JP2001139807A - Method of manufacturing heat-resistant bonding sheet - Google Patents

Method of manufacturing heat-resistant bonding sheet

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JP2001139807A
JP2001139807A JP32240799A JP32240799A JP2001139807A JP 2001139807 A JP2001139807 A JP 2001139807A JP 32240799 A JP32240799 A JP 32240799A JP 32240799 A JP32240799 A JP 32240799A JP 2001139807 A JP2001139807 A JP 2001139807A
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JP
Japan
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polyimide
film
bonding sheet
heat
thermoplastic
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Application number
JP32240799A
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Japanese (ja)
Inventor
Kosuke Kataoka
片岡孝介
Naoki Hase
長谷直樹
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Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a heat-resistant bonding sheet which excels in heat resistance to soldering, adhesion, dimensional stability, and low dielectric characteristics while possessing sufficient mechanical strength. SOLUTION: The method of manufacturing a heat-resistant bonding sheet which comprises a step of producing a partially imidated gel film of an amic acid of the precursor of (a) a polyaimide, a step of coating an organic solvent solution of an amic acid of the precursor of (b) a thermoplastic polyimide on the surface of the gel film, a step of subsequently converting the gel film and the coated thermoplastic film to the polyimide (a) and the thermoplastic polyimide (b), respectively, and a step of drying the resulting films in the process of producing a laminate constituted by laminating the thermoplastic polyimde (b) layer on one side or both sides of the polyimide (a) film can realize particularly high adhesion of the interface between the base film and the thermoplastic polyimide. The heat-resistant bonding sheet also excels in heat resistance, heat resistance to soldering and dimension stability. This heat-resistant bonding sheet can be used particularly for flexible copper-clad laminates.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ポリイミドフィルムの
片面または両面に熱可塑性ポリイミド層を有するボンデ
ィングシートの製造方法に関し、さらに詳しくは、耐熱
性、接着性、寸法特性に優れる耐熱性ボンディングシー
トの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a bonding sheet having a thermoplastic polyimide layer on one or both sides of a polyimide film, and more particularly, to a method for producing a heat-resistant bonding sheet having excellent heat resistance, adhesiveness and dimensional characteristics. It relates to a manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の高性能化、高機能化、
小型化が急速に進んでおり、電子機器に用いられる電子
部品の小型化、軽量化の要請が高まっている。これに伴
い、電子部品の素材についても、耐熱性、機械的強度、
電気特性等の諸物性がさらに求められ、半導体素子パッ
ケージ方法やそれらを実装する配線板にも、より高密
度、高機能、かつ高性能なものが求められるようになっ
てきた。フレキシブルプリント配線板(以下FPCと呼
ぶ)に関しては、細線加工、多層形成等が行われるよう
になり、FPCに直接部品を搭載する部品実装用FP
C、両面に回路を形成した両面FPC、複数のFPCを
積層して層間を配線でつないだ多層FPCなどが出現し
てきた。
2. Description of the Related Art In recent years, higher performance and higher functionality of electronic devices have been developed.
The miniaturization is rapidly progressing, and there is an increasing demand for miniaturization and weight reduction of electronic components used in electronic devices. Along with this, the heat resistance, mechanical strength,
Various physical properties such as electrical characteristics are further required, and a higher density, higher function, and higher performance are also required for a semiconductor element packaging method and a wiring board for mounting the same. With regard to flexible printed wiring boards (hereinafter referred to as FPC), fine wire processing, multilayer formation, etc. are performed, and component mounting FPs in which components are mounted directly on the FPC.
C, a double-sided FPC in which a circuit is formed on both sides, a multilayer FPC in which a plurality of FPCs are stacked, and the layers are connected by wiring have appeared.

【0003】一般にFPCは柔軟で薄いベースフィルム
上に回路パターンを形成し、その表面にカバーフィルム
を貼り合わせた構成をしており、上述のようなFPCを
得るためにはベースフィルム、カバーフィルム、および
接着剤の材料として用いられる絶縁フィルムや絶縁性の
接着剤の高性能化が必要となっている。具体的には、高
い耐熱性、機械強度を有し、加工性、接着性、低吸湿
性、電気特性、寸法安定性に優れることである。
In general, an FPC has a configuration in which a circuit pattern is formed on a flexible and thin base film, and a cover film is bonded to the surface of the circuit pattern. In addition, there is a need to improve the performance of insulating films and insulating adhesives used as adhesive materials. Specifically, it has high heat resistance and mechanical strength, and is excellent in workability, adhesiveness, low hygroscopicity, electrical characteristics, and dimensional stability.

【0004】現在のところFPCの絶縁有機フィルムに
は、諸特性に優れるポリイミド樹脂からなるフィルムが
広く用いられている。絶縁接着剤には、低温加工性や作
業性に優れるエポキシ樹脂やアクリル樹脂が用いられて
いる。しかし、これらの接着剤は、特に耐熱性において
充分でなく、例えば150℃以上の温度に長時間さらさ
れると、接着剤の劣化が起こり、種々特性に影響を与え
る。更にこれらの接着剤を用いる場合、ベースフィルム
上に接着剤を塗布、乾燥した後、導体層(一般に銅箔が
用いられている)と貼り合わされるが、充分な接着を実
現するために長時間の熱処理を行わなければならない等
の問題を抱えている。
At present, a film made of a polyimide resin having excellent properties is widely used as an insulating organic film of FPC. An epoxy resin or an acrylic resin that is excellent in low-temperature workability and workability is used as the insulating adhesive. However, these adhesives are not particularly satisfactory in heat resistance. For example, if the adhesive is exposed to a temperature of 150 ° C. or more for a long time, the adhesive is deteriorated and various properties are affected. Furthermore, when using these adhesives, the adhesive is applied to a base film, dried, and then bonded to a conductor layer (generally copper foil is used). Have to be heat-treated.

