JP3946586B2 - 縞画像の円形領域抽出方法 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被観察領域内に円形の解析対象領域を有してなる被検体の、表面形状や内部屈折率などの位相情報を担持した縞画像が取り込まれた座標系上において、この座標系上で上記解析対象領域を表す円形画像領域を抽出するための縞画像の円形領域抽出方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、光通信に用いられる光ファイバの研究開発が盛んに進められている。この種の光ファイバは、例えば外径10μm程度のコアと、その外周に設けた例えば外径125μm程度のクラッド層からなり、光ファイバ同士を接続するためにその接続端部にフェルールを備えたものが知られている。
【0003】
フェルールとは、光ファイバを接続するために光ファイバの端部を保持固定する、光コネクタを構成する円筒状の部品である。フェルールは、その外径の中心部に光ファイバが挿入され接着剤等で固定された後、その先端を鏡面状に研磨されており、2つのフェルールの先端面を突き合わせることによって、それぞれに保持された2つの光ファイバを接続できるように構成されている。
このフェルールの先端面は、光軸に対して直交する平面に研磨されたものや、光軸に対して斜交する平面に研磨されたものが知られているが、最近、フェルールの先端面を突き合わせる際の押圧力により先端面が弾性変形して、フェルール先端面同士の密着性を高め得るように、先端面を球面形状にするPC(phisical contact)研磨が施されたものも注目されている。
【0004】
ところで、光ファイバ接続に伴う光損失を低減するため、フェルールには高精度な種々の規格がJISにより定められており、上記PC研磨が施されたフェルールに対しては、先端面の曲率半径の寸法誤差、フェルールの球状先端面の頂点と光ファイバのコアの中心(ファイバの外形中心)との位置ずれ誤差など、6項目に及ぶμmオーダの規格が定められている。
【0005】
作製されたフェルールが、規格に適合しているかどうかを検査するために、顕微干渉計装置(「干渉顕微鏡装置」とも称される)が用いられることがある。顕微干渉計装置は、微小な被検体の表面形状や屈折率分布などの位相情報を担持した物体光と、参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察し、この干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の位相情報を得るように構成されている。
このような顕微干渉計装置を用いて、作製されたフェルールの検査を行なう場合、フェルールの被観察領域の縞画像が取り込まれた座標系上で、光ファイバの領域を表す円形画像領域を抽出することが必要となる。
【0006】
従来、このような円形画像領域を抽出する方法として、縞画像が取り込まれた座標系上において基準の大きさ(座標系における光ファイバのコア領域に対応する大きさ)のテンプレートを座標系上で少しずつ移動させながら、このテンプレートと合致した画像領域を円形画像領域と認定するものが知られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の円形領域抽出方法は、縞画像が取り込まれた全ての画像領域にわたって、テンプレートを座標系上で少しずつ移動させる必要があるために、円形画像領域の抽出に時間がかかるという問題があった。
【0008】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、所定の座標系上に取り込まれた被検体の該被観察領域の縞画像から、円形の解析対象領域を表す円形画像領域を、速やかに抽出することが可能な縞画像の円形領域抽出方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明の縞画像の円形領域抽出方法は、被観察領域内に円形の解析対象領域を有してなる被検体の該被観察領域における縞画像を所定の座標系上に取り込み、この座標系上で前記解析対象領域を表す円形画像領域を抽出する縞画像の円形領域抽出方法において、前記座標系上の各画素毎の縞強度情報