JP2634800B2 - Semiconductor integrated circuit standard cell - Google Patents

Semiconductor integrated circuit standard cell

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JP2634800B2 JP61166687A JP16668786A JP2634800B2 JP 2634800 B2 JP2634800 B2 JP 2634800B2 JP 61166687 A JP61166687 A JP 61166687A JP 16668786 A JP16668786 A JP 16668786A JP 2634800 B2 JP2634800 B2 JP 2634800B2
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    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体集積回路スタンダードセルに関し、特
にチップ面積の縮小に有効なスタンダードセルに関す
る。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a standard cell for a semiconductor integrated circuit, and more particularly to a standard cell effective for reducing a chip area.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来半導体集積回路のスタンダードセルは、所要の素
子と、これらを接続する複数の配線とで構成し、論理等
の所要の機能を有するセル回路を構成している。そし
て、このセルを集積回路として構成する場合には、複数
のセルを相互に或いは外部の他の回路に配線接続する必
要がある。このため、各セルにはセル領域内においてセ
ル内部配線を行う一の導電層に入力接点及び出力接点を
設け、この入力接点,出力接点を他の導電層に接続し、
この他の導電層を介して相互及び外部への配線を行って
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a standard cell of a semiconductor integrated circuit is composed of required elements and a plurality of wirings connecting these elements, and constitutes a cell circuit having required functions such as logic. When this cell is configured as an integrated circuit, it is necessary to connect a plurality of cells to each other or to another external circuit. For this reason, in each cell, an input contact and an output contact are provided on one conductive layer for performing cell internal wiring in the cell region, and the input contact and the output contact are connected to another conductive layer.
Wiring to each other and to the outside is performed via other conductive layers.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

上述した従来のスタンダードセルでは、セルに設けた
一の導電層、つまり第1導電層の入力接点及び出力接点
が予めレイアウト配置した位置に固定的に設けられてい
るため、このセルの上層に設けた他の導電層、つまり第
2の導電層を用いてセルを相互に及び外部回路に接続す
る場合にこの第2導電層の延設に制約を受けることがあ
る。例えば、複数設けられる種々の配線のレイアウトの
理由から、前記第2導電層を入力接点や出力接点位置に
延設してここで第1導電層との直接接続を行うことが難
しい場合には、第1導電層を一旦セル領域の外部に引き
出し、この位置において第2導電層とのコンタクトを取
るように構成することが要求される。
In the above-mentioned conventional standard cell, one conductive layer provided on the cell, that is, the input contact and the output contact of the first conductive layer are fixedly provided at positions laid out in advance, so that they are provided above this cell. When the cells are connected to each other and to external circuits using another conductive layer, that is, the second conductive layer, the extension of the second conductive layer may be restricted. For example, in the case where it is difficult to extend the second conductive layer to the position of the input contact or the output contact and directly connect the first conductive layer here, for the reason of the layout of a plurality of various wirings provided, It is required that the first conductive layer is once drawn out of the cell region and is configured to make contact with the second conductive layer at this position.

このため、第1及び第2の導電層を接続するためのコ
ンタクト領域をスタンダードセル領域とは別の箇所に確
保する必要があり、このコンタクト領域のためのスペー
スを新たに確保することによってセルの集積密度が低減
され、或いはチップ面積を縮小する上での障害になって
いる。
For this reason, it is necessary to secure a contact area for connecting the first and second conductive layers in a place different from the standard cell area, and by newly securing a space for this contact area, the cell area is reduced. The integration density is reduced, or it is an obstacle in reducing the chip area.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明の半導体集積回路スタンダードセルは、第1及
び第2の導電層を接続するための特別な領域を設けるこ
となく両導電層の接続を可能とし、セルの集積密度の向
上及びチップの面積の縮小を可能とするものである。
The semiconductor integrated circuit standard cell of the present invention enables connection of both conductive layers without providing a special region for connecting the first and second conductive layers, thereby improving the integration density of the cell and reducing the chip area. This enables reduction.