【0005】特にFPCの用途拡大に伴い、耐熱性に関
する課題を解決することが急務となっている。この問題
解決のために、接着剤層を有しない2層FPCや溶融流
動性に優れるポリイミド樹脂を用いたFPC等が提案さ
れている。上記の接着剤層を有しない2層FPCに関し
ては、絶縁フィルム上に直接導体層を形成する方法と導
体層に直接絶縁層を形成する方法が一般的である。絶縁
層に直接導体層を形成する方法では、蒸着法やスパッタ
リング法で導体の薄層を形成した後、メッキ法で導体の
厚層を形成する方法が用いられているが、薄層形成時に
ピンホールが発生しやすくまた絶縁層と導体層の充分な
接着力を得ることが難しい等の問題を抱えている。
[0005] In particular, with the expanding use of FPCs, there is an urgent need to solve the problem of heat resistance. In order to solve this problem, a two-layer FPC having no adhesive layer and an FPC using a polyimide resin having excellent melt fluidity have been proposed. Regarding the two-layer FPC having no adhesive layer, a method in which a conductor layer is formed directly on an insulating film and a method in which an insulating layer is formed directly on a conductor layer are common. In the method of forming a conductor layer directly on an insulating layer, a method is used in which a thin layer of a conductor is formed by vapor deposition or sputtering, and then a thick layer of the conductor is formed by plating. There are problems that holes are easily generated and it is difficult to obtain a sufficient adhesive force between the insulating layer and the conductor layer.

【0006】一方、導体層に直接絶縁層を形成する方法
では、ポリイミド共重合体もしくはポリアミド酸共重合
体の溶液を導体層に流延塗布、乾燥し絶縁層を形成する
方法を用いているが、種々溶剤による導体層の腐食が起
こりやすい。また両面版を作製する際には2枚の片面板
を作製した後で、これら片面板を張りあわすという煩雑
な工程が必要となる等の問題を抱えている。
On the other hand, in a method of forming an insulating layer directly on a conductor layer, a method of casting and drying a solution of a polyimide copolymer or a polyamic acid copolymer on the conductor layer and drying the same is used. In addition, the conductor layer is likely to be corroded by various solvents. Further, when a double-sided plate is manufactured, there is a problem that a complicated process is required such that two single-sided plates are manufactured and then these single-sided plates are adhered to each other.

【0007】また、溶融流動性に優れるポリイミド樹脂
を用いたFPCに関しては、特開平2−138789
号、特開平5−179224号や特開平5−11276
8号で提案されている耐熱性樹脂からなるベースフィル
ムの少なくとも片面に熱可塑性ポリイミド層を有するボ
ンディングシートを用いるが、優れた接着性、寸法安定
性、半田耐熱等を実現することが困難であった。
Further, FPC using a polyimide resin having excellent melt fluidity is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-138789.
JP-A-5-179224 and JP-A-5-11276
Although a bonding sheet having a thermoplastic polyimide layer on at least one surface of a base film made of a heat-resistant resin proposed in No. 8 is used, it is difficult to realize excellent adhesiveness, dimensional stability, solder heat resistance, and the like. Was.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記のごとく耐熱性に
優れるFPCにはどのような形態を取るにしろ問題点が
あるが、生産性や特性面を考慮した場合、耐熱性樹脂か
らなるベースフィルムに熱可塑性ポリイミドを積層した
ボンディングシートと銅箔とを貼り合わす方法が有利で
あると考えられる。そこで、このケースに関する上記の
如き問題、すなわち接着性、寸法特性、半田耐熱性、さ
らには低吸水率、低誘電特性に優れるFPCに用いられ
る耐熱性ボンディングシートを提供することを目的に鋭
意研究を重ねた結果、本発明に至ったのである。
As described above, the FPC having excellent heat resistance has problems in any form, but in consideration of productivity and characteristics, a base film made of a heat-resistant resin is required. It is considered that a method of bonding a copper foil and a bonding sheet obtained by laminating a thermoplastic polyimide on the substrate is advantageous. Therefore, the above-mentioned problems relating to this case, that is, adhesiveness, dimensional characteristics, solder heat resistance, further low water absorption, low heat absorption, to provide a heat-resistant bonding sheet used for FPC excellent in low dielectric properties. As a result, the present invention has been achieved.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明に係る耐熱性ボン
ディングシートの製造方法の要旨とするところは、ポリ
イミド(a)フィルムの片面または両面に熱可塑性ポリ
イミド(b)層が積層されて構成される積層体を製造す
る工程が、ポリイミド(a)の前駆体であるポリアミド
酸を部分的にイミド化したゲルフィルムを製造するステ
ップと、該ゲルフィルムの表面に熱可塑性ポリイミド
(b)の前駆体であるポリアミド酸の有機溶媒溶液を塗
布するステップと、その後ポリイミド(a)及び熱可塑
性ポリイミド(b)に転化するステップと、該フィルム
を乾燥するステップとを含むことを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The gist of the method for producing a heat-resistant bonding sheet according to the present invention is that a thermoplastic polyimide (b) layer is laminated on one or both sides of a polyimide (a) film. The step of producing a laminate comprises: a step of producing a gel film obtained by partially imidizing a polyamic acid as a precursor of a polyimide (a); and a step of forming a precursor of a thermoplastic polyimide (b) on the surface of the gel film. A step of applying a solution of a polyamic acid in an organic solvent as described above, a step of subsequently converting into a polyimide (a) and a thermoplastic polyimide (b), and a step of drying the film.

【0010】そして、かかるボンディングシートにおい
て、前記熱可塑性ポリイミド(b)の前駆体であるポリ
アミド酸が下記一般式(1)
In this bonding sheet, the polyamic acid which is a precursor of the thermoplastic polyimide (b) is represented by the following general formula (1):

【0011】[0011]

【化4】 (式中、 kは1以上の整数、m、nはm+nが1以上
となるそれぞれ0以上の整数である。 A、Bは4価の
有機基、X、Yは2価の有機基を示す。)で表されるこ
とを特徴とする(請求項2)。更に請求項3は前記A及
びBが下記群(I)
Embedded image (In the formula, k is an integer of 1 or more, m and n are each an integer of 0 or more where m + n is 1 or more. A and B are tetravalent organic groups, and X and Y are divalent organic groups. )) (Claim 2). Further, claim 3 is that said A and B are of the following group (I):

【0012】[0012]

【化5】 から選択される4価の有機基であり、X、Yが以下に示
す群(II)
Embedded image Wherein X and Y are the following groups (II):

【0013】[0013]

【化6】 から選択される2価の有機基であることを特徴とし、請
求項4はポリイミド(a)フィルムが、非熱可塑性ポリ
イミドフィルムまたはガラス転移温度が350℃以上の
熱可塑性ポリイミドフィルムのいずれかであることを特
徴とする。
Embedded image Wherein the polyimide (a) film is either a non-thermoplastic polyimide film or a thermoplastic polyimide film having a glass transition temperature of 350 ° C. or higher. It is characterized by the following.

【0014】尚、本発明における用語「ゲルフィルム」
とは、ポリアミド酸をイミド化してポリイミドとする反
応過程において、部分的に硬化または部分的に乾燥され
た状態のフィルムであり、ポリアミド酸とイミド化され
たポリイミドが混在している状態で、自己支持性を有す
るフィルムをいう。
The term “gel film” in the present invention
Is a film in a partially cured or partially dried state in the process of imidizing polyamic acid to form polyimide, and in a state in which polyamic acid and imidized polyimide are mixed, Refers to a film having supportability.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below.

【0016】最初に、本発明におけるポリイミド(a)
フィルムについて説明する。本発明において使用される
ポリイミド(a)フィルムは、公知の方法で製造するこ
とができる。即ちポリイミド(a)の前駆体物質である
ポリアミド酸を含む有機溶媒溶液を支持体に流延、塗布
し、化学的にあるいは熱的にイミド化することで得られ
る。
First, the polyimide (a) of the present invention
The film will be described. The polyimide (a) film used in the present invention can be produced by a known method. That is, it can be obtained by casting an organic solvent solution containing a polyamic acid, which is a precursor substance of the polyimide (a), onto a support, and chemically or thermally imidizing the solution.

【0017】本発明に用いられるポリイミド(a)の前
駆体物質であるポリアミド酸は、通常、芳香族酸二無水
物の少なくとも1種とジアミンの少なくとも1種を、実
質的等モル量を有機溶媒中に溶解させて、制御された温
度条件下で、重合が完了するまで攪拌することによって
製造される。
The polyamic acid, which is a precursor of the polyimide (a) used in the present invention, is usually composed of at least one aromatic dianhydride and at least one diamine in substantially equimolar amounts in an organic solvent. It is prepared by dissolving in it and stirring under controlled temperature conditions until the polymerization is complete.

【0018】本発明に用いられるポリイミド(a)に対
応するポリアミド酸を合成するための適当な酸無水物
は、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタ
レンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6
−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2´,
3,3´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,
3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)
プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラ
カルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェ
ニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカ
ルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビ
ス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、
ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水
物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,4−ジカル
ボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フェニレンビ
ス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレン
ビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフ
ェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水
物)及びそれらの類似物を含む。
Suitable acid anhydrides for synthesizing the polyamic acid corresponding to the polyimide (a) used in the present invention include pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride. Thing, 3,3 ', 4,4'-
Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6
-Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ',
3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,
3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl)
Propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) Ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride,
Bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride) , Ethylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester anhydride) and the like.

【0019】これらのうち、本発明にかかるポリイミド
(a)ための最も適当な酸二無水物はピロメリット酸二
無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物、p−フェニレンビス(トリメ
リット酸モノエステル酸無水物)であり、これらを単独
または、任意の割合の混合物が好ましく用い得る。
Among these, the most suitable acid dianhydrides for the polyimide (a) according to the present invention are pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride), which can be used alone or in a mixture at any ratio.

【0020】本発明に用いられるポリイミド(a)に対
応するポリアミド酸を合成するための適当なジアミン
は、4,4´−ジアミノジフェニルプロパン、4,4´
−ジアミノジフェニルメタン、3,3´−ジメチルベン
ジジン、3,3´−ジメトキシベンジジン、3,3´−
ジクロロベンジジン、4,4´−ジアミノジフェニルス
ルフィド、3,3´−ジアミノジフェニルスルホン、
4,4´−ジアミノジフェニルスルホン、4,4´−ジ
アミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノナフタレ
ン、4,4´−ジアミノジフェニルジエチルシラン、
4,4´−ジアミノジフェニルシラン、4,4´−ジア
ミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4´−
ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4´−ジア
ミノジフェニルN−フェニルアミン、1,4−ジアミノ
ベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミ
ノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、及びそれらの
類似物を含む。
Suitable diamines for synthesizing the polyamic acid corresponding to the polyimide (a) used in the present invention are 4,4'-diaminodiphenylpropane, 4,4 '
-Diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3'-
Dichlorobenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone,
4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 1,5-diaminonaphthalene, 4,4'-diaminodiphenyldiethylsilane,
4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'-diaminodiphenylethylphosphine oxide, 4,4'-
Diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4'-diaminodiphenyl N-phenylamine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, 1,2-diaminobenzene, and the like Including things.

【0021】これらのうち、本発明にかかるポリイミド
(a)のための適当なジアミンは、4,4´−ジアミノ
ジフェニルエーテル及びp−フェニレンジアミンが特に
好ましく、また、これらをモル比で100:0から1
0:90の割合で混合した混合物が好ましく用い得る。
Among these, suitable diamines for the polyimide (a) according to the present invention are particularly preferably 4,4'-diaminodiphenyl ether and p-phenylenediamine. 1
A mixture mixed at a ratio of 0:90 can be preferably used.

【0022】ポリアミド酸を合成するための溶媒は、ア
ミド系溶媒すなわちN,N−ジメチルフォルムアミド、
N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロ
リドンなどであり、N,N−ジメチルフォルムアミドが
特に好ましく用い得る。
Solvents for synthesizing polyamic acid include amide solvents, ie, N, N-dimethylformamide,
Examples thereof include N, N-dimethylacetamide and N-methyl-2-pyrrolidone, and N, N-dimethylformamide can be particularly preferably used.

【0023】上記の有機溶媒中で、酸無水物及びジアミ
ンを重合して得られたポリアミド酸溶液は、ポリアミド
酸固形分として15〜25wt%の濃度で得られること
が好ましい。。この範囲の濃度である場合に適当な分子
量と溶液粘度を得るためである。
The polyamic acid solution obtained by polymerizing an acid anhydride and a diamine in the above organic solvent is preferably obtained at a concentration of 15 to 25% by weight as a polyamic acid solid content. . This is for obtaining an appropriate molecular weight and solution viscosity when the concentration is in this range.

【0024】また、ポリイミド(a)はポリアミド酸を
イミド化して得られるが、イミド化には、熱キュア法及
びケミカルキュア法のいずれかを用いる。これらのう
ち、ケミカルキュア法による方が好ましい。熱キュア法
は、脱水閉環剤等を作用させずに加熱だけでイミド化反
応を進行させる方法である。
The polyimide (a) is obtained by imidizing a polyamic acid. For the imidization, either a thermal curing method or a chemical curing method is used. Of these, the chemical cure method is more preferred. The thermal curing method is a method in which an imidization reaction proceeds only by heating without the action of a dehydrating ring-closing agent or the like.

【0025】ケミカルキュア法は、ポリアミド酸有機溶
媒溶液に、化学的転化剤と触媒とを作用させる方法であ
る。化学的転化剤は、例えば脂肪族酸無水物、芳香族酸
無水物、N,N´ - ジアルキルカルボジイミド、低級
脂肪族ハロゲン化物、ハロゲン化低級脂肪酸無水物、ア
リールホスホン酸ジハロゲン化物、チオニルハロゲン化
物またはそれら2種以上の混合物が挙げられる。それら
のうち、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水ラク酸等の
脂肪族無水物またはそれらの2種以上の混合物が、好ま
しく用い得る。
The chemical curing method is a method in which a chemical conversion agent and a catalyst are allowed to act on a polyamic acid organic solvent solution. Chemical conversion agents include, for example, aliphatic anhydrides, aromatic anhydrides, N, N'-dialkylcarbodiimides, lower aliphatic halides, halogenated lower fatty acid anhydrides, arylphosphonic dihalides, thionyl halides or Mixtures of two or more thereof are mentioned. Among them, aliphatic anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride, and lacnic anhydride or a mixture of two or more thereof can be preferably used.

【0026】触媒としては脂肪族第三級アミン、芳香族
第三級アミン、複素環式第三級アミン等が用いられる。
それらのうちイソキノリン、β−ピコリン、ピリジン等
が特に好ましく用い得る。
As the catalyst, an aliphatic tertiary amine, an aromatic tertiary amine, a heterocyclic tertiary amine or the like is used.
Among them, isoquinoline, β-picoline, pyridine and the like can be particularly preferably used.

【0027】ケミカルキュア法に熱キュア法を併用して
もよい。イミド化の反応条件は、ポリアミド酸の種類、
フィルムの厚さ、熱キュア法及び/またはケミカルキュ
ア法の選択等により、変動し得る。
A heat curing method may be used in combination with the chemical curing method. The reaction conditions for imidization are the type of polyamic acid,
It may vary depending on the thickness of the film, the selection of the thermal curing method and / or the chemical curing method, and the like.

【0028】具体的に、ケミカルキュア法を例としてポ
リアミド酸有機溶媒溶液からポリイミドフィルムを製造
する方法について、以下説明する。上記得られたポリア
ミド酸組成物に化学的転化剤と触媒を混合した後、支持
体に流延、塗布する。次に、例えば100℃程度で緩や
かに加熱し、化学的転化剤と触媒を活性化させて、部分
的に硬化または部分的に乾燥したポリアミド酸フィルム
(以下ゲルフィルムという)に転移させる。
Specifically, a method for producing a polyimide film from a polyamic acid organic solvent solution will be described below by taking a chemical curing method as an example. After mixing the chemical conversion agent and the catalyst with the obtained polyamic acid composition, the mixture is cast on a support and coated. Next, by gentle heating at, for example, about 100 ° C., the chemical conversion agent and the catalyst are activated to transfer to a partially cured or partially dried polyamic acid film (hereinafter, referred to as a gel film).

【0029】ゲルフィルムは、ポリアミド酸からポリイ
ミドへのイミド化の中間段階にあり、自己支持性を有す
る。ゲルフィルムは、部分的に硬化または部分的に乾燥
された状態であり、ポリアミド酸とイミド化されたポリ
イミドが混在している。このゲルフィルムは、揮発成分
含量およびイミド化率が一定の範囲であるように調整さ
れる。揮発成分含量は、式1から算出される。
The gel film is at an intermediate stage of imidization of the polyamic acid to the polyimide, and has a self-supporting property. The gel film is in a partially cured or partially dried state, and contains a polyamic acid and imidized polyimide. This gel film is adjusted so that the volatile component content and the imidization ratio are within a certain range. The volatile component content is calculated from Equation 1.

【0030】(A−B)×100/B・・・・式1 式1中、A、Bは、以下のものを表す。 Aは、ゲルフィルムの重量 Bは、ゲルフィルムを450℃で20分間加熱した後の
重量 また、イミド化率は、赤外線吸光分析法を用いて、式2
から算出される。 (C/D)×100/(E/F)・・・・式2 式2中、C、D、E、Fは以下のものを表す。 C:ゲルフィルムの1370cm-1の吸収ピーク高さ D:ゲルフィルムの1500cm-1の吸収ピーク高さ E:ポリイミドフィルムの1370cm-1の吸収ピーク高さ F:ポリイミドフィルムの1500cm-1の吸収ピーク高さ 揮発成分含量は、5〜300%の範囲、好ましくは、5
〜100%の範囲、より好ましくは5〜50%の範囲で
ある。また、イミド化率は50%以上の範囲、好ましく
は70%以上、より好ましくは80%以上、最も好まし
くは85%以上の範囲である。
(AB) × 100 / B (1) In the formula 1, A and B represent the following. A is the weight of the gel film. B is the weight of the gel film after heating at 450 ° C. for 20 minutes.
Is calculated from (C / D) × 100 / (E / F) Formula 2 In Formula 2, C, D, E, and F represent the following. C: Absorption peak height of gel film at 1370 cm -1 D: Absorption peak height of gel film at 1500 cm -1 E: Absorption peak height of polyimide film at 1370 cm -1 F: Absorption peak of polyimide film at 1500 cm -1 Height The volatile content is in the range of 5 to 300%, preferably 5 to 300%.
-100%, more preferably 5-50%. The imidation ratio is in the range of 50% or more, preferably 70% or more, more preferably 80% or more, and most preferably 85% or more.

【0031】得られたゲルフィルムは、テンター工程で
の収縮を抑制するため、収縮抑制用のテンタークリップ
またピンを用いてフィルムの端部を保持し、段階的にフ
ィルムを加熱して乾燥かつイミド化して、ポリイミド
(a)フィルムとする。具体的には、200℃程度から
段階的に加熱し、最終的には400℃程度の温度まで1
5〜400秒加熱するのが好ましい。また、最終的なボ
ンディングシートの厚みは、柔軟性および取り扱いの点
で6〜100μm、特に15〜90μmが好ましい。そ
の際のポリイミド(a)フィルムの厚みは5〜80μ
m、特に12〜75μm、熱可塑性ポリイミド(b)層
の厚みは1〜20μm、特に3〜15μmが好ましい。
In order to suppress shrinkage in the tenter process, the obtained gel film is held at the edge of the film with a tenter clip or pin for suppressing shrinkage, and is heated stepwise to dry and imidize the film. Into a polyimide (a) film. Specifically, heating is performed stepwise from about 200 ° C., and finally to a temperature of about 400 ° C.
It is preferable to heat for 5 to 400 seconds. Further, the thickness of the final bonding sheet is preferably 6 to 100 μm, particularly preferably 15 to 90 μm in terms of flexibility and handling. At this time, the thickness of the polyimide (a) film is 5 to 80 μm.
m, especially 12 to 75 μm, and the thickness of the thermoplastic polyimide (b) layer is preferably 1 to 20 μm, particularly preferably 3 to 15 μm.

【0032】本発明においては熱可塑性ポリイミド
(b)層を形成するポリアミド酸溶液を、上記したポリ
イミド(a)フィルムのゲルフィルム段階で浸浸法や、
Tダイを用いる方法、ドクターブレードを用いる方法、
あるいはリバースコーターを用いる方法等の塗布法によ
り積層するが、これらを積層せずに得られる通常法によ
るポリイミド(a)フィルムは、非熱可塑性ポリイミド
フィルムまたはガラス転移温度が350℃以上の熱可塑
性ポリイミドフィルムのいずれかであることが耐熱性の
点で好ましい。
In the present invention, the polyamic acid solution for forming the thermoplastic polyimide (b) layer is immersed in the gel film stage of the polyimide (a) film,
A method using a T-die, a method using a doctor blade,
Alternatively, lamination is performed by a coating method such as a method using a reverse coater, but a polyimide (a) film obtained by a normal method obtained without laminating them is a non-thermoplastic polyimide film or a thermoplastic polyimide having a glass transition temperature of 350 ° C. or more. One of the films is preferred in terms of heat resistance.

【0033】続いて熱可塑性ポリイミド(b)層の前駆
体として用いられるポリアミド酸の調製方法について説
明する。熱可塑性ポリイミド(b)層の前駆体であるポ
リアミド酸は、基本的には前記したポリイミド(a)フ
ィルムの前駆体と同様の方法で得られるが、用いられる
酸二無水物成分としては、下記一般式(2)で示される
ものが好ましい。
Next, a method for preparing a polyamic acid used as a precursor of the thermoplastic polyimide (b) layer will be described. Polyamic acid, which is a precursor of the thermoplastic polyimide (b) layer, can be obtained basically in the same manner as the above-mentioned precursor of the polyimide (a) film. Those represented by the general formula (2) are preferred.

【0034】[0034]

【化7】 但し式中、R1は以下の群(I)から選択される4価の
有機基を示し、
Embedded image In the formula, R 1 represents a tetravalent organic group selected from the following group (I);

【0035】[0035]

【化8】 群(I)から2種以上の4価の有機基を選択して、それ
らに対応する酸二無水物を使用してポリアミド酸を合成
することは特に好ましい。
Embedded image It is particularly preferable to select two or more tetravalent organic groups from the group (I) and synthesize a polyamic acid using the corresponding acid dianhydride.

【0036】また、熱可塑性ポリイミド(b)層の前駆
体であるポリアミド酸の合成に用いられるジアミン成分
としては、下記一般式(3)で示されるものが好まし
い。
As the diamine component used for synthesizing the polyamic acid which is a precursor of the thermoplastic polyimide (b) layer, those represented by the following general formula (3) are preferable.

【0037】[0037]

【化9】 但し式中、R2は以下の群(II)から選択される2価
の有機基を示し、
Embedded image In the formula, R 2 represents a divalent organic group selected from the following group (II);

【0038】[0038]

【化10】 群(II)から2種以上の2価の有機基を選択して、そ
れらに対応するジアミンを使用してポリアミド酸を合成
することは特に好ましい。
Embedded image It is particularly preferable to select two or more divalent organic groups from the group (II) and synthesize a polyamic acid using the corresponding diamine.

【0039】係る熱可塑性ポリイミド(b)層のポリア
ミド酸共重合体及びポリイミド共重合体の分子量は特に
規制されるものではないが、耐熱性接着剤としての強度
を維持するためには、数平均分子量が5万以上、さらに
は8万以上、特には10万以上が好ましい。接着剤であ
るポリアミド酸共重合体(溶液)の分子量はGPC(ゲ
ル浸透クロマトグラフィー)により測定が可能である。
The molecular weights of the polyamic acid copolymer and the polyimide copolymer in the thermoplastic polyimide (b) layer are not particularly limited, but in order to maintain the strength as a heat-resistant adhesive, a number average molecular weight is required. The molecular weight is preferably 50,000 or more, more preferably 80,000 or more, and particularly preferably 100,000 or more. The molecular weight of the polyamic acid copolymer (solution) as the adhesive can be measured by GPC (gel permeation chromatography).

【0040】以上、本発明に係る耐熱性ボンディングシ
ートの実施の形態について説明したが、本発明はこれに
よって限定されるものではなく、本発明はその趣旨を逸
脱しない範囲で当業者の知識に基づき、種々なる改良、
変更、修正を加えた様態で実施しうるものである。以
下、実施例により本発明をより具体的に説明する。
Although the embodiment of the heat-resistant bonding sheet according to the present invention has been described above, the present invention is not limited to this, and the present invention is based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the scope of the present invention. , Various improvements,
The present invention can be implemented in a form in which changes and modifications are made. Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples.

【0041】[0041]

【実施例】実施例1 系全体を氷水で冷やし、窒素置換をした2000mlの三
口のセパラブルフラスコに2,2´−ビス[4−(4‐
アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(以下、BAP
Pという。)123.1gを716.2gのジメチルホ
ルムアミド(以下、DMFという)を用いて投入し15
分間攪拌した。続いて3,3´,4,4´−ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸二無水物(以下、BTDAとい
う。)33.8gを、20gのDMFを用いて投入し
た。続いて、3,3´,4,4´‐エチレングリコール
ジベンゾエートテトラカルボン酸二無水物(以下、TM
EGという。)76.0gを、20gのDMFを用いて
投入し30分間撹拌した。30分間の撹拌の後、さらに
TMEG4.1gがDMF36.9gに溶解した溶液を
フラスコ内の溶液の粘度に注意しながら徐々に投入し、
その後1時間撹拌しながら放置し、固形分濃度が23%
の熱可塑性ポリイミド(b)層用のポリアミド酸溶液を
得た。
EXAMPLE 1 The whole system was cooled with ice water and placed in a 2000 ml three-neck separable flask purged with nitrogen.
Aminophenoxy) phenyl] propane (hereinafter BAP
It is called P. ) 123.1 g was charged using 716.2 g of dimethylformamide (hereinafter referred to as DMF) and
Stirred for minutes. Subsequently, 33.8 g of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as “BTDA”) was charged using 20 g of DMF. Subsequently, 3,3 ′, 4,4′-ethylene glycol dibenzoate tetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as TM
EG. ) 76.0 g was added using 20 g of DMF and stirred for 30 minutes. After stirring for 30 minutes, a solution in which 4.1 g of TMEG was dissolved in 36.9 g of DMF was gradually added while paying attention to the viscosity of the solution in the flask.
After that, it was left for 1 hour with stirring, and the solid concentration was 23%.
A polyamic acid solution for a thermoplastic polyimide (b) layer was obtained.

【0042】一方で、ピロメリット酸二無水物/p−フ
ェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)
/p−フェニレンジアミン/4,4´−ジアミノジフェ
ニルエーテルをモル比で5/5/4/6の割合で合成し
たポリアミド酸の17重量%DMF溶液を遠心分離器に
よる脱泡後、最終厚みが17μmとなるようにアルミ箔
上に流延塗布した。このアルミ箔上のポリアミド酸溶液
を110℃で4分間加熱し自己支持性を有するゲルフィ
ルムを得た。このゲルフィルムを上記で調合した熱可塑
性ポリイミド(b)の前駆体であるポリアミド酸溶液に
浸漬し、熱可塑性ポリイミド(b)層の最終片面厚みが
4μmとなるように余分なポリアミド酸を除去した後、
150℃、200℃、250℃、300℃、350℃で
各1分間加熱して、トータル厚み25μmのボンディン
グシートを得た。得られたボンディングシートの熱可塑
性ポリイミド(b)面に18μm厚の圧延銅箔を重ね、
その上に25μm厚ポリイミドフィルムを離型フィルム
として配設して、ダブルベルトプレス機(DBP)にて
ラミネートし銅張積層板を得た。ラミネート温度は28
0℃、圧力70kgf/cm2、ラミネート時間約5分
間であった。得られた銅張積層板について、JIS C
6481に従い、接着強度(kgf/cm)、JIS6
471に従い、半田耐熱性を測定した。その結果を表1
に示す。半田耐熱性は、常態調整後(20℃、60%R
H、24時間調整後、300℃ 1分間浸せき)、吸湿
後(40℃、90%RH、96時間調整後、280℃
10秒間浸せき)の2条件で測定した。結果を表1に示
す。
On the other hand, pyromellitic dianhydride / p-phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride)
After defoaming a 17% by weight DMF solution of polyamic acid, which was synthesized at a molar ratio of 5/5/4/6 / p-phenylenediamine / 4,4'-diaminodiphenyl ether, the final thickness was 17 μm. Was applied by casting on an aluminum foil. The polyamic acid solution on the aluminum foil was heated at 110 ° C. for 4 minutes to obtain a gel film having self-supporting properties. This gel film was immersed in a polyamic acid solution as a precursor of the thermoplastic polyimide (b) prepared above, and excess polyamic acid was removed so that the final one-sided thickness of the thermoplastic polyimide (b) layer was 4 μm. rear,
Heating was performed at 150 ° C., 200 ° C., 250 ° C., 300 ° C., and 350 ° C. for 1 minute each to obtain a bonding sheet having a total thickness of 25 μm. An 18 μm-thick rolled copper foil is laminated on the thermoplastic polyimide (b) surface of the obtained bonding sheet,
A 25 μm-thick polyimide film was provided thereon as a release film, and was laminated with a double belt press (DBP) to obtain a copper-clad laminate. Laminating temperature is 28
The temperature was 0 ° C., the pressure was 70 kgf / cm 2 , and the lamination time was about 5 minutes. Regarding the obtained copper-clad laminate, JIS C
6481, adhesive strength (kgf / cm), JIS6
471, the solder heat resistance was measured. Table 1 shows the results.
Shown in Solder heat resistance after normal condition adjustment (20 ° C, 60% R
H, after adjusting for 24 hours, soak at 300 ° C for 1 minute), after absorbing moisture (40 ° C, 90% RH, after adjusting for 96 hours, 280 ° C)
(Dipping for 10 seconds). Table 1 shows the results.

【0043】実施例2 熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸溶液の
作製、ポリイミド(a)フィルムのゲルフィルム作製は
実施例1と同様に行った後、このゲルフィルムに、コン
マコーターを用いて最終厚みが4μmになるようにポリ
アミド酸を塗布した。その後の乾燥、銅張り積層板の作
製、物性測定も実施例1と同様に行った。結果を表1に
示す。
Example 2 Preparation of a polyamic acid solution as a precursor of a thermoplastic polyimide and preparation of a gel film of a polyimide (a) film were performed in the same manner as in Example 1, and the gel film was applied to the gel film using a comma coater. Polyamic acid was applied to a final thickness of 4 μm. Thereafter, drying, production of a copper-clad laminate, and measurement of physical properties were performed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0044】実施例3 系全体を氷水で冷やし、窒素置換をした2000mlの三
口のセパラブルフラスコにBAPP82.2gを、65
0.0gのDMFを用いて投入し15分間攪拌した。続
いてBTDA21.3gを40gのDMFを用いて投入
した。続いて、2,2´−ビス(ヒドロキシフェニル)
プロパンジベンゾエートテトラカルボン酸二無水物(以
下、ESDAという。)71.5gを、20gのDMFを用
いて投入し30分間撹拌した。30分間の撹拌の後、さ
らにESDA5.8gがDMF52.2gに溶解してい
る溶液をフラスコ内の溶液の粘度に注意しながら徐々に
投入し、その後1時間撹拌しながら放置し、固形分濃度
が23%の熱可塑性ポリイミド(b)層用のポリアミド
酸溶液を得た。
Example 3 The entire system was cooled with ice water, and 82.2 g of BAPP was placed in a 2000 ml three-neck separable flask purged with nitrogen.
It was charged using 0.0 g of DMF and stirred for 15 minutes. Subsequently, 21.3 g of BTDA was charged using 40 g of DMF. Subsequently, 2,2'-bis (hydroxyphenyl)
71.5 g of propane dibenzoate tetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as ESDA) was added using 20 g of DMF and stirred for 30 minutes. After stirring for 30 minutes, a solution in which 5.8 g of ESDA was dissolved in 52.2 g of DMF was gradually added while paying attention to the viscosity of the solution in the flask. A 23% polyamic acid solution for the thermoplastic polyimide (b) layer was obtained.

