JP2613280B2 - ドライ真空ポンプの潤滑油自動補給排油回収システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造装置等に用いられるドライ真空ポ
ンプの潤滑油自動補給、排油回収システムに関する。

〔従来の技術〕

従来気体ポンプ等の機械室へのガスパージ方法は特開
昭62−168992号などのように行われているものがある
が、オイルミストの回収や減少した油の自動補給などに
ついては論じられていない。また、この種圧縮機の自動
給油に関するものには実公昭53−16006号などがある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記特開昭62−168992号の従来技術は排気されるパー
ジガス中に混入した潤滑油がガスと一緒に排出され、減
少するため、一定時間経過すると、潤滑油を補給する必
要があった。潤滑油の補給作業は作業者の手を汚した
り、真空ポンプ周辺を油で汚すなどクリーンルーム内を
汚染する原因となっていた。またパージガス排気ライン
にオイルミスト回収フイルター付の油タンクを設置して
回収した潤滑油は一定時間経過すると満杯となるため、
そのタンク部分をとりはずして油を別の容器に移し変え
る作業が必要となるなど24時間連続運転を要求される真
空ポンプ、使い勝手上の大きな問題となっていた。

また、実公昭53−16006号の従来技術は、ポンプが必
要となるなど価格的に不利であった。

本発明の目的はパージガス中に混入して一緒に排出さ
れ減少する潤滑油の自動補給を簡単な装置で行うことに
ある。さらに回収された潤滑油を自動補給用の潤滑油と
して再利用できる排油回収給油システムを提供すること
にある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、油室と作動室の軸封にガ
スパージ方式を用いたドライ真空ポンプにおいて、パー
ジガスの排気ラインにオイルミスト回収フイルター付の
油回収タンクを設け、該油回収タンクを前記ドライ真空
ポンプの主タンクと配管接続するとともに、該主タンク
と前記油回収タンクとの間にガス抜き用のバルブを設け
た補助タンクを設置したものである。

〔作用〕

真空ポンプ本体内蔵の主タンクの油面が低下し、補助
タンクと連通する油面まで下がると圧力差により補助タ
ンク内の油が自動補給され連通穴をふさぐ位置まで油面
が上昇する。このとき主タンクと補助タンク間のバルブ
は開となっており、オイルミスト回収フイルターは油タ
ンク間のバルブとガス抜き用バルブは閉となっている。
また回収油タンク内に回収された油は補助タンクのガス
抜きバルブを開き、補助タンクと主タンク間のバルブを
閉じ、回収油タンクと補助タンク間のバルブを開くと回
収油タンクの油が補助タンクへ流入し回収油の再利用を
図ることができるので、単にバイブ操作のみで、真空ポ
ンプを止めることなく排油の回収と自動補給を図ること
ができ無補給にて長時間の連続運転ができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第
１図は本発明の一実施例を示したスクリュー式ドライ真
空ポンプの縦断面図である。２はロータ、１はオスロー
タ，メスロータを収納するケーシングで、ロータは吐出
側軸受３と吸込側軸受４により、回転支持されている。
両軸受は油潤滑方式を採用し吐出側軸受３は図示してな
い油ポンプによる強制給油、吸込側軸受４は、スリンガ
21によるはねかけ給油がなされている。５は吐出側軸封
で強制給油される吐出側軸受３の潤滑油が作動室内に入
らないよう軸封の中間にパージガス供給ライン13を設け
不活性なガスをパージしている。６は吸込側軸封であ
る。９はギヤケーシングでモートル12の軸に直結された
増速ギヤ11とロータに直結されたタイミングギヤ７より
構成される増速機構を収納している。ギヤケーシング９
の下部には増速ギヤ11、タイミングギヤ７、吐出側軸受
３を潤滑するための油の主タンク10（油だまり）が設け
られ、さらにバルブ18を介して、油の充満した補治タン
ク17が設けられている。またギヤケーシング９には、軸
封に供給されたパージガスの一部が流れ込んで来るため
そのパージガスを排気するためのパージガス排気ライン
14が設けてある。パージガス排気ライン14にはオイルミ
ストフイルター15付の油回収タンク16が設けられ、油回
収タンクは補助タンクとバルブ19を介してつながってい
る。さらに補助タンクはバルブ20を介して、オイルミス
トフイルタの下流部と連通している。

モートル12が駆動されると、増速ギヤ11、タイミング
ギヤ７を介してロータが回転をはじめ真空チャンバ22内
の気体は吸気口1aより吸い込まれるケーシング１と１対
のロータ２によって形成される作動室内で大気圧まで昇
圧され排気口1bより排気される。このとき吐出側軸封５
には吐出側軸受３の潤滑油を作動室内へ侵入させないよ
う中間部に適正な圧力と量をもった不活性なガスをパー
ジしている。パージされたガスは一部が作動室内へ流れ
こみ排気口1bより排気される。また一部はギヤケーシン
グ室内9aへ流れ込みパージガス排気ライン14を通って排
気されるが、このとき軸受やギヤの潤滑時に飛散したギ
ヤケーシング室9a内の油分も同時に排出してしまう。こ
のため主タンク10の油面の高さＨが一定時間経過すると
Ｏとなってしまうが補助タンクが設置されているため油
面の高さがＯに近づくと補助タンクと主タンクの圧力差
により連通口10aより補助タンク内の油が連通口10aをふ
さぐまで自動的に補給され、補助タンク内の油がなくな
るまで自動的に補給が続けられる。このとき、バルブ18
は開、バルブ19,20は閉である。補助タンクの容量を適
正に選べば真空ポンプの所定のオーバーホール期間まで
無給油運転ができる。

さらにパージガス排気ライン14よりパージガスに混入
して排出された油はオイルミストフイルター15によって
分離され回収タンク16内に溜まる。この回収油を補助タ
ンク内へもどすにはバルブ18を閉じ主タンクと補助タン
ク間の縁を切り補助タンク内のガス抜き用としてバルブ
20を開き、バルブ19を開いて回収タンク内の油を補助タ
ンク内へ落とし込んでやればよい。

以上のように本実施例によれば運転中の真空がポンプ
を止めることなく、また油にさわることなくバルブの操
作のみで、真空ポンプ排油の回収や自動補給ができるの
で使い勝手上多大の効果がある。第２図はバルブ18,19,
20を電磁バルブとして、自動開閉させるようにしたもの
で、これによれば手動によらず電気的に電磁バルブを操
作して自動補給、排油回収ができる。

第３図は補助タンクと油回収タンクを一体型に形成し
た補助タンク付油回収タンク40の断面を示すもので、上
部にオイルミストフイルター15aを形成した油回収タン
ク16a、下部に補助タンク17aを形成するように中央部に
仕切板41を設けている。32はバルブで配管42により下部
は補助タンク17aに連通され、上部は油回収タンク16aの
上方部で油面上り上方に開口するように配置されてい
る。31は仕切板41に貫通して取付けられているバルブで
ある。30は主タンク10に連通するバルブである。

これによれば補助タンクと油回収タンクが一体型とな
りコンパクトにできる。また、該補助タンクあるいは油
回収タンクを内部が透視できる材料あるいは部分的に透
視可能な部分を設けることにより油の回収状況や油の溜
り状況を内眼で見ることができ、主タンクへの補給状況
を確認することができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば長期にわたる真空ポンプの油無補給運
転ができるので使い勝手が格段に向上し、わずらわしい
給油、排油作業からの解放がなされ油を使う作業がなく
なるのでクリーンルーム内のクリーン化に多大の効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すスクリュー式ドライ真
空ポンプの縦断面図、第２図は他の実施例を示す部分配
管図、第３図は更に他の実施例を示す。一体型の補助タ
ンク付油回収タンクの断面図である。 １……ケーシング、２……ロータ、３……吐出側軸受、
４……吸込側軸受、９……ギヤケーシング、10……主タ
ンク、12……モートル、13……パージガス供給ライン、
14……パージガス排気ライン、16……油回収タンク、17
……補助タンク、18,19,20……バルブ。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】油室と作動室の軸封にガスパージ方式を用
   いたドライ真空ポンプにおいて、パージガスの排気ライ
   ンにオイルミスト回収フイルター付の油回収タンクを設
   け、該油回収タンクを前記ドライ真空ポンプの主タンク
   と配管接続するとともに、該主タンクと前記油回収タン
   クとの間にガス抜き用のバルブを設けた補助タンクを設
   置したことを特徴とするドライ真空ポンプの自動補給、
   排油回収システム。