JP2696888B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents

Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component

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JP2696888B2 JP63052858A JP5285888A JP2696888B2 JP 2696888 B2 JP2696888 B2 JP 2696888B2 JP 63052858 A JP63052858 A JP 63052858A JP 5285888 A JP5285888 A JP 5285888A JP 2696888 B2 JP2696888 B2 JP 2696888B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ビデオテープレコーダ、液晶テレビ、OA機
器等の電気製品に広く用いられている積層セラミックコ
ンデンサ等の積層セラミック電子部品の製造方法に関す
るものであり、他にも、広く多層セラミック基板、積層
バリスタ、積層圧電素子等の積層セラミック電子部品を
製造する際においても、利用可能なものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor widely used for electric products such as a video tape recorder, a liquid crystal television, and OA equipment. In addition, the present invention can be widely used when manufacturing multilayer ceramic electronic components such as multilayer ceramic substrates, multilayer varistors, and multilayer piezoelectric elements.

従来の技術 近年、電子部品の分野においても、回路部品の高密度
化にともない、積層セラミックコンデンサ等のますます
の微小化及び高性能化が望まれている。ここでは、積層
セラミックコンデンサを例に採り説明する。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of electronic components, with the increase in the density of circuit components, further miniaturization and higher performance of multilayer ceramic capacitors and the like have been desired. Here, a multilayer ceramic capacitor will be described as an example.

第7図は、積層セラミックコンデンサの一部を断面に
て示す図である。第7図において、1はセラミック誘電
体層、2は内部電極、3は外部電極である。前記内部電
極2は、2ケの外部電極3に交互に接続されている。
FIG. 7 is a diagram showing a cross section of a part of the multilayer ceramic capacitor. In FIG. 7, 1 is a ceramic dielectric layer, 2 is an internal electrode, and 3 is an external electrode. The internal electrodes 2 are alternately connected to two external electrodes 3.

最近、電子部品のチップ化は著しく、前述した通りこ
のような積層セラミックコンデンサにおいても微小化が
望まれている。この積層セラミックコンデンサにおい
て、単なる面積の小型化はそのまま電気的容量の減少に
つながってしまう。このため積層セラミックコンデンサ
の小型化と同時に高容量が行われなくてはならない。
In recent years, the chipping of electronic components has been remarkable, and miniaturization of such a multilayer ceramic capacitor is desired as described above. In this multilayer ceramic capacitor, a mere reduction in area directly leads to a decrease in electric capacity. For this reason, high capacitance must be achieved at the same time as miniaturization of the multilayer ceramic capacitor.

そして、積層セラミックコンデンサの高容量化の方法
として、誘電体の高誘電率化の他に、誘電体層の薄層
化、誘電体層及び内部電極の多層化が考えられている。
As a method for increasing the capacitance of the multilayer ceramic capacitor, in addition to increasing the dielectric constant of the dielectric, it has been considered to reduce the thickness of the dielectric layer and increase the number of layers of the dielectric layer and the internal electrodes.

まず、誘電体層の薄層化について説明する。この誘電
体の薄層化は、非常に難しい。まず、積層セラミックコ
ンデンサの製造方法について簡単に説明する。ここで、
初めにセラミック生シートの製造方法について説明す
る。この積層セラミックコンデンサを製造する際に使わ
れるセラミック生シートは、誘電体となる金属酸化物粉
末をポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール、ポ
リアクリロイド等の樹脂をキシレン等の溶剤中に溶解し
て作ったビヒクル中に均一に分散させ、これをスラリー
とした後、連続的に高速でキャスチング法(溶液流延)
を用いて、十数ミクロンから数十ミクロンの厚さのセラ
ミック生シートとして成膜する。ここで用いられている
キャスチング法とは、金属またはポリエチレンテレフタ
レートフィルム(以下、PETフィルムと呼ぶ)等の有機
フィルムを支持体とし、この支持体の上にスラリーをド
クターブレード等を用いて、均一な膜厚に塗布し、スラ
リー中の溶剤を温風乾燥もしくは自然乾燥により蒸発さ
せ、セラミック生シートとするものである。
First, the thickness reduction of the dielectric layer will be described. It is very difficult to make this dielectric thinner. First, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor will be briefly described. here,
First, a method of manufacturing a ceramic green sheet will be described. The ceramic raw sheet used in manufacturing this multilayer ceramic capacitor is a vehicle made by dissolving a resin such as polyvinyl butyral, polyvinyl alcohol, and polyacryloid in a solvent such as xylene, etc. After uniformly dispersing it into a slurry and turning it into a slurry, it is continuously cast at high speed (solution casting).
To form a film as a ceramic green sheet having a thickness of several tens of microns to several tens of microns. The casting method used herein refers to a method in which a metal or an organic film such as a polyethylene terephthalate film (hereinafter, referred to as a PET film) is used as a support, and the slurry is uniformly spread on the support using a doctor blade or the like. It is applied to a film thickness and the solvent in the slurry is evaporated by hot air drying or natural drying to obtain a ceramic green sheet.

そして、積層セラミックコンデンサを製造する場合
は、次にこのセラミック生シートを所定の大きさに切断
した後、電極をセラミック生シート上に印刷し、この印
刷したセラミック生シートを含む複数枚のセラミック生
シートを積層圧着、切断、焼成の工程を経て作製される
こととなる。
Then, in the case of manufacturing a multilayer ceramic capacitor, the ceramic green sheet is then cut into a predetermined size, electrodes are printed on the ceramic green sheet, and a plurality of ceramic green sheets including the printed ceramic green sheet are printed. The sheet is produced through the steps of lamination, pressure bonding, cutting, and firing.

ここで、誘電体層を薄層化するためには、セラミック
生シートの薄層化が必要になるが、セラミック生シート
を薄層化するほど、セラミック生シートにピンホール等
が発生しやすくなる。このためにセラミック生シートの
薄層化により、急激に積層セラミックコンデンサの歩留
りを落としてしまう。また、電極インキ中に含まれる溶
剤のために、セラミック生シート上に印刷した電極イン
キがセラミック生シートを侵食し、膨潤を起こしてしま
い、ショートを起こしやすくなる。これを、以下に第8
図を用いて説明する。
Here, in order to make the dielectric layer thinner, it is necessary to make the ceramic raw sheet thinner. However, as the ceramic raw sheet is made thinner, pinholes and the like are more likely to be generated in the ceramic raw sheet. . For this reason, the yield of the multilayer ceramic capacitor is rapidly reduced due to the thinning of the ceramic green sheet. In addition, due to the solvent contained in the electrode ink, the electrode ink printed on the raw ceramic sheet erodes the raw ceramic sheet, swells, and tends to cause a short circuit. This is described below in the eighth.
This will be described with reference to the drawings.

