JP2002316386A - Copper-clad laminate and its production method - Google Patents

Copper-clad laminate and its production method

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JP2002316386A
JP2002316386A JP2001123679A JP2001123679A JP2002316386A JP 2002316386 A JP2002316386 A JP 2002316386A JP 2001123679 A JP2001123679 A JP 2001123679A JP 2001123679 A JP2001123679 A JP 2001123679A JP 2002316386 A JP2002316386 A JP 2002316386A
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JP
Japan
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copper
adhesive layer
copper foil
clad laminate
heat
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Application number
JP2001123679A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Tanaka
田中  滋
Kosuke Kataoka
孝介 片岡
Hiroyuki Furuya
浩行 古谷
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Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a copper-clad laminate having a thin copper foil layer which is excellent in adhesion, moisture absorption properties, and heat resistance. SOLUTION: The copper-clad laminate has copper foil 1-8 μm in thickness, an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide resin as a main component, and a heat resistant film. The method for producing the copper-clad laminate includes a process for forming the adhesive layer on the heat resistant film, a process for arranging the copper foil with a carrier on the surface of the adhesive layer, a process in which the obtained laminate is hot-pressed to bond the adhesive layer in the laminate and the copper foil with the carrier together, and a process for peeling off the carrier.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂層の片面また
は両面に厚みが8μm以下の銅箔を積層した銅張積層体
およびその製造方法に関し、さらに詳しくは、FPCな
どのエレクトロニクス基板材料に好適に用いることので
きる、耐熱性、銅箔と樹脂層の接着性、細線パターン形
成性などの諸特性に優れる銅張積層体およびその製造方
法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a copper-clad laminate in which a copper foil having a thickness of 8 .mu.m or less is laminated on one or both sides of a resin layer, and a method for producing the same. The present invention relates to a copper-clad laminate excellent in various properties such as heat resistance, adhesion between a copper foil and a resin layer, and fine line pattern formability, and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年のIT技術の急速な進歩に伴って、
携帯端末機器、コンピュータやディスプレイなどの電子
機器の高性能化、高機能化、および小型化が急速に進ん
でいる。これに伴い、電子機器に用いられる半導体素子
などの電子部品やそれらを実装する基板に対しても、よ
り高密度かつ高性能なものが求められるようになってき
た。
2. Description of the Related Art With the rapid progress of IT technology in recent years,
2. Description of the Related Art Higher performance, higher functionality, and smaller size of electronic devices such as portable terminal devices, computers and displays are rapidly progressing. Along with this, electronic components such as semiconductor elements used in electronic devices and substrates on which they are mounted have been required to have higher density and higher performance.

【0003】フレキシブルプリント配線板(以下FPC
と呼ぶ)に関しては、配線パターンの細線化や多層形成
などが行われるようになり、FPCに直接部品を搭載す
る部品実装用FPC、両面に回路を形成した両面FP
C、複数のFPCを積層して層間を配線でつないだ多層
FPCなどが出現してきた。そのため、FPCを構成す
る材料についても、薄型化および寸法安定性が一層厳し
く要求されるようになってきた。
[0003] Flexible printed wiring boards (hereinafter FPCs)
For this reason, thinning of wiring patterns and multi-layer formation will be performed, and a component mounting FPC in which components are directly mounted on the FPC, and a double-sided FP in which a circuit is formed on both sides.
C, multilayer FPCs in which a plurality of FPCs are stacked and the layers are connected by wiring have appeared. For this reason, thinner materials and dimensional stability have been required more strictly for materials constituting FPCs.

【0004】一般的に、FPCは、耐熱性フィルムの片
面または両面に接着層を介して銅箔を貼り合わせて銅張
積層体とし、銅箔をエッチングして所望の回路パターン
を形成させて製造される。耐熱性フィルムには、耐熱
性、機械的特性やその他諸特性に優れる芳香族ポリアミ
ド樹脂やポリイミド樹脂からなるフィルムが広く用いら
れている。また、接着層には、絶縁性や耐熱性に優れる
エポキシ樹脂やアクリル樹脂などが用いられていたが、
低吸湿性や耐熱性の特性バランスにより優れる熱可塑性
ポリイミド樹脂を主成分とする樹脂が用いられる様にな
ってきた。その一方、耐熱性フィルムの優れた耐熱性、
絶縁性を損なわないために、最近は、接着層を形成しな
いで銅張積層体を製造する方法、即ち、銅箔にポリイミ
ド樹脂またはその前駆体であるポリアミド酸溶液を直接
塗布し、乾燥・イミド化させることにより銅張積層体を
製造する方法が採用されてきている。
In general, an FPC is manufactured by bonding a copper foil to one or both sides of a heat-resistant film via an adhesive layer to form a copper-clad laminate, and etching the copper foil to form a desired circuit pattern. Is done. As the heat-resistant film, a film made of an aromatic polyamide resin or a polyimide resin having excellent heat resistance, mechanical properties and other various properties is widely used. For the adhesive layer, epoxy resin or acrylic resin with excellent insulation and heat resistance were used,
Resins containing a thermoplastic polyimide resin as a main component, which is excellent in balance between properties of low moisture absorption and heat resistance, have come to be used. On the other hand, excellent heat resistance of the heat-resistant film,
In order not to impair the insulation, recently, a method of manufacturing a copper-clad laminate without forming an adhesive layer, that is, a polyimide resin or a polyamic acid solution that is a precursor thereof is directly applied to a copper foil, and dried and imidized. A method of manufacturing a copper-clad laminate by making the copper clad laminate has been adopted.

【0005】FPCには、従来、厚みが9〜30μmの
銅箔が用いられていたが、配線ピッチの微細化ために、
より薄い銅箔を使用することが求められるようになって
きた。しかし、銅箔は、単体では自己支持性に乏しいの
で、FPCの製造には、9μm以下の銅箔を用いること
は困難であり、最近では、キャリア用銅箔に、はく離層
を介して8μm以下の銅箔を形成したキャリア付き極薄
銅箔を使用することが提案されている[エレクトロニク
ス実装学会誌 Vol4、No2、108〜112(2
001)]。
Conventionally, a copper foil having a thickness of 9 to 30 μm has been used for the FPC.
It has become necessary to use thinner copper foil. However, since the copper foil alone has poor self-supporting property, it is difficult to use a copper foil of 9 μm or less for the manufacture of FPC. Recently, a copper foil for a carrier has a thickness of 8 μm or less via a release layer. It has been proposed to use an ultra-thin copper foil with a carrier on which a copper foil is formed [Journal of Japan Institute of Electronics Packaging Vol4, No2, 108-112 (2)
001)].

【0006】しかし、キャリア付き極薄銅箔に、ポリイ
ミド樹脂溶液またはポリアミド酸溶液を直接塗布して銅
張積層体を製造する場合、長時間にわたり高温で加熱し
なければならず、はく離層が溶融または分解することに
よってキャリア用銅箔と極薄銅箔が剥がれなくなるとい
う問題があった。そのため8μm以下の銅箔層を有する
銅張積層体を得ることは困難であった。
However, when a polyimide resin solution or a polyamic acid solution is directly applied to an ultra-thin copper foil with a carrier to produce a copper-clad laminate, it must be heated at a high temperature for a long time, and the delamination layer may be melted. Alternatively, there is a problem in that the copper foil for a carrier and the ultra-thin copper foil cannot be peeled off due to decomposition. Therefore, it was difficult to obtain a copper-clad laminate having a copper foil layer of 8 μm or less.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の課題を解決するものであって、電子機器の小型化、
高性能化に対応するために、電子機器に用いられる半導
体素子などの電子部品やそれらを実装する基板を高密度
かつ高性能にする技術を提供する。本発明は、フレキシ
ブルプリント配線板(FPC)などの配線ピッチの微細
化に必要な、銅箔層を薄型化する技術、およびこれによ
って得られた、接着性、吸湿特性、耐熱性などに優れた
積層体を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art.
In order to cope with higher performance, a technology for increasing the density and performance of electronic components such as semiconductor elements used in electronic devices and a substrate on which they are mounted is provided. The present invention provides a technique for thinning a copper foil layer required for finer wiring pitch of a flexible printed wiring board (FPC) and the like, and excellent adhesiveness, moisture absorbing properties, heat resistance and the like obtained by the technique. A laminate is provided.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、厚みが1〜8
μmの銅箔、熱可塑性ポリイミド樹脂を主成分とする接
着層、および耐熱性フィルムを備えた、銅張積層体に関
する。
According to the present invention, a thickness of 1 to 8 is provided.
The present invention relates to a copper-clad laminate including a μm copper foil, an adhesive layer mainly containing a thermoplastic polyimide resin, and a heat-resistant film.

