JP2729063B2 - Method of manufacturing flexible metal foil laminate - Google Patents

Method of manufacturing flexible metal foil laminate

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JP2729063B2 JP63274428A JP27442888A JP2729063B2 JP 2729063 B2 JP2729063 B2 JP 2729063B2 JP 63274428 A JP63274428 A JP 63274428A JP 27442888 A JP27442888 A JP 27442888A JP 2729063 B2 JP2729063 B2 JP 2729063B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、電子工業分野において普及しつつあるフレ
キシブル金属箔積層板(Flexible Metal Clad Laminat
e、以下FMCLとも略す)に関するものであり、特に耐
熱、耐湿劣化等の耐久性に優れたFMCLに関するものであ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a flexible metal foil laminate (Flexible Metal Clad Laminat) which is becoming widespread in the electronics industry.
e, hereafter also abbreviated as FMCL), and particularly relates to an FMCL having excellent durability such as heat resistance and moisture resistance.

[従来の技術] FMCLは、主として可撓性を有するプリント配線板用の
基材として使用されるが、その他に面発熱体、電磁波シ
ールド用材料、フラットケーブル、包装材料等に使用さ
れる。
[Related Art] FMCL is mainly used as a base material for a flexible printed wiring board, but is also used as a surface heating element, a material for electromagnetic wave shielding, a flat cable, a packaging material, and the like.

近年においては、プリント配線板が収容されるケース
類がコンパクトになるなどのために、FMCLのプリント配
線板用の基材としての利用が増大している。
In recent years, the use of FMCL as a base material for printed wiring boards has been increasing due to cases such as cases where printed wiring boards are housed being made compact.

このようなFMCLは従来、通常は厚さ5μm以上の有機
重合体からなる接着剤を用いて銅箔に耐熱性重合体フィ
ルムを張り合わせることにより製造されている。しかし
ながら、この接着剤を使用したFMCLは、その接着剤の特
性が不十分であるために耐熱性重合体フィルムの優れた
特性が十分に生かされず、特に耐熱性の点で問題があっ
た。
Conventionally, such FMCLs are conventionally manufactured by laminating a heat-resistant polymer film to a copper foil using an adhesive composed of an organic polymer having a thickness of 5 μm or more. However, FMCLs using this adhesive do not fully utilize the excellent properties of the heat-resistant polymer film due to insufficient properties of the adhesive, and have a problem particularly in terms of heat resistance.

そのために、耐熱性重合体フィルムと金属箔が接着剤
を介することなく直接的に固着させられてFMCLとする方
法が従来から検討されている。たとえば、米国特許3,17
9,634、同3,736,170、特開昭49−129,862、同58−190,0
91、同59−162,044などがある。
For this purpose, a method in which a heat-resistant polymer film and a metal foil are directly fixed without using an adhesive to form an FMCL has been conventionally studied. For example, U.S. Pat.
9,634, 3,736,170, JP-A-49-129,862, JP-A-58-190,0
91 and 59-162,044.

しかしながら、これらの方法による接着剤不使用のFM
CLは、耐熱性重合体フィルムと金属箔との接着力が不十
分であること、あるいは接着力が十分であってもその強
度が安定せず、特に高温雰囲気での接着力の劣化が大き
いなどの種々の欠点があった。
However, adhesive free FM by these methods
CL has insufficient adhesive strength between the heat-resistant polymer film and the metal foil, or its strength is not stable even if the adhesive strength is sufficient. Had various disadvantages.

特に、耐熱性重合体の中でもポリイミドとポリアミド
イミドの場合は、種々の原因により安定して大きい接着
力を得ることは難しい。
Particularly, in the case of polyimide and polyamideimide among the heat-resistant polymers, it is difficult to stably obtain a large adhesive force due to various causes.

さらに、米国特許3,736,170、特開昭59−162,044の実
施例に記述されているように、FCL用の耐熱性重合体と
して好適なフェノール性溶媒に不溶のポリイミドの場合
には、耐熱性重合体フィルムと銅箔との間の引き剥がし
強度は0.30〜0.60kg/cmであり、折り曲げ応力が大きい
場合、あるいは回路幅が狭い場合には、回路の信頼性か
ら考えて接着力が十分であるとは言えない。
Further, as described in the examples of U.S. Patent 3,736,170 and JP-A-59-162,044, in the case of polyimide insoluble in a phenolic solvent suitable as a heat-resistant polymer for FCL, a heat-resistant polymer film The peel strength between copper foil and copper foil is 0.30 to 0.60 kg / cm.If the bending stress is large or the circuit width is narrow, it is considered that the adhesive strength is sufficient considering the reliability of the circuit. I can not say.

また、FMCLは回路形成の後にその回路の保護のために
回路表面をカバー材で被覆することが多いが、このカバ
ー材とベースフィルム層との接着性の優れたFMCLは、未
だ実用化には至っていない。
In addition, the FMCL often covers the circuit surface with a cover material to protect the circuit after the circuit is formed, but FMCL, which has excellent adhesion between the cover material and the base film layer, is still in practical use. Not reached.