本発明の半導体集積回路スタンダードセルは、スタン
ダードセル領域の略全幅方向に亘って入力、出力の各接
点層としての第1導電層をそれぞれ延設するとともに、
これらの第1導電層とは絶縁分離された多数本の第2導
電層を第1導電層と直交する方向に並行に延設し、これ
らの第2導電層の中から任意のものを入力、出力の各配
線として選択し、セル領域内において、前記第1導電層
と、選択された第2導電層とが交差するそれぞれの位置
にコンタクト部を配設する構成としている。
The semiconductor integrated circuit standard cell of the present invention has a first conductive layer as each of input and output contact layers extending over substantially the entire width direction of the standard cell region.
A large number of second conductive layers, which are insulated and separated from these first conductive layers, extend in parallel in a direction orthogonal to the first conductive layers, and any one of these second conductive layers is input. Each of the output wirings is selected, and a contact portion is provided at each position where the first conductive layer and the selected second conductive layer intersect in the cell region.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明を図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

図は本発明の一実施例の平面レイアウト図であり、こ
こではPチャネルMOSトランジスタとNチャネルMOSトラ
ンジスタとからなる相補型MOSトランジスタ(CMOS)を
2つ用いたノンインバーティングバッファを構成した例
を示している。
FIG. 1 is a plan layout diagram of an embodiment of the present invention. Here, an example in which a non-inverting buffer using two complementary MOS transistors (CMOS) composed of a P-channel MOS transistor and an N-channel MOS transistor is illustrated. Is shown.

即ち、半導体集積回路1のスタンダードセル領域には
PチャネルMOSトランジスタ列2とNチャネルMOSトラン
ジスタ列3とを適宜寸法離して対向配置している。これ
らPチャネルMOSトランジスタ列2及びNチャネルMOSト
ランジスタ列3は、多結晶シリコン層4や第1アルミニ
ウム層5によって夫々2個のトランジスタ2A,2B及び3A,
3Bとして構成しており、対応するP及びNの各チャネル
MOSトランジスタ2Aと3A及び2Bと3Bとで夫々CMOS6A,6Bを
構成している。
That is, in the standard cell region of the semiconductor integrated circuit 1, the P-channel MOS transistor row 2 and the N-channel MOS transistor row 3 are opposed to each other with an appropriate distance therebetween. The P-channel MOS transistor row 2 and the N-channel MOS transistor row 3 are respectively composed of two transistors 2A, 2B and 3A, by a polycrystalline silicon layer 4 and a first aluminum layer 5.
3B, corresponding P and N channels
CMOS transistors 6A and 6B are constituted by the MOS transistors 2A and 3A and 2B and 3B, respectively.

そして、一方のCMOS6Aには多結晶シリコン層4と第1
アルミニウム層5の一部4a,5aで入力接点層7に接続
し、また他方のCMOS6Bには多結晶シリコン層4と第1ア
ルミニウム層5の他の一部4b,5bで出力接点層8に接続
している。これら入力接点層7及び出力接点層8は前記
第1アルミニウム配線5と同時に形成した第1アルミニ
ウム配線からなり、前記各MOSトランジスタ列2,3の両側
においてMOSトランジスタ列2,3の幅方向に延設し、その
長さはセル領域の略全幅に至るように設定している。
In addition, one of the CMOSs 6A has the polycrystalline silicon layer 4 and the first
Portions 4a and 5a of the aluminum layer 5 connect to the input contact layer 7, and the other CMOS 6B connects to the polycrystalline silicon layer 4 and the output contact layer 8 at other portions 4b and 5b of the first aluminum layer 5. doing. The input contact layer 7 and the output contact layer 8 are made of a first aluminum wiring formed simultaneously with the first aluminum wiring 5, and extend in the width direction of the MOS transistor rows 2 and 3 on both sides of each of the MOS transistor rows 2 and 3. The length is set so as to reach substantially the entire width of the cell region.