【0045】ポリイミド(a)フィルムのゲルフィルム
作製は実施例1と同様に行った後、このゲルフィルム
に、コンマコーターを用いて最終厚みが4μmになるよ
うにポリアミド酸を塗布した。その後の乾燥、銅張り積
層板の作製、物性測定も実施例1と同様に行った。結果
を表1に示す。
A gel film of the polyimide (a) film was prepared in the same manner as in Example 1, and a polyamic acid was applied to the gel film so as to have a final thickness of 4 μm using a comma coater. Thereafter, drying, production of a copper-clad laminate, and measurement of physical properties were performed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0046】[0046]

【表1】 [Table 1]

【0047】[0047]

【発明の効果】以上のように、本発明に係るボンディン
グシートは、特に耐熱性、ベースフィルムと熱可塑性ポ
リイミド界面および熱可塑性ポリイミドと銅箔界面のピ
ール強度、寸法特性に優れ、FPCやリジット‐フレッ
クス基板材料、COF及びLOCパッケージ、MCM等
の新規高密度実装材料用途等に好適である。
As described above, the bonding sheet according to the present invention is excellent in heat resistance, the peel strength at the interface between the base film and the thermoplastic polyimide and between the thermoplastic polyimide and the copper foil, and the dimensional characteristics, and the bonding sheet according to the present invention. It is suitable for use in new high-density packaging materials such as flex board materials, COF and LOC packages, and MCM.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポリイミド(a)フィルムの片面または
両面に熱可塑性ポリイミド(b)層が積層されて構成さ
れる積層体を製造する工程が、ポリイミド(a)の前駆
体であるポリアミド酸を部分的にイミド化したゲルフィ
ルムを製造するステップと、該ゲルフィルムの表面に熱
可塑性ポリイミド(b)の前駆体であるポリアミド酸の
有機溶媒溶液を塗布するステップと、その後ポリイミド
(a)及び熱可塑性ポリイミド(b)に転化するステッ
プと、該フィルムを乾燥するステップとを含むことを特
徴とする耐熱性ボンディングシートの製造方法。
1. A process for producing a laminate comprising a thermoplastic polyimide (b) layer laminated on one side or both sides of a polyimide (a) film comprises a step of partially removing a polyamic acid which is a precursor of the polyimide (a). Producing an imidized gel film, applying an organic solvent solution of polyamic acid, which is a precursor of the thermoplastic polyimide (b), to the surface of the gel film, and then applying the polyimide (a) and the thermoplastic A method for producing a heat-resistant bonding sheet, comprising a step of converting into a polyimide (b) and a step of drying the film.
【請求項2】 熱可塑性ポリイミド(b)層の前駆体で
あるポリアミド酸が一般式(1) 【化1】 (式中、 kは1以上の整数、m、nはm+nが1以上
となるそれぞれ0以上の整数である。 A、Bは4価の
有機基、X、Yは2価の有機基を示す。)で表される、
請求項1に記載する耐熱性ボンディングシートの製造方
法。
2. A polyamic acid, which is a precursor of the thermoplastic polyimide (b) layer, has the general formula (1): ## STR1 ## (In the formula, k is an integer of 1 or more, m and n are each an integer of 0 or more where m + n is 1 or more. A and B are tetravalent organic groups, and X and Y are divalent organic groups. )),
A method for producing the heat-resistant bonding sheet according to claim 1.
【請求項3】 前記一般式(1)中のA、Bが以下に示
す群(I) 【化2】 から選択される4価の有機基であり、X、Yが以下に示
す群(II) 【化3】 から選択される2価の有機基であることを特徴とする請
求項2に記載する耐熱性ボンディングシートの製造方
法。
3. A group (I) wherein A and B in the general formula (1) are as follows: Wherein X and Y are groups (II) shown below: The method for producing a heat-resistant bonding sheet according to claim 2, wherein the divalent organic group is selected from the group consisting of:
【請求項4】 ポリイミド(a)フィルムが、非熱可塑
性ポリイミドフィルムまたはガラス転移温度が350℃
以上の熱可塑性ポリイミドフィルムのいずれかであるこ
とを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に
記載する耐熱性ボンディングシートの製造方法。
4. The polyimide (a) film is a non-thermoplastic polyimide film or a glass transition temperature of 350 ° C.
The method for producing a heat-resistant bonding sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the method is any one of the thermoplastic polyimide films described above.
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