さらに、FMCLとしての重要な特性としては、耐熱性重
合体フィルムが半田槽で変形のないこと、あるいは半田
ゴテ(≧250℃)が直接耐熱性重合体フィルムに触れた
場合の変形が少ない等の高温時のフィルム特性が必要で
あるが、耐熱性重合体と金属箔との接着性を重視した構
成をとると、こんどは、しばしば、耐熱性重合体の高温
時のフィルム特性が、例えばガラス転移温度が低い、熱
可塑性が大きい等十分でなくなる。すなわち、金属箔と
の接着性、高温時のフィルム特性、カバー材との接着
性、その他FMCLとしての物理的、化学的なフィルム特性
の全てを満足するものが得られていない。
In addition, important characteristics of the FMCL are that the heat-resistant polymer film does not deform in the solder bath, or that the soldering iron (≧ 250 ° C) is less deformed when it directly touches the heat-resistant polymer film. Although high-temperature film properties are required, if a configuration is made with emphasis on the adhesion between the heat-resistant polymer and the metal foil, the film properties at high temperatures of the heat-resistant polymer often have a glass transition, for example. It is not sufficient, such as low temperature and high thermoplasticity. That is, a material satisfying all of the adhesiveness to the metal foil, the film characteristics at high temperature, the adhesiveness to the cover material, and other physical and chemical film characteristics as FMCL has not been obtained.

[発明が解決しようとする課題] ポリイミドフィルムが厚さ5μm以上程度のエポキシ
樹脂、アクリル樹脂等の有機重合体からなる接着剤層を
介して銅箔に張り合わせられたFMCLはすでに提案されて
いるが、そのような有機重合体からなる接着剤を使用す
る既存のFMCLは、熱時の接着力、耐熱劣化性等の耐熱性
など多くの点において要求水準に達していない。
[Problems to be Solved by the Invention] FMCL in which a polyimide film is bonded to a copper foil via an adhesive layer made of an organic polymer such as an epoxy resin or an acrylic resin having a thickness of about 5 μm or more has already been proposed. Existing FMCLs using an adhesive made of such an organic polymer have not reached the required levels in many points, such as adhesive strength when heated and heat resistance such as heat deterioration resistance.

一方、従来の接着剤層の存在しないFMCLは耐熱性の点
では接着剤層の存在するFMCLに比べて優れているが、接
着力や耐熱性重合体フィルムの特性等の点では要求水準
に達していないことが多く、また耐熱性重合体フィルム
とカバー材との接着力が劣る場合が多い。
On the other hand, a conventional FMCL without an adhesive layer is superior to an FMCL with an adhesive layer in terms of heat resistance, but has reached the required level in terms of adhesive strength and properties of a heat-resistant polymer film. In many cases, the adhesive strength between the heat-resistant polymer film and the cover material is poor.

かかる状況に鑑み、本発明は耐熱性重合体フィルムの
優れた特性が活用される状況を維持しながら、耐熱性重
合体フィルムが金属箔に強固に安定に接着させられ、か
つ接着力の耐久性に優れたFMCLを提供しようとするもの
であり、このようなFMCLは産業上、特に電子工業上極め
て有用なものである。
In view of this situation, the present invention allows the heat-resistant polymer film to be firmly and stably adhered to the metal foil while maintaining the situation where the excellent properties of the heat-resistant polymer film are utilized, and the durability of the adhesive force. It is an object of the present invention to provide an excellent FMCL, and such an FMCL is extremely useful in industry, particularly in the electronics industry.

[課題を解決するための手段] すなわち、本発明は、 金属箔に直接接している、ガラス転移温度が170℃以
上である接着性ポリイミドフィルム層の厚さとガラス転
移温度が300℃以上、500℃以下であるポリイミドフィル
ム層の厚さの比が0.001以上、0.2以下であり、かつ、溶
媒に溶解したポリイミドまたはその前駆体を金属箔上に
順次塗布した後に加熱して2種以上のフィルム層を形成
することを特徴とするフレキシブル金属箔積層板の製造
方法であり、また、 前記した方法において、金属箔上に溶媒に溶解した接
着性ポリイミドまたはその前駆体を塗布した後に残存溶
媒濃度が30%以下になるまで加熱乾燥し、続いて接着性
ポリイミドまたはその前駆体とは異なる組成のポリイミ
ドまたはその前駆体を塗布した後に加熱乾燥して、金属
箔上に少なくとも2つのポリイミドフィルム層を形成さ
せる工程を含むことを特徴とするフレキシブル金属箔積
層板の製造方法である。
[Means for Solving the Problems] That is, the present invention relates to a method for producing an adhesive polyimide film layer having a glass transition temperature of 170 ° C. or higher and a glass transition temperature of 300 ° C. or higher, which is directly in contact with a metal foil. The thickness ratio of the following polyimide film layer is 0.001 or more, 0.2 or less, and, after sequentially applying polyimide or a precursor thereof dissolved in a solvent on a metal foil, heating to form two or more film layers. A method for producing a flexible metal foil laminate, characterized in that the method further comprises: forming, in the method described above, a residual solvent concentration of 30% after applying an adhesive polyimide or a precursor thereof dissolved in a solvent on the metal foil. Heat and dry until the following, then apply a polyimide or a precursor thereof having a composition different from that of the adhesive polyimide or a precursor thereof, and then heat dry to reduce the amount of A method for manufacturing a flexible metal foil laminate, comprising a step of forming at least two polyimide film layers.

