JP2702653B2 - プリントヘッド構造 - Google Patents
プリントヘッド構造Info
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-
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- B41J2002/14322—Print head without nozzle
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Recording Measured Values (AREA)
Description
に関し、より詳細には、音響インクプリンターのために
改良されたプリントヘッドに関する。
第4、751、530号、米国特許第4、751、53
4号、および、米国特許第4、751、529号は、音
響インクプリンターのためのプリントヘッドを開示して
おり、そこでは、音響トランスジューサが、基板の下部
表面に付着されるか、あるいは、結合され、凹レンズが
基板の反対側の表面に形成される。波がトランスジュー
サに向かって反射するのを防止するために、1/4波長
のインピーダンス整合層を有するそのレンズは、音響ビ
ームを基板の上部表面の近傍のインク槽の表面の近くの
点に焦点合わせする。これらの構造におけるトランスジ
ューサは、厚さ方向モードの振動に励起するため1対の
電極間に挟まれた圧電素子を備えてもよい。圧電素子に
加えられるRF(無線周波)励起の変調によって、焦点
合わせされた音響ビームがインク槽の上部表面に発生さ
せる放射圧を、需要の関数として予め定められた液滴の
放出のスレショルドレベルの上下に振動させる。
な基板での音の公称のプラーナー音波の近接音場回折に
よる漏話が放出の安定性と正確さに不利に影響する。例
として、半径340 μmを有する1.5mm の厚さのトランス
ジューサを用いた一般的な構造では、近接音場回折によ
る漏話の強度は3.7 %であると計算されている。これ
は、音響インクプリンターの10%の出力変動率のほんの
一部であり、その範囲内に出力が維持されることが所望
されて、著しく漏話を取り除くことができる。
は、例えば、エルロッド(Elrod) 他による、米国特許第
4、719、476号、米国特許第4、719、480
号、エルロッドによる米国特許第4、748、461
号、スミス(Smith) 他による、米国特許第4、782、
350号、クウェート(Quate) による、米国特許第4、
797、693号、米国特許第4、801、953号、
に開示されている。
目的は、トランスジューサの素子間での漏話が除去され
るか又は最小限にされる音響インクプリンターのための
改良されたプリントヘッドを提供することである。
がトランスジューサの素子を支持する基板に導かれ、か
つ、基板の表面からトランスジューサへの波の反射が最
小限にされる音響インクプリンターのためのプリントヘ
ッドを提供することである。
めにトランスジューサが設けられ、インクの本体の表面
近くに音波を焦点合わせするようレンズが取り付けられ
た音響インクプリンターのためのプリントヘッド構造で
あって、第1表面と第2表面を有する基板を有し、トラ
ンスジューサが基板の第1表面に支持される第1表面と
第1表面の反対側の第2表面とを有し、更に、トランス
ジューサの第2表面上の誘電体材料の層を備え、レンズ
がトランスジューサの第2表面の反対側の誘電体層の表
面に形成されることより成るプリントヘッド構造。
ントヘッドは、例えば、シリコンの基板を有してもよ
い。RF入力を受信するために、例えば、チタン−金(T
i-Au)の下部電極層が基板上部に設けられる。1/2波
長あるいは1/4波長の厚さである、例えば、酸化亜鉛