を所定の縞解析法により求め、この求められた縞強度情報に基づいて、前記被観察領域における縞画像を2値化処理するための閾値を設定し、この設定された閾値に基づく前記2値化処理により、該縞画像において前記円形画像領域の縞強度レベルを有する候補領域と該円形画像領域の周囲領域の縞強度レベルを有する非候補領域とを分別する2値化処理手順を行ない、この2値化処理手順を行なった後に、前記2値化処理が施された前記座標系上において、前記円形画像領域の直径Dよりも短い所定間隔Pで互いに平行に配置された複数の直線格子を配し、この直線格子の、前記候補領域内に含まれた部分からなる線分の長さを測定し、その線分の長さが前記直径D以下の所定の適合長範囲内にあるか否かを判定して、範囲内にあると判定された場合には、その該当する線分に対して、その垂直2等分線を前記座標系上に配し、この垂直2等分線の、前記候補領域内に含まれた部分からなる径候補線分の長さを測定し、その径候補線分の長さが前記直径Dと略等しいか否かを判定して、略等しいと判定された場合には、その該当する径候補線分が含まれる画像領域を前記円形画像領域の選別候補領域とする円形画像領域選別手順を1回、もしくは前記直線格子の傾きを変えながら複数回行ない、これにより前記円形画像領域を確定して抽出することを特徴とするものである。
【0010】
上記「円形画像領域選別手順を1回、もしくは前記直線格子の傾きを変えながら複数回行ない」とは、1回の円形画像領域選別手順の実施によって円形画像領域を確定することができる場合には、その1回の実施をもって抽出手順を終了し、1回の円形画像領域選別手順の実施によっては円形画像領域を確定することができない場合には、円形画像領域を確定することができるまで、直線格子の傾きを変えながら、変える毎に円形画像領域選別手順を繰り返し行なうことが可能であることを意味する。
【0011】
前記円形画像領域選別手順により前記円形画像領域が抽出された後に、該円形画像領域に含まれる前記径候補線分の中央位置を求め、該中央位置を該円形画像領域の中心位置とする第1の中心位置特定手順を行なうようにしてもよい。
【0012】
また、前記円形画像領域選別手順により前記円形画像領域が抽出された後に、該円形画像領域の面積に基づいて該円形画像領域の重心位置を求め、この重心位置を該円形画像領域の中心位置とする第2の中心位置特定手順を行なうようにしてもよい。
【0013】
前記所定間隔Pを下式(2)の範囲に設定することができる。
【0014】
【数2】
Figure 0003946586
【0015】
前記所定の縞解析方法として、位相シフト縞解析法あるいはフーリエ変換縞解析法を用いることができる。
【0016】
また、前記縞強度情報として、モジュレーションを用いることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
<第1実施形態>
まず、図1を用いて、本発明の第1実施形態に係る縞画像の円形領域抽出方法の概要を説明する。図1は本発明の第1実施形態方法の概略手順を示すフローチャートである。
この第1実施形態方法では、位相シフト縞解析法を用いる。この位相シフト縞解析法は、干渉計装置において参照面と被検体との間隔を互いに変化させることで、物体光と参照光との光路長差を変化させ、その際の干渉縞変化(干渉縞のシフト)に基づき被検体の位相分布を求める方法であり、フリンジスキャニング縞解析法とも称される。
【0018】
まず、被観察領域内に円形の解析対象領域を有してなる被検体(例えばフェルール)に対する上記位相シフト縞解析法用の縞画像、すなわち、1つの被観察領域に対して縞模様が数段階にシフトした複数の縞画像を、所定の座標系上に取り込む(S1)。取り込まれたそれぞれの縞画像は、縞模様のシフトにより干渉縞の強度分布が互いにシフトしており、この複数の縞画像に基づき、画像の光強度やコントラストあるいは鮮明度(「可視度」とも称される)やモジュレーションの変化といった、座標系上の各画素に対応した種々の縞強度情報を得ることができる。本第1実施形態方法では、位相シフト縞解析法のアルゴリズムを用いて、座標系上の各画素毎のモジュレーションm(x,y)を求める(S2)。なお、モジュレーションを求める手順については、後述する。
【0019】
