JP2646419B2

JP2646419B2 - 水分量検知装置

Info

Publication number: JP2646419B2
Application number: JP3142793A
Authority: JP
Inventors: 勇夫田澤; 邦光田村
Original assignee: Japan Energy Corp
Current assignee: Eneos Corp
Priority date: 1993-01-27
Filing date: 1993-01-27
Publication date: 1997-08-27
Anticipated expiration: 2012-08-27
Also published as: JPH06222023A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、一般的には、気相や液
相等の被検体中の水分量を検知する水分量検知装置に関
し、特に、水分センサの生産時の感湿特性のばらつきを
調整したり、或は時間経過により特性が変動したり劣化
した場合の調整機能を有するディジタルの電子水分量検
知装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、気体中の水分量の検知は石油関
連で石油化学プラントにおける水素ガス、炭酸ガス中の
水分管理、また、油入変圧器や変成器のガス空間の水分
管理に必要とされている。これら現場での水分管理にお
いては、水分量検知装置に対して高信頼性、長期耐久
性、現場への適合性等が要求されることに加えて、高精
度の測定がさらに要求される。通常、水分量検知装置に
使用される水分センサの感湿特性は非線形であるため、
後で詳細に説明するように、アナログ電子回路では十分
な精度を得ることが難しく、また、コンピュータにより
その特性を演算処理する場合、経時変化やセンサを交換
する場合に校正に手間取る等の問題があった。

【０００３】周知のように、水分量検知装置に使用され
る水分センサには電解質系、有機物系、金属酸化物系な
どの多くのセンサがあるが、以下、低水分量検知に良く
用いられているアルミニウム酸化被膜型水分センサを例
に取って説明する。勿論、本発明はこれに限定されるも
のではない。

【０００４】アルミニウム酸化被膜型水分センサの構成
や表面構造は公知であるのでここでは説明を省略する
が、感湿原理は気体中の水分子がセンサ表面に物理吸着
して誘電率、導電率が増加することによる。よって、水
分センサの電気容量Ｃ又は電気抵抗Ｒを検出することに
より水分濃度に関する情報が得られる。他方、センサ表
面での水分子の吸着は、水蒸気圧Ｐと飽和水蒸気圧Ｐｓ
の比、即ち相対圧Ｈ＝（Ｐ／Ｐｓ）の増加にともない、
多分子層を形成し、Ｈ＝（Ｐ／Ｐｓ）と水分子の吸着の
体積Ｘとの関係は一般にＢＥＴの式に従い、Ｘｍを吸着
第１層の体積とすると、ｎ＝（Ｘ／Ｘｍ）は見掛け上の
吸着層数とみなすことができ、Ｈとｎの関係は次の式
（１）に従う。

【０００５】

【数１】ただし、ｃは温度による定数、Ｎは最大吸着層数であ
る。

【０００６】さらに、Ｈが増加するとｎが増加し、誘電
率、導電率を増加させるため、水分センサの電気容量Ｃ
は増加し、電気抵抗Ｒは減少する。

【０００７】以上については多くの文献により一般的に
知られていることである。

【０００８】電気容量Ｃから水分濃度を検知する場合、
Ｈ＝（Ｐ／Ｐｓ）はセンサの入出力特性により電気容量
Ｃに変換される。その変換関数をｆとする。次に、電気
容量Ｃは電子回路により電圧Ｖ又は周波数Ｆに変換され
るものとし、その変換関数をｇとする。センサと電子回
路の入出力特性は次の式（２）で表わせる。

【０００９】

【数２】

【００１０】次に、信号Ｖ又はＦをマイクロコンピュー
タに入力し、それにプログラムされている演算式Ｈ＝
ｈ（Ｖ又はＦ）により、被測定量Ｈを求める。これを
可能にするには、変換関数ｈは関数ｆｇの逆関数（ｆ
ｇ）^-1でなければならない。これら一連のセンサによる
検知から演算処理までの流れを図９に示す。

【００１１】従来技術による演算処理の具体例を図１
０、１１、１２に示す。図１０は数値解析により求めた
多次関数の演算式による演算処理の例であり、図１１は
各水分Ｈｉに対する信号値ＶｉをＲＯＭテーブル化する
ことによる演算処理の例であり、図１２は図１３に示す
アルゴリズムに基づいた折れ線近似による演算処理の例
である。

【００１２】以上はコンピュータによる演算処理である
が、アナログ電子回路により逆関数を求めることもでき
る。この場合には、信号Ｖが被測定量Ｈと等しくなるに
は、その電子回路の変換関数ｇはセンサの変換関数ｆの
逆関数ｆ^-1に等しくなければならない。具体的には次の
方法で可能である。

【００１３】センサの入出力特性が直線であることを前
提に考えると、逆関数ｆ^-1は次の式（３）で表わせる。

【００１４】

【数３】ただし、Ｃｏ及びａは定数である。

【００１５】次に電子回路の変換関数を次の式（４）に
なるように設計する。

【００１６】

【数４】ただし、ｂ及びｄは回路定数である。

【００１７】上記（４）式において、ｂ＝Ｃｏ、ｄ＝ａ
になるようにｂ、ｄを設定することにより、Ｖ＝Ｈとな
り、逆関数ｆ^-1が求まる。

【００１８】ところで、電子回路を量産する場合、一般
的に、電気素子の特性のばらつきにより、ｂ、ｄもばら
つく。このため計測誤差が発生する。これを防止するた
めに、ｂ及びｄを可変できるように、ボリュウーム等に
よる調整機能が必要である。また、各センサ間の特性の
ばらつきやセンサ特性の経時変化による計測誤差を防ぐ
ために、この調整機能を応用することが可能である。

【００１９】逆関数を求めるという考えに従い、調整機
能を次のように説明することができる。即ち、ｂ、ｄの
調整量をΔｂ、Δｄとし、（４）式のｂ、ｄの代わりに
ｂ−Δｂ、ｄ−Δｄを代入する。また、（３）式を用い
ると、（４）式は次の式（５）で表わすことができる。

【００２０】

【数５】Ｃｏとｂがばらつく場合には、（Ｃｏ＋ｂ−Δｂ）＝０
になるようにΔｂを調整する。また、ａとｄがばらつく
場合には、ａ／（ｄ−Δｄ）＝１になるようにΔｄを調
整することにより、（５）式はＶ＝Ｈとなり、逆関
数ｆ^-1を得ることができる。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アナロ
グ電子回路で演算処理し、逆関数を得る場合、センサ特
性が非線形であると、次の問題点が発生する。（通常、
水分センサは非線形特性を有する。）（１）回路が複雑になり過ぎ、部品点数が増大し、大型
化し、高価格となり、かつ信頼性が低下する。（２）耐電気ノイズ性、周辺温度安定性等の耐環境安定
性が低下する。特に、温度安定性の低下は、非線形処理
のため電気素子の非線形特性を利用した場合には著し
い。（３）十分な計測範囲が得られない場合がある。（４）計測の全領域において十分な精度を得ることは難
しい。

【００２２】これに対して、コンピュータのプログラム
による演算処理で逆関数を得るには上記図１０、１１、
１２に示した方法があり、上記のアナログ電子回路の場
合の問題は十分に抑えられる。しかしながら、コンピュ
ータを含む検知システム全体をセンサ（端末）とみなす
現場使用等においては、高精度、高信頼性、長期耐久
性、現場への適応性の高度な両立性が要求されるため、
新たに次のような問題点が発生する。（５）各校正時に、データ採取、数値処理、プログラム
の変更、ＲＯＭ化の作業を行なう必要があり、校正時間
と工数が莫大になる。（６）電子回路がアナログ方式であると、アナログ−デ
ィジタル変換器（Ａ／Ｄ変換器）が必要となり、システ
ム全体の部品点数が増大し、かつ消費電流が大きくな
る。

【００２３】本出願人は先に、湿度センサの生産時のば
らつきを調整したり、或は時間経過により特性が変動し
たり劣化した場合の調整機能を有するディジタルの電子
温湿度計を開発し、特許出願している。この温湿度計
は、特開平２−１５１７５１号公報に記載されているよ
うに、その特性が指数関数的に変化する抵抗型センサを
使用しており、このセンサの基本特性を平行に移動させ
る調整（同公報の図４の調整）のみコンピュータで行な
い、低湿及び高湿の調整（同公報の図５の調整）はハー
ドウエアのみによって行なっている。

