JP2652245B2 - 投影装置 - Google Patents

投影装置

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和雄 戸次
顕一 鹿野
健二 河村
茂 小林
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Kimoto Co Ltd
Mitsui Zosen KK
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Kimoto Co Ltd
Mitsui Zosen KK
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、投影装置に関する。更に詳しくは尺度の相
違する被観測物を同尺度で投影する装置、および被観察
物がスクリーン上に投影された画像より大きい場合の画
像間の連結処理を効率的、かつ合理的に行う装置に関す
る。
〔従来の技術〕
例えば、プリント板原板や基板の検査、パターン線幅
寸法の計測、或いは鉄筋コンクリート床版(以下RC床版
という)の点検診断などには、従来、一般に、精密投影
機が使用されている。
ところで、従来の投影機は、倍率を変更する場合、そ
の都度、投影レンズを変換するようになっているが、投
影レンズの倍率は、一般に、10倍、20倍、50倍などに固
定されているため、例えば、尺度の相違する被観察物の
投影に使用すると、尺度の相違がそのまま拡大されるた
め、合理的な点検診断が行えないという問題があった。
例えば、RC床版の点検診断には、RC床版を撮影したポ
ジフィルムが使用されるが、写真撮影によって得られた
RC床版のポジフィルムは、カメラからRC床版までの距離
がそれぞれ相違するため、撮影したコマごとに尺度が相
違する。
従って、倍率の固定した従来の投影機を使用すると、
同じ幅の『ひびわれ』でも投影機のスクリーン上の『ひ
びわれ』の幅は、コマごとに相違することになり、RC床
版の点検診断が合理的でなく、作業性が悪い。
他方、被観察物がスクリーン上に投影された画像より
大きい場合、画像間の連結処理方法が確立されていなか
ったため、効率的、かつ合理的な点検診断が行えなかっ
た。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明は、係る従来の問題に鑑みてなされたものであ
り、本発明の目的の一つは、投影レンズの倍率を、その
都度、変更しなくても投影装置の大きさ等、物理的な許
容範囲内において無段階の倍率で投影できる投影装置を
提供することにある。また、本発明の目的の他の一つ
は、被観察物がスクリーン上に投影されている画像より
大きい場合、各画像間を過不足なく合理的に、かつ、効
率的に連結処理できる投影装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
すなわち、本発明の第1番目の投影装置は、投影機
と、該投影機の前方に配したスクリーンと、投影機コン
トローラーからなる投影装置であって、前記投影機コン
トローラーによって投影機内の載物台と前記スクリーン
間の距離Lと、前記載物台と対物レンズ間の距離Sを制
御して前記スクリーン上に尺度の相違する被観測物を、
常時、同尺度で投影することを特徴とするのである。
また、本発明の第2番目の投影装置は、載物透明板上
に格子を描き、その1区画又はスクリーンのX,Y軸方向
の大きさを拡大倍率で除した値を載物台の移動単位とし
たことを特徴とするものである。
〔実施例〕
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説
明する。
第1図は本発明に係る投影装置の概略図であり、この
投影装置1は、投影機2、投影機コントローラー(コン
ピューター内蔵)3、画像出力装置としてのモニター
4、中央演算処理装置としてのコンピューター5、入力
装置としてのキーボード6、プロッタ7および透過型図
形入力装置13などから構成されている。
上記投影機2は、装置本体8、この本体8に立設され
た支柱9、この支柱9にZ軸方向に昇降自在に設けられ
た投影箱10、装置本体8内に設置された反射鏡11、装置
本体8の前面に設置された良好な結像が得られるフィル
ムやスリガラス製のスクリーン12、このスクリーン12に
重ねて設置され、かつ前記コンピューター5に直結され
た透過型図形入力装置13、および透過型図形入力装置13
上を当該図形入力装置13と一体となってスクリーン12上
の任意の図形をなぞることによって入力できるカーソル
14から構成されている。
また、投影箱10内には、光源15、被観察物Fをセット
するための載物台16、投影用レンズ17が設置されてい
る。また、投影箱10内には、載物台16をX軸方向に移動
させると共にその位置を検出する移動・位置検出装置1
8、載物台16をY軸方向に移動させると共にその位置を
検出する移動・位置検出装置19、及び投影用レンズ17を
Z軸方向に移動させると共にその位置を検出する移動・
位置検出装置20が配設されている。また、投影箱10の昇
降およびその位置検出は支柱9に設けた移動・位置検出
装置21によって行われる。
上記投影箱10前面の被観察物搬入口22には、扉23が開
閉自在に取り付けられており、また、投影箱10と装置本
体8との間には、蛇腹24が設けられている。
ここで、被観察物、特に、被観察物としてのRC床版を
撮影したフィルムから反転したポジフィルムFを投影機
2の大きさなどの物理的に許容できる範囲内において、
無段階の倍率で投影できる原理について説明する。
第2図に示すように、載物ガラス25の上面とスクリー
ン12の距離をLmm、載物ガラス25の上面とレンズ17の距
離をSmm、レンズ17の焦点をfmm、倍率をm(m=像の大
きさ/物体の大きさ)とすると、上記Sは第(1)式、
Lは第(2)式により表される。すなわち、 従って、投影装置コントローラー3の拡大率入力キー
26により倍率mを入力すると、投影箱10がZ軸方向に移
動して載物ガラス25の上面とスクリーン12の距離がLmm
になり、と同時に、レンズ17もZ軸の方向に移動して載
物ガラス25とレンズ17の距離がSmmになって、スクリー
ン12上には、投影装置コントローラー3によって入力し
た倍率の画像が投影されるのである。また、上記の機構
により画像の焦点合わせが不要になる。
ところで、被観察物であるRC床版を撮影したフィルム
より得られたポジフィルムFの縮率をM、投影装置コン
トローラー3によって入力する倍率をm、スクリーン12
上に投影される画像の倍率をKとすると、倍率Kは、第
(3)式で表される。すなわち、 K=M×m ……(3) ここで、被写体(RC床版)とカメラのレンズの距離を
a、カメラのレンズとフィルムの距離をbとすると、撮
影フィルム、すなわち、ポジフィルムFの縮率Mは第
(4)式で表される。すなわち、 M=b/a ……(4) 従って、ポジフィルムFの縮率Mは、撮影時に分かっ
ており、また、スクリーン12上に投影される画像の倍率
Kも任意に選択できるから上記第(3)式から投影装置
コントローラー3によって入力する倍率mを求めて、そ
の値を投影装置コントローラー3に入力すれば、上記の
ように、スクリーン12上には、常に、同尺度の被観察物
の画像が投影され、RC床版の点検診断が効率的、かつ合
理的に実施可能になる。
他方、上記載物ガラス25上には、第3図に示すよう
に、格子28が描かれている。この格子28は、X軸方向の
線A1,A2,A3,A4及びY軸方向の線B1,B2,B3,B4からなり、
X軸方向の線A1,A2,A3,A4及びY軸方向の線B1,B2,B3,B4
はそれぞれ等間隔を維持している。これらの格子線の間
隔は、最大拡大倍率で投影した時、スクリーン12上に4
本の格子線、例えばA1,A2,B1,B2によって囲まれた第1
の区画が投影可能になるような間隔になっている。上
記格子28の区画は、上段が,,の3つの区画から
なっており、中段が,,の3つの区画からなって
おり、下段が,,の3つの区画からなっており、
各区画が載物台16の1移動単位になっている。
また、載物ガラス25上に格子28を描かない場合には、
載物台16の移動単位をスクリーン12のX軸,Y軸方向の大
きさを拡大倍率mで除した値にすることによりスクリー
ンの大きさを越える被観察物の画像情報が過不足なく取
得できる。
次に、上記投影装置の情報処理動作について説明す
る。
(a) 載物ガラス25上に被観察物であるポジフィルム
Fを取り付けたあと、投影箱10内に装填する。
(b) 次いで、投影装置コントローラー3に設けられ
ているメインスイッチ(図示せず)を『ON』したあと、
第(3)式から計算した倍率mを投影装置コントローラ
ー3の拡大率入力キー26によって入力すると、移動・位
置検出装置21が作動して投影箱10がZ軸方向に移動し、
載物ガラス25の上面からスクリーン12までの距離がLに
なる。また、移動・位置検出装置20が作動してレンズ17
がZ軸方向に移動し、載物ガラス25の上面からレンズ17
までの距離がSになり、スクーン12上には、同尺度の映
像が投影される。
(c) また、投影装置コントローラー3の投影区域指
定キー27によって投影区域、例えば投影指定区域を指
定すると、移動・位置検出装置18,19が作動して載物台1
6がX軸およびY軸方向に移動し、投影指定区域の中
心が光軸29に到達する。
(d) 次いで、光源15を点灯すると、光源15から照射
された光束30がポジフィルムF、載物ガラス25、レンズ
17及び反射鏡11の順に透過してスクリーン12上にポジフ
ィルムFの投影指定区画が投影される。
(e) 次いで、キーボード6による諸元データ入力
後、ディスプレイ4の指示により、スクリーン12、すな
わち、透過型図形入力装置13上の損傷部をカーソル14で
なぞって損傷データを入力する。入力されたデータは、
同時にディスプレイ4に表示される。
(f) 投影指定区画の損傷部入力完了後、投影装置
コントローラー3の投影区域指定キー27によって投影指
定区域を指定すると、スクリーン12上にポジフィルム
Fの投影指定区画が投影される。そこで、投影指定区
域と同様、ディスプレイ4の指示によりスクリーン1
2、すなわち、透過型図形入力装置13上の損傷部をカー
ソル14でなぞって損傷データを入力する。
(g) 同様にして、全区域の損傷データの入力作業を
行い、その作業が完了すると、コンピューター5により
投影指定区域乃至の連結処理が行われる。
(h) 次いで、コンピューター5により損傷・劣化度
を診断し、定量化された損傷データおよび判定結果をカ
ラー表示の損傷図と共にプロッタ7で出力する。
〔発明の効果〕
上記のように、第1の発明は、投影機と、該投影機の
前方に配したスクリーンと、投影機コントローラーから
なる投影装置であって、前記投影機コントローラーによ
って投影機内の載物台と前記スクリーン間の距離Lと、
前記載物台と対物レンズ間の距離Sを制御して前記スク
リーン上に尺度の相違する被観測物を、常時、同尺度で
投影するようにしたので、投影レンズの倍率を、その都
度、変更しなくても投影装置の大きさ等、物理的な許容
範囲内において無段階の倍率で投影できるようになっ
た。
従って、プリント原板や基板の検査、パターン線幅寸
法の計測、特に、尺度の異なる被観測物の点検診断を同
倍率で合理的に、かつ、効率的に実施可能になった。
また、第2の発明は、載物透明板上に格子を描き、そ
の1区画又はスクリーンのX,Y軸方向の大きさを拡大倍
率で除した値を載物台の移動単位としたので、被観察物
がスクリーン上に投影されている画像より大きい場合
に、各画像間を過不足なく合理的に、かつ、効率的に連
結処理できるようになった。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る投影装置の概略図、第2図は無
段階の倍率で投影できる原理説明図、第3図は載物ガラ
スの平面図である。 1……投影装置、12……スクリーン、25……載物ガラ
ス、28……格子、A1〜A4,B1〜B4……格子線。
フロントページの続き (72)発明者 河村 健二 埼玉県狭山市南入曽856―3 (72)発明者 小林 茂 埼玉県所沢市中新井1―802―1 (56)参考文献 特開 昭59−71062(JP,A) 特開 昭52−152742(JP,A) 実開 昭51−42036(JP,U) 実公 昭47−14770(JP,Y1)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】投影機と、該投影機の前方に配したスクリ
    ーンと、投影機コントローラーからなる投影装置であっ
    て、前記投影機コントローラーによって投影機内の載物
    台と前記スクリーン間の距離Lと、前記載物台と対物レ
    ンズ間の距離Sを制御して前記スクリーン上に尺度の相
    違する被観測物を、常時、同尺度で投影することを特徴
    とする投影装置。
  2. 【請求項2】載物透明板上に格子を描き、その1区画又
    はスクリーンのX,Y軸方向の大きさを拡大倍率で除した
    値を載物台の移動単位としたことを特徴とする投影装
    置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4714770U (ja) * 1971-03-18 1972-10-20
JPS5142036U (ja) * 1974-09-25 1976-03-29
JPS52152742A (en) * 1976-06-14 1977-12-19 Otsuki Naoto Apparatus for inspecting profile projection
JPS5971062A (ja) * 1982-10-18 1984-04-21 Ricoh Co Ltd 複写機の制御方法

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