JP2598258B2 - 空間分解分光計 - Google Patents
空間分解分光計Info
- Publication number
- JP2598258B2 JP2598258B2 JP62020139A JP2013987A JP2598258B2 JP 2598258 B2 JP2598258 B2 JP 2598258B2 JP 62020139 A JP62020139 A JP 62020139A JP 2013987 A JP2013987 A JP 2013987A JP 2598258 B2 JP2598258 B2 JP 2598258B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- collimator
- electromagnetic wave
- spatially resolved
- diffractometer
- bragg
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空紫外線からγ線の波長領域で、空間分
解能とスペクトル分解能を持つ２次元像が得られる空間
分解分光計に関するものである。本発明は、空間分解能
を必要とする高温プラズマ診断や物性及び物質検査など
広範な応用を有する。
解能とスペクトル分解能を持つ２次元像が得られる空間
分解分光計に関するものである。本発明は、空間分解能
を必要とする高温プラズマ診断や物性及び物質検査など
広範な応用を有する。
本発明は、真空紫外線からγ線の波長領域で線源とほ
ぼ等しい中空の繊維状線束のコリメータと平面ブラッグ
型回折計を組み合わせた光学系と、これを検出する検出
系から成るコリメータを用いた空間分解分光計とにより
従来独立に得ていた空間分解分光と２次元像を１つの系
の装置で得ることができる。
ぼ等しい中空の繊維状線束のコリメータと平面ブラッグ
型回折計を組み合わせた光学系と、これを検出する検出
系から成るコリメータを用いた空間分解分光計とにより
従来独立に得ていた空間分解分光と２次元像を１つの系
の装置で得ることができる。
このコリメータを用いた空間分解分光計の特徴は、 （１）光学系が単純化でき取り付けが容易である。
（２）中空の繊維状線束のコリメータは、大きさを自由
にすることができるため、さまざまなタイプの線源や大
きさの試料に応用できる。
にすることができるため、さまざまなタイプの線源や大
きさの試料に応用できる。
などが上げられる。さらに、中空の繊維状線束のコリメ
ータを鉛あるいはその他の重金属を含むガラスにより板
状に形成された直径50μｍ以下の中空導管の束とし、ま
た平面ブラッグ型回折計を多層膜分光結晶とすることに
より、エネルギー損失を小さくした高分解能な空間分解
分光計が得られる。
ータを鉛あるいはその他の重金属を含むガラスにより板
状に形成された直径50μｍ以下の中空導管の束とし、ま
た平面ブラッグ型回折計を多層膜分光結晶とすることに
より、エネルギー損失を小さくした高分解能な空間分解
分光計が得られる。
従来、２次元像と空間分解分光は別々の方法によって
得られていた。１対１の２次元像は、フィルター及びピ
ンホールを用いたものが典型的な方法である。一方、空
間分解分光を行なうためには、結晶の組み合わせや、ス
リットと結晶の組み合わせが用いられていた。
得られていた。１対１の２次元像は、フィルター及びピ
ンホールを用いたものが典型的な方法である。一方、空
間分解分光を行なうためには、結晶の組み合わせや、ス
リットと結晶の組み合わせが用いられていた。
このように従来の方法は、２次元像を得るための光学
系と空間分解分光を別々の光学系を用いて行っていた。
そのため２つの同時情報が得られず、２つの情報を得る
のに時間を要するという欠点があった。また、ピンホー
ルあるいはスリットを用いるため光学系のセッティング
の難しさや、線量の取り込み量が少ないため分解能が十
分でないなどの欠点があった。
系と空間分解分光を別々の光学系を用いて行っていた。
そのため２つの同時情報が得られず、２つの情報を得る
のに時間を要するという欠点があった。また、ピンホー
ルあるいはスリットを用いるため光学系のセッティング
の難しさや、線量の取り込み量が少ないため分解能が十
分でないなどの欠点があった。
本発明は、上記の欠点を除去すべくなされたもので、
真空紫外線からγ線の波長領域で、中空の繊維状線束を
コリメータとして用いることにより、線源の面積に等し
い面積で平行ビーム化し、そして平面ブラッグ型回折計
による反射を利用して２次元像が得られる空間分解分光
計とした。
真空紫外線からγ線の波長領域で、中空の繊維状線束を
コリメータとして用いることにより、線源の面積に等し
い面積で平行ビーム化し、そして平面ブラッグ型回折計
による反射を利用して２次元像が得られる空間分解分光
計とした。
発生源波長が真空紫外線からγ線の領域で、中空の繊
維状線束のコリメータと平面ブラッグ型回折計を組み合
わせた光学系とこれを検出する検出系からなるコリメー
タを用いた空間分解分光系は、２次元像の得られる空間
分解分光計である。これは、光学系が単純であり、取り
付けが容易となる。また中空の繊維状線束のコリメータ
なので、大きさを自由にすることができるため、さまざ
まなタイプの線源や大きさの試料に応用でき、コリメー
タの開口面積が大きいので高分解能とすることができ
る。
維状線束のコリメータと平面ブラッグ型回折計を組み合
わせた光学系とこれを検出する検出系からなるコリメー
タを用いた空間分解分光系は、２次元像の得られる空間
分解分光計である。これは、光学系が単純であり、取り
付けが容易となる。また中空の繊維状線束のコリメータ
なので、大きさを自由にすることができるため、さまざ
まなタイプの線源や大きさの試料に応用でき、コリメー
タの開口面積が大きいので高分解能とすることができ
る。
以下本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明に係るコリメータを用いた空間分解分
光計の構成図を示したものである。Ｘ線などの本発明所
定の波長領域の線源は、中空の繊維状線束によって平行
ビーム化され、平面ブラッグ型回折計で、 ｎλ＝2dsinθＢ n:次数 λ：波長 d:平面ブラッグ型回折計の面間隔 θB:斜入射角 を満足する場合のみ反射されて検出系にて２次元像を得
る。
光計の構成図を示したものである。Ｘ線などの本発明所
定の波長領域の線源は、中空の繊維状線束によって平行
ビーム化され、平面ブラッグ型回折計で、 ｎλ＝2dsinθＢ n:次数 λ：波長 d:平面ブラッグ型回折計の面間隔 θB:斜入射角 を満足する場合のみ反射されて検出系にて２次元像を得
る。
空間分解能は、線源から検出部までの距離をｌとし、
中空の繊維状線束のコリメータを通過時の発散をΔθｂ
とするとｌ×Δθｂによって決まる。このことは、空間
分解能がコリメータの位置に依存していることを意味す
る。
中空の繊維状線束のコリメータを通過時の発散をΔθｂ
とするとｌ×Δθｂによって決まる。このことは、空間
分解能がコリメータの位置に依存していることを意味す
る。
実施例１ 第２図は本発明に係るコリメータを用いた空間分解分
光計の一実施例を示した説明図である。第２図におい
て、５は励起用加速電子であり、加速電子で衝突を受け
た試料ターゲット６はＸ線を発生する。２は中空の繊維
状線束のコリメータであり、このコリメータ２でＸ線源
と等しい面積でＸ線は平行ビーム化される。平行化され
たＸ線ビームは、７の平面ブラッグ型回折計で、ブラッ
グの回折条件に従って反射され、カメラに装填されたフ
ィルム８、９によって検出する。用いた試料ターゲット
６は、第３図に示すような２種類の金属で厚さは10μｍ
程度である。Ｘ線源はホィルターゲットＸ線管である。
中空の繊維状線束は、直径10μ程度、長さ2mm、導管の
間隔は15μｍとなっている。平面ブラッグ型回折計に
は、LiF（200）７を用いた。フィルム８の（ａ）の位置
には空間分解能をもたないＸ線像が得られる。試料ター
ゲットに含まれる元素のブラッグ角にLiF結晶をセッテ
ィングするとブラッグの条件に合った元素だけがフィル
ム９の（ｂ）あるいは（ｃ）の位置などに反射される。
光計の一実施例を示した説明図である。第２図におい
て、５は励起用加速電子であり、加速電子で衝突を受け
た試料ターゲット６はＸ線を発生する。２は中空の繊維
状線束のコリメータであり、このコリメータ２でＸ線源
と等しい面積でＸ線は平行ビーム化される。平行化され
たＸ線ビームは、７の平面ブラッグ型回折計で、ブラッ
グの回折条件に従って反射され、カメラに装填されたフ
ィルム８、９によって検出する。用いた試料ターゲット
６は、第３図に示すような２種類の金属で厚さは10μｍ
程度である。Ｘ線源はホィルターゲットＸ線管である。
中空の繊維状線束は、直径10μ程度、長さ2mm、導管の
間隔は15μｍとなっている。平面ブラッグ型回折計に
は、LiF（200）７を用いた。フィルム８の（ａ）の位置
には空間分解能をもたないＸ線像が得られる。試料ター
ゲットに含まれる元素のブラッグ角にLiF結晶をセッテ
ィングするとブラッグの条件に合った元素だけがフィル
ム９の（ｂ）あるいは（ｃ）の位置などに反射される。
空間分解能は、Ｘ線源からフィルム９までが77mmで、
Ｘ線ビームの発散が6mradであるので約0.5mmと計算さ
れ、実測においても同程度であった。
Ｘ線ビームの発散が6mradであるので約0.5mmと計算さ
れ、実測においても同程度であった。
以上の説明は、本発明に係るコリメータを用いた空間
分解分光計において、平面ブラッグ型回折計としてLiF
結晶を用い、Ｘ線源は透過Ｘ線を用いたが、平面ブラッ
グ型回折計として多層膜分光結晶を用いることによって
分解能を高めることができる。また、線源は本発明所定
の波長領域ではどのようなタイプでも適用できる。
分解分光計において、平面ブラッグ型回折計としてLiF
結晶を用い、Ｘ線源は透過Ｘ線を用いたが、平面ブラッ
グ型回折計として多層膜分光結晶を用いることによって
分解能を高めることができる。また、線源は本発明所定
の波長領域ではどのようなタイプでも適用できる。
本発明によるコリメータを用いた空間分解分光計は上
述のごとく、空間の繊維状線束のコリメータと平面ブラ
ッグ型回折計を組み合わせた光学系を用いたので、空間
及びスペクトル分解能をもつ２次元像が得られ、光学系
が単純化でき取り付けが容易である。また中空の繊維状
線束のコリメータは、大きさを自由にすることができる
ため、さまざまなタイプの線源や大きさの試料に応用で
きる。さらに、線量の取り込み量が多いため高分解能な
空間分解分光が得られるという利点がある。
述のごとく、空間の繊維状線束のコリメータと平面ブラ
ッグ型回折計を組み合わせた光学系を用いたので、空間
及びスペクトル分解能をもつ２次元像が得られ、光学系
が単純化でき取り付けが容易である。また中空の繊維状
線束のコリメータは、大きさを自由にすることができる
ため、さまざまなタイプの線源や大きさの試料に応用で
きる。さらに、線量の取り込み量が多いため高分解能な
空間分解分光が得られるという利点がある。
第１図は、本発明に係るコリメータを用いた空間分解分
光計の構成を示す説明図、第２図は、本発明の実施例を
示す説明図、第３図は試料ターゲットの拡大正面図であ
る。 １……線源 ２……中空の繊維状線束のコリメータ ３……平面ブラッグ型回折計 ４……２次元像 ５……Ｘ線管 ６……試料ターゲット ７……LiF（200） ８……カメラ（フィルム）
光計の構成を示す説明図、第２図は、本発明の実施例を
示す説明図、第３図は試料ターゲットの拡大正面図であ
る。 １……線源 ２……中空の繊維状線束のコリメータ ３……平面ブラッグ型回折計 ４……２次元像 ５……Ｘ線管 ６……試料ターゲット ７……LiF（200） ８……カメラ（フィルム）
Claims (3)
- 【請求項１】励起用Ｘ線源と、前記励起用Ｘ線源から発
生するＸ線が照射され真空紫外線からγ線の領域の波長
の電磁波を発生する試料ターゲットと、前記試料ターゲ
ットが発生する電磁波を平行ビーム化するコリメータ
と、前記コリメータによって平行ビーム化された電磁波
が入射され，入射電磁波の一部を透過し、入射電磁波の
一部を所定の角度で反射させるため多層膜分光結晶から
なる平面ブラッグ型回折計と、前記平面ブラッグ型回折
計を透過した電磁波を検出する第１の検出器と、前記平
面ブラッグ型回折計によって反射された電磁波を検出す
る第２の検出器とを有し、前記試料の２次元透過像と２
次元分光像を同時に観測する構成であることを特徴とす
る空間分解分光計。 - 【請求項２】前記コリメータは、多数の中空の繊維状線
を束ねて板状に形成した、中空の繊維状線束のコリメー
タであることを特徴とする請求項１記載の空間分解分光
計。 - 【請求項３】前記中空の繊維状線の直径が、50μｍ以下
であることを特徴とする請求項２記載の空間分解分光
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62020139A JP2598258B2 (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 空間分解分光計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62020139A JP2598258B2 (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 空間分解分光計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63187144A JPS63187144A (ja) | 1988-08-02 |
| JP2598258B2 true JP2598258B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=12018802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62020139A Expired - Fee Related JP2598258B2 (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 空間分解分光計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598258B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0735706A (ja) * | 1993-07-19 | 1995-02-07 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | Ｘ線導管光学系による薄膜ｘ線回折装置 |
| JPH0989813A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-04-04 | Rigaku Corp | Ｘａｆｓ測定方法及びその装置 |
| CN115014713A (zh) * | 2022-05-13 | 2022-09-06 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种微通道板准直器紫外平行光检测装置及检测方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5830225B2 (ja) * | 1975-08-18 | 1983-06-28 | デンキコウギヨウ カブシキガイシヤ | ジドウシヤノ シヤジクオ リヨウシタ センマキトリキ |
| US3987790A (en) * | 1975-10-01 | 1976-10-26 | Alza Corporation | Osmotically driven fluid dispenser |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP62020139A patent/JP2598258B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63187144A (ja) | 1988-08-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AU2001213151B2 (en) | X-ray measuring and testing system | |
| Harrison | A point-focusing camera for single-crystal diffraction | |
| CN106605140B (zh) | X射线吸收测量系统 | |
| US3143651A (en) | X-ray reflection collimator adapted to focus x-radiation directly on a detector | |
| JPH10339798A (ja) | Ｘ線集光用ミラー | |
| GB2409270A (en) | X-ray inspection and material discrimination | |
| US6038285A (en) | Method and apparatus for producing monochromatic radiography with a bent laue crystal | |
| Nave et al. | Facilities for solution scattering and fibre diffraction at the Daresbury SRS | |
| JPS63173941A (ja) | 放射線による非破壊検査方法及び装置 | |
| US2805342A (en) | Diffractometer | |
| US6529578B1 (en) | X-ray condenser and x-ray apparatus | |
| JP2598258B2 (ja) | 空間分解分光計 | |
| JPH06258260A (ja) | Ｘ線回折装置 | |
| US7502442B2 (en) | X-ray inspection system and method | |
| US6704390B2 (en) | X-ray analysis apparatus provided with a multilayer mirror and an exit collimator | |
| US20040066894A1 (en) | Device for x-ray analytical applications | |
| JP2002528859A (ja) | 毛細管光学系を含むｘ源を有するｘ線照射装置 | |
| US5739542A (en) | X-ray analyzing | |
| US3628040A (en) | High-dispersion, high-resolution x-ray spectrometer having means for detecting a two-dimensional spectral pattern | |
| US4987582A (en) | X-ray fluorescence imaging of elements | |
| JPS61186839A (ja) | ラウエカメラ | |
| WO2014092073A1 (ja) | 散乱強度分布の測定方法及び測定装置 | |
| JP3880033B2 (ja) | 結晶格子を有する物体の放射線撮影法による検査 | |
| JPH0545304A (ja) | 円偏光ｘ線を用いた磁区観察法及びその装置 | |
| Yamaguchi et al. | Two‐dimensional imaging x‐ray spectrometer using channel‐plate collimator |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |