JP2698717B2 - 液晶配向膜及びその製造方法並びに液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents

液晶配向膜及びその製造方法並びに液晶表示装置及びその製造方法

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JP2698717B2 JP3231755A JP23175591A JP2698717B2 JP 2698717 B2 JP2698717 B2 JP 2698717B2 JP 3231755 A JP3231755 A JP 3231755A JP 23175591 A JP23175591 A JP 23175591A JP 2698717 B2 JP2698717 B2 JP 2698717B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、特定の単分子膜を用い
た液晶配向膜及びその製造方法並びに液晶表示装置及び
その製造方法に関するものである。
【0002】さらに詳しくは、TV画像やコンピュータ
画像等を表示する液晶を用いた平面表示パネルに用いる
液晶配向膜およびその製造方法およびそれを用いた液晶
表示装置とその製造方法に関するものである。
【0003】
【従来の技術】液晶表示装置には、液晶組成物に電界を
かけて正常に動作させるために、電極表面と液晶組成物
との間に配向膜を設けることが必要である。この配向膜
は、モノクロ液晶素子、カラー液晶素子など一般的な液
晶素子に必要なものである。
【0004】以下カラー液晶表示パネルを例にとって説
明する。従来カラー液晶表示パネルは、マトリックス状
に配置された対向電極を形成した2つの基板の間にポリ
ビニルアルコールやポリイミドをスピナーで塗布(遠心
スピンコーティング)して形成した液晶配向膜を介して
液晶を封入した装置が一般的であった。
【0005】例えば図10に示すように、予め第1のガ
ラス基板31上に画素電極32を持ったTFT(thin-fi
lm-transistor)アレイ33を形成したものと、第2のガ
ラス基板34上に複数個の赤青緑のカラーフィルター3
5が形成され、さらにその上に共通透明電極36が形成
されたもの、それぞれにポリビニルアルコールやポリイ
ミドなどをスピナーを用いて塗布形成し、ラビングを行
なって液晶配向膜37を形成し、スペーサー38を介し
て対向して接着剤39でパネルの周囲を封止して組み立
てた後、ツイストネマチック(TN)液晶40等を注入
しパネル構造を形成した後、パネルの裏表に偏光板4
1、42を設置し、バックライト光43を照射しなが
ら、TFTを動作させ矢印Aの方向にカラー画像を表示
する構造である。
【0006】そのほか強誘電性液晶でも配向膜は必須の
ものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
配向膜の作成は、ポリビニルアルコールやポリイミドな
どの樹脂を有機溶媒に溶解させ回転塗布法などを用いて
塗布形成した後、フェルト布等を用いてラビング処理を
行なう方法が用いられていたため、大面積パネル(例え
ば14インチディスプレイ)では配向膜の均一コーティ
ングが難しく、また回転塗布では塗布厚が数ミクロン程
度にもなり、強誘電液晶のような1000オングストロ
ーム程度の厚みの配向膜を必要とする表示パネルでは、
性能が大幅に低下してしまうという大きな課題があっ
た。より具体的には、前記樹脂成分を薄く均一厚さに塗
布することが困難な上、ラビング処理を均一圧力で行う
ことは困難であり、しかもガラス基板に僅かの凸凹があ
ったり、前記樹脂成分の膜厚にムラがあると、凹部がラ
ビング処理できないという課題があった。
【0008】本発明は、前記従来技術の課題を解決する
ため、ラビング処理を必要とせず、液晶表示パネルにお
いて使用される配向膜を高能率で均一かつ薄く作成でき
る特定の単分子膜を用いた液晶配向膜及びその製造方法
並びに液晶表示装置及びその製造方法を提供ことを目的
とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の第1番目の液晶配向膜は、親水性を有する
かまたは親水性に処理された基板表面に、化学結合を介
して形成された直鎖状の炭化水素基を含む配向膜であっ
て、前記炭化水素基がエネルギービームによって特定の
方向に配向した状態で架橋重合されかつ基板表面と共有
結合して固定されていることを特徴とする。 次に本発明
の第2番目の液晶配向膜は、直鎖状の炭素鎖を含む単分
子膜で構成される液晶配向膜であって、前記直鎖状の炭
素鎖の一端が−Si−O−結合を介して電極上に直接ま
たは間接的に化学吸着しているとともに、前記直鎖状の
炭素鎖が特定の方向に配向させられた状態で架橋されて
なることを特徴とする。
【0010】また本発明の第1番目の液晶配向膜の製造
方法は、親水性を有するかまたは親水性に処理された基
板表面に、炭化水素基と重合性基を含む物質を用いて薄
膜を化学結合を介して形成し、前記薄膜にエネルギービ
ームを照射して前記重合性基を架橋重合させ、前記炭化
水素基を配向させた状態で固定することを特徴とする。
次に本発明の第2番目の液晶配向膜の製造方法は、電極
の形成された所定の基板表面に直接または間接的に非水
系の有機溶媒中の重合性基を含む分子内ダイポールを有
するシラン系界面活性剤、またはこれと混合された複数
種の重合性基を含むシラン系界面活性剤を同時に化学吸
着させ、前記基板表面に直接前記活性剤のケイ素基と前
記基板表面とを直接または間接的に化学結合させて単分
子膜を形成する工程、および磁界または電界中で前記吸
着形成されたシラン界面活性剤を配向させた状態でエネ
ルギービームを照射して前記重合性基を反応させ架橋し
て前記吸着されたシラン系界面活性剤を配向固定する工
程を含むことを特徴とする。
【0011】また本発明の液晶表示装置は、直鎖状の炭
素鎖の一端が−Si−O−結合を介して電極上に直接ま
たは間接的に化学吸着しているとともに、前記直鎖状の
炭素鎖が特定の方向に配向させられた状態で架橋されて
なる直鎖状の炭素鎖を含む単分子膜で構成された液晶配
向膜が、2つの対向する電極の少なくとも一方の電極上
に形成されており、液晶が前記2つの対向する電極間に
存在されていることを特徴とする。
【0012】次に本発明の第1番目の液晶表示装置の製
造方法は、あらかじめマトリックス状に載置された第1
の電極群を有する第1の基板、および前記第1の電極群
と対向するように載置した第2の電極を有する第2の基
板の少なくとも一方の電極上に、炭化水素基と重合性基
を含む物質を用いて化学結合を介して薄膜を形成し、前
記薄膜にエネルギービームを照射して前記重合性基を架
橋重合させ、前記炭化水素基を配向させた状態で固定し
て液晶配向膜を形成し、前記第1と第2の基板を前記電
極群および電極が対向するように位置合わせして接着固
定し、前記第1と第2の電極の間に所定の液晶組成物を
注入することを特徴とする。さらに本発明の第2番目の
液晶表示装置の製造方法は、あらかじめマトリックス状
に載置された第1の電極群を有する第1の基板上に非水
系の有機溶媒中で直鎖状の炭素鎖と重合性基を持つシラ
ン系界面活性剤が電極上に直接または任意の薄膜を介し
て間接的に化学吸着形成する工程と、磁界または電界中
で前記吸着形成されたシラン界面活性剤を配向させた状
態でエネルギービームを照射して前記重合性基を反応さ
せ架橋して前記吸着されたシラン系界面活性剤を配向固
定する工程と、前記第1の電極群と対向するように載置
した第2の電極群を有する第2の基板を、それぞれ対向
するように位置合わせして接着固定する工程と、前記第
1と第2の基板に所定の液晶組成物を注入する工程を含
むことを特徴とする。
【0013】
【作用】前記本発明の液晶配向膜の構成によれば、直鎖
状の炭素鎖を含む単分子膜で構成される液晶配向膜であ
って、前記直鎖状の炭素鎖の一端が−Si−O−結合
(共有結合)を介して電極上に直接または間接的に化学
吸着しているとともに、前記直鎖状の炭素鎖が特定の方
向に配向させられた状態で架橋されてなるので、ラビン
グをおこなわなくとも液晶表示パネルにおいて使用され
る高品位な配向膜を作成できる。
【0014】また前記本発明の液晶配向膜の製造方法の
構成によれば、化学吸着した単分子膜を電界または磁界
中で配向させた状態で重合させることができ、前記液晶
