JP2590687B2 - 清浄室給排気処理システム - Google Patents
清浄室給排気処理システムInfo
- Publication number
- JP2590687B2 JP2590687B2 JP5163359A JP16335993A JP2590687B2 JP 2590687 B2 JP2590687 B2 JP 2590687B2 JP 5163359 A JP5163359 A JP 5163359A JP 16335993 A JP16335993 A JP 16335993A JP 2590687 B2 JP2590687 B2 JP 2590687B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- exhaust treatment
- activated carbon
- exhaust
- air
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Air Filters, Heat-Exchange Apparatuses, And Housings Of Air-Conditioning Units (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工場等の清
浄空間用循環空気調和方式における清浄室給排気処理シ
ステムに関する。
浄空間用循環空気調和方式における清浄室給排気処理シ
ステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の清浄室給排気処理システムは、空
気調和機及びエアーフィルタを通した空気流により清浄
空間を作り、その内部に清浄度を必要とする生産設備を
置くものとなっている。生産設備のうち有機系設備より
排出される有機成分を含む排気ガスは、活性炭有機排気
処理装置により吸着処理されており、この際活性炭の吸
着能力が排気処理能力に大きく影響を与えるものとなっ
ている。また、活性炭の吸着能力は、処理するガス中に
含まれる水分量が少ないほど吸着能力が高くなる性質を
持っており、そのため有機系設備より排出される排気ガ
スのほとんどを占める有機系設備周辺の空気中の水分が
活性炭の吸着能力を低下させている。
気調和機及びエアーフィルタを通した空気流により清浄
空間を作り、その内部に清浄度を必要とする生産設備を
置くものとなっている。生産設備のうち有機系設備より
排出される有機成分を含む排気ガスは、活性炭有機排気
処理装置により吸着処理されており、この際活性炭の吸
着能力が排気処理能力に大きく影響を与えるものとなっ
ている。また、活性炭の吸着能力は、処理するガス中に
含まれる水分量が少ないほど吸着能力が高くなる性質を
持っており、そのため有機系設備より排出される排気ガ
スのほとんどを占める有機系設備周辺の空気中の水分が
活性炭の吸着能力を低下させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の清浄室給排
気処理システムでは、清浄空間内に置かれた有機系生産
設備がその周辺の空気を吸い込み、排気ガスとして排気
ダクトを通して、活性炭有機排気処理装置に排気するも
のとなっており、その際この排気ガス中に含まれる水分
が活性炭有機排気処理装置の活性炭吸着能を低下させ
る。また、排気ガス中の水分が排気ダクト中あるいは活
性炭有機排気処理装置で有機成分と共に凝縮し、排気ダ
クトの閉塞や排気ダクトや活性炭有機排気処理装置の構
成材である金属を腐食するといった問題点があった。
気処理システムでは、清浄空間内に置かれた有機系生産
設備がその周辺の空気を吸い込み、排気ガスとして排気
ダクトを通して、活性炭有機排気処理装置に排気するも
のとなっており、その際この排気ガス中に含まれる水分
が活性炭有機排気処理装置の活性炭吸着能を低下させ
る。また、排気ガス中の水分が排気ダクト中あるいは活
性炭有機排気処理装置で有機成分と共に凝縮し、排気ダ
クトの閉塞や排気ダクトや活性炭有機排気処理装置の構
成材である金属を腐食するといった問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の清浄室給排気処
理システムは、清浄室におかれた有機成分を有する排気
ガスを排出する有機系設備と、その排気ガスを活性炭有
機排気処理装置により処理する清浄室給排気処理システ
ムにおいて、有機系設備を囲む独立チャンバーと独立チ
ャンバーへ清浄空気を供給する送気系の途中に設けた除
湿機構とを備え、独立チャンバー内部に供給する清浄空
気を独立チャンバー上流に設けた除湿機構により水分を
除去し、活性炭有機排気処理装置へ排気ダクトを経て排
気される排気ガス中の水分量を低く抑え活性炭有機排気
処理装置の活性炭吸着能を高めていることを特徴とする
ものである。また、有機系設備を囲む独立チャンバーと
独立チャンバーへ清浄空気を供給する送気系の途中に設
けた除湿機構との間にエアーフィルタを備えているもの
である。
理システムは、清浄室におかれた有機成分を有する排気
ガスを排出する有機系設備と、その排気ガスを活性炭有
機排気処理装置により処理する清浄室給排気処理システ
ムにおいて、有機系設備を囲む独立チャンバーと独立チ
ャンバーへ清浄空気を供給する送気系の途中に設けた除
湿機構とを備え、独立チャンバー内部に供給する清浄空
気を独立チャンバー上流に設けた除湿機構により水分を
除去し、活性炭有機排気処理装置へ排気ダクトを経て排
気される排気ガス中の水分量を低く抑え活性炭有機排気
処理装置の活性炭吸着能を高めていることを特徴とする
ものである。また、有機系設備を囲む独立チャンバーと
独立チャンバーへ清浄空気を供給する送気系の途中に設
けた除湿機構との間にエアーフィルタを備えているもの
である。
【０００５】
【作用】本発明におけるような有機系生産設備より排出
される有機系排気ガスを処理する活性炭有機排気処理装
置においては、有機系排気ガス中に含まれる水分が活性
炭の吸着を阻害する要因となっているものである。また
有機系生産設備から活性炭有機排気処理装置へ排気ガス
を送気する排気ダクト中で有機系排気ガス中に含まれる
水分が有機成分と共に凝縮し、排気ダクトの閉塞や排気
ダクトや活性炭有機排気処理装置の構成材である金属の
腐食の要因となっていた。一方、有機系排気ガス中に含
まれる水分の多くは、有機系生産設備周辺の空気中に存
在している。有機系生産設備をチャンバーの内部に入
れ、かつ空気調和システムより、チャンバー内部に供給
される水分をチャンバー上部に設けた空気乾燥機により
除去減少させ、有機系排気ガス中の水分を減少させるこ
とによって活性炭有機排気処理装置の処理能力を向上さ
せ、かつ有機系生産設備から活性炭有機排気処理装置へ
排気ガスを送気する排気ダクト中で有機系排気ガス中に
含まれる水分が有機成分と共に凝縮し、排気ダクトの閉
塞や排気ダクトや活性炭有機排気処理装置の構成材であ
る金属の腐食を防止するという作用をするものである。
される有機系排気ガスを処理する活性炭有機排気処理装
置においては、有機系排気ガス中に含まれる水分が活性
炭の吸着を阻害する要因となっているものである。また
有機系生産設備から活性炭有機排気処理装置へ排気ガス
を送気する排気ダクト中で有機系排気ガス中に含まれる
水分が有機成分と共に凝縮し、排気ダクトの閉塞や排気
ダクトや活性炭有機排気処理装置の構成材である金属の
腐食の要因となっていた。一方、有機系排気ガス中に含
まれる水分の多くは、有機系生産設備周辺の空気中に存
在している。有機系生産設備をチャンバーの内部に入
れ、かつ空気調和システムより、チャンバー内部に供給
される水分をチャンバー上部に設けた空気乾燥機により
除去減少させ、有機系排気ガス中の水分を減少させるこ
とによって活性炭有機排気処理装置の処理能力を向上さ
せ、かつ有機系生産設備から活性炭有機排気処理装置へ
排気ガスを送気する排気ダクト中で有機系排気ガス中に
含まれる水分が有機成分と共に凝縮し、排気ダクトの閉
塞や排気ダクトや活性炭有機排気処理装置の構成材であ
る金属の腐食を防止するという作用をするものである。
【０００６】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。図１は本発明の清浄室給排気処理システムの
一実施例を示す図である。外気調和機１の後段に循環空
気調和機２を設け、エアーフィルタユニット３ａ，３
ｂ，３ｃと天井エアーフィルタ４及び除湿機構６へと送
気の目的で接続する。独立チャンバー５の上部に除湿機
構６を設け、エアーフィルタ７を通して、独立チャンバ
ー５及び除湿機構６を送気の目的で接続する。独立チャ
ンバー５内部に置かれた有機系設備１０は排気ダクト８
により、活性炭有機排気処理装置９に排気接続する。
説明する。図１は本発明の清浄室給排気処理システムの
一実施例を示す図である。外気調和機１の後段に循環空
気調和機２を設け、エアーフィルタユニット３ａ，３
ｂ，３ｃと天井エアーフィルタ４及び除湿機構６へと送
気の目的で接続する。独立チャンバー５の上部に除湿機
構６を設け、エアーフィルタ７を通して、独立チャンバ
ー５及び除湿機構６を送気の目的で接続する。独立チャ
ンバー５内部に置かれた有機系設備１０は排気ダクト８
により、活性炭有機排気処理装置９に排気接続する。
【０００７】次に、動作を説明する。外気調和機１によ
り処理された空気は循環空気調和機２へ補給される。循
環空気調和機２より送られた空気は、エアーフィルタユ
ニット３ａ，３ｂ，３ｃ及び天井エアーフィルタ４を通
過し、清浄空気として供給される、又、独立チャンバー
５の上部に設けられた除湿機構６により水分を除去され
た空気はエアーフィルタ７を経て独立チャンバー５内部
へ供給される。有機系設備１０よりの排気ガスは排気ダ
クト８を経て、活性炭有機排気処理装置９により処理さ
れ、大気放出される。
り処理された空気は循環空気調和機２へ補給される。循
環空気調和機２より送られた空気は、エアーフィルタユ
ニット３ａ，３ｂ，３ｃ及び天井エアーフィルタ４を通
過し、清浄空気として供給される、又、独立チャンバー
５の上部に設けられた除湿機構６により水分を除去され
た空気はエアーフィルタ７を経て独立チャンバー５内部
へ供給される。有機系設備１０よりの排気ガスは排気ダ
クト８を経て、活性炭有機排気処理装置９により処理さ
れ、大気放出される。
【０００８】このとき、活性炭有機処理装置９で処理さ
れる排気ガスは、除湿機構６により水分を除去された清
浄空気がほとんどなので、有機系設備１０を通った後
も、その排気ガス中に水分は少ないので活性炭有機排気
処理装置９の活性炭吸着能を低下させることがない。ま
た排気ガス中の水分量の低下に見合った分の活性炭有機
排気処理装置９の処理能力が向上することになる。この
実施例により、活性炭有機排気処理装置９へ導入される
排気ガス中の水分を相対湿度６０％から４０％に低下さ
せることで、特に処理対象物質が塩化メチレンの場合１
