JP2614754B2 - 波長安定化光源 - Google Patents
波長安定化光源Info
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、1.5μｍ帯の波長を持つレーザ光源の波長
安定化技術に関するものであり、特定の化学物質、例え
ばアセチレン分子が持つ1.5μｍ帯の光吸収スペクトル
のうち、一つの光吸収ピークを波長基準とし、この光吸
収ピークにレーザ光の波長を固定し、波長の安定化を図
る装置である。
安定化技術に関するものであり、特定の化学物質、例え
ばアセチレン分子が持つ1.5μｍ帯の光吸収スペクトル
のうち、一つの光吸収ピークを波長基準とし、この光吸
収ピークにレーザ光の波長を固定し、波長の安定化を図
る装置である。
本発明は、例えばアセチレン分子が呈する強く鋭い吸
収ピークを波長基準とするため、現今広く使用されてい
る1.5μｍ帯のレーザ光波長を高精度に安定化できるの
で、産業上、高精度波長・周波数標準として利用するこ
とができる。
収ピークを波長基準とするため、現今広く使用されてい
る1.5μｍ帯のレーザ光波長を高精度に安定化できるの
で、産業上、高精度波長・周波数標準として利用するこ
とができる。
例えば、マイケルソン型干渉計を応用した超精密レー
ザ測長システムの光源や、光ヘテロダイン周波数計の標
準周波数光源として利用できる。
ザ測長システムの光源や、光ヘテロダイン周波数計の標
準周波数光源として利用できる。
また、次世代通信方式として研究が進められている、
光ヘテロダイン通信における、発信局光源及び受信局光
源として利用できる。
光ヘテロダイン通信における、発信局光源及び受信局光
源として利用できる。
レーザ光源の光波長を安定化させる方法としては特定
波長の光吸収ピークを持つ原子・分子を封入した光吸収
セルを波長基準として用いる方法、ファブリペロー共振
器の光共振透過特性を波長基準として用いる方法、及
び、原子をプラズマ状態にし、励起準位間遷移による光
吸収ピークを波長基準とする方法等が検討されている。
波長の光吸収ピークを持つ原子・分子を封入した光吸収
セルを波長基準として用いる方法、ファブリペロー共振
器の光共振透過特性を波長基準として用いる方法、及
び、原子をプラズマ状態にし、励起準位間遷移による光
吸収ピークを波長基準とする方法等が検討されている。
この中で、原子・分子を封入した光吸収セルによる安
定化の方式が最も波長安定度が高く、簡単にシステム化
ができる。そのため、ルビジウムやセシウム原子を封入
した吸収セルにより0.8μｍ帯のレーザ・ダイオードの
レーザ光の波長安定化光源の実用化が行われており、ア
ラン分散値で10-12程度が実現されている。
定化の方式が最も波長安定度が高く、簡単にシステム化
ができる。そのため、ルビジウムやセシウム原子を封入
した吸収セルにより0.8μｍ帯のレーザ・ダイオードの
レーザ光の波長安定化光源の実用化が行われており、ア
ラン分散値で10-12程度が実現されている。
しかし、0.8μｍ帯における光吸収セル方式の安定化
光源が実用化された反面、光ファイバの伝送損失が最も
小さい1.5μｍ帯のレーザ光の安定化光源の実用化はな
されていない。現在までにアンモニア分子や重水分子を
光吸収セルに封入して波長安定化が図られているが、0.
8μｍ帯で使用される原子に比べ、光の吸収係数が小さ
いため、波長制御信号のS/Nが悪く、高い波長安定度が
得られない（アラン分散値で10-9〜10-10程度であ
る）。
光源が実用化された反面、光ファイバの伝送損失が最も
小さい1.5μｍ帯のレーザ光の安定化光源の実用化はな
されていない。現在までにアンモニア分子や重水分子を
光吸収セルに封入して波長安定化が図られているが、0.
