JP2625599B2

JP2625599B2 - 光コネクタの端面検査装置

Info

Publication number: JP2625599B2
Application number: JP3305676A
Authority: JP
Inventors: 寛柴野
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 1991-10-25
Filing date: 1991-10-25
Publication date: 1997-07-02
Anticipated expiration: 2012-07-02
Also published as: JPH05118831A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ同士を接続
する際に使用される光コネクタの端面形状を検査する装
置に関する。更に詳述すると、本発明は、光ファイバと
これを中心に保持したフェルールとで構成される光コネ
クタの球面加工された先端面の曲率半径と光ファイバに
対する凸球面の偏心量を測定する光コネクタの端面検査
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ファイバとこれを保持したフェルール
の先端面を凸球面に加工した光コネクタはコネクタ接続
点での反射光の軽減と接続損失の低減が可能である。し
かし、両者のうちの接続損失の低減を確実なものにする
ためにはフェルール中心の光ファイバに対する凸球面の
偏心量を小さくすることが重要である。そこで、偏心量
を正確に測定し評価する装置が必要となる。また、フェ
ルール先端面の凸球面が規格を満す曲率半径にあるか否
かを検出し評価する装置も必要となる。

【０００３】従来、光コネクタの端面の偏心量の評価を
行う方法としては、フェルール端面にオプチカルフラッ
トまたはガラス板を押し当てて干渉縞を発生させ評価す
る方法がある（特開昭62-106337 号）。この端面検査装
置は、図６に示すように、フェルール１０１の先端面１
０２に光ファイバ１０３と直角に配置したガラス板１０
４を押し当て、ガラス板１０４と接触する点Ｂを中心に
発生するニュートンリングの中心即ち凸球面１０２の中
心とフェルール１０１の中心Ａとの偏心量Ｅを求めるよ
うにしている。

【０００４】また、球面フェルールの先端面の曲率半径
を測定する方法としては、従来、触針式の粗さ計または
形状測定器で頂点の断面プロフィールを描かせそれから
計算によって求めることが一般的であった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フェル
ール１０１の先端面にガラス板１０４を押し当ててニュ
ートンリング１０５を発生させているため、フェルール
１０１の中心Ａにある光ファイバ１０３の端面が傷付け
られる虞がある。特開昭62-106337 号公報に開示されて
いる図面ではフェルール１０１の先端面１０２を誇張し
て描いているため光ファイバ１０３の端面からガラス板
１０４が離れているが、光コネクタの製造はフェルール
１０１に対する光ファイバ１０３の偏心量がせいぜい数
十μｍ以内に収まるように管理されていることから、光
ファイバ１０３の先端面がガラス板１０４に当接しない
ことはない。また、ガラス板１０４が汚れていたりある
いは傷ついている場合、測定に必要な充分鮮明な干渉縞
画像が得られない。このため、参照面たるガラス板１０
４のクリーニングが頻繁に必要となるし、傷のついたガ
ラス板１０４は定期的に交換することが必要となる。ま
た、ガラス板１０４とフェルール先端面１０２との接触
点Ｂを中心にニュートンリング１０５が発生するため、
ガラス板１０４の押し付け方一つで偏心量Ｅが見かけ上
変わってしまい、実際のフェルール先端面１０２即ち凸
球面の中心Ｂからずれてしまうことがある。

【０００６】しかも、図６の装置は偏心量Ｅだけしか測
定できないため、先端面１０２の曲率半径Ｒを求めるに
は他の曲率半径測定を併せて行わなければならないた
め、検査工程が重複して必要となる。

【０００７】加えて、従来の曲率半径の測定方法では触
針でフェルール先端面１０２を傷付ける虞がある。ま
た、測定に時間がかかったりあるいは計算点が限定され
測定結果の信頼度が低くなる等の問題があった。また、
別の用途を持った非常に大掛りのレーザ干渉原理を用い
てそのレーザ干渉計の一部の機能として球面の曲率半径
を計算させる方法も考えられるが、あまりにも設備コス
トが高価になるため現実的ではない。

【０００８】本発明は、参照面の汚れによって凸球面を
傷付けたりそれを防ぐために定期的に頻繁に交換する必
要がない光コネクタの端面検査装置を提供することを目
的とする。また、本発明は、一度の測定によって得られ
た画像情報から必要に応じて偏心量と球面の曲率半径と
のいずれか一方あるいは双方を同時に測定することがで
きる光コネクタの端面検査装置を提供することを目的と
する。

【０００９】

【００１０】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明の端面検査装置は、光コネクタの測定対象面
に対し参照面を離した位置に設ける干渉対物レンズを含
む結像光学系と前記干渉対物レンズを通して前記光コネ
クタの先端面に形成されるニュートンリング及び光ファ
イバの画像を画像情報として取込む撮像手段と、この画
像情報を解析し干渉縞を判別する干渉縞判別手段と、ニ
ュートンリング中心を算出するリング中心検出手段と、
前記光ファイバの中心に対する前記リング中心との偏心
量を求める偏心量検出手段とから構成されている。

【００１１】また、本発明の端面検査装置は、光コネク
タの測定対象面に対し参照面を離した位置に設ける干渉
対物レンズを含む結像光学系と、前記干渉対物レンズを
通して前記光コネクタの先端面に形成されるニュートン
リング及び光ファイバの画像を画像情報として取込む撮
像手段と、この画像情報を解析し干渉縞を判別する干渉
縞判別手段と、各ニュートンリングの直径を求めるリン
グ直径検出手段と、前記ニュートンリングの直径から前
記凸球面の曲率半径を求める曲率半径検出手段とから構
成されている。

【００１２】また、本発明の端面検査装置は、光コネク
タの測定対象面に対し参照面を離した位置に設ける干渉
対物レンズを含む結像光学系と前記干渉対物レンズを通
して前記光コネクタの先端面に形成されるニュートンリ
ング及び光ファイバの画像を画像情報として取込む撮像
手段と、この画像情報を解析し干渉縞を判別する干渉縞
判別手段と、各ニュートンリングの直径を求めるリング
直径検出手段と、ニュートンリング中心を算出するリン
グ中心検出手段と、前記光ファイバの中心に対する前記
リング中心との偏心量を求める偏心量検出手段及び前記
ニュートンリングの直径から前記凸球面の曲率半径を求
める曲率半径検出手段とから構成されている。

【００１３】

【作用】したがって、干渉対物レンズによって非接触の
測定対象面即ち光コネクタの端面と参照面との間で発生
するニュートンリングと光ファイバーとを撮像して画像
情報として同時に取込む。そして、この画像情報は、光
ファイバーとニュートンリングとが同じＸＹ座標上にと
り込まれているため、これを利用して両者間の距離即ち
偏心量Ｅ及び凸球面の曲率半径Ｒを求めることができ
る。例えば、請求項１に示す発明のように、個々の干渉
縞を判別すると共に同一リングに属する干渉縞同士を組
合せてリングの直径を求めることによってニュートンリ
ングの中心を算出する。そこで、画像情報として同じＸ
Ｙ座標に同時に入力される光ファイバの中心に対するニ
ュートンリングの中心の偏心量Ｅを算出する。また、請
求項２に示す発明のように、ニュートンリングの直径と
干渉光の波長から凸球面の曲率半径Ｒを求める。更に、
偏心量Ｅと曲率半径Ｒとは請求項３の発明では、一度の
測定によって同時に測定される。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。

【００１５】図１に本発明に係る光コネクタの端面検査
装置の一実施例をブロック図で示す。この光コネクタ１
の端面検査装置は、測定対象面即ち光コネクタ１の端面
（凸球面）に対し参照面９を離して非接触に配置した干
渉対物レンズ５を用いた結像光学系１０例えば顕微鏡に
よってニュートンリング２８を発生させ観察するように
している。干渉対物レンズ５は、主に対物レンズ６とビ
ームスプリッタ７及び参照面９を形成する参照ミラー８
とから構成され、測定対象面２に対し非接触となる位置
例えば測定対象面２と参照面９とがビームスプリッタ７
からほぼ等距離でかつ測定対象面２のフェルール４の中
心の光ファイバ３を通る中心軸に対し中心線が直交し即
ち光ファイバ３の軸と平行に参照面９が形成されるよう
な位置に参照ミラー８が設置されている。この参照面９
と測定対象面２との間に設けられたビームスプリッタ７
によって、光の一部が測定対象面２に、残りの一部が参
照面９に夫々照射され、それぞれの反射光の光路差によ
って干渉を起こしニュートンリング２８を発生させる。
参照面９はビームスプリッタ７から測定対象面２までの
距離とほぼ同じ距離でかつ光ファイバ３の中心を通る中
心軸に対し直交させるように配置しなければならないた
め、例えば図示していない微調整ねじ等にて参照ミラー
８の傾き及び前後方向への位置調節が行な得るように設
けられている。また、顕微鏡１０の結像部分には撮像手
段１５としてのＣＣＤ（charge coupled device)カメラ
を設置してニュートンリング２８及び光ファイバ３を撮
像するようにしている。尚、画像入力は撮像手段たるＣ
ＣＤカメラ１５の各画素毎にＡ／Ｄ変換をし、干渉縞を
所望の階調例えば１６階調の濃淡画像に変換する。

【００１６】他方、顕微鏡対物部には、光コネクタ１を
顕微鏡１０に取付け、測定対象面２を一定位置にセット
するための支持部材が設けられている。この支持部材
は、例えば図２に示すように、フェルール４の外周面と
接触するＶ溝１７を有する固定ブロック１８とこれにフ
ェルール４を押しつける可動ブロック１９とから成る。
可動ブロックは、固定ブロック１８に対し固着されたス
トッパピン１９ａをガイドとして、固定ブロック１８に
対し接近ないし離反移動可能に取付けられている。この
可動ブロック１９は、ストッパピン１９ａと可動ブロッ
ク１９との間に装着されたコイルスプリング１９ｂによ
って、常時固定ブロック１８に向けて付勢され、固定ブ
ロック１８との間でフェルール４を挾持する。可動ブロ
ック１９には、偏心カム１６ｂが回転自在に取付けら
れ、ノブ１６ａの操作によって偏心カム１６ｂを回転さ
せるように設けられている。他方、固定ブロック１８に
は偏心カム１６ｂの近傍にまで延出するブラケット１６
が固着されている。このブラケット１６に可動ブロック
１９側の偏心カム１６ｂが回転して当接することによっ
て、可動ブロック１９は固定ブロック１８から離れ、フ
ェルール４を解放する。固定ブロック１８は、例えば測
定対象面３と対物レンズ６との距離を調整する顕微鏡１
０の微調整手段・上下ステージに取付けられ、上下ステ
ージ調整のつまみ１０ａの操作によって上下動し、光フ
ァイバ３を対物レンズ６に対し接近ないし離反移動させ
る。ここで、支持部材は、好ましくは、フェルール４の
全域を固定ブロック１８で支持せずに、先端側と後端側
との２点の僅かな幅で支持するように設けられている。
尚、図１において符号１１はハーフミラー、１２は集光
レンズ、１３は光源、１４は結像レンズである。

【００１７】ＣＣＤカメラ１５で得られた画像情報は画
像処理部２０に送出され、同処理部においてニュートン
リング２８を判別すると共に該リングの直径及び中心を
求めてから光ファイバ３との偏心量Ｅを求めたり測定対
象面即ちフェルール凸球面２の曲率半径Ｒを求めるよう
にしている。画像処理部２０は、撮像手段１５を介して
入力された画像データを干渉縞を判別する干渉縞判別手
段２１と、干渉縞のリング中心を算出するリング中心検
出手段２２と、光ファイバの中心に対する前記リング中
心との偏心量Ｅを求める偏心量検出手段２３と、前記干
渉縞のリング直径を求めるリング直径検出手段２４と、
直径から光コネクタの凸球面の曲率半径Ｒを求める曲率
半径算出部２５とから成り、公知のコンピュータとこれ
を制御するプログラムソフトとによって構成されてい
る。コンピュータは特に図示していないが、一般には制
御用プログラム等を記憶するＲＯＭと、画像データや光
ファイバ位置に関する入力データなどを記憶するＲＡＭ
と、少なくとも１つのＣＰＵ（中央演算処理部）及びこ
のＣＰＵを入力装置たるキーボード２６や演算結果を出
力する表示手段たるディスプレイ２７あるいはプリンタ
等に接続するためのＩ／Ｏインターフェースから構成さ
れている。

【００１８】干渉縞判別手段２１は、画像データから明
縞若しくは暗縞をそれぞれ認識するもので、例えば図３
に示すように、ニュートンリング２８と交わる或る直線
上で画像データを走査してリング群を濃度・明暗の連続
した変化即ち波として把握し、例えば、１画素隣りの濃
度が３階調以上の差を生じた場合は干渉縞による濃度変
化と判断し、それ以下の濃度変化はノイズと判断するこ
とによって干渉縞を判別している。また、１つの干渉縞
とその隣の干渉縞との区別については干渉縞による有効
な濃度変化が１つまたはそれ以上同一方向で（例えば濃
度の増加方向で）存在し、その後有効な濃度変化がない
部分を過ぎてから逆方向の（濃度減少方向の）有効な濃
度変化が１つまたはそれ以上同一方向で存在し、続いて
更に有効な濃度変化がなくなった時に１つの干渉縞が完
結したと判断し、これにより次にあらわれた増加方向の
有効な濃度変化は隣りの干渉縞によるものと、区別して
判断していく。

【００１９】リング直径検出手段２４は、リング群のな
かの１ないし２以上のリングの直径を求めるものであ
る。また、リング中心検出手段２２はニュートンリング
２８の各々のリングの中心Ｂを求めるもので本実施例の
場合、リング群のそれぞれの直径を求めると同時にその
中心の点の座標を求めるようにしている。例えば、干渉
縞判別手段２１において同じ縞と判断された領域内にお
いて、同じ明るさの２点を選出すると共にその中央を干
渉縞の筋の中心として求め、更に同じリングに属する縞
の中心同士を組合せ、それらの間の距離を求めることに
よって各リングの直径が、また２点間の中心点を求める
ことによって各リング中心が得られる。具体的には、本
実施例では干渉縞判別手段２１において同じ縞と判断さ
れた領域内において、或る直線上での同じ明るさの２点
ｓ₁，ｔ₁を選出すると共にその中央ａ₁を干渉縞の筋
の中心として求め、更に同様にして同じリングに属する
縞の他の中心ｂ₁を求め、これら同士ａ₁，ｂ₁を多数
組合せ、それらの間の２点間距離（ａ₁・ｂ₁）の中心
点Ｑ₁，Ｑ₂，…，Ｑ_nから平均的中心Ｑを求め、更に
この中心点Ｑを通って先の直線とは直交する直線上で同
様にして同じリングに属する縞の２点の中心ｃ₁と
ｄ₁，ｃ₂とｄ₂，…，ｃ_nとｄ_nからそれら２点間の
中心点Ｂ₁，Ｂ₂，…，Ｂ_nを求めて平均化することに
よってリング中心が得られる。即ち、本実施例ではリン
グの直径を求めてからその中心点（リング中心）を求め
るようにしており、リング直径検出手段２４とリング中
心検出手段２２とは一部構成を共用している。

【００２０】偏心量検出手段２３は、光ファイバ３の中
心Ａとリング中心検出手段２２によって求められた各リ
ング中心点Ｂとの各々の偏心量Ｅを求めてからそれらの
平均値を算出するもので、ニュートンリングとともに画
像データとして取り込まれあらかじめＸＹ座標上で特定
された光ファイバの位置Ａとリング中心検出手段２１に
おいて算出された各リング中心Ｂとの差から求められ
る。

【００２１】また、曲率半径検出手段２５は、リング群
のうちの任意のリングの直径と反射光の波長とから光コ
ネクタ先端面の曲率半径Ｒを求めるものである。曲率半
径Ｒの計算は、ニュートンリング２８を発生させる光の
波長λがあらかじめわかっているため、リング半径を求
めることによって容易に求められる。例えば、１本の反
射光によるニュートンリング２８の明リングを使用する
場合には、次の数式１によって求められる。

【００２２】

【数１】（但し、ｍは中心（ｍ＝０）から何番目のリングである
かを示す。）また、ニュートンリング２８が複数本表わ
れる場合には、その中から任意の２本のリングを抽出
し、それらの相対的な半径の比較から曲率半径Ｒを求め
ることができる。即ち、波長λの光のリングは、球面上
において段差λ／２毎にあらわれるので、例えば隣り合
う２本の縞を比較するときには、数式２によって求めら
れる。

【００２３】

【数２】Ｒ＝｛（ｒ_i+1）²−（ｒ_i）²｝／λ １本縞を飛んで２本の縞を比較するときには、数式３に
よって求められる。

【００２４】

【数３】Ｒ＝｛（ｒ_i+2）²−（ｒ_i）²｝／２λ 更にｎ本離れた２本の縞を比較するときには、数式４に
よって求められる。

【００２５】

【数４】Ｒ＝｛（ｒ_i+n）²−（ｒ_i）²｝／ｎλ 尚、上述の実施例は本発明の好適な実施の一例ではある
がこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱し
ない範囲において種々変形実施可能である。例えば、干
渉対物レンズ５は図示のものに特に限定されず、同じ光
軸上に測定対象面２と平行に参照面９を設置するミロー
干渉計、あるいはハーフミラーを介して光源１３と参照
面９とを対向させるリニック干渉計でも実施可能であ
る。

【００２６】以上のように構成された本実施例の光コネ
クタの端面検査装置によると、偏心量Ｅと凸球面曲率半
径Ｒの計算は、例えば図４及び図５に示すフローチャー
トに基づいて実行される。

【００２７】まず、準備段階として光コネクタ１を結像
光学系たる顕微鏡１０の支持部材の固定ブロック１８と
可動ブロック１９との間に挾持させる。そして、上下ス
テージ調整つまみ１０ａを操作して光コネクタ１を固定
ブロック１８及び可動ブロック１９ごと光軸方向に移動
させながらニュートリング２８を発生させ、例えば、暗
い縞あるいは明るい縞が２本以上発生するように調整す
る。

【００２８】次に、ニュートンリング２８の画像を入力
する（ステップ３１）。画像入力は撮像手段たるＣＣＤ
カメラ１５の各画素毎にＡ／Ｄ変換をし、干渉縞を例え
ば１６階調の濃淡画像に変換してメモリする。次いで、
撮像画面をＸＹ座標に見たててＸＹ座標における光ファ
イバ３の中心位置Ａを入力する（ステップ３２）。例え
ば、ディスプレイを見ながらキーボード２６を操作して
光ファイバ３の中心にカーソルを合せて座標を読み取り
メモリする。更に、入力された画像データが干渉縞かど
うかの判別を行う（ステップ３３）。例えば、メモリ画
像をあらかじめ設定された或る直線上で走査し明暗の波
としてとらえる。例えば、１画素隣りの濃度が３階調以
上の差を生じた場合は干渉縞による濃度変化と判断し、
それ以下の濃度変化はノイズと判断することによって干
渉縞を判別している。また、１つの干渉縞とその隣の干
渉縞との区別については干渉縞による有効な濃度変化が
１つまたはそれ以上同一方向で（例えば濃度の増加方向
で）存在し、その後有効な濃度変化がない部分を過ぎて
から逆方向の（濃度減少方向の）有効な濃度変化が１つ
またはそれ以上同一方向で存在し、続いて更に有効な濃
度変化がなくなった時に１つの干渉縞が完結したと判断
し、これにより次にあらわれた増加方向の有効な濃度変
化は隣りの干渉縞によるものと、区別して判断してい
く。

【００２９】次に、図３に示すようにして同一リングに
属する干渉縞の組合せを求める。まず、各干渉縞の中心
ａ₁，ａ₂，…，Ｐ，ｂ₁，ｂ₂…，ｂ_nを求める（ス
テップ３４）。これは例えばステップ３３において同じ
縞と判断された領域内において同じ明るさをもった２点
ｓ ₁，ｔ₁の中心を干渉縞の中心ａ₁と定義することな
どで求まる。具体的には同じ縞の間で同じ濃淡階調の画
素を捜し、その画素の間の中央を干渉縞の中央とする。
同様にして他のニュートンリングを構成する干渉縞の各
々の中心点ａ₂，ａ₃，…，Ｐ，ｂ₁，ｂ₂，…を求め
る。次いで同じリングに属する干渉縞の組合せを求める
（ステップ３５）。図３より明らかなように、各点の座
標値より隣り合う中心点間同士の間の距離（ａ₂・
ａ₃），（ａ₁・ａ₂），（Ｐ・ａ₁），（Ｐ・
ｂ₁），（ｂ₁・ｂ₂）を求めると、（Ｐ・ａ₁）＝
（Ｐ・ｂ₁）＝最大で（Ｐ・ａ₁）＞（ａ₁・ａ₂）＞
（ａ₂・ａ₃）となることがわかる。このことからａ₁
とｂ₁が同一リング上にあると判断して組合せる。次
に、任意のリング例えば最も内側のリング間ａ₁，ｂ₁
の中心点Ｑ₁を求め、同様にしてａ₂，ｂ₂からＱ₂，
ａ₃，ｂ₃からＱ₃，…，Ｑ_nを求め、それらの座標値
の平均から平均的中心Ｑを求める（ステップ３６）。た
だし、ＱはＰと重なることもあるが常に一致するとは限
らない。このときＱを通りステップ３３での走査方向と
直角をなす直線は平均的にリング群の中心を横切る位置
にあると見なせる。そこで、Ｑを通りステップ３３での
走査方向と直角をなす方向で再びニュートンリング２８
を走査する（ステップ３７）。そして、ステップ３４〜
３６と同様にして、各干渉縞の中心（即ち波の山又は谷
の中心）ｃ₁，ｃ₂，…，Ｂ₀，ｄ₁，ｄ₂，…，ｄ_n
を求め（ステップ３８）、同一リング上にある中心点ｃ
₁とｄ₁、ｃ₂とｄ₂、…，Ｃ_nとｄ_nの組合せを行い
（ステップ３９）、同一リング上の干渉縞の中心の間の
距離（ｃ₁・ｄ₁），（ｃ₂・ｄ₂），…，（Ｃ_n・ｄ
_n）を求める（ステップ４０）。このとき、走査する直
線はステップ３３〜３６で求められた点Ｑ即ちニュート
ンリング２８と交わる弦の中心を通りかつ弦と直交して
いるためリング群の中心を横切っていることから、各々
の明リングの直径を求めたことになる。

【００３０】次いで、偏心量Ｅ及び凸球面の曲率半径Ｒ
の計算を行う。偏心量Ｅの計算はステップ３７〜４０で
求められた同一リング上の干渉縞の中心点ｃ₁とｄ₁の
中央点（即ちリング中心）Ｂ₁，ｃ₂とｄ₂の中央点Ｂ
₂，…，ｃ_nとｄ_nの中央点Ｂ_nのＸＹ座標上における
各々の座標を求める（ステップ４１）。次に各中央点Ｂ
₁，Ｂ₂，…，Ｂ_nとファイバ中心位置Ａとの距離
Ｅ₁，Ｅ₂，…，Ｅ_nを各々計算する（ステップ４
２）。そして、各リングごとの光ファイバ中心Ａとの間
の距離Ｅ₁，Ｅ₂，…，Ｅ_nを平均して光ファイバ中心
Ａとニュートンリング２８の平均された中心即ち凸球面
の中心Ｂとの偏心量Ｅを求める（ステップ４３）。ステ
ップ４３で求められた偏心量Ｅをディスプレイに表示す
る（ステップ４４）。

【００３１】また、凸球面２の曲率半径Ｒの計算は、ニ
ュートンリング２８を発生させる光の波長λがあらかじ
めわかっているため、リング半径を求めることによって
求められる。ステップ４０で求められた中心点間距離
（ｃ₁・ｄ₁），（ｃ₂・ｄ₂），…，（ｃ_n・ｄ_n）
即ち各リングの直径を２分して各リングの半径を求める
（ステップ４５）。そして、各リング半径の値から任意
の２本の半径を用いて曲率半径Ｒを計算する（ステップ
４６）。この場合、隣り合う任意の２本の明縞を抽出
し、数式５によるそれらの相対的な半径の比較から曲率
半径Ｒを求める。

【００３２】

【数５】Ｒ＝｛（ｒ_i+1）²−（ｒ_i）²｝／λ 次にステップ４６で求められた曲率半径Ｒをディスプレ
イに表示する（ステップ４７）。そして、リターン（ス
テップ４８）で終了する。

