JP2714156B2 - 流体圧制御装置 - Google Patents
流体圧制御装置Info
- Publication number
- JP2714156B2 JP2714156B2 JP1169821A JP16982189A JP2714156B2 JP 2714156 B2 JP2714156 B2 JP 2714156B2 JP 1169821 A JP1169821 A JP 1169821A JP 16982189 A JP16982189 A JP 16982189A JP 2714156 B2 JP2714156 B2 JP 2714156B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- control
- control port
- cylinder
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/01—General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
- B29C66/05—Particular design of joint configurations
- B29C66/10—Particular design of joint configurations particular design of the joint cross-sections
- B29C66/11—Joint cross-sections comprising a single joint-segment, i.e. one of the parts to be joined comprising a single joint-segment in the joint cross-section
- B29C66/112—Single lapped joints
- B29C66/1122—Single lap to lap joints, i.e. overlap joints
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/50—General aspects of joining tubular articles; General aspects of joining long products, i.e. bars or profiled elements; General aspects of joining single elements to tubular articles, hollow articles or bars; General aspects of joining several hollow-preforms to form hollow or tubular articles
- B29C66/51—Joining tubular articles, profiled elements or bars; Joining single elements to tubular articles, hollow articles or bars; Joining several hollow-preforms to form hollow or tubular articles
- B29C66/52—Joining tubular articles, bars or profiled elements
- B29C66/522—Joining tubular articles
- B29C66/5221—Joining tubular articles for forming coaxial connections, i.e. the tubular articles to be joined forming a zero angle relative to each other
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Multiple-Way Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はロータリバルブに係り、各制御ポート毎に、
その制御ポートが接続されている側のシリンダの圧力室
の受圧面積の大小に応じて異なる流量ゲインを与えるこ
とができるので、受圧面積の異なるシリンダを用いても
ロータリバルブの入力信号に対するシリンダ出力速度の
比を全ての制御ポートについて同等あるいは一定の値と
することができ、特に片ロツド形複動シリンダのように
往路と復路の受圧面積が異なる複動シリンダを用いる場
合や、受圧面積が異なる単動シリンダを複数用いる場合
などにおいて、その運動を制御するための流量制御弁と
して用いるのに好適なロータリバルブの構造に関する。
その制御ポートが接続されている側のシリンダの圧力室
の受圧面積の大小に応じて異なる流量ゲインを与えるこ
とができるので、受圧面積の異なるシリンダを用いても
ロータリバルブの入力信号に対するシリンダ出力速度の
比を全ての制御ポートについて同等あるいは一定の値と
することができ、特に片ロツド形複動シリンダのように
往路と復路の受圧面積が異なる複動シリンダを用いる場
合や、受圧面積が異なる単動シリンダを複数用いる場合
などにおいて、その運動を制御するための流量制御弁と
して用いるのに好適なロータリバルブの構造に関する。
従来、この種のロータリバルブとしては、各制御ポー
トにおいて流入あるいは流出する流れの入力信号に対す
る出力流量の比すなわち流量ゲインが全ての制御ポート
について同一であるものが用いられてきた。
トにおいて流入あるいは流出する流れの入力信号に対す
る出力流量の比すなわち流量ゲインが全ての制御ポート
について同一であるものが用いられてきた。
具体例としては、例えば米国特許第4735233号公報に
記載されているように、弁体に回動中心軸と平行にスリ
ーブを設けるとともに、該スリーブによつて互いに分離
されるように構成した流路を前記弁体の両面に設ける一
方、ケーシングに前記スリーブの外径と同等の内径の円
筒穴を前記スリーブと同心に設け、前記弁体と前記ケー
シングとの相対運動によつて、流体の流れを制御する構
造が採られており、前記円筒穴の内径と前記スリーブの
外径、および前記流路の幅は全ての位置で同一であつ
た。本公知例のロータリバルブにおいて、出力流量は、
前記弁体のスリーブの外縁と前記ケーシングの円筒穴の
内縁および前記ケーシングの流路の内外縁によつて囲ま
れる制御オリフイスの開口面積に比例して決まるが、前
記円筒穴の内径と前記スリーブの外径、および前記流路
の幅を上記の構成としているので流量ゲインは全ての制
御ポートについて同一であつた。
記載されているように、弁体に回動中心軸と平行にスリ
ーブを設けるとともに、該スリーブによつて互いに分離
されるように構成した流路を前記弁体の両面に設ける一
方、ケーシングに前記スリーブの外径と同等の内径の円
筒穴を前記スリーブと同心に設け、前記弁体と前記ケー
シングとの相対運動によつて、流体の流れを制御する構
造が採られており、前記円筒穴の内径と前記スリーブの
外径、および前記流路の幅は全ての位置で同一であつ
た。本公知例のロータリバルブにおいて、出力流量は、
前記弁体のスリーブの外縁と前記ケーシングの円筒穴の
内縁および前記ケーシングの流路の内外縁によつて囲ま
れる制御オリフイスの開口面積に比例して決まるが、前
記円筒穴の内径と前記スリーブの外径、および前記流路
の幅を上記の構成としているので流量ゲインは全ての制
御ポートについて同一であつた。
上記従来技術において、例えば片ロツド形複動シリン
ダなどのように往路と復路の受圧面積が異なるシリンダ
を駆動する場合、シリンダの高圧側圧力室に流入する流
量と出力速度との比が往路と復路とでは受圧面積の大小
によつて異なるにもかかわらず、ロータリバルブの流量
ゲインが全ての制御ポートについて同一であるために、
ロータリバルブに同じ入力信号を与えても、複動シリン
ダの往路と復路とではシリンダの出力速度が違つてしま
うという問題があつた。
ダなどのように往路と復路の受圧面積が異なるシリンダ
を駆動する場合、シリンダの高圧側圧力室に流入する流
量と出力速度との比が往路と復路とでは受圧面積の大小
によつて異なるにもかかわらず、ロータリバルブの流量
ゲインが全ての制御ポートについて同一であるために、
ロータリバルブに同じ入力信号を与えても、複動シリン
ダの往路と復路とではシリンダの出力速度が違つてしま
うという問題があつた。
また、上記のような複動シリンダを用いその変位置を
フイードバツクして位置制御を行なう場合には、上記の
理由のために、複動シリンダの往路と復路とで制御系全
体のゲインが違つてしまうので、制御特性の設定が難し
くなるという問題があつた。
フイードバツクして位置制御を行なう場合には、上記の
理由のために、複動シリンダの往路と復路とで制御系全
体のゲインが違つてしまうので、制御特性の設定が難し
くなるという問題があつた。
上記の問題は、受圧面積が異なる単動シリンダを複数
用いる場合などについても同様であつた。
用いる場合などについても同様であつた。
本発明の目的は、受圧面積が異なるシリンダを用いて
もロータリバルブの入力信号に対するシリンダ出力速度
の比を同等或いは一定の値とすることができる流体圧制
御装置を提供することにある。
もロータリバルブの入力信号に対するシリンダ出力速度
の比を同等或いは一定の値とすることができる流体圧制
御装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の流体圧制御装置
は、往路と復路の受圧面積が異なる複動シリンダと、こ
の複動シリンダの運動を制御するロータリバルブとを備
えた流体圧制御装置において、前記ロータリバルブは、
前記複動シリンダの受圧面積が大なる側の圧力室に接続
された制御ポートにおける流量ゲインが、受圧面積が小
なる側の圧力室に接続された制御ポートにおける流量ゲ
インよりも大きくなるように構成したものである。
は、往路と復路の受圧面積が異なる複動シリンダと、こ
の複動シリンダの運動を制御するロータリバルブとを備
えた流体圧制御装置において、前記ロータリバルブは、
前記複動シリンダの受圧面積が大なる側の圧力室に接続
された制御ポートにおける流量ゲインが、受圧面積が小
なる側の圧力室に接続された制御ポートにおける流量ゲ
インよりも大きくなるように構成したものである。
また、上記目的を達成するために、本発明の流体圧制
御装置は、受圧面積の異なる複数の単動シリンダと、こ
れらの単動シリンダの運動を制御するロータリバルブと
を備えた流体圧制御装置において、前記ロータリバルブ
は、受圧面積が大なる前記単動シリンダの圧力室に接続
された制御ポートにおける流量ゲインが、受圧面積が小
なる前記単動シリンダの圧力室に接続された制御ポート
における流量ゲインよりも大きくなるように構成したも
のである。
御装置は、受圧面積の異なる複数の単動シリンダと、こ
れらの単動シリンダの運動を制御するロータリバルブと
を備えた流体圧制御装置において、前記ロータリバルブ
は、受圧面積が大なる前記単動シリンダの圧力室に接続
された制御ポートにおける流量ゲインが、受圧面積が小
なる前記単動シリンダの圧力室に接続された制御ポート
における流量ゲインよりも大きくなるように構成したも
のである。
上記手段によれば、受圧面積が大きい圧力室側での流
量ゲインを受圧面積が小さい圧力室側での流量ゲインよ
りも大きくしたことにより、受圧面積の異なるシリンダ
を用いても、ロータリバルブの入力信号に対するシリン
ダ出力速度の比を複数の制御ポートについて同等或いは
一定の値とすることができる。
量ゲインを受圧面積が小さい圧力室側での流量ゲインよ
りも大きくしたことにより、受圧面積の異なるシリンダ
を用いても、ロータリバルブの入力信号に対するシリン
ダ出力速度の比を複数の制御ポートについて同等或いは
一定の値とすることができる。
また、シリンダの変位量をフィードバックしてその位
置制御を行う場合には、シリンダの往路と復路とで、或
いは複数のシリンダ間で制御系のゲインが大きく違って
しまうようなことが無くなるので、制御系の特性の設定
が容易となる。
置制御を行う場合には、シリンダの往路と復路とで、或
いは複数のシリンダ間で制御系のゲインが大きく違って
しまうようなことが無くなるので、制御系の特性の設定
が容易となる。
以下、本発明によるロータリバルブの４方弁の一実施
例を第１図ないし第７図を用いて説明する。
例を第１図ないし第７図を用いて説明する。
まず、第１図を用いて本実施例の構造を説明する。
弁体１はケーシング２および３によつてスペーサ４と
ともにはさまれるように設けられており、スペーサ４の
厚さは弁体１の軸方向の厚さよりも所定の厚み差だけ厚
く成形されている。また、弁体１の端面からは軸5,6が
突出しており、ケーシング2,3に設けた軸穴7,8との間で
ラジアル軸受を構成している。従つて、弁体１は、ケー
シング2,3およびスペーサ４に対して回動中心軸９を中
心として回動可能に設けられている。
ともにはさまれるように設けられており、スペーサ４の
厚さは弁体１の軸方向の厚さよりも所定の厚み差だけ厚
く成形されている。また、弁体１の端面からは軸5,6が
突出しており、ケーシング2,3に設けた軸穴7,8との間で
ラジアル軸受を構成している。従つて、弁体１は、ケー
シング2,3およびスペーサ４に対して回動中心軸９を中
心として回動可能に設けられている。