次に、モジュレーションに関する閾値を設定して、上記被観察領域の縞画像を、上記座標系上において、この閾値以上のモジュレーションを有する画像領域と、この閾値未満のモジュレーションを有する画像領域とに分別する2値化処理手順を行なう(S3)。次いで、後述する円形画像領域選別手順を用いて、この2値化処理が施された上記座標系上において、上記円形の解析対象領域を表す円形画像領域を抽出する(S4)。
【0020】
この円形画像領域の抽出が成功したか否かを判定し(S5)、成功していなければ、上記閾値を他の値に変更して、再度、上記被観察領域の縞画像を、2つの画像領域に分別する2値化処理手順を行ない(S6)、上記S4のステップに戻る。円形画像領域の抽出が成功していれば、円形画像領域の抽出作業を終了する。
なお、フェルールは光ファイバとフェルール本体との反射率が異なるので、モジュレーションを求めることにより、光ファイバの領域とその周囲の領域とを分別することが可能である。
【0021】
<円形画像領域選別手順>
次に、図2を用いて、上記円形画像領域選別手順について説明する。図2は上記円形画像領域選別手順の一例を説明するための概略図である。
図2に示すように、まず、上記2値化処理手順により2つの領域に分別された画像の座標系上において、上記円形画像領域の直径Dの1/2の間隔Pで互いに平行に配置された複数の直線格子50を配する。なお、図2では上記円形画像領域に対応する画像領域60と、対応しない画像領域70の2つの画像領域が、上記2値化処理手順によりその周囲の画像領域と分別され、上記円形画像領域の候補領域にされたと仮定する。
【0022】
次に、直線格子50の、上記画像領域60,70内に含まれた部分からなる線分61,62,71の各長さLをそれぞれ測定し、それらの長さが下式(3)で表される適合長範囲に入るか否かを判定する。
【0023】
【数3】
Figure 0003946586
【0024】
なお、上記直線格子50の間隔Pを、上記円形画像領域の直径Dの1/2に設定した場合、上記円形画像領域に対応する画像領域60内には、少なくとも1本、最大で2本の、上記直線格子50の一部分からなる線分が必ず入り、その長い方の線分の長さは、必ず上式(3)で表される適合長範囲内に入ることとなる。したがって、円形画像領域に対応する画像領域を必ず認識できると共に、長さを測定することが必要となる線分の数を少なく抑えることが可能である。
【0025】
この直線格子50の間隔Pは、円形画像領域の直径Dの1/2に限らず、直径D以下の任意の長さに設定することができる。ただし、この間隔Pを直径Dの1/2より大きくしていくと、上記円形画像領域に対応する画像領域を必ず認識できるようにするためには、上記適合長範囲を広く取らなければならず、このために、長さを測定することが必要となる線分の数も増加してしまう。逆にこの間隔Pを直径Dの1/2より小さくしていくと、上記適合長範囲は狭くすることが可能となるが、直線格子の数が増えるので、長さを測定することが必要となる線分の数は、やはり増加していく。このような状況を考慮すると、上記間隔Pは、下式(4)を満たす程度に設定すれば、長さを測定することが必要となる線分の数を抑えることができるので好ましい。
【0026】
【数4】
Figure 0003946586
【0027】
次に、上記適合長範囲内の長さの線分がある場合には、その該当線分61,71に対して、その垂直2等分線63,72をそれぞれ上記座標系上に形成し、これらの垂直2等分線63,72の、上記候補領域としての画像領域60,70内に含まれた部分からなる径候補線分64,73の長さを測定し、その径候補線分64,73の各長さが上記直径Dと略等しい(例えば、直径Dに数画素分の長さを加減した長さの範囲に入る)か否かを判定する。
【0028】
次いで、この判定により、上記直径Dと略等しいと判定される径候補線分64が存在する場合、その径候補線分64が含まれる画像領域60を上記円形画像領域の選別候補領域とする。なお、図2では、選別候補領域に該当する画像領域60が1つしか存在しないので、この画像領域60を上記円形画像領域として確定して抽出する。1回の円形画像領域選別手順によって円形画像領域を確定し得ない場合は、確定できるまで、上記直線格子の傾きを変えながら、傾きを変える毎に上記と同様の円形画像領域選別手順を繰り返し行ない、上記円形画像領域を抽出する。
【0029】
<円形画像領域の中心位置特定手順>
次に、上記円形画像領域選別手順により抽出された円形画像領域の中心位置を特定する手順について、2つの方法を説明する。
第1の中心位置特定手順は、上記円形画像領域選別手順において求められた、上記円形画像領域の直径Dと略等しいと判定された径候補線分64(図2参照)の中央位置を求め、この中央位置を円形画像領域の中心位置とするものである。なお、上記円形画像領域選別手順を複数回行ない、各回毎の径候補線分の中心位置をそれぞれ求め、その中心位置を平均化するようにしてもよい。
【0030】
第2の中心位置特定手順は、上記円形画像領域選別手順において求められた上記円形画像領域の2値画像の面積に基づいて、この円形画像領域の重心位置を求め、この重心位置を該円形画像領域の中心位置とするものである。なお、重心を求める方法は、画像処理分野において従来公知の種々の方法を用いることが可能である。
【0031】
<第2実施形態>
以下、図3を用いて、本発明の第2実施形態に係る縞画像の円形領域抽出方法の概要を説明する。図3は本発明の第2実施形態方法の概略手順を示すフローチャートである。
この第2実施形態方法では、フーリエ変換縞解析法を用いる。このフーリエ変換縞解析法は、被検体あるいは参照面に傾きを与えることにより、空間キャリア周波数を重畳させた縞画像を撮像し、この撮像された縞画像データに対して一連のフーリエ変換処理を行なって、その処理結果に基づき被検体の位相分布を求める方法である。
【0032】
まず、被観察領域内に円形の解析対象領域を有してなる被検体(例えばフェルール)に対する上記フーリエ変換縞解析法用の縞画像、すなわち、空間キャリア周波数を重畳させた縞画像を、所定の座標系上に取り込む(T1)。取り込まれた縞画像に対して、所定のフーリエ変換処理を施し、その処理結果から、座標系上の各画素に対応したモジュレーションm(x,y)を求める(T2)。なお、モジュレーションを求める手順については、後述する。
【0033】
次に、モジュレーションに関する閾値を設定して、上記被観察領域の縞画像を、上記座標系上において、この閾値以上のモジュレーションを有する画像領域と、この閾値未満のモジュレーションを有する画像領域とに分別する2値化処理手順を行なう(T3)。次いで、上述した円形画像領域選別手順を用いて、この2値化処理が施された上記座標系上において、上記円形の解析対象領域に対応する円形画像領域を抽出する(T4)。
【0034】
この円形画像領域の抽出が成功したか否かを判定し(T5)、成功していなければ、上記閾値を他の値に変更して、再度、上記被観察領域の縞画像を、2つの画像領域に分別する2値化処理手順を行ない(T6)、上記T4のステップに戻る。円形画像領域の抽出が成功していれば、円形画像領域の抽出作業を終了する。なお、円形画像領域選別手順は、上記第1実施形態において説明したものと同じである。
【0035】
<モジュレーション算出手順>
以下では、上述した位相シフト縞解析法およびフーリエ変換縞解析法における上記モジュレーションの算出手順の一例を、数式を用いて説明する。
▲1▼位相シフト縞解析法におけるモジュレーションの算出
現在よく使われる5バケット位相シフト法を例にとって説明する。まず、ピエゾ素子(以下「PZT」と略称する)等の高精度のアクチュエータを用いて、干渉計装置の参照面を5回シフトさせ各シフト段階での光強度i〜iを求める。この求められた光強度i〜iを用いて、取り込まれた縞画像の位相を表すと、下式(5)となる。
【0036】
【数5】
Figure 0003946586
【0037】
そして、5バケット位相シフト法でのモジュレーションm(x,y)は、下式(6)または(7)で求めることができる。
【0038】
【数6】
Figure 0003946586
【0039】
【数7】
Figure 0003946586
【0040】
▲2▼フーリエ変換縞解析法におけるモジュレーションの算出
空間キャリア周波数を重畳させた縞画像において得られる干渉縞画像データは、空間キャリア周波数のx方向成分、y方向成分を各々f、fとすると下式(8)により表される。
【0041】
【数8】
Figure 0003946586
【0042】
また、上式(8)を変形すると下式(9)が得られる。
【0043】
【数9】
Figure 0003946586
【0044】
なお、c(x,y)は下式(10)で表される。
【0045】
【数10】
Figure 0003946586
【0046】
上式(8)をフーリエ変換すると、下式(11)が得られる。
【0047】
【数11】
Figure 0003946586
【0048】
そして、フィルタリングにより上式(11)の第2項の成分だけを取り出し、周波数座標系上で座標(f,f)に位置するスペクトルのピークに基づき空間キャリア周波数(f,f)を抽出する。
【0049】
一方、このようにして得られたC(η−f,ζ−f)を周波数座標系上に展開し、座標(f,f)に位置するスペクトルのピークを周波数座標系上で原点に移動せしめることにより、空間キャリア周波数を除去し、この後、フーリエ逆変換を施すことによりc(x,y)を求め、下式(12)の虚部を求めることによってラッピングされた位相を求める。
【0050】
【数12】
Figure 0003946586
【0051】
そして、フーリエ変換縞解析法によるモジュレーションm(x,y)は、下式(13)で求めることができる。
【0052】
【数13】
Figure 0003946586
【0053】
<干渉計装置>
次に、図4を用いて、上記各実施形態方法を実施するための干渉計装置について説明する。図4は本発明方法を実施するための顕微干渉計装置の一部を破断して示す斜視図である。
図4に示す顕微干渉計装置1は、底板2、前板3(一部破断して図示)、後板4、隔壁板5およびカバーケース6(一部破断して図示)からなる本体筐体内に、電源部7、コントロールボックス8および干渉計本体部10を備えている。
【0054】
この干渉計本体部10は、対物レンズユニット11、ピエゾユニット12、ハーフミラー・光源ユニット13、結像レンズユニット14、ミラーボックス15およびCCDカメラユニット16を備えている。これらのうち、結像レンズユニット14、ミラーボックス15およびCCDカメラユニット16は、隔壁板5に固定された固定台17に取り付けられており、対物レンズユニット11、ピエゾユニット12およびハーフミラー・光源ユニット13は、フォーカス台18(一部破断して図示)に取り付けられている。
【0055】
このフォーカス台18は、前板3と固定台17との間において前後方向(図中の矢印FおよびB方向)に互いに平行な状態で延設された上下2本のガイド軸19A,19B(一部破断して図示)に、前後方向にスライド移動可能に支持されている。また、上記固定台17と上記フォーカス台18との間には、コイルバネ9が配されており、上記フォーカス台18は、このコイルバネ9の弾性により前方(図中の矢印F方向)に向けて付勢されている。
【0056】
また、上記前板3には、上記フォーカス台18を移動させて干渉計本体部10のフォーカス調整を行なうためのフォーカス調整ネジ20が設けられている。このフォーカス調整ネジ20は、前板3に形成された不図示のネジ孔に、自身の軸回りの回転により前後方向に移動可能に螺合するネジ軸部21と、このネジ軸部21を回転させるためのツマミ部22とを備えてなる。このネジ軸部21の先端面はフォーカス台18の前面部に設けられた半球状の凸部18aに当接している。このためフォーカス調整ネジ20は、ツマミ部22を回転させてネジ軸部21の前板3からの突出長を変えることにより、フォーカス台18をガイド軸19A,19Bに沿って前後方向に移動させることが可能となっており、これによりフォーカス調整を行なえるようになっている。
【0057】
上述したような構成を有する干渉計本体部10は、対物レンズユニット11の前方の所定位置に保持された微小な被検体(例えばフェルール)に、不図示の光源からのレーザ光を参照光と分割して照射し、被検体から反射してきた物体光を参照光と干渉させ、その干渉光を結像レンズユニット14内の結像レンズ系(不図示)を通した後、不図示のCCD上に干渉縞を結像させる。そして、得られた干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の表面形状の三次元計測や物性の測定を行なえるようになっている。また、ピエゾユニット12内のPZTを駆動させることにより、上記位相シフト縞解析法およびフーリエ変換縞解析法を行なえるようになっている。なお、干渉計本体部10としては、ミロー型やマイケルソン型、リニーク型など種々のタイプのものを用いることが可能である。
【0058】
また、上記前板3には、傾斜調整装置100が配されている。この傾斜調整装置100は、前板3に固定されたL字状の第1の基部材110と、この第1の基部材110と同様のL字状をなし、第1の基部材110に対向配置された第2の基部材120とを備えている。第2の基部材120は、支点部130を中心に第1の基部材110に対して傾動可能に支持されており、第1の傾斜調整ネジ140および第2の傾斜調整ネジ150により、支点部130から略鉛直方向に延びる軸線回りと、支点部130から略水平方向に延びる軸線回りとにそれぞれ傾動して、第1の基部材110に対する傾きを調整できるようになっている。
【0059】
この傾斜調整装置100の第2の基部材120には、クランプ装置保持具200が取り付けられている。クランプ装置保持具200は、上段部210と下段部220とそれらを繋ぐ連結部230とを有してなり、その上段部210を3個の取付ネジ240により上記第2の基部材120に固定されている。クランプ装置保持具200の下段部220は、対物レンズユニット11の前面側に位置し、その中央部には、保持用凹部221が形成されており、この保持用凹部221内に、クランプ装置300を保持している。なお、この他に前板3には、顕微干渉計装置1の電源をオンオフする電源スイッチ30が設けられている。
【0060】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した各実施形態に限られるものではなく、種々の態様の変更が可能である。
例えば、上記実施形態においては、被観察領域内に円形の解析対象領域を有してなる被検体として、光通信用のフェルールを例にとって説明しているが、本発明方法は、円形の解析対象領域を有してなる種々の被検体に対して、その縞画像からの円形領域抽出に適用することが可能である。
【0061】
また、本発明方法を実施するための干渉計装置は、上述した顕微干渉計装置に限られるものではなく、種々のタイプの干渉計装置を用いることが可能である。
【0062】
さらに、円形画像領域をその周囲の画像領域と分別するために用いる、座標系上の各画素に対応した縞強度情報は、上述したモジュレーションに限られない。画像の光強度やコントラストあるいは鮮明度を上記縞強度情報として用いてもよい。
【0063】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の縞画像の円形領域抽出方法によれば、被観察領域内に円形の解析対象領域を有してなる被検体の縞画像を所定の座標系上に取り込み、この座標系上で被観察領域の縞画像を所定の縞解析法により2値化処理した後に、この2値化処理が施された座標系上において、所定間隔で互いに平行に配置された複数の直線格子を配し、この直線格子を用いて、座標系上において上記解析対象領域を表す円形画像領域を抽出する円形画像領域選別手順を行なうようにしたことにより、以下のような効果を奏する。
【0064】
すなわち、直線格子を用いて行なう円形画像領域選別手順において必要となる演算は、候補領域内に含まれた直線格子の線分の長さを測定し、その線分の長さが所定の適合長範囲に入るか否かを判定する演算と、該当する線分に対して、その垂直2等分線を座標系上に形成し、候補領域内に含まれた垂直2等分線の線分の長さを測定し、その線分の長さが円形画像領域の直径と略等しいか否かを判定する演算のみである。したがって、円形画像領域の抽出のための演算量が少なくてすみ、これにより円形画像領域の抽出を高速度で行なうことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態方法の概略手順を示すフローチャート
【図2】円形画像領域選別手順の一例を説明するための概略図
【図3】本発明の第2実施形態方法の概略手順を示すフローチャート
【図4】本発明方法を実施するための顕微干渉計装置の斜視図
【符号の説明】
1 顕微干渉計装置
2 底板
3 前板
4 後板
5 隔壁板