【００３３】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の光コネクタの端面検査装置は干渉対物レンズによって
非接触の測定対象面即ち光コネクタの端面と参照面との
間で発生するニュートンリングと光ファイバーとを撮像
して画像情報として同時に取込むようにしたので、参照
面が測定対象面から離れファイバ端面を損傷することな
く偏心量Ｅと曲率半径Ｒを求めることができる。しか
も、測定対象面の汚れが参照面に付着して頻繁に参照面
のクリーニングを必要としたり参照面の定期的交換が必
要となるようなことがない。

【００３４】また、本発明の端面検査装置によると、光
ファイバとニュートンリングとが同じＸＹ座標上にとり
込まれた画像情報を得、これを利用して偏心量Ｅと曲率
半径Ｒとを求めるようにしているので、１度の測定で偏
心量と曲率半径とを同時に測定することができ測定工程
が簡略化できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光コネクタの端面検査装置の一実施例
を示すシステム構成図である。

【図２】図１のシステム構成における顕微鏡対物部の概
略説明図で、（Ａ）は干渉対物レンズを、（Ｂ）は支持
部材を示す。

【図３】ニュートンリングの直径及び中心を求める方法
の説明図である。

【図４】本発明の光コネクタの端面検査装置のフローチ
ャートの一部である。

【図５】本発明の光コネクタの端面検査装置のフローチ
ャートの続きである。

【図６】従来の光コネクタの端面検査装置の検査方法を
示す概略図で、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は平面図であ
る。

【符号の説明】

１光コネクタ２測定対象面３光ファイバ４フェルール５干渉対物レンズ９参照面１０結像光学系１５撮像手段１８フェルールを支持する固定ブロック１９フェルールを支持する可動ブロック２１干渉縞判別手段２２リング中心検出手段２３偏心量検出手段２４リング直径検出手段２５曲率半径検出手段２８ニュートンリング

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】フェルールの中心に光ファイバを貫通さ
せて固定し、それらの端面を凸球面に加工した光コネク
タの端面形状を検査する装置において、前記光コネクタ
の測定対象面に対し参照面を離した位置に設ける干渉対
物レンズを含む結像光学系と前記干渉対物レンズを通し
て前記光コネクタの先端面に形成されるニュートンリン
グ及び光ファイバの画像を画像情報として取込む撮像手
段と、この画像情報を解析し干渉縞を判別する干渉縞判
別手段と、ニュートンリング中心を算出するリング中心
検出手段と、前記光ファイバの中心に対する前記リング
中心との偏心量を求める偏心量検出手段とから成ること
を特徴とする光コネクタの端面検査装置。
【請求項２】フェルールの中心に光ファイバを貫通さ
せて固定し、それらの端面を凸球面に加工した光コネク
タの端面形状を検査する装置において、前記光コネクタ
の測定対象面に対し参照面を離した位置に設ける干渉対
物レンズを含む結像光学系と、前記干渉対物レンズを通
して前記光コネクタの先端面に形成されるニュートンリ
ング及び光ファイバの画像を画像情報として取込む撮像
手段と、この画像情報を解析し干渉縞を判別する干渉縞
判別手段と、各ニュートンリングの直径を求めるリング
直径検出手段と、前記ニュートンリングの直径から前記
凸球面の曲率半径を求める曲率半径検出手段とから成る
ことを特徴とする光コネクタの端面検査装置。
【請求項３】フェルールの中心に光ファイバを貫通さ
せて固定し、それらの端面を凸球面に加工した光コネク
タの端面形状を検査する装置において、前記光コネクタ
の測定対象面に対し参照面を離した位置に設ける干渉対
物レンズを含む結像光学系と前記干渉対物レンズを通し
て前記光コネクタの先端面に形成されるニュートンリン
グ及び光ファイバの画像を画像情報として取込む撮像手
段と、この画像情報を解析し干渉縞を判別する干渉縞判
別手段と、各ニュートンリングの直径を求めるリング直
径検出手段と、ニュートンリング中心を算出するリング
中心検出手段と、前記光ファイバの中心に対する前記リ
ング中心との偏心量を求める偏心量検出手段及び前記ニ
ュートンリングの直径から前記凸球面の曲率半径を求め
る曲率半径検出手段とから成ることを特徴とする光コネ
クタの端面検査装置。