【0009】好ましくは、上記耐熱性フィルムはポリイ
ミドフィルムである。
Preferably, the heat-resistant film is a polyimide film.

【0010】好ましくは、上記接着層は、150℃〜2
50℃のガラス転移温度を持つ。
Preferably, the adhesive layer is formed at 150 ° C. to 2 ° C.
It has a glass transition temperature of 50 ° C.

【0011】本発明はまた、厚みが1〜8μmの銅箔を
備えた銅張積層体を製造する方法に関し、この方法は、
耐熱性フィルム上に接着層を形成する工程;該接着層の
表面にキャリア付き銅箔を配置する工程;得られた積層
体を加熱加圧し、該積層体中の接着層とキャリア付き銅
箔とを接着させる工程;およびキャリアを引き剥がす工
程を包含する。
The present invention also relates to a method for producing a copper-clad laminate comprising a copper foil having a thickness of 1 to 8 μm, the method comprising:
A step of forming an adhesive layer on the heat-resistant film; a step of arranging a copper foil with a carrier on the surface of the adhesive layer; heating and pressing the obtained laminate to form an adhesive layer and a copper foil with a carrier in the laminate. And peeling off the carrier.

【0012】好ましくは、上記接着させる工程は、前記
接着層のガラス転移温度より50℃〜100℃高い温度
で行われる。
Preferably, the bonding step is performed at a temperature higher by 50 ° C. to 100 ° C. than the glass transition temperature of the bonding layer.

【0013】本発明の銅張積層体は、厚みが1〜8μm
の銅箔、熱可塑性ポリイミド樹脂を主成分とする接着
層、および耐熱性フィルムを備え、この銅張積層体は、
耐熱性フィルム上に接着層を形成する工程;この接着層
の表面にキャリア付き銅箔を配置する工程;得られた積
層体を加熱加圧し、この積層体中の接着層とキャリア付
き銅箔とを接着させる工程;およびキャリアを引き剥が
す工程を包含する方法によって製造され得る。
The copper-clad laminate of the present invention has a thickness of 1 to 8 μm.
Copper foil, an adhesive layer containing thermoplastic polyimide resin as a main component, and a heat-resistant film, the copper-clad laminate,
A step of forming an adhesive layer on the heat-resistant film; a step of arranging a copper foil with a carrier on the surface of the adhesive layer; heating and pressing the obtained laminate to form an adhesive layer and a copper foil with a carrier in the laminate. And peeling off the carrier.

【0014】好ましくは、上記接着させる工程は、上記
接着層のガラス転移温度より50℃〜100℃高い温度
で行われる。
Preferably, the bonding step is performed at a temperature 50 ° C. to 100 ° C. higher than the glass transition temperature of the bonding layer.

【0015】好ましくは、上記耐熱性フィルムはポリイ
ミドフィルムである。
[0015] Preferably, the heat resistant film is a polyimide film.

【0016】好ましくは、上記接着層は150℃〜25
0℃のガラス転移温度を持つ。
Preferably, the adhesive layer has a temperature of 150 ° C. to 25 ° C.
It has a glass transition temperature of 0 ° C.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて説明する。最初に、本発明における銅張積層体の構
成について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below. First, the configuration of the copper clad laminate according to the present invention will be described.

【0018】本発明の銅張積層体は、耐熱性フィルムの
片面または両面に熱可塑性ポリイミド樹脂を主成分とす
る接着層を介して、厚みが8μm以下の銅箔が積層され
ている構造を有する。銅箔の厚みの下限は1μmとする
ことが好ましい。1μm未満であると、得られる回路の
断線によって、FPCの導通信頼性が損われる。上記耐
熱性フィルムとしては、例えば、芳香族ポリエステルフ
ィルム、芳香族ポリアミドフィルムやポリイミドフィル
ムなどが用いられ、耐熱性、引張弾性率、破断強度など
の機械的特性、可撓性や低吸水性などの諸特性の相互バ
ランスに優れる点で、ポリイミドフィルムが最も好適に
用いられる。
The copper-clad laminate of the present invention has a structure in which a copper foil having a thickness of 8 μm or less is laminated on one or both surfaces of a heat-resistant film via an adhesive layer containing a thermoplastic polyimide resin as a main component. . The lower limit of the thickness of the copper foil is preferably 1 μm. If it is less than 1 μm, the reliability of conduction of the FPC is impaired due to disconnection of the obtained circuit. As the heat-resistant film, for example, aromatic polyester film, aromatic polyamide film or polyimide film is used, heat resistance, tensile elastic modulus, mechanical properties such as breaking strength, flexibility and low water absorption and the like A polyimide film is most preferably used because it is excellent in mutual balance of various properties.

【0019】本発明の銅張積層体における接着層に用い
られる樹脂は、絶縁性や耐熱性(特に、200℃以上の
長期耐熱性)に優れる点で熱可塑性ポリイミド樹脂を主
成分とする樹脂を用いることが好ましい。また、接着層
は、150℃〜250℃の範囲内のガラス転移温度を有
することが好ましい。
The resin used for the adhesive layer in the copper-clad laminate of the present invention is a resin containing a thermoplastic polyimide resin as a main component because of its excellent insulating properties and heat resistance (particularly, long-term heat resistance of 200 ° C. or more). Preferably, it is used. Also, the adhesive layer preferably has a glass transition temperature in the range of 150C to 250C.

【0020】以下、耐熱性フィルムがポリイミドフィル
ムの場合を例に挙げて、より具体的に説明する。
Hereinafter, the case where the heat-resistant film is a polyimide film will be described more specifically by way of example.

【0021】ポリイミドフィルムは、公知の方法で製造
することができる。即ち、このフィルムは、ポリイミド
の前駆体物質であるポリアミド酸を含む溶液を支持体に
流延または塗布した後に、化学的にまたは熱的にイミド
化することで得ることができる。
The polyimide film can be manufactured by a known method. That is, this film can be obtained by casting or applying a solution containing a polyamic acid, which is a precursor material of polyimide, to a support, and then chemically or thermally imidizing the solution.

【0022】本発明に係るポリイミドの前駆体物質であ
るポリアミド酸は、通常、少なくとも一種の酸二無水物
と、少なくとも一種のジアミンとを出発物質とし、有機
溶媒中に両者を実質的になどモル量、溶解させた後、温
度などの反応条件を制御しながら重合が完了するまで攪
拌することによって製造することができる。
The polyamic acid, which is a precursor substance of the polyimide according to the present invention, usually has at least one acid dianhydride and at least one diamine as starting materials, and contains both in a substantially equimolar amount in an organic solvent. It can be produced by stirring until the polymerization is completed while controlling the reaction conditions such as temperature after dissolving the amount and the amount.

【0023】上記の酸二無水物としては、具体的には、
ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレン
テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナ
フタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,
3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,
3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、3,3’,4,4’−オキシジフタル酸二無水
物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル
酸無水物)、1,1’−ビフェニルビス(トリメリット
酸モノエステル酸無水物)およびそれらの類似物(誘導
体)などが用いられる。
As the above acid dianhydride, specifically,
Pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalene Tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3
3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,
3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), 1,1 '-Biphenylbis (trimellitic acid monoester anhydride) and their analogs (derivatives) are used.

【0024】上記例示の酸二無水物のうち、ピロメリッ
ト酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカル
ボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物、p−フェニレンビス(トリメリ
ット酸モノエステル酸無水物)、4,4’−ビフェニル
ビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)が特に好
ましい。これら酸二無水物は、一種のみ用いてもよく、
また二種以上を任意の割合で併用してもよい。
Among the acid dianhydrides exemplified above, pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid Dianhydride, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) and 4,4′-biphenylbis (trimellitic acid monoester acid anhydride) are particularly preferred. These acid dianhydrides may be used alone,
Also, two or more kinds may be used in combination at an arbitrary ratio.

【0025】上記のジアミンとしては、具体的には、例
えば、3,3’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメ
トキシベンジジン、3,3’−ジクロロベンジジン、
4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−
ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフ
ェニルエーテル、1,5−ジアミノナフタレン、1,4
−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,
3−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、
4,4’−ジアミノベンズアニライド、3,4’−ジア
ミノベンズアニライドおよびそれらの類似物(誘導体)
などが用いられる。
Examples of the above-mentioned diamine include, for example, 3,3′-dimethylbenzidine, 3,3′-dimethoxybenzidine, 3,3′-dichlorobenzidine,
4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-
Diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 1,5-diaminonaphthalene, 1,4
-Diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,
3-diaminobenzene, 1,2-diaminobenzene,
4,4'-diaminobenzanilide, 3,4'-diaminobenzanilide and their analogs (derivatives)
Are used.

【0026】上記例示のジアミンのうち、3,3’−ジ
メチルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、
3,3’−ジクロロベンジジン、4,4’−ジアミノベ
ンズアニライド、4,4’−ジアミノジフェニルエーテ
ル、p−フェニレンジアミンがより好ましく、4,4’
−ジアミノベンズアニライドが特に好ましい。これらジ
アミンは、一種のみ用いてもよく、また二種以上を任意
の割合で併用してもよい。
Among the diamines exemplified above, 3,3'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethoxybenzidine,
3,3′-dichlorobenzidine, 4,4′-diaminobenzanilide, 4,4′-diaminodiphenyl ether, and p-phenylenediamine are more preferred, and 4,4 ′
Diaminobenzanilide is particularly preferred. These diamines may be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio.

【0027】酸二無水物とジアミンとの組み合わせや、
酸二無水物を二種類以上用いる場合の各化合物のモル比
(配合比)、ジアミンを二種類以上用いる場合の各化合
物の配合比は、ポリイミドフィルムが所望の弾性率、線
膨張係数および吸湿膨張係数などの特性を有するよう
に、適宜選択・設定すればよい。そのなかでも、銅張積
層体の耐熱性、寸法安定性、接着性に優れる点で、ピロ
メリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテト
ラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、p−フェニレンビス(ト
リメリット酸モノエステル酸無水物)、4,4’−ジア
ミノベンズアニライド、4,4’−ジアミノジフェニル
エーテル、p−フェニレンジアミンのうち少なくとも一
つを含む組み合わせがより好ましく、さらに低吸水性や
可撓性などの諸特性の相互バランスにより一層優れてい
る点でp−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステ
ル酸無水物)と4,4’−ジアミノベンズアニライドと
を含む組み合わせが特に好ましい。
A combination of an acid dianhydride and a diamine,
The molar ratio (compounding ratio) of each compound when two or more types of acid dianhydrides are used, and the compounding ratio of each compound when two or more types of diamines are used, are such that the polyimide film has a desired elastic modulus, linear expansion coefficient, and moisture expansion. What is necessary is just to select and set suitably so that it may have characteristics, such as a coefficient. Among them, pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′ are preferred in terms of excellent heat resistance, dimensional stability, and adhesiveness of the copper-clad laminate. 4,4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), 4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminodiphenyl ether, p-phenylene A combination containing at least one of diamines is more preferable, and p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride) is more excellent in the mutual balance of various properties such as low water absorption and flexibility. Combinations containing 4,4'-diaminobenzanilide are particularly preferred.

【0028】そして、酸二無水物を二種類以上用いる場
合においては、酸二無水物全量に占めるp−フェニレン
ビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)の割合
は、40モル%以上であることがより好ましく、ジアミ
ンを二種類以上用いる場合においては、ジアミン全量に
占める4,4’−ジアミノベンズアニライドの割合は、
50モル%以上であることがより好ましい。
When two or more acid dianhydrides are used, the proportion of p-phenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride) in the total amount of the acid dianhydrides should be 40 mol% or more. Is more preferable, when two or more kinds of diamines are used, the proportion of 4,4′-diaminobenzanilide in the total amount of the diamines is
More preferably, it is at least 50 mol%.

【0029】前記酸二無水物とジアミンを適宜組み合わ
せることにより、所望の弾性率、線膨張係数および吸湿
膨張係数などの特性を有するポリイミドフィルムを容易
に得ることができる。
By appropriately combining the acid dianhydride and the diamine, a polyimide film having desired properties such as elastic modulus, linear expansion coefficient and hygroscopic expansion coefficient can be easily obtained.

【0030】ポリアミド酸を得る際に用いる有機溶媒と
しては、具体的には、例えば、N,N−ジメチルホルム
アミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(D
MAc)、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)など
のアミド系溶媒が用いられる。上記例示の有機溶媒のう
ち、N,N−ジメチルホルムアミドが特に好ましい。こ
れら有機溶媒は、一種類のみ用いてもよく、また、二種
類以上を任意の割合で混合した混合溶媒であってもよ
い。有機溶媒に酸二無水物およびジアミンを溶解させた
後、重合させることにより、ポリアミド酸溶液が得られ
る。
Examples of the organic solvent used for obtaining the polyamic acid include, for example, N, N-dimethylformamide (DMF), N, N-dimethylacetamide (D
An amide solvent such as MAc) and N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) is used. Among the organic solvents exemplified above, N, N-dimethylformamide is particularly preferred. These organic solvents may be used alone, or may be a mixed solvent obtained by mixing two or more kinds at an arbitrary ratio. The polyamic acid solution is obtained by dissolving the acid dianhydride and the diamine in the organic solvent and then polymerizing.

【0031】より具体的には、例えば、有機溶媒にジア
ミンを溶解させた溶液に、該ジアミンと実質的になどモ
ル量の酸二無水物を混合して重合させる方法が挙げられ
る。酸二無水物を混合する方法としては、粉体状などの
酸二無水物をそのまま混合してもよく、有機溶媒に酸二
無水物を溶解させた溶液を混合してもよいが、有機溶媒
にジアミンを溶解させた溶液に、酸二無水物と、有機溶
媒に酸二無水物を溶解させた溶液とを混合させる方法が
より好ましい。
More specifically, for example, a method in which a diamine is dissolved in an organic solvent and a substantially equimolar amount of an acid dianhydride is mixed with the diamine and polymerized. As a method of mixing the acid dianhydride, the acid dianhydride in a powder form or the like may be directly mixed, or a solution in which the acid dianhydride is dissolved in an organic solvent may be mixed. More preferably, a method in which an acid dianhydride and a solution in which an acid dianhydride is dissolved in an organic solvent is mixed with a solution obtained by dissolving a diamine in water.