(ZnO) の圧電層が、下部電極に付着される。薄いアルミ
ニウム電極(1/2波長の厚さの圧電層の場合)又は1
/4波長の薄い金メッキの電極(1/4波長の厚さの圧
電層の場合)が圧電層の上部に設けられ、かつ、接地さ
れるのに適するよう使用されて、導電性の液体インクと
容量結合することを防止する。ポリイミドあるいはパリ
レンのフレネルレンズが上部電極の頂部に設けられる。
液体インク層がフレネルレンズより上に保持される。こ
の構造において、圧電素子は、漏話を最小限にするため
にフレネルレンズに非常に近接している。
ために、 1.基板は、結晶方位<111>のシリコンであり、そ
れぞれのトランスジューサより下の基板からエッチング
された円筒状のピットを有してもよい。又は、 2.別の方法として、底部の電極は1/4波長であり、
基板の特性インピーダンスと実質的に不整合である特性
インピーダンスを有してもよい。
なる音響出力の反射をも除去するかあるいは最小限にす
るために、そのような反射が以下のいずれかによって無
効にされてもよい。 1.超音波を基板より下の吸収媒体に結合するために、
基板の底部に1/4波長の反射防止コーティングを設け
る。 2.基板の底部の表面に直接に付加された、基板と効果
的に整合するインピーダンスを有する厚い音響的に吸収
力のある材料(例えば、ある種のエポキシのセメント)
を設ける。
ス基板のような、基板10を備えた音響インクプリンタ
ーのプリントヘッドが図示される。1つ以上の薄いチタ
ン−金の層11が基板10の頂部に設けられて、トラン
スジューサの下部の電極として働く。酸化亜鉛のような
圧電材料から成る分離した層12が層11上に成長し
て、例えば、アルミニウムの薄い層(例えば、1 μm)
あるいは1/4波長の厚さの金から成る分離した上部の
電極13が、圧電トランスジューサの上部表面に設けら
れる。上部電極は、例えば、340 μmの直径を有する。
上部および下部の電極は、従来の変調されたRF出力の
電源25に接続される。
され、その誘電体層は、例えば、ポリイミドあるいはパ
リレンである。この誘電体層は、上部の金の電極の直径
と比較すると薄く、例えば、20〜50μmの厚さであって
もよい。フレネルレンズ15が、それぞれの圧電トラン
スジューサより上の誘電体層の頂部にエッチングされ
る。結果として、レンズはトランスジューサの平面に非
常に近接した平面に位置する。
てもよい。
に極めて近接していることが、トランスジューサとレン
ズとの間の音波の回折の結果として生じるトランスジュ
ーサ間のいかなる漏話も実質的に除去、あるいは、実質
的に軽減する。
のエネルギーはフレネルレンズに向かって上方に導か
れ、図1の破線で示されるように、レンズは、トランス
ジューサより上のインクの本体の上部表面16の領域
に、そのエネルギーを焦点合わせする。なお、図1の1
7はインク層である。
極は接地基準電位のような基準電位に接続され、駆動信
号電圧が下部電極11に印加される。この構造は、イン
ク(導電性であり、かつ接地電位に保持される)との容
量結合がRF出力に対して有害な漏れ経路を生成しない
ことを保証する。
で材料の特性インピーダンスZを用いる。例えば、水の
特性インピーダンスは、およそZ= 1.5×106 kg/m.s.
である。以下の本出願においては、乗数106 及び単位の
記述の両方を省略する。例えば、Z= 1.5という表記法
は、Z= 1.5×106 kg/m.s. を意味することと理解され
る。
用いると、大幅な音響出力が誘電体層に送出されれば、
比較的高い割合のその出力が、誘電体から液体であるイ
ンクに結合される。約1.0dB の結合損失に対して、誘電
体(Z=4 のパリレンを用いたと仮定する)から水(1.