8μｍ帯で使用される原子に比べ、光の吸収係数が小さ
いため、波長制御信号のS/Nが悪く、高い波長安定度が
得られない（アラン分散値で10-9〜10-10程度であ
る）。
本発明は、下記の問題点を解決し、1.5μｍ波長帯で
高い波長安定度を有する波長安定化光源を実現すること
を目的とする。
高い波長安定度を有する波長安定化光源を実現すること
を目的とする。
（１） アンモニア分子や重水分子等の光吸収ピーク
は、光吸収係数が小さいため、光吸収スペクトル信号の
強度が小さい。その結果、波長の変動に対する吸収信号
の変化が小さいため波長制御信号のS/Nが悪くなり、高
い波長安定度が得られない。
は、光吸収係数が小さいため、光吸収スペクトル信号の
強度が小さい。その結果、波長の変動に対する吸収信号
の変化が小さいため波長制御信号のS/Nが悪くなり、高
い波長安定度が得られない。
（２） コヒーレント光通信に使用する波長安定化光源
は通信用ファイバーの最低損失波長である1.55μｍに近
い波長を持つ必要があるが、従来使用されているアンモ
ニア分子や重水分子では、1.5μｍ以上の波長では光吸
収率が極端に小さくなり、波長安定度が劣化する。従っ
て、コヒーレント通信ではアンモニア分子や重水分子を
波長基準とした波長安定化光源は使用できない。
は通信用ファイバーの最低損失波長である1.55μｍに近
い波長を持つ必要があるが、従来使用されているアンモ
ニア分子や重水分子では、1.5μｍ以上の波長では光吸
収率が極端に小さくなり、波長安定度が劣化する。従っ
て、コヒーレント通信ではアンモニア分子や重水分子を
波長基準とした波長安定化光源は使用できない。
本願発明者等は、アセチレン（C2H2）の分光実験を行
い、その結果、アセチレンが1.5μｍ波長帯に複数の強
い吸収ピークを有することを発見した。そこで、この発
明では、アセチレン分子が呈する強く鋭い光吸収ピーク
を波長基準とすることとした。すなわち、アセチレンを
内蔵した吸収セルを用意し、そこに、安定化すべきレー
ザ光源の光を導き、アセチレン分子の吸収線からずれた
光の成分を光検出器で検出し、それを誤差信号として利
用して光波長制御を行う構成をとる。
い、その結果、アセチレンが1.5μｍ波長帯に複数の強
い吸収ピークを有することを発見した。そこで、この発
明では、アセチレン分子が呈する強く鋭い光吸収ピーク
を波長基準とすることとした。すなわち、アセチレンを
内蔵した吸収セルを用意し、そこに、安定化すべきレー
ザ光源の光を導き、アセチレン分子の吸収線からずれた
光の成分を光検出器で検出し、それを誤差信号として利
用して光波長制御を行う構成をとる。
第１図に、この構成の大枠を示す。光波長制御の方法
としては レーザダイオードへの注入電流を変調する従来形の
波長変調の精度を高めるようにしたもの（第３図）。
としては レーザダイオードへの注入電流を変調する従来形の
波長変調の精度を高めるようにしたもの（第３図）。
吸収セルに入射する光に波長変調をかけてするもの
（第６図）。
（第６図）。
アセチレン分子による吸収を２つの受光器からの信
号を対比して誤差信号を得るようにしたもの（第８
図）。
号を対比して誤差信号を得るようにしたもの（第８
図）。
などがある。
以上の方法が代表的なものであるが、これらのほか、
ファブリペロ共振器を回転させたり、エタロン共振器を
変化させたりする機械的方法も用いることができる。
ファブリペロ共振器を回転させたり、エタロン共振器を
変化させたりする機械的方法も用いることができる。
アセチレン分子の吸収ピークは強く鋭い点に特徴があ
る。アセチレン分子を1mの吸収セルに1torrの圧力で封
入した場合の、1.535〜1.545μｍ波長範囲における基底
準位からの遷移系列（0000000→1010000）に属する吸収
ピークの波長位置とその光吸収率を示す（第２図）。こ
の波長帯において、アンモニア分子の吸収率は、数％の
光吸収率であるので、アセチレンはアンモニアの10倍程
度の強い光吸収率を持つ。また、アセチレン分子の吸収
ピークの幅は波長で表わすと3.6pmであり、アンモニア
分子の4.8pm、重水分子の4.4pm（D2O）,4.5pm（DHO）と
比べて、アセチレン分子は狭いピーク幅を持っている。
る。アセチレン分子を1mの吸収セルに1torrの圧力で封
入した場合の、1.535〜1.545μｍ波長範囲における基底
準位からの遷移系列（0000000→1010000）に属する吸収
ピークの波長位置とその光吸収率を示す（第２図）。こ
の波長帯において、アンモニア分子の吸収率は、数％の
光吸収率であるので、アセチレンはアンモニアの10倍程
度の強い光吸収率を持つ。また、アセチレン分子の吸収
ピークの幅は波長で表わすと3.6pmであり、アンモニア
分子の4.8pm、重水分子の4.4pm（D2O）,4.5pm（DHO）と
比べて、アセチレン分子は狭いピーク幅を持っている。
上記した光吸収率とピーク幅は吸収ピークを波長基準
とした場合、固定しようとする吸収スペクトル内の波長
からレーザ光源１の発振波長がずれたときに変化する透
過光の量に直接関係し、光吸収率が高い程またピーク幅
が狭い程、単位波長あたりのずれに対応する透過光の量
の変化が大きく、感度が高くなる。従って、光検出器３
で出力される信号のS/Nが高く取れるため、光波長制御
回路４を通して制御されるレーザ光源１の波長安定度を
高くすることができる。従って、アセチレン分子の光吸
収ピークを波長基準として構成された波長安定化光源で
は、上述したように、波長制御信号の高いS/Nが得られ
るため、高い波長安定度が得られる。
とした場合、固定しようとする吸収スペクトル内の波長
からレーザ光源１の発振波長がずれたときに変化する透
過光の量に直接関係し、光吸収率が高い程またピーク幅
が狭い程、単位波長あたりのずれに対応する透過光の量
の変化が大きく、感度が高くなる。従って、光検出器３
で出力される信号のS/Nが高く取れるため、光波長制御
回路４を通して制御されるレーザ光源１の波長安定度を
高くすることができる。従って、アセチレン分子の光吸
収ピークを波長基準として構成された波長安定化光源で
は、上述したように、波長制御信号の高いS/Nが得られ
るため、高い波長安定度が得られる。
また、第２図に示すように、アセチレンの強い吸収ス
ペクトルの波長域は、1.545μｍまで伸びているため、
コヒーレント光通信で使用する通信用光ファイバーの光
損失が少なく、通信用光源として使用できる。
ペクトルの波長域は、1.545μｍまで伸びているため、
コヒーレント光通信で使用する通信用光ファイバーの光
損失が少なく、通信用光源として使用できる。
第１図に本発明のアセチレンを封入した吸収セルを使
用した波長安定化光源の一実施例を示す。
用した波長安定化光源の一実施例を示す。
レーザ光源１から発信されたレーザ光は、アセチレン
ガスを封入した光吸収セル２に入射し、アセチレン分子
の吸収ピークに従った吸収を受け、光検出器３で透過光
を検知する。レーザ光源１の出力光波長はアセチレン分
子の特定の光吸収ピーク波長にほぼ合うように調節され
ており、アセチレン分子を封入した光吸収セル２を透過
させ、その透過光を光検出器３により取り出す。この光
検出信号は、レーザ光源１の出力光強度が一定の場合、
吸収光強度の大きさが波長により変化する。
ガスを封入した光吸収セル２に入射し、アセチレン分子
の吸収ピークに従った吸収を受け、光検出器３で透過光
を検知する。レーザ光源１の出力光波長はアセチレン分
子の特定の光吸収ピーク波長にほぼ合うように調節され
ており、アセチレン分子を封入した光吸収セル２を透過
させ、その透過光を光検出器３により取り出す。この光
検出信号は、レーザ光源１の出力光強度が一定の場合、
吸収光強度の大きさが波長により変化する。
従って、この光検出器３からの信号を波長制御回路４
にフィードバックさせて、アセチレン分子の吸収ピーク
の特性波長からのずれに応じて補正する制御信号をレー
ザ光源１に供給することにより、レーザ光源からの出力
光波長を一定に保つことができる。
にフィードバックさせて、アセチレン分子の吸収ピーク
の特性波長からのずれに応じて補正する制御信号をレー