【0032】即ち、有機溶媒にジアミンを溶解させた溶
液に、該ジアミンに対して70モル%〜98.5モル%
の酸二無水物をそのまま混合した後、残りの酸二無水物
を有機溶媒に溶解させた溶液として混合する方法がより
好ましい。また、酸二無水物を混合する前に有機溶媒に
全てのジアミンを溶解させる上記方法の他に、有機溶媒
にジアミンの一部(または一成分)を溶解させた溶液に
酸二無水物を混合し、その後、残りの(または他の成分
の)ジアミンを混合する方法、有機溶媒にジアミンと酸
二無水物とを逐次混合する方法を採用することもでき
る。さらに、酸二無水物とジアミンの混合順序を入れ換
えた方法、つまり、有機溶媒に酸二無水物を溶解させた
溶液に、該酸二無水物と実質的になどモル量のジアミン
を混合して重合させる方法を採用することもできる。従
って、酸二無水物とジアミンの混合順序や混合方法は、
特に限定されるものではない。
That is, a solution prepared by dissolving a diamine in an organic solvent is added in an amount of 70 mol% to 98.5 mol% based on the diamine.
It is more preferable that the acid dianhydride is mixed as it is, and then mixed as a solution in which the remaining acid dianhydride is dissolved in an organic solvent. In addition to the above-mentioned method in which all diamines are dissolved in an organic solvent before mixing the acid dianhydride, the acid dianhydride is mixed in a solution in which a part (or one component) of the diamine is dissolved in the organic solvent. Thereafter, a method of mixing the remaining diamine (or other components) or a method of sequentially mixing the diamine and the acid dianhydride in the organic solvent can be adopted. Furthermore, a method in which the mixing order of the acid dianhydride and the diamine is changed, that is, a solution in which the acid dianhydride is dissolved in an organic solvent is mixed with the acid dianhydride and a substantially equimolar amount of the diamine. A method of polymerizing can also be adopted. Therefore, the mixing order and mixing method of the acid dianhydride and the diamine are as follows:
There is no particular limitation.

【0033】酸二無水物とジアミンを重合させる際の温
度は、0℃〜80℃の範囲内が好適である。また、該重
合は、水が存在すると阻害されるため、重合反応は、脱
湿された雰囲気下で行うことが望ましい。
The temperature at which the acid dianhydride and the diamine are polymerized is preferably in the range of 0 ° C. to 80 ° C. In addition, since the polymerization is inhibited by the presence of water, the polymerization reaction is preferably performed in a dehumidified atmosphere.

【0034】ポリアミド酸溶液におけるポリアミド酸の
濃度は、固形分として10重量%〜25重量%の範囲内
であることが好ましい。ポリアミド酸の濃度が上記範囲
内となるように酸二無水物およびジアミンを用いること
により、好適な分子量を有するポリアミド酸が得られる
と共に、好適な粘度を有する溶液が得られる。
The concentration of the polyamic acid in the polyamic acid solution is preferably in the range of 10% by weight to 25% by weight as a solid content. By using the acid dianhydride and the diamine so that the concentration of the polyamic acid is within the above range, a polyamic acid having a suitable molecular weight can be obtained, and a solution having a suitable viscosity can be obtained.

【0035】イミド化は、熱キュア法およびケミカルキ
ュア法の何れかの方法を行えばよい。熱キュア法は、脱
水閉環剤などを用いることなく、加熱だけを行ってイミ
ド化反応を進行させる方法である。ケミカルキュア法
は、ポリアミド酸溶液に、化学的転化剤と触媒とを添加
してイミド化反応を進行させる方法である。これらの方
法のうち、ケミカルキュア法がより好ましい。また、ケ
ミカルキュア法と熱キュア法とを併用してもよい。
The imidation may be performed by any one of a thermal curing method and a chemical curing method. The heat curing method is a method in which the imidization reaction proceeds only by heating without using a dehydrating ring-closing agent or the like. The chemical curing method is a method in which a chemical conversion agent and a catalyst are added to a polyamic acid solution to advance an imidization reaction. Of these methods, the chemical cure method is more preferred. Further, a chemical curing method and a heat curing method may be used in combination.

【0036】上記の化学的転化剤としては、例えば、脂
肪族酸無水物、芳香族酸無水物、N,N’- ジアルキル
カルボジイミド、低級脂肪族ハロゲン化物、ハロゲン化
低級脂肪酸無水物、アリールホスホン酸ジハロゲン化
物、チオニルハロゲン化物などが用いられる。これら化
学的転化剤は、一種類のみを用いてもよく、また、二種
類以上を併用してもよい。上記例示の化学的転化剤のう
ち、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水ラク酸などの脂
肪族酸無水物、およびこれら化合物の混合物がより好ま
しい。
Examples of the above chemical converting agents include aliphatic acid anhydrides, aromatic acid anhydrides, N, N'-dialkylcarbodiimides, lower aliphatic halides, halogenated lower fatty acid anhydrides, and arylphosphonic acids. Dihalides, thionyl halides and the like are used. One of these chemical conversion agents may be used alone, or two or more thereof may be used in combination. Among the chemical conversion agents exemplified above, aliphatic acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride, and lacnic anhydride, and mixtures of these compounds are more preferred.

【0037】上記の触媒としては、脂肪族第三級アミ
ン、芳香族第三級アミン、複素環式第三級アミンなどが
用いられる。これら触媒は、一種類のみを用いてもよ
く、また、二種類以上を併用してもよい。上記例示の触
媒のうち、イソキノリン、β−ピコリン、ピリジンなど
の複素環式第三級アミンが特に好ましい。
As the above catalyst, aliphatic tertiary amines, aromatic tertiary amines, heterocyclic tertiary amines and the like are used. These catalysts may be used alone or in combination of two or more. Among the catalysts exemplified above, heterocyclic tertiary amines such as isoquinoline, β-picoline and pyridine are particularly preferred.

【0038】イミド化の条件は、ポリアミド酸の種類、
形成するフィルムの厚さ、熱キュア法および/またはケ
ミカルキュア法の何れを採用するかなどによって、適宜
設定すれば良い。以下に、耐熱性フィルムの製造方法と
して、ケミカルキュア法を採用してポリアミド酸溶液か
らポリイミドフィルムを製造する方法を例に挙げて、よ
り具体的に説明する。
The conditions for imidization are as follows:
The thickness may be set as appropriate depending on the thickness of the film to be formed, whether the thermal curing method and / or the chemical curing method is employed, and the like. Hereinafter, a method for producing a polyimide film from a polyamic acid solution using a chemical curing method as a method for producing a heat-resistant film will be described more specifically.

【0039】先ず、上述した方法によってポリアミド酸
溶液を得る。該ポリアミド酸溶液に化学的転化剤と触媒
とを添加した後、これを適当な支持体に流延または塗布
する。次に、これを例えば100℃程度の温度で緩やか
に加熱することにより、化学的転化剤と触媒とを活性化
させて、部分的に硬化(イミド化)または部分的に乾燥
したポリアミド酸フィルム(以下、ゲルフィルムとい
う)に転移させる。
First, a polyamic acid solution is obtained by the above-described method. After the chemical conversion agent and the catalyst are added to the polyamic acid solution, they are cast or coated on a suitable support. Next, this is heated gently at a temperature of, for example, about 100 ° C. to activate the chemical conversion agent and the catalyst, and to partially cure (imidize) or partially dry the polyamic acid film ( (Hereinafter referred to as a gel film).

【0040】ゲルフィルムは、ポリアミド酸からポリイ
ミドへ至るイミド化の中間段階にあたり、自己支持性を
有している。そして、ゲルフィルムは、部分的に硬化
(イミド化)または部分的に乾燥した状態であり、ポリ
アミド酸と、これがイミド化されたポリイミドとが混在
している。次いで、テンター工程での収縮を抑制するた
め、得られたゲルフィルムの端部を、収縮抑制用のテン
タークリップまたピンを用いて保持する。その後、段階
的に昇温してゲルフィルムを加熱することにより乾燥か
つイミド化して、ポリイミドフィルムとする。
The gel film has a self-supporting property in the intermediate stage of imidization from polyamic acid to polyimide. The gel film is in a partially cured (imidized) or partially dried state, and contains a polyamic acid and a polyimide obtained by imidating the polyamic acid. Next, in order to suppress shrinkage in the tenter process, the end of the obtained gel film is held using a tenter clip or pin for suppressing shrinkage. Thereafter, the gel film is dried and imidized by heating the gel stepwise to obtain a polyimide film.

【0041】より具体的には、ゲルフィルムを、仕切り
板で複数の区画に分けられ、区画ごとに温度が設定され
たテンター炉内を15秒〜400秒通過させて、加熱す
る方法が好適である。上記の炉内の温度は、ゲルフィル
ムが200℃程度の温度から最終的に400℃程度の温
度まで段階的に加熱されるように設定することが好まし
い。さらに、厚さや諸特性の品質がより均一なポリイミ
ドフィルムを得るためには、ゲルフィルムを、幅方向に
温度ムラなく加熱することが好ましい。これにより、接
着フィルムにおける耐熱性フィルムとしてのポリイミド
フィルムが得られる。
More specifically, a method in which a gel film is divided into a plurality of sections by a partition plate and passed through a tenter furnace in which the temperature is set for each section for 15 seconds to 400 seconds, and heated. is there. The temperature in the furnace is preferably set so that the gel film is heated stepwise from a temperature of about 200 ° C. to finally a temperature of about 400 ° C. Further, in order to obtain a polyimide film having more uniform thickness and quality of various characteristics, it is preferable to heat the gel film in the width direction without temperature unevenness. Thereby, a polyimide film as a heat-resistant film in the adhesive film is obtained.

【0042】ポリイミドの分子量は、特に規制されるも
のではないが、接着フィルムの強度を維持することがで
きるように、該ポリイミドの前駆体物質であるポリアミ
ド酸の数平均分子量が10万以上であることがより好ま
しい。尚、ポリイミドは不溶性であるので分子量を直接
的に測定することは困難であるが、ポリアミド酸の分子
量はGPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)によって測
定することができる。
The molecular weight of the polyimide is not particularly limited, but the number average molecular weight of the polyamic acid, which is a precursor of the polyimide, is 100,000 or more so that the strength of the adhesive film can be maintained. Is more preferable. Incidentally, it is difficult to directly measure the molecular weight because polyimide is insoluble, but the molecular weight of polyamic acid can be measured by GPC (gel permeation chromatography).

【0043】次に、接着層を構成する熱可塑性ポリイミ
ドの調製方法について説明する。該熱可塑性ポリイミド
は、基本的には、前記ポリイミドフィルムの製造方法と
同様の製造方法で得ることができる。熱可塑性ポリイミ
ドの前駆体物質であるポリアミド酸を得るのに好適な酸
二無水物としては、具体的には、例えば、3,3’,
4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,
2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフ
ェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレ
ンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボ
キシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,
3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−
ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水
物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無
水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二
無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテト
ラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフ
ェニル)スルホン二無水物、エチレンビス(トリメリッ
ト酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス
(トリメリット酸モノエステル酸無水物)およびそれら
の類似物(誘導体)などが用いられる。上記例示の酸二
無水物のうち、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物、エチレンビス(トリメリッ
ト酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス
(トリメリット酸モノエステル酸無水物)が特に好まし
い。これら酸無水物は、一種類のみ用いてもよく、ま
た、二種類以上を任意の割合で併用してもよい。
Next, a method for preparing a thermoplastic polyimide constituting the adhesive layer will be described. The thermoplastic polyimide can be obtained basically by the same manufacturing method as the method for manufacturing the polyimide film. Acid dianhydrides suitable for obtaining polyamic acid, which is a precursor of thermoplastic polyimide, specifically include, for example, 3,3 ′,
4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,
2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride Anhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,
3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-
Bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 3,3 ′, 4,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, ethylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester) Acid anhydrides) and their analogs (derivatives). Among the acid dianhydrides exemplified above, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, ethylene bis (tri Particularly preferred are melitic acid monoester acid anhydride) and bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride). One of these acid anhydrides may be used alone, or two or more thereof may be used in combination at an arbitrary ratio.

【0044】熱可塑性ポリイミドの前駆体物質であるポ
リアミド酸を得るのに好適なジアミンとしては、具体的
には、例えば、ジアミンは、4,4’−ジアミノジフェ
ニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、
3,3’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメトキシ
ベンジジン、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3’
−ジヒドロキシベンジジン、4,4’−ジアミノジフェ
ニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホ
ン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’
−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノナフ
タレン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラ
ン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−
ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、1,3
−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、2,
2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、
1,2−(4−アミノフェノキシエトキシ)エタンおよ
びそれらの類似物(誘導体)などが用いられる。
As the diamine suitable for obtaining the polyamic acid which is a precursor substance of the thermoplastic polyimide, specifically, for example, the diamine is 4,4'-diaminodiphenylpropane, 4,4'-diaminodiphenylmethane ,
3,3′-dimethylbenzidine, 3,3′-dimethoxybenzidine, 3,3′-dichlorobenzidine, 3,3 ′
-Dihydroxybenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4 '
-Diaminodiphenyl ether, 1,5-diaminonaphthalene, 4,4'-diaminodiphenyldiethylsilane, 4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'-
Diaminodiphenylethylphosphine oxide, 1,3
-Diaminobenzene, 1,2-diaminobenzene, 2,
2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane,
1,2- (4-aminophenoxyethoxy) ethane and their analogs (derivatives) are used.

【0045】上記例示のジアミンのうち、3,3’−ジ
ヒドロキシベンジジン、3,3’−ジアミノジフェニル
スルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、
4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、2,2−ビス
(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、1,2−
(4−アミノフェノキシエトキシ)エタンが特に好まし
い。
Among the diamines exemplified above, 3,3'-dihydroxybenzidine, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfone,
4,4′-diaminodiphenyl ether, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 1,2-
(4-Aminophenoxyethoxy) ethane is particularly preferred.

【0046】これらジアミンは、一種類のみ用いてもよ
く、また、二種類以上を任意の割合で併用してもよい。
酸二無水物とジアミンとの組み合わせや、酸二無水物を
二種類以上用いる場合の各化合物のモル比(配合比)、
ジアミンを二種類以上用いる場合の各化合物の配合比
は、熱可塑性ポリイミドが得られるように適宜選択・設
定すればよい。そして、熱可塑性ポリイミドの前駆体物
質であるポリアミド酸は、上記少なくとも一種の酸二無
水物と、少なくとも一種のジアミンとを出発物質とし、
有機溶媒に両者を実質的になどモル量、溶解させた後、
温度などの反応条件を制御しながら重合が完了するまで
攪拌することによって得ることができる。
One of these diamines may be used alone, or two or more of them may be used in combination at an arbitrary ratio.
A combination of an acid dianhydride and a diamine, or a molar ratio (blending ratio) of each compound when two or more acid dianhydrides are used,
When two or more kinds of diamines are used, the compounding ratio of each compound may be appropriately selected and set so as to obtain a thermoplastic polyimide. Polyamic acid, which is a precursor of the thermoplastic polyimide, has at least one type of acid dianhydride and at least one type of diamine as starting materials,
After dissolving both in a substantially equimolar amount in an organic solvent,
It can be obtained by stirring until polymerization is completed while controlling reaction conditions such as temperature.

【0047】得られた熱可塑性ポリイミド樹脂のガラス
転移温度は150℃〜250℃で範囲内であることが好
ましく、170℃〜240℃の範囲内であることが特に
好ましい。ガラス転移温度が150℃より低いと、金属
箔積層体やFPCなどの基板材料の耐熱性(特に200
℃の長期耐熱性)が低下し、250℃を超えると優れた
接着強度を発現するために金属箔と貼り合わせる際の接
着温度を高くしなければならず、金属箔を貼り合わせた
後にキャリア用銅箔を剥がせなくなるという問題が生じ
る。
The glass transition temperature of the obtained thermoplastic polyimide resin is preferably in the range of 150 ° C. to 250 ° C., and particularly preferably in the range of 170 ° C. to 240 ° C. When the glass transition temperature is lower than 150 ° C., the heat resistance of the substrate material such as a metal foil laminate or FPC (particularly 200
(250 ° C. long-term heat resistance), and if the temperature exceeds 250 ° C., the bonding temperature at the time of bonding with the metal foil must be increased in order to exhibit excellent bonding strength. There is a problem that the copper foil cannot be removed.

【0048】本発明では、熱可塑性ポリイミド樹脂とし
て備えるべき各種特性を損なわない範囲内において、必
要に応じて、酸二無水物およびジアミン以外の単量体、
例えばエポキシ系単量体などを出発物質の成分として用
いてもよい。熱可塑性ポリイミドは、該ポリアミド酸を
化学的にまたは熱的にイミド化することで得ることがで
きる。また熱可塑性ポリイミド樹脂に、接着材のガラス
転移温度が好適な範囲を超えない範囲内でエポキシ樹脂
やフィラーやシラン系カップリング剤、チタネート系カ
ップリング剤などを混合し、接着層用樹脂として使用す
ることができる。
In the present invention, a monomer other than the acid dianhydride and the diamine may be used, if necessary, as long as various properties to be provided as the thermoplastic polyimide resin are not impaired.
For example, an epoxy monomer may be used as a component of the starting material. Thermoplastic polyimide can be obtained by chemically or thermally imidizing the polyamic acid. In addition, epoxy resin, filler, silane-based coupling agent, titanate-based coupling agent, etc. are mixed with thermoplastic polyimide resin within the range where the glass transition temperature of the adhesive does not exceed a suitable range, and used as a resin for the adhesive layer. can do.

【0049】本発明による銅張積層体は、耐熱性フィル
ムの片面または両面に接着層を介して銅箔を積層するこ
とにより得ることができる。接着層の積層方法として
は、具体的には、例えば、熱可塑性ポリイミドを主成分
とするフィルムを耐熱性フィルムに熱融着する方法;熱
可塑性ポリイミドのゲルフィルムを耐熱性フィルムに熱
融着した後、さらにイミド化する方法;熱可塑性ポリイ
ミドが可溶性である場合に該熱可塑性ポリイミドを主成
分とする樹脂溶液を耐熱性フィルムに塗布したあと乾燥
する方法;ポリアミド酸を主成分とする樹脂溶液を耐熱
性フィルムに塗布した後、乾燥かつイミド化する方法;
などが挙げられる。
The copper-clad laminate according to the present invention can be obtained by laminating a copper foil on one side or both sides of a heat-resistant film via an adhesive layer. As a method of laminating the adhesive layer, specifically, for example, a method in which a film mainly composed of thermoplastic polyimide is thermally fused to a heat-resistant film; a gel film of thermoplastic polyimide is thermally fused to a heat-resistant film. After that, a method of further imidization; a method of applying a resin solution containing the thermoplastic polyimide as a main component to a heat-resistant film when the thermoplastic polyimide is soluble, followed by drying; A method of drying and imidizing after applying to a heat-resistant film;
And the like.

【0050】また耐熱性フィルムがゲルフィルムである
段階で該ゲルフィルムに熱可塑性ポリイミドを主成分と
する接着層を形成してもよい。このうち、耐熱性フィル
ムと接着材層との接着性の点から鑑みてポリアミド酸を
主成分とする溶液を耐熱性フィルムに塗布した後、乾燥
かつ熱的にイミド化することによって積層する方法が特
に好ましい。また、上述の熱的にイミド化させる際は、
遠赤外線炉を使用して、ポリアミド酸の90モル%以上
をイミド化させることが好ましい。
At the stage where the heat-resistant film is a gel film, an adhesive layer mainly composed of thermoplastic polyimide may be formed on the gel film. Among these, in view of the adhesiveness between the heat-resistant film and the adhesive layer, a method of applying a polyamic acid-based solution to the heat-resistant film, followed by drying and thermally imidizing to laminate. Particularly preferred. Also, when thermally imidizing as described above,
It is preferable to imidize 90 mol% or more of the polyamic acid using a far infrared ray furnace.

【0051】熱可塑性ポリイミドの分子量は、特に制限
されるものではないが、接着層として接着力並びに強度
を維持することができるように、数平均分子量が5万以
上であることが好ましく、8万以上であることがさらに
好ましく、10万以上であることが特に好ましい。
Although the molecular weight of the thermoplastic polyimide is not particularly limited, the number average molecular weight is preferably 50,000 or more, and 80,000, so that the adhesive strength and strength of the adhesive layer can be maintained. More preferably, it is more preferably 100,000 or more.

【0052】熱可塑性ポリイミドまたはポリアミド酸
(溶液)の分子量は、GPC(ゲル浸透クロマトグラフ
ィー)によって測定することができる。次に、耐熱性フ
ィルムの両面あるいは片面に接着層を形成させた接着フ
ィルムを使用して銅箔を積層する方法について説明す
る。
The molecular weight of the thermoplastic polyimide or polyamic acid (solution) can be measured by GPC (gel permeation chromatography). Next, a method of laminating a copper foil using an adhesive film having an adhesive layer formed on both surfaces or one surface of a heat-resistant film will be described.

【0053】具体的には、例えば、少なくとも一対の加
熱ロールを有する熱ロール機や一対のエンドレスベルト
を有するダブルベルトプレス機でキャリア付き銅箔と接
着フィルムを加熱・圧着し、冷却後または冷却中にキャ
リアを剥がす方法が用いられる。銅箔の圧着温度は、接
着フィルムの接着性が発現(ガラス転移温度以上)し、
かつ加熱・圧着後にキャリアを剥がすことのできる条件
で行えば良い。最も好適な温度範囲は、接着層のガラス
転移温度の+50℃〜+100℃である。銅箔の圧着時
間は、圧着時の温度によるが、5分以内であることが好
ましく、3分以内であることが特に好ましい。また、圧
着圧力は、線圧で30kg/cm以上が好ましく、50
kg/cm以上であることが特に好ましい。
Specifically, for example, a copper foil with a carrier and an adhesive film are heated and pressed by a hot roll machine having at least a pair of heating rolls or a double belt press machine having a pair of endless belts, and after cooling or during cooling. A method of peeling the carrier is used. The bonding temperature of the adhesive film develops (the glass transition temperature or higher)
In addition, the heating may be performed under conditions that allow the carrier to be peeled off after heating and pressure bonding. The most preferred temperature range is + 50 ° C to + 100 ° C of the glass transition temperature of the adhesive layer. The pressing time of the copper foil depends on the temperature at the time of pressing, but is preferably within 5 minutes, particularly preferably within 3 minutes. Further, the pressure for pressing is preferably 30 kg / cm or more in terms of linear pressure.
It is particularly preferred that it is at least kg / cm.

【0054】本発明に係る銅張積層体の実施の一形態に
ついて説明したが、本発明は、これによって何ら限定さ
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で以って
当業者の知識に基づき、種々なる改良、変更、修正を加
えた様態で実施し得るものである。以下、実施例により
本発明をより具体的に説明する。
Although one embodiment of the copper-clad laminate according to the present invention has been described, the present invention is not limited to this embodiment at all, and should be understood by those skilled in the art without departing from the spirit thereof. Based on this, various modifications, changes, and modifications can be made. Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples.

【0055】[0055]

【実施例】以下の実施例および比較例における接着層の
ガラス転移温度は、以下に記載の方法を用いて測定し
た。そして、以下の実施例および比較例において得られ
た金属箔積層板の接着強度は、以下に記載の方法を用い
て測定した。
EXAMPLES The glass transition temperatures of the adhesive layers in the following Examples and Comparative Examples were measured using the methods described below. And the adhesive strength of the metal foil laminated board obtained in the following Examples and Comparative Examples was measured using the method described below.

【0056】(接着層のガラス転移温度)セイコー電子
工業株式会社製 DMS−200を使用して、測定試料
を、乾燥空気中に配置し、20℃〜400℃の温度範囲
で貯蔵弾性率を(ε’)測定し、その変曲点を試料のガ
ラス転移温度とした。尚、測定試料は、幅9mm、長さ
40mmにスリットした接着フィルムまたは接着層の単
体フィルムを使用した。測定は、測定長(測定治具間
隔)を20mmとして行った。
(Glass Transition Temperature of Adhesive Layer) Using DMS-200 manufactured by Seiko Denshi Kogyo Co., Ltd., the measurement sample was placed in dry air, and the storage elastic modulus was determined in the temperature range of 20 ° C. to 400 ° C. ε ′) was measured, and the inflection point was taken as the glass transition temperature of the sample. As a measurement sample, an adhesive film slit to a width of 9 mm and a length of 40 mm or a single film of an adhesive layer was used. The measurement was performed with a measurement length (measurement jig interval) of 20 mm.

【0057】(金属箔積層体の接着強度)測定は、島津
製作所製のオートグラフを使用して行った。銅張積層体
を部分的にエッチングし、接着フィルム上に幅が5m
m、長さが80mmの銅パターンを形成し測定試料とし
て用いた。銅パタ−ンの端部を耐熱性フィルムと接着層
の界面から剥がし、その端部を測定用の治具に固定し、
パターン対して180°の角度で、50mm/分の速度
で引き剥がし、その強度を測定した。
(Adhesive strength of metal foil laminate) The measurement was performed using an autograph manufactured by Shimadzu Corporation. Partially etched copper clad laminate, 5m wide on adhesive film
A copper pattern having a length of 80 mm and a length of 80 mm was formed and used as a measurement sample. Peel off the end of the copper pattern from the interface between the heat-resistant film and the adhesive layer, and fix the end to the jig for measurement.
The pattern was peeled off at an angle of 180 ° at a speed of 50 mm / min, and the strength was measured.

【0058】実施例1および2で用いた接着層用樹脂溶
液の製造法を以下に示す。
The method for producing the resin solution for the adhesive layer used in Examples 1 and 2 is described below.

【0059】1.接着層用樹脂溶液A−1の製造例 系全体を氷水で冷やし、窒素置換をした2000mlの三
口のセパラブルフラスコに、2,2’−ビス[4−(4
‐アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(以下、BA
PPという。)123.1gと747.3gのジメチル
ホルムアミド(以下、DMFという)とを投入し15分
間攪拌した。
1. Example of Production of Resin Solution A-1 for Adhesive Layer The whole system was cooled with ice water, and 2,2′-bis [4- (4
-Aminophenoxy) phenyl] propane (hereinafter BA
It is called PP. ) 123.1 g and 747.3 g of dimethylformamide (hereinafter, referred to as DMF) were added and stirred for 15 minutes.

【0060】次いで、この溶液に、3,3’,4,4’
‐エチレングリコールジベンゾエートテトラカルボン酸
二無水物(以下、TMEGという。)119.0gを、
40gのDMFに溶解して添加し30分間撹拌した。3
0分間の撹拌の後、さらにTMEG4.1gをDMF3
6.9gに溶解した溶液をフラスコ内の溶液の粘度に注
意しながら徐々に投入し、そして1時間撹拌しながら放
置し、接着層用樹脂溶液として、固形分濃度が23%の
熱可塑性ポリイミド層用のポリアミド酸溶液(A−1)
を得た。
Next, 3,3 ', 4,4'
-119.0 g of ethylene glycol dibenzoate tetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as TMEG)
It was dissolved in 40 g of DMF and added, followed by stirring for 30 minutes. 3
After stirring for 0 minutes, another 4.1 g of TMEG was added to DMF3.
The solution dissolved in 6.9 g was gradually poured in while paying attention to the viscosity of the solution in the flask, and then left for 1 hour with stirring to obtain a thermoplastic polyimide layer having a solid content of 23% as a resin solution for the adhesive layer. Acid solution for use (A-1)
I got

【0061】2.接着層用樹脂溶液A−2製造例 製造例A−1と同様の方法で、3、3’、4、4’−ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物とBAPPをモル比
で1/1の割合で重合させることによって、ポリアミド
酸を合成し、接着層用樹脂溶液として固形分濃度が23
%の熱可塑性ポリイミド層用のポリアミド酸溶液(A−
2)を得た。
[0061] 2. Production Example of Adhesive Layer Resin Solution A-2 In the same manner as in Production Example A-1, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and BAPP are used in a molar ratio of 1/1. By polymerizing, a polyamic acid is synthesized, and the solid content concentration is 23 as a resin solution for the adhesive layer.
% Of a polyamic acid solution for a thermoplastic polyimide layer (A-
2) was obtained.

【0062】(実施例1)鐘淵化学工業株式会社製 ア
ピカルHP(厚み17μm)(耐熱性フィルム)に接着
層の厚みが乾燥およびイミド化後に4μmになるように
ロールコーターで接着用樹脂溶液A−1を塗布して、1
00℃で4分間乾燥させた。他方の面にも同様に接着用
樹脂溶液を塗布、乾燥させて両面に半乾燥した接着層を
有するフィルムを得た。得られたフィルムを雰囲気温度
が300℃に加熱された遠赤外線炉内を2分間通過させ
て、17μmの耐熱性フィルムの両面に4μmの接着層
を有する総厚みが25μmの接着フィルムを得た。
(Example 1) An adhesive resin solution A was applied to an Apical HP (17 μm thick) (heat-resistant film) manufactured by Kanegabuchi Chemical Industry Co., Ltd. using a roll coater so that the thickness of the adhesive layer became 4 μm after drying and imidization. -1
Dry at 00 ° C. for 4 minutes. The other side was similarly coated with the adhesive resin solution and dried to obtain a film having an adhesive layer which was semi-dried on both sides. The resulting film was passed through a far-infrared furnace heated to an ambient temperature of 300 ° C. for 2 minutes to obtain an adhesive film having a total thickness of 25 μm having a 4 μm adhesive layer on both sides of a 17 μm heat-resistant film.

【0063】得られた接着フィルムを使用してガラス転
移温度を測定した結果、170℃であった。この接着フ
ィルムの両面に、三井金属工業株式会社性 Micro
Thin(キャリア付きの厚み5μmの銅箔、キャリア
は厚み35μmの銅箔からなる)の銅箔を配した後、ダ
ブルベルトプレス機で温度が280℃、圧力が線圧で7
0kg/cmで3分間加熱圧着して積層体を得た。冷却
後、キャリア用銅箔を剥がし、構成が、銅箔(5μm
厚)/接着層(4μm厚)/耐熱性フィルム(17μ
m)/接着層(4μm)/銅箔(5μm)の積層体を得
た。この銅張積層体の接着強度を測定し、以下の表1に
示した。表1に示すように、得られた銅張積層体は、
1.0kgf/cmの接着強度を有していた。
The glass transition temperature of the resulting adhesive film was 170 ° C. On both sides of this adhesive film, Mitsui Kinzoku Kogyo Co., Ltd.
After placing a thin (5 μm thick copper foil with a carrier and a 35 μm thick copper foil with a carrier) copper foil, the temperature was 280 ° C. and the linear pressure was 7 in a double belt press.
The laminate was obtained by thermocompression bonding at 0 kg / cm for 3 minutes. After cooling, the copper foil for carrier was peeled off, and the structure was changed to copper foil (5 μm
Thickness) / adhesive layer (4 μm thickness) / heat-resistant film (17 μm)
m) / adhesive layer (4 μm) / copper foil (5 μm). The adhesive strength of this copper clad laminate was measured and is shown in Table 1 below. As shown in Table 1, the obtained copper-clad laminate was
It had an adhesive strength of 1.0 kgf / cm.

【0064】(実施例2)接着用樹脂溶液A−1をA−
2に代えて、実施例1と同様の方法で接着フィルムを得
た。得られた接着フィルムを使用して接着層のガラス転
移温度を測定した結果、240℃であった。この接着フ
ィルムの両面に上記と同じ三井金属工業株式会社性 M
icroThinの銅箔を配した後、ダブルベルトプレ
ス機で温度が280℃、圧力が線圧で70kg/cmで
3分間加熱圧着して積層板を得た。冷却後、キャリア用
銅箔を剥がし、構成が、銅箔(5μm厚)/接着層(4
μm厚)/耐熱性フィルム(17μm)/接着層(4μ
m)/銅箔(5μm)の積層体を得た。この銅張積層体
の接着強度を測定し、表1に示した。表1に示すよう
に、得られた銅張積層体は、1.0kgf/cmの接着
強度を有していた。
(Example 2) The adhesive resin solution A-1 was mixed with A-
In place of Example 2, an adhesive film was obtained in the same manner as in Example 1. The glass transition temperature of the adhesive layer measured using the obtained adhesive film was 240 ° C. On both sides of this adhesive film, Mitsui Kinzoku Kogyo Co., Ltd.
After placing the copper foil of microThin, the laminate was heat-pressed with a double belt press at a temperature of 280 ° C. and a linear pressure of 70 kg / cm for 3 minutes to obtain a laminate. After cooling, the copper foil for the carrier was peeled off, and the composition was copper foil (5 μm thick) / adhesive layer (4
μm thickness) / heat-resistant film (17 μm) / adhesive layer (4 μm)
m) / copper foil (5 μm) laminate. The adhesive strength of this copper clad laminate was measured and is shown in Table 1. As shown in Table 1, the obtained copper-clad laminate had an adhesive strength of 1.0 kgf / cm.