０〜２０％の処理能力を向上させる効果がある。
れる排気ガスは、除湿機構６により水分を除去された清
浄空気がほとんどなので、有機系設備１０を通った後
も、その排気ガス中に水分は少ないので活性炭有機排気
処理装置９の活性炭吸着能を低下させることがない。ま
た排気ガス中の水分量の低下に見合った分の活性炭有機
排気処理装置９の処理能力が向上することになる。この
実施例により、活性炭有機排気処理装置９へ導入される
排気ガス中の水分を相対湿度６０％から４０％に低下さ
せることで、特に処理対象物質が塩化メチレンの場合１
０〜２０％の処理能力を向上させる効果がある。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の清浄室給
排気処理システムによれば、清浄空間内に置かれた有機
系生産設備に囲む独立チャンバーを設け、独立チャンバ
ー内部に導入される清浄空気中の水分を除湿機構により
除去し、有機系生産設備より排気される排気ガス中の水
分を低下させることで、活性炭有機排気処理装置の処理
能力を高めるという効果を有する。また、処理能力が向
上するので活性炭有機排気処理装置を小型化することも
できるという効果を奏するものである。
排気処理システムによれば、清浄空間内に置かれた有機
系生産設備に囲む独立チャンバーを設け、独立チャンバ
ー内部に導入される清浄空気中の水分を除湿機構により
除去し、有機系生産設備より排気される排気ガス中の水
分を低下させることで、活性炭有機排気処理装置の処理
能力を高めるという効果を有する。また、処理能力が向
上するので活性炭有機排気処理装置を小型化することも
できるという効果を奏するものである。
【図１】本発明の清浄室給排気システムの実施例を示す
図。
図。
１ 外気調和機 ２ 循環空気調和機 ３ａ，３ｂ，３ｃ エアーフィルタ ４ 天井エアーフィルタ ５ 独立チャンバー ６ 除湿機構 ７ エアーフィルタ ８ 排気ダクト ９ 活性炭有機排気処理装置 １０ 有機系設備
Claims (2)
- 【請求項１】 清浄室におかれた有機成分を有する排気
ガスを排出する有機系設備と、その排気ガスを活性炭有
機排気処理装置により処理する清浄室給排気処理システ
ムにおいて、有機系設備を囲む独立チャンバーと独立チ
ャンバーへ清浄空気を供給する送気系の途中に設けた除
湿機構とを備え、独立チャンバー内部に供給する清浄空
気を独立チャンバー上流に設けた除湿機構により水分を
除去し、活性炭有機排気処理装置へ排気ダクトを経て排
気される排気ガス中の水分量を低く抑え活性炭有機排気
処理装置の活性炭吸着能を高めていることを特徴とする
清浄室給排気処理システム。 - 【請求項２】 有機系設備を囲む独立チャンバーと独立
チャンバーへ清浄空気を供給する送気系の途中に設けた
除湿機構との間にエアーフィルタを備えていることを特
徴とする請求項１に記載の清浄室給排気処理システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163359A JP2590687B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 清浄室給排気処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163359A JP2590687B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 清浄室給排気処理システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06343823A JPH06343823A (ja) | 1994-12-20 |
| JP2590687B2 true JP2590687B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=15772387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5163359A Expired - Lifetime JP2590687B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 清浄室給排気処理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2590687B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0622654B2 (ja) * | 1985-12-06 | 1994-03-30 | 東洋紡績株式会社 | ハロゲン化炭化水素系ガスの吸着除去方法 |
| JPS6390427U (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-11 | ||
| JPH04104813A (ja) * | 1990-08-23 | 1992-04-07 | Osaka Gas Co Ltd | ガス吸着処理用吸着体 |
-
1993
- 1993-06-08 JP JP5163359A patent/JP2590687B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06343823A (ja) | 1994-12-20 |
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