこれに容易に適用できるという効果が与えられる。
枝が液体中で振動すると、枝は剪断方向に流体に抗力
を及ぼす。それ故、振動は、流体の耐剪断性、ひいて
は、その粘性に基づくものとなる。一般に、密度計の枝
は、上記の「Ｃ」断面及び中空の枝の場合と同様に、抗
力に対して随伴流体の体積を最大にすることにより粘性
の影響を最小にするように設計されている。小さな粘性
範囲（例えば、オイルの場合には、典型的に、±10Cp）
のみにわたって計測することが必要な多くの用途では、
粘性の影響を無視することができる。然し乍ら、大きな
粘性の変化が予想される場合には、追加の補正及び校正
を行なうのが効果的である。
励起信号とピックアップ信号との位相差は、一般に、
粘性と共に増加するので、整相回路52が一定の位相を維
持するように構成することにより、粘性についての感度
を下げることができる。別々の密度／周波数及び粘度／
周波数特性を各々示す２つの振動モードを励起して、系
統の同時式を導出し、そこから粘性を排除することがで
きる。この２モード解決策の詳細な説明が英国特許出願
第86 24339号（英国特許第2182439号）に示されてい
る。これとは別の補正解決策は、粘性の高い液体ではよ
り大きな制動作用が生じるので系統のＱが変化するとき
に粘度と共に変化する振動の振幅を測定することであ
る。このような補正は、トランスジューサごとに個々に
校正されねばならない。
更に考えられることは、異なった密度／周波数及び粘
度／周波数特性を各々示す２つのトランスジューサを使
用することである。
本発明の別の態様においては、粘度に対する感度を上
げて液体粘度計を形成するように枝断面が構成される。
それ故、体積が小さくて抗力に対する表面積が大きい枝
断面が効果的である。枝60及び61（第７図）は、液体を
ほとんど随伴せず、それらの長手方向の平面において振
動されたときに抗力（ひいては、粘性）によって影響を
受ける。それ故、このような断面の枝を有するトランス
ジューサは、上記の液体密度計と同様の液体粘度計をも
たらすことが明らかであろう。
以上に述べたトランスジューサにおいては、圧電励起
感知電子が枝に取り付けられていた。これらのトランス
ジューサを本発明に従って変形するために、少なくとも
圧電励起及び感知素子が第８図及び第９図に示すように
ヨークに取り付けられている。
従って、第８図のトランスジューサでは、円筒状の空
胴831がヨーク836に形成され、環状の圧電素子830がそ
の空胴と同軸となるように所定の圧縮状態のもとでその
空胴内に取り付けられる。これは、ヨークを２つの別々
の部片で形成し、圧電素子を収容するように互いに溶接
することによって行うことができる。圧電素子830は、
空胴831の壁から絶縁され、枝834、835に対して空胴内
に対称的に配置される。素子830の直径は、枝834、835
の内面832、833がヨーク836に合流するヨークの高スト
レス領域の付近の空胴831の領域を通過するような大き
さである。
圧電素子830に交流電圧が印加されたときには、圧電
素子が垂直方向に（第８図で見て）交互に膨張及び収縮
し、ヨーク836の下面を撓めて、枝834、835を内方及び
外方に撓め、即ち、互いに逆の位相で振動させる。
更に、第９図のトランスジューサにおいては、枝84
5、846の内面843、844がヨークに合流する高ストレス領
域に隣接して各々のプレート状の圧電励起素子840、841
がヨーク842に設けられている。素子840、841は、上か
らヨーク842に開けられた各空胴内に配置され、ヨーク8
42の上部からこれら空胴にねじ込まれた各プラグ847、8
48によって所定の圧縮状態に保持される。この場合も、
素子840、841に交流電圧を印加すると、枝845、846が逆
位相で振動する。
第８図および第９図にトランスジューサのいずれにお
いても、圧電感知素子は、枝の振動によって撓んでこの
振動を感知するところの枝又はヨーク内の便利な位置に
配置することができる。更に、これらのトランスジュー
サでは、第９図に示す形態の振動分離手段を組み込むこ
とができる。この振動分離手段は、円錐台形の部材849
より成り、その底部はヨークの上部に溶接され、そして
その細い端は、例えば、フランジ部材（又は非常に短い
パイプ部分）に固定される。そしてこのフランジ部材
は、トランスジューサを浸漬しようとする流体を送給し
ているコンジットの流れの中に接続される。
第８図及び第９図のトランスジューサは、いずれも、
それらの各ヨークの上部から圧電励起手段及び感知手段
へ電気的な接続をなすために適当な通路を有している