本発明の要旨は、具体的には、 金属箔の表面上に金属箔との接着力が大きく、後に形
成させる耐熱性重合体またはその前駆体との接着力も大
きい、耐熱性重合体またはその前駆体溶液が塗布された
後に、加熱乾燥させられて、まず、耐熱性重合体または
その前駆体からなる第一層が設けられ、続いてその層上
に前記耐熱性重合体より高いガラス転移温度を持った耐
熱性重合体、あるいはその前駆体の溶液が塗布され、加
熱乾燥させられて、第二層を形成することにより、異な
る2種以上の耐熱性重合体からなる、2層以上の耐熱性
重合体フィルムが形成され、前述の課題が解決されたFM
CLの提供が可能となったものである。
Specifically, the gist of the present invention is that a heat-resistant polymer or a precursor thereof has a large adhesive force with the metal foil on the surface of the metal foil and a large adhesive force with a heat-resistant polymer or a precursor thereof to be formed later. After the body solution is applied, it is heated and dried, first, a first layer made of a heat-resistant polymer or a precursor thereof is provided, and then a glass transition temperature higher than that of the heat-resistant polymer is formed on the layer. A solution of a heat-resistant polymer or a precursor thereof is applied and heated and dried to form a second layer, thereby forming two or more different heat-resistant polymers. FM in which a polymer film is formed and the aforementioned problems are solved
It is now possible to provide CL.

本発明では、このように金属箔上に一層目の耐熱性重
合体フィルムを形成させ、この耐熱性重合体フィルム層
の上に前記耐熱性重合体と異なる二層目の耐熱性重合体
を形成させることを特徴とするが、該2種の耐熱性重合
体を適宜選択することによって優れた特性のFMCLを提供
することができる。たとえば、一層目の耐熱性重合体と
して耐熱性、金属箔層との接着性に優れた材料を用い、
二層目の耐熱性重合体として耐熱性に優れ、高いガラス
転移温度を持つ材料を用いると、半田浸漬、高温連続処
理、高温高湿処理等の過酷な条件下でも接着力の劣化は
ほとんどなく、回路形成にも適したFMCLを製造すること
ができる。また、回路形成後にその回路の保護のために
カバーフィルムが形成されることも多いが、この場合に
は一層目(すなわち、金属がエッチングされた場合、む
きだしになり、直接、カバーレイフィルム等のカバー材
に接触するフィルム層)にカバーフィルムとの接着力の
大きい耐熱性重合体を用いることが好ましい。
In the present invention, the first heat-resistant polymer film is formed on the metal foil in this way, and a second heat-resistant polymer different from the heat-resistant polymer is formed on the heat-resistant polymer film layer. However, by appropriately selecting the two heat-resistant polymers, an FMCL having excellent characteristics can be provided. For example, as the first heat-resistant polymer, using a material having excellent heat resistance and adhesion to the metal foil layer,
When a material with high heat resistance and high glass transition temperature is used as the second layer heat-resistant polymer, there is almost no deterioration in adhesion even under severe conditions such as solder immersion, high-temperature continuous processing, and high-temperature and high-humidity processing. Thus, an FMCL suitable for circuit formation can be manufactured. Also, a cover film is often formed after the circuit is formed to protect the circuit. In this case, however, the first layer (that is, when the metal is etched, is exposed, and the cover lay film or the like is directly exposed). It is preferable to use a heat-resistant polymer having a large adhesive strength with the cover film for the film layer that comes into contact with the cover material.

本発明において使用される耐熱性重合体フィルム層
は、イミド結合を有する耐熱ポリマー、および/または
イミド結合以外の複素環を有する耐熱ポリマーからなる
ものであり、イミド結合を有するポリマーとしては、ポ
リイミド、ポリアミドイミド、ポリヒダントイン、ポリ
パラバン酸、ポリオキサジンジオンなどであり、またイ
ミド結合以外の複素環保有耐熱ポリマーとしてはポリベ
ンゾイミダゾール、ポリイミダゾピロロン、トリアジン
誘導体等が挙げられる。
The heat-resistant polymer film layer used in the present invention is made of a heat-resistant polymer having an imide bond, and / or a heat-resistant polymer having a heterocyclic ring other than the imide bond. Examples of the polymer having an imide bond include polyimide, Polyamide imide, polyhydantoin, polyparabanic acid, polyoxazinedione, and the like. Examples of the heat-resistant polymer having a heterocyclic ring other than the imide bond include polybenzimidazole, polyimidazopyrololone, and a triazine derivative.

本発明においては、イミド結合を有する耐熱ポリマー
のフィルムが好ましく、さらに好ましくはポリイミド、
ポリアミドイミドと称されるもののフィルムであり、こ
れらは複合フィルムとされてもよい。
In the present invention, a heat-resistant polymer film having an imide bond is preferable, and more preferably polyimide,
It is a film of what is called polyamideimide, and these may be a composite film.

ポリイミドの代表的なものは、その構造式(反復単
位)が次に示されるものである。
Typical polyimides are those whose structural formulas (repeating units) are shown below.

また、ポリアミドイミドとしては、その構造式が次に
示されるものである。
The structural formula of the polyamideimide is shown below.