弁体１には、回動中心軸９と平行な円筒穴10,11およ
び貫通孔12が設けられており、ケーシング２および３に
は、弁体１の円筒穴10,11の内径と同等の外径に成形さ
れたスリーブ13,14およびプラグ15,16と、スリーブ13,1
4およびプラグ15,16によつて互いに分離されるように構
成された流路17,18および19,20がそれぞれ設けられてい
る。また、ケーシング２において、スリーブ13の内径部
には制御ポートＡが、スリーブ14の内径部には制御ポー
トＢが、流路17には供給ポートＰが、また流路18には排
出ポートＴがそれぞれ接続されている。そして、弁体１
は、制御ポートA,Bに接続されたスリーブ13,14とプラグ
15,16および円筒穴10,11と、供給ポートＡに接続された
流路17,19とを覆う形状としている。従つて、流路18と2
0は連通しており、また、流路17と19も貫通孔12を介し
て連通するように構成されている。さらに、流路17,18
および19,20は、外半径の２乗と内半径の２乗との差の
値が、制御ポートＡに接続されたスリーブ13およびプラ
グ15の外径部に接続する部分17a,18aおよび19a,20aの方
が、制御ポートＢに接続されたスリーブ14およびプラグ
16の外径部に接続する部分17b,18bおよび19b,20bよりも
大きくなるような形状にしてある。
び貫通孔12が設けられており、ケーシング２および３に
は、弁体１の円筒穴10,11の内径と同等の外径に成形さ
れたスリーブ13,14およびプラグ15,16と、スリーブ13,1
4およびプラグ15,16によつて互いに分離されるように構
成された流路17,18および19,20がそれぞれ設けられてい
る。また、ケーシング２において、スリーブ13の内径部
には制御ポートＡが、スリーブ14の内径部には制御ポー
トＢが、流路17には供給ポートＰが、また流路18には排
出ポートＴがそれぞれ接続されている。そして、弁体１
は、制御ポートA,Bに接続されたスリーブ13,14とプラグ
15,16および円筒穴10,11と、供給ポートＡに接続された
流路17,19とを覆う形状としている。従つて、流路18と2
0は連通しており、また、流路17と19も貫通孔12を介し
て連通するように構成されている。さらに、流路17,18
および19,20は、外半径の２乗と内半径の２乗との差の
値が、制御ポートＡに接続されたスリーブ13およびプラ
グ15の外径部に接続する部分17a,18aおよび19a,20aの方
が、制御ポートＢに接続されたスリーブ14およびプラグ
16の外径部に接続する部分17b,18bおよび19b,20bよりも
大きくなるような形状にしてある。
次に、第２図ないし第５図を用いて本実施例の作用を
説明する。
説明する。
第２図および第３図は中立状態、すなわち弁が閉じて
おり流体の流れが停止している状態を示す。この状態で
は、円筒穴10,11の内縁がスリーブ13,14およびプラグ1
5,16の外縁とそれぞれ一致しているため、制御ポートA,
Bは供給ポートP,排出ポートＴのいずれとも隔てられて
おり、流体の流れは停止している。
おり流体の流れが停止している状態を示す。この状態で
は、円筒穴10,11の内縁がスリーブ13,14およびプラグ1
5,16の外縁とそれぞれ一致しているため、制御ポートA,
Bは供給ポートP,排出ポートＴのいずれとも隔てられて
おり、流体の流れは停止している。
いま、弁体１が矢印21の向きに回動したとすれば、第
４図および第５図に示す状態となり、弁体１の両面に、
円筒穴10,11の内縁とスリーブ13,14およびプラグ15,16
の外縁、および流路17,18と19,20の内外縁によつて囲ま
れる開口部22,23および24,25がそれぞれ現れ、これらが
制御オリフイスとなる。従つて、制御ポートＡは制御オ
リフイス22,23を介して排出ポートＴと、制御ポートＢ
は制御オリフイス24,25を介して供給ポートＰと接続さ
れ、流体は図中の矢印で示すように供給ポートＰから制
御ポートＢへ、制御ポートＡから排出ポートＴへと流れ
る。また、弁体１が矢印21と反対の向きに回動したとす
れば、制御ポートＡは供給ポートＰと、制御ポートＢは
排出ポートＴと接続され、流体は反対に供給ポートＰか
ら制御ポートＡへ、制御ポートＢから排出ポートＴへと
流れる。そして、制御オリフイスの開口面積は弁体１の
角変位量に比例し、この開口面積に比例して流量が決ま
るから、正逆連続可変の４方弁として機能する。
４図および第５図に示す状態となり、弁体１の両面に、
円筒穴10,11の内縁とスリーブ13,14およびプラグ15,16
の外縁、および流路17,18と19,20の内外縁によつて囲ま
れる開口部22,23および24,25がそれぞれ現れ、これらが
制御オリフイスとなる。従つて、制御ポートＡは制御オ
リフイス22,23を介して排出ポートＴと、制御ポートＢ
は制御オリフイス24,25を介して供給ポートＰと接続さ
れ、流体は図中の矢印で示すように供給ポートＰから制
御ポートＢへ、制御ポートＡから排出ポートＴへと流れ
る。また、弁体１が矢印21と反対の向きに回動したとす
れば、制御ポートＡは供給ポートＰと、制御ポートＢは
排出ポートＴと接続され、流体は反対に供給ポートＰか
ら制御ポートＡへ、制御ポートＢから排出ポートＴへと
流れる。そして、制御オリフイスの開口面積は弁体１の
角変位量に比例し、この開口面積に比例して流量が決ま
るから、正逆連続可変の４方弁として機能する。
さて、第６図に示すように、上記制御ポートの開口面
積Ｓは、流路の外半径R1の２乗と内半径R2の２乗との差
に比例し、Ｓ＝（R1 2−R2 2）θ/2となるから、流量ゲイ
ンは（R1 2−R2 2）/2で表わされ、R1 2−R2 2の値を変える
ことによつて弁体の角変位量に対する出力流量の比すな
わち流量ゲインの値を各制御ポート毎に異なる値とする
ことができる。
積Ｓは、流路の外半径R1の２乗と内半径R2の２乗との差
に比例し、Ｓ＝（R1 2−R2 2）θ/2となるから、流量ゲイ
ンは（R1 2−R2 2）/2で表わされ、R1 2−R2 2の値を変える
ことによつて弁体の角変位量に対する出力流量の比すな
わち流量ゲインの値を各制御ポート毎に異なる値とする
ことができる。
従つて、本実施例によれば、前述のように、流路17,1
8および19,20を、外半径の２乗と内半径の２乗との差の
値が、制御ポートＡに接続されたスリーブ13およびプラ
グ15の外径部に接続する部分17a,18aおよび19a,20aの方
が、制御ポートＢに接続されたスリーブ14およびプラグ
16の外径部に接続する部分17b,18bおよび19b,20bよりも
大きくなるような形状にしてあるので、制御オリフイス
の開口面積は制御オリフイス22,23の方が24,25よりも大
きくなるから制御ポートＡに流入、流出する流れの流量
ゲインの方が、制御ポートＢよりも大きな値となり、制
御オリフイス前後の圧力差を一定にしたときの流量特性
を第７図に示すような特性にすることができる。
8および19,20を、外半径の２乗と内半径の２乗との差の
値が、制御ポートＡに接続されたスリーブ13およびプラ
グ15の外径部に接続する部分17a,18aおよび19a,20aの方
が、制御ポートＢに接続されたスリーブ14およびプラグ
16の外径部に接続する部分17b,18bおよび19b,20bよりも
大きくなるような形状にしてあるので、制御オリフイス
の開口面積は制御オリフイス22,23の方が24,25よりも大
きくなるから制御ポートＡに流入、流出する流れの流量
ゲインの方が、制御ポートＢよりも大きな値となり、制
御オリフイス前後の圧力差を一定にしたときの流量特性
を第７図に示すような特性にすることができる。
従つて、本ロータリバルブによつて制御するシリンダ
の各圧力室の受圧面積の大小に応じて各制御ポートの流
量ゲインを適正に選ぶようにすれば、ロータリバルブの
入力信号に対するシリンダ出力速度の比を随意に決める
ことができ、その比を全ての制御ポートについて同等あ
るいは一定の値にすることが可能となる。
の各圧力室の受圧面積の大小に応じて各制御ポートの流
量ゲインを適正に選ぶようにすれば、ロータリバルブの
入力信号に対するシリンダ出力速度の比を随意に決める
ことができ、その比を全ての制御ポートについて同等あ
るいは一定の値にすることが可能となる。
そこで、第８図に、上記実施例のロータリバルブを用
いて、片ロツド形複動シリンダの運動を制御する流体圧
制御装置の一実施例を示す。
いて、片ロツド形複動シリンダの運動を制御する流体圧
制御装置の一実施例を示す。
片ロツド形複動シリンダ30の運動を制御するために４
方弁のロータリバルブ31が設けられている。このロータ
リバルブ31は第１図ないし第７図に示した実施例のロー
タリバルブであり、制御ポートＡの方が制御ポートＢよ
りも大きな流量ゲインを有する流量特性となるように構
成されている。
方弁のロータリバルブ31が設けられている。このロータ
リバルブ31は第１図ないし第７図に示した実施例のロー
タリバルブであり、制御ポートＡの方が制御ポートＢよ
りも大きな流量ゲインを有する流量特性となるように構
成されている。
さて、ロータリバルブ31の流量ゲインをＫとすれば、
シリンダ30の高圧側圧力室に流入する高圧流体の流量は
Ｑ＝Ｋθとなるから、シリンダ30の各圧力室の受圧面積
をＳとすれば、往路と復路のシリング速度ｖの比は次の
ようになる。但し、ここで添字A,Bはそれぞれロータリ
バルブの制御ポートの別を表す。
シリンダ30の高圧側圧力室に流入する高圧流体の流量は
Ｑ＝Ｋθとなるから、シリンダ30の各圧力室の受圧面積
をＳとすれば、往路と復路のシリング速度ｖの比は次の
ようになる。但し、ここで添字A,Bはそれぞれロータリ
バルブの制御ポートの別を表す。
いま、SAは反ロツド側、SBはロツド側であるから、SA
＞SBである。従つて、前記従来技術のように流量ゲイン
がKA＝KBであれば、vA＜vBとなつてしまうが、KA＞KBと
すれば、シリンダ往路と復路の出力速度の差を縮小で
き、特にKA：KB＝SA：SBとすれば、原理的には上記シリ
ンダ出力速度を等しくすることができる。
＞SBである。従つて、前記従来技術のように流量ゲイン
がKA＝KBであれば、vA＜vBとなつてしまうが、KA＞KBと
すれば、シリンダ往路と復路の出力速度の差を縮小で
き、特にKA：KB＝SA：SBとすれば、原理的には上記シリ
ンダ出力速度を等しくすることができる。
従つて、本実施例の流体圧制御装置によれば、ロータ
リバルブの弁体への入力角変位量θに対するシリンダ出
力速度ｖの比をシリンダの往路、復路とも同等の値とす
ることができるので、受圧面積の大小にかかわらず、入
力信号が同じであれば出力速度も同等となり、シリンダ
の運動の制御が容易になる。
リバルブの弁体への入力角変位量θに対するシリンダ出
力速度ｖの比をシリンダの往路、復路とも同等の値とす
ることができるので、受圧面積の大小にかかわらず、入
力信号が同じであれば出力速度も同等となり、シリンダ
の運動の制御が容易になる。
また、第９図に、前記実施例のロータリバルブを用い
て受圧面積の異なる複数の単動シリンダの運動を制御す
る流体圧制御装置の一実施例を示す。
て受圧面積の異なる複数の単動シリンダの運動を制御す
る流体圧制御装置の一実施例を示す。
リンク35は回転対偶36によつて回転可能に支持され、
リンク35の運動は、その両端に設けた受圧面積の異なる
単動シリンダ37および38によつて制御される。そして、
受圧面積の大きい方の単動シリンダ37は４方弁のロータ
リバルブ39の制御ポートＡに、また、受圧面積の小さい
方の単動シリンダ38は制御ポートＢにそれぞれ接続され
ている。ここで、ロータリバルブ39は第１図ないし第７
図に示した実施例のロータリバルブであり、制御ポート
Ａの方が制御ポートＢよりも大きな流量ゲインを有する
流量特性となるように構成されている。
リンク35の運動は、その両端に設けた受圧面積の異なる
単動シリンダ37および38によつて制御される。そして、
受圧面積の大きい方の単動シリンダ37は４方弁のロータ
リバルブ39の制御ポートＡに、また、受圧面積の小さい
方の単動シリンダ38は制御ポートＢにそれぞれ接続され
ている。ここで、ロータリバルブ39は第１図ないし第７
図に示した実施例のロータリバルブであり、制御ポート
Ａの方が制御ポートＢよりも大きな流量ゲインを有する
流量特性となるように構成されている。
従つて、本実施例においても、第８図に示した実施例
と同様の効果が得られ、受圧面積の大小にかかわらず、
ロータリバルブの入力信号が同じであればシリンダ出力
速度も同等となるので、同様にシリンダの運動の制御が
容易になる。
と同様の効果が得られ、受圧面積の大小にかかわらず、
ロータリバルブの入力信号が同じであればシリンダ出力
速度も同等となるので、同様にシリンダの運動の制御が
容易になる。
次に、本発明のロータリバルブを用いた直動形ロータ
リ・サーボバルブの一実施例を第10図ないし第12図に示
す。
リ・サーボバルブの一実施例を第10図ないし第12図に示
す。
弁部すなわち弁作用をする部分の基本構成は第１図な
いし第７図に示した実施例のロータリバルブと同じであ
る。ただ、ケーシング３に設けたプラグ15,16をスリー
ブ15s,16sとしている点のみ異なるが、作用上は上記の
実施例と全く同じである。
いし第７図に示した実施例のロータリバルブと同じであ
る。ただ、ケーシング３に設けたプラグ15,16をスリー
ブ15s,16sとしている点のみ異なるが、作用上は上記の
実施例と全く同じである。
第10図および第11図に示すように、弁体１の軸６には
円板状の可動子40が一体的に結合されており、可動子40
は、固定子すなわちケーシング３に固定された磁石41と
ヨークの機能を兼ねるケーシング３によつて所定の間隙
を持つて回動可能に狭設されている。第12図に示すよう
に、可動子40上には角度α毎に円周方向に交互に巻方向
が替わるように構成された複数の巻線42が設けられてお
り、磁石41の各極の極性も角度α毎に円周方向に交互に
替わるように構成されている。そして、弁体１と可動子
40とは、第２図および第３図に示した弁部の中立状態に
おいて、巻線42の各極の境目と磁石41の各極の境目とが
互いに角度α/2だけずれるように結合されている。
円板状の可動子40が一体的に結合されており、可動子40
は、固定子すなわちケーシング３に固定された磁石41と
ヨークの機能を兼ねるケーシング３によつて所定の間隙
を持つて回動可能に狭設されている。第12図に示すよう
に、可動子40上には角度α毎に円周方向に交互に巻方向
が替わるように構成された複数の巻線42が設けられてお
り、磁石41の各極の極性も角度α毎に円周方向に交互に
替わるように構成されている。そして、弁体１と可動子
40とは、第２図および第３図に示した弁部の中立状態に
おいて、巻線42の各極の境目と磁石41の各極の境目とが
互いに角度α/2だけずれるように結合されている。
従つて、巻線42に電流を流したときに発生する電磁力
は全て同じ向きのモーメントを生ずるように作用し、こ
の駆動力のモーメントによつて弁体１を直接回動させて
制御オリフイスの開口面積を変化させ、流体の流れを制
御する。
は全て同じ向きのモーメントを生ずるように作用し、こ
の駆動力のモーメントによつて弁体１を直接回動させて
制御オリフイスの開口面積を変化させ、流体の流れを制
御する。
そして、磁石41の背面には角変位検出器43が設けられ
ており、角変位検出器43の検出軸は弁体１および可動子
40と一体的に結合されている。従つて、可動子40上に発
生した電磁力の駆動モーメントによつて弁体１および可
動子40が回動すると角変位検出器43によつて角変位量が
検出される。そして、この角変位信号をサーボバルブの
制御装置にフイードバツクすることによつて電気的に弁
体１の位置決めを行うようにし、入力の電気信号に比例
した流量を出力するようにしている。すなわち、直動形
の４方向サーボバルブを構成している。
ており、角変位検出器43の検出軸は弁体１および可動子
40と一体的に結合されている。従つて、可動子40上に発
生した電磁力の駆動モーメントによつて弁体１および可
動子40が回動すると角変位検出器43によつて角変位量が
検出される。そして、この角変位信号をサーボバルブの
制御装置にフイードバツクすることによつて電気的に弁
体１の位置決めを行うようにし、入力の電気信号に比例
した流量を出力するようにしている。すなわち、直動形
の４方向サーボバルブを構成している。
本実施例によれば、弁部を前記実施例と同様に流路の
外半径の２乗と内半径の２乗との差の値を各制御ポート
毎に異なる値としているので、各制御ポート毎に異なる
流量ゲインを有する直動形ロータリ・サーボバルブを実
現することができる。
外半径の２乗と内半径の２乗との差の値を各制御ポート
毎に異なる値としているので、各制御ポート毎に異なる
流量ゲインを有する直動形ロータリ・サーボバルブを実
現することができる。
そこで、第13図に、上記実施例の直動形ロータリ・サ
ーボバルブを用いて片ロツド形複動シリンダの位置制御
を行う流体圧制御装置の一実施例を示す。
ーボバルブを用いて片ロツド形複動シリンダの位置制御
を行う流体圧制御装置の一実施例を示す。
片ロツド形複動シリンダ50には変位検出器51が設けられ
ており、変位検出器51の出力信号52は主フイードバツク
信号として制御装置53にフイードバツクされ、目標値54
との偏差に応じて直動形ロータリ・サーボバルブ55を駆
動するように構成されている。この直動形ロータリ・サ
ーボバルブ55は第10図ないし第12図に示した実施例の直
動形ロータリ・サーボバルブであり、弁体１の角変位を
検出する角変位検出器43の出力信号56も弁体１の位置決
めを行うために制御装置53にフイードバツクされてい
る。また、直動形ロータリ・サーボバルブ55の弁部は、
上記の実施例と同様に、流路の外半径の２乗と内半径の
２乗との差の値を各制御ポート毎に異なる値とすること
によつて制御ポートＡと制御ポートＢの流量ゲインが異
なる値となるように構成されており、その大小関係は第
８図に示した実施例と同様に各制御ポートに接続された
側のシリンダの圧力室の受圧面積の比と同じにしてあ
る。
ており、変位検出器51の出力信号52は主フイードバツク
信号として制御装置53にフイードバツクされ、目標値54
との偏差に応じて直動形ロータリ・サーボバルブ55を駆
動するように構成されている。この直動形ロータリ・サ
ーボバルブ55は第10図ないし第12図に示した実施例の直
動形ロータリ・サーボバルブであり、弁体１の角変位を
検出する角変位検出器43の出力信号56も弁体１の位置決
めを行うために制御装置53にフイードバツクされてい
る。また、直動形ロータリ・サーボバルブ55の弁部は、
上記の実施例と同様に、流路の外半径の２乗と内半径の
２乗との差の値を各制御ポート毎に異なる値とすること
によつて制御ポートＡと制御ポートＢの流量ゲインが異
なる値となるように構成されており、その大小関係は第
８図に示した実施例と同様に各制御ポートに接続された
側のシリンダの圧力室の受圧面積の比と同じにしてあ
る。
従つて、本実施例によれば、シリンダの各圧力室の受
圧面積の大小にかかわらず、サーボバルブへの入力の電
気信号が同じならばシリンダの往路、復路とも同等の出
力速度が得られ、サーボバルブからシリンダまでのゲイ
ンをほぼ同等にすることができるので、制御系の特性の
設定を容易にすることができる。
圧面積の大小にかかわらず、サーボバルブへの入力の電
気信号が同じならばシリンダの往路、復路とも同等の出
力速度が得られ、サーボバルブからシリンダまでのゲイ
ンをほぼ同等にすることができるので、制御系の特性の
設定を容易にすることができる。
尚、上記実施例の直動形ロータリ・サーボバルブにお
いて、駆動部は円錐状や円筒状の可動子を用いる構造と
しても良い。あるいはまた、ノズル・フラツパやジエツ
ト・パイプ式などのパイロツト弁を用いる多段形のサー
ボバルブとしても良い。
いて、駆動部は円錐状や円筒状の可動子を用いる構造と
しても良い。あるいはまた、ノズル・フラツパやジエツ
ト・パイプ式などのパイロツト弁を用いる多段形のサー
ボバルブとしても良い。
次に、第14図および第15図に、本発明によるロータリ
バルブの他の実施例を示す。
バルブの他の実施例を示す。
弁体60はケーシング61および62によつてスペーサ63と
ともにはさまれるように設けられており、スペーサ63の
厚さは弁体60の軸方向の厚さよりも所定の厚み差だけ厚
く成形されている。また、弁体60の端面からは軸64が軸
方向に突出しており、ケーシング61,62に設けた軸穴と
の間でラジアル軸受を構成している。従つて、弁体１
は、ケーシング61,62およびスペーサ63に対して回動可
能に設けられている。
ともにはさまれるように設けられており、スペーサ63の
厚さは弁体60の軸方向の厚さよりも所定の厚み差だけ厚
く成形されている。また、弁体60の端面からは軸64が軸
方向に突出しており、ケーシング61,62に設けた軸穴と
の間でラジアル軸受を構成している。従つて、弁体１
は、ケーシング61,62およびスペーサ63に対して回動可
能に設けられている。
弁体60には、円筒穴65,66および貫通孔67,68が設けら
れており、ケーシング61および62には、弁体60の円筒穴
65,66の内径と同等の外径に成形されたスリーブ69,70お
よび71,72と、スリーブ69,70および71,72によつて互い
に分離されるように構成された流路73,74および75,76が
それぞれ設けられている。また、ケーシング61におい
て、スリーブ69の内径部には供給ポートＰが、スリーブ
70の内径部には排出ポートＴが、流路73には制御ポート
Ａが、また流路74には制御ポートＢがそれぞれ接続され
ている。また、流路73と75は貫通孔67を介して、流路74
と76も貫通孔68を介してそれぞれ連通するように構成さ
れている。そして、流路の外半径の２乗と内半径の２乗
との差の値は、制御ポートＡに接続された流路73,75の
方が、制御ポートＢに接続された流路74,76よりも大き
くなるような形状にしてある。
れており、ケーシング61および62には、弁体60の円筒穴
65,66の内径と同等の外径に成形されたスリーブ69,70お
よび71,72と、スリーブ69,70および71,72によつて互い
に分離されるように構成された流路73,74および75,76が
それぞれ設けられている。また、ケーシング61におい
て、スリーブ69の内径部には供給ポートＰが、スリーブ
70の内径部には排出ポートＴが、流路73には制御ポート
Ａが、また流路74には制御ポートＢがそれぞれ接続され
ている。また、流路73と75は貫通孔67を介して、流路74
と76も貫通孔68を介してそれぞれ連通するように構成さ
れている。そして、流路の外半径の２乗と内半径の２乗
との差の値は、制御ポートＡに接続された流路73,75の
方が、制御ポートＢに接続された流路74,76よりも大き
くなるような形状にしてある。
いま、弁体60が矢印77の向きに回動したとすれば、第
15図に示すように、弁体60の両面に、円筒穴65,66の内
縁とスリーブ69,70および71,72の外縁、および流路73,7
4と75と76の内外縁によつて囲まれる開口部すなわち制
御オリフイスがそれぞれ現れるので、制御ポートＡは供
給ポートＰと、制御ポートＢは排出ポートＴと接続さ
れ、流体は図中の矢印で示すように供給ポートＰから制
御ポートＡへ、制御ポートＢから排出ポートＴへと流れ
る。また、弁体60が矢印77と反対の向きに回動したとす
れば、制御ポートＡは排出ポートＴと、制御ポートＢは
供給ポートＰと接続され、流体は反対に供給ポートＰか
ら制御ポートＢへ、制御ポートＡから排出ポートＴへと
流れる。そして、制御オリフイスの開口面積は弁体60の
角変位量に比例し、この開口面積に比例して流量が決ま
るから、正逆連続可変の４方弁として機能する。
15図に示すように、弁体60の両面に、円筒穴65,66の内
縁とスリーブ69,70および71,72の外縁、および流路73,7
4と75と76の内外縁によつて囲まれる開口部すなわち制
御オリフイスがそれぞれ現れるので、制御ポートＡは供
給ポートＰと、制御ポートＢは排出ポートＴと接続さ
れ、流体は図中の矢印で示すように供給ポートＰから制
御ポートＡへ、制御ポートＢから排出ポートＴへと流れ
る。また、弁体60が矢印77と反対の向きに回動したとす
れば、制御ポートＡは排出ポートＴと、制御ポートＢは
供給ポートＰと接続され、流体は反対に供給ポートＰか
ら制御ポートＢへ、制御ポートＡから排出ポートＴへと
流れる。そして、制御オリフイスの開口面積は弁体60の
角変位量に比例し、この開口面積に比例して流量が決ま
るから、正逆連続可変の４方弁として機能する。
さて、本実施例のロータリバルブにおいても、第６図
に示したように、制御ポートの開口面積Ｓは流路の外半
径R1の２乗と内半径R2の２乗との差に比例しＳ＝（R1 2
−R2 2）θ/2となるから、R1 2−R2 2の値を変えることに
よつて弁体の角変位量に対する出力流量の比すなわち流
量ゲインの値を各制御ポート毎に異なる値とすることが
できる。
に示したように、制御ポートの開口面積Ｓは流路の外半
径R1の２乗と内半径R2の２乗との差に比例しＳ＝（R1 2
−R2 2）θ/2となるから、R1 2−R2 2の値を変えることに
よつて弁体の角変位量に対する出力流量の比すなわち流
量ゲインの値を各制御ポート毎に異なる値とすることが
できる。
従つて、本実施例のように、流路の外半径の２乗と内
半径の２乗との差の値を、制御ポートＡに接続された流
路73,75の方が、制御ポートＢに接続された流路74,76よ
りも大きくなるような形状にしてあるので、制御オリフ
イスの開口面積は制御ポートＡの方が制御ポートＢより
も大きくなるから、制御ポートＡに流入、流出する流れ
の流量ゲインの方が制御ポートＢよりも大きな値とな
り、制御オリフイス前後の圧力差を一定にしたときの流
量特性を第７図と同様の特性にすることができる。
半径の２乗との差の値を、制御ポートＡに接続された流
路73,75の方が、制御ポートＢに接続された流路74,76よ
りも大きくなるような形状にしてあるので、制御オリフ
イスの開口面積は制御ポートＡの方が制御ポートＢより
も大きくなるから、制御ポートＡに流入、流出する流れ
の流量ゲインの方が制御ポートＢよりも大きな値とな
り、制御オリフイス前後の圧力差を一定にしたときの流
量特性を第７図と同様の特性にすることができる。
よつて、本ロータリバルブによつて制御するシリンダ
の各圧力室の受圧面積の大小に応じて各制御ポートの流
量ゲインを適正に選ぶようにすれば、ロータリバルブの
入力信号に対するシリンダ出力速度の比を随意に決める
ことができ、その比を全ての制御ポートについて同等あ
るいは一定の値にすることが可能となる。
の各圧力室の受圧面積の大小に応じて各制御ポートの流
量ゲインを適正に選ぶようにすれば、ロータリバルブの
入力信号に対するシリンダ出力速度の比を随意に決める
ことができ、その比を全ての制御ポートについて同等あ
るいは一定の値にすることが可能となる。
従つて、本実施例によつても上記の実施例と全く同様
の効果を得ることができる。
の効果を得ることができる。
尚、弁部は、弁体と一方のケーシングのみで弁を構成
する構造としても良く、あるいはまた、さらに多くのポ
ートを有する多ポート弁としても良い。これらのように
しても、以上に示した実施例と同様の効果を得ることが
できる。
する構造としても良く、あるいはまた、さらに多くのポ
ートを有する多ポート弁としても良い。これらのように
しても、以上に示した実施例と同様の効果を得ることが
できる。
また、以上の実施例に示した全てのロータリバルブ
は、次のような効果も有する。
は、次のような効果も有する。
すなわちまず第一に、弁部を製作する際に、弁体の円
筒穴と、ケーシングのスリーブあるいはプラグを装着す
る穴とを同時に加工し、その後でスリーブあるいはプラ
グをケーシングに装着すればよい。そして、弁部の中立
点におけるラツプ量の調整はこの間に円筒穴の内径とス
リーブあるいはプラグの外径とを所定の寸法差に調整す
ることによつてでき、また、クリアランスの調整は弁体
とスペーサの厚み差を調整することによつてできる。従
つて、弁部の構造が簡単で製作方法が容易である上、製
作工数も削減でき、製作上も制御上も高い精度を得るこ
とができるようになる。
筒穴と、ケーシングのスリーブあるいはプラグを装着す
る穴とを同時に加工し、その後でスリーブあるいはプラ
グをケーシングに装着すればよい。そして、弁部の中立
点におけるラツプ量の調整はこの間に円筒穴の内径とス
リーブあるいはプラグの外径とを所定の寸法差に調整す
ることによつてでき、また、クリアランスの調整は弁体
とスペーサの厚み差を調整することによつてできる。従
つて、弁部の構造が簡単で製作方法が容易である上、製
作工数も削減でき、製作上も制御上も高い精度を得るこ
とができるようになる。
そして第二に、制御オリフイスのエツヂ、すなわち弁
体の円筒穴の端部内縁とケーシングのスリーブあるいは
プラグの端部外縁が、長期の使用などで摩耗してしまつ
た場合や、異物のかみ込み等によつて一部損傷してしま
つた場合などには、弁体とケーシングの端面を再び研削
するなどして摩耗や損傷した部分を取り除き、その上で
再びスペーサの厚さを弁体の軸方向の厚さよりも所定の
厚み差だけ厚くなるように調整し直すことによつて弁部
は再び新品と同等の性能を回復するので、弁部の再生利
用が容易にできるようになる。
体の円筒穴の端部内縁とケーシングのスリーブあるいは
プラグの端部外縁が、長期の使用などで摩耗してしまつ
た場合や、異物のかみ込み等によつて一部損傷してしま
つた場合などには、弁体とケーシングの端面を再び研削
するなどして摩耗や損傷した部分を取り除き、その上で
再びスペーサの厚さを弁体の軸方向の厚さよりも所定の
厚み差だけ厚くなるように調整し直すことによつて弁部
は再び新品と同等の性能を回復するので、弁部の再生利
用が容易にできるようになる。
本発明の流体圧制御装置では、ロータリバルブの各制
御ポート毎に、その制御ポートが接続されている側のシ
リンダの圧力室の受圧面積の大小に応じて異なる流量ゲ
インを与えるようにしたので、受圧面積の異なるシリン
ダの運動を制御する場合でも、ロータリバルブの入力信
号に対するシリンダ出力速度の比を各制御ポートについ
て同等或いは一定の値とすることができる。
御ポート毎に、その制御ポートが接続されている側のシ
リンダの圧力室の受圧面積の大小に応じて異なる流量ゲ
インを与えるようにしたので、受圧面積の異なるシリン
ダの運動を制御する場合でも、ロータリバルブの入力信
号に対するシリンダ出力速度の比を各制御ポートについ
て同等或いは一定の値とすることができる。
また、受圧面積の異なるシリンダを用い、その変位量
をフィードバックして位置制御を行う場合には、シリン
ダの往路と復路とで、或いは複数のシリンダ間で制御系
のゲインが大きく違ってしまうようなことが無くなるの
で、制御系の特性の設定が容易となる。
をフィードバックして位置制御を行う場合には、シリン
ダの往路と復路とで、或いは複数のシリンダ間で制御系
のゲインが大きく違ってしまうようなことが無くなるの
で、制御系の特性の設定が容易となる。
第１図は本発明によるロータリバルブの一実施例の構成
を示す斜視図、第２図は第１図の中立状態を示すＩ−Ｉ
線矢視図、第３図は第２図のII-II線において展開した
展開断面図、第４図は第１図の開口状態を示すＩ−Ｉ線
矢視図、第５図は第４図のIII-III線において展開した
展開断面図、第６図は本発明のロータリバルブにおける
弁体の角変位量と制御オリフイスの開口面積との関係を
示す図、第７図は本発明のロータリバルブの流量特性を
示す図、第８図は本発明のロータリバルブを用いた流体
圧制御装置の一実施例を示す回路図、第９図は本発明の
ロータリバルブを用いた流体圧制御装置の他の一実施例
を示す回路図、第10図は本発明による直動形ロータリ・
サーボバルブの一実施例の構成を示す斜視図、第11図は
第10図を組立た状態を示すIV-IV線断面図、第12図は第1
0図の駆動部の構成を示すＶ−Ｖ線矢視図、第13図は本
発明の直動形ロータリ・サーボバルブを用いた流体圧制
御装置の一実施例を示す回路図、第14図は本発明による
ロータリバルブの他の一実施例を示す図、第15図は第14
図のVI-VI線において展開した開口状態を示す展開断面
図である。 1,60……弁体、2,3,61,62……ケーシング、4,63……ス
ペーサ、10,11,65,66……円筒穴、13,14,15s,16s,69,7
0,71,72……スリーブ、15,16……プラグ、17,18,19,20,
73,74,75,76……流路、30,37,38,50……シリンダ。
を示す斜視図、第２図は第１図の中立状態を示すＩ−Ｉ
線矢視図、第３図は第２図のII-II線において展開した
展開断面図、第４図は第１図の開口状態を示すＩ−Ｉ線
矢視図、第５図は第４図のIII-III線において展開した
展開断面図、第６図は本発明のロータリバルブにおける
弁体の角変位量と制御オリフイスの開口面積との関係を
示す図、第７図は本発明のロータリバルブの流量特性を
示す図、第８図は本発明のロータリバルブを用いた流体
圧制御装置の一実施例を示す回路図、第９図は本発明の
ロータリバルブを用いた流体圧制御装置の他の一実施例
を示す回路図、第10図は本発明による直動形ロータリ・
サーボバルブの一実施例の構成を示す斜視図、第11図は
第10図を組立た状態を示すIV-IV線断面図、第12図は第1
0図の駆動部の構成を示すＶ−Ｖ線矢視図、第13図は本
発明の直動形ロータリ・サーボバルブを用いた流体圧制
御装置の一実施例を示す回路図、第14図は本発明による
ロータリバルブの他の一実施例を示す図、第15図は第14
図のVI-VI線において展開した開口状態を示す展開断面
図である。 1,60……弁体、2,3,61,62……ケーシング、4,63……ス
ペーサ、10,11,65,66……円筒穴、13,14,15s,16s,69,7
0,71,72……スリーブ、15,16……プラグ、17,18,19,20,
73,74,75,76……流路、30,37,38,50……シリンダ。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−153073（ＪＰ，Ａ) 実開 昭64−46584（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭33−6237（ＪＰ，Ｙ１)
Claims (2)
- 【請求項１】往路と復路の受圧面積が異なる複動シリン
ダと、この複動シリンダの運動を制御するロータリバル
ブとを備えた流体圧制御装置において、前記ロータリバ
ルブは、前記複動シリンダの受圧面積が大なる側の圧力
室に接続された制御ポートにおける流量ゲインが、受圧
面積が小なる側の圧力室に接続された制御ポートにおけ
る流量ゲインよりも大きくなるように構成したことを特
徴とする流体圧制御装置。 - 【請求項２】受圧面積の異なる複数の単動シリンダと、
これらの単動シリンダの運動を制御するロータリバルブ
とを備えた流体圧制御装置において、前記ロータリバル
ブは、受圧面積が大なる前記単動シリンダの圧力室に接
続された制御ポートにおける流量ゲインが、受圧面積が
小なる前記単動シリンダの圧力室に接続された制御ポー
トにおける流量ゲインよりも大きくなるように構成した
ことを特徴とする流体圧制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1169821A JP2714156B2 (ja) | 1989-07-03 | 1989-07-03 | 流体圧制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1169821A JP2714156B2 (ja) | 1989-07-03 | 1989-07-03 | 流体圧制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0337486A JPH0337486A (ja) | 1991-02-18 |
| JP2714156B2 true JP2714156B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=15893525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1169821A Expired - Lifetime JP2714156B2 (ja) | 1989-07-03 | 1989-07-03 | 流体圧制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2714156B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100789155B1 (ko) * | 2007-05-30 | 2007-12-28 | 와토스코리아 주식회사 | 수전금구용 수로전환장치 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61153073A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-11 | Hitachi Ltd | ロ−タリバルブ |
| JPS6446584U (ja) * | 1987-09-16 | 1989-03-22 |
-
1989
- 1989-07-03 JP JP1169821A patent/JP2714156B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0337486A (ja) | 1991-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0325200B1 (en) | Rotary valve | |
| US4133511A (en) | Electro-hydraulic regulating valve system | |
| US4646786A (en) | Fluid control valves with angled metering ports | |
| CN111649021B (zh) | 二维力反馈式电液伺服阀 | |
| JP2644879B2 (ja) | 直動形ロータリサーボ弁並びにこれを用いた圧延機 | |
| US4794845A (en) | Direct drive rotary servo valve | |
| JP2714156B2 (ja) | 流体圧制御装置 | |
| EP0102884B1 (en) | Direct drive servo valve | |
| US4530487A (en) | Direct drive servovalve and fuel control system incorporating same | |
| JPH07158614A (ja) | 速度制御機構付ロッドレスシリンダ | |
| JPS6349083B2 (ja) | ||
| CN114321054B (zh) | 一种二维式比例电液活塞 | |
| US3386339A (en) | Hydraulic amplifier | |
| CN212899210U (zh) | 基于环形气隙的双自由度力矩马达 | |
| CN111852810A (zh) | 二维压力伺服变量泵 | |
| JP2572436B2 (ja) | 流体圧サーボ弁 | |
| JP2824236B2 (ja) | ダイレクトドライブ形油圧サーボ弁 | |
| CN111664139B (zh) | 基于环形气隙的双自由度力矩马达 | |
| EP0202011A2 (en) | Torque motors and valve assemblies | |
| JPH0755184Y2 (ja) | 操舵力制御装置 | |
| CN117108576A (zh) | 一种流量可调的三位四通转阀 | |
| EP0000445A1 (en) | Servo valve | |
| JPH0914472A (ja) | スプール型サーボ弁 | |
| JP3410029B2 (ja) | 切換弁 | |
| JPH03219104A (ja) | ロータリバルブ |