が、これらの通路は図示明瞭化のために第８図及び第９
図では全て省略されている。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明による流体密度計の部分断面図、 第２図は、第１図の密度計の一部分を形成する枝の断面
図、 第３図は、第１図のトランスジューサの構造を概略的に
示す図、 第４図は、本発明によるトランスジューサをパイプに設
置したところを示した図、 第５図は、第４図のトランスジューサに関連した電気回
路図、 第６図は、本発明による流体トランスジューサの別の取
付構造を概略的に示す図、 第７図は、本発明による粘度計のフォーク状の枝を示す
断面図、 第８図及び第９図は、本発明による流体トランスジュー
サの別の実施例を概略的に示す図である。 10……流体トランスジューサ 11……ヨーク 12、14……振動枝 15……支持フランジ 16……ベロー、17、21……空胴 18、20……圧電セラミック素子 30……円筒 31……スロット 32、33、34、35……穴 103……シュラウド 110……ねじ切りされた部分 111……「Ｏ」リング

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】流体内に浸漬される感知素子（10）を具備
    し、この感知素子は一対の枝（834、835又は845、846）
    を有しそしてこれらの枝は、共通のヨーク（836又は84
    2）から軸方向に延びていて該ヨークによって互いに結
    合されていると共に、共通の周波数において互いに逆位
    相で共振振動するようになっており、 上記感知素子内に取り付けられ、上記の枝に上記共振逆
    位相振動を励起する圧電手段（830又は840、841）を具
    備し、 更に、上記感知素子内に取り付けられ、上記振動の周波
    数を感知する圧電手段（20又は48）を具備する流体トラ
    ンスジューサにおいて、 上記励起手段（830又は840、841）が、上記ヨーク（836
    又は842）の空胴（831又は850、851）において、上記枝
    （834又は835若しくは845又は846）の一つの内面（832
    又は833若しくは843又は844）がヨークに合流する地点
    に近接する領域に、軸方向圧縮状態で取り付けられるこ
    とを特徴とする流体トランスジューサ。
  2. 【請求項２】上記励起手段（830又は840、841）は連続
    的な励起を与えるように構成されることを特徴とする請
    求項１に記載のトランスジューサ。
  3. 【請求項３】上記空胴（831）は上記枝に対し上記ヨー
    クに対称的に配置されることを特徴とする請求項１又は
    ２に記載のトランスジューサ。
  4. 【請求項４】上記感知素子（10）を取り巻くシュラウド
    （103）を更に備えることを特徴とする請求項１ないし
    ３のいずれかに記載のトランスジューサ。
  5. 【請求項５】流体内に浸漬するように感知素子を取り付
    ける取付手段（15）と、感知素子（10）をこの取付手段
    から分離する振動分離手段（16又は849）とを更に備え
    ることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載
    のトランスジューサ。
  6. 【請求項６】上記振動分離手段はベローより成ることを
    特徴とする請求項５に記載のトランスジューサ。
  7. 【請求項７】上記振動分離手段は、円錐台形部材（84
    9）を備えていて、その底部が上記共通のヨーク（842）
    に固定されると共にその細い方の端が上記取付手段（1
    5）に固定されることを特徴とする請求項５に記載のト
    ランスジューサ。
  8. 【請求項８】各々の枝（12、14）は、振動の方向に向い
    た凹面（21、22）を有し、それにより、流体の密度に対
    する感知素子の感度を高めることを特徴とする請求項１
    ないし７のいずれかに記載のトランスジューサ。
  9. 【請求項９】各々の枝（60、61）は、一般的に楕円形の
    断面を有し、その楕円断面の長軸はその枝の振動方向に
    延びており、それにより、流体の粘度に対する感知素子
    の感度を高めることを特徴とする請求項１ないし７のい
    ずれかに記載のトランスジューサ。
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