また、構造式(1)あるいは(2)にて表される反復
単位を有する3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物と芳香族ジアミンとから得られる重合
体、構造式(3)あるいは(4)にて表される反復単位
を有する3,3′,4,4′−ビスフェニルテトラカルボン酸
二無水物も適している。
Further, a polymer obtained from 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride having a repeating unit represented by the structural formula (1) or (2) and an aromatic diamine, 3,3 ', 4,4'-bisphenyltetracarboxylic dianhydride having a repeating unit represented by (3) or (4) is also suitable.

上記の構造式において、XはO,SO2、S、CO、CH2、C
(CH3、C(CF3または直接結合である。
In the above structural formula, X is O, SO 2 , S, CO, CH 2 , C
(CH 3 ) 2 , C (CF 3 ) 2 or a direct bond.

上記の構造式にて表される芳香族ジアミンの例として
は、4,4′−ジアミノジフェニルメタン、4,4′−ジアミ
ノジフェニルーテル、4,4′−ジアミノジフェニルスル
ホン、3,3′−ジアミノジフェニルメタン、3,3′−ジア
ミノジフェニルエーテル、3,3′−ジアミノジフェニル
スルホンなどを挙げることができる。
Examples of the aromatic diamine represented by the above structural formula include 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylether, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, and 3,3'-diamino Examples thereof include diphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenyl ether, and 3,3'-diaminodiphenylsulfone.

芳香族ポリイミド、および/またはポリアミドイミド
は、単一のものである必要はなく、二種以上の混合物で
あってもよい。
The aromatic polyimide and / or polyamideimide need not be a single one, but may be a mixture of two or more.

本発明においてはまず始めに第一層目の耐熱性重合体
を金属箔上に形成させるが、この耐熱性重合体は溶媒に
溶解した状態で金属箔上に塗布されるか、耐熱性重合体
の前駆体が溶媒に溶解した状態で金属泊上に塗布され
る。塗布する方法には特に限定はないが、コンマコータ
ー、ナイフコーター、ロールコーター、リバースコータ
ー等公知の塗布装置を使用することができる。
In the present invention, the first layer of the heat-resistant polymer is first formed on a metal foil, and the heat-resistant polymer is applied on the metal foil in a state of being dissolved in a solvent, or the heat-resistant polymer Is applied on a metal substrate in a state where the precursor is dissolved in a solvent. There is no particular limitation on the method of coating, but a known coating device such as a comma coater, a knife coater, a roll coater, or a reverse coater can be used.

この後に耐熱性重合体またはその前駆体は加熱乾燥さ
れ第一層を形成するが、加熱乾燥後の残溶媒濃度は少な
くとも30%以下、好ましくは15%以下、理想的には実質
的に0%であることが望ましい。また、金属箔上に耐熱
性重合体の前駆体を塗布した場合にはこの加熱乾燥時に
縮合、架橋等の反応が進行しなくともよい。
Thereafter, the heat-resistant polymer or its precursor is dried by heating to form the first layer, and the residual solvent concentration after the heating and drying is at least 30% or less, preferably 15% or less, and ideally substantially 0%. It is desirable that In addition, when a precursor of a heat-resistant polymer is applied on a metal foil, a reaction such as condensation or cross-linking does not have to proceed during the heating and drying.

上記の第一層目の耐熱性重合体フィルム層は、金属箔
層との接着力の優れた耐熱性重合体が使用されることが
好ましい。一般に耐熱性重合体は、一般にガラス転移温
度が高いと接着力が低下するが、金属箔と直接接してい
る第一層目の耐熱性重合体フィルム層は、金属箔および
回路形成した後に形成されるカバー材との高い接着力を
持ちながら、かつ、170℃以上の高いガラス転移温度を
持つことが好ましい。より具体的には、第一層目の耐熱
性重合体フィルム層としてガラス転移温度が170℃以上
である接着性ポリイミドフィルム層が好ましい。
For the first heat-resistant polymer film layer, a heat-resistant polymer having excellent adhesion to the metal foil layer is preferably used. Generally, a heat-resistant polymer generally has a lower glass transition temperature and lower adhesive strength.However, the first heat-resistant polymer film layer which is in direct contact with the metal foil is formed after forming the metal foil and the circuit. It is preferable to have a high glass transition temperature of 170 ° C. or more while having a high adhesive strength to the cover material. More specifically, an adhesive polyimide film layer having a glass transition temperature of 170 ° C. or higher is preferable as the first heat-resistant polymer film layer.

本発明では金属箔上に第一層目の耐熱性重合体が形成
されている積層物の第一層目の耐熱性重合体側に、第一
層目の耐熱性重合体と異なる第二層目の耐熱性重合体を
形成させる〔なお、該第二層は、単一層でなく、以下の
特性を有する限り、さらに複数の層(例えば、2層、3
層、………)から構成されていてもよいが、以後の説明
では、この全てを説明することは徒に煩雑になるので、
これを含めて、単に第二層として説明する。〕この場合
も金属箔上に第一層目の耐熱性重合体を形成させる場合
と同様に、溶媒に溶解した耐熱性重合体またはその前駆
体が塗布される。第二層目の重合体の塗布方法も第一層
目の方法と同様な方法をとることができる。
In the present invention, a second layer different from the first layer heat-resistant polymer on the first layer heat-resistant polymer side of the laminate in which the first layer heat-resistant polymer is formed on the metal foil [The second layer is not a single layer, and may have a plurality of layers (for example, two layers, three layers) as long as it has the following characteristics.
,...), But in the following description, it will be cumbersome to explain all of them,
Including this, it will be simply described as the second layer. In this case, the heat-resistant polymer dissolved in the solvent or its precursor is applied in the same manner as in the case of forming the first layer of the heat-resistant polymer on the metal foil. The method of applying the polymer of the second layer can be the same as the method of the first layer.

この積層物はこの後加熱乾燥され第二層を形成する
が、第一層目および/または第二層目の耐熱性重合体と
して耐熱性重合体の前駆体が用いられた場合には、この
段階で、縮合、架橋等の反応が進行しなければならな
い。このような場合、縮合、架橋等の反応を行なう前に
加熱乾燥により残溶媒濃度を30%以下、好ましくは15%
以下にされることが望ましい。
This laminate is then heated and dried to form a second layer. When a heat-resistant polymer precursor is used as the first layer and / or the second layer of the heat-resistant polymer, At this stage, reactions such as condensation and crosslinking must proceed. In such a case, the concentration of the residual solvent is reduced to 30% or less, preferably 15% by heating and drying before performing a reaction such as condensation or crosslinking.
It is desirable that:

上記金属箔層に直接接していない第二層目の耐熱性重
合体は、第一層目の耐熱性重合体層との接着力が高く、
かつガラス転移温度が一層目のガラス転移温度よりの高
く好ましくは300℃以上程度500℃以下であることが望ま
しい。
The second layer of the heat-resistant polymer that is not directly in contact with the metal foil layer has a high adhesive force with the first layer of the heat-resistant polymer layer,
Further, it is desirable that the glass transition temperature is higher than the glass transition temperature of the first layer, preferably about 300 ° C. or more and about 500 ° C. or less.

本発明における二層以上の耐熱性重合体フィルム層で
は、その基本的なコンセプトとして、金属箔と直接接し
ている第一層目の耐熱性重合体フィルム層に接着力を、
第二層目の耐熱性重合体フィルム層に耐熱性等の高度な
フィルム特性を持たせるものである。このために、第一
層目に対して相対的に高い耐熱性を持つ第二層目の耐熱
性重合体フィルム層があまり薄すぎては優れたFMCLとは
ならない。本発明者らの検討によると、第一層目の耐熱
性重合体フィルム層の厚みは0.1〜50μm、第二層目の
それは、0.5〜250μmであり、第一層目の耐熱性重合体
フィルム層と第二層目の耐熱性重合体フィルム層との厚
さの比は0.2以下、0.001以上であることが好ましい。ま
た金属箔層と、この金属箔層に直接接していない第二層
目の耐熱性重合体フィルム層のとの間の熱膨張率の差が
あまり大きすぎると、FMCLが加熱された際にカール等が
発生する。発明者らは、金属箔層と第二層目の耐熱性重
合体フィルム層との熱膨張率の差が1.5×10-5以下であ
れば、カールが非常に少ない等、優れたFMCLが得られる
ことを見出した。
The two or more heat-resistant polymer film layers in the present invention, as a basic concept, the adhesive strength to the first heat-resistant polymer film layer that is in direct contact with the metal foil,
The second heat-resistant polymer film layer has high film properties such as heat resistance. For this reason, if the second heat-resistant polymer film layer having relatively high heat resistance with respect to the first layer is too thin, it does not become an excellent FMCL. According to the study of the present inventors, the thickness of the first layer of the heat-resistant polymer film layer is 0.1 to 50 μm, that of the second layer is 0.5 to 250 μm, the first layer of the heat-resistant polymer film The thickness ratio between the layer and the second layer of the heat-resistant polymer film is preferably 0.2 or less and 0.001 or more. If the difference in the coefficient of thermal expansion between the metal foil layer and the second layer of the heat-resistant polymer film that is not directly in contact with the metal foil layer is too large, the curl may occur when the FMCL is heated. Etc. occur. The inventors obtained an excellent FMCL such as a very small curl if the difference in the coefficient of thermal expansion between the metal foil layer and the second heat-resistant polymer film layer was 1.5 × 10 −5 or less. Was found to be.

本発明で用いられる金属箔の種類には特に制限はない
が、通常、銅、ニッケル、アルミニウム等が好適に使用
される。金属箔の厚さは任意に選択可能であるが、通常
10〜100μmの範囲内で、好ましくは10〜50μmの範囲
内のものである。
The type of metal foil used in the present invention is not particularly limited, but usually copper, nickel, aluminum and the like are preferably used. The thickness of the metal foil can be arbitrarily selected, but usually
It is in the range of 10 to 100 μm, preferably in the range of 10 to 50 μm.

また、金属箔に直接接している耐熱性重合体と金属箔
との接着力を大きくさせるために金属箔上に金属単体や
その酸化物、合金、たとえば金属箔が銅箔の場合には銅
単体をはじめ酸化銅、ニッケル−銅合金、亜鉛−銅合金
等の無機物を形成させることも好ましい。また、無機物
以外にもアミノシラン、エポキシシラン、メルカプトシ
ラン等のカップリング剤を金属箔上に形成したり、耐熱
性重合体またはその前駆体溶液中に上記カップリング剤
を混合することにより耐熱性重合体と金属箔との接着力
を向上させることも可能である。
In addition, in order to increase the adhesive strength between the heat-resistant polymer and the metal foil which are in direct contact with the metal foil, a simple metal or an oxide or alloy thereof on the metal foil, for example, a simple copper when the metal foil is a copper foil It is also preferable to form an inorganic substance such as copper oxide, a nickel-copper alloy, and a zinc-copper alloy. Further, in addition to inorganic substances, a coupling agent such as aminosilane, epoxysilane, mercaptosilane or the like is formed on a metal foil, or a heat-resistant polymer or a precursor solution thereof is mixed with the above-mentioned coupling agent to form a heat-resistant polymer. It is also possible to improve the adhesive strength between the united material and the metal foil.

