JP2624925B2 - 流体継手 - Google Patents
流体継手Info
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- JP2624925B2 JP2624925B2 JP4146646A JP14664692A JP2624925B2 JP 2624925 B2 JP2624925 B2 JP 2624925B2 JP 4146646 A JP4146646 A JP 4146646A JP 14664692 A JP14664692 A JP 14664692A JP 2624925 B2 JP2624925 B2 JP 2624925B2
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- face
- ferrule
- cap nut
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、半導体製造装置等の
産業用製造装置で使用されるガス供給装置で使用される
流体継手に関し、さらに詳細には、毒性を有するガスを
供給する装置で使用される高度の気密性を有するガス継
手に関するものである。
産業用製造装置で使用されるガス供給装置で使用される
流体継手に関し、さらに詳細には、毒性を有するガスを
供給する装置で使用される高度の気密性を有するガス継
手に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体製造工程において、シ
リコンベースにシラン、アルシン、ホスフィン、ジボラ
ン等の超毒性ガスを不純物源として熱拡散することが行
われている。また、自然発火性ガスも使用されている。
例えば、アルシンの致死量は０．５ｐｐｍであり、少量
の漏れが人身事故につながるため、これらガスの配管
は、漏れを防止するため原則として溶接により接続され
ていた。
リコンベースにシラン、アルシン、ホスフィン、ジボラ
ン等の超毒性ガスを不純物源として熱拡散することが行
われている。また、自然発火性ガスも使用されている。
例えば、アルシンの致死量は０．５ｐｐｍであり、少量
の漏れが人身事故につながるため、これらガスの配管
は、漏れを防止するため原則として溶接により接続され
ていた。
【０００３】一方、パイプ同士を溶接を使用せずに接続
する方法は、圧縮空気等の毒性のないガスの配管では図
８に示す継手が使用されていた。ボディ６の貫通孔の両
端にパイプ５，７が挿入される。ボディ６の外周には雄
ネジ６ａが形成され、雄ネジ６ａには袋ナット１の内側
に形成されている雌ネジ１ａが締結されている。
する方法は、圧縮空気等の毒性のないガスの配管では図
８に示す継手が使用されていた。ボディ６の貫通孔の両
端にパイプ５，７が挿入される。ボディ６の外周には雄
ネジ６ａが形成され、雄ネジ６ａには袋ナット１の内側
に形成されている雌ネジ１ａが締結されている。
【０００４】ボディ６の貫通孔の入口には、各々大きな
面取りが形成されており、その面取り部に断面が楔形の
スリーブ１２が嵌合されている。スリーブ１２の中心に
は貫通孔が形成され、パイプ５，７と嵌合している。ス
リーブ１２の底面には共回り止め用の座がね１１が当接
している。座がね１１の反対側の端面は袋ナット１の内
側の端面に当接している。スリーブ１２の中心には貫通
孔が形成され、パイプ５，７と嵌合している。
面取りが形成されており、その面取り部に断面が楔形の
スリーブ１２が嵌合されている。スリーブ１２の中心に
は貫通孔が形成され、パイプ５，７と嵌合している。ス
リーブ１２の底面には共回り止め用の座がね１１が当接
している。座がね１１の反対側の端面は袋ナット１の内
側の端面に当接している。スリーブ１２の中心には貫通
孔が形成され、パイプ５，７と嵌合している。
【０００５】この様な構成を有する継手において、袋ナ
ット１をボディ６に対して所定のトルクでネジ込むと、
スリーブ１２がボディ６により内側に押圧されパイプ
５，７の外周と密着し、パイプ５，７を変形させる。こ
れにより、パイプ５，７の外周面とスリーブ１２の内面
との密着性及びスリーブ１２の外周面とボディ６の面取
り部内面との密着性が確保され継手の気密性が確保され
る。
ット１をボディ６に対して所定のトルクでネジ込むと、
スリーブ１２がボディ６により内側に押圧されパイプ
５，７の外周と密着し、パイプ５，７を変形させる。こ
れにより、パイプ５，７の外周面とスリーブ１２の内面
との密着性及びスリーブ１２の外周面とボディ６の面取
り部内面との密着性が確保され継手の気密性が確保され
る。
【０００６】しかしながら、図８に示す継手には、以下
のような問題点があった。 （１）気密性が十分でなく、有毒ガスの配管に使用する
には危険である。 （２）取り外しをするときに、パイプ５，７をボディ６
から抜かないと外れないため、配管に余分な逃げ部を設
ける必要があり無駄であった。 （３）一度締結すると、パイプが押しつぶされて変形す
るため、取り外して再組立したときに気密性が悪くなっ
てしまう。
のような問題点があった。 （１）気密性が十分でなく、有毒ガスの配管に使用する
には危険である。 （２）取り外しをするときに、パイプ５，７をボディ６
から抜かないと外れないため、配管に余分な逃げ部を設
ける必要があり無駄であった。 （３）一度締結すると、パイプが押しつぶされて変形す
るため、取り外して再組立したときに気密性が悪くなっ
てしまう。
【０００７】上記問題がありながら、バルブとの接続の
場合等どうしても継手を使用する必要があるため、図８
に示す継手は、毒性ガス等を扱う半導体の製造工程にお
いて、細心の注意を払いながら使用されている。しか
し、近年前記問題点を解決する手段として、高い気密性
を維持し得る特公平２−４６８３０号公報等で開示され
ている継手が使用されている。しかしながら、この継手
は、使用されるスリーブが特殊な形状をしているため、
スリーブと配管用のパイプとは溶接により接続されてい
た。
場合等どうしても継手を使用する必要があるため、図８
に示す継手は、毒性ガス等を扱う半導体の製造工程にお
いて、細心の注意を払いながら使用されている。しか
し、近年前記問題点を解決する手段として、高い気密性