5 のZを有する)への結合定数は約80%である。この結
果は、従来のプリントヘッドと比較すれば大幅な改良に
なる。例えば、従来の一構造においては、出力は、7740
パイレックス(12.5のZを有する)から水に結合され、
結合損失は2.1dB であった。従来の構造のもう1つの例
では、出力は、5.8 の結合損失で、シリコン(20のZを
有する)から水に結合された。したがって、本発明のプ
リントヘッドは、大幅な割合の出力が誘電体層からイン
クに結合されることを保証する。
さらなる特徴によれば、音響出力の大部分が、上方に誘
電体へ、従ってインクへ放射されることを保証するた
め、基板10は結晶方位<111>の単結晶シリコンで
あってもよく、それぞれの下部電極20へ伸長する円筒
状のピット19を形成するために、結晶は、それぞれの
トランスジューサの下でエッチングされる。これは、そ
れぞれのトランスジューサの下側に空気の界面を設け、
それらトランスジューサは、実質的に音響エネルギーが
下方向には伝達されないような低いインピーダンス(Z
=0.000043)を有し、結果として、所望されるように、
ほぼ全ての出力が上方向にインクへ放射される。
状のピットを設ける代わりに、底部電極20は、例え
ば、1/4波長の厚さを有し、かつ、基板(ガラスの場
合、Z=6 〜12)に関して実質的に不整合なインピーダ
ンス(Z=62.6)を有する金であってもよい。1/4波
長の厚さの電極のインピーダンスが、基板のインピーダ
ンスに実質的に不整合な場合、非常に少ない音響出力が
下向きに基板へ放射される。この構造は、それぞれのト
ランスジューサの下のエッチングピットの必要性を除去
し、例えば、Zが約20である<111>シリコンあるい
は<100>シリコン、それぞれ6 〜14の間のZを有す
る、7740パイレックス、溶融石英、一般のガラス、のよ
うな多くの基板の材料を使用するのを満足することがわ
かる。
り、その振動と干渉するため、トランスジューサからの
出力が基板の底部表面から反射されるのを防止すること
が望ましい。そのような反射を無効にするために、図5
に示されるような、1/4波長の反射防止コーティング
30が基板の底部表面に設けられることによって、音を
基板より下の音響的に吸収力のある材料31に効率的に
結合する。このようにして、基板10の下のパリレンか
ら成る1/4波長のコーティングが、層31に効果的な
反射防止コーティングを形成し、その層31は、超音波
を効果的に吸収するための、鉱油のような、粘性流体で
あってもよい。
コーティング30および材料31が、基板(例えば、エ
ポキシ)とほぼ整合するZを有する材料32に置き換え
られたという点で、図5に示される本発明の実施例と異
なる。これは、反射防止層30の必要性を除去し、後部
表面の吸音材にとって、鉱油のような、液体の材料31
を使用する複雑さを除去する。
と寸法の例が、好ましい材料と寸法を構成する一方、本
発明は、そのような例に限定されるものではなく、ま
た、その他の従来の材料と厚さが使用されてもよい。加
えて、レンズおよびトランスジューサは好ましくは円形
状であるが、本発明は、この形状に限定されるものでは
ない。
ューサの素子間での漏話が除去されるか又は最小限にさ
れる音響インクプリンターのための改良されたプリント
ヘッドが提供される。
のためのプリントヘッドの断面図である。
ッドの頂面図である。
る。
る。
断面図である。
ントヘッドの断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 音波を生成するためにトランスジューサ
が設けられ、インクの本体の表面近くに前記音波を焦点
合わせするようレンズが取り付けられた、音響インクプ
リンターのためのプリントヘッド構造であって、 第1表面と第2表面を有する基板を有し、 前記トランスジューサが、前記基板の前記第1表面に支
持されるトランスジューサ第1表面と、前記トランスジ
ューサ第1表面の反対側のトランスジューサ第2表面と
を有し、 更に前記プリントヘッド構造は、前記トランスジューサ
第2表面上に当接する誘電体材料の層を有し、 前詔レンズが、前記トランスジューサ第2表面と前記誘
電体層との当接面の反対側の前記誘電体層の表面をエッ
チングすることにより形成される、プ リントヘッド構造。
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Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07137250A (ja) * | 1993-05-14 | 1995-05-30 | Fujitsu Ltd | 超音波プリンタ |
EP0728584B1 (en) * | 1995-02-21 | 2000-11-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ink-jet printer |
US5812163A (en) * | 1996-02-13 | 1998-09-22 | Hewlett-Packard Company | Ink jet printer firing assembly with flexible film expeller |
US5917521A (en) * | 1996-02-26 | 1999-06-29 | Fuji Xerox Co.,Ltd. | Ink jet recording apparatus and method for jetting an ink droplet from a free surface of an ink material using vibrational energy |
JP3413048B2 (ja) * | 1997-03-13 | 2003-06-03 | 株式会社東芝 | インクジェット記録装置 |
JPH10250110A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-22 | Toshiba Corp | インクジェット記録装置 |
US6116721A (en) * | 1997-09-19 | 2000-09-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ink jet recording device |
US6364454B1 (en) | 1998-09-30 | 2002-04-02 | Xerox Corporation | Acoustic ink printing method and system for improving uniformity by manipulating nonlinear characteristics in the system |
IL127484A (en) | 1998-12-09 | 2001-06-14 | Aprion Digital Ltd | Laser container printing method and method |
US6318852B1 (en) * | 1998-12-30 | 2001-11-20 | Xerox Corporation | Color gamut extension of an ink composition |
US6494565B1 (en) | 1999-11-05 | 2002-12-17 | Xerox Corporation | Methods and apparatuses for operating a variable impedance acoustic ink printhead |
US6416163B1 (en) | 1999-11-22 | 2002-07-09 | Xerox Corporation | Printhead array compensation device designs |
US6447086B1 (en) | 1999-11-24 | 2002-09-10 | Xerox Corporation | Method and apparatus for achieving controlled RF switching ratios to maintain thermal uniformity in the acoustic focal spot of an acoustic ink printhead |
US6808934B2 (en) | 2000-09-25 | 2004-10-26 | Picoliter Inc. | High-throughput biomolecular crystallization and biomolecular crystal screening |
JP4990476B2 (ja) | 2000-09-25 | 2012-08-01 | ピコリター インコーポレイテッド | コンビナトリアルライブラリの調製およびスクリーニングにおける集束された音響エネルギー |
US6548308B2 (en) | 2000-09-25 | 2003-04-15 | Picoliter Inc. | Focused acoustic energy method and device for generating droplets of immiscible fluids |
US6746104B2 (en) * | 2000-09-25 | 2004-06-08 | Picoliter Inc. | Method for generating molecular arrays on porous surfaces |
US6666541B2 (en) * | 2000-09-25 | 2003-12-23 | Picoliter Inc. | Acoustic ejection of fluids from a plurality of reservoirs |
US6642061B2 (en) | 2000-09-25 | 2003-11-04 | Picoliter Inc. | Use of immiscible fluids in droplet ejection through application of focused acoustic energy |
US6596239B2 (en) * | 2000-12-12 | 2003-07-22 | Edc Biosystems, Inc. | Acoustically mediated fluid transfer methods and uses thereof |
US8122880B2 (en) * | 2000-12-18 | 2012-02-28 | Palo Alto Research Center Incorporated | Inhaler that uses focused acoustic waves to deliver a pharmaceutical product |
US6869551B2 (en) * | 2001-03-30 | 2005-03-22 | Picoliter Inc. | Precipitation of solid particles from droplets formed using focused acoustic energy |
US6976639B2 (en) | 2001-10-29 | 2005-12-20 | Edc Biosystems, Inc. | Apparatus and method for droplet steering |
US6925856B1 (en) | 2001-11-07 | 2005-08-09 | Edc Biosystems, Inc. | Non-contact techniques for measuring viscosity and surface tension information of a liquid |
US6955416B2 (en) * | 2002-06-14 | 2005-10-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, its driving method, and ink-jet recording apparatus |
US7275807B2 (en) * | 2002-11-27 | 2007-10-02 | Edc Biosystems, Inc. | Wave guide with isolated coupling interface |
US7429359B2 (en) * | 2002-12-19 | 2008-09-30 | Edc Biosystems, Inc. | Source and target management system for high throughput transfer of liquids |
US7719170B1 (en) | 2007-01-11 | 2010-05-18 | University Of Southern California | Self-focusing acoustic transducer with fresnel lens |
WO2009073862A1 (en) * | 2007-12-07 | 2009-06-11 | Sunprint Inc. | Focused acoustic printing of patterned photovoltaic materials |
US20100184244A1 (en) * | 2009-01-20 | 2010-07-22 | SunPrint, Inc. | Systems and methods for depositing patterned materials for solar panel production |