6 カバーケース
7 電源部
8 コントロールボックス
9 コイルバネ
10 干渉計本体部
11 対物レンズユニット
12 ピエゾユニット
13 ハーフミラー・光源ユニット
14 結像レンズユニット
15 ミラーボックス
16 CCDカメラユニット
17 固定台
18 フォーカス台
18a 凸部
19A,19B ガイド軸
20 フォーカス調整ネジ
21 ネジ軸部
22 ツマミ部
30 電源スイッチ
50 直線格子
60,70 画像領域
61,62,71 線分
63,72 垂直2等分線
64,73 径候補線分
100 傾斜調整装置
110 第1の基部材
120 第2の基部材
130 支点部
132 第2の支持部材
140 第1の調整部
150 第2の調整部
200 クランプ装置保持具
210 上段部
220 下段部
221 保持用凹部
230 連結部
240 取付ネジ
300 クランプ装置
D 円形画像領域の直径
P 直線格子の間隔
F,B 方向を示す矢印

Claims (7)

  1. 被観察領域内に円形の解析対象領域を有してなる被検体の該被観察領域における縞画像を所定の座標系上に取り込み、この座標系上で前記解析対象領域を表す円形画像領域を抽出する縞画像の円形領域抽出方法において、
    前記座標系上の各画素毎の縞強度情報を所定の縞解析法により求め、この求められた縞強度情報に基づいて、前記被観察領域における縞画像を2値化処理するための閾値を設定し、この設定された閾値に基づく前記2値化処理により、該縞画像において前記円形画像領域の縞強度レベルを有する候補領域と該円形画像領域の周囲領域の縞強度レベルを有する非候補領域とを分別する2値化処理手順を行ない、この2値化処理手順を行なった後に、
    前記2値化処理が施された前記座標系上において、前記円形画像領域の直径Dよりも短い所定間隔Pで互いに平行に配置された複数の直線格子を配し、この直線格子の、前記候補領域内に含まれた部分からなる線分の長さを測定し、その線分の長さが前記直径D以下の所定の適合長範囲内にあるか否かを判定して、
    範囲内にあると判定された場合には、その該当する線分に対して、その垂直2等分線を前記座標系上に配し、この垂直2等分線の、前記候補領域内に含まれた部分からなる径候補線分の長さを測定し、その径候補線分の長さが前記直径Dと略等しいか否かを判定して、略等しいと判定された場合には、その該当する径候補線分が含まれる画像領域を前記円形画像領域の選別候補領域とする円形画像領域選別手順を1回、もしくは前記直線格子の傾きを変えながら複数回行ない、
    これにより前記円形画像領域を確定して抽出することを特徴とする縞画像の円形領域抽出方法。
  2. 前記円形画像領域選別手順により前記円形画像領域が抽出された後に、該円形画像領域に含まれる前記径候補線分の中央位置を求め、該中央位置を該円形画像領域の中心位置とする第1の中心位置特定手順を行なうことを特徴とする請求項1記載の縞画像の円形領域抽出方法。
  3. 前記円形画像領域選別手順により前記円形画像領域が抽出された後に、該円形画像領域の面積に基づいて該円形画像領域の重心位置を求め、この重心位置を該円形画像領域の中心位置とする第2の中心位置特定手順を行なうことを特徴とする請求項1記載の縞画像の円形領域抽出方法。
  4. 前記所定間隔Pを下式(1)の範囲に設定したことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の縞画像の円形領域抽出方法。
    Figure 0003946586
  5. 前記所定の縞解析方法が位相シフト縞解析法であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の縞画像の円形領域抽出方法。
  6. 前記所定の縞解析方法がフーリエ変換縞解析法であることを特徴とする請求項請求項1〜4のいずれか1項記載の縞画像の円形領域抽出方法。
  7. 前記縞強度情報がモジュレーションであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の縞画像の円形領域抽出方法。
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