第8図は、セラミック生シート上に電極インキをスク
リーン印刷方法により印刷している様子を示す図であ
る。第8図において、4はスクリーン枠、5はスクリー
ン、6は電極インキ、7はスキージ、8は台、9はベー
スフィルム、10はセラミック生シート、11は前記セラミ
ック生シート10上に印刷された電極インキである。第8
図において、スクリーン枠4に張られたスクリーン5を
通して、電極インキ6がスキージ7によって、台8の上
に固定されたベースフィルム9表面のセラミック生シー
ト10上に印刷される。この時、印刷された電極インキ11
がセラミック生シート10に染め込み、ショートを起こし
やすくなる。
FIG. 8 is a view showing a state in which electrode ink is printed on a ceramic raw sheet by a screen printing method. In FIG. 8, 4 is a screen frame, 5 is a screen, 6 is an electrode ink, 7 is a squeegee, 8 is a table, 9 is a base film, 10 is a ceramic raw sheet, and 11 is printed on the ceramic raw sheet 10. Electrode ink. 8th
In the figure, an electrode ink 6 is printed by a squeegee 7 on a ceramic raw sheet 10 on a surface of a base film 9 fixed on a base 8 through a screen 5 stretched on a screen frame 4. At this time, the printed electrode ink 11
Are dyed in the ceramic raw sheet 10 and short-circuits are likely to occur.

これに対してセラミック生シート中の樹脂の種類、量
等を変えて、侵食、膨潤の少ない組合せが検討されてい
るが、セラミック生シートの厚みが例えば30ミクロン以
下のように薄くなると、侵食、膨潤の起こらない組合せ
はほとんどない。また、侵食、膨潤の起こりにくいセラ
ミック生シートの組合せも、電極インキを印刷する時に
インキの乾燥が早すぎて、印刷時での作業性が悪かった
り、電極インキが印刷後の乾燥工程中にクラックを生じ
たり、あるいは圧着した積層体を焼結した時にクラック
が発生する等の現象を生じ、実用になる組合せを得るこ
とは難しい状態にある。
On the other hand, by changing the type, amount, etc. of the resin in the ceramic green sheet, erosion, a combination with less swelling is being studied, but when the thickness of the ceramic green sheet is reduced to, for example, 30 microns or less, erosion, Few combinations do not swell. In addition, the combination of ceramic raw sheets that are less likely to erode and swell also causes the ink to dry too quickly when printing the electrode ink, resulting in poor workability during printing and cracking during the drying process after printing the electrode ink. Phenomena, or cracks occur when the pressed laminate is sintered, and it is difficult to obtain a practical combination.

このために実用的には、誘電体層及び内部電極の多層
化が行われている。しかし、従来の積層方法では、多層
化した時に内部電極における部分的な積層数の違いによ
る部分的な厚みムラあるいは段差が発生してしまう。こ
の厚みムラによる凹凸により、積層セラミックコンデン
サとしての均一な厚みの積層ができず、デラミネーショ
ン(層間剥離)やクラック(割れ)等の問題を発生して
しまう問題がある。
For this reason, practically, the dielectric layers and the internal electrodes are multilayered. However, in the conventional laminating method, when the layers are multi-layered, a partial thickness unevenness or a step due to a partial difference in the number of laminated layers in the internal electrode occurs. Due to the unevenness due to the unevenness in thickness, it is not possible to stack a uniform thickness as a multilayer ceramic capacitor, which causes problems such as delamination (delamination) and cracks (cracks).

第9図は、多積層化した時の積層セラミックコンデン
サの断面図である。ここで、積層セラミックコンデンサ
の中心部(内部電極2の積層数が多い)の厚みAに比
べ、周辺部(内部電極2の積層数が少ない)の厚みBが
小さいことが解る。
FIG. 9 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor when multi-layered. Here, it can be seen that the thickness B of the peripheral portion (the number of laminated internal electrodes 2 is small) is smaller than the thickness A of the central portion (the number of laminated internal electrodes 2 is large) of the multilayer ceramic capacitor.

第10図は、積層数に対する中心部と周辺部の厚みの差
を説明する図である。ここで、用いたセラミック生シー
トの厚みは20ミクロン、内部電極の厚みは4ミクロンで
ある。第10図より、積層数が10層を超えると中心部と周
辺部の厚みの差が20ミクロン、つまり用いたセラミック
生シートの厚みを超えてしまうことが解る。
FIG. 10 is a diagram for explaining a difference in thickness between a central portion and a peripheral portion with respect to the number of layers. Here, the thickness of the green ceramic sheet used was 20 microns, and the thickness of the internal electrodes was 4 microns. FIG. 10 shows that when the number of layers exceeds 10 layers, the difference in thickness between the central portion and the peripheral portion exceeds 20 microns, that is, exceeds the thickness of the ceramic green sheet used.

従来より、この問題に対して、いくつかのアプローチ
が採られていた。まず、特開昭52−135050号公報、特開
昭52−133553号公報では、段差部つまり周辺部に新しく
内部電極の分だけ取り除いたセラミック生シートを介挿
し、これを積層後、焼成する方法が提案されている。し
かし、この方法によるとセラミック生シートを精度よ
く、例えば3.5×1.0ミリメートルの大きさに数百個以上
取り除く必要がある。特に、セラミック生シート単体で
は、その薄さ、やわらかさ等により、機械的に取り扱う
ことはほとんどできない。たとえ、取り扱えたとして
も、精度良くパンチング等で切抜き加工することは難し
い。
Traditionally, several approaches have been taken to address this problem. First, JP-A-52-135050 and JP-A-52-133553 disclose a method in which a ceramic raw sheet newly removed by an amount corresponding to an internal electrode is interposed in a step portion or a peripheral portion, and after laminating, it is fired. Has been proposed. However, according to this method, it is necessary to remove several hundred or more ceramic raw sheets with high precision, for example, in a size of 3.5 × 1.0 mm. In particular, a single ceramic raw sheet cannot be mechanically handled due to its thinness and softness. Even if it can be handled, it is difficult to cut out by punching or the like with high accuracy.

同様に、特開昭61−102719号公報のように、セラミッ
ク生シート及び電極シートの両方をパンチングで打ち抜
き、順次積層するという積層セラミックコンデンサの製
造方法もあるが、これも量産性に問題がある。例えば、
一度に多数パンチングすることは、印刷するより、コス
ト的にも精度的にも不利である。さらに、電極シートの
厚さを5ミクロン以下にした場合、電極シートの物理的
な強度がパンチングやハンドリングに耐えられないこと
にもなる。
Similarly, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-102719, there is also a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor in which both a ceramic raw sheet and an electrode sheet are punched out and sequentially laminated, but this also has a problem in mass productivity. . For example,
Punching a large number at a time is more disadvantageous in terms of cost and accuracy than printing. Further, when the thickness of the electrode sheet is set to 5 μm or less, the physical strength of the electrode sheet may not be able to withstand punching and handling.

また、特開昭52−135051号公報では、セラミック生シ
ート上にまず内部電極インキを塗布し、さらに内部電極
インキを塗布した残りの部分に誘電体インキを塗布し、
これを内部電極インキの取り出し位置を異ならせ、積み
重み、加圧、焼成する方法が提案されている。しかし、
この場合には、新しく印刷した誘電体インキに含まれる
溶剤により、下の積層体が侵される問題が残る。このた
めに、セラミック生シートが薄いほど、ショートや耐電
圧特性が劣化させやすい。
In JP-A-52-135051, first, an internal electrode ink is applied on a ceramic raw sheet, and a dielectric ink is applied to the remaining portion where the internal electrode ink is applied,
There has been proposed a method in which the position of taking out the internal electrode ink is changed, and the weight of the ink is stacked, pressed, and fired. But,
In this case, there remains a problem that the underlying laminate is attacked by the solvent contained in the newly printed dielectric ink. For this reason, as the ceramic raw sheet is thinner, short-circuit and withstand voltage characteristics are more likely to deteriorate.

また、電極インキに溶剤を用いない方法として、特開
昭53−51458号公報等の電極形成方法がある。また、特
開昭57−102166号公報のように活性化ペーストを用いた
無電解メッキ法による方法もあるが、電極形成を無電解
メッキ技術を用いて行うために、セラミック生シートを
メッキ液に浸すことから、新たな問題が発生する。
Further, as a method not using a solvent in the electrode ink, there is an electrode forming method as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-51458. There is also a method by an electroless plating method using an activating paste as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-102166.However, in order to perform electrode formation using an electroless plating technique, a ceramic raw sheet is converted into a plating solution. A new problem arises from immersion.

他にも、特開昭53−42353号公報のようにセラミック
生シートを部分的に打ち抜くか、凹状に加工することも
考えられているが、実用的ではない。
In addition, as in Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-42353, it has been considered that a ceramic raw sheet is partially punched or processed into a concave shape, but this is not practical.

また、特開昭56−94719号公報も同様なものであり、
積層体上に生じた段差の箇所にセラミック生シートを形
成しようとするもので、量産性が良いとは考えにくい。
JP-A-56-94719 is the same,
It is intended to form a ceramic green sheet at the location of the step formed on the laminate, and it is unlikely that mass productivity is good.

その他にも電極インキ中の溶剤のセラミック生シート
への悪影響を防止するために、いくつかの方法が提案さ
れている。
Several other methods have been proposed to prevent the solvent in the electrode ink from adversely affecting the raw ceramic sheet.

例えば、特開昭56−106244号公報のように、ベースフ
ィルム上に電極のみをまず印刷形成しておき、次にこの
上にキャスチング法でセラミック生シートを形成する方
法がある。また、特公昭40−19975号公報のように、電
極ペイントを塗布、乾燥後、連続的に誘電体スラリーを
塗布し、これを支持体から剥離することにより、電極付
きセラミック未焼成薄膜を得る方法がある。しかし、こ
れらの方法により作った電極埋め込みセラミック生シー
トは、膜厚が5〜20ミクロン程度まで薄くなると、機械
的強度が極端に減少するために、もはやそれ自体で取り
扱いできなくなる。このために、20ミクロン以下の薄層
化は行えなかった。
For example, as disclosed in JP-A-56-106244, there is a method in which only electrodes are first formed on a base film by printing, and then a ceramic green sheet is formed thereon by a casting method. Also, as disclosed in Japanese Patent Publication No. 40-19975, a method of obtaining a ceramic unsintered thin film with electrodes by applying an electrode paint, drying and then continuously applying a dielectric slurry and peeling the slurry from the support. There is. However, when the film thickness of the ceramic electrode-embedded ceramic raw sheet made by these methods is reduced to about 5 to 20 microns, the mechanical strength is extremely reduced, so that it can no longer be handled by itself. For this reason, it was not possible to reduce the thickness to less than 20 microns.

発明が解決しようとする課題 したがって、前記のような積層セラミックコンデンサ
の構成では、セラミック生シート上に電極を印刷する積
層セラミックコンデンサの製造方法においては、電極イ
ンキ中に含まれる溶剤によりセラミック生シートが侵
食、膨潤を起こしてしまい、セラミック生シートが薄く
なるほどショートしやすくなる。一方、電極をセラミッ
ク生シートに埋め込み、この電極埋め込みセラミック生
シートを用いる積層セラミックコンデンサの製造方法で
は、前記電極埋め込みセラミックシートを支持体上より
剥離して用いることにより、薄層化に限度があった。ま
た、特に誘電体層及び内部電極の多層化を行う場合にお
いては、積層セラミックコンデンサの中心部と周辺部と
での、内部電極により発生する段差を取り除くことはで
きないという問題点を有していた。
Therefore, in the structure of the multilayer ceramic capacitor as described above, in the method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor in which electrodes are printed on a ceramic green sheet, the ceramic green sheet is formed by a solvent contained in the electrode ink. Erosion and swelling occur, and the thinner the ceramic raw sheet, the more likely it is to cause a short circuit. On the other hand, in a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor using electrodes embedded in a ceramic raw sheet and using the electrode-embedded ceramic raw sheet, there is a limit to thinning by using the electrode embedded ceramic sheet peeled off from a support. Was. In addition, in the case where the dielectric layers and the internal electrodes are multi-layered, there is a problem that a step caused by the internal electrodes cannot be removed between the central portion and the peripheral portion of the multilayer ceramic capacitor. .

本発明は、前記問題点に鑑み、電極が重合もしくは硬
化されていることにより、セラミック生シートを侵すこ
とがないために、ショートを起こしにくく、また誘電体
スラリー中に含まれる溶剤によっても電極が侵されにく
く、電極をセラミック生シート中に埋め込むことによ
り、誘電体層及び内部電極の多層化された積層セラミッ
クコンデンサを製造する際に用いても、積層セラミック
コンデンサの中心部と周辺部とでの内部電極により発生
する段差を低減し、20ミクロン程度以下の薄いセラミッ
ク生シートにおいても機械的強度を保ちながら取り扱い
でき、転写することができる積層セラミック電子部品の
製造方法を提供するものである。
The present invention has been made in view of the above-described problems, and in that the electrodes are polymerized or hardened, so that the electrodes are not eroded by the ceramic raw sheet. By being embedded in the ceramic green sheet, the electrode is hardly corroded, so that even when it is used for manufacturing a multilayer ceramic capacitor having a multilayered dielectric layer and internal electrodes, the multilayer ceramic capacitor can be formed between the central portion and the peripheral portion. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component which can reduce a step generated by an internal electrode and can handle and transfer a thin ceramic green sheet of about 20 microns or less while maintaining mechanical strength.

課題を解決するための手段 前記問題点を解決するために本発明の積層セラミック
電子部品の製造方法は、重合もしくは硬化された電極が
形成されてなる支持体上に、乾燥後に熱可塑性樹脂が10
重量%以上40重量%以下になるように配合した誘電体ス
ラリーを塗布した後、前記誘電体スラリーを乾燥させ、
前記支持体上に電極埋め込みセラミック生シートを作
り、次に前記電極埋め込みセラミック生シートを前記支
持体より剥離することなく、他のセラミック生シートも
しくは他の電極の上に熱圧着させた後、前記支持体のみ
を剥離し、前記電極埋め込みセラミック生シートを前記
他のセラミック生シートもしくは他の電極上に転写する
という構成を備えたものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the method for producing a multilayer ceramic electronic component of the present invention comprises, on a support on which a polymerized or cured electrode is formed, a thermoplastic resin which is dried after drying.
After applying a dielectric slurry blended to be not less than 40% by weight and not more than 40% by weight, the dielectric slurry is dried,
After making an electrode-embedded ceramic raw sheet on the support, without peeling the electrode-embedded ceramic raw sheet from the support, after thermocompression bonding on another ceramic raw sheet or another electrode, Only the support is peeled off, and the electrode-embedded ceramic raw sheet is transferred onto the other ceramic raw sheet or another electrode.

作用 本発明は前記した構成によって、電極が重合もしくは
硬化されていることにより、電極インキ中に含まれる溶
剤によってセラミック生シートが侵食、膨潤を起こし、
ショートするといったことが低減され、また誘電体スラ
リー中に含まれる溶剤によって電極が侵されにくく、多
層化された積層セラミックコンデンサを製造する際に用
いても、電極をセラミック生シートに埋め込むことによ
り、電極により発生する段差を低減することができるこ
とになる。また、電極の埋め込まれたセラミック生シー
トを、支持体より剥離することなく、他のセラミック生
シートもしくは他の電極の上に熱圧着させた後、支持体
のみを剥離し、前記電極埋め込みセラミック生シートを
転写することになる。
Action The present invention has the above-described configuration, in which the electrodes are polymerized or cured, so that the ceramic raw sheet erodes and swells due to the solvent contained in the electrode ink.
Shorting is reduced, and the electrode is hardly attacked by the solvent contained in the dielectric slurry.Even when used when manufacturing a multilayer ceramic capacitor having a multilayer structure, by embedding the electrode in a ceramic raw sheet, The step generated by the electrodes can be reduced. Further, after the ceramic raw sheet having the electrodes embedded therein is thermocompression-bonded onto another ceramic raw sheet or another electrode without peeling from the support, only the support is peeled off, and the electrode embedded ceramic green sheet is peeled off. The sheet will be transferred.

実施例 以下、本発明の一実施例の積層セラミックコンデンサ
の製造方法及び積層方法について、図面を参照しながら
説明する。
EXAMPLES Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor and a method for laminating the same according to one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図及び第2図は、本発明の第1の実施例における
電極埋め込みセラミック生シートを積層する様子を説明
するための図である。第1図,第2図において、20は
台、21,21aはベースフィルム、22はセラミック生積層
体、23,23aは電極、24はセラミック生シート、25は電極
埋め込みセラミック生シートであり、電極23aとセラミ
ック生シート24より構成されている。26はヒータ、27は
熱盤、28は転写された電極、29は転写された電極埋め込
みセラミック生シート、30は転写された電極埋め込みセ
ラミック生シートであり、転写された電極28と転写され
たセラミック生シート29より構成されている。また、矢
印は熱盤27の動く方向を示す。
FIG. 1 and FIG. 2 are views for explaining the state of laminating the electrode-embedded raw ceramic sheets in the first embodiment of the present invention. In FIGS. 1 and 2, reference numeral 20 denotes a base, reference numerals 21 and 21a denote base films, reference numeral 22 denotes a ceramic green laminate, reference numerals 23 and 23a denote electrodes, reference numeral 24 denotes a ceramic raw sheet, and reference numeral 25 denotes a ceramic raw sheet with embedded electrodes. 23a and a raw ceramic sheet 24. 26 is a heater, 27 is a hot plate, 28 is a transferred electrode, 29 is a transferred ceramic raw sheet with embedded electrodes, 30 is a transferred raw ceramic sheet with embedded electrodes, and the transferred electrode 28 and the transferred ceramic It is composed of a raw sheet 29. Arrows indicate the direction in which the hot platen 27 moves.

まず、第1図を用いて説明する。まず、ベースフィル
ム21aの電極埋め込みセラミック生シート25が形成され
ていない側に、ヒータ26により加熱された熱盤27を置
く。一方、ベースフィルム21aの電極埋め込みセラミッ
ク生シート25の形成された側に、台20上に固定したベー
スフィルム21及びセラミック生積層体22を置く。この
時、セラミック生積層体22の表面に転写、印刷等の適宜
の方法により電極23を形成しておく。ここで、セラミッ
ク生積層体22の表面には必ずしも電極23が形成されてい
る必要はない。次に、この第1図に示す状態から、熱盤
27によりセラミック生積層体22の表面に、ベースフィル
ム21aの表面に形成された電極埋め込みセラミック生シ
ート25を加熱圧着させる。
First, a description will be given with reference to FIG. First, a hot platen 27 heated by a heater 26 is placed on the side of the base film 21a on which the electrode-embedded ceramic raw sheet 25 is not formed. On the other hand, on the side of the base film 21a on which the electrode-embedded ceramic raw sheet 25 is formed, the base film 21 and the ceramic raw laminate 22 fixed on the table 20 are placed. At this time, the electrodes 23 are formed on the surface of the ceramic green laminate 22 by an appropriate method such as transfer or printing. Here, the electrode 23 does not necessarily need to be formed on the surface of the ceramic green laminate 22. Next, from the state shown in FIG.
The electrode-embedded ceramic raw sheet 25 formed on the surface of the base film 21a is heated and pressed on the surface of the ceramic raw laminate 22 by 27.

次に、第2図を用いて説明する。この第2図は、第1
図に示す電極埋め込みセラミック生シート25を転写した
後の図である。すなわち、第2図のように、熱盤27によ
ってベースフィルム21a上の電極埋め込みセラミック生
シート25は、セラミック生積層体22の表面に転写され、
これにより転写された電極28及び転写されたセラミック
生シート29より構成された転写された電極埋め込みセラ
ミック生シート30を形成する。
Next, a description will be given with reference to FIG. This FIG.
FIG. 4 is a view after the electrode embedded ceramic raw sheet 25 shown in the figure has been transferred. That is, as shown in FIG. 2, the electrode embedded ceramic raw sheet 25 on the base film 21a is transferred to the surface of the ceramic raw laminate 22 by the hot platen 27,
As a result, a transferred electrode-embedded ceramic raw sheet 30 composed of the transferred electrode 28 and the transferred ceramic raw sheet 29 is formed.

また、第3図及び第4図は、前記第1の実施例の変形
例を示し、電極23の形成されたセラミック生積層体22の
表面に、ベースフィルム21bの上に形成されたセラミッ
ク生シート24aを加熱圧着させ、転写されたセラミック
生シート29aを形成した後に、電極埋め込みセラミック
生シート25を加熱圧着する様子を示す。ここで第1図,
第2図の工程や、第3図,第4図の工程を繰り返すこと
で多層にわたり積層することも可能である。
FIGS. 3 and 4 show a modification of the first embodiment, in which a ceramic green sheet formed on a base film 21b is provided on the surface of a ceramic green laminate 22 on which electrodes 23 are formed. 24A shows a state in which 24a is heated and pressed to form a transferred ceramic raw sheet 29a, and then the electrode embedded ceramic raw sheet 25 is heated and pressed. Here, Figure 1,
By repeating the steps of FIG. 2 and the steps of FIGS. 3 and 4, it is also possible to laminate over multiple layers.

次に、さらに詳しく説明する。まず、電極を形成する
ための電極インキとしては、パラジウム粉末を用いた電
極インキを作製した。電極用インキのビヒクルとして、
一般的の凸版インキや平板インキの酸化重合型樹脂とし
て用いられているアマニ油ワニスを用いた。ここで、試
作したインキのビヒクルとしては、この中より3号アマ
ニ油ワニス(測定温度25℃、ずり速度100セクインバー
スの測定条件での二重円筒型粘度計での粘度が36ポイ
ズ)を選んだ。この3号アマニ油ワニスを59重量%、分
散剤を1重量%量り、ここに粒径0.3ミクロンのパラジ
ウム粉末を40重量%加え、100重量%とした後、3本ロ
ールミルを使用して均一に分散させ、インキ化した。こ
のようにしてできあがったインキは、測定温度25℃、ず
り速度100セクインバースの測定条件での二重円筒型粘
度計での粘度が50ポイズであった。
Next, a more detailed description will be given. First, as an electrode ink for forming an electrode, an electrode ink using palladium powder was prepared. As a vehicle for electrode ink,
A linseed oil varnish used as an oxidation polymerization type resin for general letterpress ink and flat plate ink was used. Here, as the vehicle for the prototype ink, No. 3 linseed oil varnish (measured at a temperature of 25 ° C. and a shear rate of 100 sec inverse with a viscosity of 36 poise using a double-cylindrical viscometer under the measurement conditions) was selected. It is. 59% by weight of this No. 3 linseed oil varnish and 1% by weight of a dispersant were added, and 40% by weight of palladium powder having a particle diameter of 0.3 micron was added to 100% by weight. Dispersed and made into ink. The ink thus completed had a viscosity of 50 poise with a double cylindrical viscometer under the measurement conditions of a measurement temperature of 25 ° C. and a shear rate of 100 section inverse.

次に、電極23a(及びセラミック生シート24)用のベ
ースフィルム21aとして、フィルム幅200ミリメートル、
フィルム膜厚75ミクロン、中心コア径3インチ、長さ約
100メートルのロール状のポリエチレンテレフタレート
フィルム(以下、PETフィルムと呼ぶ)を用いて、この
上に乳剤厚10ミクロン、400メッシュのステンレススク
リーンを用いたスクリーン印刷法により、前記の電極イ
ンキを一定間隔を空けながら連続的に印刷した。ここ
で、電極の形状は3.5×1.0ミリメートルのものを用い
た。そして、印刷後の電極インキの重合による乾燥は、
印刷機の次に約125℃に加熱した遠赤外のベルト炉を接
続し、電極インキ中の重合反応を進めながら行い、これ
を電極23aとした。
Next, as a base film 21a for the electrode 23a (and the ceramic raw sheet 24), a film width of 200 mm,
Film thickness 75 microns, center core diameter 3 inches, length about
Using a 100-meter roll-shaped polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as a PET film), the electrode ink was applied at regular intervals by a screen printing method using a 400-mesh stainless steel screen with an emulsion thickness of 10 microns. Printing was performed continuously with a gap. Here, the shape of the electrode was 3.5 × 1.0 mm. And drying by polymerization of the electrode ink after printing,
A far-infrared belt furnace heated to about 125 ° C. was connected next to the printing machine, and the polymerization reaction in the electrode ink was carried out while proceeding, and this was used as an electrode 23a.

次に、誘電体スラリーの作り方について説明する。ま
ず、ポリビニルブチラール樹脂(積水化学株式会社製,B
L−2ブチラール樹脂)6.0重量部を、フタル酸ジブチル
0.6重量部、エチルアルコール25.0重量部、トルエン36.
0重量部よりなる樹脂溶液中に、粒径1ミクロンのチタ
ン酸バリウム粉末31.0重量部と共に加え、よく撹拌し
た。次に、これをポリエチレン製の瓶に入れ、ジルコニ
アビーズを加え、適当な分散状態になるまで混合分散し
た。次に、これを仮ろ過した後、10ミクロンのメンブレ
ンフィルタを用いて加圧ろ過して、誘電体スラリーとし
た。
Next, how to make a dielectric slurry will be described. First, polyvinyl butyral resin (Sekisui Chemical Co., Ltd., B
L-2 butyral resin) 6.0 parts by weight, dibutyl phthalate
0.6 parts by weight, ethyl alcohol 25.0 parts by weight, toluene 36.
A barium titanate powder having a particle size of 1 micron and 31.0 parts by weight were added to a resin solution consisting of 0 parts by weight, and the mixture was thoroughly stirred. Next, this was put into a polyethylene bottle, zirconia beads were added, and mixed and dispersed until an appropriate dispersion state was obtained. Next, this was temporarily filtered, and then subjected to pressure filtration using a 10-micron membrane filter to obtain a dielectric slurry.

次に、この誘電体スラリーをアブリケータを用いて、
電極23aの形成されたベースフィルム21a上に連続的に塗
布した。次に、これを乾燥させ電極埋め込みセラミック
生シート25とし、マイクロメータで膜厚を測定したとこ
ろ、セラミック生シート25の膜厚は18ミクロンであっ
た。
Next, this dielectric slurry is used with an abricator,
The coating was continuously applied on the base film 21a on which the electrode 23a was formed. Next, this was dried to obtain an electrode-embedded ceramic raw sheet 25, and the film thickness was measured with a micrometer. As a result, the film thickness of the ceramic raw sheet 25 was 18 microns.

次に、この電極埋め込みセラミック生シート25を用い
た積層セラミックコンデンサの製造方法について説明す
る。まず、厚み200ミクロンの電極の形成されていない
セラミック生積層体22を、ベースフィルム21ごと第3図
の台20上に固定した。この上に第3図及び第4図のよう
に、必要な積層数だけ電極埋め込みセラミック生シート
25を転写した。ここで、転写は温度180℃で、圧力15キ
ログラム毎平方センチメートルの条件下で、ベースフィ
ルム21aの側から熱盤27を用いて行い、電極埋め込みセ
ラミック生シート25を転写した後、ベースフィルム21a
を剥して行った。これは、第3図のようにセラミック生
シート24aを転写し、次に第4図のようにこの上に電極
(23,23a)を一定のピッチだけずらせた状態で、次の電
極埋め込みセラミック生シートを、熱盤27を用いてベー
スフィルム21b側から加熱することにより転写した。
Next, a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the electrode-embedded ceramic raw sheet 25 will be described. First, a ceramic green laminate 22 having a thickness of 200 μm and having no electrodes formed thereon was fixed together with the base film 21 on the table 20 shown in FIG. On this, as shown in FIG. 3 and FIG.
25 were transferred. Here, the transfer is performed using a hot platen 27 from the side of the base film 21a at a temperature of 180 ° C. and a pressure of 15 kilograms per square centimeter, and after transferring the electrode-embedded ceramic raw sheet 25, the base film 21a
Was peeled off. This is done by transferring the ceramic raw sheet 24a as shown in FIG. 3 and then displacing the electrodes (23, 23a) thereon by a fixed pitch as shown in FIG. The sheet was transferred by heating from the base film 21b side using a hot platen 27.

以下、これを繰り返し電極が第7図のように交互にず
れるようにし、電極を51層になるようにした。そして、
最後に焼成時のソリ対策や機械的強度を上げるために、
厚み200ミクロンの電極が形成されていないセラミック
生シートを転写した。このようにして得た積層体を2.4
×1.6ミリメートルのチップ状に切断した後、1300℃で
1時間焼成した。
Hereinafter, this is repeated so that the electrodes are alternately shifted as shown in FIG. 7, so that the electrodes have 51 layers. And
Finally, to prevent warpage during firing and increase mechanical strength,
A ceramic green sheet having no electrode formed thereon was transferred to a thickness of 200 microns. The laminate obtained in this way is referred to as 2.4
After cutting into a chip of × 1.6 mm, it was baked at 1300 ° C. for 1 hour.

比較のために、従来法として前述と同じ組成、厚みか
らなるセラミック生シート上に同じ電極を直接第8図の
ようにスクリーン印刷法により内部電極として形成し、
その上にセラミック生シートを、膜厚が同じになるよう
に転写し、以下これを繰り返した。なお、積層時の圧
力、切断、焼成等の各条件はすべて前述と同じにした。
For comparison, as a conventional method, the same electrode was directly formed on a ceramic green sheet having the same composition and thickness as described above as an internal electrode by a screen printing method as shown in FIG.
A ceramic green sheet was transferred thereon so as to have the same thickness, and this was repeated thereafter. The conditions such as pressure, cutting, and firing during lamination were all the same as described above.

ここで、試料数は、n=100とした。次に、外部電極
を通常の方法を用いて形成し、ショート発生率を調べ
た。その結果を下記の第1表に示す。
Here, the number of samples was n = 100. Next, external electrodes were formed using a usual method, and the occurrence ratio of short circuits was examined. The results are shown in Table 1 below.

以上のように、本発明による積層セラミックコンデン
サの製造方法を用いれば、ショート発生率、デラミネー
ション発生率ともに、従来法に比較して大きく改善され
ていることが解る。ここで、本発明におけるショート発
生の原因を調べると、その多くは、セラミック生シート
のピンホールによるものと考えられた。また同時に、本
発明では電極をセラミック生シート中に埋め込んだため
に、積層セラミックコンデンサの中心部と周辺部とでの
厚みの差が大幅に改善されており、これがデラミネーシ
ョンの発生率を低下させていると推測された。
As described above, it can be seen that the use of the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention significantly improves both the occurrence rate of short circuit and the occurrence rate of delamination as compared with the conventional method. Here, when investigating the causes of the occurrence of short-circuits in the present invention, it was considered that most of them were caused by pinholes in the ceramic green sheet. At the same time, in the present invention, since the electrodes are embedded in the ceramic green sheet, the difference in thickness between the central portion and the peripheral portion of the multilayer ceramic capacitor has been greatly improved, and this reduces the occurrence of delamination. Was speculated.

なおここで、本発明に用いた電極埋め込みセラミック
生シートのセラミック生シート部は、それ自体に含むポ
リビニルブチラール樹脂の性質により熱により転写性を
有する。また、この熱による転写性は、セラミック生シ
ート中に含まれているポリビニルブチラール樹脂(以
下、PVB樹脂と呼ぶ)が少ないほど、転写性が悪くな
り、逆に含まれているPVB樹脂の量が多いほど、転写性
が良くなる。ここで用いたセラミック生シート中に含ま
れるPVB樹脂は、セラミック粉末100グラムに対し、20グ
ラム程度含まれているものが転写性が良かった。しか
し、ここで転写に必要なPVB樹脂量は、スラリー原料の
セラミック粉末の粒径によっても、PVB樹脂の重合度、
種類等によっても、あるいは転写時の温度によっても、
転写に必要な樹脂量は変化すると考えられる。そして、
樹脂量が不足すると、転写温度を上げる必要がある。
Here, the ceramic raw sheet portion of the electrode-embedded ceramic raw sheet used in the present invention has a transfer property due to heat due to the property of polyvinyl butyral resin contained therein. In addition, the transferability due to the heat, the less the polyvinyl butyral resin (hereinafter referred to as PVB resin) contained in the raw ceramic sheet, the worse the transferability, and conversely, the amount of PVB resin contained The larger the number, the better the transferability. As for the PVB resin contained in the raw ceramic sheet used here, the transferability was good when the PVB resin contained about 20 g per 100 g of the ceramic powder. However, the amount of PVB resin required for the transfer here depends on the degree of polymerization of the PVB resin,
Depending on the type, etc., or the temperature during transfer,
It is believed that the amount of resin required for transfer varies. And
If the amount of resin is insufficient, it is necessary to increase the transfer temperature.

次に、実験に用いた粒径のチタン酸バリウム粉末につ
いて、セラミック生シート中に含まれる樹脂量と、この
セラミック生シートの転写性について実験した結果を下
記の第2表に示す。ここで、セラミック生シートは前述
のようにチタン酸バリウム粉末、可塑剤としてのフタル
酸ジブチル、及びPVB樹脂よりできており、ここに含ま
れるPVB樹脂の重量パーセントを変化させた場合の転写
性を調べた。ここで、セラミック生シート中に加えたフ
タル酸ジブチルの量は、PVB樹脂の10重量%と固定し
た。また、セラミック生シートの転写性については、第
1図のように表面に電極が形成されたセラミック生積層
体の上に、電極埋め込みセラミック生シートを転写する
ことで実験した。また、転写はベースフィルム側から、
転写圧力15キログラム毎平方センチメートルの圧力で、
温度180℃に加熱した熱盤を押し当てることで行った。
また、PVB樹脂量は、セラミック生シート中の重量%で
表した。
Next, with respect to the barium titanate powder having the particle size used in the experiment, the amount of resin contained in the green ceramic sheet and the results of experiments on the transferability of the green ceramic sheet are shown in Table 2 below. Here, the ceramic green sheet is made of barium titanate powder, dibutyl phthalate as a plasticizer, and PVB resin as described above, and the transferability when the weight percentage of the PVB resin contained here is changed. Examined. Here, the amount of dibutyl phthalate added to the green ceramic sheet was fixed at 10% by weight of the PVB resin. The transferability of the ceramic green sheet was tested by transferring the ceramic raw sheet with embedded electrodes onto a ceramic green laminate having electrodes formed on the surface as shown in FIG. In addition, transfer is from the base film side,
With a transfer pressure of 15 kilograms per square centimeter,
This was performed by pressing a hot plate heated to a temperature of 180 ° C.
Further, the amount of the PVB resin was represented by% by weight in the raw ceramic sheet.

次に、前記第2表のセラミック生シートを用い、前記
第1表の場合の実施例と同じようにして、積層セラミッ
クコンデンサを製造した。この時のセラミック生シート
中に含まれるPVB樹脂量とデラミネーションの発生率と
の関係を下記の第3表に示す。
Next, a multilayer ceramic capacitor was manufactured in the same manner as in the example of Table 1 using the ceramic raw sheet of Table 2. Table 3 below shows the relationship between the amount of PVB resin contained in the green ceramic sheet and the rate of delamination.

この第3表より、PVB樹脂量は10〜40重量%程度のも
のがデラミネーションを起こしにくいことが解る。以上
より、PVB樹脂量はセラミック生シートの10〜40重量
%、特に15重量%前後のものが転写性も良く、デラミネ
ーションの発生も少ないことが解る。
From Table 3, it can be seen that those having a PVB resin content of about 10 to 40% by weight hardly cause delamination. From the above, it can be seen that a PVB resin content of 10 to 40% by weight, especially about 15% by weight of the raw ceramic sheet has good transferability and less occurrence of delamination.

ここで、PVB樹脂のような転写性を有する樹脂として
は、他にもアクリル樹脂、ビニル樹脂、セルロース誘導
体樹脂等の熱可塑性樹脂がある。また、熱可塑性樹脂以
外に、誘電体スラリー中に含まれる溶剤によって電極を
侵されにくくする樹脂、すなわち硬化型樹脂、重合型樹
脂を用いることができ、その硬化条件、重合条件を適当
にし、例えばゴム状にすることで、表面に粘着性を持た
せることによって転写でき、セラミック生シート用の樹
脂として用いることができる。
Here, as a resin having a transfer property such as a PVB resin, there are other thermoplastic resins such as an acrylic resin, a vinyl resin, and a cellulose derivative resin. Further, in addition to the thermoplastic resin, a resin that makes the electrode hardly attacked by the solvent contained in the dielectric slurry, that is, a curable resin, a polymerizable resin can be used. By making it rubber-like, it can be transferred by making the surface sticky, and can be used as a resin for a ceramic raw sheet.

さらに、第3図及び第4図のような場合に、セラミッ
ク生シート24aに、チタン酸バリウム100重量部に対し
て、樹脂が5重量部程度しか含まれていない転写性のな
いセラミック生シートを用いても、交互に本発明の転写
性の優れた電極埋め込みシートを用いることによって積
層できる。
Further, in the case as shown in FIG. 3 and FIG. 4, a ceramic raw sheet 24a containing only about 5 parts by weight of resin with respect to 100 parts by weight of barium titanate has no transferability. Even if it is used, it can be laminated by alternately using the electrode-embedded sheet having excellent transferability of the present invention.

次に、第5図は本発明の第2の実施例における熱ロー
ラを用いて電極埋め込みセラミック生シートを転写する
方法を説明するための図である。第5図において、31は
熱ローラであり、ヒータ26aにより一定温度に設定され
ている。そして、電極埋め込みセラミック生シート25が
セラミック生積層体22と熱ローラ31の間を通る時、電極
埋め込みセラミック生シート25は、セラミック生積層体
22表面に転写され、転写された電極埋め込みセラミック
生シート30となる。この方法によると、電極埋め込みセ
ラミック生シートの転写を連続的に行うことができる。
Next, FIG. 5 is a view for explaining a method of transferring an electrode-embedded raw ceramic sheet using a heat roller in the second embodiment of the present invention. In FIG. 5, reference numeral 31 denotes a heat roller, which is set at a constant temperature by a heater 26a. When the electrode embedded ceramic raw sheet 25 passes between the ceramic raw laminate 22 and the heat roller 31, the electrode embedded ceramic raw sheet 25
22 is transferred to the surface and becomes the transferred raw ceramic sheet 30 with embedded electrodes. According to this method, the transfer of the electrode-embedded ceramic raw sheet can be continuously performed.

次に、第6図は、電極埋め込みセラミック生シートの
製造方法の一例を説明するための図である。第3図にお
いて、32はアプリケータ、33は誘電体スラリーであり、
アプリケータ32の中にセットされている。また、矢印は
ベースフィルム21aの動く方向を示す。第6図におい
て、予め電極23aが形成されたベースフィルム21aが、誘
電体スラリー33のセットされたアプリケータ32によっ
て、表面に誘電体スラリー33が塗布され、セラミック生
シート25を形成する。ここで、アプリケータ32は、5〜
20ミクロン程度の塗膜を形成できるものが良い。また、
ベースフィルム21aを固定しておいて、アプリケータ32
を動きしても良い。
Next, FIG. 6 is a view for explaining an example of a method for producing a ceramic raw sheet with embedded electrodes. In FIG. 3, 32 is an applicator, 33 is a dielectric slurry,
It is set in the applicator 32. Arrows indicate the direction in which the base film 21a moves. In FIG. 6, a dielectric film 33 is applied to the surface of a base film 21a on which an electrode 23a is formed in advance by an applicator 32 on which a dielectric slurry 33 is set to form a ceramic raw sheet 25. Here, the applicator 32 is
Those that can form a coating film of about 20 microns are preferred. Also,
With the base film 21a fixed, the applicator 32
May be moved.

なお、本発明において、転写時には熱、光、電子線、
マイクロウェーブ、X線等を使用して転写を行っても良
い。また、PVB樹脂の種類、可塑剤の種類や添加量を変
えることにより室温での転写も可能である。
In the present invention, at the time of transfer, heat, light, electron beam,
The transfer may be performed using microwaves, X-rays, or the like. Transfer at room temperature is also possible by changing the type of PVB resin, the type and amount of plasticizer added.

また、重合もしくは硬化による電極のスクリーン印刷
以外の形成例について説明する。まず、平版印刷方法へ
の応用例について述べる。まず、平版印刷用の酸化重合
型のビヒクルとしては、2号アマニ油ワニス(測定温度
25℃、ずり速度が100セクインバースで200ポイズ)等を
使用して、同様にインキ化し、さらに印刷適正を上げる
ためにロジン変性フェノール樹脂等を加え粘度を数百ポ
イズに上げると良い。このようにして作製したインキ
を、銀塩マスターあるいはプレセンシタイズド版(通称
PS版と呼ばれる)を使用して印刷できる。
In addition, examples of forming electrodes other than screen printing by polymerization or curing will be described. First, an example of application to a lithographic printing method will be described. First, as an oxidation polymerization type vehicle for lithographic printing, No. 2 linseed oil varnish (measurement temperature
It is also preferable to make the ink in the same manner using 25 ° C., a shear rate of 100 poise at 100 sec inverse), and further increase the viscosity to several hundred poise by adding a rosin-modified phenol resin or the like in order to further improve the printability. The ink produced in this manner is used as a silver salt master or a presensitized plate (commonly known as
PS version).

さらに、フリキソ印刷方法への応用も可能である。こ
のフリキソ印刷方法とは、ゴム凸版印刷方法の一種であ
り、印刷圧力が低いため、例えば数ミクロン程度のアル
ミ箔から20〜30ミクロン程度のPETフィルムまで印刷で
きる能力がある。このときの電極インキの粘度は1〜10
ポイズ程度にすると良い。また、電極の膜厚は、電極イ
ンキ中に含まれる溶剤や金属粉末の割合を変えたり、ア
ニロックスローラで調節できる。
Furthermore, application to a flexographic printing method is also possible. The flexographic printing method is a type of rubber letterpress printing method, and has a low printing pressure, and therefore has a capability of printing from an aluminum foil of about several microns to a PET film of about 20 to 30 microns. At this time, the viscosity of the electrode ink is 1 to 10
Good to be about poise. Further, the film thickness of the electrode can be adjusted by changing the ratio of the solvent or the metal powder contained in the electrode ink or by using an anilox roller.

