JP2606800B2 - 表面弾性波共振フイルタ - Google Patents
表面弾性波共振フイルタInfo
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- JP2606800B2 JP2606800B2 JP62214149A JP21414987A JP2606800B2 JP 2606800 B2 JP2606800 B2 JP 2606800B2 JP 62214149 A JP62214149 A JP 62214149A JP 21414987 A JP21414987 A JP 21414987A JP 2606800 B2 JP2606800 B2 JP 2606800B2
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- metal film
- stripe
- surface acoustic
- resonance filter
- acoustic wave
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
-
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
- H03H9/02771—Reflector banks
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、圧電材料から成る少なくとも１つの基
板、少なくとも１つのすだれ状変換器、金属膜ストライ
プから成る少なくとも２つの反射構造を備えた表面弾性
波共振フィルタであって、反射構造の金属膜ストライプ
は波伝搬方向に対して垂直に走りかつ波伝搬方向を横切
る方向に中断部を有し、中断部は少なくとも１つの反射
構造の少なくとも１つの部分において波伝搬方向を横切
る方向に種々に配置されているようになったものに関す
る。
板、少なくとも１つのすだれ状変換器、金属膜ストライ
プから成る少なくとも２つの反射構造を備えた表面弾性
波共振フィルタであって、反射構造の金属膜ストライプ
は波伝搬方向に対して垂直に走りかつ波伝搬方向を横切
る方向に中断部を有し、中断部は少なくとも１つの反射
構造の少なくとも１つの部分において波伝搬方向を横切
る方向に種々に配置されているようになったものに関す
る。
この種の表面弾性波共振フイルタは欧州特許出願公開
第0124019号明細書により公知である。この文献には更
に上記の共振フイルタの基礎となる技術が記載されてい
る。
第0124019号明細書により公知である。この文献には更
に上記の共振フイルタの基礎となる技術が記載されてい
る。
長さ方向において分断されたフインガ電極又は共振ス
トライプを備える別の表面弾性波デバイスも西独国特許
出願公開第3404618号（特開昭60−182212号）公報およ
び米国特許第4267534号明細書による公知である。この
米国特許明細書のものは文献「エレクトロニクス・レタ
ーズ（Electronics Letter）」vol.16（1980年）、793
−794頁に記載されているものに対応する。
トライプを備える別の表面弾性波デバイスも西独国特許
出願公開第3404618号（特開昭60−182212号）公報およ
び米国特許第4267534号明細書による公知である。この
米国特許明細書のものは文献「エレクトロニクス・レタ
ーズ（Electronics Letter）」vol.16（1980年）、793
−794頁に記載されているものに対応する。
米国特許第4365220号明細書により弾性波伝搬方向に
垂直の方向に屈折させるフインガ電極又は反射フインガ
を備える表面弾性波デバイスが公知であるが、このフイ
ンガ電極には段階状の結め物があり長さ方向の中断部は
設けられていない。この明細書は第9b図に示されている
実施例には種々の大きさの間隙をもつフインガ中断部が
設けられているが、そこに示されている個々のフインガ
電極の部分片は互に分離されている。
垂直の方向に屈折させるフインガ電極又は反射フインガ
を備える表面弾性波デバイスが公知であるが、このフイ
ンガ電極には段階状の結め物があり長さ方向の中断部は
設けられていない。この明細書は第9b図に示されている
実施例には種々の大きさの間隙をもつフインガ中断部が
設けられているが、そこに示されている個々のフインガ
電極の部分片は互に分離されている。
上記の欧州特許出願公開第0124019号公報による表面
波共振フイルタはその電気的フイルタ特性に関して改良
の余地があることが明らかとなった。この発明はかかる
改良を図ることにある。
波共振フイルタはその電気的フイルタ特性に関して改良
の余地があることが明らかとなった。この発明はかかる
改良を図ることにある。
この改良は特許請求の範囲第１項に示されている構成
とすることによって実現される。
とすることによって実現される。
この発明は欧州特許出願公開第0124019号公報による
表面弾性波共振フイルタの改良はある程度まで反射構造
の反射性能の低下に基くものであるとの知見に基くもの
である。研究の結果この反射構造の金属膜ストライプの
部分片のうち浮遊電位のもの即ち電気結合されていない
ものの電位を隣り合せる金属膜ストライプの隣接部分片
に対して固定することにより一層の改善が達成されるこ
とが確められた。
表面弾性波共振フイルタの改良はある程度まで反射構造
の反射性能の低下に基くものであるとの知見に基くもの
である。研究の結果この反射構造の金属膜ストライプの
部分片のうち浮遊電位のもの即ち電気結合されていない
ものの電位を隣り合せる金属膜ストライプの隣接部分片
に対して固定することにより一層の改善が達成されるこ
とが確められた。
この発明によれば２つの隣り合せる金属膜ストライプ
の部分片中互に隣接するものが電気的に結合される。各
金属膜ストライプの部分片は更に上記の欧州特許出願に
従って設けられる中断部によって電気的に互に分離され
る。特にこの結合用の金属膜は他の金属膜ストライプの
別の部分片と結合されていない２つの隣接金属膜ストラ
イプの２つの部分片の間だけに設けられる。従って結合
用の金属膜は２つの隣接金属膜ストライプの部分片の間
の２つの結合用金属膜を通してではなく、各金属膜スト
ライプの２つの部分片の間の電気結合が作られるように
分布して設けられる。
の部分片中互に隣接するものが電気的に結合される。各
金属膜ストライプの部分片は更に上記の欧州特許出願に
従って設けられる中断部によって電気的に互に分離され
る。特にこの結合用の金属膜は他の金属膜ストライプの
別の部分片と結合されていない２つの隣接金属膜ストラ
イプの２つの部分片の間だけに設けられる。従って結合
用の金属膜は２つの隣接金属膜ストライプの部分片の間
の２つの結合用金属膜を通してではなく、各金属膜スト
ライプの２つの部分片の間の電気結合が作られるように
分布して設けられる。
この発明の場合総ての反射構造がこの発明に従って構
成されることは必ずしも必要ではなく、弾性波伝搬方向
に見て反射構造の一部だけが中断部と結合用の金属膜を
備えていれば充分である。この反射構造部分には各金属
膜ストライプのに対して同数の中断部を設けるのが有効
である。更に伝搬方向に順次に並ぶいくつかの反射構造
部分をこの発明に従って構成し、これらの部分のそれぞ
れに他の部分の金属膜ストライプの中断数と異る個数の
中断部を設けることも有利である。中断部の数は２から
５の間に選ぶのが有利である。例えば１つの部分は２個
の中断部を持ち、他の１つの部分は５個の中断部を持つ
ことが可能である。反射構造の一部は全然中断部を持た
ないように構成し、このような反射構造部分をこのよう
な構造の反射に及ぼす影響が強くない反射構造終端部に
置くことができる。
成されることは必ずしも必要ではなく、弾性波伝搬方向
に見て反射構造の一部だけが中断部と結合用の金属膜を
備えていれば充分である。この反射構造部分には各金属
膜ストライプのに対して同数の中断部を設けるのが有効
である。更に伝搬方向に順次に並ぶいくつかの反射構造
部分をこの発明に従って構成し、これらの部分のそれぞ
れに他の部分の金属膜ストライプの中断数と異る個数の
中断部を設けることも有利である。中断部の数は２から
５の間に選ぶのが有利である。例えば１つの部分は２個
の中断部を持ち、他の１つの部分は５個の中断部を持つ
ことが可能である。反射構造の一部は全然中断部を持た
ないように構成し、このような反射構造部分をこのよう
な構造の反射に及ぼす影響が強くない反射構造終端部に
置くことができる。
この発明による共振フイルタにおいても中断部の長さ
はほぼフインガ幅程度に選ぶと有利である。又ここでも
中断部をランダム分布をもって設けることも有利であ
る。結合用金属膜の幅はフインが電極幅程度に選ぶのが
有利である。
はほぼフインガ幅程度に選ぶと有利である。又ここでも
中断部をランダム分布をもって設けることも有利であ
る。結合用金属膜の幅はフインが電極幅程度に選ぶのが
有利である。
この発明の１つの実施例では各金属膜ストライプの末
端に置かれる部分片を母線状に結合するのが推奨され
る。この発明の装置では１つの金属膜ストライプのｍ個
の中断部を各ストライプの全長に亘って分布させ、金属
膜ストライプ全体の第１中断部が第１領域に、第２中断
部が第２領域にあるというようにする。これらの領域は
弾性波伝搬方向に平行にストライプ状に拡がり、この伝
搬方向に平行に並べて設けられる。例えば2,3,4又は５
個の並行領域は２乃至５個の中断部が各金属膜ストライ
プに作られている反射構造の一部分に設けられているも
ので、等間隔の幅を持つことができる。中断部交互の位
置分布は上記の欧州特許出願の主要な観点となったもの
であり、それぞれの領域に対して採用するのが有利であ
る。例えば各領域において中断部がランダム分布をもっ
て設けられる。これ以外の分布例えば正弦分布を採用す
ることも可能である。反射構造の各部分又はその全体を
このように個々の領域に考えの上で分割することによ
り、この発明により結合金属膜を備える共振構造の設計
が容易となる。この領域への分割により各金属膜ストラ
イプと隣接する金属膜ストライプの１つの部分片との結
合が確保され、その際浮遊状態の部分片を避けるため１
つの金属膜ストライプの部分片相互間に電気結合を作る
必要はない。
端に置かれる部分片を母線状に結合するのが推奨され
る。この発明の装置では１つの金属膜ストライプのｍ個
の中断部を各ストライプの全長に亘って分布させ、金属
膜ストライプ全体の第１中断部が第１領域に、第２中断
部が第２領域にあるというようにする。これらの領域は
弾性波伝搬方向に平行にストライプ状に拡がり、この伝
搬方向に平行に並べて設けられる。例えば2,3,4又は５
個の並行領域は２乃至５個の中断部が各金属膜ストライ
プに作られている反射構造の一部分に設けられているも
ので、等間隔の幅を持つことができる。中断部交互の位
置分布は上記の欧州特許出願の主要な観点となったもの
であり、それぞれの領域に対して採用するのが有利であ
る。例えば各領域において中断部がランダム分布をもっ
て設けられる。これ以外の分布例えば正弦分布を採用す
ることも可能である。反射構造の各部分又はその全体を
このように個々の領域に考えの上で分割することによ
り、この発明により結合金属膜を備える共振構造の設計
が容易となる。この領域への分割により各金属膜ストラ
イプと隣接する金属膜ストライプの１つの部分片との結
合が確保され、その際浮遊状態の部分片を避けるため１
つの金属膜ストライプの部分片相互間に電気結合を作る
必要はない。
この発明のこれ以上の詳細は図面から知ることができ
る。
る。
図面はこの発明による表面弾性波共振フイルタの種々
の形態を示すもので、各符号は次のものを表わす。
の形態を示すもので、各符号は次のものを表わす。
1:共振フィルタ 2:例えばニオブ酸リチウムの基板 3:すだれ状の入力あるいは出力変換器 4:変換器３に対して弾性波伝搬方向に設けられた反射構
造の全体 5,6:中断部をもつ反射構造４の一部分 7:中断部のない反射構造４の一部分 11:金属膜ストライプの中断部 12:反射構造４の金属ストライプ 104:別の反射構造 21乃至25:各金属膜ストライプ４の中断部が置かれる領
域 26,27:母線 30:結合金属膜 112,212…,612:すだれ状電極部分片
造の全体 5,6:中断部をもつ反射構造４の一部分 7:中断部のない反射構造４の一部分 11:金属膜ストライプの中断部 12:反射構造４の金属ストライプ 104:別の反射構造 21乃至25:各金属膜ストライプ４の中断部が置かれる領
域 26,27:母線 30:結合金属膜 112,212…,612:すだれ状電極部分片
図面はこの発明による表面弾性波共振フイルタの実施例
を示すもので、１は共振フイルタ、２は基板、３はすだ
れ状電極変換器、４は反射構造、５と６は反射構造の部
分である。
を示すもので、１は共振フイルタ、２は基板、３はすだ
れ状電極変換器、４は反射構造、５と６は反射構造の部
分である。
Claims (7)
- 【請求項１】圧電材料から成る少なくとも１つの基板
（２）、少なくとも１つのすだれ状変換器（３）、金属
膜ストライプ（12）から成る少なくとも２つの反射構造
（４、104）を備えた表面弾性波共振フィルタであっ
て、反射構造（４、104）の金属膜ストライプ（12）は
波伝搬方向に対して垂直に走りかつ波伝搬方向を横切る
方向に中断部（11）を有し、中断部（11）は少なくとも
１つの反射構造（たとえば４）の少なくとも１つの部分
において波伝搬方向を横切る方向に種々に配置されてい
るようになったものにおいて、 少なくとも１つの反射構造（たとえば４）は多数の金属
膜ストライプ（たとえば12）を含む少なくとも１つの部
分（５、６）内において各金属膜ストライプ（12）に対
して同数の中断部（11）を有し、複数の金属膜ストライ
プ（12）内の中断部（11）は、波伝搬方向に対して垂直
の方向において相互にずらされて配置され、その結果波
伝搬方向に対して平行な金属膜ストライプ領域（21ない
し23）が生じ、該領域の数は金属膜ストライプ中の中断
部（11）の数に等しく、各金属膜ストライプ領域（21な
いし23）内においては金属膜ストライプ（12）毎にただ
１つの中断部（11）が存在し、 中断部（11）により形成されたそれぞれ１つの金属膜ス
トライプ（12）の部分片は、それぞれ隣接する金属膜ス
トライプ（12）の部分片と結合金属膜（30）を介して電
気的に結合され、その際同一の金属膜ストライプ（12）
の部分片の間の電気的結合は除外される ことを特徴とする表面弾性波共振フィルタ。 - 【請求項２】少なくとも１つの反射構造（たとえば４）
において、多数の金属膜ストライプ（たとえば12）を取
り囲む多数の部分（５、６）が備えられ、これらの部分
内においてそれぞれ異なる数の金属膜ストライプ中断部
（11）が存在することを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の表面弾性波共振フィルタ。 - 【請求項３】少なくとも１つの反射構造（たとえば４）
において、多数の金属膜ストライプ（たとえば12）を中
断部（11）なしに取り囲む部分（７）が備えられること
を特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の
表面弾性波共振フィルタ。 - 【請求項４】金属膜ストライプ（12）の中断部（11）の
数が２と５の間であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項ないし第３項のいずれか１つに記載の表面弾性波
共振フィルタ。 - 【請求項５】フィルタ構造（５、６、７）の金属膜スト
ライプ（12、112）は、その端部において母線（26、2
7）を介して電気的に相互に結合されていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれか１
つに記載の表面弾性波共振フィルタ。 - 【請求項６】金属膜ストライプ（12）の中断部（11）
は、ほぼ金属膜ストライプ（12）の幅に等しい長さを有
することを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第５
項のいずれか１つに記載の表面弾性波共振フィルタ。 - 【請求項７】結合金属膜（30）の幅は、ほぼ金属膜スト
ライプ（12）の幅に等しいことを特徴とする特許請求の
範囲第１項ないし第６項のいずれか１つに記載の表面弾
性波共振フィルタ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3629464.0 | 1986-08-29 | ||
| DE3629464 | 1986-08-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367810A JPS6367810A (ja) | 1988-03-26 |
| JP2606800B2 true JP2606800B2 (ja) | 1997-05-07 |
Family
ID=6308496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62214149A Expired - Lifetime JP2606800B2 (ja) | 1986-08-29 | 1987-08-27 | 表面弾性波共振フイルタ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4760360A (ja) |
| EP (1) | EP0257377B1 (ja) |
| JP (1) | JP2606800B2 (ja) |
| AT (1) | ATE85869T1 (ja) |
| DE (1) | DE3784200D1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5175711A (en) * | 1988-10-03 | 1992-12-29 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave apparatus and method of productivity and adjustment of the same |
| DE4213800A1 (de) * | 1992-04-27 | 1993-10-28 | Siemens Ag | Gewichteter Reflektor für eine Oberflächenwellenanordnung |
| US5434466A (en) * | 1994-05-31 | 1995-07-18 | Motorola, Inc. | Acoustic wave filter with reduced bulk-wave scattering loss and method |
| US5600287A (en) * | 1994-02-03 | 1997-02-04 | Motorola, Inc. | Acoustic wave filter with reduced bulk-wave scattering loss, ladder filter incorporating same and method |
| JP3780415B2 (ja) * | 2001-06-12 | 2006-05-31 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ、およびそれを用いた通信機装置 |
| JP3926633B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2007-06-06 | 沖電気工業株式会社 | Ｓａｗデバイス及びその製造方法 |
| US6847272B2 (en) * | 2003-02-28 | 2005-01-25 | Northrop Grumman Corporation | Weighted SAW reflector using distributed acoustic reflective dots |
| DE10309250B4 (de) * | 2003-03-03 | 2015-10-22 | Epcos Ag | Elektroakustischer Wandler für mit Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement |
| JP4571200B2 (ja) * | 2008-03-10 | 2010-10-27 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性波フィルタ |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2346204C3 (de) * | 1973-09-13 | 1980-06-12 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Wandler für Füter oder Verzögerungsleitungen nach dem Oberflächenwellenprinzip |
| US4006438A (en) * | 1975-08-18 | 1977-02-01 | Amp Incorporated | Electro-acoustic surface-wave filter device |
| JPS5925525B2 (ja) * | 1979-08-31 | 1984-06-19 | 株式会社東芝 | 弾性表面波共振子 |
| DE3013074A1 (de) * | 1980-04-03 | 1981-10-08 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Elektrische anordnung, insbesondere oberflaechenwellenresonator |
| JPS594215A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-11 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波装置 |
| DE3314725A1 (de) * | 1983-04-22 | 1984-10-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Oberflaechenwellen-resonatorfilter |
-
1987
- 1987-08-04 EP EP87111272A patent/EP0257377B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-08-04 AT AT87111272T patent/ATE85869T1/de not_active IP Right Cessation
- 1987-08-04 DE DE8787111272T patent/DE3784200D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-08-11 US US07/084,088 patent/US4760360A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-08-27 JP JP62214149A patent/JP2606800B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0257377B1 (de) | 1993-02-17 |
| US4760360A (en) | 1988-07-26 |
| JPS6367810A (ja) | 1988-03-26 |
| DE3784200D1 (de) | 1993-03-25 |
| ATE85869T1 (de) | 1993-03-15 |
| EP0257377A3 (en) | 1989-05-10 |
| EP0257377A2 (de) | 1988-03-02 |
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