ザ光源１に供給することにより、レーザ光源からの出力
光波長を一定に保つことができる。
レーザ光源として、レーザ・ダイオードを使用し、ア
セチレンの吸収ピークの特定波長にレーザ波長を固定す
る場合の波長制御回路系の方式としては、次の３つの方
法が代表的であり、この他、機械的に波長制御すること
もできる。代表的な３方法を用いた場合の具体的実施例
について以下説明する。
セチレンの吸収ピークの特定波長にレーザ波長を固定す
る場合の波長制御回路系の方式としては、次の３つの方
法が代表的であり、この他、機械的に波長制御すること
もできる。代表的な３方法を用いた場合の具体的実施例
について以下説明する。
（１） 吸収スペクトルの微分信号による制御 第３図に、アセチレンの吸収ピークの微分信号による
波長制御系を使った波長安定化光源の一実施例を示す。
波長制御系を使った波長安定化光源の一実施例を示す。
この場合、周波数fmの発振器５を用い、レーザ・ダイ
オード電源６の出力電流にfmの発振周波数で微弱な変調
電流をのせ、レーザ・ダイオード７の出力光波長に微弱
な変調をかける。この変調された波長を持つ出力光をア
セチレンを封入した光吸収セル８に入射させ、その透過
光をホト・ダイオード９で検知する。
オード電源６の出力電流にfmの発振周波数で微弱な変調
電流をのせ、レーザ・ダイオード７の出力光波長に微弱
な変調をかける。この変調された波長を持つ出力光をア
セチレンを封入した光吸収セル８に入射させ、その透過
光をホト・ダイオード９で検知する。
検知した透過光強度は、出力光波長に変調をかけてい
るため、アセチレンの吸収ピーク曲線に従った周波数fm
の強度変調を持ち、その強度変調に対応したホト・ダイ
オード９の出力信号をプリアンプ10を通して、ロックイ
ンアンプ11に入力する。このロックインアンプ11で発振
器５の発振周波数と位相同期検波を行うことにより、第
５図に示すような吸収スペクトルの出力光波長における
微分値出力を得ることができる。この微分値出力は、レ
ーザ・ダイオード７の出力光波長が、アセチレンの吸収
波長と一致したとき０となり、出力光波長が吸収波長を
原点として正負にズレたときは各々負・正の微分値出力
を得ることができ、波長弁別特性をもつ。この信号はレ
ーザ・ダイオード電源６にフィードバックし、微分値出
力を零とするように出力電流をコントロールすることに
よりレーザ・ダイオード７の出力光波長をアセチレンの
吸収波長に安定化できる。
るため、アセチレンの吸収ピーク曲線に従った周波数fm
の強度変調を持ち、その強度変調に対応したホト・ダイ
オード９の出力信号をプリアンプ10を通して、ロックイ
ンアンプ11に入力する。このロックインアンプ11で発振
器５の発振周波数と位相同期検波を行うことにより、第
５図に示すような吸収スペクトルの出力光波長における
微分値出力を得ることができる。この微分値出力は、レ
ーザ・ダイオード７の出力光波長が、アセチレンの吸収
波長と一致したとき０となり、出力光波長が吸収波長を
原点として正負にズレたときは各々負・正の微分値出力
を得ることができ、波長弁別特性をもつ。この信号はレ
ーザ・ダイオード電源６にフィードバックし、微分値出
力を零とするように出力電流をコントロールすることに
よりレーザ・ダイオード７の出力光波長をアセチレンの
吸収波長に安定化できる。
（２） 音響光学変調器による制御 第６図に、音響光学変調器による波長制御回路系を使
った波長安定化光源の一実施例を示す。
った波長安定化光源の一実施例を示す。
レーザ・ダイオード12の出力光は、発振器13の周波数
fmでON・OFFさせている音響光学変調器14に入射させ、O
NのときにはOFFのときのレーザ・ダイオード12の出力光
の周波数にfMの変調分が加わるようにする。また、レー
ザ・ダイオード12の出力周波数を、第７図に示すよう
に、音響光学変調器14のONとOFFの出力光周波数が、ア
セチレンの吸収ピークの中心周波数を間に挟むように調
整する。音響光学変調器14の出力光はアセチレンを封入
した光吸収セル15に入射させ、その透過光をホト・ダイ
オード16で検知する。検知信号は中心波長の両側のアセ
チレンの吸収ピーク曲線に従った透過光強度に対応した
信号となる。この信号をプリアンプ17を通して、ロック
インアンプ18で発振器13の周波数fmと位相同期検波する
ことによりアセチレンの吸収ピークの中心波長を挟む左
右の音響光学変調器の出力波長での透過光強度の差に対
応した信号を得ることができる。この信号は、両方の透
過光強度が等しいとき零で、このときのレーザ・ダイオ
ードの出力波長を特定波長とし、この波長からずれた場
合、正負の信号出力を持ち、波長弁別特性を持つ。
fmでON・OFFさせている音響光学変調器14に入射させ、O
NのときにはOFFのときのレーザ・ダイオード12の出力光
の周波数にfMの変調分が加わるようにする。また、レー
ザ・ダイオード12の出力周波数を、第７図に示すよう
に、音響光学変調器14のONとOFFの出力光周波数が、ア
セチレンの吸収ピークの中心周波数を間に挟むように調
整する。音響光学変調器14の出力光はアセチレンを封入
した光吸収セル15に入射させ、その透過光をホト・ダイ
オード16で検知する。検知信号は中心波長の両側のアセ
チレンの吸収ピーク曲線に従った透過光強度に対応した
信号となる。この信号をプリアンプ17を通して、ロック
インアンプ18で発振器13の周波数fmと位相同期検波する
ことによりアセチレンの吸収ピークの中心波長を挟む左
右の音響光学変調器の出力波長での透過光強度の差に対
応した信号を得ることができる。この信号は、両方の透
過光強度が等しいとき零で、このときのレーザ・ダイオ
ードの出力波長を特定波長とし、この波長からずれた場
合、正負の信号出力を持ち、波長弁別特性を持つ。
従って、この信号をレーザ・ダイオード電源19にフィ
ードバックし、ロックインアンプ18の出力信号を零とす
るようにし、出力電流をコントロールすることによりレ
ーザ・ダイオード12の出力光波長をアセチレンの吸収ピ
ークの特定波長に安定化できる。
ードバックし、ロックインアンプ18の出力信号を零とす
るようにし、出力電流をコントロールすることによりレ
ーザ・ダイオード12の出力光波長をアセチレンの吸収ピ
ークの特定波長に安定化できる。
（３） 透過率測定による制御 第８図に、透過率測定による波長制御回路を使った波
長安定化光源の一実施例を示す。
長安定化光源の一実施例を示す。
レーザ・ダイオーダ21の出力光を、ビームスプリッタ
22で一定の強度比率で２の光に分ける。
22で一定の強度比率で２の光に分ける。
一方の光は、ホト・ダイオードA23に直接入射させ、
他方の光をアセチレンを封入した光吸収セル24を透過さ
せた後、ホト・ダイオードB25で検知する。相対的な透
過光強度を得るために、両方のホト・ダイオード23,25
の信号をデイバイダー26で割り算を行い、第９図に示す
透過光強度の比に対応した信号を発生させる。安定化を
行うアセチレンの吸収ピークの特定波長の透過光強度と
ホト・ダイオードA23の強度信号の比に対応する信号を
安定化電源27から出力させ、差動増幅28の基準信号とし
て入力させ、ディバイダーからの信号を差動増幅器28に
て基準信号と差動増幅させることにより、特定波長にお
いて０、特定波長からずれた場合、正負の波長弁別信号
を得ることができる。この弁別信号をレーザ・ダイオー
ド電源29にフィードバックし、差動増幅器28からの出力
信号を零になるように、レーザ・ダイオード電源29から
の出力電流をコントロールすることによりレーザ・ダイ
オード21の出力波長をアセチレンの吸収ピーク近傍の特
定波長に安定化できる。
他方の光をアセチレンを封入した光吸収セル24を透過さ
せた後、ホト・ダイオードB25で検知する。相対的な透
過光強度を得るために、両方のホト・ダイオード23,25
の信号をデイバイダー26で割り算を行い、第９図に示す
透過光強度の比に対応した信号を発生させる。安定化を
行うアセチレンの吸収ピークの特定波長の透過光強度と
ホト・ダイオードA23の強度信号の比に対応する信号を
安定化電源27から出力させ、差動増幅28の基準信号とし
て入力させ、ディバイダーからの信号を差動増幅器28に
て基準信号と差動増幅させることにより、特定波長にお
いて０、特定波長からずれた場合、正負の波長弁別信号
を得ることができる。この弁別信号をレーザ・ダイオー
ド電源29にフィードバックし、差動増幅器28からの出力
信号を零になるように、レーザ・ダイオード電源29から
の出力電流をコントロールすることによりレーザ・ダイ
オード21の出力波長をアセチレンの吸収ピーク近傍の特
定波長に安定化できる。
また、機械的方法を用いた場合も上記各方法同様、波
長を安定化させることができる。
長を安定化させることができる。
上記各方法における光学系の配置方法は、必ずしも第
１図にとらわれることはなく、ビームスプリッターや反
射ミラーを用いることにより、光吸収セル内を透過する
透過光を複数回往復させたり光検出器の位置をレーザ光
源側に配置することにより装置をコンパクトにすること
ができる。さらに、光吸収セルの封入圧力を高めること
により光吸収セル長を短くすることができる。
１図にとらわれることはなく、ビームスプリッターや反
射ミラーを用いることにより、光吸収セル内を透過する
透過光を複数回往復させたり光検出器の位置をレーザ光
源側に配置することにより装置をコンパクトにすること
ができる。さらに、光吸収セルの封入圧力を高めること
により光吸収セル長を短くすることができる。
以上、述べたように、本発明によれば、波長基準とし
てアセチレンガスの1.5μｍ波長帯に存在する強く鋭い
光吸収ピークを用いることとしたから、1.5μｍ波長帯
で波長制御信号の高いS/Nが得られ、高い波長安定度を
有する波長安定化光源が実現できる。なお、アセチレン
分子の強い吸収スペクトルの波長域が1.545μｍまで伸
びているため、本発明の波長安定化光源はコヒーレント
光通信用の光ファイバー（最低損失波長1.55μｍ）での
光損失が少なく、コヒーレント光通信の光源として使用
できる。
てアセチレンガスの1.5μｍ波長帯に存在する強く鋭い
光吸収ピークを用いることとしたから、1.5μｍ波長帯
で波長制御信号の高いS/Nが得られ、高い波長安定度を
有する波長安定化光源が実現できる。なお、アセチレン
分子の強い吸収スペクトルの波長域が1.545μｍまで伸
びているため、本発明の波長安定化光源はコヒーレント
光通信用の光ファイバー（最低損失波長1.55μｍ）での
光損失が少なく、コヒーレント光通信の光源として使用
できる。
第１図は本発明による波長安定化光源の一実施例を示す
図、第２図はアセチレンの吸収スペクトルの光吸収率を
示す図、第３図は波長安定化に吸収ピークの微分信号を
使用した本発明の一実施例を示す図、第４図は吸収ピー
クによる波長変動信号を示す図、第５図は波長変動信号
を位相検波することにより得られる微分型波長制御信号
を示す図、第６図は音響光学変調素子を利用した本発明
に係る一実施例、第７図は音響光学素子を利用した波長
制御信号の出力特性図、第８図はアセチレンを封入した
光吸収セルの光透過率を波長制御に利用した本発明の一
実施例を示す図、第９図は光透過率を利用した波長制御
信号の出力特性図をそれぞれ示す。 図中、１はレーザ光源、７・12・21はレーザ・ダイオー
ド、２・８・15・24はアセチレンを封入した光吸収セ
ル、３は光検出器、９・16・23・25はホト・ダイオー
ド、４は光検出制御回路、５・13は発振器、６・19・29
はレーザ・ダイオード電源、11・18はロックインアン
プ、10・17はプリアンプ、14は音響光学変調器、20は音
響光学変調器用ドライバー、22はビームスプリッタ、26
はディバイダー、27は安定化電圧源、28は差動アンプ、
30はミラーをそれぞれ示す。
図、第２図はアセチレンの吸収スペクトルの光吸収率を
示す図、第３図は波長安定化に吸収ピークの微分信号を
使用した本発明の一実施例を示す図、第４図は吸収ピー
クによる波長変動信号を示す図、第５図は波長変動信号
を位相検波することにより得られる微分型波長制御信号
を示す図、第６図は音響光学変調素子を利用した本発明
に係る一実施例、第７図は音響光学素子を利用した波長
制御信号の出力特性図、第８図はアセチレンを封入した
光吸収セルの光透過率を波長制御に利用した本発明の一
実施例を示す図、第９図は光透過率を利用した波長制御
信号の出力特性図をそれぞれ示す。 図中、１はレーザ光源、７・12・21はレーザ・ダイオー
ド、２・８・15・24はアセチレンを封入した光吸収セ
ル、３は光検出器、９・16・23・25はホト・ダイオー
ド、４は光検出制御回路、５・13は発振器、６・19・29
はレーザ・ダイオード電源、11・18はロックインアン
プ、10・17はプリアンプ、14は音響光学変調器、20は音
響光学変調器用ドライバー、22はビームスプリッタ、26
はディバイダー、27は安定化電圧源、28は差動アンプ、
30はミラーをそれぞれ示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 衣川 茂 東京都港区南麻布５丁目10番27号 アン リツ株式会社内 審査官 原 光明 (56)参考文献 特開 昭56−17090（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−124765（ＪＰ，Ｕ) 第49回応用物理学会学術講演会予稿集 1988秋期、６Ｐ−Ｑ−12
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ光源（１）と、 アセチレンを内蔵しており、前記レーザ光源からの出力
光を受けて、特定波長の光を吸収する光吸収セル（２）
と、 該光吸収セルを透過したレーザ光を検出し、光強度に応
じた信号を出力する光検出器（３）と、 前記信号に応じて前記レーザ光源からの出力光の波長を
前記特定波長に一致せしめるように、前記レーザ光源を
制御する光波長制御回路（４）とを備えた波長安定化光
源。
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|---|---|---|---|
| JP63248250A JP2614754B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 波長安定化光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63248250A JP2614754B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 波長安定化光源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0296388A JPH0296388A (ja) | 1990-04-09 |
| JP2614754B2 true JP2614754B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=17175380
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP63248250A Expired - Fee Related JP2614754B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 波長安定化光源 |
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-
1988
- 1988-09-30 JP JP63248250A patent/JP2614754B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 第４９回応用物理学会学術講演会予稿集１９８８秋期、６Ｐ−Ｑ−１２ |
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| JPH0296388A (ja) | 1990-04-09 |
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