JP2597710B2 - 圧力計器校正装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、原子力プラントその他各種のプラント等に
設置される多数の圧力計器を自動的に校正する圧力計器
校正装置に係わり、特に多点校正作業の省力化を実現す
る圧力計器校正装置に関する。

（従来の技術） この種の工業用プラントでは配管内に流れる流体の圧
力あるいは差圧等を測定するために随所に圧力スイッ
チ、圧力トランスミッタ等の圧力計器が設置されてい
る。これら圧力計器は、一般にプラントの運転状態を監
視する目的で使用されているので常に所望とする精度を
維持する必要があり、ここに圧力計器の校正を適正に行
うことが非常に重要となってくる。

ところで、従来，原子力プラントにおける配管内の流
体圧力の測定は、第９図に示すように配管に設置された
圧力計器１で配管内の流体圧力を測定した後、この測定
信号を精密抵抗器２を通して圧力指示器３を導入し、こ
こで圧力指示器３の指示値から流体圧力を得ている。

一方、圧力計器１の校正時には、圧力計器１に配管４
を介して加圧ポンプ５および精密圧力計６を接続した
後、校正員が加圧ポンプ５を操作して配管４内に空気圧
を送り込みながら、そのときの精密圧力計６の測定値が
所望とする校正用圧力となる様に前記加圧ポンプ５から
空気圧を送り出し、このときの圧力指示器３の指示値を
記録する。このような校正用圧力の印加操作は、圧力計
器１の各測定レンジについて、０％→100％、100％→０
％の各範囲ごとに数点ずつ行い、そのときの圧力指示器
３の指示値を順次記録していく。その後、この測定指示
値と校正用圧力とを比較し、その差が予め設定される許
容精度範囲内に入っているか否かを判断し、許容範囲外
の場合には圧力計器１の調整を行う。

（発明が解決しようとする課題） しかし、以上のような校正装置では次のような問題点
が指摘されている。

（１）校正員が精密圧力計６の精密測定値の読取り、加
圧ポンプ５の操作および圧力指示器３の測定圧力の記録
等を行うので、校正作業に対する校正員の負担が非常に
大きいこと。

（２）また、精密圧力計６の精密測定値を読取りながら
加圧ポンプ５から校正用圧力を印加し、かつ、そのとき
の測定圧力を記録するので、校正作業に長時間を必要と
する問題がある。

（３）さらに、圧力計器の校正は、正常な計器を用いて
測定した結果から得られる特性曲線から正および負で最
大どの位の誤差があるかを判断しながら行う必要がある
ので、校正試験点数は多い方が望ましい。しかし、従来
の校正装置では、１点あたりの測定に時間がかかるだけ
でなく、原子力プラントのように数百台にも及ぶ圧力計
器１を備えている場合には１台当たりに裂くことのでき
る校正作業時間は限られおり、ひいては校正試験点数に
もおのずと制限が出てくる問題がある。

本発明は以上のような問題点を解決するためになされ
たもので、校正作業時に所望とする圧力を安定に供給で
き、かつ、短時間に正領域圧力から負領域圧力にわたっ
て多点校正を高精度に行い得る圧力計器校正装置を提供
することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 請求項（１）に対応する発明は、上記課題を解決する
ために、加圧流体に基づいて校正流体の圧力を昇圧して
所定の一次側圧力を出力する加圧ポンプを有する加圧装
置と、 第１の校正用圧力設定値パターンを用いて前記一次側
圧力を制御し当該第１の校正用圧力設定値パターンに等
しい校正用圧力を出力し前記圧力計器に印加するフラッ
パ方式の第１の圧力制御弁と、第２の校正用圧力設定値
パターンを用いて前記加圧流体の圧力を制御する第２の
圧力制御弁と、この第２の圧力制御弁で制御された前記
加圧流体の流速に応じて当該加圧流体を排出し前記加圧
ポンプの背圧側を負圧とする負圧生成ポンプと、前記第
１の圧力制御弁と前記負圧生成ポンプの背圧側との間に
リターン配管が接続され、前記校正用圧力零時の残圧を
除去する残圧除去手段とを設けた調圧装置と、 前記第１の圧力制御弁から出力される前記校正用圧力
の出力ラインに接続され、当該校正用圧力を測定し、精
密測定信号を出力する精密圧力測定手段と、 予め前記第１および第２の校正用圧力設定値パターン
が設定され、これら校正用圧力設定値パターンを前記第
１および第２の圧力制御弁に印加し、前記精密圧力測定
手段の測定出力との偏差が零となるように前記第１およ
び第２の校正用圧力設定値パターンを補正処理し、前記
精密圧力測定手段の測定出力が所定の許容精度範囲内に
入ったとき、前記圧力計器の出力を読み取るとともに、
この読み取った前記圧力計器の出力から得られる入出力
特性曲線と予め設定される前記圧力計器の仕様特性曲線
とを比較し、前記圧力計器の精度を判定する制御・演算
手段とを備えた圧力計器校正装置である。

さらに、請求項（２）に対応する発明は、加圧流体に
基づいて校正流体の圧力を昇圧して所定の一次側圧力を
出力する加圧ポンプを有する加圧装置と、 第１の校正用圧力設定値パターンを用いて前記一次側
圧力を制御し前記第１の校正用圧力設定値パターンに等
しい校正用圧力を出力し前記圧力計器に印加するフラッ
パ方式の第１の圧力制御弁と、この第１の圧力制御弁と
前記加圧ポンプとの間に配置され、第２の校正用圧力設
定値パターンを用いて前記加圧ポンプから出力される一
次側圧力を制御することにより前記第１の圧力制御弁の
２次側圧力を負圧とするフラッパ方式の第２の圧力制御
弁と、前記第１および第２の圧力制御弁に接続されたド
レイン配管とを設けた調圧装置と、 前記第１の圧力制御弁から出力される前記校正用圧力
の出力ラインに接続され、当該校正用圧力を測定し、精
密測定信号を出力する精密圧力測定手段と、 予め前記第１および第２の校正用圧力設定値パターン
が設定され、これら校正用圧力設定値パターンを前記第
１および第２の圧力制御弁に印加し、前記精密圧力測定
手段の測定出力との偏差が零となるように前記第１およ
び第２の校正用圧力設定値パターンを補正処理し、前記
精密圧力測定手段の測定出力が所定の許容精度範囲内に
入ったとき、前記圧力計器の測定出力を読み取るととも
に、この読み取った前記圧力計器の測定出力から得られ
る入出力特性曲線と予め設定される前記圧力計器の仕様
特性曲線とを比較し、前記圧力計器の精度を判定する制
御・演算手段とを備えた圧力計器校正装置である。

（作用） 従って、請求項（１）に対応する発明は、プラント配
管に設置される圧力計器の校正時、加圧装置にて加圧流
体を用いて校正用流体の圧力を高めて１次側圧力として
出力すると、調節装置では、制御・演算手段に予め設定
されている第１の校正用圧力設定値パターンを第１の圧
力制御弁に印加し、校正用圧力を取り出して圧力計器お
よび精密圧力測定手段に印加する。

ここで、精密圧力測定手段の測定圧力を真値とし、こ
の真値と第１の校正用圧力設定値パターンとの偏差が零
となるように当該設定値パターンを補正し、これによっ
て精密圧力測定手段の測定出力が予め定めた校正基準点
の許容精度範囲内に入ったとき、圧力計器の測定出力を
読み取り、これを繰り返すことにより正領域の圧力の多
点校正に必要な入出力特性曲線を取得する。

また、調圧装置では、制御・演算手段に第２の校正用
圧力設定値パターンを用いて第２の圧力制御弁を制御す
るとともに、負圧生成ポンプを用いて第２の圧力制御弁
で制御された前記加圧流体の流速に応じて当該加圧流体
を排出することにより、第１の圧力制御弁の出力側に負
領域の校正用圧力を生成し、圧力計器および精密圧力測
定手段に印加し、前述と同様な処理を実施し、負領域の
圧力の多点校正に必要な入出力特性曲線を取得する。

そして、前記入出力特性曲線と、予め設定される前記
圧力計器の仕様特性曲線とを比較し、前記圧力計器の精
度を判定するようにしたので、正領域圧力から負領域圧
力の多点校正を高精度に行うことができる。

さらに、第１の圧力制御弁と負圧生成ポンプの背圧側
との間にリターン配管を接続することにより、校正用圧
力を零としたとき、残圧を確実に除去することができ
る。

次に、請求項（２）に対応する発明は、第１の圧力制
御弁と加圧ポンプとの間に、第２の校正用圧力設定値パ
ターンを用いて前記加圧ポンプから出力される一次側圧
力を制御することにより前記第１の圧力制御弁の２次側
圧力を低く設定する第２の圧力制御弁を配置し、かつ、
これら第１の圧力制御弁および第２の圧力制御弁にそれ
ぞれドレン配管を接続することにより、請求項（１）に
対応する発明と同様の作用を得るものである。

（実施例） 以下、本発明装置の実施例を説明するに先立ち、本発
明装置の基本的な構成について図面を参照して説明す
る。

この圧力計器校正装置は、基本的には、図１に示すよ
うにプラント中の圧力を測定し、その圧力測定信号を出
力する圧力測定手段11と、この圧力測定手段を校正する
とき、前記圧力測定手段に圧力を印加する圧力発生手段
12と、この圧力発生手段から発生された圧力を測定し、
精密測定信号を出力する精密圧力測定手段13と、予め複
数の校正用圧力が設定され、各校正用圧力毎に前記精密
圧力測定手段の精密測定信号が校正用圧力を示すように
前記圧力発生手段からの圧力を制御する圧力制御信号を
圧力制御測定手段に供給し、かつ、各校正用圧力毎に圧
力発生手段から出力される圧力に応じて圧力測定手段か
ら出力される圧力測定信号を記憶するとともに、それら
の圧力測定信号と校正用圧力から圧力測定手段の入出力
特性曲線を求め、この入出力曲線と予め設定されている
圧力測定手段の仕様特性曲線とを比較し、前記圧力測定
手段の精度の判定を行う制御・演算手段14とによって構
成されている。

このような図１に示す装置の基本的な動作は、プラン
ト中の圧力を測定する圧力測定手段を校正する場合、そ
の圧力発生手段から複数の校正用圧力に相当する圧力を
順次圧力測定手段に印加すると共に、このときの圧力発
生手段から圧力測定手段に印加される圧力を精密圧力測
定手段により測定し、この精密圧力測定手段で測定した
圧力が予め定めた校正用圧力となるように前記圧力発生
手段から発生する圧力を制御する。そして、前記校正用
圧力毎に前記圧力測定手段で測定した圧力測定信号を制
御・演算手段で取り込んで記憶すると共にこの圧力測定
信号と校正用圧力とから圧力測定手段の入出力特性曲線
を求め、この入出力特性曲線と予め設けた圧力測定手段
の仕様特性曲線とから前記圧力測定手段の精度を判定す
るものである。

以下、本発明装置の基本構成を用いて正領域圧力の多
点校正を行う例について第２図を参照して説明する。同
図において21はプラントの配管に設置される圧力測定手
段としての圧力計器であって、この圧力計器21には制御
・演算手段30から圧力発生手段を介して校正用水圧が供
給される。この制御・演算手段30は予め仕様特性曲線お
よび校正用圧力の印加による実測定結果から得られる入
出力特性曲線との比較および必要な演算処理を実行する
部分であって、この手段30の一部を構成する演算制御部
31より校正のために発生させたい水圧に対応する水圧制
御信号（校正用圧力）を出力し、前記圧力発生手段の一
部を構成するD/A変換器22に導入する。この圧力発生手
段は、演算制御部31から送られてくるデジタル水圧制御
信号をアナログ水圧制御信号に変換するD/A変換器22の
ほか、電気・水圧変換器23および水タンク24等で構成さ
れている。この電気・水圧変換器23はアナログ水圧制御
信号を受けその水圧制御信号に対応する水圧を発生し、
前記圧力計器21および精密圧力センサ25に印加するが、
この加圧に必要な水は水タンク24より得るものである。
この精密圧力センサ25はその水圧に対応した精密測定信
号をアナログ信号としてA/D変換器26に供給し、一方，
圧力計器21による水圧測定信号は制御・演算手段30のデ
ータ処理装置32に送られる。精密圧力センサ25から精密
測定信号を受けたA/D変換器26はデジタル信号に変換し
前記演算制御部31に供給する。ここで，演算制御部31は
校正用圧力と精密測定信号を比較し、偏差があれば精密
測定信号が校正用圧力に合致するような補正用水圧制御
信号を前記圧力発生手段に送出する。

前記データ処理装置32は、複数の水圧測定信号をデー
タとして記憶すると共に得られたデータから入出力特性
曲線を求め、仕様特性曲線との比較を行い、圧力計器21
が許容精度範囲内で動作しているか否かを判定し、その
判定結果を記憶すると共に許容精度範囲外であれば圧力
計器21の調整を行う必要がある。これら一連のデータ処
理結果は表示器33,プリンタ34に表またはグラフとして
出力するので、校正員はこの出力に基づいて圧力計器21
の調整を行うことが可能である。27は校正用圧力を設定
し、その他必要なデータを演算制御部31等に入力する操
作部、35は伝送インタフェースである。

次に、以上のように構成された装置の動作を説明す
る。先ず、校正員が予め操作部27から演算制御部31に校
正すべき点数の校正用圧力を設定すると、演算制御部31
ではそのデータをメモリ等に格納する。圧力計器21の校
正を必要とする時、操作部27等から開始指令を入力する
と、演算制御部31では予め格納されている複数の校正用
圧力の中から所定の順序に基づいて１つの校正用圧力に
対応する水圧制御信号を発生する。ここで、電気・水圧
変換器23は演算制御部31からD/A変換器22を介して送ら
れてくる水圧制御信号に対応する水圧を水タンク24から
の水を利用しながら発生し、圧力計器21および精密圧力
センサ25に印加する。ここで、精密圧力センサ25は印加
された水圧に対応する精密測定信号を得、これをA/D変
換器26を介して演算制御部31に導入する。この演算制御
部31では前記圧力発生手段へ送出した校正用圧力と精密
測定信号とを比較し偏差があればその偏差を零とするた
めの補正用水圧制御信号を発生し、これに伴って電気・
水圧変換器23から所望とする校正用圧力に対応する水圧
を発生する。しかして演算制御部31では校正用圧力と精
密測定信号が合致したとき、その旨の信号および必要に
応じて精密測定信号を伝送インタフェース35を介してデ
ータ処理装置32に送出する。このデータ処理装置32にお
いては、演算制御部31から両信号が合致した旨の信号を
受けて前記圧力計器21から送られて来る水圧測定信号を
取込んでメモリに格納する。

以上のような校正用圧力の印加および補正処理は校正
点ごとに実行し、その都度圧力計器21から出力される水
圧測定信号を取込んでメモリに格納する。しかる後、メ
モリに記憶された各校正圧力における水圧測定信号を用
いて入出力特性曲線を求め、圧力計器21が許容精度範囲
内で動作しているか否かを判定し、その判定結果を表示
器33およびプリンタ34に表やグラフとして出力する。こ
こで、校正員はその判定結果の出力内容から許容精度範
囲外であれば圧力計器21の調整を行う。なお、判定結果
の内容はメモリに格納し必要時に出力することもでき
る。

従って、以上のような構成によれば、従来においては
校正点数が多く取れないことおよび校正作業に多くの時
間が必要であったが、本装置では短時間に校正作業を自
動的に行うことができ、プラント等に設置されている多
数の圧力計器21の校正を迅速に行うことができる。ま
た、多数の点数の校正用圧力を用いて校正可能であるの
で圧力計器21の調整を正確に行える。

以下、本装置と従来装置との関係を説明する。従来の
校正装置では第３図に示す如く目標とする５つの校正用
圧力を発生させ、そのときの圧力計器での測定圧力を読
み取っている。この場合、少ない点数の校正用圧力を用
いて校正するので、第３図中の各校正点に対し左右方向
に矢印で示す許容範囲を狭くしなければ正確な校正がで
きなくなる。

これに対し、本装置においては、第４図に示すように
圧力計器本来の仕様特性曲線と校正試験データによる入
出力特性曲線とを比較するので、ある程度校正点がずれ
てもその校正試験データにより得られるはずの特性曲線
上を移動するのみであるので、容易に特性曲線を得るこ
とができる。

また、従来の校正装置においては、校正用圧力の印加
や圧力計器の出力読取り及びデータ整理を全て校正員に
よる手作業で行っているので、圧力計器１台当たりの校
正時間が比較的長く、校正試験点もせいぜいスパン0,2
5,50,75,100％の往復９点程度に限られてしまうが、本
装置では短時間に数十点の校正試験データおよび入出力
特性曲線を得ることができ、圧力計器21の高精度な校正
を実現できる。

また、本装置は、印加すべき発生圧力を高精度にしな
くてもシステムの校正精度を高くできるので、従来では
圧力発生のコントロールが非常に難しい水を用いて容易
に校正でき、校正流体の種類を大幅に拡大することがで
きる。

なお、第２図に示す装置では電気・水圧変換器23から
発生する加圧水の圧力を精密圧力センサ25で測定し補正
処理を行っていたが、更に例えば第５図のように加圧水
の温度を検出する温度センサ28およびA/D変換器29を設
け、加圧水の温度信号を演算制御部31へ送出し、ここで
水温の変化に応じた補正を行うようにすれば、更により
正確な校正を実現できる。

次に、第６図は本発明装置の一実施例を示す構成図で
ある。上記第２図および第５図に示す実施例は主として
Ｏ点から正領域圧力の多点校正を可能としたが、この第
６図の実施例では負領域の他点校正も可能とした構成で
ある。すなわち、この装置は、加圧装置40および調圧装
置50等よりなる圧力発生手段と、この圧力発生手段から
発生された圧力を測定するプラント等の配管に設置され
ている被校正用計器である圧力トランスミッタ等の圧力
計器60と、精密圧力センサ61と、圧力コントローラ62,
サーボアンプ63より成る制御・演算手段とによって構成
されている。

前記加圧装置40は、加圧源としての空気圧を用いて昇
圧制御を行う圧力レギュレータ41およびこの圧力レギュ
レータ41からの昇圧制御により入口側配管42から取込ん
だ校正流体（水）の圧力を昇圧し所定の一次側圧力を出
力する加圧ポンプとしてのブースタポンプ43で構成され
ている。

前記調圧装置50は、校正用配管51側に圧力コントロー
ラ62からの校正印加圧力設定値パターンSV₁に対応する
前記サーボアンプ63の出力信号に基づいてブースタポン
プ43からの一次側圧力を制御し所定の校正用圧力52を得
るサーボ弁（第１の圧力制御弁）53と、この校正用圧力
52の安定を目的として制御するアキュムレータ54とが設
けられ、またドレン用配管55側には圧力レギュレータ41
からの空気流量をサーボアンプ63の出力信号に基づいて
制御するサーボ弁（第２の圧力制御弁）56およびこのサ
ーボ弁56からの空気の流速に応じて背圧側を負圧とする
機能を持った負圧生成ポンプとしてのジェットポンプ57
が設けられている。また、この調圧装置50にはノズルフ
ラッパ方式のサーボ弁53を用いているので校正用圧力を
零としたときに残圧が生ずるので、この残圧を除去する
ためにサーボ弁53にリターン配管58を介してジェットポ
ンプ57の背圧側へ接続して零点制御を可能とする。

前記圧力コントローラ62は、メモリおよびCPU等を有
し、圧力計器60に応じて予めそのレンジ，耐圧，複数の
校正印加圧力設定値パターンSV₁,SV₂，校正基準点（目
標値）等が設定され、その設定値パターンSV₁,SV₂に基
づいて各サーボ弁53,56を制御しながら精密圧力センサ6
1の出力PV₁を真値として前記設定値パターンSV₁,SV₂を
可変補正し、この精密圧力センサ61の出力PV₁が校正点
圧力となったときに圧力計器60の出力PV₂を読み込んで
記憶し、全ての校正圧力について測定を行った後、記憶
しておいた圧力計器60の出力PV₂の値から圧力計器60の
入出力特性曲線を求め、予め記憶してある仕様特性曲線
との誤差を求める機能を持っている。なお、図示されて
いないが圧力コントローラ62から圧力レギュレータ41に
対し校正すべき圧力を発生させるための制御信号を入力
する様になっている。

前記サーボアンプ63は、校正印加圧力設定値パターン
SV₁,SV₂と精密圧力センサ61の出力PV₁とを比較し、その
偏差が零となるように前記サーボ弁53,56を外部制御す
る機能を持っている。

次に、この実施例の動作を説明する。圧力計器60の校
正時，プラントのテスト弁60a側を解放し、プラント配
管側の計器元弁60bを閉止する。しかる後、圧力レギュ
レータ41は空気圧を取込んでブースタポンプ43を制御す
る。ここで、ブースタポンプ43は校正流体（水）を取込
んで所定圧力に昇圧して一次側圧力を得、これを調圧装
置50のサーボ弁53へ供給する。

一方、圧力コントローラ62は、第７図のステップS1に
示す如く予め操作部（図示せず）から圧力計器60に対応
するレンジ，耐圧および複数の校正印加圧力設定値パタ
ーン等が設定されているので、その中から所望とする１
つの校正印加圧力設定値パターンを選択し、圧力計器60
の当該レンジの例えば10％毎の校正点に近い設定値パタ
ーンSV₁,SV₂を出力すると（ステップS2,S3,S3′）、こ
れらの設定値パターンSV₁,SV₂に対応した信号がサーボ
アンプ63を介してサーボ弁53および56に与える。ここ
で、サーボ弁53はブースタポンプ43からの一次側圧力が
校正印加圧力設定値パターンSV₁に等しい校正用圧力52
となる様に制御して精密圧力センサ61および圧力計器60
に印加する。一方、サーボ弁56も圧力レギュレータ41か
らの空気流量を同様の設定値パターンSV₂となる様に制
御しジェットポンプ57に印加する。ここで，圧力コント
ローラ62はステップS4,S4′に示すように精密圧力セン
サ61の出力PV₁を所定の周期で取込みながら設定値パタ
ーンSV₁,SV₂と信号PV₁とを比較し、PV₁が校正基準点
（標準校正点）に対し許容精度範囲内にあるか否かを判
断し（ステップS5,S5′）、無ければステップS3,S3′に
移行し校正印加圧力設定値パターンSV₁,SV₂を可変する
補正処理を行いながらサーボアンプ63に供給する。サー
ボアンプ63は圧力コントローラ62から得られた補正され
た校正印加圧力設定値パターンSV₁,SV₂と精密圧力セン
サ61の出力PV₁とを比較しそれぞれの偏差が零となるよ
うに各サーボ弁53,56を制御する。このような制御を行
いながら精密圧力センサ61の出力PV₁が校正基準点の許
容精度範囲内に入ったとき、圧力コントローラ62は予め
定めた校正すべき校正用圧力に達したと判断しステップ
S6に示すように圧力計器60の出力PV₂を測定し、PV₁,PV₂
と共にメモリに記憶し（ステップS7）、以上の動作を全
ての校正印加圧力設定値で行い、全部完了した後に、記
憶したPV₂から圧力計器60の入出力特性曲線を求め、予
め別に記憶しておいた仕様特性曲線との比較を行い、圧
力計器60の誤差を求める。

従って、この実施例の構成によれば、サーボ弁53,56
を用いたので、正領域だけでなく負領域にも及ぶ任意の
校正印加圧力を得ることができ、広い範囲の校正が期待
できる。また、PV₂から圧力計器60の入出力特性曲線を
求めるため、仕様特性曲線との全体的な意味を持つ比較
ができる。また、精密圧力センサ61の出力から校正点に
達したことを検出すると、圧力計器60の出力を取込んで
誤差演算を行って誤差値を得るので、圧力計器60の調整
が直ちに行うことが可能となり作業の能率向上に大きく
貢献する。

なお、上記実施例ではノズルフラッパ形のサーボ弁53
を用いたが、このサーボ弁53は原理上一次側圧力が二次
側にリークして残圧が生ずるので零点設定するためにジ
ェットポンプ57による制御を行っているが、例えばノズ
ルおよびフラッパの材質に軟質のもの例えばゴム製のも
のを使用することにより、接触圧を向上させることでリ
ーク量を十分抑えることができる。この場合には第８図
に示すようにジェットポンプ57を使用せずに、サーボ弁
53の入力側にサーボ弁59を設け、このサーボ弁59で二次
側圧力を低くすることでサーボ弁53の出力，すなわち校
正用圧力52を相乗的に低くできる。

（発明の効果） 以上詳記したように本発明によれば、校正作業時に所
望とする圧力を安定に供給でき、かつ、短時間に正領域
圧力から負領域圧力にわたって多点校正を高精度に行う
ことができる圧力計器校正装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る圧力計器校正装置の基本構成ブロ
ック図、第２図は正領域圧力を多点校正する場合の構成
図、第３図および第４図は従来装置と本発明装置の校正
結果を説明する図、第５図は第２図の装置の変形例を説
明する構成図、第６図は正領域圧力から負領域圧力にわ
たって校正する圧力計器校正装置の一実施例を示す構成
図、第７図は校正データを得るための動作説明図、第８
図は本発明装置の他の実施例を示す構成図、第９図は従
来の圧力計器校正装置の構成図である。 11……圧力測定手段、12……圧力発生手段、13……精密
圧力計、14……制御・演算手段、15……操作手段、21,6
0,77……圧力計器、23……電気・圧力変換器、24……水
タンク、25,61……精密圧力センサ、30……制御・演算
手段、31……演算制御部、32……データ処理装置、40…
…加圧装置、50……調圧装置、53,56……サーボ弁、57
……ジェットポンプ、62……圧力コントローラ、63……
サーボアンプ。