【0065】[0065]

【表1】 (比較例1) 1.耐熱性フィルム用樹脂溶液の製造 ピロメリット酸二無水物/4、4’−ジアミノベンズア
ニリド/4、4’―ジアミノジフェニルエーテルをモル
比で5/4/1の割合で重合させることによりポリアミ
ド酸を合成した。
[Table 1] (Comparative Example 1) Preparation of Resin Solution for Heat Resistant Film Polyamic acid is obtained by polymerizing pyromellitic dianhydride / 4,4′-diaminobenzanilide / 4,4′-diaminodiphenyl ether at a molar ratio of 5/4/1. Synthesized.

【0066】2.銅張積層体の製造 上記の耐熱性フィルム用樹脂溶液を、ダイコーターで上
記の実施例1と同じMicroThinに塗布した後、
100℃で10分、200℃で10分、300℃で10
分、400℃で10分乾燥かつイミド化させ、キャリア
用銅箔(35μm)/銅箔(5μm)/耐熱性フィルム
(17μm)の構成の銅張積層体を得た。しかしなが
ら、銅箔同士が貼り付ついておりキャリア用銅箔を剥が
すことができなかった。
2. Production of Copper-Clad Laminate After applying the above resin solution for a heat-resistant film to the same MicroThin as in Example 1 above using a die coater,
10 minutes at 100 ° C, 10 minutes at 200 ° C, 10 minutes at 300 ° C
After drying at 400 ° C. for 10 minutes and imidizing, a copper-clad laminate having a structure of copper foil for carrier (35 μm) / copper foil (5 μm) / heat-resistant film (17 μm) was obtained. However, the copper foils were stuck together and the carrier copper foil could not be peeled off.

【0067】[0067]

【発明の効果】以上のように、耐熱性フィルムに熱可塑
性ポリイミド樹脂を主成分とする接着層を介し、キャリ
ア付き金属箔を加熱・圧着することで、接着性や吸湿特
性に優れ、さらには、耐熱性に優れるFPCやリジット
‐フレックス基板材料、COFおよびLOCパッケー
ジ、MCMなどの新規高密度実装材料用途などに好適
な、薄い銅箔層を有する銅張積層体を得ることができ
る。
As described above, by heating and pressing a metal foil with a carrier on a heat-resistant film via an adhesive layer mainly composed of a thermoplastic polyimide resin, the adhesiveness and the moisture absorption characteristics are excellent. Thus, it is possible to obtain a copper-clad laminate having a thin copper foil layer, which is suitable for use in novel high-density packaging materials such as FPC and rigid-flex substrate materials having excellent heat resistance, COF and LOC packages, and MCM.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片岡 孝介 滋賀県大津市坂本2−4−64 (72)発明者 古谷 浩行 大阪府高槻市上土室1−10−6−412 Fターム(参考) 4F100 AB17A AB33A AK01C AK49B AK49C BA03 BA10A BA10C EC051 EH461 EJ182 EJ303 EJ422 EJ861 EJ911 GB43 JA05B JA20A JB16B JJ03C JL11B YY00A YY00B  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kosuke Kataoka 2-4-64 Sakamoto, Otsu-shi, Shiga (72) Inventor Hiroyuki Furuya 1-10-6-412 Kamitsumuro, Takatsuki-shi, Osaka F-term (reference) 4F100 AB17A AB33A AK01C AK49B AK49C BA03 BA10A BA10C EC051 EH461 EJ182 EJ303 EJ422 EJ861 EJ911 GB43 JA05B JA20A JB16B JJ03C JL11B YY00A YY00B

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 厚みが1〜8μmの銅箔、熱可塑性ポリ
イミド樹脂を主成分とする接着層、および耐熱性フィル
ムを備えた、銅張積層体。
1. A copper-clad laminate comprising a copper foil having a thickness of 1 to 8 μm, an adhesive layer mainly composed of a thermoplastic polyimide resin, and a heat-resistant film.
【請求項2】 前記耐熱性フィルムがポリイミドフィル
ムである、請求項1に記載の銅張積層体。
2. The copper-clad laminate according to claim 1, wherein the heat-resistant film is a polyimide film.
【請求項3】 前記接着層が、150℃〜250℃のガ
ラス転移温度を持つ、請求項1または請求項2に記載の
銅張積層体。
3. The copper clad laminate according to claim 1, wherein the adhesive layer has a glass transition temperature of 150 ° C. to 250 ° C.
【請求項4】 厚みが1〜8μmの銅箔を備えた銅張積
層体を製造する方法であって、 耐熱性フィルム上に接着層を形成する工程;該接着層の
表面にキャリア付き銅箔を配置する工程;得られた積層
体を加熱加圧し、該積層体中の接着層とキャリア付き銅
箔とを接着させる工程;およびキャリアを引き剥がす工
程、を包含する方法。
4. A method for producing a copper-clad laminate provided with a copper foil having a thickness of 1 to 8 μm, comprising: forming an adhesive layer on a heat-resistant film; copper foil with a carrier on the surface of the adhesive layer A step of heating and pressing the obtained laminate to bond the adhesive layer in the laminate to the copper foil with a carrier; and a step of peeling off the carrier.
【請求項5】 前記接着させる工程が、前記接着層のガ
ラス転移温度より50℃〜100℃高い温度で行われ
る、請求項4に記載の方法。
5. The method according to claim 4, wherein the step of bonding is performed at a temperature 50 ° C. to 100 ° C. higher than a glass transition temperature of the bonding layer.
【請求項6】 厚みが1〜8μmの銅箔、熱可塑性ポリ
イミド樹脂を主成分とする接着層、および耐熱性フィル
ムを備えた、銅張積層体であって、 耐熱性フィルム上に接着層を形成する工程;該接着層の
表面にキャリア付き銅箔を配置する工程;得られた積層
体を加熱加圧し、該積層体中の接着層とキャリア付き銅
箔とを接着させる工程;およびキャリアを引き剥がす工
程、を包含する方法によって製造される、銅張積層体。
6. A copper-clad laminate comprising a copper foil having a thickness of 1 to 8 μm, an adhesive layer mainly composed of a thermoplastic polyimide resin, and a heat-resistant film, wherein the adhesive layer is formed on the heat-resistant film. Forming; placing copper foil with a carrier on the surface of the adhesive layer; heating and pressing the obtained laminate to bond the adhesive layer in the laminate with the copper foil with a carrier; A copper-clad laminate manufactured by a method including a peeling step.
【請求項7】 前記接着させる工程が、前記接着層のガ
ラス転移温度より50℃〜100℃高い温度で行われ
る、請求項6に記載の銅張積層体。
7. The copper clad laminate according to claim 6, wherein the bonding step is performed at a temperature higher by 50 ° C. to 100 ° C. than a glass transition temperature of the bonding layer.
【請求項8】 前記耐熱性フィルムがポリイミドフィル
ムである、請求項6または7に記載の銅張積層体。
8. The copper clad laminate according to claim 6, wherein the heat resistant film is a polyimide film.
【請求項9】 前記接着層が、150℃〜250℃のガ
ラス転移温度を持つ、請求項6または7に記載の銅張積
層体。
9. The copper clad laminate according to claim 6, wherein the adhesive layer has a glass transition temperature of 150 ° C. to 250 ° C.
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