JP2596089Y2 - Ｉｃハンドラー - Google Patents
ＩｃハンドラーInfo
- Publication number
- JP2596089Y2 JP2596089Y2 JP1992060165U JP6016592U JP2596089Y2 JP 2596089 Y2 JP2596089 Y2 JP 2596089Y2 JP 1992060165 U JP1992060165 U JP 1992060165U JP 6016592 U JP6016592 U JP 6016592U JP 2596089 Y2 JP2596089 Y2 JP 2596089Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- handler
- shuttle
- ics
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、特に多数のメモリ型Ｉ
Ｃを同時に位置決めして測定するのに適したＩＣハンド
ラーに関する。
Ｃを同時に位置決めして測定するのに適したＩＣハンド
ラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣハンドラーは、多数のＩＣを高温ま
たは低温状態にしてそのデータを測定し、データに応じ
て分類収納する装置で、ＩＣを供給するローダ部、ＩＣ
の予熱部、テストヘッドが設置されている測定部、ＩＣ
を分類収納するアンローダ部から成り、ＩＣの搬送には
通常ウォーキングビームが用いられる。ＩＣのうちメモ
リ型ＩＣは、測定すべきデータが少ないので大量処理す
ることが可能であり、最近では１６個や３２個単位で同
時測定し得るＩＣハンドラーが主流となってきている。
ところがウォーキングビームは設定ピッチ毎にＩＣを１
列で搬送する機構であるため、多数のＩＣを搬送するに
は向いておらず、複数のウォーキングビームを並設すれ
ば大きなスペースを要すると共に機構も複雑となる。
たは低温状態にしてそのデータを測定し、データに応じ
て分類収納する装置で、ＩＣを供給するローダ部、ＩＣ
の予熱部、テストヘッドが設置されている測定部、ＩＣ
を分類収納するアンローダ部から成り、ＩＣの搬送には
通常ウォーキングビームが用いられる。ＩＣのうちメモ
リ型ＩＣは、測定すべきデータが少ないので大量処理す
ることが可能であり、最近では１６個や３２個単位で同
時測定し得るＩＣハンドラーが主流となってきている。
ところがウォーキングビームは設定ピッチ毎にＩＣを１
列で搬送する機構であるため、多数のＩＣを搬送するに
は向いておらず、複数のウォーキングビームを並設すれ
ば大きなスペースを要すると共に機構も複雑となる。
【０００３】このため最近では、ボードやトレイ上に多
数のソケットを設置して各ソケットにＩＣを嵌め込み、
コンベアやレールを用いてＩＣをボード単位で搬送する
ハンドラーが現われている（特開平４−８０６７２
号）。
数のソケットを設置して各ソケットにＩＣを嵌め込み、
コンベアやレールを用いてＩＣをボード単位で搬送する
ハンドラーが現われている（特開平４−８０６７２
号）。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】しかし、前述のボート
ではＩＣの端子が傷つかないように正確にソケットに送
り込む必要があり、またソケット数が多くなる程ボード
製作の手間もコストもかかる。さらにＩＣハンドラーで
は、ＩＣの種別が変わるとボードやテストヘッドのみな
らず、ローダ部及びアンローダ部の各ハンドのピッチ、
ＩＣのアライメント機構、搬送部の部品をも変えなけれ
ばならず、交換部品の減少や交換時間の短縮が課題とな
っている。
ではＩＣの端子が傷つかないように正確にソケットに送
り込む必要があり、またソケット数が多くなる程ボード
製作の手間もコストもかかる。さらにＩＣハンドラーで
は、ＩＣの種別が変わるとボードやテストヘッドのみな
らず、ローダ部及びアンローダ部の各ハンドのピッチ、
ＩＣのアライメント機構、搬送部の部品をも変えなけれ
ばならず、交換部品の減少や交換時間の短縮が課題とな
っている。
【０００５】本考案は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、多数のＩＣを正確かつ同時に位
置決めでき、部品交換も容易で安価なＩＣハンドラーを
提供することにある。
のであり、その目的は、多数のＩＣを正確かつ同時に位
置決めでき、部品交換も容易で安価なＩＣハンドラーを
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案は、ローダ部から供給されたＩＣをテストヘ
ッドのソケットにコンタクトしてデータ測定し、アンロ
ーダ部でＩＣを収納するＩＣハンドラーにおいて、前記
各部毎に途切れているが整列するとつながる案内レール
と、枠体と該枠体に対して着脱可能なトレイから成り前
記レール上を移動するアライメントシャトルと、前記ト
レイに形成されて多数のＩＣを所定位置に受容する孔と
を設けている。
め、本考案は、ローダ部から供給されたＩＣをテストヘ
ッドのソケットにコンタクトしてデータ測定し、アンロ
ーダ部でＩＣを収納するＩＣハンドラーにおいて、前記
各部毎に途切れているが整列するとつながる案内レール
と、枠体と該枠体に対して着脱可能なトレイから成り前
記レール上を移動するアライメントシャトルと、前記ト
レイに形成されて多数のＩＣを所定位置に受容する孔と
を設けている。
【０００７】
【作用】この構成により、アライメントシャトルの各孔
にＩＣを落とすだけでＩＣは正確に位置決めされ、案内
レール上を搬送されて測定部に達するとテストヘッドの
ソケットに各々コンタクトしてデータ測定される。交換
部品となるシャトルのトレイは孔を形成するだけでよ
く、トレイ部分のみの交換でＩＣの種別変更に対応でき
るため複雑なアライメント機構も要しない。
にＩＣを落とすだけでＩＣは正確に位置決めされ、案内
レール上を搬送されて測定部に達するとテストヘッドの
ソケットに各々コンタクトしてデータ測定される。交換
部品となるシャトルのトレイは孔を形成するだけでよ
く、トレイ部分のみの交換でＩＣの種別変更に対応でき
るため複雑なアライメント機構も要しない。
【０００８】
【実施例】図１は本考案が適用されたＩＣハンドラーの
概略斜視図で、このハンドラーは、ローダ部１、予熱部
２、測定部３、熱さまし部４、良品収納部５及び分類収
納部６（アンローダ部）に区分されている。
概略斜視図で、このハンドラーは、ローダ部１、予熱部
２、測定部３、熱さまし部４、良品収納部５及び分類収
納部６（アンローダ部）に区分されている。
【０００９】ローダ部１から分類収納部６にわたって
は、一対の案内レール７が各部毎に途切れた状態で敷設
され、このレール７上に４個のアライメントシャトル８
が移動可能に取付けられている。また、両側の４個のレ
ール７は、所定の駆動機構によって矢印方向へ９０°回
転可能となっており、二つのレール７が縦方向に整列す
ることによってアライメントシャトル８が次のレール７
に移動できる。
は、一対の案内レール７が各部毎に途切れた状態で敷設
され、このレール７上に４個のアライメントシャトル８
が移動可能に取付けられている。また、両側の４個のレ
ール７は、所定の駆動機構によって矢印方向へ９０°回
転可能となっており、二つのレール７が縦方向に整列す
ることによってアライメントシャトル８が次のレール７
に移動できる。
【００１０】アライメントシャトル８は、長方形の枠体
８ａと下方のトレイ８ｂから成り、トレイ８ｂの部分が
ねじ等により着脱可能となっている。トレイ８ｂには、
図２に示すように８個ずつ４列、３２個のフレーム付き
メモリ型ＩＣ９を所定位置に受容する孔１０が形成さ
れ、図３から分かるようにＩＣ９のフレーム９ａを支持
する支持面１０ａと２個の小孔１０ｂが設けられてい
る。孔１０はＩＣ９の種別に適合した形状で、孔同士の
間隔はテストヘッド側のソケット（図２参照）と対応し
ており、各ＩＣに応じたトレイ８ｂを予め準備しておく
と便利である。
８ａと下方のトレイ８ｂから成り、トレイ８ｂの部分が
ねじ等により着脱可能となっている。トレイ８ｂには、
図２に示すように８個ずつ４列、３２個のフレーム付き
メモリ型ＩＣ９を所定位置に受容する孔１０が形成さ
れ、図３から分かるようにＩＣ９のフレーム９ａを支持
する支持面１０ａと２個の小孔１０ｂが設けられてい
る。孔１０はＩＣ９の種別に適合した形状で、孔同士の
間隔はテストヘッド側のソケット（図２参照）と対応し
ており、各ＩＣに応じたトレイ８ｂを予め準備しておく
と便利である。
【００１１】ローダ部１には、図示してないが従来と同
様にＩＣの供給トレイ、ローダハンド、整列ステージ、
供給ヘッド１１が配置され、ローダハンドがトレイ内の
ＩＣを２個ずつ一定間隔でステージに整列させ、供給ヘ
ッド１１がこのＩＣを８個ずつアライメントシャトル８
に送り込むようになっている。３２個のＩＣがシャトル
内に供給されると、ローダ部１のレール７はアライメン
トシャトル８と一体に時計方向へ９０°回転し、これと
同時に予熱部２のレール７も反時計方向に９０°回転す
る。このとき予熱部２のシャトル８は既に測定部３へ移
動しているからこの部分にシャトルはない。従って、ロ
ーダ部１と予熱部２の各レール７は縦に一直線につなが
り、これでローダ部１のアライメントシャトル８が予熱
部２へ移動し、各レール７は前述と反対方向に９０°回
転して図１の状態に戻る。予熱部２には、移動してきた
アライメントシャトル８内のＩＣを予熱するヒータ（図
示せず）が設置されている。
様にＩＣの供給トレイ、ローダハンド、整列ステージ、
供給ヘッド１１が配置され、ローダハンドがトレイ内の
ＩＣを２個ずつ一定間隔でステージに整列させ、供給ヘ
ッド１１がこのＩＣを８個ずつアライメントシャトル８
に送り込むようになっている。３２個のＩＣがシャトル
内に供給されると、ローダ部１のレール７はアライメン
トシャトル８と一体に時計方向へ９０°回転し、これと
同時に予熱部２のレール７も反時計方向に９０°回転す
る。このとき予熱部２のシャトル８は既に測定部３へ移
動しているからこの部分にシャトルはない。従って、ロ
ーダ部１と予熱部２の各レール７は縦に一直線につなが
り、これでローダ部１のアライメントシャトル８が予熱
部２へ移動し、各レール７は前述と反対方向に９０°回
転して図１の状態に戻る。予熱部２には、移動してきた
アライメントシャトル８内のＩＣを予熱するヒータ（図
示せず）が設置されている。
【００１２】測定部３には、上方にヒータ付きコンタク
トプッシャ（図示せず）、下方にテストヘッド１２（図
２）が配置され、テストヘッド１２上に８個４列、３２
個のソケット１３が設けられている。ソケット１３の両
側には、図３から分かるようにガイドピン１４が立設さ
れ、測定時にコンタクトプッシャがＩＣを加熱押圧する
と、ＩＣの小孔９ｂ及びトレイの孔１０ｂが嵌合してＩ
Ｃ９とソケット１３の端子９ｃ，１３ｃが正確にコンタ
クトされるようになっている。
トプッシャ（図示せず）、下方にテストヘッド１２（図
２）が配置され、テストヘッド１２上に８個４列、３２
個のソケット１３が設けられている。ソケット１３の両
側には、図３から分かるようにガイドピン１４が立設さ
れ、測定時にコンタクトプッシャがＩＣを加熱押圧する
と、ＩＣの小孔９ｂ及びトレイの孔１０ｂが嵌合してＩ
Ｃ９とソケット１３の端子９ｃ，１３ｃが正確にコンタ
クトされるようになっている。
【００１３】熱さまし部４は、測定を終えたシャトル８
内のＩＣを放熱させる部分で、短時間停止した後レール
７が時計方向へ９０°回転し、前述と同様にシャトル８
を良品収納部５のレール７へ送る。
内のＩＣを放熱させる部分で、短時間停止した後レール
７が時計方向へ９０°回転し、前述と同様にシャトル８
を良品収納部５のレール７へ送る。
【００１４】良品収納部５には、従来と同様の収納ヘッ
ド１５、ステージ、アンローダハンド及び収納トレイ
（図示せず）が配置されている。収納ヘッド１５はＩＣ
を８個単位で吸着できるが、テストヘッド１２からのデ
ータに基づいて良品のみをステージに移送し、従って不
良品やデータの異なるＩＣは吸着されずにシャトル内に
残る。アンローダハンドは、ステージ上の良品ＩＣを２
個ずつ収納トレイに収納する。分類収納部６には、ハン
ド１６、ステージ、分類ヘッド及び多段式ストッカ（図
示せず）が配置され、ハンド１６はシャトル内に残った
前述のＩＣを２個ずつステージに移送し、分類ヘッドは
各ＩＣをデータ別にストッカに収納する。
ド１５、ステージ、アンローダハンド及び収納トレイ
（図示せず）が配置されている。収納ヘッド１５はＩＣ
を８個単位で吸着できるが、テストヘッド１２からのデ
ータに基づいて良品のみをステージに移送し、従って不
良品やデータの異なるＩＣは吸着されずにシャトル内に
残る。アンローダハンドは、ステージ上の良品ＩＣを２
個ずつ収納トレイに収納する。分類収納部６には、ハン
ド１６、ステージ、分類ヘッド及び多段式ストッカ（図
示せず）が配置され、ハンド１６はシャトル内に残った
前述のＩＣを２個ずつステージに移送し、分類ヘッドは
各ＩＣをデータ別にストッカに収納する。
【００１５】測定するＩＣの種別が変わる場合は、アラ
イメントシャトル８のトレイ８ｂ部分のみを交換するだ
けでよく、枠休８ａ及び案内レール７はそのまま使用で
きる。
イメントシャトル８のトレイ８ｂ部分のみを交換するだ
けでよく、枠休８ａ及び案内レール７はそのまま使用で
きる。
【００１６】
【考案の効果】以上詳述したように本考案のＩＣハンド
ラーによれば、アライメントシャトルを用いるだけで多
数のＩＣを正確に位置決めすることができ、ＩＣの種別
が変わってもトレイ部分のみの交換で済む効果がある。
また、トレイにはＩＣに適合した孔を形成するだけでよ
いから、従来のソケットボードよりも簡単で安価に製作
できる。
ラーによれば、アライメントシャトルを用いるだけで多
数のＩＣを正確に位置決めすることができ、ＩＣの種別
が変わってもトレイ部分のみの交換で済む効果がある。
また、トレイにはＩＣに適合した孔を形成するだけでよ
いから、従来のソケットボードよりも簡単で安価に製作
できる。
【図１】ＩＣハンドラーの概略斜視図である。
【図２】トレイとテストヘッドの斜視図である。
【図３】ＩＣ、トレイ及びソケットの斜視図である。
７ 案内レール ８ アライメントシャトル ８ｂ トレイ ９ ＩＣ １０ トレイの孔 １２ テストヘッド １３ ソケット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 31/26 - 31/27 G01R 31/28 - 31/3193
Claims (1)
- 【請求項１】ローダ部（１）から供給されたＩＣ（９）
をテストヘッド（１２）のソケット（１３）にコンタク
トしてデータ測定し、アンローダ部（５，６）でＩＣを
収納するＩＣハンドラーにおいて、前記各部（１〜６）毎に途切れているが整列するとつな
がる案内レール（７）と、枠体（８ａ）と該枠体に対し
て着脱可能なトレイ（８ｂ）から成り前記レール（７）
上を移動するアライメントシャトル（８）と、前記トレ
イに形成されて多数のＩＣを所定位置に受容する孔（１
０）とを有する ＩＣハンドラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992060165U JP2596089Y2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | Ｉｃハンドラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992060165U JP2596089Y2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | Ｉｃハンドラー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0610878U JPH0610878U (ja) | 1994-02-10 |
| JP2596089Y2 true JP2596089Y2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=13134278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992060165U Expired - Lifetime JP2596089Y2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | Ｉｃハンドラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2596089Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-07-13 JP JP1992060165U patent/JP2596089Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0610878U (ja) | 1994-02-10 |
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