上記のようにして作成したFMCLは、金属箔と耐熱性重
合体との熱膨張率の差や、耐熱性重合体の乾燥収縮等に
より、耐熱性重合体フィルム層と金属箔との間に寸法の
差が生じていることがある。このような場合、国際公開
公報WO87/05859に示されるようなカールの矯正操作を行
ない、平坦なFMCLとすることも好ましい。
The FMCL prepared as described above has a dimension between the heat-resistant polymer film layer and the metal foil due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the metal foil and the heat-resistant polymer, and the drying shrinkage of the heat-resistant polymer. May have occurred. In such a case, it is also preferable to perform a curl correction operation as shown in International Publication WO 87/05859 to obtain a flat FMCL.

次に実施例を示してさらに本発明を説明する。 Next, the present invention will be further described with reference to examples.

実施例1 (1)ポリアミド酸ワニスの合成1 撹拌機、還流冷却器および窒素導入管を備えた容器中
において4,4′−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェ
ニル221g(0.60モル)および4,4′−ジアミノジフェニ
ルエーテル280g(1.40モル)をN,N−ジメチルアセトア
ミド3500mlに溶解し、0℃付近まで冷却し、窒素雰囲気
下においてピロメリット酸二無水物436g(2.0モル)を
加え、0℃付近で2時間撹拌した。次に上記溶液を室温
に戻し、窒素雰囲気下で約20時間撹拌を行なった。こう
して得られたポリアミド酸溶液の対数粘度は1.7dl/gで
あった。このポリアミド酸溶液をN,N−ジメチルアセト
アミドで19%まで希釈し、回転粘度を120,000cpsに調節
した。
Example 1 (1) Synthesis of polyamic acid varnish 1 In a vessel equipped with a stirrer, reflux condenser and nitrogen inlet tube, 221 g (0.60 mol) of 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl and 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl 280 g (1.40 mol) of '-diaminodiphenyl ether was dissolved in 3500 ml of N, N-dimethylacetamide, cooled to about 0 ° C, and 436 g (2.0 mol) of pyromellitic dianhydride was added under a nitrogen atmosphere. Stir for 2 hours. Next, the solution was returned to room temperature and stirred under a nitrogen atmosphere for about 20 hours. The logarithmic viscosity of the polyamic acid solution thus obtained was 1.7 dl / g. This polyamic acid solution was diluted to 19% with N, N-dimethylacetamide, and the rotational viscosity was adjusted to 120,000 cps.

こうして得られたポリアミド酸溶液の対数粘度は1.8d
l/gであった。
The logarithmic viscosity of the polyamic acid solution thus obtained is 1.8 d
l / g.

(2)ポリアミド酸ワニスの合成2 撹拌機、還流冷却器および窒素導入管を備えた容器中
において4,4′−ジアミノジフェニルエーテル421g(2.1
モル)をN−メチルピロリドン4000mlに溶解し、窒素雰
囲気下においてピロメリット酸二無水物458g(2.1モ
ル)を加え、室温にて24時間撹拌した。
(2) Synthesis of polyamic acid varnish 2 In a vessel equipped with a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen inlet tube, 421 g of 4,4'-diaminodiphenyl ether (2.1 g) was prepared.
Was dissolved in 4000 ml of N-methylpyrrolidone, and 458 g (2.1 mol) of pyromellitic dianhydride was added under a nitrogen atmosphere, followed by stirring at room temperature for 24 hours.

こうして得られたポリアミド酸溶液の対数粘度は1.8d
l/gであった。
The logarithmic viscosity of the polyamic acid solution thus obtained is 1.8 d
l / g.

このポリアミド酸溶液を、N−メチルピロリドンで16
%まで希釈し、回転粘度を100,000cpsに調節した。
This polyamic acid solution is mixed with N-methylpyrrolidone for 16 hours.
%, And the rotational viscosity was adjusted to 100,000 cps.

(3)FMCLの作成 (1)で得られたポリアミド酸溶液を、電解銅箔(三
井金属鉱業(株)製、3EC−III、厚さ35μm)上に均一
に流延塗布し、135℃で5分間、さらに180℃で4分間加
熱乾燥して銅箔上に第一層目の耐熱性重合体の前駆体フ
ィルム(ポリアミド酸)5μmを形成させた。こうして
得られた積層物の総厚は40μmであった。なお、重合体
層中の残溶媒は0.01%であった。
(3) Preparation of FMCL The polyamic acid solution obtained in (1) was uniformly cast and applied on an electrolytic copper foil (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., thickness 35 μm), and heated at 135 ° C. The resultant was dried by heating at 180 ° C. for 5 minutes and further at 180 ° C. to form a first layer of a heat-resistant polymer precursor film (polyamic acid) of 5 μm on the copper foil. The total thickness of the thus obtained laminate was 40 μm. In addition, the residual solvent in the polymer layer was 0.01%.