を維持し得る特公平２−４６８３０号公報等で開示され
ている継手が使用されている。しかしながら、この継手
は、使用されるスリーブが特殊な形状をしているため、
スリーブと配管用のパイプとは溶接により接続されてい
た。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、熱拡散
に用いる不純物源として有毒ガスを使用する場合に、配
管を溶接で接続すると以下の問題があった。 （１）溶接により浮遊元素が発生し、金属不純物として
ウエハに混入し、デバイスの信頼性を損なう。
に用いる不純物源として有毒ガスを使用する場合に、配
管を溶接で接続すると以下の問題があった。 （１）溶接により浮遊元素が発生し、金属不純物として
ウエハに混入し、デバイスの信頼性を損なう。
【０００９】（２）不純物源としてのガスは腐食性を有
するものが多く、パイプは通常ＳＵＳ材が使用されてい
るが、溶接により溶接部の材質が変化し腐食されやすく
なる。そのため、パーティクルが発生し、パターンディ
フェクトによる不良品率が高くなる。
するものが多く、パイプは通常ＳＵＳ材が使用されてい
るが、溶接により溶接部の材質が変化し腐食されやすく
なる。そのため、パーティクルが発生し、パターンディ
フェクトによる不良品率が高くなる。
【００１０】（３）ＳＵＳパイプの溶接には、熟練した
技術が必要であり、半導体製造工程の建設等において、
熟練した溶接作業者を確保することが容易でなかった。
技術が必要であり、半導体製造工程の建設等において、
熟練した溶接作業者を確保することが容易でなかった。
【００１１】本発明は、上記の問題点を解決して、金属
不純物やパーティカルの発生が少なく、取付の容易な半
導体製造工程等で使用される流体継手を提供することを
目的とする。
不純物やパーティカルの発生が少なく、取付の容易な半
導体製造工程等で使用される流体継手を提供することを
目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の流体継手は、以下のような構成を有してい
る。 （１）内側に雌ネジが形成された袋ナットと、端面に鏡
面仕上げ面が形成され外周に溝が形成されたパイプと、
袋ナットの内側端面に当接し袋ナットとパイプとの共回
りを防止する共回り防止手段と、パイプの外周の溝に嵌
合され共回り防止手段に当接し袋ナットのパイプ長手方
向の推進力をパイプに伝達するフェルールと、パイプの
端部に嵌合されパイプ端面の全周が当接するガスケット
と、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に雄ネジが形成
されたボディとを備え、ボディの端面がガスケットの前
記パイプが当接する面の反対側の面に当接し、ボディの
雄ネジと袋ナットの雌ネジとが所定のトルクで締結され
る。
に、本発明の流体継手は、以下のような構成を有してい
る。 （１）内側に雌ネジが形成された袋ナットと、端面に鏡
面仕上げ面が形成され外周に溝が形成されたパイプと、
袋ナットの内側端面に当接し袋ナットとパイプとの共回
りを防止する共回り防止手段と、パイプの外周の溝に嵌
合され共回り防止手段に当接し袋ナットのパイプ長手方
向の推進力をパイプに伝達するフェルールと、パイプの
端部に嵌合されパイプ端面の全周が当接するガスケット
と、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に雄ネジが形成
されたボディとを備え、ボディの端面がガスケットの前
記パイプが当接する面の反対側の面に当接し、ボディの
雄ネジと袋ナットの雌ネジとが所定のトルクで締結され
る。
【００１３】（２）内側に雌ネジが形成された袋ナット
と、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成され
た第一パイプと、袋ナットの内側端面に当接し袋ナット
と第一パイプとの共回りを防止する第一共回り防止手段
と、第一パイプの外周の溝に嵌合され第一共回り防止手
段に当接し袋ナットのパイプ長手方向の推進力を第一パ
イプに伝達する第一フェルールと、外周に雄ネジが形成
されたボディと、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に
溝が形成された第二パイプと、ボディの端面に当接し袋
ナットと第二パイプとの共回りを防止する第二共回り防
止手段と、第二パイプの外周の溝に嵌合され第二共回り
防止手段に当接し袋ナットのパイプ長手方向の推進力を
第二パイプに伝達する第二フェルールと、第一パイプま
たは第二パイプの端部に嵌合され第一パイプ端面および
第二パイプ端面の全周が両面から当接するガスケットと
を備え、ボディの雄ネジと袋ナットの雌ネジとが所定の
トルクで締結される。
と、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成され
た第一パイプと、袋ナットの内側端面に当接し袋ナット
と第一パイプとの共回りを防止する第一共回り防止手段
と、第一パイプの外周の溝に嵌合され第一共回り防止手
段に当接し袋ナットのパイプ長手方向の推進力を第一パ
イプに伝達する第一フェルールと、外周に雄ネジが形成
されたボディと、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に
溝が形成された第二パイプと、ボディの端面に当接し袋
ナットと第二パイプとの共回りを防止する第二共回り防
止手段と、第二パイプの外周の溝に嵌合され第二共回り
防止手段に当接し袋ナットのパイプ長手方向の推進力を
第二パイプに伝達する第二フェルールと、第一パイプま
たは第二パイプの端部に嵌合され第一パイプ端面および
第二パイプ端面の全周が両面から当接するガスケットと
を備え、ボディの雄ネジと袋ナットの雌ネジとが所定の
トルクで締結される。
【００１４】（３）上記（１）または（２）に記載する
流体継手であって、前記フェルールの断面が楔形であっ
て面積の大きい端面が前記共回り防止手段に当接すると
共に、外周に切割溝を有している。
流体継手であって、前記フェルールの断面が楔形であっ
て面積の大きい端面が前記共回り防止手段に当接すると
