JP2585522B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- 101100115215 Caenorhabditis elegans cul-2 gene Proteins 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
- H01L27/14868—CCD or CID colour imagers
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、固体撮像装置特に2次元的に蓄積された情
報電荷を、水平期間ごとに2行ずつ同時に読み出す電荷
転送形固体撮像装置の構造およびその駆動方法と回路に
関する。
報電荷を、水平期間ごとに2行ずつ同時に読み出す電荷
転送形固体撮像装置の構造およびその駆動方法と回路に
関する。
第2図はすでに提案されている特願昭49−117464号に
詳述されている2行同時読み出し可能な電荷転送形固体
撮像装置の回路構成を示したものである。
詳述されている2行同時読み出し可能な電荷転送形固体
撮像装置の回路構成を示したものである。
2は入射光を信号電荷に変換する光電変換素子群であ
る。11,12…1Nは各々光電変換素子部に蓄積した電荷を
垂直の矢印の方向に転送するための電荷結合素子(CC
D)であり、端子V1,V2に加える転送パルスφv1,φv2は
テレビジヨン信号の水平同期信号に同期したものであ
る。
る。11,12…1Nは各々光電変換素子部に蓄積した電荷を
垂直の矢印の方向に転送するための電荷結合素子(CC
D)であり、端子V1,V2に加える転送パルスφv1,φv2は
テレビジヨン信号の水平同期信号に同期したものであ
る。
光電変換部2に蓄積された信号電荷は、垂直帰線期間
の間に、端子V0に加えるスイツチパルスφv0によつて、
隣接する垂直方向のCCDに移される。
の間に、端子V0に加えるスイツチパルスφv0によつて、
隣接する垂直方向のCCDに移される。
移された信号電荷は、テレビジヨン信号の水平同期信
号に納期したパルスφv1,φv2を、V1,V2に加えることに
よつて水平期間に2行分ずつ順次上方向(水平方向のCC
Dがある方向)に転送される。
号に納期したパルスφv1,φv2を、V1,V2に加えることに
よつて水平期間に2行分ずつ順次上方向(水平方向のCC
Dがある方向)に転送される。
3と3′は水平方向に電荷を転送するCCDである。垂
直方向のCCDからテレビジヨン信号の水平同期信号に同
期して転送されてきた2行分の信号電荷例えば1行目と
2行目の信号電荷Q1,jとQ2,j(jはQ1,jが転送され
る垂直方向のCCDの番号を表わし、11,12,…1Nを取る)
の内、Q1,jはCCD3にQ2,jはCCD3′に各々独立に転送蓄
積される。第3図はこの間の各駆動パルスのタイミング
チヤートを示したもので、垂直方向のCCDから水平方向
のCCDに信号電荷を移すには、φv1,φv2に同期したパル
ス6,7を端子T1,T2に加えることによつて行う。なお第3
図のタイミングは第1図CCD部に四角で示した各電極が
第4図に示す構造を持つ場合について示してある。
直方向のCCDからテレビジヨン信号の水平同期信号に同
期して転送されてきた2行分の信号電荷例えば1行目と
2行目の信号電荷Q1,jとQ2,j(jはQ1,jが転送され
る垂直方向のCCDの番号を表わし、11,12,…1Nを取る)
の内、Q1,jはCCD3にQ2,jはCCD3′に各々独立に転送蓄
積される。第3図はこの間の各駆動パルスのタイミング
チヤートを示したもので、垂直方向のCCDから水平方向
のCCDに信号電荷を移すには、φv1,φv2に同期したパル
ス6,7を端子T1,T2に加えることによつて行う。なお第3
図のタイミングは第1図CCD部に四角で示した各電極が
第4図に示す構造を持つ場合について示してある。
水平方向のCCD3,3′に移した信号電荷は、これに続く
水平映像期間に端子H1,H2にパルス列φH1,φH2を加えて
信号電荷Q1,j,Q2,jを各々出力端子4,4′からビデオ信
号として出力する。
水平映像期間に端子H1,H2にパルス列φH1,φH2を加えて
信号電荷Q1,j,Q2,jを各々出力端子4,4′からビデオ信
号として出力する。
次のフイールドでは、水平期間ごとに同時に読み出す
2行の組み合わせを変えて(例えばQ2,jとQ3,j,Q4,j
とQ5,j…)出力することにより、インターレース操作
を行う。
2行の組み合わせを変えて(例えばQ2,jとQ3,j,Q4,j
とQ5,j…)出力することにより、インターレース操作
を行う。
第2図の素子を用いて単板カラー撮像装置を作るに
は、その光電変換部2の上層に、例えば第5図に示すよ
うなモザイク状の色フイルタ(図中Cy,Ye,Gは各々シア
ン,黄色,緑色の光を、またWは全可視光を透過する色
フイルタであることを示す。以下ではこれらの透過光で
得られる信号電荷も同じ記号で示す)を配置して構成す
る。その結果第1フイールドでは出力端子4から出力信
号 S1=…+W+Cy+W+Cy+… が、出力端子4′から出力信号 S2=…+G+Ye+G+Ye+… が出力される。しかし第2フイールドではインターレー
ス操作のために同時に読み出す2行の組み合わせが変わ
るため、第1フイールドとは逆にS1は出力端子4′か
ら、S2は出力端子4から出力される。
は、その光電変換部2の上層に、例えば第5図に示すよ
うなモザイク状の色フイルタ(図中Cy,Ye,Gは各々シア
ン,黄色,緑色の光を、またWは全可視光を透過する色
フイルタであることを示す。以下ではこれらの透過光で
得られる信号電荷も同じ記号で示す)を配置して構成す
る。その結果第1フイールドでは出力端子4から出力信
号 S1=…+W+Cy+W+Cy+… が、出力端子4′から出力信号 S2=…+G+Ye+G+Ye+… が出力される。しかし第2フイールドではインターレー
ス操作のために同時に読み出す2行の組み合わせが変わ
るため、第1フイールドとは逆にS1は出力端子4′か
ら、S2は出力端子4から出力される。
第6図はこの出力信号S1,S2をNTSCに変換する信号処
理回路のブロツク図を示したもので、1は撮像素子、9
は駆動回路、10は出力信号S1,S2をNTSC信号に変換する
信号処理回路である。
理回路のブロツク図を示したもので、1は撮像素子、9
は駆動回路、10は出力信号S1,S2をNTSC信号に変換する
信号処理回路である。
ところで第2図の素子を用いた単板カラー素子では上
記したように出力信号S1,S2はフイールドごとに異なる
出力端子から出力されるため、信号処理回路の入力端子
に常に同じ信号(例えば入力端子51にはS1)が入力され
るように素子からの2つの信号を入れ換えるスイツチ回
路8が必要になり、回路が複雑になる。また同じ出力信
号S1でも、フイールドごとに通過する経路が異なるため
その大きさが変化し、フリツカーが発生するなどの欠点
があつた。
記したように出力信号S1,S2はフイールドごとに異なる
出力端子から出力されるため、信号処理回路の入力端子
に常に同じ信号(例えば入力端子51にはS1)が入力され
るように素子からの2つの信号を入れ換えるスイツチ回
路8が必要になり、回路が複雑になる。また同じ出力信
号S1でも、フイールドごとに通過する経路が異なるため
その大きさが変化し、フリツカーが発生するなどの欠点
があつた。
本発明の目的は、2本以上の水平方向のCCDを有し、
これを用いて2行同時に読み出す電荷転送形固体撮像素
子を用いた単板カラー撮像装置において、インターレー
ス操作を行つても2つ以上の出力信号を入れ換える外部
スイツチ回路が不要で、またフリツカーも生じない固体
撮像素子の構成とその駆動回路を提供することにある。
これを用いて2行同時に読み出す電荷転送形固体撮像素
子を用いた単板カラー撮像装置において、インターレー
ス操作を行つても2つ以上の出力信号を入れ換える外部
スイツチ回路が不要で、またフリツカーも生じない固体
撮像素子の構成とその駆動回路を提供することにある。
上記の目的を達成するため本発明においては、第2図
の素子の構造の内水平方向のCCDの構造を変える、ある
いは垂直方向のCCDと水平方向のCCDの間に新たに蓄積部
を設ける。この蓄積部あるいは水平方向のCCDを利用し
て、垂直方向のCCDで転送されてくる2行の信号電荷の
順序を、フイールドごとに素子内に入れ換えて水平方向
のCCD内に移す。そして同じ種類の信号電荷(例えばW
とCy)は、常に同じ水平方向のCCDを通して外部に読み
出すようにしたことに特徴がある。
の素子の構造の内水平方向のCCDの構造を変える、ある
いは垂直方向のCCDと水平方向のCCDの間に新たに蓄積部
を設ける。この蓄積部あるいは水平方向のCCDを利用し
て、垂直方向のCCDで転送されてくる2行の信号電荷の
順序を、フイールドごとに素子内に入れ換えて水平方向
のCCD内に移す。そして同じ種類の信号電荷(例えばW
とCy)は、常に同じ水平方向のCCDを通して外部に読み
出すようにしたことに特徴がある。
すなわち、より具体的には本発明は、次のような手段
からなるものである。
からなるものである。
手段1. 2次元的に配列された複数個の光電変換素子と、それ
ぞれの光電変換素子に蓄積された信号電荷を垂直方向に
転送する複数の垂直電荷結合素子と、この垂直電荷結合
素子から受けた信号電荷を1水平期間で水平方向に読み
出す水平電荷結合素子とからなり、前記水平電荷結合素
子は、垂直電荷結合素子側に配置される第1水平電荷結
合素子と、この第1水平電荷結合素子に隣接されて並設
される第2水平電荷結合素子とから構成されているとと
もに、各垂直電荷結合素子から1水平期間に同時に2ラ
イン分の信号電荷を読みだせるようになっている固体撮
像装置において、垂直電荷結合素子と第1水平電荷結合
素子との間に設けられた電荷蓄積手段と、インターレー
ス操作における偶数あるいは奇数フィールドのうちの一
方のフィールドにおける信号電荷の順次読みだし時に動
作する電荷転送駆動手段とを備え、この電荷転送駆動手
段は、上記一方のフィールドにおいて、水平帰線期間に
垂直電荷結合素子から初めに転送されて来る偶数ライン
の信号電荷を前記電荷蓄積手段に蓄積させる手段と、垂
直電荷結合素子から続いて転送されて来る奇数ラインの
信号電荷を第2水平電荷結合素子に転送させた後に前記
電荷蓄積手段に蓄積させた偶数ラインの信号電荷を第1
水平電荷結合素子に転送させる手段と、他方のフィール
ドにおいて、水平帰線期間の垂直電荷結合素子から初め
に転送されて来る奇数ラインの信号電荷をそのまま第2
水平電荷結合素子に転送させる手段と、垂直電荷結合素
子から続いて転送されて来る偶数ラインの信号電荷をそ
のまま第1水平電荷結合素子に転送させる手段とからな
ることを特徴とするものである。
ぞれの光電変換素子に蓄積された信号電荷を垂直方向に
転送する複数の垂直電荷結合素子と、この垂直電荷結合
素子から受けた信号電荷を1水平期間で水平方向に読み
出す水平電荷結合素子とからなり、前記水平電荷結合素
子は、垂直電荷結合素子側に配置される第1水平電荷結
合素子と、この第1水平電荷結合素子に隣接されて並設
される第2水平電荷結合素子とから構成されているとと
もに、各垂直電荷結合素子から1水平期間に同時に2ラ
イン分の信号電荷を読みだせるようになっている固体撮
像装置において、垂直電荷結合素子と第1水平電荷結合
素子との間に設けられた電荷蓄積手段と、インターレー
ス操作における偶数あるいは奇数フィールドのうちの一
方のフィールドにおける信号電荷の順次読みだし時に動
作する電荷転送駆動手段とを備え、この電荷転送駆動手
段は、上記一方のフィールドにおいて、水平帰線期間に
垂直電荷結合素子から初めに転送されて来る偶数ライン
の信号電荷を前記電荷蓄積手段に蓄積させる手段と、垂
直電荷結合素子から続いて転送されて来る奇数ラインの
信号電荷を第2水平電荷結合素子に転送させた後に前記
電荷蓄積手段に蓄積させた偶数ラインの信号電荷を第1
水平電荷結合素子に転送させる手段と、他方のフィール
ドにおいて、水平帰線期間の垂直電荷結合素子から初め
に転送されて来る奇数ラインの信号電荷をそのまま第2
水平電荷結合素子に転送させる手段と、垂直電荷結合素
子から続いて転送されて来る偶数ラインの信号電荷をそ
のまま第1水平電荷結合素子に転送させる手段とからな
ることを特徴とするものである。
手段2. 2次元的に配列された複数個の光電変換素子と、それ
ぞれの光電変換素子に蓄積された信号電荷を垂直方向に
転送する複数の垂直電荷結合素子と、この垂直電荷結合
素子から受けた信号電荷を1水平期間で水平方向に読み
出す水平電荷結合素子とからなり、前記水平電荷結合素
子は、垂直電荷結合素子側に配置される第1水平電荷結
合素子と、この第1水平電荷結合素子に隣接されて並設
される第2水平電荷結合素子とから構成されているとと
もに、各垂直電荷結合素子から1水平期間に同時に2ラ
イン分の信号電荷を読みだせるようになっている固体撮
像装置において、インターレース操作における偶数ある
いは奇数フィールドのうちの一方のフィールドにおける
信号電荷の順次読みだし時に動作する電荷転送駆動手段
とを備え、この電荷転送駆動手段は、上記一方のフィー
ルドにおいて、水平帰線期間に垂直電荷結合素子から初
めに転送されて来る偶数ラインの信号電荷を第1水平電
荷結合素子におけるその読み出し方向と逆の方向に転送
させる手段と、垂直電荷結合素子から続いて転送されて
来る奇数ラインの信号電荷を第2水平電荷結合素子に転
送させる手段と、他方のフィールドにおいて、水平帰線
期間の垂直電荷結合素子から初めに転送されて来る奇数
ラインの信号電荷をそのまま第2水平電荷結合素子に転
送させる手段と、垂直電荷結合素子から続いて転送され
て来る偶数ラインの信号電荷をそのまま第1水平電荷結
合素子に転送させる手段とからなることを特徴とするも
のである。
ぞれの光電変換素子に蓄積された信号電荷を垂直方向に
転送する複数の垂直電荷結合素子と、この垂直電荷結合
素子から受けた信号電荷を1水平期間で水平方向に読み
出す水平電荷結合素子とからなり、前記水平電荷結合素
子は、垂直電荷結合素子側に配置される第1水平電荷結
合素子と、この第1水平電荷結合素子に隣接されて並設
される第2水平電荷結合素子とから構成されているとと
もに、各垂直電荷結合素子から1水平期間に同時に2ラ
イン分の信号電荷を読みだせるようになっている固体撮
像装置において、インターレース操作における偶数ある
いは奇数フィールドのうちの一方のフィールドにおける
信号電荷の順次読みだし時に動作する電荷転送駆動手段
とを備え、この電荷転送駆動手段は、上記一方のフィー
ルドにおいて、水平帰線期間に垂直電荷結合素子から初
めに転送されて来る偶数ラインの信号電荷を第1水平電
荷結合素子におけるその読み出し方向と逆の方向に転送
させる手段と、垂直電荷結合素子から続いて転送されて
来る奇数ラインの信号電荷を第2水平電荷結合素子に転
送させる手段と、他方のフィールドにおいて、水平帰線
期間の垂直電荷結合素子から初めに転送されて来る奇数
ラインの信号電荷をそのまま第2水平電荷結合素子に転
送させる手段と、垂直電荷結合素子から続いて転送され
て来る偶数ラインの信号電荷をそのまま第1水平電荷結
合素子に転送させる手段とからなることを特徴とするも
のである。
手段3. 2次元的に配列された複数個の光電変換素子と、それ
ぞれの光電変換素子に蓄積された信号電荷を垂直方向に
転送する複数の垂直電荷結合素子と、この垂直電荷結合
素子から受けた信号電荷を1水平期間で水平方向に読み
出す水平電荷結合素子とからなり、前記水平電荷結合素
子は、垂直電荷結合素子側に配置される第1水平電荷結
合素子と、この第1水平電荷結合素子に隣接されて並設
される第2水平電荷結合素子とから構成されているとと
もに、各垂直電荷結合素子から1水平期間に同時に2ラ
イン分の信号電荷を読みだせるようになっている固体撮
像装置において、インターレース操作における偶数ある
いは奇数フィールドのうちの一方のフィールドにおける
信号電荷の順次読みだし時に動作する電荷転送駆動手段
とを備え、この電荷転送駆動手段は、上記一方のフィー
ルドにおいて、水平帰線期間に垂直電荷結合素子から初
めに転送されて来る偶数ラインの信号電荷を第1水平電
荷結合素子におけるその読み出し方向と逆の方向に転送
させる手段と、垂直電荷結合素子から続いて転送されて
来る奇数ラインの信号電荷を第2水平電荷結合素子に転
送させる手段と、他方のフィールドにおいて、水平帰線
期間の垂直電荷結合素子から初めに転送されて来る奇数
ラインの信号電荷をそのまま第2水平電荷結合素子に転
送させる手段と、垂直電荷結合素子から続いて転送され
て来る偶数ラインの信号電荷をそのまま第1水平電荷結
合素子に転送させる手段とからなり、第2水平電荷結合
素子に隣接されて並設される第3水平電荷結合素子と、
各垂直電荷結合素子にて転送される信号電荷からスミア
電荷を分離させて転送させる電荷転送駆動手段とを備
え、この電荷転送駆動手段によって分離させたスミア電
荷を前記第3水平電荷結合素子から独立に読みだし、こ
れにより形成されるスミア信号を前記第1水平電荷結合
素子および第2水平電荷結合素子からのビデオ信号から
差し引く手段とを備えてなることを特徴とするものであ
る。
ぞれの光電変換素子に蓄積された信号電荷を垂直方向に
転送する複数の垂直電荷結合素子と、この垂直電荷結合
素子から受けた信号電荷を1水平期間で水平方向に読み
出す水平電荷結合素子とからなり、前記水平電荷結合素
子は、垂直電荷結合素子側に配置される第1水平電荷結
合素子と、この第1水平電荷結合素子に隣接されて並設
される第2水平電荷結合素子とから構成されているとと
もに、各垂直電荷結合素子から1水平期間に同時に2ラ
イン分の信号電荷を読みだせるようになっている固体撮
像装置において、インターレース操作における偶数ある
いは奇数フィールドのうちの一方のフィールドにおける
信号電荷の順次読みだし時に動作する電荷転送駆動手段
とを備え、この電荷転送駆動手段は、上記一方のフィー
ルドにおいて、水平帰線期間に垂直電荷結合素子から初
めに転送されて来る偶数ラインの信号電荷を第1水平電
荷結合素子におけるその読み出し方向と逆の方向に転送
させる手段と、垂直電荷結合素子から続いて転送されて
来る奇数ラインの信号電荷を第2水平電荷結合素子に転
送させる手段と、他方のフィールドにおいて、水平帰線
期間の垂直電荷結合素子から初めに転送されて来る奇数
ラインの信号電荷をそのまま第2水平電荷結合素子に転
送させる手段と、垂直電荷結合素子から続いて転送され
て来る偶数ラインの信号電荷をそのまま第1水平電荷結
合素子に転送させる手段とからなり、第2水平電荷結合
素子に隣接されて並設される第3水平電荷結合素子と、
各垂直電荷結合素子にて転送される信号電荷からスミア
電荷を分離させて転送させる電荷転送駆動手段とを備
え、この電荷転送駆動手段によって分離させたスミア電
荷を前記第3水平電荷結合素子から独立に読みだし、こ
れにより形成されるスミア信号を前記第1水平電荷結合
素子および第2水平電荷結合素子からのビデオ信号から
差し引く手段とを備えてなることを特徴とするものであ
る。
以上の如き本発明の構成によれば、2本以上の水平方
向のCCDを有し、これを用いて2行の光ダイオード列に
蓄積されている信号電荷を、水平期間ごとに同時に読み
出す電荷転送形固体撮像素子を用いた単板カラー撮像装
置において、インターレース操作を行つても同一色信号
は常に同じ出力端子から出力することができる。そのた
め従来素子を用いた撮像装置において必要だつた2つの
出力信号をフイールドごとに入れ換える外部スイツチ回
路が不用になり回路を簡単化することができる。また各
出力信号は各フイールドとも同じ回路を通過させること
ができるので、フリツカーのない画像を得ることができ
る。
向のCCDを有し、これを用いて2行の光ダイオード列に
蓄積されている信号電荷を、水平期間ごとに同時に読み
出す電荷転送形固体撮像素子を用いた単板カラー撮像装
置において、インターレース操作を行つても同一色信号
は常に同じ出力端子から出力することができる。そのた
め従来素子を用いた撮像装置において必要だつた2つの
出力信号をフイールドごとに入れ換える外部スイツチ回
路が不用になり回路を簡単化することができる。また各
出力信号は各フイールドとも同じ回路を通過させること
ができるので、フリツカーのない画像を得ることができ
る。
そして、特に、上記手段1のような構成とすることに
より、各垂直電荷結合素子と第1水平電荷結合素子との
間の僅かなスペース内にそれぞれ一電荷を蓄積するため
の電荷蓄積領域と、それほど複雑な構成となることのな
い電荷転送駆動手段とを設けるのみでよいことから、極
めて簡単な構成によって上記目的を達成することができ
るようになる。
より、各垂直電荷結合素子と第1水平電荷結合素子との
間の僅かなスペース内にそれぞれ一電荷を蓄積するため
の電荷蓄積領域と、それほど複雑な構成となることのな
い電荷転送駆動手段とを設けるのみでよいことから、極
めて簡単な構成によって上記目的を達成することができ
るようになる。
また、上記手段2のような構成とすることにより、手
段1のような電荷蓄積領域を設ける必要はなく、単に、
第1水平電荷結合素子を第2水平電荷結合素子に対して
その電荷読み出し方向と反対方向に僅かだけシフトさせ
て配置させるだけで同様の機能をもたらすことができる
ようになる。
段1のような電荷蓄積領域を設ける必要はなく、単に、
第1水平電荷結合素子を第2水平電荷結合素子に対して
その電荷読み出し方向と反対方向に僅かだけシフトさせ
て配置させるだけで同様の機能をもたらすことができる
ようになる。
さらに、上記手段3のような構成とすることにより、
上記手段3の効果を備えつつスミア電荷の発生による弊
害を除去できるようになる。この場合、一つの水平電荷
結合素子を追加するのみで達成できることから比較的大
きな領域(スペース)を必要とすることなく、スミア電
荷の発生除去を達成することができるという効果を奏す
るようになる。
上記手段3の効果を備えつつスミア電荷の発生による弊
害を除去できるようになる。この場合、一つの水平電荷
結合素子を追加するのみで達成できることから比較的大
きな領域(スペース)を必要とすることなく、スミア電
荷の発生除去を達成することができるという効果を奏す
るようになる。
第1図はインターレース操作を行つても、フイールド
によらず同種の信号電荷は常に同じ水平方向のCCDを通
して読み出すことを可能にする、本発明による固体撮像
素子の一実施例の構成図である。
によらず同種の信号電荷は常に同じ水平方向のCCDを通
して読み出すことを可能にする、本発明による固体撮像
素子の一実施例の構成図である。
本装置は、端子T1につながる電極に隣接して、端子M2
につながるゲートと端子M1につながる蓄積部を設けた点
が第1図の素子と異なる。
につながるゲートと端子M1につながる蓄積部を設けた点
が第1図の素子と異なる。
本装置において、第1フイールドは端子M2をオフ状態
に保つておく。そして第2図の装置同様端子V1,V2〜H1,
H2に第3図の駆動パルスを加え、2行の信号電荷例えば
Q1,jとQ2,jを水平方向のCCD3,3′に転送し、出力端子
4,4′から出力する。
に保つておく。そして第2図の装置同様端子V1,V2〜H1,
H2に第3図の駆動パルスを加え、2行の信号電荷例えば
Q1,jとQ2,jを水平方向のCCD3,3′に転送し、出力端子
4,4′から出力する。
一方第2フイールドでは第7図の駆動パルスのタイミ
ングチヤートに従つて駆動する。すなわち同時に転送さ
れてくる2行の信号電荷Q2,j,Q3,jの内初めに送られて
来るQ2,jは端子M1,M2に加えるパルス21,22によつて一
旦蓄積部に移した後、M2につながるゲートをオフ状態に
保つておく。そして端子V1,V2,T1,H1に加えるパルス23,
〜26によつてまず後から送られてくる信号電荷Q3,jを
水平方向のCCD内に転送する。その後再び端子M2につな
がるゲートをパルス27でオン状態にして蓄積部内の信号
電荷Q2,jを端子T1につながる電極下にもどす。その後
端子H1,T2にパルス28,29を加え、信号電荷Q3,jは水平
方向のCCD3に、信号電荷Q2,jは第1フイールドと同じ
水平方向のCCD3′に移す。そしてこれに外く水平映像期
間に出力端子4,4′から読み出す。
ングチヤートに従つて駆動する。すなわち同時に転送さ
れてくる2行の信号電荷Q2,j,Q3,jの内初めに送られて
来るQ2,jは端子M1,M2に加えるパルス21,22によつて一
旦蓄積部に移した後、M2につながるゲートをオフ状態に
保つておく。そして端子V1,V2,T1,H1に加えるパルス23,
〜26によつてまず後から送られてくる信号電荷Q3,jを
水平方向のCCD内に転送する。その後再び端子M2につな
がるゲートをパルス27でオン状態にして蓄積部内の信号
電荷Q2,jを端子T1につながる電極下にもどす。その後
端子H1,T2にパルス28,29を加え、信号電荷Q3,jは水平
方向のCCD3に、信号電荷Q2,jは第1フイールドと同じ
水平方向のCCD3′に移す。そしてこれに外く水平映像期
間に出力端子4,4′から読み出す。
この素子に例えば第5図の色フイルタを配置して単板
カラー撮像装置を作ると、第2フイールドにおいても出
力端子4からは第1フイールドと同じ信号 S1=…+W+Cy+W+Cy+… が、出力端子4′からは S2=…+G+Ye+G+Ye+… が出力される。
カラー撮像装置を作ると、第2フイールドにおいても出
力端子4からは第1フイールドと同じ信号 S1=…+W+Cy+W+Cy+… が、出力端子4′からは S2=…+G+Ye+G+Ye+… が出力される。
そのためこの素子を用いた単板カラー撮像装置の信号
処理回路は、第8図に示すように第6図の回路で必要で
あつたスイツチ回路8は不要になり、回路が簡単にな
る。また2つの出力信号S1,S2はフイールドによらず常
に同じ回路を通過するのでゲインにバラツキは無く、フ
リツカーのない画像を得ることができる。
処理回路は、第8図に示すように第6図の回路で必要で
あつたスイツチ回路8は不要になり、回路が簡単にな
る。また2つの出力信号S1,S2はフイールドによらず常
に同じ回路を通過するのでゲインにバラツキは無く、フ
リツカーのない画像を得ることができる。
第9図は本発明による他の実施例を示す図である。本
素子は第2図,第1図の装置と、次の3点が異なる。す
なわち水平方向のCCDの各電極を第10図に示すように独
立に制御できるようにした点(垂直方向CCDは第4図の
構造で良い)と、2本の水平方向のCCDを制御する各電
極を水平方向に互いに2電極分ずれた電極につないだ構
造にした点、および水平方向のCCDを制御する電極の中
同じ2本の垂直方向のCCDの間にありかつ互いにむすば
れている電極(第9図では端子H2につながる電極)を、
垂直方向のCCDから水平方向のCCD内に信号電荷を移す間
OFF状態に保つ点である。
素子は第2図,第1図の装置と、次の3点が異なる。す
なわち水平方向のCCDの各電極を第10図に示すように独
立に制御できるようにした点(垂直方向CCDは第4図の
構造で良い)と、2本の水平方向のCCDを制御する各電
極を水平方向に互いに2電極分ずれた電極につないだ構
造にした点、および水平方向のCCDを制御する電極の中
同じ2本の垂直方向のCCDの間にありかつ互いにむすば
れている電極(第9図では端子H2につながる電極)を、
垂直方向のCCDから水平方向のCCD内に信号電荷を移す間
OFF状態に保つ点である。
なお第9図では端子T1,T2につながる電極も第10図同
様各々1電極で構成されるものとして以下説明する。
様各々1電極で構成されるものとして以下説明する。
第11図は第9図の素子の駆動パルス・タイミングチヤ
ートを示したものである。端子T2,H4に加えるパルスは
フイールドによつて異なり、第1フイールドのパルスは
実線で、第2フイールドのパルスは破線で示してある。
ートを示したものである。端子T2,H4に加えるパルスは
フイールドによつて異なり、第1フイールドのパルスは
実線で、第2フイールドのパルスは破線で示してある。
前の2素子同様この素子でも水平帰線期間に入つたと
き、端子V1,V2にパルス23′,24′を加え、垂直方向のCC
D内の信号電荷を転送する。この時第1フイールドでは
同時に端子T1,H1,T2,H3にもパルス31〜34を加えてお
き、例えば初めに転送されてくる1行目の信号電荷Q
1,jを水平方向のCCD3内まで転送する。この後端子T2をO
FF状態にすると端子H2,H4につながる電極はOFF状態にあ
るため、水平方向のCCD3内にあり、互いに異なる垂直方
向のCCDを転送された信号電荷Q1,11,Q1,12,Q1,13…は
水平方向に互いに混ざることなく端子H3につながる電極
下a11〜a1Nに蓄積される。次に再び端子V1,V2にパルス2
3″,24″を加え後から送られてきた信号電荷Q2,jを垂
直方向のCCDから水平方向のCCDに転送する時は、端子
T1,H1,H4のみにパルス31′,32′,35を加わえ、端子T2,H
2はOFF状態に保つ。そしてQ1,jは水平方向のCCD3内の
端子H3につながる電極下に蓄積したまま、Q2,jを同じ
端子H3につながる水平方向のCCD3′の電極下b11…b1Nに
移す。この後これに続く水平映像期間に順次水平方向の
CCD内を転送し出力端子4,4′から読み出す。
き、端子V1,V2にパルス23′,24′を加え、垂直方向のCC
D内の信号電荷を転送する。この時第1フイールドでは
同時に端子T1,H1,T2,H3にもパルス31〜34を加えてお
き、例えば初めに転送されてくる1行目の信号電荷Q
1,jを水平方向のCCD3内まで転送する。この後端子T2をO
FF状態にすると端子H2,H4につながる電極はOFF状態にあ
るため、水平方向のCCD3内にあり、互いに異なる垂直方
向のCCDを転送された信号電荷Q1,11,Q1,12,Q1,13…は
水平方向に互いに混ざることなく端子H3につながる電極
下a11〜a1Nに蓄積される。次に再び端子V1,V2にパルス2
3″,24″を加え後から送られてきた信号電荷Q2,jを垂
直方向のCCDから水平方向のCCDに転送する時は、端子
T1,H1,H4のみにパルス31′,32′,35を加わえ、端子T2,H
2はOFF状態に保つ。そしてQ1,jは水平方向のCCD3内の
端子H3につながる電極下に蓄積したまま、Q2,jを同じ
端子H3につながる水平方向のCCD3′の電極下b11…b1Nに
移す。この後これに続く水平映像期間に順次水平方向の
CCD内を転送し出力端子4,4′から読み出す。
一方第2フイールドではパルス23′,24′によつて信
号電荷Q1,12を水平方向のCCDに転送する時、端子T2は
オフ状態に保ち代りに端子H4にはパルス35′を加えてオ
ン状態にする。そして端子T1,H1,H3に第1フイールドと
同じパルス31,32,34を加え、初めに転送されて来る信号
電荷Q2,jを水平方向のCCD3′の端子H3なつながる電極
下b11〜b1Nに転送し蓄積する。次に端子H4はオフ状態に
保つたまま端子T2にパルス33′を加えてオン状態にし、
端子V1,V2,T1,H1のパルス23″,24″,30′,32′を加え
る。そして後から転送されて来る信号電荷Q3,jを水平
方向のCCD3の端子H3につながる電極下a11〜a1N(Q2,j
が蓄積されている電極につながれ電極)に転送し蓄積す
る。その後これに続く水平映像期間に順次水平方向のCC
D内を転送し出力端子4,4′から読み出す。
号電荷Q1,12を水平方向のCCDに転送する時、端子T2は
オフ状態に保ち代りに端子H4にはパルス35′を加えてオ
ン状態にする。そして端子T1,H1,H3に第1フイールドと
同じパルス31,32,34を加え、初めに転送されて来る信号
電荷Q2,jを水平方向のCCD3′の端子H3なつながる電極
下b11〜b1Nに転送し蓄積する。次に端子H4はオフ状態に
保つたまま端子T2にパルス33′を加えてオン状態にし、
端子V1,V2,T1,H1のパルス23″,24″,30′,32′を加え
る。そして後から転送されて来る信号電荷Q3,jを水平
方向のCCD3の端子H3につながる電極下a11〜a1N(Q2,j
が蓄積されている電極につながれ電極)に転送し蓄積す
る。その後これに続く水平映像期間に順次水平方向のCC
D内を転送し出力端子4,4′から読み出す。
この様に第9図の素子ではフイールドことに2行の信
号電荷を入れ換えて水平方向のCCD内に転送して読み出
すことができるので、例えば第5図の色フイルタを配置
して単板カラー撮像装置を作ると、第1,第2フイールド
とも信号 S1=…+W+Cy+W+Cy+… は出力端子4′から信号 S2=…+G+Ye+G+Ye+… は出力端子4′から出力することができる。
号電荷を入れ換えて水平方向のCCD内に転送して読み出
すことができるので、例えば第5図の色フイルタを配置
して単板カラー撮像装置を作ると、第1,第2フイールド
とも信号 S1=…+W+Cy+W+Cy+… は出力端子4′から信号 S2=…+G+Ye+G+Ye+… は出力端子4′から出力することができる。
そのためこの素子を用いた単板カラー撮像装置の信号
処理回路は第8図同様スイツチ回路8を必要とせず、ま
たフリツカーのない画像を得ることができる。
処理回路は第8図同様スイツチ回路8を必要とせず、ま
たフリツカーのない画像を得ることができる。
第12図は本発明によるさらに他の実施例を示す図であ
る。一般に固体撮像素子例えば第1図の素子では、光ダ
イオード2の下に入射光によつて電荷が発生する。この
発生した電荷が光ダイオードに吸収蓄積されて信号電荷
Q1,jとなるが、発生した電荷の一部は拡散して直接垂
直方向のCCD内に混入する。そして強い光が当たる点を
中心に画面上下方向に白い帯状のスミアの形で現われ画
質を劣化させる。第12図の素子は2行分の信号電荷だけ
でなく、このスミアの原因になる電荷(以下スミア電荷
と記す)も独立に出力し、出力した2行のビデオ信号か
らスミア信号を差し引くことによつてスミアのないテレ
ビ信号を作ろうとするものである。
る。一般に固体撮像素子例えば第1図の素子では、光ダ
イオード2の下に入射光によつて電荷が発生する。この
発生した電荷が光ダイオードに吸収蓄積されて信号電荷
Q1,jとなるが、発生した電荷の一部は拡散して直接垂
直方向のCCD内に混入する。そして強い光が当たる点を
中心に画面上下方向に白い帯状のスミアの形で現われ画
質を劣化させる。第12図の素子は2行分の信号電荷だけ
でなく、このスミアの原因になる電荷(以下スミア電荷
と記す)も独立に出力し、出力した2行のビデオ信号か
らスミア信号を差し引くことによつてスミアのないテレ
ビ信号を作ろうとするものである。
3種の信号電荷(2行分の信号電荷とスミア電荷)を
独立に出力するため、本素子では垂直方向のCCDの電極
を端子V1〜V4で制御する4組の電極群に分け、これを第
13図に模式的に示すように端子V4〜V1を順次オン状態に
することによつて行う。また水平方向のCCDを3本設
け、この3つの電荷を独立に転送し出力するようにして
いる。ただし3本の水平方向のCCDを制御する各電極は
第9図の素子同様互いに2電極分ずれた電極につないだ
構造にするとともに、常に同じ2本の垂直方向のCCDの
間にありかつ互いにつながれている電極(第12図では端
子H2につながる電極)があるようにする。
独立に出力するため、本素子では垂直方向のCCDの電極
を端子V1〜V4で制御する4組の電極群に分け、これを第
13図に模式的に示すように端子V4〜V1を順次オン状態に
することによつて行う。また水平方向のCCDを3本設
け、この3つの電荷を独立に転送し出力するようにして
いる。ただし3本の水平方向のCCDを制御する各電極は
第9図の素子同様互いに2電極分ずれた電極につないだ
構造にするとともに、常に同じ2本の垂直方向のCCDの
間にありかつ互いにつながれている電極(第12図では端
子H2につながる電極)があるようにする。
第14図は第12図の素子の駆動パルスタイミングチヤー
トを示したものである。図中41は第13図の駆動方法によ
つて垂直方向のCCD内にある3つの電荷位置を各々1段
ずつ転送する一連の操作である。すなわちこの一連のパ
ルスを加える間に、端子T1,T2,T3,H1,H3,H4にパルス42
〜48および34を加えると、垂直方向のCCDの最上部の端
子V4につながる電極下にあつたスミア電荷例えばQn2,j
は、水平方向のCCD3の端子H3につながる電極下にC11〜C
1Nに移される。また垂直方向のCCDの上部にある端子V3,
V2につながる電極下にあつた信号電荷Q3,j,Q4,jは各々
一段ずつ上がり、端子V4とV3につながる電極下に転送さ
れる。そしてこの後端子H2とT3をオフ状態に保つたま
ま、第9図の素子の駆動(第11図)と同様の操作を行
う。
トを示したものである。図中41は第13図の駆動方法によ
つて垂直方向のCCD内にある3つの電荷位置を各々1段
ずつ転送する一連の操作である。すなわちこの一連のパ
ルスを加える間に、端子T1,T2,T3,H1,H3,H4にパルス42
〜48および34を加えると、垂直方向のCCDの最上部の端
子V4につながる電極下にあつたスミア電荷例えばQn2,j
は、水平方向のCCD3の端子H3につながる電極下にC11〜C
1Nに移される。また垂直方向のCCDの上部にある端子V3,
V2につながる電極下にあつた信号電荷Q3,j,Q4,jは各々
一段ずつ上がり、端子V4とV3につながる電極下に転送さ
れる。そしてこの後端子H2とT3をオフ状態に保つたま
ま、第9図の素子の駆動(第11図)と同様の操作を行
う。
この操作においてもスミア電荷は常に水平方向のCCD3
を通して、また2行の信号電荷はフイールドごとに入れ
換えて水平方向のCCD3′と3″内に転送して読み出すこ
とができるので、例えば第5図の色フイルタを配置して
単板カラー撮像装置を作ると、第1,第2フイールドとも
にスミア信号は出力端子4から、信号 S1=…+W+Cy+W+Cy+… は出力端子4′から、信号 S2=…+G+Ye+G+Ye+… は出力端子4″から出力することができる。
を通して、また2行の信号電荷はフイールドごとに入れ
換えて水平方向のCCD3′と3″内に転送して読み出すこ
とができるので、例えば第5図の色フイルタを配置して
単板カラー撮像装置を作ると、第1,第2フイールドとも
にスミア信号は出力端子4から、信号 S1=…+W+Cy+W+Cy+… は出力端子4′から、信号 S2=…+G+Ye+G+Ye+… は出力端子4″から出力することができる。
そのためこの素子を用いた単板カラー撮像装置の信号
処理回路では、スイツチ回路を必要とせずまたフリツカ
ーのない画像を得ることができる。
処理回路では、スイツチ回路を必要とせずまたフリツカ
ーのない画像を得ることができる。
以上説明したように本発明によれば、2本以上の水平
方向のCCDを有し、これを用いて2行の先ダイオード列
に蓄積されている信号電荷を水平期間ごとに同時に読み
出す電荷転送形固体撮像素子を用いた単板カラー撮像装
置において、インターレース操作を行つても同一色信号
は常に同じ出力端子から出力することができる。そのた
め従来素子を用いた撮像装置において必要だつた2つの
出力信号をフイールドごとに入れ換える外部スイツチ回
路が不用になり回路を簡単化することができる。また各
出力信号は各フイールドとも同じ回路を通過させること
ができるので、フリツカーのない画像を得ることができ
る。
方向のCCDを有し、これを用いて2行の先ダイオード列
に蓄積されている信号電荷を水平期間ごとに同時に読み
出す電荷転送形固体撮像素子を用いた単板カラー撮像装
置において、インターレース操作を行つても同一色信号
は常に同じ出力端子から出力することができる。そのた
め従来素子を用いた撮像装置において必要だつた2つの
出力信号をフイールドごとに入れ換える外部スイツチ回
路が不用になり回路を簡単化することができる。また各
出力信号は各フイールドとも同じ回路を通過させること
ができるので、フリツカーのない画像を得ることができ
る。
第1図は本発明の一実施例になる固体撮像装置の回路
図、第2図は従来の2行同時読み出しの電荷転送形固体
撮像装置の回路構成図、第3図〜第6図はその駆動法と
フイルタ配置および信号処理回路、第7図〜第8図は第
1図に示した固体撮像装置の構造と駆動法とその信号処
理回路例、第9図〜第11図は他の実施例による固体撮像
装置の構造と駆動法、第12図〜第14図はさらに他の実施
例になる固体撮像装置の回路図とその説明図である。
図、第2図は従来の2行同時読み出しの電荷転送形固体
撮像装置の回路構成図、第3図〜第6図はその駆動法と
フイルタ配置および信号処理回路、第7図〜第8図は第
1図に示した固体撮像装置の構造と駆動法とその信号処
理回路例、第9図〜第11図は他の実施例による固体撮像
装置の構造と駆動法、第12図〜第14図はさらに他の実施
例になる固体撮像装置の回路図とその説明図である。
フロントページの続き (72)発明者 小沢 直樹 国分寺市東恋ヶ窪1丁目280番地 株式 会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭59−169278(JP,A) 特開 昭60−167579(JP,A) 特公 平6−20275(JP,B2)
Claims (3)
- 【請求項1】2次元的に配列された複数個の光電変換素
子と、それぞれの光電変換素子に蓄積された信号電荷を
垂直方向に転送する複数の垂直電荷結合素子と、この垂
直電荷結合素子から受けた信号電荷を1水平期間で水平
方向に読み出す水平電荷結合素子とからなり、 前記水平電荷結合素子は、垂直電荷結合素子側に配置さ
れる第1水平電荷結合素子と、この第1水平電荷結合素
子に隣接されて並設される第2水平電荷結合素子とから
構成されているとともに、各垂直電荷結合素子から1水
平期間に同時に2ライン分の信号電荷を読みだせるよう
になっている固体撮像装置において、 垂直電荷結合素子と第1水平電荷結合素子との間に設け
られた電荷蓄積手段と、インターレース操作における偶
数あるいは奇数フィールドのうちの一方のフィールドに
おける信号電荷の順次読みだし時に動作する電荷転送駆
動手段とを備え、 この電荷転送駆動手段は、上記一方のフィールドにおい
て、水平帰線期間に垂直電荷結合素子から初めに転送さ
れて来る偶数ラインの信号電荷を前記電荷蓄積手段に蓄
積させる手段と、垂直電荷結合素子から続いて転送され
て来る奇数ラインの信号電荷を第2水平電荷結合素子に
転送させた後に前記電荷蓄積手段に蓄積させた偶数ライ
ンの信号電荷を第1水平電荷結合素子に転送させる手段
と、 他方のフィールドにおいて、水平帰線期間の垂直電荷結
合素子から初めに転送されて来る奇数ラインの信号電荷
をそのまま第2水平電荷結合素子に転送させる手段と、
垂直電荷結合素子から続いて転送されて来る偶数ライン
の信号電荷をそのまま第1水平電荷結合素子に転送させ
る手段とからなることを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項2】2次元的に配列された複数個の光電変換素
子と、それぞれの光電変換素子に蓄積された信号電荷を
垂直方向に転送する複数の垂直電荷結合素子と、この垂
直電荷結合素子から受けた信号電荷を1水平期間で水平
方向に読み出す水平電荷結合素子とからなり、 前記水平電荷結合素子は、垂直電荷結合素子側に配置さ
れる第1水平電荷結合素子と、この第1水平電荷結合素
子に隣接されて並設される第2水平電荷結合素子とから
構成されているとともに、各垂直電荷結合素子から1水
平期間に同時に2ライン分の信号電荷を読みだせるよう
になっている固体撮像装置において、 インターレース操作における偶数あるいは奇数フィール
ドのうちの一方のフィールドにおける信号電荷の順次読
みだし時に動作する電荷転送駆動手段とを備え、 この電荷転送駆動手段は、上記一方のフィールドにおい
て、水平帰線期間に垂直電荷結合素子から初めに転送さ
れて来る偶数ラインの信号電荷を第1水平電荷結合素子
におけるその読み出し方向と逆の方向に転送させる手段
と、垂直電荷結合素子から続いて転送されて来る奇数ラ
インの信号電荷を第2水平電荷結合素子に転送させる手
段と、 他方のフィールドにおいて、水平帰線期間の垂直電荷結
合素子から初めに転送されて来る奇数ラインの信号電荷
をそのまま第2水平電荷結合素子に転送させる手段と、
垂直電荷結合素子から続いて転送されて来る偶数ライン
の信号電荷をそのまま第1水平電荷結合素子に転送させ
る手段とからなることを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項3】2次元的に配列された複数個の光電変換素
子と、それぞれの光電変換素子に蓄積された信号電荷を
垂直方向に転送する複数の垂直電荷結合素子と、この垂
直電荷結合素子から受けた信号電荷を1水平期間で水平
方向に読み出す水平電荷結合素子とからなり、 前記水平電荷結合素子は、垂直電荷結合素子側に配置さ
れる第1水平電荷結合素子と、この第1水平電荷結合素
子に隣接されて並設される第2水平電荷結合素子とから
構成されているとともに、各垂直電荷結合素子から1水
平期間に同時に2ライン分の信号電荷を読みだせるよう
になっている固体撮像装置において、 インターレース操作における偶数あるいは奇数フィール
ドのうちの一方のフィールドにおける信号電荷の順次読
みだし時に動作する電荷転送駆動手段とを備え、 この電荷転送駆動手段は、上記一方のフィールドにおい
て、水平帰線期間に垂直電荷結合素子から初めに転送さ
れて来る偶数ラインの信号電荷を第1水平電荷結合素子
におけるその読み出し方向と逆の方向に転送させる手段
と、垂直電荷結合素子から続いて転送されて来る奇数ラ
インの信号電荷を第2水平電荷結合素子に転送させる手
段と、 他方のフィールドにおいて、水平帰線期間の垂直電荷結
合素子から初めに転送されて来る奇数ラインの信号電荷
をそのまま第2水平電荷結合素子に転送させる手段と、
垂直電荷結合素子から続いて転送されて来る偶数ライン
の信号電荷をそのまま第1水平電荷結合素子に転送させ
る手段とからなり、 第2水平電荷結合素子に隣接されて並設される第3水平
電荷結合素子と、各垂直電荷結合素子にて転送される信
号電荷からスミア電荷を分離させて転送させる電荷転送
駆動手段とを備え、この電荷転送駆動手段によって分離
させたスミア電荷を前記第3水平電荷結合素子から独立
に読みだし、これにより形成されるスミア信号を前記第
1水平電荷結合素子および第2水平電荷結合素子からの
ビデオ信号から差し引く手段とを備えてなることを特徴
とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61000539A JP2585522B2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61000539A JP2585522B2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62159458A JPS62159458A (ja) | 1987-07-15 |
JP2585522B2 true JP2585522B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=11476548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61000539A Expired - Fee Related JP2585522B2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2585522B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59169278A (ja) * | 1983-03-16 | 1984-09-25 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
JPS60167579A (ja) * | 1984-02-10 | 1985-08-30 | Hitachi Ltd | 電荷移送型固体撮像素子 |
DE69316412T2 (de) * | 1992-03-19 | 1998-07-30 | Koninkl Philips Electronics Nv | Verfahren zur Herstellung eines reproduzierten magnetischen Wiedergabemediums und aus dem magnetischen Wiedergabemedium, einem magnetischen Wiedergabekopf und einer Reproduktionsanordnung bestehende Einrichtung |
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1986
- 1986-01-08 JP JP61000539A patent/JP2585522B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JPS62159458A (ja) | 1987-07-15 |
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