JP2631669B2 - 液検知方法及び液検知センサー - Google Patents
液検知方法及び液検知センサーInfo
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- JP2631669B2 JP2631669B2 JP62282208A JP28220887A JP2631669B2 JP 2631669 B2 JP2631669 B2 JP 2631669B2 JP 62282208 A JP62282208 A JP 62282208A JP 28220887 A JP28220887 A JP 28220887A JP 2631669 B2 JP2631669 B2 JP 2631669B2
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- Japan
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- electrodes
- hydrogen peroxide
- liquid detection
- insulator
- sensor
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は過酸化水素水溶液，特に非導電体である高純
度化された過酸化水素水溶液を絶縁体内に二個の電極を
有するセンサーにて、電気的に検知すると共に着色にて
液漏れ箇所を検知する方法に関する。
度化された過酸化水素水溶液を絶縁体内に二個の電極を
有するセンサーにて、電気的に検知すると共に着色にて
液漏れ箇所を検知する方法に関する。
＜従来の技術＞ 従来、槽類，液体輸送用配管及び配管の接合部からの
液体の漏れを早期に発見し、人体及び周囲への危険を防
止する方法として、絶縁体である繊維状のテープ等に二
個の電極を組み込んだ液検知センサーが知られている。
これらの液検知センサーは検知する液の導電姓を利用し
て、二個の電極間を導通させることにより液の漏れを検
知する方法である。この導電性を有する液にしか利用で
きないという欠点を改良する方法として、無機塩を用い
て絶縁体である繊維状のテープ等を処理する方法が提案
されている（特開昭56−106130号公報）。しかし、この
方法では液体輸送配管の接合部が多岐にわたる場合な
ど、漏れ箇所を視覚により素早く検知すること、及び漏
れ量を知ることが難しいという欠点があった。
液体の漏れを早期に発見し、人体及び周囲への危険を防
止する方法として、絶縁体である繊維状のテープ等に二
個の電極を組み込んだ液検知センサーが知られている。
これらの液検知センサーは検知する液の導電姓を利用し
て、二個の電極間を導通させることにより液の漏れを検
知する方法である。この導電性を有する液にしか利用で
きないという欠点を改良する方法として、無機塩を用い
て絶縁体である繊維状のテープ等を処理する方法が提案
されている（特開昭56−106130号公報）。しかし、この
方法では液体輸送配管の接合部が多岐にわたる場合な
ど、漏れ箇所を視覚により素早く検知すること、及び漏
れ量を知ることが難しいという欠点があった。
＜発明が解決しようとする問題点＞ 本発明者らは前記欠点を解決すべく鋭意研究の結果、
従来の絶縁体である繊維状のテープ等に二個の電極を組
み込んだ液検知センサーを用いて、絶縁体部分を特定の
化合物にて処理することにより、高純度化された過酸化
水素水溶液であっても液漏れを電気的に検知することが
できることに加え、無色から褐色に変化する性質を利用
し、視覚により液漏れ箇所及び漏れ量を検知することが
出来ることを見出し、本発明を完成するに至った。
従来の絶縁体である繊維状のテープ等に二個の電極を組
み込んだ液検知センサーを用いて、絶縁体部分を特定の
化合物にて処理することにより、高純度化された過酸化
水素水溶液であっても液漏れを電気的に検知することが
できることに加え、無色から褐色に変化する性質を利用
し、視覚により液漏れ箇所及び漏れ量を検知することが
出来ることを見出し、本発明を完成するに至った。
＜問題点を解決するための手段＞ すなわち本発明によれば、Ti（SO4）２にて処理され
た絶縁体内に二個の電極を用意し、当該二個の電極間に
過酸化水素溶液が接触した時に前記二個の電極間が導通
したことによって液検知を行うことを特徴とする液検知
方法、Ti（SO4）２にて処理された絶縁体内に二個の電
極を有し、当該二個の電極間に過酸化水素溶液が接触し
た時に前記二個の電極間が導通したことと共に前記絶縁
体の着色を検知して過酸化水素溶液の検知を行うことを
特徴とする液検知方法、及びTi（SO4）２にて処理され
た絶縁体内に二個の電極を有し、当該二個の電極間の導
通によって過酸化水素溶液の検知を電気的に行うことを
特徴とする液検知センサーが提供される。
た絶縁体内に二個の電極を用意し、当該二個の電極間に
過酸化水素溶液が接触した時に前記二個の電極間が導通
したことによって液検知を行うことを特徴とする液検知
方法、Ti（SO4）２にて処理された絶縁体内に二個の電
極を有し、当該二個の電極間に過酸化水素溶液が接触し
た時に前記二個の電極間が導通したことと共に前記絶縁
体の着色を検知して過酸化水素溶液の検知を行うことを
特徴とする液検知方法、及びTi（SO4）２にて処理され
た絶縁体内に二個の電極を有し、当該二個の電極間の導
通によって過酸化水素溶液の検知を電気的に行うことを
特徴とする液検知センサーが提供される。
高純度化された過酸化水素水溶液は、今日、半導体製
造用等に用いられ、ウェハ汚染等を避けるために金属及
び金属イオンを除去したものである。これらの金属イオ
ンを殆ど含まない過酸化水素水溶液は、非導電体である
ために、従来の絶縁体である繊維状のテープ等に二個の
電極を組み込んだ液検知センサーを用いて、電気的に検
知することが出来ないし、過酸化水素水溶液は無色透明
であるため液漏れ箇所及び漏れ量を検知することが容易
に行えない。しかし、本発明により絶縁体部分をTi（SO
4）２にて処理することにより、電気的に液漏れを検知
することが出来、絶縁体部分に接触，含浸した過酸化水
素水溶液はTi（SO4）２と反応し、無色から褐色に変化
することで、視覚により液漏れ箇所及び漏れ量を容易に
検知することが出来る。高純度化された過酸化水素水溶
液は、金属及び金属イオン含有量が20ppm以下であり、
金属及び金属イオンとして、NA,K,Mg,Ca,Fe,Cu,Al,Sn,M
n,Pb,Ag,Cd等が挙げられるが、特に、金属及び金属イオ
ンが限定されるものではない。過酸化水素水溶液の濃度
は、通常工業的に製造され，使用されるものであって、
限定されるものではない。
造用等に用いられ、ウェハ汚染等を避けるために金属及
び金属イオンを除去したものである。これらの金属イオ
ンを殆ど含まない過酸化水素水溶液は、非導電体である
ために、従来の絶縁体である繊維状のテープ等に二個の
電極を組み込んだ液検知センサーを用いて、電気的に検
知することが出来ないし、過酸化水素水溶液は無色透明
であるため液漏れ箇所及び漏れ量を検知することが容易
に行えない。しかし、本発明により絶縁体部分をTi（SO
4）２にて処理することにより、電気的に液漏れを検知
することが出来、絶縁体部分に接触，含浸した過酸化水
素水溶液はTi（SO4）２と反応し、無色から褐色に変化
することで、視覚により液漏れ箇所及び漏れ量を容易に
検知することが出来る。高純度化された過酸化水素水溶
液は、金属及び金属イオン含有量が20ppm以下であり、
金属及び金属イオンとして、NA,K,Mg,Ca,Fe,Cu,Al,Sn,M
n,Pb,Ag,Cd等が挙げられるが、特に、金属及び金属イオ
ンが限定されるものではない。過酸化水素水溶液の濃度
は、通常工業的に製造され，使用されるものであって、
限定されるものではない。
本発明において、絶縁体部分をTi（SO4）２にて処理
する方法しては、例えば絶縁体部分をTi（SO4）２の水
溶液を用いて含浸せしめた後、オーブンを用いた加熱乾
燥，真空乾燥機をを用いた減圧乾燥等により乾燥する方
法が挙げられる。処理に用いるTi（SO4）２水溶液の濃
度は、特に限定されるものではないが、通常は１〜10％
程度である。Ti（SO4）２の水溶液を用いて処理した後
の乾燥は、余分な水分を除去する条件を選べばよく、加
熱乾燥の場合には、絶縁体部分を溶融，変形させない温
度で行なう必要があり、100℃以下で行なうことが好ま
しい。これらの処理によって、液検知センサーの二個の
電極間を絶縁し、正常な状況にする。
する方法しては、例えば絶縁体部分をTi（SO4）２の水
溶液を用いて含浸せしめた後、オーブンを用いた加熱乾
燥，真空乾燥機をを用いた減圧乾燥等により乾燥する方
法が挙げられる。処理に用いるTi（SO4）２水溶液の濃
度は、特に限定されるものではないが、通常は１〜10％
程度である。Ti（SO4）２の水溶液を用いて処理した後
の乾燥は、余分な水分を除去する条件を選べばよく、加
熱乾燥の場合には、絶縁体部分を溶融，変形させない温
度で行なう必要があり、100℃以下で行なうことが好ま
しい。これらの処理によって、液検知センサーの二個の
電極間を絶縁し、正常な状況にする。
液検知センサーの絶縁体部分を形成する繊維は、ポリ
アミド，ポリエステル，ポリビニルアルコール等の化学
繊維、綿，絹，石綿等の天然繊維が用いられる。
アミド，ポリエステル，ポリビニルアルコール等の化学
繊維、綿，絹，石綿等の天然繊維が用いられる。
本発明の方法は、高純度化された過酸化水素水溶液だ
けでなく、金属及び金属イオンを含む低純度の過酸化水
素水溶液にも適用することができる。
けでなく、金属及び金属イオンを含む低純度の過酸化水
素水溶液にも適用することができる。
＜実施例＞ 以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。
実施例 １ テープ式漏水センサー（モスレックス（株）製）を用
いて、ポリアミド繊維からなるテープ部分に２％Ti（SO
4）２の水溶液を含浸させた後、80℃のオーブン中で２
時間乾燥した。センサーの作動を確認したところ作動せ
ず、二個の電極間が導通していない。続いて金属及び金
属イオンとして、Na,K,Mg,Ca,Fe,Cu,Zn,Al,Sn,Mn,Pb,A
g,Cdの原子吸光分光光度計にて各測定値が10ppm以下の3
0％濃度の高純度化された過酸化水素水溶液をセンサー
部に数滴滴下したところ、センサーは作動し、二個の電
極間が導通していることが確認された。更に、白色のポ
リアミド繊維からなるテープ部分の過酸化水素水溶液が
接触，含浸した箇所が褐色に変色し、明らかに接触，含
浸した箇所を検知できた。
いて、ポリアミド繊維からなるテープ部分に２％Ti（SO
4）２の水溶液を含浸させた後、80℃のオーブン中で２
時間乾燥した。センサーの作動を確認したところ作動せ
ず、二個の電極間が導通していない。続いて金属及び金
属イオンとして、Na,K,Mg,Ca,Fe,Cu,Zn,Al,Sn,Mn,Pb,A
g,Cdの原子吸光分光光度計にて各測定値が10ppm以下の3
0％濃度の高純度化された過酸化水素水溶液をセンサー
部に数滴滴下したところ、センサーは作動し、二個の電
極間が導通していることが確認された。更に、白色のポ
リアミド繊維からなるテープ部分の過酸化水素水溶液が
接触，含浸した箇所が褐色に変色し、明らかに接触，含
浸した箇所を検知できた。
比較例 １ 実施例１と同様のテープ式漏水センサーを用いて、実
施例１と同様の30％濃度の高純度化された過酸化水素水
溶液をセンサー部に数滴滴下したところ、センサーは作
動せず、二個の電極間が導通していないし、白色のポリ
アミド繊維からなるテープ部分の過酸化水素水溶液が接
触，含浸した箇所は何ら色調の変化は認められなかっ
た。
施例１と同様の30％濃度の高純度化された過酸化水素水
溶液をセンサー部に数滴滴下したところ、センサーは作
動せず、二個の電極間が導通していないし、白色のポリ
アミド繊維からなるテープ部分の過酸化水素水溶液が接
触，含浸した箇所は何ら色調の変化は認められなかっ
た。
比較例 ２ 実施例１と同様のテープ式漏水センサーを用いて、ポ
リアミド繊維からなるテープ部分に、１％NaClの水溶液
を含浸させた後、80℃のオーブン中で２時間乾燥した。
センサーの作動を確認したところ作動せず、二個の電極
間が導通していない。
リアミド繊維からなるテープ部分に、１％NaClの水溶液
を含浸させた後、80℃のオーブン中で２時間乾燥した。
センサーの作動を確認したところ作動せず、二個の電極
間が導通していない。
次に、実施例１と同様の30％濃度の高純度化された過
酸化水素水溶液をセンサー部に数滴滴下したところ、セ
ンサーは作動し、二個の電極間が導通していることが確
認された。しかし、白色のポリアミド繊維からなるテー
プ部分の過酸化水素水溶液が接触，含浸した箇所は何ら
色調の変化は認められなかった。
酸化水素水溶液をセンサー部に数滴滴下したところ、セ
ンサーは作動し、二個の電極間が導通していることが確
認された。しかし、白色のポリアミド繊維からなるテー
プ部分の過酸化水素水溶液が接触，含浸した箇所は何ら
色調の変化は認められなかった。
＜発明の効果＞ かくして本発明によれば、過酸化水素水溶液、特に高
純度化された過酸化水素水溶液であっても、これを市販
の漏水センサーを用いて電気的に検知することが出来、
かつ、接触，含浸した箇所が変色し、視覚により検知す
ることが出来る。
純度化された過酸化水素水溶液であっても、これを市販
の漏水センサーを用いて電気的に検知することが出来、
かつ、接触，含浸した箇所が変色し、視覚により検知す
ることが出来る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大野 良三 神奈川県川崎市川崎区夜光１丁目２番１ 号 日本ゼオン株式会社研究開発センタ ー内 (72)発明者 神谷 重光 神奈川県川崎市川崎区夜光１丁目２番１ 号 日本ゼオン株式会社研究開発センタ ー内 (72)発明者 藤江 信夫 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 馬場 広行 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 定方 孝之 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 実開 昭59−155536（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−94272（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】Ti（SO4）２にて処理された絶縁体内に二
個の電極を用意し、当該二個の電極間に過酸化水素溶液
が接触した時に前記二個の電極間が導通したことによっ
て液検知を行うことを特徴とする液検知方法。 - 【請求項２】Ti（SO4）２にて処理された絶縁体内に二
個の電極を用意し、当該二個の電極間に過酸化水素溶液
が接触した時に前記二個の電極間が導通したことと共に
前記絶縁体の着色を検知して過酸化水素溶液の検知を行
うことを特徴とする液検知方法。 - 【請求項３】Ti（SO4）２にて処理された絶縁体内に二
個の電極を有し、当該二個の電極間の導通によって過酸
化水素溶液の検知を電気的に行うことを特徴とする液セ
ンサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62282208A JP2631669B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 液検知方法及び液検知センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62282208A JP2631669B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 液検知方法及び液検知センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01124754A JPH01124754A (ja) | 1989-05-17 |
| JP2631669B2 true JP2631669B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=17649473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62282208A Expired - Lifetime JP2631669B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 液検知方法及び液検知センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2631669B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5400818A (en) * | 1991-06-18 | 1995-03-28 | Minntech Corporation | Sensor for peracetic acid-hydrogen peroxide solution |
| JP6571716B2 (ja) * | 2017-06-15 | 2019-09-04 | ファナック株式会社 | 評価用プログラム、情報記憶媒体、評価方法、及び制御装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5194272U (ja) * | 1975-01-27 | 1976-07-28 | ||
| JPS59155536U (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-18 | タツタ電線株式会社 | 漏液検知線 |
-
1987
- 1987-11-10 JP JP62282208A patent/JP2631669B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01124754A (ja) | 1989-05-17 |
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