このように構成したセルにおいて、図外の絶縁膜上に
配設する第2アルミニウム層10は、図示のようにセル領
域上でMOSトランジスタ列2,3の長さ方向に向けて、つま
り前記入力接点層7及び出力接点層8と直交する方向に
向けて延設している。ここでは、第2アルミニウム層10
は複数本を並行に配列しており、その一部は電源配線10
Aとして、また他の一部は接地配線10Bとして夫々配設
し、これらの配線10A,10Bの間に入力,出力に接続され
る配線列10Cを配設した構成としている。
In the cell thus configured, the second aluminum layer 10 provided on the insulating film (not shown) extends in the length direction of the MOS transistor rows 2 and 3 on the cell region as shown in FIG. It extends in a direction orthogonal to the contact layer 7 and the output contact layer 8. Here, the second aluminum layer 10
Are arranged in parallel, some of which are
A and another part are provided as ground wirings 10B, respectively, and a wiring row 10C connected to input and output is provided between these wirings 10A and 10B.

そして、電源配線10Aは電源コンタクト11により前記
PチャネルMOSトランジスタ列2に接続し、接地配線10B
は接地コンタクト12により前記NチャネルMOSトランジ
スタ列3に接続している。また、入力,出力の配線列10
Cは、前記入力接点層7と出力接点層8と交差する箇所
の中、任意の交差位置に入力コンタクト13及び出力コン
タクト14を配設して夫々の接続を行っている。
The power supply line 10A is connected to the P-channel MOS transistor row 2 by the power supply contact 11, and is connected to the ground wiring 10B.
Are connected to the N-channel MOS transistor row 3 by a ground contact 12. Also, input and output wiring arrays 10
In C, an input contact 13 and an output contact 14 are arranged at arbitrary intersections among the intersections of the input contact layer 7 and the output contact layer 8, and the respective connections are made.

したがって、この構成によれば、入力,出力の配線列
10Cに設ける入力コンタクト13及び出力コンタクト14
は、夫々入力接点層7や出力接点層8の長さ方向の任意
の位置に設定できる。このため、セルのレイアウトや他
の配線レイアウト等によってコンタクトの配設位置に制
約を受ける場合でも、セル領域内の比較的に自由な位置
にコンタクトを配設できる。
Therefore, according to this configuration, the input and output wiring columns
Input contact 13 and output contact 14 provided at 10C
Can be set at arbitrary positions in the length direction of the input contact layer 7 and the output contact layer 8, respectively. For this reason, even when the arrangement position of the contact is restricted by the cell layout or another wiring layout, the contact can be arranged at a relatively free position in the cell region.

これにより第1導電層と第2導電層との接続をセル領
域外において行う必要はなく、そのためのスペースを確
保する必要はない。したがって、この分のスペースの低
減を達成でき、セル集積密度の向上及びチップ面積の縮
小を実現できる。
Thus, there is no need to make a connection between the first conductive layer and the second conductive layer outside the cell region, and it is not necessary to secure a space therefor. Therefore, the space can be reduced by this amount, and the cell integration density and the chip area can be reduced.

ここで前記実施例はスタンダードセルの一例を示した
ものにすぎず、他の種々の構成のセルにおいても同様に
適用できる。
Here, the above embodiment is merely an example of a standard cell, and can be similarly applied to cells having other various configurations.

また、前例では第1導電層と第2導電層を夫々アルミ
ニウム層で構成した場合を説明したが、夫々が多結晶シ
リコン層の場合、一方が多結晶シリコン層で他方がアル
ミニウム層の場合、更には一方或いは両者がポリサイド
層や高融点金属層の場合等、種々の組み合わせによる構
成も可能である。
Further, in the previous example, the case where the first conductive layer and the second conductive layer are each formed of an aluminum layer has been described. However, when each is a polycrystalline silicon layer, one is a polycrystalline silicon layer and the other is an aluminum layer. It is also possible to use various combinations such as when one or both are a polycide layer or a high melting point metal layer.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明は、スタンダードセル領域
の略全幅方向に亘って第1導電層を延設し、第2導電層
はこの第1導電層と直交する方向に延設し、両導電層が
交差する任意の位置にコンタクト部を配設する構成とし
ているので、コンタクト部をセル領域内に配置でき、コ
ンタクトのための特別のスペースを必要としないので、
この分面積を低減してセル集積密度の向上を図り、かつ
チップ面積の縮小を達成できる。
As described above, according to the present invention, the first conductive layer extends in substantially the entire width direction of the standard cell region, and the second conductive layer extends in a direction orthogonal to the first conductive layer. Since the contact portion is arranged at an arbitrary position where the crossing is made, the contact portion can be arranged in the cell region, and no special space is required for the contact,
This area can be reduced to improve the cell integration density and reduce the chip area.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図は本発明の一実施例を示す平面レイアウト図である。 1……半導体基板、2……PチャネルMOSトランジスタ
列、2A,2B……PチャネルMOSトランジスタ、3……Nチ
ャネルMOSトランジスタ列、3A,3B……NチャネルMOSト
ランジスタ、4……多結晶シリコン層、5……アルミニ
ウム層、6A,6B……CMOS、7……入力接点層(第1アル
ミニウム層)、8……出力接点層(第1アルミニウム
層)、10……第2アルミニウム層、11……電源コンタク
ト、12……接地コンタクト、13……入力コンタクト、14
……出力コンタクト。
FIG. 1 is a plan layout diagram showing one embodiment of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Semiconductor substrate, 2 ... P-channel MOS transistor row, 2A, 2B ... P-channel MOS transistor, 3 ... N-channel MOS transistor row, 3A, 3B ... N-channel MOS transistor, 4 ... Polycrystalline silicon Layer 5, aluminum layer, 6A, 6B CMOS, 7 input contact layer (first aluminum layer), 8 output contact layer (first aluminum layer), 10 second aluminum layer, 11 …… Power contact, 12 …… Ground contact, 13 …… Input contact, 14
...... Output contact.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】所要の素子と導電層とでセルを構成してな
る半導体集積回路スタンダードセルにおいて、このスタ
ンダードセル領域の略全幅方向に亘って入力、出力の各
接点層としての第1導電層をそれぞれ延設するととも
に、これらの第1導電層とは絶縁分離された多数本の第
2導電層を前記第1導電層と直交する方向に並行に延設
し、これらの第2導電層の中から任意のものを入力、出
力の各配線として選択し、前記セル領域内において、前
記第1導電層と、選択された第2導電層とが交差するそ
れぞれの位置にコンタクト部を配設したことを特徴とす
る半導体集積回路スタンダードセル。
1. A semiconductor integrated circuit standard cell comprising a required element and a conductive layer, wherein a first conductive layer as each of input and output contact layers is provided over substantially the entire width direction of the standard cell region. And a plurality of second conductive layers that are insulated and separated from these first conductive layers are extended in parallel in a direction orthogonal to the first conductive layers. Arbitrary ones are selected as input and output wirings from among them, and contact portions are arranged at respective positions where the first conductive layer and the selected second conductive layer intersect in the cell region. A standard cell for a semiconductor integrated circuit, characterized in that:
【請求項2】第1導電層及び第2導電層が、アルミニウ
ム層、多結晶シリコン層、ポリサイド層及び高融点金属
層のいずれかである特許請求の範囲第1項記載の半導体
集積回路スタンダードセル。
2. The semiconductor integrated circuit standard cell according to claim 1, wherein the first conductive layer and the second conductive layer are any one of an aluminum layer, a polycrystalline silicon layer, a polycide layer, and a refractory metal layer. .
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