WO2011030452A1 (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-17 | 株式会社 東芝 | プリンティング装置 |
KR102209145B1 (ko) * | 2014-08-18 | 2021-01-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3904996A (en) * | 1973-12-28 | 1975-09-09 | Texas Instruments Inc | Capacitive weighted acoustic surface wave filter |
US4447754A (en) * | 1982-09-24 | 1984-05-08 | Texas Instruments Incorporated | Broad band surface acoustic wave edge deposited transducer |
US4598261A (en) * | 1985-05-24 | 1986-07-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Microwave saw monochromator |
US4748461A (en) * | 1986-01-21 | 1988-05-31 | Xerox Corporation | Capillary wave controllers for nozzleless droplet ejectors |
US4719476A (en) * | 1986-04-17 | 1988-01-12 | Xerox Corporation | Spatially addressing capillary wave droplet ejectors and the like |
US4719480A (en) * | 1986-04-17 | 1988-01-12 | Xerox Corporation | Spatial stablization of standing capillary surface waves |
US4751529A (en) * | 1986-12-19 | 1988-06-14 | Xerox Corporation | Microlenses for acoustic printing |
US4751530A (en) * | 1986-12-19 | 1988-06-14 | Xerox Corporation | Acoustic lens arrays for ink printing |
JPS63166545A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-07-09 | ゼロックス コーポレーション | スポットサイズ可変の音響プリンタ |
US4751534A (en) * | 1986-12-19 | 1988-06-14 | Xerox Corporation | Planarized printheads for acoustic printing |
US4801953A (en) * | 1987-06-02 | 1989-01-31 | Xerox Corporation | Perforated ink transports for acoustic ink printing |
US4797693A (en) * | 1987-06-02 | 1989-01-10 | Xerox Corporation | Polychromatic acoustic ink printing |
US4782350A (en) * | 1987-10-28 | 1988-11-01 | Xerox Corporation | Amorphous silicon varactors as rf amplitude modulators and their application to acoustic ink printers |
US4908631A (en) * | 1988-07-21 | 1990-03-13 | Eastman Kodak Company | Ultrasonic pixel printer |
JPH0775890B2 (ja) * | 1988-12-21 | 1995-08-16 | ゼロックス コーポレーション | 音響インクプリンタ |
JPH02175157A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-06 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録装置 |
US4959674A (en) * | 1989-10-03 | 1990-09-25 | Xerox Corporation | Acoustic ink printhead having reflection coating for improved ink drop ejection control |
US5041849A (en) * | 1989-12-26 | 1991-08-20 | Xerox Corporation | Multi-discrete-phase Fresnel acoustic lenses and their application to acoustic ink printing |
-
1991
- 1991-12-30 US US07/815,730 patent/US5339101A/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-08-06 CA CA002075443A patent/CA2075443C/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-12-14 EP EP92311381A patent/EP0550192B1/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2075443C (en) | 1998-05-05 |
EP0550192B1 (en) | 1997-05-21 |
EP0550192A3 (en) | 1993-11-10 |
EP0550192A2 (en) | 1993-07-07 |
DE69219872T2 (de) | 1997-12-04 |
JPH05254116A (ja) | 1993-10-05 |
DE69219872D1 (de) | 1997-06-26 |
CA2075443A1 (en) | 1993-07-01 |
US5339101A (en) | 1994-08-16 |
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