フロントページの続き (72)発明者 鍵福 辰緒 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東 芝府中工場内 (72)発明者 小屋敷 太一 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東 芝府中工場内 (72)発明者 脇田 清貴 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東 芝府中工場内 (56)参考文献 特開 昭60−159624（ＪＰ，Ａ)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プラント配管に設置される圧力計器の校正
   を行う圧力計器校正装置において、 加圧流体に基づいて校正流体の圧力を昇圧して所定の一
   次側圧力を出力する加圧ポンプを有する加圧装置と、 第１の校正用圧力設定値パターンを用いて前記一次側圧
   力を制御し当該第１の校正用圧力設定値パターンに等し
   い校正用圧力を出力し前記圧力計器に印加する第１の圧
   力制御弁と、第２の校正用圧力設定値パターンを用いて
   前記圧力制御器で昇圧制御された前記加圧流体の圧力を
   制御する第２の圧力制御弁と、この第２の圧力制御弁で
   制御された圧力の前記加圧流体の流速に応じて当該加圧
   流体を排出し前記加圧ポンプの背圧側を負圧とする負圧
   生成ポンプと、前記第１の圧力制御弁と前記負圧生成ポ
   ンプの背圧側との間にリターン配管が接続され、前記校
   正用圧力零時の残圧を除去する残圧除去手段とを設けた
   調圧装置と、 前記第１の圧力制御弁から出力される前記校正用圧力の
   出力ラインに接続され、当該校正用圧力を測定し、精密
   測定信号を出力する精密圧力測定手段と、 予め前記第１および第２の校正用圧力設定値パターンが
   設定され、これら校正用圧力設定値パターンを前記第１
   および第２の圧力制御弁に印加し、前記精密圧力測定手
   段の出力との偏差が零となるように前記第１および第２
   の校正用圧力設定値パターンを補正処理し、前記精密圧
   力測定手段の出力が予め定めた所定の許容精度範囲内に
   入ったとき、前記圧力計器の出力を読み取るとともに、
   この読み取った前記圧力計器の出力から得られる入出力
   特性曲線と予め設定される前記圧力計器の仕様特性曲線
   とを比較し、前記圧力計器の精度を判定する制御・演算
   手段と、 を備えたことを特徴とする圧力計器校正装置。
2. 【請求項２】プラント配管に設置される圧力計器の校正
   を行う圧力計器校正装置において、 加圧流体に基づいて校正流体の圧力を昇圧して所定の一
   次側圧力を出力する加圧ポンプを有する加圧装置と、 第１の校正用圧力設定値パターンを用いて前記一次側圧
   力を制御し前記第１の校正用圧力設定値パターンに等し
   い校正用圧力を出力し前記圧力計器に印加する第１の圧
   力制御弁と、この第１の圧力制御弁と前記加圧ポンプと
   の間に配置され、第２の校正用圧力設定値パターンを用
   いて前記加圧ポンプから出力される一次側圧力を制御す
   ることにより前記第１の圧力制御弁の２次側圧力を低く
   設定する第２の圧力制御弁と、前記第１および第２の圧
   力制御弁に接続されたドレイン配管とを設けた調圧装置
   と、 前記第１の圧力制御弁から出力される前記校正用圧力の
   出力ラインに接続され、当該校正用圧力を測定し、精密
   測定信号を出力する精密圧力測定手段と、 予め前記第１および第２の校正用圧力設定値パターンが
   設定され、これら校正用圧力設定値パターンを前記第１
   および第２の圧力制御弁に印加し、前記精密圧力測定手
   段の出力との偏差が零となるように前記第１および第２
   の校正用圧力設定値パターンを補正処理し、前記精密圧
   力測定手段の出力が予め定めた所定の許容精度範囲内に
   入ったとき、前記圧力計器の出力を読み取るとともに、
   この読み取った前記圧力計器の出力から得られる入出力
   特性曲線と予め設定される前記圧力計器の仕様特性曲線
   とを比較し、前記圧力計器の精度を判定する制御・演算
   手段と、 を備えたことを特徴とする圧力計器校正装置。