JP2597500B2 - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
- Publication number
- JP2597500B2 JP2597500B2 JP9850488A JP9850488A JP2597500B2 JP 2597500 B2 JP2597500 B2 JP 2597500B2 JP 9850488 A JP9850488 A JP 9850488A JP 9850488 A JP9850488 A JP 9850488A JP 2597500 B2 JP2597500 B2 JP 2597500B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- mirror
- phase
- far
- field pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はレーザビーム品質を改良したレーザ装置に関
するものである。
するものである。
［従来の技術］ 第10図はレーザハンドブック（Laser Hand book1979.
North−Holland Publishing Company）に記載された従
来の不安定型共振器を有するレーザ装置の断面図で、図
中１は凹面鏡よりなるコリメートミラー、２はコリメー
トミラー１に対向配置された凸面鏡よるなる拡大ミラー
であり、両ミラー共反射ミラーである。３はCO2レーザ
等のガスレーザの場合は放電などにより励起されたガス
媒質、YAGレーザなどの固体レーザの場合フラッシュラ
ンプ等により励起されたガラス媒質のレーザ媒質、４は
ウインドミラー、５はウインドミラー４上にコーティン
グされた無反射膜、６はケーシング、７はミラー１、２
により形成され共振器に内発生するレーザビーム、８は
拡大ミラー周辺部より外部に取り出されたリング状のレ
ーザビーム、９はレンズ等の集光器、10は被加工物であ
る。
North−Holland Publishing Company）に記載された従
来の不安定型共振器を有するレーザ装置の断面図で、図
中１は凹面鏡よりなるコリメートミラー、２はコリメー
トミラー１に対向配置された凸面鏡よるなる拡大ミラー
であり、両ミラー共反射ミラーである。３はCO2レーザ
等のガスレーザの場合は放電などにより励起されたガス
媒質、YAGレーザなどの固体レーザの場合フラッシュラ
ンプ等により励起されたガラス媒質のレーザ媒質、４は
ウインドミラー、５はウインドミラー４上にコーティン
グされた無反射膜、６はケーシング、７はミラー１、２
により形成され共振器に内発生するレーザビーム、８は
拡大ミラー周辺部より外部に取り出されたリング状のレ
ーザビーム、９はレンズ等の集光器、10は被加工物であ
る。
次に動作について説明する。ミラー１、２は不安定型
共振器を構成しており、拡大ミラーにより反射拡大され
たレーザビームは、レーザ媒質３により増幅されるとと
もに、コリメートミラー１により平行ビームにコリメー
トされ、拡大ミラー４及びミラー周辺部上に反射され、
リング状のビームとしてウインドミラー４より外部に取
り出される。このリング状のレーザビームはほとんど等
位相で得られるため、集光器９により集光することによ
り中高のビームとなり、鋼板等の加工対象物10の切断溶
接等を効率よく行うことが出来る。
共振器を構成しており、拡大ミラーにより反射拡大され
たレーザビームは、レーザ媒質３により増幅されるとと
もに、コリメートミラー１により平行ビームにコリメー
トされ、拡大ミラー４及びミラー周辺部上に反射され、
リング状のビームとしてウインドミラー４より外部に取
り出される。このリング状のレーザビームはほとんど等
位相で得られるため、集光器９により集光することによ
り中高のビームとなり、鋼板等の加工対象物10の切断溶
接等を効率よく行うことが出来る。
集光の程度は取り出されるリング状ビームの内径と外
径との比であるＭ値（Magnification Factor）で決定さ
れ、Ｍ値が大きい程すなわち取り出されたビームが中ず
まりであるほどよく集光される。しかしＭ値を大きくす
ると、発振効率がいちぢるしく悪化する。第11図はＭ値
をパラメータとして入力とレーザ出力との関係を示す線
図であるが、Ｍ値が１、５の場合入力100kwの場合15kw
のレーザ出力が得られるのに対して、Ｍ値が３の場合は
9kwの出力しか得られない。すなわちＭ値が大きくなる
程効率が悪化することが判る。
径との比であるＭ値（Magnification Factor）で決定さ
れ、Ｍ値が大きい程すなわち取り出されたビームが中ず
まりであるほどよく集光される。しかしＭ値を大きくす
ると、発振効率がいちぢるしく悪化する。第11図はＭ値
をパラメータとして入力とレーザ出力との関係を示す線
図であるが、Ｍ値が１、５の場合入力100kwの場合15kw
のレーザ出力が得られるのに対して、Ｍ値が３の場合は
9kwの出力しか得られない。すなわちＭ値が大きくなる
程効率が悪化することが判る。
発振器から出力されるレーザビームはレンズ等で集光
して使用されるため、レーザ発振器の出口のレーザビー
ムモード（近視野パターンと称する）よりも集光した焦
点におけるビームモード（遠視野パターンと称する）の
方が実際のレーザ装置については重要である。第12図は
このビームモードの光軸における断面をＭ値が１、５の
場合（ａ）と３の場合（ｂ）について示したものであ
る。遠視野パターンは軸上のパターン（メインローブ）
とその周囲の幾つかのパターン（サイドローブ）とから
形成されており、Ｍ値が大きいとメインローブの軸上強
度が大きくサイドローブの強度が小さくなっている。す
なわちＭ値が大きいとメインローブにレーザ出力の大部
分が集中し中高のビームが得られることを示している。
レーザビームをレンズ等で集光して使用する場合は溶接
や切断等の加工に用いられるが、レーザ出力が同一の場
合加工性能は中高ビームの方がよく、加工性能の点では
Ｍ値が大きい方がよい。すなわちレーザの発振効率の場
合と逆になるのである。
して使用されるため、レーザ発振器の出口のレーザビー
ムモード（近視野パターンと称する）よりも集光した焦
点におけるビームモード（遠視野パターンと称する）の
方が実際のレーザ装置については重要である。第12図は
このビームモードの光軸における断面をＭ値が１、５の
場合（ａ）と３の場合（ｂ）について示したものであ
る。遠視野パターンは軸上のパターン（メインローブ）
とその周囲の幾つかのパターン（サイドローブ）とから
形成されており、Ｍ値が大きいとメインローブの軸上強
度が大きくサイドローブの強度が小さくなっている。す
なわちＭ値が大きいとメインローブにレーザ出力の大部
分が集中し中高のビームが得られることを示している。
レーザビームをレンズ等で集光して使用する場合は溶接
や切断等の加工に用いられるが、レーザ出力が同一の場
合加工性能は中高ビームの方がよく、加工性能の点では
Ｍ値が大きい方がよい。すなわちレーザの発振効率の場
合と逆になるのである。
［発明が解決しようとする課題］ 従来の不安定型共振器は上記のように構成されている
ので、レーザ発振効率をある程度の値に保つとともに、
レーザビームの集光特性をある程度良くするためには、
上記２個の要素の兼ね合いでＭ値を決めている。工業的
に使用されるレーザではＭ値を２程度にすることが多
い。しかしいずれにせよレーザの性能を最大限に引き出
すという点で未だ問題は残されており、この点が不安定
型共振器の課題となっていた。
ので、レーザ発振効率をある程度の値に保つとともに、
レーザビームの集光特性をある程度良くするためには、
上記２個の要素の兼ね合いでＭ値を決めている。工業的
に使用されるレーザではＭ値を２程度にすることが多
い。しかしいずれにせよレーザの性能を最大限に引き出
すという点で未だ問題は残されており、この点が不安定
型共振器の課題となっていた。
本発明は従来装置の上記問題点を解消するためになさ
れたもので、高いレーザ発振効率と勝れた集光特性を同
時に合せ持つレーザ装置を提供しようとするものであ
る。
れたもので、高いレーザ発振効率と勝れた集光特性を同
時に合せ持つレーザ装置を提供しようとするものであ
る。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明に係るレーザ装置
は、不安定型共振器において共振器より出射したレーザ
ビームが遠視野パターンになる位置に、位相調整ミラー
を配置した。なお該位相調整ミラーは遠視野パターンの
ローブに対応して凹凸部を形成し、レーザビームの波面
の位相差を打ち消すように構成されている。
は、不安定型共振器において共振器より出射したレーザ
ビームが遠視野パターンになる位置に、位相調整ミラー
を配置した。なお該位相調整ミラーは遠視野パターンの
ローブに対応して凹凸部を形成し、レーザビームの波面
の位相差を打ち消すように構成されている。
［作用］ レーザ装置を上記のように構成したので、レーザビー
ムの波面の位相差はなくなり、該ビームはＭ値によらず
極めて高い集光特性をもつこととなる。
ムの波面の位相差はなくなり、該ビームはＭ値によらず
極めて高い集光特性をもつこととなる。
［発明の実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示すレーザ装置の構成
図、第２図は遠視野パターンのビームの強度分布と波面
の位相との関係を示す線図、第３図は位相調整ミラーの
ａは平面図、ｂは側面断面図、ｃは位相調整ミラーへの
ビームの入反射を示す説明図で、図中１〜10は従来装置
と同一または相当部品、11は位相調整ミラーである。
図、第２図は遠視野パターンのビームの強度分布と波面
の位相との関係を示す線図、第３図は位相調整ミラーの
ａは平面図、ｂは側面断面図、ｃは位相調整ミラーへの
ビームの入反射を示す説明図で、図中１〜10は従来装置
と同一または相当部品、11は位相調整ミラーである。
第１図にみるように、不安定型共振器から出力される
レーザビームはリング状の近視野パターンを有している
が、数ｍから十数ｍ伝搬するうちに、回折によりメイン
ローブの周りに幾つかのサイドローブを持つ遠視野パタ
ーンとなる。第２図はこの遠視野パターンのビームの強
度分布Ａと波面の位相Ｂとの関係を示すもので、図にみ
るようにビームの波面の位相は一つのローブごとに反転
しており最大180度の位相差を持っている。
レーザビームはリング状の近視野パターンを有している
が、数ｍから十数ｍ伝搬するうちに、回折によりメイン
ローブの周りに幾つかのサイドローブを持つ遠視野パタ
ーンとなる。第２図はこの遠視野パターンのビームの強
度分布Ａと波面の位相Ｂとの関係を示すもので、図にみ
るようにビームの波面の位相は一つのローブごとに反転
しており最大180度の位相差を持っている。
本発明は、レーザ共振器より出射するレーザビームの
光路上でビームが上記遠視野パターンを有する位置に位
相調整ミラーを配置し、上記ビームの波面の位相差を無
くしようとするものである。上記強度分布及び波面の位
相はリング状モードの回折により発生するもので、理論
と実験は極めてよく一致している。またメインローブと
幾つかのサイドローブとの境界の光強度はゼロとなる。
これが本発明において遠視野パターンが得られる位置に
位相調整ミラーを設置する理由の一つである。
光路上でビームが上記遠視野パターンを有する位置に位
相調整ミラーを配置し、上記ビームの波面の位相差を無
くしようとするものである。上記強度分布及び波面の位
相はリング状モードの回折により発生するもので、理論
と実験は極めてよく一致している。またメインローブと
幾つかのサイドローブとの境界の光強度はゼロとなる。
これが本発明において遠視野パターンが得られる位置に
位相調整ミラーを設置する理由の一つである。
位相調整ミラー11は、ビームの強度分布をそのままに
してビームの波面のみを均一な位相にしようとするもの
で、該ミラー11は第３図に示すように表面に遠視野パタ
ーンのローブに対応して凹凸部11aが形成され、ビーム
に光路差を与えて位相差をなくしかつ表面は100％近く
反射するように形成されている。
してビームの波面のみを均一な位相にしようとするもの
で、該ミラー11は第３図に示すように表面に遠視野パタ
ーンのローブに対応して凹凸部11aが形成され、ビーム
に光路差を与えて位相差をなくしかつ表面は100％近く
反射するように形成されている。
この凹凸の高さｄは、レーザビームの波長をλとすれ
ば で表せる。
ば で表せる。
なお第３図ｃに示す位相調整ミラー11へのビームの入
反射の角度２θは数度程度の小さい場合である。
反射の角度２θは数度程度の小さい場合である。
上記のように凹凸部11aを備えた位相調整ミラー11を
使用すると、ビームの光強度分布と波面の位相の関係は
第４図に示すようなプロフィールとなり、光強度分布は
そのままで波面の位相は均一になる。このビームをレン
ズ等で集光すると焦点上では第５図に示すパターンが得
られ、安定型共振器のガウスモード（TEMoo）とまった
く同じ集光特性が得られる。焦点上でガウスモードとな
るので、極めて良好な溶接、切断等の加工特性を得られ
るのである。
使用すると、ビームの光強度分布と波面の位相の関係は
第４図に示すようなプロフィールとなり、光強度分布は
そのままで波面の位相は均一になる。このビームをレン
ズ等で集光すると焦点上では第５図に示すパターンが得
られ、安定型共振器のガウスモード（TEMoo）とまった
く同じ集光特性が得られる。焦点上でガウスモードとな
るので、極めて良好な溶接、切断等の加工特性を得られ
るのである。
なお本実施例においては遠視野パターンにおける波面
の位相を均一にする位相調整ミラーについて述べたが、
計算及び実験によれば遠視野パターン上では一つのロー
ブ内での位相のプロフィールは正弦波近似が出来ること
が判っているので、凹凸部の断面は正弦波にしても第４
図、第５図に示すものとほとんど同じプロフィールが得
られる。このようにの凹凸部を正弦波断面にすることで
位相調整ミラーの製作はより容易になる。
の位相を均一にする位相調整ミラーについて述べたが、
計算及び実験によれば遠視野パターン上では一つのロー
ブ内での位相のプロフィールは正弦波近似が出来ること
が判っているので、凹凸部の断面は正弦波にしても第４
図、第５図に示すものとほとんど同じプロフィールが得
られる。このようにの凹凸部を正弦波断面にすることで
位相調整ミラーの製作はより容易になる。
レーザ共振器から出力された遠視野パターンのビーム
を位相調整ミラーで位相補正する場合、上記ビームの質
はなんでもよくＭ値によるものではない。すなわちＭ値
はレーザ発振効率を上げる観点からのみ選択すればよ
く、例えばＭ＝1.2で発振させれば極めて良好な発振効
率を得ることが出来る。
を位相調整ミラーで位相補正する場合、上記ビームの質
はなんでもよくＭ値によるものではない。すなわちＭ値
はレーザ発振効率を上げる観点からのみ選択すればよ
く、例えばＭ＝1.2で発振させれば極めて良好な発振効
率を得ることが出来る。
第６図は入射角θが大きい場合に使用する他の実施例
の位相調整ミラー12を示すもので、その凹凸部12aを楕
円形に形成している。このときの凹凸部12aの高さｄ′
は次の式で求められる。
の位相調整ミラー12を示すもので、その凹凸部12aを楕
円形に形成している。このときの凹凸部12aの高さｄ′
は次の式で求められる。
また上記実施例はいずれも反射型の位相調整ミラーを
示すものであるが、第７図に示すような透過型でもよ
い。このとき位相調整ミラー13はビームが透過し得る材
料で形成され、凹凸部13aの高さｄ″は次の式で表され
る。
示すものであるが、第７図に示すような透過型でもよ
い。このとき位相調整ミラー13はビームが透過し得る材
料で形成され、凹凸部13aの高さｄ″は次の式で表され
る。
ここでｎはミラーの材料の屈折率である。
