JP2596118Y2 - Ccd検査装置の入力信号処理回路 - Google Patents

Ccd検査装置の入力信号処理回路

Info

Publication number
JP2596118Y2
JP2596118Y2 JP1992062695U JP6269592U JP2596118Y2 JP 2596118 Y2 JP2596118 Y2 JP 2596118Y2 JP 1992062695 U JP1992062695 U JP 1992062695U JP 6269592 U JP6269592 U JP 6269592U JP 2596118 Y2 JP2596118 Y2 JP 2596118Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
input
output
level
signal processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP1992062695U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0628762U (ja
Inventor
信介 関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP1992062695U priority Critical patent/JP2596118Y2/ja
Publication of JPH0628762U publication Critical patent/JPH0628762U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2596118Y2 publication Critical patent/JP2596118Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Picture Signal Circuits (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Analogue/Digital Conversion (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この考案はCCD(Charge Coupl
ed Device)検査装置において、被試験CCDにより入力
される映像信号のピークレベル(尖頭レベル)付近(欠
陥画素情報が含まれる)をサンプルホールド及び増幅し
た後、A/D変換してデジタル信号処理回路へ供給する
ための入力信号処理回路に関し、特に出力データの精度
の向上と高利得化に係わる。
【0002】
【従来の技術】(1) 入力信号処理回路A 従来のCCD検査装置の入力信号処理回路を図3〜図7
に基づいて説明する。水平ドットクロックCK(図4
A)により駆動される被試験CCD2に光源1からの光
Lが入射され、映像信号S1 が入力端子INに入力され
る。バッファアンプ3で増幅された映像信号S2 (図4
B)は相関二重サンプルホールド(CDS:コリレイテ
ッド・ダブル・サンプルホールド)回路4に入力され、
入力コンデンサCで直流カットされた後、第1ストロー
ブパルスP1 (図4C)の存在する時点の各画素のクロ
レベルがサンプルホールドされ、続いて第2ストローブ
パルスP2 (図4D)の存在する時点の各画素の出力レ
ベルがサンプルホールドされる。
【0003】(1−1) 通常モード CDS4の出力S3 (図4E)は、ダイオード6,プロ
グラマブル電源7,OBC(オプティカル・ブランキン
グ・クランプ)回路8が無い場合には直接ゲインアンプ
9に入力され、適当に(図4の例では10倍に)増幅さ
れ、その増幅出力S6 (図4F)はOBC回路10に入
力される。OBC回路10では入力信号S6 がOBCパ
ルスPC (図4G)が水平ブランキング期間に与えられ
るたびに、OBC回路の出力信号S7 のブランキングレ
ベル(クロレベル)が、基準電源11の電圧(クランプ
電圧)EC にクランプされる(図4H)。
【0004】OBC回路10の出力S7 は、反転回路1
2で極性が反転され、ブランキングレベルが−EC とさ
れた出力S8 (図4I)がA/Dコンバータ13に入力
され、第3ストローブパルスP3 (図4J)に同期し
て、A/D変換される。A/Dコンバータ13の入力ダ
イナミック・レンジは通常±1Vのものが用いられる。
A/Dコンバータ13の入力S8 は通常モードでは、ブ
ランキングレベル−ECが入力ダイナミックレンジのほ
ゞ下限値となるように設定される。従って、OBC回路
10のクランプ電圧EC はA/Dコンバータ13の入力
ダイナミック・レンジの下限値の極性を反転した値にほ
ゞ等しく設定される。
【0005】なお、図5は図4E〜Iの時間軸を圧縮し
て示したものである。通常モードでは、A/Dコンバー
タ13の入力S8 のブランキングレベル〜ピークレベル
の全波形がA/Dコンバータの入力ダイナミックレンジ
(±1V)内に収められる。映像信号レベルが平均レベ
ルより著しく大きい、または小さい欠陥画素があれば、
次のデジタル信号処理回路において容易に検出される。
【0006】(1−2) 映像信号のピークレベル付近
を高精度で検査する場合 被試験CCDの出力S1 ,従ってCDS回路4の出力S
3 (図6A)が通常モードの10倍で、振幅0.7Vであ
った場合を例にとると、ゲインアンプ9で10倍に増幅
されて、その出力S6 (図6B)の振幅は7Vとなる。
映像信号のピークレベルの平均レベルをA/Dコンバー
タ13の入力ダイナミックレンジの中心(0V)付近に
設定し、その平均レベル±1Vの範囲がA/D変換さ
れ、次のデジタル信号処理回路に入力され、各画素のピ
ーク値が高精度にチェックされ、微小欠陥画素が検出さ
れる。
【0007】図6の例では、映像信号のピークレベルの
平均を0Vに設定すれば、ブランキングレベル−EC
−7Vとなる。従ってOBC回路10のクランプ電圧E
C は+7Vとなる。以上の説明では被試験CCDの出力
レベルS1 ,従ってCDS回路出力S3 が高いものとし
たが、ゲインアンプ9の利得を特に大きくして、映像信
号のピークレベル付近を拡大して微細に試験する場合に
ついても同様である。
【0008】ゲインアンプ9の利得を先の例の10倍よ
り更に大きくして、映像信号のピークレベル付近をより
拡大して微細な欠陥画素を検出したい場合には、OBC
回路10の入力信号S6 の振幅は更に大きくなるので、
クランプ電圧EC は7Vより更に大きくしなければなら
なくなる。しかしクランプ電圧EC は電源11(CCD
検査装置の電源と共用される場合が多い)の最大電圧や
反転回路12の電源電圧によって制限され、現状では+
7V以上は無理である。
【0009】このため、従来の回路Aは、映像信号のピ
ークレベル付近をあまり大きく拡大することができない
ため、高精度の検査ができない不都合があった。この不
都合を解決するものとして次に述べる回路Bも用いられ
ている。 (2) 入力信号処理回路B 従来の入力信号処理回路Bでは、図3に点線で示すよう
に、抵抗器5の出力側にダイオード6を介してプログラ
マブル電源7が接続されると共に、抵抗器5とゲインア
ンプ9との間にクランプレベルが0VのOBC回路8が
挿入される。
【0010】次に前述の(1−2)と同じ場合を説明す
る。CDS回路4の出力S3 (図7A)の振幅が0.7V
の場合、プログラマブル電源7の出力電圧EP は例えば
−1.33Vに設定される。ダイオード6の順電圧をVF
とすれば、OBC回路8の入力信号S4 の最大値は−1.
33V+VF にリミットされる。順電圧VF はダイオー
ドを流れる電流値によって変化するので、VF =0.7±
δVと置けば、リミッタレベルは、−1.33V+VF
−0.63±δVとなる。上限が制限された信号S4 (図
7B)はOBC回路8でブランキングレベルが0Vにク
ランプされて、その出力信号(図7D)がゲインアンプ
9に入力され10倍されて出力S6 (図7E)とされ
る。
【0011】この出力S6 は図5BのS6 とほゞ同じ振
幅の信号であり、以後(1−1)で述べた通常モードと
同様の動作となり、OBC回路10,反転回路12を通
じてA/Dコンバータ13に入力される。しかし、(1
−1)及び図5では映像信号のブランキングレベルから
ピークレベルまでの全波形がA/Dコンバータに入力さ
れたのに対して、この場合には映像信号のブランキング
レベル方向の振幅がスライスされた波形が入力される。
【0012】このスライスは前述のようにダイオード6
とプログラマブル電源7とにより行われる。このスライ
スによってゲインアンプ9の入力S5 の振幅は必要に応
じ十分小さくすることができるので、ゲインアンプ9の
利得を回路Aの場合より大きく設定し、映像信号のピー
クレベル付近のみを十分拡大した後、A/D変換してデ
ジタル信号処理回路に供給することができる。
【0013】
【考案が解決しようとする課題】従来の回路Aは電源電
圧の制限から映像信号のピークレベル付近を十分大きく
拡大することができないため高精度の検査ができない不
都合があった。一方、従来の回路Bでは、CDS回路4
の出力のブランキングレベル方向の振幅をスライスする
ために必要なダイオード6の順電圧VF が、ダイオード
を流れる電流によって、従ってCDS回路4の出力の振
幅によって±δだけ変化するので、ダイオード6と電源
7とより成るリミッタのスライスレベルが±δだけ変化
し、ゲインアンプ9の出力、結局A/Dコンバータの入
力S8 ,そのA/D変換出力が±10δだけ変動し、そ
の分検査精度が低下する不都合があった。
【0014】この考案の目的は、これら従来の欠点を解
決して、映像信号のピークレベル付近を必要に応じ十分
増幅できると共に、リミッタレベル変動がほとんどな
く、高精度の検査が可能な入力信号処理回路を提供しよ
うとするものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】被試験CCDの出力映像
信号をサンプルホールド回路に入力し、そのサンプルホ
ールド回路の出力をゲインアンプで増幅した後レベル変
換回路に入力し、そのレベル変換回路の出力をA/D変
換してデジタル信号処理回路に供給するCCD検査装置
の入力信号処理回路において、この考案では、前記サン
プルホールド回路の出力側に一端が接続された抵抗器
と、前記抵抗器の他端に入力側が接続され、出力側が前
記ゲインアンプの入力側に接続され、入力された映像信
号のブランキングレベルを所定値にクランプして、上記
ゲインアンプに出力するOBC(オプティカル・ブラン
キング・クランプ)回路と、前記抵抗器の前記他端に一
端が接続されたスイッチと、前記スイッチの他端に接続
され、定電流を供給する定電流源と、前記サンプルホー
ルド回路の出力側の映像信号からブランキング期間を検
出し、その検出した信号により前記スイッチをオンとす
るブランキング検出手段とを具備する。
【0016】前記スイッチ回路のオン期間(ブランキン
グ期間)に前記直列抵抗器の両端にRIの電圧降下を発
生させることにより、前記サンプルホールド回路より出
力される映像信号のブランキングレベルとピークレベル
との差を圧縮し、その映像信号のブランキングレベルを
前記OBC回路で所定値にクランプする。
【0017】
【実施例】この考案の実施例を図1に、図3と対応する
部分に同じ符号を付して示す。この考案では、図3のC
DS回路4と抵抗器5との間及び抵抗器5とOBC回路
8との間にそれぞれバッファアンプ21及び22が必要
に応じ挿入される。また抵抗器5の出力側が高速半導体
スイッチ(SWと言う)23を介して定電流源24に接
続される。定電流源24はプログラマブル電源25の電
圧によってその電流値が設定される。
【0018】CDS回路4の出力S3 (図1Ba)は従
来例で述べたようにブランキングレベルが0Vに設定さ
れた波形である。バッファアンプ21の出力S3 ′(図
1Bc)もS3 とほゞ同一の波形であるが、ブランキン
グレベルは不定となる。CDS回路4の出力S3 が比較
回路26に入力され、比較電圧−Er と比較され、S3
が−Er より大きいか否かにより、比較回路26の出力
C は極性が反転し、この出力SC によりSW23はオ
ン、オフ制御される(図1Bb)。
【0019】図から分かるようにブランキング期間では
SW23がオンとされ、バッファアンプ21より定電流
Iが抵抗器5,SW23を通じて定電流源24に吸い込
まれる。これにより抵抗器5にRI(Rは抵抗器5の抵
抗値)の電圧降下が発生するので、バッファアンプ22
の入力S4 のブランキングレベルはRIだけ低下する
(図1Bd)。この信号S4 は利得1のバッファアンプ
22を通して信号S4 ′とされ、クランプレベルが0V
のOBC回路8に入力され、その出力信号S5 はブラン
キングレベルが0Vにクランプされる(図1Bf)。
【0020】信号S5 はゲインアンプ9で例えば10倍
増幅されて信号S6 (図1Bg)とされ、クランプ電圧
C をもつOBC回路10に入力され、ブランキングレ
ベルがEC にクランプされて信号S7 (図5Dに示した
のと同様)とされ、反転回路12で極性反転された信号
8 (図5Eと同様)がA/Dコンバータ13に入力さ
れ、その出力がデジタル信号処理回路へ供給される。
【0021】なお、比較回路26の出力SC は映像信号
のブランキング期間とそれ以外の期間とで極性の反転す
る信号であるが、このような信号が外部より入力信号処
理回路に供給される場合には、その信号でSW23を制
御し、比較回路26を省略できる。図2に比較回路2
6,SW23,OBC回路8の具体的な回路構成の一例
を示してある。なお、図2では比較回路26等の遅延時
間を補償するために、CDS回路4とバッファアンプ2
1との間にアンプ28と遅延ケーブル(4〜5ns遅延)
29等を挿入している。しかし、これらは省略する場合
もある。スイッチSWaを一方に切替えると比較電圧−
r が比較回路26に印加され、この考案によるブラン
キングレベルの調整が行われる。SWaを他方に切替え
ると正の電圧+Eが比較回路26に印加され、比較回路
の出力SC は常に低レベルとなってSW23のトランジ
スタTR1がオフとなり、ブランキング期間のレベル調
整は行われないようにしている。
【0022】この考案の回路では抵抗器5,SW23,
定電流源24等より成るリミッタ回路によって、従来の
回路Bと同様に映像信号のピークレベル付近の小さな範
囲のみをゲインアンプ9に入力することができる。しか
し従来の回路Bのようにリミッタレベルがダイオードの
順電圧の変動分±δだけ変動するようなことはない。
【0023】
【考案の効果】この考案では、抵抗器5の電圧降下(R
I)分だけブランキングレベルを下げて映像信号のピー
クレベルに近づけ、両者の差を必要に応じ任意に小さく
することができるので、ゲインアンプ9で映像信号のピ
ークレベル付近を十分増幅した信号S6 を得ることがで
きる。よって、この信号S6 に基づいたA/Dコンバー
タ出力をデジタル信号処理回路に供給し、微小欠陥画素
を高精度で検出することができる。
【0024】この考案では、ブランキングレベルと映像
信号のピークレベルとの差を小さくするための補償電圧
RIは抵抗器5を流れる電流Iが定電流源24により一
定に維持されるので、従来の回路Bと異なり、リミッタ
レベルは変動しない。よってA/D変換出力はそれだけ
誤差が小さく高精度の検査が行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】Aはこの考案の実施例を示すブロック図。Bは
図Aの要部の動作波形図。
【図2】図1の要部の詳細な回路図。
【図3】従来のCCD検査装置の入力信号処理回路のブ
ロック図。
【図4】図3において、プログラマブル電源7,ダイオ
ード6及びOBC回路8の無い従来の入力信号処理回路
Aの通常モードにおける要部の動作波形図。
【図5】図4の要部の時間軸を圧縮して示した動作波形
図(通常モード)。
【図6】従来の入力信号処理回路Aにおいて、映像信号
のピークレベル付近のみをA/D変換する場合の要部の
動作波形図。
【図7】図3においてプログラマブル電源7,ダイオー
ド6及びOBC回路8が追加された従来の入力信号処理
回路Bに関し、映像信号のピークレベル付近のみをA/
D変換する場合の要部の動作波形図。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 31/26 - 31/27 H03M 1/00 - 1/88 H04N 5/18 H04N 5/30 - 5/335