共に、外周に切割溝を有している。
【００１５】（４）上記（１）または（２）に記載する
流体継手であって、前記フェルールが一組のフェルール
部品の組合せより構成され、第一のフェルール部品は、
外周に切割溝を有すると共に、断面が楔形であって面積
の小さい端面が前記共回り防止手段側に位置し、第二の
フェルール部品は、断面が台形であって面積の大きい端
面が前記共回り防止手段に当接するように取り付けらて
いる。
流体継手であって、前記フェルールが一組のフェルール
部品の組合せより構成され、第一のフェルール部品は、
外周に切割溝を有すると共に、断面が楔形であって面積
の小さい端面が前記共回り防止手段側に位置し、第二の
フェルール部品は、断面が台形であって面積の大きい端
面が前記共回り防止手段に当接するように取り付けらて
いる。
【００１６】（５）上記（１）または（２）に記載する
流体継手であって、前記フェルールが軸のラジアル方向
に分解可能な２以上のフェルール部品の組合せより構成
されている。
流体継手であって、前記フェルールが軸のラジアル方向
に分解可能な２以上のフェルール部品の組合せより構成
されている。
【００１７】
【作用】上記の構成よりなる本発明の組み付け方法を説
明する。フェルールと、ガスケットとが装着された状態
でパイプを、スラスト軸受けが装着されている袋ナット
に挿入し、袋ナットをボディにネジ込む。このとき、切
割溝があるフェルールは、切割溝により内径を拡大して
パイプの外周溝に嵌合される。または、ラジアル方向か
ら２以上のフェルール部品が組み合わされてパイプの外
周溝に嵌合される。ボディを回らないように固定した状
態で、袋ナットを所定のトルクに達するまでねじ込んで
いく。袋ナットをボディにねじ込んでいくとき、その推
力がフェルールによりパイプに伝達される。
明する。フェルールと、ガスケットとが装着された状態
でパイプを、スラスト軸受けが装着されている袋ナット
に挿入し、袋ナットをボディにネジ込む。このとき、切
割溝があるフェルールは、切割溝により内径を拡大して
パイプの外周溝に嵌合される。または、ラジアル方向か
ら２以上のフェルール部品が組み合わされてパイプの外
周溝に嵌合される。ボディを回らないように固定した状
態で、袋ナットを所定のトルクに達するまでねじ込んで
いく。袋ナットをボディにねじ込んでいくとき、その推
力がフェルールによりパイプに伝達される。
【００１８】このとき、パイプは袋ナットに対してフェ
ルールにより位置決めされているので、パイプの端面と
ボディの端面とが正確に位置合わせされる。ここで、パ
イプ端面およびボディ端面はローラバニッシングにより
鏡面仕上げされており、各々とガスケットとの密着性が
向上し、継手の気密性が高まる。
ルールにより位置決めされているので、パイプの端面と
ボディの端面とが正確に位置合わせされる。ここで、パ
イプ端面およびボディ端面はローラバニッシングにより
鏡面仕上げされており、各々とガスケットとの密着性が
向上し、継手の気密性が高まる。
【００１９】また、ＳＵＳ素材のビッカース硬度は、約
１８０であるが、ローラバニッシングすることにより、
ビッカース硬度が約３００にできる。これにより、強い
押圧力によりパイプ端面およびボディ端面をガスケット
に押し当てても、パイプ端面およびボディ端面が変形す
ることがないため、繰り返し使用することができる。ガ
スケットは、パイプの端面とボディ端面とにより両面か
ら押圧される。ガスケットは、軟金属製であり、硬度の
高いパイプ端面とボディ端面とに押圧され、各々がよく
密着できる。
１８０であるが、ローラバニッシングすることにより、
ビッカース硬度が約３００にできる。これにより、強い
押圧力によりパイプ端面およびボディ端面をガスケット
に押し当てても、パイプ端面およびボディ端面が変形す
ることがないため、繰り返し使用することができる。ガ
スケットは、パイプの端面とボディ端面とにより両面か
ら押圧される。ガスケットは、軟金属製であり、硬度の
高いパイプ端面とボディ端面とに押圧され、各々がよく
密着できる。
【００２０】袋ナットをボディにネジ込んだときに、ス
ラスト軸受けが装着されているので、パイプが袋ナット
と共回りすることが防止される。また、袋ナットを外せ
ば、パイプを横にスライドさせるだけで容易に接続を解
除できる。
ラスト軸受けが装着されているので、パイプが袋ナット
と共回りすることが防止される。また、袋ナットを外せ
ば、パイプを横にスライドさせるだけで容易に接続を解
除できる。
【００２１】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例である流
体継手について図面を参照して説明する。図１にボディ
の両端にパイプを接続する一実施例の断面図を示す。ま
た、継手の主要部品の構成を図３に分解斜視図で示す。
内側に雌ネジ１ａが形成された袋ナット１の内側端面に
当接してスラスト軸受け３が嵌合されている。
体継手について図面を参照して説明する。図１にボディ
の両端にパイプを接続する一実施例の断面図を示す。ま
た、継手の主要部品の構成を図３に分解斜視図で示す。
内側に雌ネジ１ａが形成された袋ナット１の内側端面に
当接してスラスト軸受け３が嵌合されている。
【００２２】スラスト軸受け３の内側にパイプ５が取り
付けられている。パイプ５の端面部は、図４に示すよう
に、先端部が面取りされ、先端端面５ｂはロールバニッ
シングにより鏡面に仕上げられている。また、パイプ５
の周面には、溝５ａが切設されている。
付けられている。パイプ５の端面部は、図４に示すよう
に、先端部が面取りされ、先端端面５ｂはロールバニッ
シングにより鏡面に仕上げられている。また、パイプ５
の周面には、溝５ａが切設されている。
【００２３】溝５ａには、長手方向に切割溝を有し、断
面が楔形をしたスリーブ２ａが嵌合されている。スリー
ブ２ａの楔形の傾斜と同じ傾斜を内面に有するスリーブ
２ｂがスリーブ２ａと嵌合されている。スリーブ２ａと
スリーブ２ｂとが嵌合してフェルールを構成している。
第一のフェルール部品であるスリーブ２ａは、断面が楔
形であって面積の小さい端面がスラスト軸受け３側に位
置する。第二のフェルール部品であるスリーブ２ｂは、
断面が台形であって面積の大きい端面がスラスト軸受け
３に当接するように取り付けらている。
面が楔形をしたスリーブ２ａが嵌合されている。スリー
ブ２ａの楔形の傾斜と同じ傾斜を内面に有するスリーブ
２ｂがスリーブ２ａと嵌合されている。スリーブ２ａと
スリーブ２ｂとが嵌合してフェルールを構成している。
第一のフェルール部品であるスリーブ２ａは、断面が楔
形であって面積の小さい端面がスラスト軸受け３側に位
置する。第二のフェルール部品であるスリーブ２ｂは、
断面が台形であって面積の大きい端面がスラスト軸受け
３に当接するように取り付けらている。
【００２４】パイプ５の端部に内面が嵌合し、パイプ端
面５ｂの全周に内側端面が当接してガスケット４が取り
付けられている。また、端面６ｂをロールバニッシング
仕上げし、外周に雄ネジ６ａが形成されたボディ６の雄
ネジ６ａが、袋ナット１の雌ネジ１ａに締結されてい
る。そして、ボディ６の端面６ｂが、ガスケット４のパ
イプ端面５ｂが当接する面の反対側の面に当接してい
る。反対側のパイプ７の取付構成は、パイプ５と同じな
ので説明を省略する。
面５ｂの全周に内側端面が当接してガスケット４が取り
付けられている。また、端面６ｂをロールバニッシング
仕上げし、外周に雄ネジ６ａが形成されたボディ６の雄
ネジ６ａが、袋ナット１の雌ネジ１ａに締結されてい
る。そして、ボディ６の端面６ｂが、ガスケット４のパ
イプ端面５ｂが当接する面の反対側の面に当接してい
る。反対側のパイプ７の取付構成は、パイプ５と同じな
ので説明を省略する。
【００２５】次に、上記構成を有する流体継手の作用に
ついて説明する。接続するパイプ５，７を実際に使用す
る長さに切断し、端面に面取りをした後でローラバニッ
シング加工を行う。ロールバニッシング仕上げは、携帯
可能なロールバニッシング仕上げ機等により容易に加工
できる。ローラバニッシングにより鏡面仕上げすること
により、パイプ端面５ｂとガスケット４との密着性が向
上し、継手の気密性が高まる。
ついて説明する。接続するパイプ５，７を実際に使用す
る長さに切断し、端面に面取りをした後でローラバニッ
シング加工を行う。ロールバニッシング仕上げは、携帯
可能なロールバニッシング仕上げ機等により容易に加工
できる。ローラバニッシングにより鏡面仕上げすること
により、パイプ端面５ｂとガスケット４との密着性が向
上し、継手の気密性が高まる。
【００２６】また、ＳＵＳ素材のビッカース硬度は、約
１８０であるが、ローラバニッシングすることにより、
ビッカース硬度が約３００にできる。これにより、強い
押圧力によりパイプ端面５ｂをガスケットに押し当てて
も、パイプ端面５ｂが変形することがないため、繰り返
し使用することができる。
１８０であるが、ローラバニッシングすることにより、
ビッカース硬度が約３００にできる。これにより、強い
押圧力によりパイプ端面５ｂをガスケットに押し当てて
も、パイプ端面５ｂが変形することがないため、繰り返
し使用することができる。
【００２７】また、パイプ５の周面に図４に示す溝５ａ
を旋盤等の加工により切削する。このように、旋盤等が
あれば、接続する必要のあるパイプ自体をその場で容易
に加工することができる。パイプ５の溝５ａに、切割溝
を広げるようにしてスリーブ２ａを装着する。スリーブ
２ａの外面の傾斜と嵌合するようにスリーブ２ｂを装着
する。また、パイプ５の端部にガスケット４を嵌合させ
る。スリーブ２ａとスリーブ２ｂとの組合せにより構成
されるフェルール２と、ガスケット４とが装着された状
態でパイプ５，７を、スラスト軸受け３が装着されてい
る袋ナット１に挿入し、袋ナット１をボディ６にネジ込
む。
を旋盤等の加工により切削する。このように、旋盤等が
あれば、接続する必要のあるパイプ自体をその場で容易
に加工することができる。パイプ５の溝５ａに、切割溝
を広げるようにしてスリーブ２ａを装着する。スリーブ
２ａの外面の傾斜と嵌合するようにスリーブ２ｂを装着
する。また、パイプ５の端部にガスケット４を嵌合させ
る。スリーブ２ａとスリーブ２ｂとの組合せにより構成
されるフェルール２と、ガスケット４とが装着された状
態でパイプ５，７を、スラスト軸受け３が装着されてい
る袋ナット１に挿入し、袋ナット１をボディ６にネジ込
む。
【００２８】ボディ６を回らないように固定した状態
で、袋ナット１を所定のトルクに達するまでねじ込んで
いく。袋ナット１をボディ６にねじ込んでいくときの推
進力がフェルール２を介してパイプ５，７に伝達され
る。フェルールを構成するスリーブ２ａは、パイプ外周
に形成された溝５ｂに勘合しており、スリーブ２ｂは楔
の作用でスリーブ２ａにより推進力が伝達されるため、
フェルール２は強い推進力をパイプに伝達することがで
きる。
で、袋ナット１を所定のトルクに達するまでねじ込んで
いく。袋ナット１をボディ６にねじ込んでいくときの推
進力がフェルール２を介してパイプ５，７に伝達され
る。フェルールを構成するスリーブ２ａは、パイプ外周
に形成された溝５ｂに勘合しており、スリーブ２ｂは楔
の作用でスリーブ２ａにより推進力が伝達されるため、
フェルール２は強い推進力をパイプに伝達することがで
きる。
【００２９】このとき、パイプ５は袋ナット１に対して
フェルール２により位置決めされているので、パイプの
端面５ｂとボディ６の端面６ｂとが正確に位置合わせさ
れる。ここで、ボディ端面６ｂはローラバニッシングに
より鏡面仕上げされており、ボディ端面６ｂとガスケッ
ト４との密着性が向上し、継手の気密性が高まる。
フェルール２により位置決めされているので、パイプの
端面５ｂとボディ６の端面６ｂとが正確に位置合わせさ
れる。ここで、ボディ端面６ｂはローラバニッシングに
より鏡面仕上げされており、ボディ端面６ｂとガスケッ
ト４との密着性が向上し、継手の気密性が高まる。
【００３０】また、ＳＵＳ素材のビッカース硬度は、約
１８０であるが、ローラバニッシングすることにより、
ビッカース硬度が約３００にできる。これにより、強い
押圧力によりボディ端面６ｂをガスケットに押し当てて
も、ボディ端面６ｂが変形することがないため、繰り返
し使用することができる。ガスケット４は、パイプの端
面５ｂとボディ６の端面６ｂとにより両面から押圧され
る。ガスケット４は、本実施例ではニッケル製であり、
硬度の高いパイプの端面５ｂとボディ６の端面６ｂとに
押圧され、各々がよく密着できる。ガスケット４は一度
組み込むと変形するので、再度組み立てるときは、新し
いガスケット４に交換する。本実施例のガスケット４は
パイプ５に嵌合するだけで位置が決まるため、ガスケッ
ト４の交換は極めて容易である。
１８０であるが、ローラバニッシングすることにより、
ビッカース硬度が約３００にできる。これにより、強い
押圧力によりボディ端面６ｂをガスケットに押し当てて
も、ボディ端面６ｂが変形することがないため、繰り返
し使用することができる。ガスケット４は、パイプの端
面５ｂとボディ６の端面６ｂとにより両面から押圧され
る。ガスケット４は、本実施例ではニッケル製であり、
硬度の高いパイプの端面５ｂとボディ６の端面６ｂとに
押圧され、各々がよく密着できる。ガスケット４は一度
組み込むと変形するので、再度組み立てるときは、新し
いガスケット４に交換する。本実施例のガスケット４は
パイプ５に嵌合するだけで位置が決まるため、ガスケッ
ト４の交換は極めて容易である。
【００３１】袋ナット１をボディ６にネジ込んだとき
に、スラスト軸受け３が装着されているので、パイプが
袋ナット１と共回りすることが防止されるため、パイプ
端面５ｂとガスケット４との間またはガスケット４とボ
ディ端面６ｂとの間で擦れが発生せず、パーティカルが
発生することがない。
に、スラスト軸受け３が装着されているので、パイプが
袋ナット１と共回りすることが防止されるため、パイプ
端面５ｂとガスケット４との間またはガスケット４とボ
ディ端面６ｂとの間で擦れが発生せず、パーティカルが
発生することがない。
【００３２】上記構成の流体継手によれば、普通のパイ
プに簡単な追加工を行うだけで容易に、フェルール２を
装着することができるので、溶接をすることなく、パイ
プ同士を気密性が高い状態で接続することができる。ま
た、袋ナット１を外せば、パイプ５を横にスライドさせ
るだけで容易に接続を解除できるため、配管に余分な逃
げを設ける必要がなくコストを低くすることができる。
プに簡単な追加工を行うだけで容易に、フェルール２を
装着することができるので、溶接をすることなく、パイ
プ同士を気密性が高い状態で接続することができる。ま
た、袋ナット１を外せば、パイプ５を横にスライドさせ
るだけで容易に接続を解除できるため、配管に余分な逃
げを設ける必要がなくコストを低くすることができる。
【００３３】パイプ端面５ｂとボディ端面６ｂとをロー
ラバニッシング加工で仕上げているので、ガスケット４
との密着性がよく、流体継手を高い気密性で構成でき
る。また、パイプ端面５ｂとボディ端面６ｂの硬度が高
いので、ガスケット４が変形するのみなため、ガスケッ
ト４を交換するだけで繰り返し使用することができる。
ラバニッシング加工で仕上げているので、ガスケット４
との密着性がよく、流体継手を高い気密性で構成でき
る。また、パイプ端面５ｂとボディ端面６ｂの硬度が高
いので、ガスケット４が変形するのみなため、ガスケッ
ト４を交換するだけで繰り返し使用することができる。
【００３４】次に、第二の実施例について図２を用いて
説明する。第二の実施例は、一組のパイプを接続するの
に一つの袋ナットを使用して行う流体継手である。内側
に雌ネジ１ａが形成された袋ナット１の内側端面に当接
して、第一のスラスト軸受け３ａが嵌合されている。
説明する。第二の実施例は、一組のパイプを接続するの
に一つの袋ナットを使用して行う流体継手である。内側
に雌ネジ１ａが形成された袋ナット１の内側端面に当接
して、第一のスラスト軸受け３ａが嵌合されている。
【００３５】スラスト軸受け３ａの内側に第一パイプで
あるパイプ５が取り付けられている。パイプ５の端面部
は、図４に示すように、先端部が面取りされ、先端端面
５ｂはロールバニッシングにより鏡面に仕上げられてい
る。また、パイプ５の周面には、溝５ａが切設されてい
る。
あるパイプ５が取り付けられている。パイプ５の端面部
は、図４に示すように、先端部が面取りされ、先端端面
５ｂはロールバニッシングにより鏡面に仕上げられてい
る。また、パイプ５の周面には、溝５ａが切設されてい
る。
【００３６】溝５ａには、長手方向に切割溝を有し、断
面が楔形をしたスリーブ２ａが嵌合されている。スリー
ブ２ａの楔形の傾斜と同じ傾斜を内面に有するスリーブ
２ｂがスリーブ２ａと嵌合されている。スリーブ２ａと
スリーブ２ｂとが嵌合してフェルール２を構成してい
る。第一のフェルール部品であるスリーブ２ａは、断面
が楔形であって面積の小さい端面がスラスト軸受け３側
に位置する。第二のフェルール部品であるスリーブ２ｂ
は、断面が台形であって面積の大きい端面がスラスト軸
受け３に当接するように取り付けらている。
面が楔形をしたスリーブ２ａが嵌合されている。スリー
ブ２ａの楔形の傾斜と同じ傾斜を内面に有するスリーブ
２ｂがスリーブ２ａと嵌合されている。スリーブ２ａと
スリーブ２ｂとが嵌合してフェルール２を構成してい
る。第一のフェルール部品であるスリーブ２ａは、断面
が楔形であって面積の小さい端面がスラスト軸受け３側
に位置する。第二のフェルール部品であるスリーブ２ｂ
は、断面が台形であって面積の大きい端面がスラスト軸
受け３に当接するように取り付けらている。
【００３７】パイプ５の端部に内面が嵌合し、パイプ端
面５ｂの全周に内側端面が当接してガスケット４が取り
付けられている。袋ナット１の内側には、端面にロール
バニッシング仕上げ面を形成した第二パイプであるパイ
プ７が取り付けられている。パイプ７の端面部は、パイ
プ端面５ｂと同様にロールバニッシングにより鏡面に仕
上げられている。
面５ｂの全周に内側端面が当接してガスケット４が取り
付けられている。袋ナット１の内側には、端面にロール
バニッシング仕上げ面を形成した第二パイプであるパイ
プ７が取り付けられている。パイプ７の端面部は、パイ
プ端面５ｂと同様にロールバニッシングにより鏡面に仕
上げられている。
【００３８】また、パイプ７の周面には、溝７ａが切設
されている。溝７ａには、長手方向に切割溝を有し、断
面が楔形をしたスリーブ２ｅが嵌合されている。スリー
ブ２ｅの楔形の傾斜と同じ傾斜を内面に有するスリーブ
２ｆがスリーブ２ｅと嵌合されている。スリーブ２ｅと
スリーブ２ｆとが嵌合してフェルール２を構成してい
る。第二のフェルール部品であるスリーブ２ｅは、断面
が楔形であって面積の小さい端面がスラスト軸受け３側
に位置する。第二のフェルール部品であるスリーブ２ｆ
は、断面が台形であって面積の大きい端面がスラスト軸
受け３に当接するように取り付けらている。フェルール
２に当接して第二のスラスト軸受け３ｂが取り付けられ
ている。スラスト軸受け３ｂには、外周に雄ネジ８ａが
形成されたボディ８の端面が当接している。
されている。溝７ａには、長手方向に切割溝を有し、断
面が楔形をしたスリーブ２ｅが嵌合されている。スリー
ブ２ｅの楔形の傾斜と同じ傾斜を内面に有するスリーブ
２ｆがスリーブ２ｅと嵌合されている。スリーブ２ｅと
スリーブ２ｆとが嵌合してフェルール２を構成してい
る。第二のフェルール部品であるスリーブ２ｅは、断面
が楔形であって面積の小さい端面がスラスト軸受け３側
に位置する。第二のフェルール部品であるスリーブ２ｆ
は、断面が台形であって面積の大きい端面がスラスト軸
受け３に当接するように取り付けらている。フェルール
２に当接して第二のスラスト軸受け３ｂが取り付けられ
ている。スラスト軸受け３ｂには、外周に雄ネジ８ａが
形成されたボディ８の端面が当接している。
【００３９】次に第二の実施例の作用について説明す
る。ボディ８を回らないように固定した状態で、袋ナッ
ト１を所定のトルクに達するまでねじ込んでいく。袋ナ
ット１をボディ６にねじ込んでいくときの推進力がフェ
ルール２を介してパイプ５，７に伝達される。フェルー
ルを構成するスリーブ２ａは、パイプ外周に形成された
溝５ａに勘合しているので、フェルール２は強い推進力
をパイプに伝達することができる。
る。ボディ８を回らないように固定した状態で、袋ナッ
ト１を所定のトルクに達するまでねじ込んでいく。袋ナ
ット１をボディ６にねじ込んでいくときの推進力がフェ
ルール２を介してパイプ５，７に伝達される。フェルー
ルを構成するスリーブ２ａは、パイプ外周に形成された
溝５ａに勘合しているので、フェルール２は強い推進力
をパイプに伝達することができる。
【００４０】このとき、パイプ５，７は袋ナット１に対
してフェルール２により位置決めされているので、第一
パイプの端面５ｂと第二パイプの端面７ｂとが正確に位
置合わせされる。また、一組のパイプ５，７がガスケッ
ト４を挟んで突き合わされ、押圧される。パイプ端面５
ｂ，７ｂは共にローラバニッシング加工されており、ニ
ッケル製のガスケット４が変形してパイプ端面５ｂ，７
ｂに密着するため、気密性がよくなる。
してフェルール２により位置決めされているので、第一
パイプの端面５ｂと第二パイプの端面７ｂとが正確に位
置合わせされる。また、一組のパイプ５，７がガスケッ
ト４を挟んで突き合わされ、押圧される。パイプ端面５
ｂ，７ｂは共にローラバニッシング加工されており、ニ
ッケル製のガスケット４が変形してパイプ端面５ｂ，７
ｂに密着するため、気密性がよくなる。
【００４１】以上の実施例によれば、気密性の高いの
で、毒性の強いガスを半導体製造工程で使用する場合で
も危険性が全くなくなる。また、袋ナットを外せば横に
スライドさせるだけでパイプを容易に取り外せるため、
メンテナンスが容易である。
で、毒性の強いガスを半導体製造工程で使用する場合で
も危険性が全くなくなる。また、袋ナットを外せば横に
スライドさせるだけでパイプを容易に取り外せるため、
メンテナンスが容易である。
【００４２】次に、第三の実施例について図５を用いて
説明する。第一の実施例と異なるのは、フェルールの形
状のみであるので、フェルールを中心に説明し、他は説
明を省略する。フェルール２の断面は楔形であって、面
積の大きい端面がスラスト軸受け３に当接して取り付け
られている。フェルール２は外周に切割溝を有し、切割
溝を広げることによりパイプ５の溝５ａに嵌合される。
本実施例によれば、第一の実施例と比べてフェルール２
を簡略にでき、部品点数が少なくて済むため、コストを
より低くできる。
説明する。第一の実施例と異なるのは、フェルールの形
状のみであるので、フェルールを中心に説明し、他は説
明を省略する。フェルール２の断面は楔形であって、面
積の大きい端面がスラスト軸受け３に当接して取り付け
られている。フェルール２は外周に切割溝を有し、切割
溝を広げることによりパイプ５の溝５ａに嵌合される。
本実施例によれば、第一の実施例と比べてフェルール２
を簡略にでき、部品点数が少なくて済むため、コストを
より低くできる。
【００４３】次に第三の実施例の作用について説明す
る。ボディ８を回らないように固定した状態で、袋ナッ
ト１を所定のトルクに達するまでねじ込んでいく。袋ナ
ット１をボディ６にねじ込んでいくときの推進力がフェ
ルール２を介してパイプ５，７に伝達される。フェルー
ル２は、パイプ外周に形成された溝５ａに勘合している
ので、フェルール２は強い推進力をパイプに伝達するこ
とができる。
る。ボディ８を回らないように固定した状態で、袋ナッ
ト１を所定のトルクに達するまでねじ込んでいく。袋ナ
ット１をボディ６にねじ込んでいくときの推進力がフェ
ルール２を介してパイプ５，７に伝達される。フェルー
ル２は、パイプ外周に形成された溝５ａに勘合している
ので、フェルール２は強い推進力をパイプに伝達するこ
とができる。
【００４４】また、一組のパイプ５，７がガスケット４
を挟んで突き合わされ、押圧される。パイプ端面５ｂ，
７ｂは共にローラバニッシング加工されており、ニッケ
ル製のガスケット４が変形してパイプ端面５ｂ，７ｂに
密着するため、気密性がよくなる。
を挟んで突き合わされ、押圧される。パイプ端面５ｂ，
７ｂは共にローラバニッシング加工されており、ニッケ
ル製のガスケット４が変形してパイプ端面５ｂ，７ｂに
密着するため、気密性がよくなる。
【００４５】次に、第四の実施例について図６および図
７を用いて説明する。第一の実施例と異なるのは、フェ
ルールの形状のみであるので、フェルールを中心に説明
し、他は説明を省略する。フェルール２は、図７に示す
ように、軸のラジアル方向に分解可能な２つのフェルー
ル部品２ｃ，２ｄの組合せより構成されている。フェル
ール部品２ｃ，２ｄは、第一の実施例のフェルールと比
べて、パイプ５の溝５ａに容易に組み込むことができ
る。また、第一の実施例と比べて取り外しも極めて容易
にできる。
７を用いて説明する。第一の実施例と異なるのは、フェ
ルールの形状のみであるので、フェルールを中心に説明
し、他は説明を省略する。フェルール２は、図７に示す
ように、軸のラジアル方向に分解可能な２つのフェルー
ル部品２ｃ，２ｄの組合せより構成されている。フェル
ール部品２ｃ，２ｄは、第一の実施例のフェルールと比
べて、パイプ５の溝５ａに容易に組み込むことができ
る。また、第一の実施例と比べて取り外しも極めて容易
にできる。
【００４６】次に第四の実施例の作用について説明す
る。ボディ８を回らないように固定した状態で、袋ナッ
ト１を所定のトルクに達するまでねじ込んでいく。袋ナ
ット１をボディ６にねじ込んでいくときの推進力がフェ
ルール２を介してパイプ５，７に伝達される。フェルー
ル２は、パイプ外周に形成された溝５ａに勘合している
ので、フェルール２は強い推進力をパイプに伝達するこ
とができる。
る。ボディ８を回らないように固定した状態で、袋ナッ
ト１を所定のトルクに達するまでねじ込んでいく。袋ナ
ット１をボディ６にねじ込んでいくときの推進力がフェ
ルール２を介してパイプ５，７に伝達される。フェルー
ル２は、パイプ外周に形成された溝５ａに勘合している
ので、フェルール２は強い推進力をパイプに伝達するこ
とができる。
【００４７】このとき、パイプ５，７は袋ナット１に対
してフェルール２により位置決めされているので、第一
パイプの端面５ｂと第二パイプの端面７ｂとが正確に位
置合わせされる。また、一組のパイプ５，７がガスケッ
ト４を挟んで突き合わされ、押圧される。パイプ端面５
ｂ，７ｂは共にローラバニッシング加工されており、ニ
ッケル製のガスケット４が変形してパイプ端面５ｂ，７
ｂに密着するため、気密性がよくなる。
してフェルール２により位置決めされているので、第一
パイプの端面５ｂと第二パイプの端面７ｂとが正確に位
置合わせされる。また、一組のパイプ５，７がガスケッ
ト４を挟んで突き合わされ、押圧される。パイプ端面５
ｂ，７ｂは共にローラバニッシング加工されており、ニ
ッケル製のガスケット４が変形してパイプ端面５ｂ，７
ｂに密着するため、気密性がよくなる。
【００４８】以上の実施例によれば、気密性の高いの
で、毒性の強いガスを半導体製造工程で使用する場合で
も危険性が全くなくなる。また、袋ナットを外せば横に
スライドさせるだけでパイプを容易に取り外せるため、
メンテナンスが容易である。
で、毒性の強いガスを半導体製造工程で使用する場合で
も危険性が全くなくなる。また、袋ナットを外せば横に
スライドさせるだけでパイプを容易に取り外せるため、
メンテナンスが容易である。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の流体継手によれば、普通のパイプに簡単な追加工
を行うだけで容易に、フェルール２を装着することがで
きるので、溶接をすることなく、パイプ同士を気密性が
高い状態で接続することができるため、溶接により浮遊
元素が発生し、金属不純物としてウエハに混入し、デバ
イスの信頼性を損なうことがない。
発明の流体継手によれば、普通のパイプに簡単な追加工
を行うだけで容易に、フェルール２を装着することがで
きるので、溶接をすることなく、パイプ同士を気密性が
高い状態で接続することができるため、溶接により浮遊
元素が発生し、金属不純物としてウエハに混入し、デバ
イスの信頼性を損なうことがない。
【００５０】また、溶接による材質が変化がないため、
パーティクルの発生がなく、パターンディフェクトによ
る不良品率が低くなる。また、組立が容易であり、半導
体製造工程の建設等において、熟練した溶接作業者が不
要となり、効率よく建設を行うことができる。
パーティクルの発生がなく、パターンディフェクトによ
る不良品率が低くなる。また、組立が容易であり、半導
体製造工程の建設等において、熟練した溶接作業者が不
要となり、効率よく建設を行うことができる。
【００５１】また、袋ナットを外せば、パイプを横にス
ライドさせるだけで容易に接続を解除できるため、配管
に余分な逃げを設ける必要がなくコストを低くすること
ができる。
ライドさせるだけで容易に接続を解除できるため、配管
に余分な逃げを設ける必要がなくコストを低くすること
ができる。
【図１】本発明の第一実施例である流体継手の構成を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】本発明の第二の実施例である流体継手の構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】第一の実施例の主要部分の構成を示す分解斜視
図である。
図である。
【図４】パイプ端部の断面図である。
【図５】本発明の第三の実施例である流体継手の一部の
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【図６】本発明の第四の実施例である流体継手の一部の
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【図７】第四の実施例の主要部分の構成を示す分解図で
ある。
ある。
【図８】従来の流体継手の構成を示す断面図である。
１ 袋ナット ２ フェルール ３ スラスト軸受け ４ ガスケット ５，７ パイプ ６，８ ボディ
Claims (5)
- 【請求項１】 内側に雌ネジが形成された袋ナットと、 端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成されたパ
イプと、 前記袋ナットの内側端面に当接し前記袋ナットと前記パ
イプとの共回りを防止する共回り防止手段と、 前記パイプの外周の前記溝に嵌合され、前記共回り防止
手段に当接し、袋ナットのパイプ長手方向の推進力をパ
イプに伝達するフェルールと、 前記パイプの端部に嵌合され、前記パイプ端面の全周が
当接するガスケットと、 端面に鏡面仕上げ面を形成し、外周に雄ネジが形成され
たボディとを備え、 前記ボディの端面が、前記ガスケットの前記パイプが当
接する面の反対側の面に当接し、前記ボディの雄ネジと
前記袋ナットの雌ネジとが所定のトルクで締結されるこ
とを特徴とする流体継手。 - 【請求項２】 内側に雌ネジが形成された袋ナットと、 端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成された第
一パイプと、 前記袋ナットの内側端面に当接し前記袋ナットと前記第
一パイプとの共回りを防止する第一共回り防止手段と、 前記第一パイプの外周の前記溝に嵌合され、前記第一共
回り防止手段に当接し、袋ナットのパイプ長手方向の推
進力を前記第一パイプに伝達する第一フェルールと、 外周に雄ネジが形成されたボディと、 端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成された第
二パイプと、 前記ボディの端面に当接し前記袋ナットと前記第二パイ
プとの共回りを防止する第二共回り防止手段と、 前記第二パイプの外周の前記溝に嵌合され、前記第二共
回り防止手段に当接し、袋ナットのパイプ長手方向の推
進力を前記第二パイプに伝達する第二フェルールと、 前記第一パイプまたは前記第二パイプの端部に嵌合さ
れ、前記第一パイプ端面および前記第二パイプ端面の全
周が両面から当接するガスケットとを備え、 前記ボディの雄ネジと前記袋ナットの雌ネジとが所定の
トルクで締結されることを特徴とする流体継手。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載する流体
継手において、 前記フェルールの断面が楔形であって面積の大きい端面
が前記共回り防止手段に当接すると共に、外周に切割溝
を有することを特徴とする流体継手。 - 【請求項４】 請求項１または請求項２に記載する流体
継手において、 前記フェルールが一組のフェルール部品の組合せより構
成され、 第一のフェルール部品は、外周に切割溝を有すると共
に、断面が楔形であって面積の小さい端面が前記共回り
防止手段側に位置し、 第二のフェルール部品は、断面が台形であって面積の大
きい端面が前記共回り防止手段に当接するように取り付
けられることを特徴とする流体継手。 - 【請求項５】 請求項１または請求項２に記載する流体
継手において、 前記フェルールが軸のラジアル方向に分解可能な２以上
のフェルール部品の組合せより構成されることを特徴と
する流体継手。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4146646A JP2624925B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 流体継手 |
| US08/057,572 US5401065A (en) | 1992-05-11 | 1993-05-06 | Fluid coupling |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4146646A JP2624925B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 流体継手 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05312284A JPH05312284A (ja) | 1993-11-22 |
| JP2624925B2 true JP2624925B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=15412442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4146646A Expired - Fee Related JP2624925B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 流体継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2624925B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2624941B2 (ja) * | 1994-04-18 | 1997-06-25 | シーケーディ株式会社 | 流体継手 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS608226U (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-21 | ニツカウヰスキ−株式会社 | 有蓋化粧函 |
| JPH0357587B2 (ja) * | 1984-12-10 | 1991-09-02 | Nippon Electric Co |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58104474U (ja) * | 1982-01-09 | 1983-07-15 | 住友重機械工業株式会社 | 配管継手 |
| JP3057587U (ja) * | 1998-09-08 | 1999-06-02 | 株式会社フジトランスコーポレーション | ラッシングバーの着脱具とその着脱部材 |
-
1992
- 1992-05-11 JP JP4146646A patent/JP2624925B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS608226U (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-21 | ニツカウヰスキ−株式会社 | 有蓋化粧函 |
| JPH0357587B2 (ja) * | 1984-12-10 | 1991-09-02 | Nippon Electric Co |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05312284A (ja) | 1993-11-22 |
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