配向膜を高能率でかつ薄く均一に作成することができ
る。
【0015】さらに前記本発明の液晶表示装置の構成に
よれば、前記液晶配向膜を用いた高性能表示パネルを低
コストで製造できる。また前記本発明の液晶表示装置の
製造方法の構成によれば、前記高性能表示パネルを合理
的に効率良く製造できる。
【0016】
【実施例】以下、本発明について実施例を用いてさらに
詳細に説明する。図1〜図9は本発明の実施例を示すも
のである。例えば、図1に示すように、親水性の基板1
(例えば、ガラス、石英もしくはITO電極等)を、よ
く乾燥した後、直接表面に化学吸着法により、全面に重
合性基を含む分子内ダイポールを有するシラン界面活性
剤を吸着反応させ、さらに電界(1×107 V/cm程
度)または磁界(1T(テスラ)程度)中で前記界面剤
分子を配向させた状態(たとえば0.5度傾けた状態)
で、前記重合性基をエネルギービーム(電子線、あるい
はアルファ線、ガンマ線、紫外線等)を照射して重合固
定させて、シラン界面活性剤よりなる配向方向の揃った
重合単分子吸着膜2’を形成する。なお図1中、R1
2 は任意の置換基を示すがHでもよい。
【0017】シラン界面活性剤の例としては、重合性基
を含む直鎖状の長い炭素鎖3(ハイドロカーボンチェー
ン)を持つR1 −(CH2 m −CH=CH−(C
2 n −SiCl3 (m,nは整数で、好ましくはm
は1〜3、nは1〜22の範囲であり、とくにm+nが
10〜25の範囲が最も扱いやすい。ここで、R1
H、アルキル基、フッ化アルキル基、ビニル基、アシル
基、シリルアルキル基、トリメチルシリル基、アリール
(aryl)基、シクロアルキル基、またはこれらの誘導体か
ら選ばれる置換基を示す。しかしながら他のR1 は任意
の置換基でもよい。)が好ましい。
【0018】なお、−HC=CH−は重合性基の代表で
あるビニル基10であるが、そのほかにアセチレン基、
ブタヂエン(−HC=CH−HC=CH−)基、ジアセ
チレン基等が重合性基として利用できる。
【0019】とくに、前記(化2)で示すジアセチレン
基では紫外線でトポケミカル的に重合反応を生じるの
で、本発明の目的には更に都合がよい。なお、直鎖状の
長い炭素鎖と短い炭素鎖のシラン系界面活性剤の混合比
は1:0〜1:10が適当である。たとえば短い炭素鎖
化合物4(m+n=1〜5)としてCH3 −CH2 −C
H=CH−CH2 −CH2 −SiCl3 、長い炭素鎖化
合物3としてCH3 −(CH2 8 −CH=CH−CH
2 −CH2 −SiCl3 を用い、短い炭素鎖化合物:長
い炭素鎖化合物=1:2程度に混合して用いることがで
きる。この組成物を2×10-3〜5×10-2Mol/l 程度
の濃度で溶かした80wt%n−ヘキサン、12wt%
四塩化炭素、8wt%クロロホルム溶液を調整し、前記
基板1を浸漬する。このとき、前記基板1は表面が親水
性であり、表面には−OH基が含まれている。
【0020】これを式で示すと、−SiCl3 基と−O
Hが脱塩酸反応して次式(化3)のようになる。
【0021】
【化3】
【0022】前記のように、シラン界面活性剤による単
分子吸着膜2が基板表面に1層(10〜30オングスト
ロームの厚み)形成される。このとき、前記2種類の界
面活性分子内のビニル基10は、単分子膜内で同じ高さ
になるように分子設計をしておく。即ち、基板表面に発
水性の長さの異なる直鎖状のハイドロカーボンチェーン
が特定の比率で並んだ状態の単分子膜2が形成できる
(図1(a))。次に、1テスラ程度の磁界中に所定の
角度で挿入すると全ての吸着された分子は磁界の方向に
配向されるので、その状態でエネルギービームたとえば
X線を5Mrad程度照射する。すると、ビニル基は重
合されて各々の吸着分子は架橋結合10’を介して特定
の配向方向に並んだ状態で固定される(図1(b))。
2’は重合した単分子吸着膜である。
【0023】従って、この様な配向膜の形成された基板
に液晶が接すると図2に示すように液晶5の分子は単分
子吸着膜の長い炭素鎖3aの間隙に入り込み全体として
液晶の配向が制御される。なおここで、3a及び4aは
図1における長い炭素鎖3と短い炭素鎖4をそれぞれ模
式的に示したものである。
【0024】なお、化学吸着用の材料としては、−OH
基に対して結合性を有する基(例えば、次式(化4)の
基等)を含んでいれば、実施例で示したシラン系界面活
性剤に限定されるものではない。
【0025】
【化4】
【0026】例えば、直鎖状のハイドロカーボン鎖の一
部にF(フッ素)を含むシラン界面活性剤、例えばCF
3 (CH2 m −CH=CH−(CH2 n −SiCl
3 (但し、式中のm,nは整数。好ましくはmは1〜
3、nは1〜22の範囲であり、m+nは10〜25程
度が最も扱いやすい)、又はCF3 (CF2 p −(C
2 m −CH=CH−(CH2 n −SiCl3 (但
し、式中のp,m,nは整数。好ましくはmは1〜3、
nは1〜22、pは3〜10の範囲であり、p+m+n
は10〜25が扱いやすい)等を用いても、単分子吸着
膜を製造できる。
【0027】また、直鎖状の長い炭素鎖の一部が任意の
置換基(R1 )で他の一端がトリクロロシラン基のシラ
ン系界面活性剤と短い炭素鎖の一部が任意の置換基で他
の一端がトリクロロシラン基のシラン系界面活性剤を所
定の比率で混合し、吸着形成を行えば配向特性を変化さ
せることも可能である。
【0028】また、置換基の一部に封入する液晶と類似
の液晶分子(例えば、ネマティック液晶部6)を結合し
た重合性基を含むシラン系界面活性剤および短い炭素鎖
と重合性基を持つシラン系界面活性剤を所定の比率で混
合し、前記方法と同様に吸着形成し重合を行えば、図3
に示すような、封入する特定の液晶に対して特に配向特
性の優れた配向膜が得られる。なお、図3中、R3 は、
通常ハイドロカーボンチェーンの置換基を示すがHでも
よい。
【0029】次に、1テスラ程度の磁界中に所定の角度
で挿入すると全ての吸着された分子は磁界の方向に配向
されるので、その状態でエネルギービームたとえばX線
を5Mrad程度照射する。すると、ビニル基は重合さ
れて各々の吸着分子は架橋結合10’を介して特定の配
向方向に並んだ状態で固定される(図4)。2’は重合
した単分子吸着膜である。
【0030】従って、この様なネマティック液晶部6を
持つ架橋固定された配向膜の形成された基板にネマティ
ック液晶7が接すると図5に示すようにネマティック液
晶7の分子は単分子吸着膜のネマティック液晶部6aの
間隙に入り込み、全体として液晶の配向性が極めてよく
制御される。なお、ここで4a及び6aは図5における
ネマティック液晶部6と短い炭素鎖4をそれぞれ模式的
に示したものである。
【0031】さらにまた、封入する液晶類似分子が強誘
電液晶である場合は、強誘電液晶部8を結合したシラン
系界面活性剤と短い炭素鎖を持つシラン系界面活性剤が
所定の比率で吸着形成させれば、図6に示すような単分
子吸着膜の配向膜を作成できる。
【0032】なお、強誘電液晶としては、アゾメチン系
またはアゾキシ系またはエステル系を用いることが出来
る。また、この場合にも、この様な強誘電液晶部8を持
つ配向膜の形成された基板に強誘電液晶が接すると図8
に示すように強誘電液晶9の分子は単分子吸着膜の強誘
電液晶部8aの間隙に入り込み、全体として液晶の配向
性が極めてよく制御される。なお、ここで、4a及び8
aは図8における強誘電液晶部8と短い炭素鎖4をそれ
ぞれ模式的に示したものである。
【0033】なお、以上の実施例では最も代表的なもの
として、所定の比率で混合された重合性基を含む複数種
のシラン系界面活性剤を同時に化学吸着させた液晶配向
膜の例、および液晶分子を結合したシラン系界面活性剤
と短い炭素鎖を持つシラン系界面活性剤が所定の比率で
吸着形成され、さらに電界や磁界中で配向された状態で
重合性基を重合しそれぞれの吸着分子を架橋固定した単
分子膜よりなる液晶配向膜の例を示したが、直鎖状の炭
素鎖と重合性基を含むシラン系界面活性剤のみで液晶配
向膜を吸着作成し垂直に配向させた状態で重合固定した
場合には、前記液晶をほぼ垂直に配向させることができ
る液晶配向膜を作成できた。
【0034】さらに、この様な配向膜を用いて、液晶表
示デバイスを製造しようとする場合には、図9に示すよ
うに、あらかじめマトリックス状に載置された第1の電
極群11とこの電極を駆動するトランジスター群12を
有する第1の基板13上、または第1の電極群と対向す
るように載置したカラーフィルター群14と第2の電極
15を有する第2の基板16上のどちらか一方の電極上
に直接または絶絶縁膜を介して間接に非水系の有機溶媒
中(例えばn−パラフィンであるn−セタンを用いれ
ば、長い分子の配向を効率よく制御することが出来る)
でシラン系界面活性剤を化学吸着させ、前記基板表面に
前記活性剤のシリコンと前記基板表面の自然酸化膜とを
化学結合させて液晶配向膜用の単分子を形成する工程
と、配向させた状態で重合させる工程と、前記第1と第
2の基板13、16を対抗するように位置合わせしてス
ペーサー18と接着剤19で固定する工程と、前記第1
と第2の基板に所定の液晶20を注入する。その後、偏
光板21、22を組み合わせて完成する。この様なデバ
イスでは、バックライト23を全面に照射しながらビデ
オ信号を用いて各々のトランジスタを駆動すれば矢印A
の方向に映像を表示できる。
【0035】なお図1(b) 、図4および図7において、
実験にはR1 およびR2 がH、R3 はCH3 である化合
物を用いた。そして化学吸着法は前記図1の説明で記載
した方法を用いた。また、ビニル基又はアセチレン基の
場合は、X線5Mradを照射させ、ジアセチレン基の
場合は紫外線50mJ/cm2 を照射した。その結果、
図1(b) 、図4および図7に示すような液晶配向膜を得
ることができた。
【0036】以上説明したように本実施例は、液晶配向
膜の製造に、電極表面に直接シラン界面活性剤を単分子
状に1層化学吸着させ、配向させた状態で重合させる方
法を用いているため、従来のようなラビングは必要とせ
ず、高能率で均一かつ薄く作成できる効果がある。
【0037】さらに、吸着形成された配向膜は、特定の
液晶例えばネマティック液晶や強誘電液晶を結合させる
ことが可能なため、極めて配向制御性がよい。また、液
晶と電極の間に挟まれる絶縁性の膜としては極めて薄い
ので、液晶表示装置の駆動エネルギーを少なく出来る効
果もある。
【0038】
【発明の効果】以上の通り本発明の液晶配向膜によれ
ば、直鎖状の炭素鎖を含む単分子膜で構成される液晶配
向膜であって、前記直鎖状の炭素鎖の一端が−Si−O
−結合(共有結合)を介して電極上に直接または間接的
に化学吸着しているとともに、前記直鎖状の炭素鎖が特
定の方向に配向させられた状態で架橋されてなるので、
ラビングをおこなわなくとも液晶表示パネルにおいて使
用される高品位な配向膜を作成できるという効果を達成
できる。
【0039】また本発明の液晶配向膜の製造方法によれ
ば、化学吸着した単分子膜を電界または磁界中で配向さ
せた状態で重合させることができ、前記液晶配向膜を高
能率でかつ薄く均一に作成することができる。
【0040】さらに本発明の液晶表示装置によれば、前
記液晶配向膜を用いた高性能表示パネルを低コストで製
造できる。また本発明の液晶表示装置の製造方法によれ
ば、前記高性能表示パネルを合理的に効率良く製造でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)本発明の一実施例を説明する架橋前の液
晶配向膜の分子レベルまで拡大した断面概念図である。 (b)本発明の一実施例を説明する架橋後の液晶配向膜
の分子レベルまで拡大した断面概念図である。
【図2】本発明の一実施例の液晶配向膜に液晶を封入し
た場合の液晶分子の配向の状態を模式的に表した概念図
である。
【図3】本発明の他の実施例を説明する架橋前の液晶配
向膜の分子レベルまで拡大した断面概念図である。
【図4】本発明の他の実施例を説明する架橋後の液晶配
向膜の分子レベルまで拡大した断面概念図である。
【図5】本発明の他の実施例の液晶配向膜に液晶を封入
した場合の液晶分子の配向の状態を模式的に表した概念
図である。
【図6】本発明の別の実施例を説明する架橋前の液晶配
向膜の分子レベルまで拡大した断面概念図である。
【図7】本発明の別の実施例を説明する架橋後の液晶配
向膜の分子レベルまで拡大した断面概念図である。
【図8】本発明の別の実施例の液晶配向膜に液晶を封入
した場合の液晶分子の配向の状態を模式的に表した概念
図である。