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被試験CCDの出力映像信号をサンプル
    ホールド回路に入力し、そのサンプルホールド回路の出
    力をゲインアンプで増幅した後レベル変換回路に入力
    し、そのレベル変換回路の出力をA/D変換してデジタ
    ル信号処理回路に供給するCCD検査装置の入力信号処
    理回路において、前記サンプルホールド回路の出力側に一端が接続された
    抵抗器と、 前記抵抗器の他端に入力側が接続され、出力側が前記ゲ
    インアンプの入力側に接続され、入力された映像信号の
    ブランキングレベルを所定値にクランプして、上記ゲイ
    ンアンプに出力するOBC(オプティカル・ブランキン
    グ・クランプ)回路と、 前記抵抗器の前記他端に一端が接続されたスイッチと、 前記スイッチの他端に接続され、定電流を供給する定電
    流源と、 前記サンプルホールド回路の出力側の映像信号からブラ
    ンキング期間を検出し、その検出した信号により前記ス
    イッチをオンとするブランキング検出手段と、 を具備する ことを特徴とするCCD検査装置の入力信号
    処理回路。
JP1992062695U 1992-09-07 1992-09-07 Ccd検査装置の入力信号処理回路 Expired - Fee Related JP2596118Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1992062695U JP2596118Y2 (ja) 1992-09-07 1992-09-07 Ccd検査装置の入力信号処理回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1992062695U JP2596118Y2 (ja) 1992-09-07 1992-09-07 Ccd検査装置の入力信号処理回路

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0628762U JPH0628762U (ja) 1994-04-15
JP2596118Y2 true JP2596118Y2 (ja) 1999-06-07

Family

ID=13207694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1992062695U Expired - Fee Related JP2596118Y2 (ja) 1992-09-07 1992-09-07 Ccd検査装置の入力信号処理回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2596118Y2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0628762U (ja) 1994-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5182476A (en) Offset cancellation circuit and method of reducing pulse pairing
US6140878A (en) Transimpedance-type amplifier circuit with interchangeable resistance
JPS6012826B2 (ja) 受信回路
US4620444A (en) High speed gated peak detector
US6348816B1 (en) Tracking percent overload signal as indicator of output signal magnitude
JP2596118Y2 (ja) Ccd検査装置の入力信号処理回路
JP3064703B2 (ja) サンプルホールド回路
JP2811704B2 (ja) Ccd出力回路
JPS617779A (ja) 固体撮像素子の出力信号処理回路
US20050147011A1 (en) Optical integrated device
KR100271590B1 (ko) 차동 증폭 장치
JP3375172B2 (ja) Mos技術で複合映像信号から同期信号を抽出するための回路
JP2827233B2 (ja) 半導体試験装置
JP2861191B2 (ja) Ccd信号処理装置
JP2527257B2 (ja) 画信号処理装置
JP2548220B2 (ja) 映像信号処理装置
JP2830545B2 (ja) 映像信号処理装置
JPH0339980Y2 (ja)
JP2000227448A (ja) Dc測定装置
JPH0611390A (ja) 光検出増幅回路
JPH04345379A (ja) アナログ入出力装置
JP2605128B2 (ja) 検波回路
JPH0575895A (ja) 映像信号の自動利得調整回路
JP2809012B2 (ja) Ccd出力信号処理回路
JPH0564036A (ja) ガンマオフセツト調整回路

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19990223

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees