JP2675002B2

JP2675002B2 - Ｉｃリード曲り検出装置

Info

Publication number: JP2675002B2
Application number: JP62134980A
Authority: JP
Inventors: 成人大久保; 征郎辻; 友哉富田; 忠明角家; 裕康加藤; 真吾藤岡
Original assignee: 日立テクノエンジニアリング株式会社
Priority date: 1987-06-01
Filing date: 1987-06-01
Publication date: 1997-11-12
Anticipated expiration: 2012-11-12
Also published as: JPS63301551A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、面付け用フラットパッケージ型ICのリード
曲りの検出に係り、特にICを基板へ自動搭載するための
画像データを利用し、リードの曲りの有無を検出するこ
とに関する。〔従来の技術〕従来から、各種電子回路については、プリント配線基
板を用いた構成が広く採用されているが、このような基
板も、初期の頃を除いて近年は、IC等の電子部品を自動
化機器で搭載するのが一般的になっており、ICの自動搭
載装置が種々提案され、実用化されている。ところで、基板に搭載するICのリードに曲りがある
と、基板上の配線パターンとの接続が得られなくなって
しまうので、これを防止するため、予め、リードについ
て曲りを検査しておき、正しいリード状態のICだけが、
基板上に搭載されるようにする必要がある。 ICのリードの曲りについて、第２図によって説明する
と、まず、この第２図（ａ）はフラットパッケージ型IC
の平面図で、１はICの本体で、２がリードを表わす。そ
して、2a,2bが曲りを持ったリードである。また、同図
（ｂ）は、同じく側面図で、2c,2dが曲り持ったリード
である。なお、以下、この第２図（ａ）でリード2a,2b
が有する、つまり、リード列の配礼方向に沿った曲りを
横方向曲りと呼び、第２図（ｂ）でリード2c,2dが有す
る曲り、つまり、リード列の配列方向と直角な方向の曲
りを縦方向曲りと呼ぶことにする。一方、ICの自動搭載
装置は、予め所定の場所に用意されたICを、基板上に搬
送して搭載する為の吸着ハンドを備えている。吸着ハン
ドに保持されたICは、一旦、所定の位置で搬送を止め、
吸着ハンドに対する吸着されているICの保持位置と姿勢
のずれ量を検出し、この検出結果により基板上での吸着
ハンドの位置を制御し、ICの搭載位置精度が充分に得ら
れるようにしている。そして、このときの保持位置の検
出のためには、この吸着ハンドに吸着保持されたICをビ
デオカメラで撮像して平面画像データを得、この画像デ
ータからICの保持位置と姿勢の検出を行うようにするこ
とが従来から知られており、この画像データを利用し
て、リードの曲りの検出も同時に行えるようにすること
も種々に考えられている。これらについては、文献等には特に発表されていない
が、そのうちの一例としては、上記した画像データを二
値化し、この二値化データにより各リードの重心位置を
求め、それらの重心間距離をリードとピッチとして検出
し、予め設定してある値と比較することによりリードの
曲りを検出している。しかしながら、この二値化による方法を適用するに
は、画像データとして、かなりの分解能を必要とし、IC
の保持位置と姿勢を検出するための画像データでは不十
分で、別途、そのための拡大視野による画像データの撮
像や、画素数の多い画像データが必要になる。すなわ
ち、上記従来技術では、二値化画像データを利用してい
るため、リードのエッジ部に関するデータが不鮮明の場
合には白と黒との判別が不安定になり易く、ICのリード
として一般的な0.3mm幅程度のリードピッチまでの計測
を高精度で行うのは困難で、ICの自動搭載用として撮像
した画像データの流用では精度の確保はむずかしく、こ
のため、拡大視野などによる画素数の多い画像データを
必要とし、IC1個当たりの処理時間の増大という問題点
を生じてしまうのである。そこで、本件出願人は、先に特願昭61−147066号の出
願にて、ICの平面画像のデータから、そのリードの配列
方向にICの本体と平行な直線でリードを横切る部分のデ
ータを抽出し、この抽出したデータの濃淡パターンによ
って、リードの曲りを検出する発明を提案した。すなわち、検出対象となるフラットパッケージ型ICの
リード列を反射光で撮像した場合、背景に対してリード
は明るい部分として、ある程度のコントラストを持つ
が、リードの反射面の角度によっては、反射光の光量に
変化を生じ、背景とのコントラスト差が小さくなる。そ
こで、このような性質を持つリード列に対して、その配
列方向に沿ってこれらのリード列を横切るように設定し
た測定線（直線）上の明るさの濃淡分布は、リードの配
列状態に応じて周期的な変化を示すことを利用し、容易
にリード曲りを検出できるようにした。なお、この種の技術として関連するものには、例え
ば、特開昭60−1900号公報を挙げることができる。〔発明が解決しようとする問題点〕上記先願発明では、横方向曲りについては、リードの
位置座標から重心位置座標を算出のうえ、隣り合う３本
のリードの重心間距離であるリードピッチを比較し曲り
を検出し、縦方向曲りについては、リードの画像の明る
さを所定の設定値と比較して曲がりを検出している。しかし、複数本のリードが全体として同じ方向に曲が
っている場合には検出が困難になる点については配慮が
されておらず、ICの中心位置座標や回転ズレの計測に誤
差を生じるという問題点があった。本発明の目的は、上記した従来例の問題点に充分に対
処し、専用の画像データ取込装置を設けることなく、従
来の面付け用フラットパッケージ型IC自動搭載装置にお
ける画像データを利用して、複数のリードが全体として
横方向に曲っている場合も含め、どのような態様で現れ
るリード曲りに対しても、常に高速、かつ高精度で容易
にリード曲りの検出を行うことが出来るようにしたこと
にある。〔問題点を解決するための手段〕上記目的は、本発明によれば、基板にICを搭載するた
めに撮像した前記ICの平面全体を視野とする平面画像の
データを記憶する手段を有し、該手段に記憶した前記平
面画像データを処理して、前記ICの本体の縁から列状に
突き出して設けられている複数のリードの横方向の曲り
を検出する装置であって、前記平面画像の列状をなす前記リード上に、少なくと
も２本の測定線を前記リードの列を横切る位置に平行に
設定し、前記少なくとも２本の測定線上の明るさの変化
を各測定線ごとに抽出して、それぞれの１次元画像デー
タとする画像処理手段と、前記少なくともも２本の測定線の前記各１次元画像デ
ータと、リードとの交点から算出される位置座標と明る
さのデータを相対的に比較し、前記データの間に差異が
あるとき、前記リードの何れかに横方向の曲りが存在す
るとして検出する手段を備えたことにより達成される。〔作用〕リードの横方向曲りは、IC本体から突出しているリー
ドの長手方向における離れた２点間の横方向の変位とし
て現れる。一方、ICを撮像した平面画像上に少なくとも
２本の測定線をリードの列を横切る位置に平行に設定
し、測定線上のリードの画像データを比較する。リード
間での相対的な横方向曲りがあると隣り合う２本のリー
ドにおいて、測定線上のリード間距離（リードピッチ）
は、IC本体に近い測定線上と遠い測定線上で異った距離
を示し、その差異が事前に設定されているしきい値を超
える場合には、横方向曲り有りと判定され検出される。
全体として横方向曲り、すなわち横方向平行曲りがある
と、リード列の重心位置座標は、IC本体に近い測定線上
と遠い測定線上で異なった位置座標となり、座標の差異
から上記の相対的な横方向曲りと同様にして検出され
る。また、縦方向曲りについては、同じリードの列を横切
る位置に平行に設定されている測定線上の２点の明るさ
の比較、または、隣り合う２本のリード上に設定された
測定線に沿った明るさの比較のいづれかで、検出するこ
とができる。また、ICを搭載の都度撮像した画像データ
を利用した複数の１次元画像データの比較による検出な
ので、ICを分割して撮像した場合や品種やロットの違い
によるリードの反射率の変動や、画像データを撮像時で
の照度の変動などの影響を受けることがなく、安定した
検出ができる。〔実施例〕以下、本発明によるICリード曲り検出について、図示
の実施例により詳細に説明する。第３図においては、１はフラットパッケージ型のIC、
３は吸着ハンド、４は粗位置決め用のチャック、５はテ
レビカメラ、６はレンズ、７は撮像素子、そして８は照
明装置である。この実施例は、IC自動搭載装置に本発明を適用したも
ので、吸着ハンド３はチャック４を備え、予め所定の吸
着位置に用意されているIC1を吸着して保持し、所定のI
C搭載位置に設定されている基板の所定の搭載場所に運
び、位置決めする働きをする。ここでチャック４は吸着
ハンド３に対するIC1の吸着姿勢を粗く位置決めする働
きをするものである。このとき、吸着ハンド３は、上記した所定の吸着位置
から基板の上にIC1を運ぶ途中で、テレビカメラ５の設
置位置に、一旦停止する。テレビカメラ５は、この吸着ハンド３が一旦停止させ
られる位置の真下の自動搭載装置側に据付けてあり、こ
こで、レンズ６により、このIC1の撮像素子７に丁度結
像されるようにしてある。そして、吸着ハンド３が丁
度、停止したタイミングで、吸着保持状態にあるIC1の
撮像を行い、その生の画像データをフレームメモリ９に
取り込み記憶する。このフレームメモリ９に記憶された画像データから吸
着ハンド３に吸着されているIC1の吸着位置と姿勢を演
算処理し、その演算結果に基づき、自動搭載装置の制御
部（図示せず）は、IC1の基板上での位置決め補正制御
を行う。この実施例では、さらに、このフレームメモリ
９に記憶された画像データを演算処理し、IC1のリード
２の曲りの検出を行い、不良品か否かを判定し、不良品
と判定されたときには、のICを取り除くような制御を行
う。ところで、既に従来の技術で説明したように、ICのリ
ードの曲りには、横方向曲り（第２図（ａ））と縦方向
曲り（同図（ｂ））とがある。まず、横方向曲りの検出について説明する。第２図は示すIC1を撮像した画像は第１図のようにな
っている。この画像の中のリード２を横切って、それぞ
れのリード列ごとに、それぞれ２本の測定線L1・L2,L3
・L4,L5・L6,L7・L8を設定し、これらの測定線L1〜L8の
それぞれに折って抽出したデータD1〜D8を用意する。いま、第４図（ａ）に示すように、測定線L1とL2を測
定したリード２の横方向曲りの検出を行おうとすると、
このときの測定線L1による画像データD1と、L2によるデ
ータD2のそれぞれの明るさは、それぞれ第４図の
（ｂ），（ｃ）のように変化している。そこで、上記したフレームメモリ９に、格込状に配列
して格納されている画像データの中から、この測定線L
1,L2に対応する部分のデータD1,D2をそれぞれ取り出
し、次式にしたがって、それらの荷重平均を取り、その
値をリード２のエッジ部座標Xkとする。但し、 Xk:測定線Ｌ方向のエッジ座標値 m:明るさ単調増加，減少開始点 n:明るさ単調増加，減少終了点ｆ（ｉ）:i座標における明るさデータこのときの単調増加，減少範囲は、次の（２）式の条
件により決定する。 |f（ｎ）−ｆ−（ｍ）｜≧Dth …（２）但し、Dth:しきい値しきい値Dthの設定にあたっては、事前に撮像した画
像データを検討し、測定線上のリード以外の画像データ
を排除可能な明るさの値をDthと定める。上述の（１）式で求められたエッジ座標は、１画素以
下の単位で求めることができる。次に、これらのエッジ座標から、隣り合ったリード間
での中心間ピッチを、各データD1,D2ごとに算出する。
このとき、データD1、すなわちリード横曲りの発生し難
い、リード根元部の測定線L1でのリードピッチをL_p1と
し、データD2、すなわちリード横曲りが発生し易い、リ
ード先端部の測定線L2によるリードピッチをL_p2とす
る。そして、これらのリードピッチL_p1とL_p2との比較すべ
てのリードについて行い、次式が満足されているか否か
により、リード横方向曲りの有無を判定し、リード横方
向曲りと判定されたICを不良とするのである。 L_p1−L_p2＜γ …（３）（γ：所定のしきい値）しきい値γは、事前はリードの横方向曲りの許容でき
る値を調べて設定する。従って、本実施例によれば、IC1を基板上へ搭載する
時の位置決め用として撮像した画像データをそのまま用
いてリード２の根元部分と先端部分に設定した測定線上
の画像データの比較により判定が行われることになり、
ICの品種やロットの違いによるリード表面の反射率の変
動や、画像データ撮像時での照明条件の変動などの影響
を受ける虞れがなく、常に高精度でリード曲りの大小を
求めることができ、容易にリードの横方向曲りの検出を
行うことができる。次に、縦方向曲りの検出について説明する。第３図に戻り、この実施例では、照明装置８は、撮像
用のレンズ６の周辺に、レンズ６を囲んで連続するよう
に光ファイバを用いた小さな光源列によるリング光源装
置を配置し、ほぼ点光源と見做すことができる光源から
上方に光を照射し、これにより照明の下でIC1の撮像が
行われるように構成されている。そこで、この実施例の光学系によるリード２の結像状
態を示すと、第５図のようになる。ここで、10は照明装置８の光ファイバリングによる光
照射口、11はレンズ６の光心、12はレンズの光軸、13は
撮像素子７の撮像面、14はレンズ６の前主点、15は同じ
く後主点である。まず、光照射口10からの照射光線x,yは、リード２の
裏面で正反射し、その反射光はレンズ６を通って撮像面
13に到達し、そこに結像する。従って、このときの撮像面でのリード２の像の明るさ
は、照射口10が充分に小さくて、点光源と見倣せること
から、このリード２の水平面からの角度Θ、つまり、こ
のリード２の曲りの大小によって変化する。そして、このときに撮像面13でのリードの線が最大光
量となるための角度Θは次式で決定される。 Θｘ＝1/2〔２π−Tan^-1d/a−Tan^-1b/（ａ＋ｃ）〕 …（４） Θｙ＝1/2〔π−Tan¹d/a＋Tan^-1（ａ−ｃ）/b〕 …（５）但し、 a:レンズ光軸12からリードの反射面（点）までの距離 b:照射口10からリードの反射面（点）までの距離 c:レンズ光軸12から照射口10までの距離 d:リード反射面（点）からレンズの光心11までの距離従って、この実施例によれば、これら（４），（５）
式における定数a,b,c,dとして、適当な値が与えられる
ように各部の構成を定めてやることにより、第２図
（ｂ）のリードが2c,2dのように縦方向曲りのためにそ
の先端部に角度Θが現れてしまっている部分では、反射
光量が低下してゆくようにできる。従って、いま、第６図（ａ）に示すように、縦方向曲
りを有するリードをもってIC1の画像についてみると、
このIC1の、第２図（ｂ）のリード2c或いは2dのような
縦方向曲りを有するリードでは、第６図（ａ）に影線を
付して示したように、その先端部分で暗い像になり、こ
の結果、測定線L1とL2によるそれぞれのデータD1,D2に
よる明るさは、それぞれ第６図の（ｂ），（ｃ）のよう
になって、データD1では明るさがH1となっている部分
が、データD2ではH2となって現れる。そこで、これらデータD1とD2による明るさを比較し、 H1−H2＜β …（６）（β：所定のしきい値）を調べ、この式（６）が満足しなかったときには、その
ICには縦方向横リード有りと判定するものである。しきい値βは、前記γと同様にして設定することがで
きる。そして、このときでも、上記実施例によれば、リード
根元部分でのデータD1と、先端部分でのデータD2とによ
る比較判定なので、種々の条件変動の影響を受ける虞れ
がなく、安定した高精度な検出と判定することができ
る。また、上記実施例では、第３図に示すように光ファイ
バリング照明装置８が用いられ、これにより第５図で説
明した作用を行うので、リードの縦方向曲り部分での像
の明るさの変化に顕著な差異が表われ、高精度に曲りの
検出をすることができる。ところで、前述のとおり、本発明によれば、第７図に
示すように、IC1の或るリード列における複数本のリー
ドが同一方向に曲っている、いわゆる横方向平行曲りを
高精度で検出できるものであり、以下、この点について
実施例を説明する。第７図（ａ）に示すIC1の画像において、横方向平行
曲りを生じているリード列2Aの根元部分の測定線L1によ
るデータD1と、先端部分の測定線L2によるデータD2の明
るさは、それぞれ第７図（ｂ），（ｃ）のようになる。測定線L1上でのリード列2Aの横方向の中心点Ａと、L2
上での中心点Ｂとの差Ｘが横方向平行曲りを表わすこと
になる。そこで、第７図（ｂ）のデータD1による座標値の中心
値XA₁と、同図（ｃ）のデータD2による中心値XB₁を求め
てやれば、横方向平行曲り量Ｘは、Ｘ＝XB₁−XA₁ …（７）となり、従って、Ｘ＜δ …（８）（δ：所定のしきい値）を満足している場合には、このICは横方向平行曲りなし
と判定することができる。しきい値δは、IC1を基板上の配線パターンに搭載す
る際の許容値であり、事前に調べて設定する。ここで、リード列座標の中心値XA,XBについては、次
式により算定するようになっている。 XA₁＝｛（X_K−X₁）/2｝＋X₁ …（９）（X_K,X₁はデータD1によるもの） XB₁＝｛（X_K−X₁）/2｝＋X₁ …（10）（X_K,X₁はデータD2によるもの）従って、この実施例によれば、どのようなリード曲り
に対しても常に正確に対応でき、的確な検出を行うこと
ができる。リードの横方向平行曲り検出の他の実施例について、
第８図によって説明する。なお、この第８図の実施例
は、IC1の対称となる２辺のリードが横方向平行曲りを
なす場合で、前記自動搭載装置側に据付けられてあるテ
レビカメラ５のXY座標を基準とし、IC1の全体の回転ず
れ角度θ_１とθ_２を算出し、θ_０とθ_１およびθ_０とθ
_２の差が許容範囲か否かにより、不良品か否かを判定す
る、この計算の過程でIC1の中心点Ｓと、IC1の回転ズレ
角θ_０が求まり、IC搭載時の補正データの算出をも行う
ようになっている。尚第８図では、Ｘ座標軸は省略してある。まず、第７図で説明したようにして、測定線L1,L3,L
5,L7により、それぞれのリード列の根元部分での中心座
標XA₁,XA₂,XA₃,XA₄を算出し、XA₁とXA₂,XA₃とXA₄を結
び、その交点Ｓ、すなわちIC1の中心点Ｓを計算する。次に、測定線L2,L4により、それぞれのリード列の先
端部分での中心座標XB₁,XB₂を求める。これによりXA₁と
XA₂を結んだ線分と、テレビカメラ５のＹ座標軸とのな
す角θ_０は、IC1の回転ズれ角である。また、Ｙ座標軸
と平行であってXA₁点を通る線分とXA₁とXA₁を結んだ線
分とのなす角θ_１は、第８図においてIC1の下側リード
のＹ軸に対する回転ズレ角となる。同様にしてIC1の上
側リードのＹ軸に対する回転ズレ角θ_２が求まる。従っ
て、 θ_０−θ_１＜ε_１ …（11） θ_０−θ_２＜ε_２ …（12）（ε₁,ε₂:所定のしきい値）が満足されないICは、リード平行曲り有りとし、不良IC
と判定する。しきい値ε₁,ε_２は、前記のδと同様にし
て設定することができる。そして、いずれのリード曲りも無しと判定されたICに
ついては、上記の中心点Ｓと回転ズレ角θ_０を用い補正
を行い、基板に搭載される。次に、第９図のフローチャートにより、この実施例の
全体的な処理動作について説明する。第９図（ａ），（ｂ）において、まず処理900では、
フレームメモリ９に格納してある画像データの中から、
或るリード群の測定線Ｌに沿ったデータを所定のバッフ
ァに移しかえる処理を行う。処理904,906では処理902で
の判定により、エッジ座標の検出を行い、その結果を順
次、テーブル化していく処理を繰り返す。処理908では、リードピッチL_p1とL_p2の算出処理を行
い、処理910にて判定し、リード横方向曲りの検出を行
う。処理912では、リード横方向曲りのないフラットパッ
ケージICに対してICの回転ズレを検出し、メモリ上に収
納する処理を行う。このとき、θ₀,θ₁,θ_２の算出を同
時に行う。処理914にて判定し、リード平行横曲りの検出を行
い、処理914,916にてリード横方向平行曲りのないフラ
ットパケージICのの抽出を行う。処理918では処理912でメモリ上に収納した回転ズレ補
正量を摘出し、搭載のために回転ズレ補正を行う。処理920にて根元打測定線上に沿ってデータと先端打
測定線上に沿ったデータの算出を行い、処理922にてリ
ード縦方向曲りの判定処理を行う。処理924では、この実施例が適用されている自動搭載
装置が本来、必要としている、ICの基板に対する位置決
め制御のための処理を行う。処理926では、以上の処理がICの全てのリード列につ
いて終了したか否かの判定を行う。つまり、ICには、例
えば第２図に示すICでは、４列となっているように、一
般に複数のリード列がある。そこで、これらの複数のリ
ード列に対応して、それぞれの測定線ごとに処理を繰り
返すのである。尚、一般には、リード列は２列と４列が
殆どである。処理928では、リード足本数のチェックを行い、良否
判定処理を行う。処理930では、上記の924の処理で得られている結果に
基づいて、基板搭載時での位置決め制御に必要な、ICの
吸着ハンド３に対する保持位置、姿勢の検出処理を行
う。次に、リードの縦方向曲りの他の実施例について説明
する。第10図（ａ）に示すように、リード縦方向曲り、リー
ド横方向曲りの発生しにくい根元部に近い測定線L1上の
明るさから、（１）式により求まるリードのエッジ座標
から、各リードの幅方向の中心点T₃,T₄を算出する。次に、これらの中心点T₃,T₄から、測定線L1とは直角
の方向に新たに測定線L9,L10を設定し、この設定線L9,L
10方向に１次元画像データD9,D10を抽出すると、これら
のデータD9,D10はそれぞれ第10図の（ｂ），（ｃ）に示
すような明るさの変化となる。ここで、第10図（ａ）の縦方向曲りが発生しているリ
ード2c又は2dについてみると、第２図（ｂ）から明らか
なように、他の縦方向曲りを持っていないリードに比し
て、測定線L10方向の長さ、つまり座標値が小さくな
り、両者間に差L_Eを生じる。そこで、この差L_Eを算出し、次式を調べ、 LE＜α ……（13）（α：所定のしきい値）しきい値αは、前記γと同様にして設定することがで
きる。この（13）式が満足されないICについては、リード縦
方向曲り有りとして不良と判定するのである。従って、この実施例の場合での処理フローは第11図に
示すよになる。そして、この第11図の処理が第９図の処
理と異なる点は、ステップ920と922の処理の代わりにス
テップ1120と1122の処理が設けられている点だけであ
り、この処理1120では、処理908でリードピッチ算出の
際に求めたリードの中心の座標からリード長手方向に測
定線を測定して、リード先端部エッジ座標を算出し、各
リードについて繰り返し、その後、処理1122にて判定
し、リードの縦方向曲りの検出を行うのである。〔発明の効果〕本発明によれば、検査すべきICの平面全体を視野とす
る、唯１つの撮像によって得た画像データを用いるだけ
で、どのような態様で現れるリード曲りに対しても充分
に対応でき、しかも、ICの品種，ロットによるリード反
射率の変動や撮像条件の変動などの影響を受けず、常に
安定して高精度の検出を容易に得ることができる。また、本発明によれば、搭載位置補正のためのICの中
心位置座標や回転ズレの計測と組合わせてリード曲りの
検出ができ、このため、タクトタイムの増加をもたらす
こともない。

【図面の簡単な説明】第１図は本発明によるICリード曲りの検出装置の原理を
示す説明図、第２図（ａ），（ｂ）はフラットパッケー
ジICにおけるリード曲りの説明図、第３図は本発明の一
実施例における撮像系の構成図、第４図（ａ）〜（ｃ）
の本発明の一実施例における横方向曲り検出の説明図、
第５図は本発明の一実施例における光学系の説明図、第
６図（ａ）〜（ｃ）は本発明の一実施例における縦方向
曲り検出の説明図、第７図（ａ）〜（ｃ）は本発明の一
実施例における横方向平行曲り検出の説明図、第８図は
ICの対称な２辺のリードに平行横曲りがある場合の本発
明の一実施例における中心位置と回転ズレ検出の説明
図、第９図（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例の動作説
明用のフローチャート、第10図（ａ）〜（ｃ）は本発明
の他の実施例による縦方向曲り検出の説明図、第11図
（ａ），（ｂ）は本発明の他の実施例による縦方向曲り
の動作を示すフローチャートである。１……フラットパッケージIC、２……リード、３……吸
着ハンド、４……粗位置決めチャック、５……TVカメ
ラ、６……レンズ、７……撮像素子、８……光ファイバ
リング照明装置、L1〜L10……測定線。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者角家忠明習志野市東習志野７丁目１番１号株式会社日立製作所習志野工場内 (72)発明者加藤裕康習志野市東習志野７丁目１番１号株式会社日立製作所習志野工場内 (72)発明者藤岡真吾習志野市東習志野７丁目１番１号株式会社日立製作所習志野工場内 (56)参考文献特開昭60−111434（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−246609（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−279143（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−5243（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−269009（ＪＰ，Ａ) 実開昭61−173011（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】１．基板にICを搭載するために撮像した前記ICの平面全
体を視野とする平面画像のデータを記憶する手段を有
し、該手段に記憶した前記平面画像データを処理して、
前記ICの本体の縁から列状に突き出して設けられている
複数のリードの横方向の曲りを検出する装置であって、前記平面画像の列状をなす前記リード上に、少なくとも
２本の測定線を前記リードの列を横切る位置に平行に設
定し、前記少なくとも２本の測定線上の明るさの変化を
各測定線ごとに抽出して、それぞれの１次元画像データ
とする画像処理手段と、前記少なくともも２本の測定線の前記各１次元画像デー
タと、リードとの交点から算出される位置座標と明るさ
のデータを相対的に比較し、前記データの間に差異があ
るとき、前記リードの何れかに横方向の曲りが存在する
として検出する手段を備えたことを特徴とするICリード
曲り検出装置。２．特許請求の範囲第１項において、前記少なくとも２本の測定線の前記１次元画像データか
ら算出されるデータは、前記リードのエッジの座標から
算出される隣合うリード間の距離であるリードピッチで
あることを特徴とするICリード曲り検出装置。３．特許請求の範囲第１項において、前記少なくとも２本の測定線の前記１次元画像データか
ら算出されるデータは、前記リードのエッジの位置座標
から算出される前記リードの列の中心値座標であること
を特徴とするICリード曲り検出装置。４．特許請求の範囲第１項において、前記少なくとも２本の測定線のうち、前記ICの本体の縁
に近い方の測定線について、前記複数のリードのそれぞ
れの幅方向の中心点から該測定線と直角方向に、それぞ
れ新たに複数の測定線を設定し、これら複数の測定線の
それぞれについて明るさの変化する位置の座標値の差を
算出することにより、前記リードの何れかに縦方向の曲
りが存在するとして検出する手段を備えたことを特徴と
するICリード曲り検出装置。