本発明において、重合もしくは硬化されてできる電極
は、スクリーン印刷、オフセット印刷、ドライオフセッ
ト印刷、フレキソ印刷等によって形成できる。これら各
種印刷方法においてそれぞれの印刷適正を上げるため
に、ロジン変性フェノール樹脂、フェノール樹脂、ポリ
アルキド樹脂、ポリアミド樹脂、キシレン樹脂、石油樹
脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等をアマニ油ワニス等
の重合型樹脂に混ぜて使用できる。さらに、重合型樹脂
としては、アマニ油、オイチシカ油、サフラワー油、大
豆油、脱水ヒマシ油、桐油等の乾性油が使える。これら
乾性油は、オレイン酸、リノール酸、エレオステアリン
酸等の不飽和脂肪酸の混合グリセライドからできてお
り、この不飽和二重結合を有する樹脂もしくは油であれ
ば、電極用の樹脂として用いることができる。さらに、
酸化重合型樹脂以外に、紫外線重合型樹脂、電子線重合
型樹脂、熱重合型樹脂、マイクロウェーブによる重合に
より、電極を形成することも可能である。
In the present invention, the electrode formed by polymerization or curing can be formed by screen printing, offset printing, dry offset printing, flexographic printing, or the like. In order to improve the printability of each of these various printing methods, rosin-modified phenolic resin, phenolic resin, polyalkyd resin, polyamide resin, xylene resin, petroleum resin, acrylic resin, epoxy resin, etc. are converted into polymerized resins such as linseed oil varnish. Can be mixed and used. Further, as the polymerizable resin, drying oils such as linseed oil, deer oil, safflower oil, soybean oil, dehydrated castor oil and tung oil can be used. These drying oils are made of a mixed glyceride of unsaturated fatty acids such as oleic acid, linoleic acid, and eleostearic acid. If the resin or oil has this unsaturated double bond, use it as a resin for electrodes. Can be. further,
In addition to the oxidation polymerization type resin, it is also possible to form the electrode by polymerization using an ultraviolet polymerization type resin, an electron beam polymerization type resin, a heat polymerization type resin, or microwave.

さらに、本発明方法は、前記実施例で述べた積層セラ
ミックコンデンサに適用する以外に、多層セラミック基
板、積層バリスタ等のその他の積層セラミック電子部品
においても適用できるものである。
Further, the method of the present invention can be applied not only to the multilayer ceramic capacitor described in the above embodiment but also to other multilayer ceramic electronic components such as a multilayer ceramic substrate and a multilayer varistor.

発明の効果 以上のように本発明は、重合もしくは硬化された電極
が形成されてなる支持体上に、乾燥後に熱可塑性樹脂が
10重量%以上40重量%以下になるように配合した誘電体
スラリーを塗布した後、前記誘電体スラリーを乾燥さ
せ、前記支持体上に電極埋め込みセラミック生シートを
作り、次に前記電極埋め込みセラミック生シートを前記
支持体より剥離することなく、他のセラミック生シート
もしくは他の電極の上に熱圧着させた後、支持体のみを
剥離し、前記電極埋め込みセラミック生シートを前記他
のセラミック生シートもしくは他の電極上に転写するこ
とにより、電極が乾燥されていることにより、電極イン
キ中に含まれる溶剤の悪影響を極力少なくし、またセラ
ミック生シートを支持体と共に取扱うために取扱時に破
損することなく、電極を埋め込むことにより内部電極に
よる凹凸の発生を低減しながら、歩留り良く積層セラミ
ックコンデンサ等の積層セラミック電子部品を製造する
ことができる。
Effect of the Invention As described above, the present invention provides a support on which a polymerized or cured electrode is formed, after drying, a thermoplastic resin.
After applying a dielectric slurry blended to be 10% by weight or more and 40% by weight or less, the dielectric slurry is dried to form an electrode embedded ceramic green sheet on the support, and then the electrode embedded ceramic green sheet. Without peeling the sheet from the support, after thermocompression bonding on another ceramic raw sheet or another electrode, only the support is peeled, and the electrode-embedded ceramic raw sheet is the other ceramic raw sheet or By transferring onto other electrodes, the electrodes are dried, so that the adverse effects of the solvent contained in the electrode ink are minimized, and the ceramic raw sheet is handled with the support without being damaged during handling. By embedding the electrodes, the occurrence of unevenness due to the internal electrodes is reduced, and the product A multilayer ceramic electronic component can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図及び第2図は本発明の第1の実施例における電極
埋め込みセラミック生シートを積層する様子を説明する
ための図、第3図及び第4図は前記第1の実施例の変形
例を説明するための図、第5図は本発明の第2の実施例
における熱ローラを用いて電極埋め込みセラミック生シ
ートを転写する方法を説明するための図、第6図は本発
明において電極埋め込みセラミック生シートの製造方法
の一例を説明するための図、第7図は積層セラミックコ
ンデンサの一部を断面にて示す図、第8図は従来例にお
いてセラミック生シート上に電極インキをスクリーン印
刷方法により印刷している様子を示す図、第9図は同じ
く多積層化した時の積層セラミックコンデンサの断面
図、第10図は同じく積層数に対する中心部と周辺部の厚
みの差を説明する図である。 20……台、21,21a,21b……ベースフィルム、22……セラ
ミック生積層体、23,23a……電極、24,24a……セラミッ
ク生シート、25……電極埋め込みセラミック生シート、
26……ヒータ、27……熱盤、28……転写された電極、29
……転写された電極埋め込みセラミック生シート、30…
…転写された電極埋め込みセラミック生シート、31……
熱ローラ、32……アプリケータ、33……誘電体スラリ
ー。
FIGS. 1 and 2 are views for explaining a state of laminating ceramic raw sheets with embedded electrodes according to a first embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are modified examples of the first embodiment. FIG. 5 is a diagram for explaining a method of transferring an electrode-embedded ceramic raw sheet using a heat roller according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a diagram for explaining an electrode embedding in the present invention. FIG. 7 is a view for explaining an example of a method for manufacturing a ceramic green sheet, FIG. 7 is a view showing a part of a multilayer ceramic capacitor in a cross section, and FIG. 8 is a screen printing method of electrode ink on a ceramic green sheet in a conventional example. FIG. 9 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor when multiple layers are similarly stacked, and FIG. 10 is a view illustrating a difference in thickness between a central portion and a peripheral portion with respect to the number of stacked layers. A. 20 …… table, 21,21a, 21b …… base film, 22 …… ceramic raw laminate, 23,23a …… electrode, 24,24a …… ceramic raw sheet, 25 …… electrode embedded ceramic raw sheet,
26: heater, 27: hot platen, 28: transferred electrode, 29
…… Transferred ceramic sheet with embedded electrodes, 30…
… Transferred ceramic raw sheet with embedded electrodes, 31 ……
Heat roller, 32 applicator, 33 dielectric slurry.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥山 彦治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 沖中 秀行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Koji Okuyama 1006 Odakadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. In company

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】重合もしくは硬化された電極が形成されて
なる支持体上に、乾燥後に熱可塑性樹脂が10重量%以上
40重量%以下になるように配合した誘電体スラリーを塗
布した後、前記誘電体スラリーを乾燥させ、前記支持体
上に電極埋め込みセラミック生シートを作り、次に前記
電極埋め込みセラミック生シートを前記支持体より剥離
することなく、他のセラミック生シートもしくは他の電
極の上に熱圧着させた後、前記支持体のみを剥離し、前
記電極埋め込みセラミック生シートを前記他のセラミッ
ク生シートもしくは他の電極上に転写することを特徴と
する積層セラミック電子部品の製造方法。
1. A thermoplastic resin comprising at least 10% by weight after drying on a support on which a polymerized or cured electrode is formed.
After applying a dielectric slurry blended so as to be 40% by weight or less, the dielectric slurry is dried to form an electrode-embedded ceramic raw sheet on the support, and then the electrode-embedded ceramic raw sheet is supported. Without peeling from the body, after thermocompression bonding on another ceramic raw sheet or another electrode, only the support is peeled off, and the electrode-embedded ceramic green sheet or the other ceramic raw sheet or the other electrode A method for producing a multilayer ceramic electronic component, wherein the method is performed to transfer the same onto a multilayer ceramic electronic component.
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