以上述べたものはレーザビームを遠視野パターンとす
るためレーザ発振器から数ｍ〜十数ｍ離れた所に位相調
整ミラーを配置する例であるが、第８図に示すようにレ
ーザ発振器近傍にレンズ等のコリメータミラー14を配置
すれば、そのレンズの焦点すなわちビームウエストで遠
視野パターンが得られるため、発振器と位相調整ミラー
との距離が短縮され、さらに位相調整ミラー上でのビー
ムの径も自由に変えられる。このため集光用のレンズの
Ｆナンバ（焦点距離／ビーム径）も自由に選択すること
が出来る。
るためレーザ発振器から数ｍ〜十数ｍ離れた所に位相調
整ミラーを配置する例であるが、第８図に示すようにレ
ーザ発振器近傍にレンズ等のコリメータミラー14を配置
すれば、そのレンズの焦点すなわちビームウエストで遠
視野パターンが得られるため、発振器と位相調整ミラー
との距離が短縮され、さらに位相調整ミラー上でのビー
ムの径も自由に変えられる。このため集光用のレンズの
Ｆナンバ（焦点距離／ビーム径）も自由に選択すること
が出来る。
また本実施例においては、レーザ発振器から出力され
るビームが平行ビームの場合を示したが、第９図に示す
ように不安定型共振器の拡大ミラー２またはコリメータ
ミラー１の曲率を調整して発振器から出力されるビーム
の集束性をもたせることにより、第８図に示すコリメー
タミラー14を使用することになしに、発振器から出力さ
れたビームは少し伝搬するだけで遠視野パターンにする
ことができる。
るビームが平行ビームの場合を示したが、第９図に示す
ように不安定型共振器の拡大ミラー２またはコリメータ
ミラー１の曲率を調整して発振器から出力されるビーム
の集束性をもたせることにより、第８図に示すコリメー
タミラー14を使用することになしに、発振器から出力さ
れたビームは少し伝搬するだけで遠視野パターンにする
ことができる。
［発明の効果］ 本発明は不安定型共振器から出力されるレーザビーム
の遠視野パターンの位相を位相調整ミラーで調整するよ
うに構成したので、上記レーザビームを品質のよいレー
ザビームに変換することが可能となり、その結果Ｍ値を
小さくしてレーザ発振効率を高めるという優れた効果を
挙げることが出来た。
の遠視野パターンの位相を位相調整ミラーで調整するよ
うに構成したので、上記レーザビームを品質のよいレー
ザビームに変換することが可能となり、その結果Ｍ値を
小さくしてレーザ発振効率を高めるという優れた効果を
挙げることが出来た。
第１図は本発明の一実施例を示すレーザ装置の構成図、
第２図はレーザビームの遠視野パターンを示す線図、第
３図は位相調整ミラーの（ａ）は平面図、（ｂ）は断面
図、（ｃ）はビームの入反射の説明図、第４図は位相を
調整されたビームのパターンを示す線図、第５図は集光
後のビームのパターンを示す線図、第６図は位相調整ミ
ラーの他の実施例を示す（ａ）は平面図、（ｂ）は断面
図、（ｃ）はビーム反射の説明図、第７図は位相調整ミ
ラーの他の実施例を示す（ａ）は平面図、（ｂ）は断面
図、（ｃ）はビーム透過の説明図、第８図、第９図はレ
ーザ装置の他の実施例を示す構成図、第10図は従来のレ
ーザ装置を示す構成図、第11図はその発振効率を示す線
図、第12図はＭ値に応じた各パターンを示す線図であ
る。 図中１はコリメートミラー、２は拡大ミラー、３はガス
媒質、４はウインドミラー、５はウインドミラー４上に
コーティングされた無反射膜、６はケーシング、７はミ
ラー１、２により形成される共振器内に発生するレーザ
ビーム、８は拡大ミラー周辺部より外部に取り出された
リング状のレーザビーム、９はレンズ等の集光器、10は
被加工物、11、12、13は位相調整ミラー、14はコリメー
タミラーである。 なお図中同一符号は同一または相当部品を示すものであ
る。
第２図はレーザビームの遠視野パターンを示す線図、第
３図は位相調整ミラーの（ａ）は平面図、（ｂ）は断面
図、（ｃ）はビームの入反射の説明図、第４図は位相を
調整されたビームのパターンを示す線図、第５図は集光
後のビームのパターンを示す線図、第６図は位相調整ミ
ラーの他の実施例を示す（ａ）は平面図、（ｂ）は断面
図、（ｃ）はビーム反射の説明図、第７図は位相調整ミ
ラーの他の実施例を示す（ａ）は平面図、（ｂ）は断面
図、（ｃ）はビーム透過の説明図、第８図、第９図はレ
ーザ装置の他の実施例を示す構成図、第10図は従来のレ
ーザ装置を示す構成図、第11図はその発振効率を示す線
図、第12図はＭ値に応じた各パターンを示す線図であ
る。 図中１はコリメートミラー、２は拡大ミラー、３はガス
媒質、４はウインドミラー、５はウインドミラー４上に
コーティングされた無反射膜、６はケーシング、７はミ
ラー１、２により形成される共振器内に発生するレーザ
ビーム、８は拡大ミラー周辺部より外部に取り出された
リング状のレーザビーム、９はレンズ等の集光器、10は
被加工物、11、12、13は位相調整ミラー、14はコリメー
タミラーである。 なお図中同一符号は同一または相当部品を示すものであ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 名井 康人 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電機株式会社応用機器研究所内 (56)参考文献 特開 昭61−226985（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−234087（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−73686（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】不安定型共振器によりレーザビームを発生
させるレーザ装置において、 レーザビームの光路上で遠視野パターンの得られる位置
に、上記ビームの遠視野パターンのローブに対応して凹
凸部を形成した位相調整ミラーを配置し、上記レーザビ
ームの波面の位相を調整し得るように構成したことを特
徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9850488A JP2597500B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9850488A JP2597500B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01270371A JPH01270371A (ja) | 1989-10-27 |
| JP2597500B2 true JP2597500B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=14221474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9850488A Expired - Fee Related JP2597500B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2597500B2 (ja) |
-
1988
- 1988-04-22 JP JP9850488A patent/JP2597500B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01270371A (ja) | 1989-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR910009016B1 (ko) | 레이저 가동장치 | |
| US20060186098A1 (en) | Method and apparatus for laser processing | |
| JP2648498B2 (ja) | レーザ共振器 | |
| JP5517434B2 (ja) | ガスレーザ装置及びレーザ生成方法 | |
| JP2005257735A (ja) | レーザビーム光学系およびレーザ加工装置 | |
| JP4203635B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
| JP2597500B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP4917123B2 (ja) | レーザビーム光学系およびレーザ加工装置 | |
| JP2800006B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP2580704B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP2660335B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP2673304B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP3458668B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH10135571A (ja) | 半導体レーザの集光光学系 | |
| JP2597499B2 (ja) | レーザ装置 | |
| KR910002229B1 (ko) | 레이저 장치 | |
| JPH10197709A (ja) | バイナリーオプティクス及びそれを用いたレーザ加工装置 | |
| JPH03159183A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH07101762B2 (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPH0511671B2 (ja) | ||
| JPH0644648B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPH0834325B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPH08155666A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH073896B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS6022390A (ja) | レ−ザビ−ム制御方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |