JP2620805B2 - 金属スクラップの分析方法及び装置 - Google Patents
金属スクラップの分析方法及び装置Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、スクラップとなった金属小片の化学組成を
分析し、分類信号を発生する方法及び装置に関する。
分析し、分類信号を発生する方法及び装置に関する。
本発明は上述の方法及び装置を提案したもので、金属
小片にパルスレーザー光をあててその一部をクリーニン
グし、次に更にパルスレーザー光を照射しプラズマを発
生させる。このプラズマのスペクトル線を調べることに
よってその金属小片の組成を分析する。１秒につき少な
くとも30個の小片を処理できる。設定した波長のまたは
狭い波長範囲の放射線を濾過し、その濾過された放射線
の強度から関係値を求め調節可能な限界値と比較する方
法をとるので、分類処理速度をより速くすることができ
る。分類信号は前記の比較の結果から得ることができ
る。ある限られた時間間隔でその比較を行うことができ
るので処理速度を更に速くすることができる。
小片にパルスレーザー光をあててその一部をクリーニン
グし、次に更にパルスレーザー光を照射しプラズマを発
生させる。このプラズマのスペクトル線を調べることに
よってその金属小片の組成を分析する。１秒につき少な
くとも30個の小片を処理できる。設定した波長のまたは
狭い波長範囲の放射線を濾過し、その濾過された放射線
の強度から関係値を求め調節可能な限界値と比較する方
法をとるので、分類処理速度をより速くすることができ
る。分類信号は前記の比較の結果から得ることができ
る。ある限られた時間間隔でその比較を行うことができ
るので処理速度を更に速くすることができる。
金属の一部を気化させプラズマを発生させ、そのプラ
ズマのスペクトル線を金属小片の組成を分析するために
調べるという方法は、レーザー誘導分光法分析（laser
−induced breakdown spectroscopy、略してLIBS）とし
て知られているが、フラウンホーファー（Fraunhofer）
によって開発された古典的分光法を基礎としている。こ
の古典的方法は分析する材料と電極との間にアークを飛
ばし、試験材料を気化させ、その結果得られるアーク光
から回折格子を用いてスペクトルを得る。次に、回折に
よって得られたスペクトルと標準スペクトルを比較する
ことによっておよび／あるいは個々のスペクトル線の波
長と強度を測定することによって、検査する試料に含ま
れる元素を定性的および定量的に決定する。それに要す
る時間は目的によって違うが、数分から数時間である。
ズマのスペクトル線を金属小片の組成を分析するために
調べるという方法は、レーザー誘導分光法分析（laser
−induced breakdown spectroscopy、略してLIBS）とし
て知られているが、フラウンホーファー（Fraunhofer）
によって開発された古典的分光法を基礎としている。こ
の古典的方法は分析する材料と電極との間にアークを飛
ばし、試験材料を気化させ、その結果得られるアーク光
から回折格子を用いてスペクトルを得る。次に、回折に
よって得られたスペクトルと標準スペクトルを比較する
ことによっておよび／あるいは個々のスペクトル線の波
長と強度を測定することによって、検査する試料に含ま
れる元素を定性的および定量的に決定する。それに要す
る時間は目的によって違うが、数分から数時間である。
この周知のLIBS法では電気アークの代りにレーザー光
が用いられ、回折によるスペクトルあるいはその一部分
をダイオードによって検出し、その出力はマルチチャン
ル光学分析器の中で評価される。〔ローリー，ティー・
アール（Loree,T.R.〕，ラツームスキ，エル・ヨット
（Radziemski,L.J.）：“レーザー誘導分光法分析によ
る金属中の不純物の識別（The identification of impu
rities in metals by laser−induced breakdown spect
roscopy"、プロスィーデング テクニカル プログラム
−エレクトロ−オプト（Proc.Tech.Program−Elecrto−
Opt.）／レーザー コンファレンス エクスポ（Laser
Conf.Expo）1081,28−33〕 上記方法では分析は１〜２秒で行うことができ、この
方法の多くの応用例では十分な速さではあるが、例え
ば、細かく切断された金属スクラップを分類するような
高処理速度が要求される場合には遅すぎる。
が用いられ、回折によるスペクトルあるいはその一部分
をダイオードによって検出し、その出力はマルチチャン
ル光学分析器の中で評価される。〔ローリー，ティー・
アール（Loree,T.R.〕，ラツームスキ，エル・ヨット
（Radziemski,L.J.）：“レーザー誘導分光法分析によ
る金属中の不純物の識別（The identification of impu
rities in metals by laser−induced breakdown spect
roscopy"、プロスィーデング テクニカル プログラム
−エレクトロ−オプト（Proc.Tech.Program−Elecrto−
Opt.）／レーザー コンファレンス エクスポ（Laser
Conf.Expo）1081,28−33〕 上記方法では分析は１〜２秒で行うことができ、この
方法の多くの応用例では十分な速さではあるが、例え
ば、細かく切断された金属スクラップを分類するような
高処理速度が要求される場合には遅すぎる。
そのようなスクラップの分類の場合には、強磁性体の
破片を磁性によって分離・除去し、非金属の破片を沈浮
遊法によって分離すると、塊りとなった残留スクラップ
が残るが、それは約半分のアルミニウムと、残りは主に
亜鉛、銅、鉛及び特殊鋼から構成されている。その分類
されない残留スクラップは1000kgに付き700から800ドイ
ツマルク程度の価値しかないが、分類されれば1000kgに
付き2000ドイツマルク程度の価値となる。このような残
留スクラップが約170,000トン年間にドイツ連邦共和国
では回収されているので、このような量のスクラップを
個々の成分へあるいは再利用できる成分のグループへ分
離することによって付加できる価値は、年間２億ドイツ
マルク程度にもなる。
破片を磁性によって分離・除去し、非金属の破片を沈浮
遊法によって分離すると、塊りとなった残留スクラップ
が残るが、それは約半分のアルミニウムと、残りは主に
亜鉛、銅、鉛及び特殊鋼から構成されている。その分類
されない残留スクラップは1000kgに付き700から800ドイ
ツマルク程度の価値しかないが、分類されれば1000kgに
付き2000ドイツマルク程度の価値となる。このような残
留スクラップが約170,000トン年間にドイツ連邦共和国
では回収されているので、このような量のスクラップを
個々の成分へあるいは再利用できる成分のグループへ分
離することによって付加できる価値は、年間２億ドイツ
マルク程度にもなる。
様々な分離・分類法が、これまでそのような付加価値
を産み出そうと試みられ提案されてきたが、そのような
方法のどれもが技術的に経済的に十分でなかった。
を産み出そうと試みられ提案されてきたが、そのような
方法のどれもが技術的に経済的に十分でなかった。
本発明は、上述の方法を改良し処理能力を高めること
を課題とするものであり、残留スクラップの金属小片の
分類を高処理速度で行うことを可能とするものである。
を課題とするものであり、残留スクラップの金属小片の
分類を高処理速度で行うことを可能とするものである。
上記の課題は次のような構成とすることによって解決
できる。即ち、 本発明は、金属小片にパルスレーザー光を照射してプ
ラズマを発生させ、この金属小片の特性を確認するため
に前記プラズマのスペクトル線を調査する金属小片の分
析方法において、 ａ、前記金属小片の表面にレーザー光を照射して部分的
にクリーニングを行い、 ｂ、前記クリーニングされた部分にパルスレーザー光を
照射して、 ｃ、前記プラズマの全放射線から所定の波長の放射線を
濾過し、 ｄ、前記濾過された波長の放射線強度から数値的な関係
値を求めると共に、 ｅ、これらの関係値から調整可能な限界値と比較して分
類信号を得る、という構成にしている。
できる。即ち、 本発明は、金属小片にパルスレーザー光を照射してプ
ラズマを発生させ、この金属小片の特性を確認するため
に前記プラズマのスペクトル線を調査する金属小片の分
析方法において、 ａ、前記金属小片の表面にレーザー光を照射して部分的
にクリーニングを行い、 ｂ、前記クリーニングされた部分にパルスレーザー光を
照射して、 ｃ、前記プラズマの全放射線から所定の波長の放射線を
濾過し、 ｄ、前記濾過された波長の放射線強度から数値的な関係
値を求めると共に、 ｅ、これらの関係値から調整可能な限界値と比較して分
類信号を得る、という構成にしている。
上記ｃ項に記載した個々の波長の放射線を濾過する方
法の代りに一定の狭い波長範囲を濾過するようにしても
よく、および／または前記プラズマの放射線を前記分析
のために一定時間の間だけ調査する。ある特有のプラズ
マの生成に必要である前記レーザー光の点火前に、望ま
しくは前記クリーニング用のレーザー光の照射による気
化生成物を除去する。また、１コ以上の関係値が設けら
れかつ比較のためにそれ以上の複数の限界値を予め与え
ることも可能である。
法の代りに一定の狭い波長範囲を濾過するようにしても
よく、および／または前記プラズマの放射線を前記分析
のために一定時間の間だけ調査する。ある特有のプラズ
マの生成に必要である前記レーザー光の点火前に、望ま
しくは前記クリーニング用のレーザー光の照射による気
化生成物を除去する。また、１コ以上の関係値が設けら
れかつ比較のためにそれ以上の複数の限界値を予め与え
ることも可能である。
形状や重さの異なる種々の金属小片の前記分析の際
に、望ましくはレーザー光源と金属小片との間の距離が
一定の限界内で変動しても測定結果に影響が生じないよ
うにしたレーザー光システムを使用する。検査通路への
前記金属小片の進入によって発生するトリガー信号によ
り前記レーザー光が点火できる。また、前記金属小片が
１つ以上の検査通路を順に流れるようにもできる。
に、望ましくはレーザー光源と金属小片との間の距離が
一定の限界内で変動しても測定結果に影響が生じないよ
うにしたレーザー光システムを使用する。検査通路への
前記金属小片の進入によって発生するトリガー信号によ
り前記レーザー光が点火できる。また、前記金属小片が
１つ以上の検査通路を順に流れるようにもできる。
得られる全ての測定値とデータについての評価並びに
所望の分類信号の発生を電子工学的に行なうのが望まし
い。金属小片の表面のクリーニング用に与えられる最初
のパルスレーザー光にて生じるプラズマの放射線をアル
ミニウム特有の波長があるか調査し、前記波長が存在す
るときは前記金属小片へのそれ以上のパルスレーザー光
による照射を止めるようにすると有利な場合がある。
所望の分類信号の発生を電子工学的に行なうのが望まし
い。金属小片の表面のクリーニング用に与えられる最初
のパルスレーザー光にて生じるプラズマの放射線をアル
ミニウム特有の波長があるか調査し、前記波長が存在す
るときは前記金属小片へのそれ以上のパルスレーザー光
による照射を止めるようにすると有利な場合がある。
以上の各方法を実施するため次の装置が必要となる。
ｆ、前記検査通路を通してばらばらの前記金属小片を移
送するための適当な装置、 ｇ、金属小片の前記検査通路内への進入時にトリガー信
号を発生させる、トリガー検出器およびトリガー電子回
路を備えたトリガー信号発生装置、 ｈ、前記金属小片の表面をレーザー光によって部分的に
クリーニングするための装置、 ｉ、パルスレーザー光を発生させるための装置、 ｊ、スペクトル検出器が附属することもある１つあるい
はそれ以上のスペクトルフィルター、 ｋ、前記測定された放射線強度の評価および比較のため
の電子回路を有する評価装置および比較装置、 ｌ、前記得られた測定値とデータを処理し分類信号を発
生するためのコンピューター。
送するための適当な装置、 ｇ、金属小片の前記検査通路内への進入時にトリガー信
号を発生させる、トリガー検出器およびトリガー電子回
路を備えたトリガー信号発生装置、 ｈ、前記金属小片の表面をレーザー光によって部分的に
クリーニングするための装置、 ｉ、パルスレーザー光を発生させるための装置、 ｊ、スペクトル検出器が附属することもある１つあるい
はそれ以上のスペクトルフィルター、 ｋ、前記測定された放射線強度の評価および比較のため
の電子回路を有する評価装置および比較装置、 ｌ、前記得られた測定値とデータを処理し分類信号を発
生するためのコンピューター。
スクラップの金属小片にパルスレーザー光を照射しプ
ラズマを発生させ、このプラズマの全放射線の中のある
狭い波長範囲またはある波長の放射線だけを濾過し、そ
の濾過された放射線のスペクトル線の強度から得た関係
値を所定の限界値と比較し評価することおよび分類信号
を発生させることを電子工学的に行うので、そのために
要する時間は極めて短く、分類処理速度が極めて速くな
る。また、非磁性金属のスクラップを分析する場合、最
も多いと考えられるアルミニウムをまず分析するので、
分類を能率的に行える。
ラズマを発生させ、このプラズマの全放射線の中のある
狭い波長範囲またはある波長の放射線だけを濾過し、そ
の濾過された放射線のスペクトル線の強度から得た関係
値を所定の限界値と比較し評価することおよび分類信号
を発生させることを電子工学的に行うので、そのために
要する時間は極めて短く、分類処理速度が極めて速くな
る。また、非磁性金属のスクラップを分析する場合、最
も多いと考えられるアルミニウムをまず分析するので、
分類を能率的に行える。
本発明の実施例を第１図を参照しながら説明する。
本発明による金属小片を分析する装置の中で、重要な
部分を第１図に示す。この装置は次に挙げる部分より構
成される。
部分を第１図に示す。この装置は次に挙げる部分より構
成される。
ａ、金属小片１を検査通路に通して本図の紙面に対して
直角方向に動かすためのベルトコンベヤー２。
直角方向に動かすためのベルトコンベヤー２。
ｂ、金属小片が検査のために所定の位置に来たことを検
出しスタート信号を発生させるための、トリガー検出器
４とトリガー電子回路５を備えたトリガーレーザー３。
出しスタート信号を発生させるための、トリガー検出器
４とトリガー電子回路５を備えたトリガーレーザー３。
ｃ、金属小片のクリーニングおよび分析のために必要で
ある、ミラー８、焦点を結ばせるレンズ９およびミラー
10によって金属小片１へと導びかれるレーザー光を発生
するパルスレーザー６。
ある、ミラー８、焦点を結ばせるレンズ９およびミラー
10によって金属小片１へと導びかれるレーザー光を発生
するパルスレーザー６。
ｄ、前もって配置したスペクトルフィルター11を備えか
つ測定間隔を制御しコンピューターが判読できる測定値
のデータを得る検出電子回路13を備えたスペクトル検出
器12。
つ測定間隔を制御しコンピューターが判読できる測定値
のデータを得る検出電子回路13を備えたスペクトル検出
器12。
ｅ、測定値の関係値を得て、それを所定の限界値と比較
して、本装置中の分類手段を制御するための信号を発生
させる評価コンピューター14。
して、本装置中の分類手段を制御するための信号を発生
させる評価コンピューター14。
本装置には位置確定用のレーザー７も備えており、そ
れは可視レーザー光を放射し、パルスレーザー６のレー
ザー光と同じ検査箇所に焦点を結ばせる。
れは可視レーザー光を放射し、パルスレーザー６のレー
ザー光と同じ検査箇所に焦点を結ばせる。
また、パルスレーザー光を用いて金属小片の一部をク
リーニングするために、第２のパルスレーザーを別に備
えてもよい。
リーニングするために、第２のパルスレーザーを別に備
えてもよい。
金属小片１を選び出すための装置（図示せず）によっ
て、１秒間に30個という平均速度でベルトコンベヤー２
に金属小片を供給し、検査通路ではそれと対応した速度
で金属小片１が進む。トリガーレーザー３の光の進路へ
金属片が入るとトリガー検出器４がこれを感知し、パル
スレーザー６を点火するためにトリガー電子回路５はス
タート信号を発生する。この信号によってパルスレーザ
ー６は所定の数のパルスレーザー光を発射し、金属小片
１の表面の一部をクリーニングする。その後、更に所定
の数のパルスレーザー光を発射し、金属小片の分析のた
めにプラズマを生じさせる。プラズマからの放射線の大
部分はスペクトルフィルター11によって除かれ、ある特
定の波長の放射線またはある狭い範囲の波長の放射線だ
けが透過し、その放射線はスペクトル検出器12によって
検出される。プラズマからの放射線のバックグラウンド
ノイズを最小にしスペクトルをより正確に識別できるよ
うにするために、検出用電子回路13によって、スペクト
ル検出器12はある一定の時間の間だけプラズマからの放
射線を検出するようにしている。
て、１秒間に30個という平均速度でベルトコンベヤー２
に金属小片を供給し、検査通路ではそれと対応した速度
で金属小片１が進む。トリガーレーザー３の光の進路へ
金属片が入るとトリガー検出器４がこれを感知し、パル
スレーザー６を点火するためにトリガー電子回路５はス
タート信号を発生する。この信号によってパルスレーザ
ー６は所定の数のパルスレーザー光を発射し、金属小片
１の表面の一部をクリーニングする。その後、更に所定
の数のパルスレーザー光を発射し、金属小片の分析のた
めにプラズマを生じさせる。プラズマからの放射線の大
部分はスペクトルフィルター11によって除かれ、ある特
定の波長の放射線またはある狭い範囲の波長の放射線だ
けが透過し、その放射線はスペクトル検出器12によって
検出される。プラズマからの放射線のバックグラウンド
ノイズを最小にしスペクトルをより正確に識別できるよ
うにするために、検出用電子回路13によって、スペクト
ル検出器12はある一定の時間の間だけプラズマからの放
射線を検出するようにしている。
各々の検査において10-3秒の時間的間隔があるとする
と、本発明による方法ではその時間的間隔はおよそ次の
ように利用される。即ち、金属小片が入ってきてトリガ
ーレーザー光にあたりパルスレーザー光が発射されるま
でに約５×10-5秒が経過する。レーザー光の発射は約１
×10-8秒しかかからないので、約５×10-5秒後にはクリ
ーニングは終了している。分析のためのレーザー光の発
射に要する時間もまた実質的に無視できる。スペクトル
検出が可能となるまでの待ち時間は約５×10-7秒であ
る。５×10-6秒を実際の測定に利用する。以上のように
その一連の動作に要する時間の総計は0.6×10-4秒を超
えないので、コンピューターにおける評価のために9.4
×10-4秒を利用できる。この時間は評価のためには十分
すぎる。従って、本発明による方法は連続して分析され
る金属小片の時間的間隔が0.03秒以下の場合、即ちより
速い処理速度が要求される場合でもなお時間的余裕があ
る。
と、本発明による方法ではその時間的間隔はおよそ次の
ように利用される。即ち、金属小片が入ってきてトリガ
ーレーザー光にあたりパルスレーザー光が発射されるま
でに約５×10-5秒が経過する。レーザー光の発射は約１
×10-8秒しかかからないので、約５×10-5秒後にはクリ
ーニングは終了している。分析のためのレーザー光の発
射に要する時間もまた実質的に無視できる。スペクトル
検出が可能となるまでの待ち時間は約５×10-7秒であ
る。５×10-6秒を実際の測定に利用する。以上のように
その一連の動作に要する時間の総計は0.6×10-4秒を超
えないので、コンピューターにおける評価のために9.4
×10-4秒を利用できる。この時間は評価のためには十分
すぎる。従って、本発明による方法は連続して分析され
る金属小片の時間的間隔が0.03秒以下の場合、即ちより
速い処理速度が要求される場合でもなお時間的余裕があ
る。
以上説明したタイミングについてのよりよい理解のた
めに、10-3秒の理論的な検査時間の間隔が1m（1000mm）
の距離に相当することを仮定すると良い。この場合、50
mmの距離は金属小片が入ってきてトリガーレーザー光に
あたり、パルスレーザー光が発射されるまでの時間に相
当する。その発射時間はわずか0.01mmの距離に相当し、
待ち時間は0.5mmに、測定時間は5mmの距離に相当する。
従って、約940mmの距離が評価のために利用できる。
めに、10-3秒の理論的な検査時間の間隔が1m（1000mm）
の距離に相当することを仮定すると良い。この場合、50
mmの距離は金属小片が入ってきてトリガーレーザー光に
あたり、パルスレーザー光が発射されるまでの時間に相
当する。その発射時間はわずか0.01mmの距離に相当し、
待ち時間は0.5mmに、測定時間は5mmの距離に相当する。
従って、約940mmの距離が評価のために利用できる。
測定時間がこのように短いので測定の結果は、分析中
の金属小片が動くことによって影響は受けない。装置の
配置を上述のようにすることによって、検査される金属
小片の大きさは等級分類によって決められた範囲内にあ
り、金属小片とレーザー光学システムとの間の距離の違
いによる測定結果への影響はない。
の金属小片が動くことによって影響は受けない。装置の
配置を上述のようにすることによって、検査される金属
小片の大きさは等級分類によって決められた範囲内にあ
り、金属小片とレーザー光学システムとの間の距離の違
いによる測定結果への影響はない。
本発明は上述のような構成としているので、金属小片
を分析し分類する際において、15mmから65mmの平均サイ
ズを持つ小片を１秒間に少なくとも30個処理できる。ま
た、金属小片の分析コストは、分類することによって小
片に付加される価値（1000kgにつきおよそ1200〜1300ド
イツマルク程度）よりかなり低くできるので、経済的に
極めて有効である。
を分析し分類する際において、15mmから65mmの平均サイ
ズを持つ小片を１秒間に少なくとも30個処理できる。ま
た、金属小片の分析コストは、分類することによって小
片に付加される価値（1000kgにつきおよそ1200〜1300ド
イツマルク程度）よりかなり低くできるので、経済的に
極めて有効である。
第１図は本発明による金属小片の分析装置の各構成要素
の配置図である。 なお図面に用いた符号において、 １……金属小片 ２……ベルトコンベヤー ３……トリガーレーザー ４……トリガー検出器 ５……トリガー電子回路 ６……パルスレーザー 11……スペクトルフィルター 12……スペクトル検出器 13……検出電子回路 14……評価コンピューター である。
の配置図である。 なお図面に用いた符号において、 １……金属小片 ２……ベルトコンベヤー ３……トリガーレーザー ４……トリガー検出器 ５……トリガー電子回路 ６……パルスレーザー 11……スペクトルフィルター 12……スペクトル検出器 13……検出電子回路 14……評価コンピューター である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クリスティアン・ホーラ ドイツ連邦共和国8000ミュンヘン60・ア ドールフ‐ザントベルガーシュトラーセ １アー (72)発明者 トーマス・アール・ローリー アメリカ合衆国ニューメキシコ州 87544・ロスアラモス・サイカモアー 4053 (56)参考文献 特開 昭56−114746（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−59086（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−146294（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−86636（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−219439（ＪＰ，Ａ)
Claims (11)
- 【請求項１】金属小片にパルスレーザー光を照射してプ
ラズマを発生させ、この金属小片の特性を確認するため
に前記プラズマのスペクトル線を調査する金属小片の分
析方法において、 ａ、前記金属小片の表面にレーザー光を照射して部分的
にクリーニングを行い、 ｂ、前記クリーニングされた部分にパルスレーザー光を
照射して、 ｃ、前記プラズマの全放射線から所定の波長の放射線を
濾過し、 ｄ、前記濾過された波長の放射線強度から数値的な関係
値を求めると共に、 ｅ、これらの関係値から調整可能な限界値と比較して分
類信号を得るようにした金属小片の分析方法。 - 【請求項２】個々の波長の代りに一定の狭い波長範囲を
濾過するようにした請求項１記載の方法。 - 【請求項３】前記プラズマの放射線を前記分析のために
一定時間の間だけ調査することを特徴とする請求項１ま
たは２記載の方法。 - 【請求項４】ある特有のプラズマの生成に必要である前
記レーザー光の点火前に前記クリーニング用のレーザー
光の照射による気化生成物を除去することを特徴とする
請求項１、２または３記載の方法。 - 【請求項５】１コ以上の関係値が設けられかつ比較のた
めにそれ以上の複数の限界値を予め与えることを特徴と
する請求項１、２、３または４記載の方法。 - 【請求項６】形状や重さの異なる種々の金属小片の前記
分析の際に、レーザー光源と金属小片の間の距離が一定
の限界内で変動しても測定結果に影響が生じないように
したレーザー光システムを使用することを特徴とする請
求項１、２、３、４又は５記載の方法。 - 【請求項７】検査通路への前記金属小片の進入によって
発生するトリガー信号により前記レーザー光が点火され
ることを特徴とする請求項１、２、３、４、５又は６記
載の方法。 - 【請求項８】前記金属小片が１つ以上の検査通路を順に
流れるように構成した請求項１、２、３、４、５、６ま
たは７記載の方法。 - 【請求項９】得られる全ての測定値とデータについての
評価並びに所望の分類信号の発生を電子工学的に行なう
ことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７ま
たは８記載の方法。 - 【請求項１０】金属小片の表面のクリーニング用に与え
られる最初のパルスレーザー光にて生じるプラズマの放
射線をアルミニウム特有の波長があるか調査し、前記波
長が存在するときは前記金属小片へのそれ以上のパルス
レーザー光による照射を止めるようにした請求項１、
２、３、４、５、６、７、８または９記載の方法。 - 【請求項１１】ａ、前記検査通路を通してばらばらの前
記金属小片を移送するための適当な装置、 ｂ、金属小片の前記検査通路内への進入時にトリガー信
号を発生させる、トリガー検出器およびトリガー電子回
路を備えたトリガー信号発生装置、 ｃ、前記金属小片の表面をレーザー光によって部分的に
クリーニングするための装置、 ｄ、パルスレーザー光を発生させるための装置、 ｅ、スペクトル検出器が附属することもある１つあるい
はそれ以上のスペクトルフィルター、 ｆ、前記測定された放射線強度の評価および比較のため
の電子回路を有する評価装置および比較装置、 ｇ、前記得られた測定値とデータを処理し分類信号を発
生するためのコンピューターから成る請求項１から10記
載の各方法を実施するための装置。
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| DE19873718672 DE3718672A1 (de) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | Verfahren zur analyse von metallteilchen |
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|---|---|
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