【図9】本発明の配向膜を用いた液晶表示デバイスの一
実施例の断面概念図である。
【図10】従来の配向膜を用いた液晶表示デバイスの断
面概念図である。
【符号の説明】
1 基板 2 単分子吸着膜 2’ 重合単分子吸着膜 3 長い炭素鎖 4 短い炭素鎖 5 液晶 6 ネマチック液晶部 7 ネマチック液晶 8 強誘電液晶部 9 強誘電液晶 10 ビニル基 10’ 架橋結合 17 液晶配向膜

Claims (23)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 親水性を有するかまたは親水性に処理さ
    れた基板表面に、化学結合を介して形成された直鎖状の
    炭化水素基を含む配向膜であって、前記炭化水素基がエ
    ネルギービームによって特定の方向に配向した状態で架
    橋重合されかつ基板表面と共有結合して固定されている
    ことを特徴とする液晶配向膜。
  2. 【請求項2】 直鎖状の炭素鎖を含む単分子膜で構成さ
    れる液晶配向膜であって、前記直鎖状の炭素鎖の一端が
    −Si−O−結合を介して電極上に直接または間接的に
    化学吸着しているとともに、前記直鎖状の炭素基がエネ
    ルギービームによって特定の方向に配向させられた状態
    で架橋されてなることを特徴とする液晶配向膜。
  3. 【請求項3】 直鎖状炭素鎖の一部に液晶分子または液
    晶類似分子が結合されてなる請求項1または2に記載の
    液晶配向膜。
  4. 【請求項4】 直鎖状の長い炭素鎖と短い炭素鎖とが混
    在してなる請求項1または2に記載の液晶配向膜。
  5. 【請求項5】 直鎖状の長い炭素鎖の炭素数が10〜2
    5であり、短い炭素鎖の炭素数が1〜5である請求項4
    に記載の液晶配向膜。
  6. 【請求項6】 直鎖状の長い炭素鎖及び/または短い炭
    素鎖の少なくとも一端が、トリクロロシラン基の残基で
    ある請求項4または5に記載の液晶配向膜。
  7. 【請求項7】 直鎖状炭素鎖の一部に液晶化合物または
    液晶類似分子が結合されなる請求項4に記載の液晶配向
    膜。
  8. 【請求項8】 液晶分子または液晶類似分子が、ネマテ
    ィック液晶、またはネマティック液晶とともに混合して
    用いる液晶類似分子である請求項3または7に記載の液
    晶配向膜。
  9. 【請求項9】 液晶分子または液晶類似分子が、強誘電
    液晶、または強誘電液晶とともに混合して用いる液晶類
    似分子である請求項3または7に記載の液晶配向膜。
  10. 【請求項10】 強誘電液晶としてアゾメチン系または
    アゾキシ系またはエステル系を用いた請求項9に記載の
    液晶配向膜。
  11. 【請求項11】 親水性を有するかまたは親水性に処理
    された基板表面に、炭 化水素基と重合性基を含む物質を
    用いて薄膜を化学結合を介して形成し、前記薄膜にエネ
    ルギービームを照射して前記重合性基を架橋重合させ、
    前記炭化水素基を配向させた状態で固定することを特徴
    とする液晶配向膜の製造方法。
  12. 【請求項12】 電極の形成された所定の基板表面に直
    接または間接的に非水系の有機溶媒中の重合性基を含む
    分子内ダイポールを有するシラン系界面活性剤、または
    これと混合された複数種の重合性基を含むシラン系界面
    活性剤を同時に化学吸着させ、前記基板表面に直接前記
    活性剤のケイ素基と前記基板表面とを直接または間接的
    に化学結合させて単分子膜を形成する工程、および磁界
    または電界中で前記吸着形成されたシラン界面活性剤を
    配向させた状態でエネルギービームを照射して前記重合
    性基を反応させ架橋して前記吸着されたシラン系界面活
    性剤を配向固定する工程を含むことを特徴とする液晶配
    向膜の製造方法。
  13. 【請求項13】 複数種のシラン系界面活性剤として、
    重合性基を含む直鎖状の長い炭素鎖を持つシラン系界面
    活性剤と重合性基を含む短い炭素鎖を持つシラン系界面
    活性剤を用いる請求項11または12に記載の液晶配向
    膜の製造方法。
  14. 【請求項14】 直鎖状の長い炭素鎖と短い炭素鎖のシ
    ラン系界面活性剤の混合比が1:0〜1:10である請
    求項13に記載の液晶配向膜の製造方法。
  15. 【請求項15】 直鎖状の長い炭素鎖の一端がトリクロ
    ロシラン基のシラン系界面活性剤であり、短い炭素鎖の
    一端がトリクロロシラン基のシラン系界面活性剤を用い
    る請求項13に記載の液晶配向膜の製造方法。
  16. 【請求項16】 重合性基を含む直鎖状の長い炭素鎖を
    有するシラン系界面活性剤として、次式(化1)で表さ
    れる化学物質を用いる請求項13に記載の液晶配向膜の
    製造方法。 【化1】 R1 −(CH2 m −X−(CH2 n −SiCl3 ただし、m,nは整数で、m+nは10〜25、Xは二
    重結合基または三重結合基を含む重合性基、R1 はH、
    アルキル基、フッ化アルキル基、ビニル基、アシル基、
    シリルアルキル基、トリメチルシリル基、アリール(ary
    l)基、シクロアルキル基、またはこれらの誘導体から選
    ばれる置換基を示す。
  17. 【請求項17】 前記(化1)で示されるシラン系界面
    活性剤のXが次式(化2)で表される骨格を含む化学物
    質を用いる請求項16に記載の液晶配向膜の製造方法。 【化2】 −C≡C−C≡C−
  18. 【請求項18】 エネルギービームとして電子線、ガン
    マ線、アルファ線または紫外線を用いる請求項11また
    は12に記載の液晶配向膜製造方法。
  19. 【請求項19】 非水系溶媒としてn−パラフィンを含
    む溶媒を用いる請求項11または12に記載の液晶配向
    膜の製造方法。
  20. 【請求項20】 n−パラフィンがn−セタンである請
    求項19記載の液晶配向膜の製造方法。
  21. 【請求項21】 直鎖状の炭素鎖の一端が−Si−O−
    結合を介して電極上に直接または間接的に化学吸着して
    いるとともに、前記直鎖状の炭素鎖が特定の方向に配向
    させられた状態で架橋されてなる直鎖状の炭素鎖を含む
    単分子膜で構成された液晶配向膜が、2つの対向する電
    極の少なくとも一方の電極上に形成されており、液晶が
    前記2つの対向する電極間に存在されていることを特徴
    とする液晶表示装置。
  22. 【請求項22】 あらかじめマトリックス状に載置され
    た第1の電極を有する第1の基板、および前記第1の
    電極と対向するように載置した第2の電極を有する第
    2の基板の少なくとも一方の電極上に、炭化水素基と重
    合性基を含む物質を用いて化学結合を介して薄膜を形成
    し、前記薄膜にエネルギービームを照射して前記重合性
    基を架橋重合させ、前記炭化水素基を配向させた状態で
    固定して液晶配向膜を形成し、前記1と第2の基板を
    前記電極および電極が対向するように位置合わせして
    接着固定し、前記1と第2の電極の間に所定の液晶組
    成物を注入することを特徴とする液晶表示装置の製造方
    法。
  23. 【請求項23】 あらかじめマトリックス状に載置され
    た第1の電極群を有する第1の基板上に非水系の有機溶
    媒中で直鎖状の炭素鎖と重合性基を持つシラン系界面活
    性剤が電極上に直接または任意の薄膜を介して間接的に
    化学吸着形成する工程と、磁界または電界中で前記吸着
    形成されたシラン界面活性剤を配向させた状態でエネル
    ギービームを照射して前記重合性基を反応させ架橋して
    前記吸着されたシラン系界面活性剤を配向固定する工程
    と、前記第1の電極群と対向するように載置した第2の
    電極群を有する第2の基板を、それぞれ対向するように
    位置合わせして接着固定する工程と、前記第1と第2の
    基板に所定の液晶組成物を注入する工程を含むことを特
    徴とする液晶表示装置の製造方法。
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