次に(2)で得られたポリアミド酸溶液を、第一層目
のポリアミド酸層上に均一に流延塗布し、135℃で5分
間、さらに180℃で4分間加熱乾燥した後、250℃の窒素
雰囲気中で5分間加熱して銅箔上に二層のポリイミド層
を有するFMCLを得た。こうして得られたFMCLの総厚は68
μm(第二層は28μm)であった。なお、第一層のガラ
ス転移温度は430℃、第二層のそれは380℃、熱膨張率は
3.1×10-5(/℃)であった。
Next, the polyamic acid solution obtained in (2) was uniformly cast and applied on the first polyamic acid layer, and dried by heating at 135 ° C. for 5 minutes and further at 180 ° C. for 4 minutes. Was heated in a nitrogen atmosphere for 5 minutes to obtain FMCL having two polyimide layers on a copper foil. The total thickness of the FMCL thus obtained is 68
μm (the second layer was 28 μm). The glass transition temperature of the first layer is 430 ° C, that of the second layer is 380 ° C, and the coefficient of thermal expansion is
3.1 × 10 −5 (/ ° C.).

このFMCLの特性は、表1に示される通りであった。 The characteristics of this FMCL were as shown in Table 1.

比較例1 実施例1において、第一層目のポリアミド酸を塗布せ
ず、第二層目のポリアミド酸溶液を直接銅箔に塗布する
ことによりFMCLを作成した。こうして得られたFMCLの総
厚は68μmであった。
Comparative Example 1 In Example 1, an FMCL was prepared by applying the polyamic acid solution of the second layer directly to a copper foil without applying the polyamic acid of the first layer. The total thickness of the FMCL thus obtained was 68 μm.

このFMCLの特性は、表1に示される通りであった。 The characteristics of this FMCL were as shown in Table 1.

実施例2 (1)ポリアミド酸ワニスの合成 撹拌機、還流冷却器および窒素導入管を備えた容器中
において1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン5
84g(2.0モル)を、N,N−ジメチルアセトアミド3700ml
に挿入し、室温で窒素雰囲気下において3,3′,4,4′−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物64g(2.0モ
ル)を、溶液温度の上昇に注意しながら4分割して加
え、室温にて約24時間反応させた。
Example 2 (1) Synthesis of polyamic acid varnish 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene 5 in a vessel equipped with a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen inlet tube
84 g (2.0 mol) in N, N-dimethylacetamide 3700 ml
At room temperature under a nitrogen atmosphere at 3,3 ', 4,4'-
64 g (2.0 mol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride was added in four portions while paying attention to the rise in solution temperature, and the mixture was reacted at room temperature for about 24 hours.

こうして得られたポリアミド酸溶液の対数粘度は1.2d
l/gであった。
The logarithmic viscosity of the polyamic acid solution thus obtained is 1.2 d
l / g.

(2)FMCLの作成 (1)で得られたポリアミド酸溶液を、圧延銅箔(三
井金属鉱業(株)製、BSH、厚さ35μm)上に均一に流
延塗布し、100℃で20分間、さらに150℃で20分間加熱乾
燥して金属箔上に第一層目の耐熱性重合体の前駆体フィ
ルム(ポリアミド酸)を形成させた。こうして得られた
積層物の総厚は39μm(第一層4μm)であった。
(2) Preparation of FMCL The polyamic acid solution obtained in (1) is uniformly cast and applied on rolled copper foil (Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., BSH, thickness 35 μm), and then at 100 ° C. for 20 minutes. Then, the film was further heated and dried at 150 ° C. for 20 minutes to form a first layer of a heat-resistant polymer precursor film (polyamic acid) on the metal foil. The total thickness of the thus obtained laminate was 39 μm (first layer 4 μm).

次に、市販のポリアミド酸ワニス(宇部興産(株)
製、U−ワニスS)を、第一層目のポリアミド酸層上に
均一に流延塗布し、150℃で20分間加熱乾燥した後、230
℃の窒素雰囲気中で10分間、400℃の窒素雰囲気中で20
分間加熱して銅箔上に二層のポリイミド層を有するFMCL
を得た。こうして得られたFMCLの総厚は68μm(第二層
29μm)であった。なお、第一層のガラス転移温度は20
0℃、第二層のそれは340℃、熱膨張率は1.8×10-5(/
℃)であった。
Next, a commercially available polyamic acid varnish (Ube Industries, Ltd.)
Co., Ltd., U-varnish S) is uniformly cast and applied on the first polyamic acid layer, and dried by heating at 150 ° C. for 20 minutes.
10 minutes in a nitrogen atmosphere at 400 ° C and 20 minutes in a nitrogen atmosphere at 400 ° C.
FMCL with two polyimide layers on copper foil after heating for a minute
I got The total thickness of the FMCL thus obtained is 68 μm (second layer
29 μm). The glass transition temperature of the first layer is 20
0 ° C, that of the second layer is 340 ° C, and the coefficient of thermal expansion is 1.8 × 10 -5 (/
° C).

このFMCLの特性は、表1に示される通りであった。 The characteristics of this FMCL were as shown in Table 1.

比較例2 ポリイミドフィルムと銅箔との接着剤を、次のように
作成した。
Comparative Example 2 An adhesive between a polyimide film and a copper foil was prepared as follows.

エポキシ樹脂として、油化シェルエポキシ(株)製エ
ピコート1001FR 50重量部、ジシアンジアミド2重量
部、およびアクリロニトリルブタジエン共重合体とし
て、日本合成ゴム工業製のニポール1432J 100重量部か
らなる組成物を、メチルエチルケトンに溶解して濃度20
%の接着剤溶液とした。
A composition consisting of 50 parts by weight of Epicoat 1001FR manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., 2 parts by weight of dicyandiamide, and 100 parts by weight of Nipol 1432J manufactured by Nippon Synthetic Rubber Industry as an acrylonitrile butadiene copolymer was used as an epoxy resin. Dissolve to a concentration of 20
% Adhesive solution.

次に、25μmのポリイミドフィルムとして東レ・デュ
ポン(株)社製のカプトンHに前記接着剤を乾燥後で約
25μmの厚さになるように塗布し、予備乾燥炉を経て加
熱ロールに走行させた。予備乾燥炉内での加熱条件は80
℃で3分間、123℃で5間であった。
Next, after drying the adhesive on Kapton H manufactured by Dupont Toray Co., Ltd.
It was applied so as to have a thickness of 25 μm, and was run on a heating roll through a predrying furnace. Heating conditions in the predrying oven are 80
C for 3 minutes and 123 C for 5 minutes.

一方、ラミネーターの他方から圧延銅箔(ケーデーケ
ー(株)製、KDK−FLEX、厚さ35μm)を、加熱ロール
に走行させ、接着剤組成物を介してポリイミドフィルム
と密着するように連続的に圧着ラミネートし、連続的に
巻きとった。
On the other hand, a rolled copper foil (KDK-FLEX, thickness 35 μm, manufactured by K-DKK) is run from the other side of the laminator to a heating roll, and continuously pressed so as to be in close contact with the polyimide film via the adhesive composition. Laminated and wound continuously.

加熱ロールのロール表面温度は、150±2℃に調整し
た。
The roll surface temperature of the heating roll was adjusted to 150 ± 2 ° C.

ロール間での圧着時間は0.5秒程度である。 The pressing time between the rolls is about 0.5 seconds.

次いで、巻きとられたラミネートは、そのまま155℃
にて2時間のアフターキュアーを受けた。
Next, the wound laminate is kept at 155 ° C.
Received 2 hours after cure.

このFMCLの特性は、表1に示される通りであった。 The characteristics of this FMCL were as shown in Table 1.

[発明の効果] 本発明により提案された金属箔上に二層以上の 耐熱性重合体フィルム層を有するFMCLは、耐熱性重合体
を適宜選択することにより、実施例および表1に示され
た如き優れた特性を提供することができる。
[Effect of the Invention] Two or more layers on the metal foil proposed by the present invention An FMCL having a heat-resistant polymer film layer can provide excellent properties as shown in Examples and Table 1 by appropriately selecting a heat-resistant polymer.

すなわち、かかるFMCLは、接着剤層を有さないために
耐熱性は良好であり、接着性、またその耐折性、熱劣化
性等に優れたものとなることができる。
That is, since such FMCL does not have an adhesive layer, it has good heat resistance, and can be excellent in adhesiveness, folding resistance, heat deterioration, and the like.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】金属箔に直接接している、ガラス転移温度
が170℃以上である接着性ポリイミドフィルム層の厚さ
とガラス転移温度が300℃以上、500℃以下であるポリイ
ミドフィルム層の厚さの比が0.001以上、0.2以下であ
り、かつ、溶媒に溶解したポリイミドまたはその前駆体
を金属箔上に順次塗布した後に加熱して2種以上のフィ
ルム層を形成することを特徴とするフレキシブル金属箔
積層板の製造方法。
(1) The thickness of an adhesive polyimide film layer having a glass transition temperature of 170 ° C. or more and a polyimide film layer having a glass transition temperature of 300 ° C. or more and 500 ° C. or less, which is in direct contact with a metal foil. A flexible metal foil characterized in that the ratio is 0.001 or more and 0.2 or less, and a polyimide or a precursor thereof dissolved in a solvent is sequentially applied onto the metal foil and then heated to form two or more film layers. A method for manufacturing a laminate.
【請求項2】金属箔上に溶媒に溶解した接着性ポリイミ
ドまたはその前駆体を塗布した後に残存溶媒濃度が30%
以下になるまで加熱乾燥し、続いて接着性ポリイミドま
たはその前駆体とは異なる組成のポリイミドまたはその
前駆体を塗布した後に加熱乾燥して、金属箔上に少なく
とも2つのポリイミドフィルム層を形成させる工程を含
むことを特徴とする請求項1のフレキシブル金属箔積層
板の製造方法。
2. An adhesive polyimide or a precursor thereof dissolved in a solvent is coated on a metal foil, and the residual solvent concentration is 30%.
Step of heating and drying until the following, and then applying a polyimide or a precursor thereof having a different composition from the adhesive polyimide or a precursor thereof, followed by heating and drying to form at least two polyimide film layers on the metal foil. The method for producing a flexible metal foil laminate according to claim 1, comprising:
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