【００２４】しかしながら、低湿におけるセンサのＲＨ
が基準値より小さい場合には基本特性に合致するように
調整することはできず、一方、高湿におけるセンサのＲ
Ｈが基準値より大きい場合には、やはり基本特性に合致
するように調整することはできない。従って、調整でき
るセンサ特性のばらつきに制約がある。

【００２５】また、コンピュータによる演算処理を変え
ないで、それに入力される値そのものを変えているため
に、Ｓ／Ｎ低下等の問題が生じる。さらに、センサのば
らつきの物理定数の変化に対応して調整を行っている訳
ではなく、回路定数を変えるだけであるので、簡易では
あるが正確な調整が行なえない。

【００２６】このように、特開平２−１５１７５１号公
報に記載された発明は特性が指数関数的に変化する抵抗
型センサについてある程度の補正を与えるものであり、
水分センサのように物理吸着による容量（Ｃ）変化型の
センサにおいてはＢＥＴの式により非線形の変化である
ため、上記公報記載の補正方法に準じた補正では高精度
の補正が行なえない。

【００２７】その上、精度以前の問題として、容量変化
型の場合には調整手段としてボリューム（可変抵抗）で
はなくて可変容量を使用しなければならず、このため、
大型化する、機械振動に弱い、温度変化により特性が変
わり易い、高価である等の問題があり、実用上、好まし
くない。

【００２８】従って、本発明の目的は、ディジタル方式
の電子回路の採用により回路構成を単純化し、逆関数の
演算処理をマイクロコンピュータにより高精度に行な
い、しかも、非線形特性の校正が簡単に、正確に行なえ
る水分量検知装置を提供することである。

【００２９】

【課題を解決するための手段】上記目的は本発明に係る
水分量検知装置によって達成される。要約すれば、本発
明は、被検体中の水分量を水分センサで検知し、該検知
出力から演算処理手段により被検体中の水分量を計測す
る水分量検知装置において、水分センサをパルス周波数
決定用素子として含むパルス発生手段と、該パルス発生
手段から出力されたパルス信号から検知水分量に対応す
る周波数を検出し、該検出された周波数に基づいて水分
量を算出するディジタル演算処理手段と、水分センサの
感湿特性を調整する補正手段とを具備し、前記ディジタ
ル演算手段には少なくとも水分センサの標準特性と前記
パルス発生手段の変換関数の逆関数を記憶させ、前記デ
ィジタル演算手段によって前記水分センサの標準特性と
前記パルス発生手段の変換関数の逆関数の演算処理を行
なわせるとともに、前記補正手段によって水分センサの
特性の補正量を周波数情報として前記ディジタル演算手
段に入力してその演算処理内容を変更できるようにした
ことを特徴とする水分量検知装置である。

【００３０】

【実施例】以下、本発明の実施例について添付図面を参
照して詳細に説明する。

【００３１】水分量検知装置に使用される水分センサの
入出力特性の理論式は感湿モデルとＢＥＴの式により表
わすことができ、次の式（６）のようになる。

【００３２】

【数６】

【００３３】各水分センサにより決まる定数の標準値を
ｂ′、ｄ′、Ｎとすると、（６）式は標準特性を表わ
し、それは図２の特性であるとする。

【００３４】あるセンサの定数ｂ′がｂ′＋Δｂである
とすると（他の定数は標準値）、それは図２の特性に
なる（この場合、Δｂ＜０）。定数ｄ′がｄ′＋Δｄに
なった場合、それは図２の特性になる。さらに、定数
ＮがＮ＋ΔＮになった場合、それは図２の特性にな
る。

【００３５】このようにセンサ特性にばらつきΔｂ、Δ
ｄ、ΔＮが存在する場合、（６）式の代わりに次の式
（７）の逆関数を与えればよい。

【００３６】

【数７】

【００３７】その１つの方法として、センサの標準特
性、即ち（６）式の逆関数を初めに与え、次にΔｂ、Δ
ｄ、ΔＮを補正量としてその逆関数に付加することが考
えられる。その具体的なアルゴリズムを図３に示す。

【００３８】本発明は図３に示すアルゴリズムの大部分
をコンピュータ（ディジタル）により実行し、かつ補正
量が外部から変更できるように構成したものである。

【００３９】図１は本発明による水分量検知装置の第１
の実施例を示す回路構成図であり、水分センサとして水
分量の変化に応じて電気容量が変化するアルミニウム酸
化被膜型水分センサＣ_H が使用されている。この水分量
検知装置は、例えばＣ−ＭＯＳ型の第１のシュミットイ
ンバータ１１と、このインバータ１１の帰還回路に挿入
されたパルス周波数決定用素子である固定抵抗Ｒ０と、
インバータ１１の入力と接地間に接続されたパルス周波
数決定用素子である水分センサＣ_H とによって水分量に
関する周波数のパルス信号を発生する第１のパルス発生
回路を構成し、パルス周波数決定用素子である水分セン
サＣ_H の電気容量が水分量の変化に応じて変化すること
によってこのパルス発生回路の出力周波数Ｆ₀ を対応的
に変化させ、その周波数出力、即ち方形波パルス信号を
スイッチＳＷ０を介してマイクロコンピュータ１３に送
る。

【００４０】スイッチＳＷ０は１つの可動接点Ｘ０と２
つの固定接点Ｘ１、Ｘ２を備え、可動接点Ｘ０がマイク
ロコンピュータ１３のカウンタ１４に接続され、一方の
固定接点Ｘ１に第１のパルス発生回路からの周波数出力
Ｆ₀ が供給される。カウンタ１４は入力されたパルス信
号を計数してＣＰＵ（中央処理装置）１５に送り、パル
ス発生回路の出力周波数Ｆ₀ を演算処理によって検出
し、その周波数に対応する水分量を算出する。この周波
数Ｆ₀ は、センサＣ_H の容量をＣ、固定抵抗Ｒ０の抵抗
値をＲ、ｋを定数とすると、Ｆ₀ ＝１／ｋＣＲとなる。

【００４１】一方、補正量Δｂ、Δｄ、ΔＮはそれぞれ
可変抵抗ＶＲ１、ＶＲ２、ＶＲ３によって与えられ、そ
れらの値は校正に対応して外部から変えることができ
る。各可変抵抗ＶＲ１、ＶＲ２、ＶＲ３は３状態バッフ
ァのようなスイッチＳＷ１、ＳＷ２、ＳＷ３をそれぞれ
直列に介して、例えばＣ−ＭＯＳ型の第２のシュミット
インバータ１２の帰還回路に接続されており、このイン
バータ１２の入力と接地間に接続されたパルス周波数決
定用素子である固定容量Ｃ１とによって各補正量に関す
る周波数のパルス信号を発生する第２のパルス発生回路
を構成している。この第２のパルス発生回路の周波数出
力Ｆｂ、Ｆｄ、ＦＮはスイッチＳＷ０の他方の固定接点
Ｘ２に供給される。

【００４２】各スイッチＳＷ０、並びにＳＷ１〜ＳＷ３
はマイクロコンピュータ１３のＩ／Ｏポート１６から制
御線１７、１８、１９、２０を介してそれぞれ供給され
る制御信号によって切り換え動作、並びにオン、オフ制
御がそれぞれ行なわれる。これら制御信号は図４に示す
ように時分割的に供給され、従って、第１及び第２のパ
ルス発生回路の周波数出力Ｆ₀ 、Ｆｂ、Ｆｄ、ＦＮも時
分割状態でマイクロコンピュータ１３に送られる。

【００４３】マイクロコンピュータ１３は、上記カウン
タ１４、ＣＰＵ１５、Ｉ／Ｏポート１６の他に、メモリ
としてＲＡＭ２１及びＲＯＭ２２を、また、演算処理結
果を出力するＩ／Ｏポート２３を具備しており、ＲＯＭ
２２にはセンサの代表特性である図２の特性と回路の
特性（６）式の逆関数（ｆｇ）^-1等を予めプログラムし
ておく。

【００４４】なお、上記シュミットインバータを使用し
たパルス発生回路の動作は良く知られているのでここで
はその説明を省略するが、このパルス発生回路は、構成
は簡単であるが、水分センサの検知出力（容量変化）を
高精度に周波数信号に変換することができ、また、信頼
性も高い。

【００４５】次に、上記構成の水分量検知装置を使用し
て水分センサの感湿特性を補正する具体例について説明
する。

【００４６】無作為に取り出した３つの水分センサＡ、
Ｂ、Ｃの感湿特性を実測したところそれぞれ図５に示す
ような特性であった。まず、センサＡの特性をセンサＢ
の特性に調整するため、図６に示すように、可変抵抗Ｖ
Ｒ１（オフセット）を調整して補正量Δｂ（＝５．０）
を与え、特性Ａを上方に平行移動して特性Ａ１を得た。
次に、この特性Ａ１が点（Ｈ１、Ｃ１）を通過するよう
に、可変抵抗ＶＲ２（ゲイン）を調整して補正量Δｄ
（＝０．４５）を与え、特性Ａ２を得た。その結果、こ
の特性Ａ２はセンサＢの特性とほぼ一致した。

【００４７】次に、センサＡの特性をセンサＣの特性に
調整するため、図７に示すように、可変抵抗ＶＲ１を調
整して補正量Δｂ（＝２．０）を与え、特性Ａを上方に
平行移動して特性Ａ１を得た。次に、この特性Ａ１が点
（Ｈ１、Ｃ１）を通過するように、可変抵抗ＶＲ２を調
整して補正量Δｄ（＝１．３８）を与え、特性Ａ２を得
た。さらに、関数ｆの非線形の状態を修正するため、可
変抵抗ＶＲ３（リニア化）を調整して補正量ΔＮ（＝
１．２３）を与え、特性Ａ３を得た。その結果、この特
性Ａ３はセンサＣの特性とほぼ一致した。

【００４８】以上のような補正を無作為に取り出した２
０個の水分センサに対して行なった結果を次の表１に示
す。この表１から、本発明によれば高精度に各センサの
特性を補正できることが分かる。

【００４９】

【表１】

【００５０】このように本実施例によれば、ディジタル
電子回路によって水分センサの検知出力を周波数信号に
変換するものであるから、センサ特性が非線形であって
も高精度の変換が行なえる。また、電子回路の構成が極
めて単純化できるから、部品点数を減少でき、小型化で
き、低価格になるとともに、信頼性が高くなる。

【００５１】また、耐電気ノイズ性、周辺温度安定性等
の耐環境安定性が向上し、十分な計測範囲が得られ、計
測の全領域において十分な精度を得ることができる。

【００５２】さらに、逆関数の演算処理はマイクロコン
ピュータのプログラムによって容易に行なうことができ
る上、各校正時に、データ採取、数値処理、プログラム
の変更、ＲＯＭ化の作業を行なう必要がないので、校正
時間と工数が大幅に減少できる。勿論、Ａ／Ｄ変換器を
使用する必要がなく、かつ消費電流が少なくなるという
利点もある。

【００５３】ちなみに、本実施例の検知装置において
は、マイクロコンピュータ１３にはミニ・フラット・パ
ッケージ・タイプのディジタルＩＣ程度の大きさ（１２
ｍｍ×１０ｍｍ）の簡易マイクロコンピュータが利用で
き、全体の大きさを２５ｍｍ×２５ｍｍ×５ｍｍ以下に
形成することができた。また、消費電流は１ｍＡ以下に
抑えることができた。

【００５４】なお、上記実施例のようにΔｂ、Δｄ、Δ
Ｎの各補正量を可変抵抗ＶＲ１〜ＶＲ３によって連続可
変する代わりに、図８に示すように、多数のスイッチＳ
Ｗ１〜ＳＷｎをデコーダＤ１、Ｄ２、Ｄ３に接続し、こ
れらスイッチの設定により離散的に各補正量を設定する
ようにしてもよい。

【００５５】また、上記実施例は本発明の単なる例示に
過ぎず、アルミニウム酸化被膜型水分センサ以外の水分
センサを使用する種々の装置にも本発明が容易に適用で
き、同様の作用効果が得られることは言うまでもない。
勿論、上記実施例に示した回路構成、使用する素子等は
必要に応じて任意に変更できるものである。例えば、水
分センサとしてインピーダンス型のセンサ等を使用して
も良く、インピーダンス型の場合にはパルス発生回路の
他方のパルス周波数決定用素子が固定の容量となること
は言うまでもない。また、３ステートバッファ以外の電
子スイッチや論理ゲートを使用しても、或はアナログス
イッチを使用してもよい。さらに、パルス発生回路にＣ
−ＭＯＳシュミットインバータ以外のインバータや他の
回路素子を使用することもでき、また、マイクロコンピ
ュータ以外のディジタルの演算処理手段を使用してもよ
い。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
水分量検知回路を構成簡単でかつ高精度のディジタル回
路によって構成し、また、水分センサの非線形な感湿特
性のメカニズムに基づいた補正をコンピュータの演算処
理によって行なうようにしたので、コンピュータによる
演算処理とアナログ回路の利点とが両立し、高信頼性、
長期耐久性で、かつ小型化することができ、さらに高精
度の測定が行なえるという効果がある。また、コンピュ
ータによりその特性を演算処理するので高精度な測定値
が得られ、その上、各センサの校正時に、データ採取、
数値処理、プログラムの変更、ＲＯＭ化の作業等を行な
う必要がないので、校正時間と工数が大幅に減少できる
という効果がある。さらに、部品点数が大幅に減少し、
Ａ／Ｄ変換器も必要ないから、消費電流を相当に減少で
きるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による水分量検知装置の第１の実施例を
示す回路構成図である。

【図２】水分量検知装置に使用される代表的な水分セン
サの入出力特性を示す特性曲線図である。

【図３】水分センサの特性補正方法の一具体例であるア
ルゴリズムを示すフローチャートである。

【図４】図１の回路において各スイッチに供給される制
御信号を示すタイミングチャートである。

【図５】図１の回路におけるセンサ特性の補正動作を説
明するための線図である。

【図６】図１の回路におけるセンサ特性の補正動作を説
明するための線図である。

【図７】図１の回路におけるセンサ特性の補正動作を説
明するための線図である。

【図８】本発明による水分量検知装置の第２の実施例を
示す回路構成図である。

【図９】水分センサの検知出力から水分濃度を検知する
までの一連の動作の流れを示すブロック図である。

【図１０】従来のコンピュータによる演算処理の第１の
例を説明する概略図である。

【図１１】従来のコンピュータによる演算処理の第２の
例を説明する概略図である。

【図１２】従来のコンピュータによる演算処理の第３の
例を説明する概略図である。

【図１３】図１２の演算処理のアルゴリズムを示すフロ
ーチャートである。

【符号の説明】

１１、１２Ｃ−ＭＯＳ型シュミットインバータ１３マイクロコンピュータ１４カウンタ１５ＣＰＵ１６、２３Ｉ／Ｏポート１７〜２０制御線２１ＲＡＭ２２ＲＯＭＣ_H 水分センサＤ１〜Ｄ３デコーダＳＷ０スイッチＳＷ１〜ＳＷ３３ステートバッファスイッチＶＲ１〜ＶＲ３可変抵抗

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被検体中の水分量を水分センサで検知
し、該検知出力から演算処理手段により被検体中の水分
量を計測する水分量検知装置において、水分センサをパ
ルス周波数決定用素子として含むパルス発生手段と、該
パルス発生手段から出力されたパルス信号から検知水分
量に対応する周波数を検出し、該検出された周波数に基
づいて水分量を算出するディジタル演算処理手段と、水
分センサの感湿特性を調整する補正手段とを具備し、前
記ディジタル演算手段には少なくとも水分センサの標準
特性と前記パルス発生手段の変換関数の逆関数を記憶さ
せ、前記ディジタル演算手段によって前記水分センサの
標準特性と前記パルス発生手段の変換関数の逆関数の演
算処理を行なわせるとともに、前記補正手段によって水
分センサの特性の補正量を周波数情報として前記ディジ
タル演算手段に入力してその演算処理内容を変更できる
ようにしたことを特徴とする水分量検知装置。
【請求項２】前記補正手段は、水分センサの感湿特性
を平行移動させる補正量と、水分センサの特性をある特
定の座標点を通過するように修正する補正量と、水分セ
ンサの非線形の状態を修正する補正量をそれぞれ調整す
るものであることを特徴とする請求項１の水分量検知装
置。
【請求項３】前記パルス発生手段は、シュミットイン
バータと、該インバータの帰還回路に挿入された固定の
抵抗と、前記インバータの入力と接地間に接続された水
分センサとから構成され、前記水分センサの電気容量が
水分量の変化に応じて変化することによって対応的に変
化する周波数の方形波パルス信号を出力することを特徴
とする請求項１の水分量検知装置。