JP2583721B2 - 蓄冷型冷凍機 - Google Patents

蓄冷型冷凍機

Info

Publication number
JP2583721B2
JP2583721B2 JP4247512A JP24751292A JP2583721B2 JP 2583721 B2 JP2583721 B2 JP 2583721B2 JP 4247512 A JP4247512 A JP 4247512A JP 24751292 A JP24751292 A JP 24751292A JP 2583721 B2 JP2583721 B2 JP 2583721B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movable member
dead center
motor
regenerative refrigerator
top dead
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP4247512A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06101917A (ja
Inventor
隆 稲口
政志 長尾
秀人 吉村
一樹 森津
隆博 松本
修一 中川
光弘 岸田
収二 安藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP4247512A priority Critical patent/JP2583721B2/ja
Priority to US08/118,717 priority patent/US5398512A/en
Publication of JPH06101917A publication Critical patent/JPH06101917A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2583721B2 publication Critical patent/JP2583721B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B9/00Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
    • F25B9/14Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/003Gas cycle refrigeration machines characterised by construction or composition of the regenerator

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)
  • Compressor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、蓄冷器を備えた蓄冷
型冷凍機に関し、特に蓄冷器の熱交換の効率を高めて冷
凍能力の効率を向上できる蓄冷型冷凍機に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】図18は例えば特公昭46−10255
号公報に示された従来の蓄冷型冷凍機の概略構成を示す
断面図であり、図において21はモータ、4は圧縮機、
5はガス管、6は吸気用カム、7は吸気用カム6に連動
する吸気バルブ、8は排気用カム、9は排気用カム8に
連動する排気バルブ、10はベアリングであり、このベ
アリング10はモーター21、吸気用カム6および排気
用カム8の中心線11から少し離れたところに位置して
いる。12はベアリング10と連動し上下動する操作
棒、13はシリンダ、14は操作棒12を介し、モータ
21によって駆動され、シリンダ13内を往復運動する
可動部材であり、この可動部材14の内部には熱を貯蔵
するリン青銅のメッシュ、または鉛玉からなる蓄冷器1
5が配設され、可動部材14の上端部および下端部には
蓄冷器15に通じるガス通路14a,14bが設けられ
ている。
【0003】16,17はシリンダ13と可動部材14
とにより囲まれ、可動部材14の上方と下方とにそれぞ
れ形成された第1および第2の閉鎖室、18は第1の閉
鎖室16と第2の閉鎖室17とを隔離するシールで、可
動部材14の上端部にとりつけられ、シリンダ13の内
周面に接し、可動部材14と共に移動する。19は操作
棒12にとりつけられたシール、20は伝熱部である。
【0004】つぎに、上記従来の蓄冷型冷凍機の動作に
ついて説明する。圧縮機4で圧縮され吐出されたヘリウ
ム等の高圧のガスは、吸気カム6と連動する吸気バルブ
7が開いているとき、ガス管5を通りシリンダ13の第
1の閉鎖室16に流入する。第1の閉鎖室16に流入し
たガスはガス通路14aを通り蓄冷器15内に導入さ
れ、ここで前回のサイクルで蓄冷器15内に蓄えられて
いた冷熱によって冷却される。この冷却されたガスはガ
ス通路14bを通り、第2の閉鎖室17に流入する。こ
のときシール19が存在するためガスはシリンダー13
の外部にもれず、またシール18が存在するため、ガス
はシリンダー13と可動部材14との隙間に流れない。
第2の閉鎖室17に流入したガスはここで膨張し、冷熱
を発生し伝熱部20を介し被冷却物(図示せず)を冷却
する。
【0005】第2の閉鎖室17で膨張し、低圧となった
ガスは、可動部材14の移動によって再びガス通路14
bを通り、蓄冷器15を逆方向に通過し、通過時に蓄冷
器15と熱交換し蓄冷器15を冷却する。この熱交換に
より加熱されたガスはガス通路14aを通り第一の閉鎖
室16に達し、排気カム8と連動する排気バルブ9が開
いているとき、ガス管5から圧縮機4に導入され、再び
圧縮機4で圧縮される。
【0006】ついで、可動部材14の位置、吸気バルブ
7と排気バルブ9の開閉タイミングおよび第2の閉鎖室
17の圧力変化のそれぞれの位相の対応関係を説明す
る。図19の(a)〜(d)は、可動部材14の位置、
吸気バルブ7と排気バルブ9の開閉タイミング、第2の
閉鎖室17の圧力変化のそれぞれの位相の対応関係を示
したものである。
【0007】まず、可動部材14はベアリング10によ
り、モータ21の回転運動が往復運動に変換されて、図
19の(a)に示すように、シリンダ13内を上下動し
ている。ここで、図19の横軸の位相は可動部材14が
下死点にあるときを0°、上死点にあるときを180°
とし、360°で1サイクルを終えるとしたものであ
る。また、吸気カム6と排気カム8とはモータ21の軸
の回転と連動している。そこで、吸気バルブ7は、図1
9の(b)に示すように、−30°で開き、120°で
閉じるように作動する。また、排気バルブ9は、図19
の(c)に示すように、150°で開き、330°で閉
じるように作動する。さらに、第2の閉鎖室17の圧力
変化はこの吸気および排気バルブ7,9の開閉に応じて
変化する。すなわち、図19の(d)に示すように、−
30°で吸気バルブ7が開いた瞬間に圧力が高くなり、
150°で排気バルブが開いた瞬間に圧力は低くなる。
【0008】ここで、モーター21の回転速度は一定で
あるため、図19の位相の1°がすすむのに要する時間
は1サイクルの時間を360でわった時間に等しい。例
えば、1サイクルの時間を1秒とすると可動部材14は
図20に示すように移動する。この時、可動部材14の
下死点を0cmとしている。また、第2の閉鎖室17の
圧力は図21のように変化している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】従来の蓄冷型冷凍機は
以上のように構成され、モータ21の回転速度を一定と
しているので、排気バルブ9が開いた瞬間に蓄冷器15
を通過する流量が最大になる。図22は伝熱部20の温
度が50Kのときの蓄冷器15を介し第2の閉鎖室17
に流出入するガスの流量を示したものである。図22で
は第2の閉鎖室17に流入する場合を正としている。排
気バルブ9を開いた瞬間のとき(図22の0.4〜0.
5secのとき)流量が最大になるので蓄冷器の効率は
このとき最も悪くなる。蓄冷器設計の際、通常は1サイ
クルの平均流量をもとに設計するので、流量が平均から
大きくずれていると所定の蓄冷器の効率を得ることがで
きず、したがって蓄冷型冷凍機の冷凍能力の効率も悪く
なるという課題があった。
【0010】また、図23は伝熱部20の温度が4.2
Kのときの蓄冷器15を介し第2の閉鎖室17に流出入
するガスの流量を示したものである。この場合、ガスの
圧縮性はほとんどなくなっているので排気バルブ9を開
いた瞬間もガスの流量はあまりかわることがなく、むし
ろ可動部材14の速度が速いほど流量が多くなる。また
第2の閉鎖室17に流入するときのほうが流出するとき
より最大の流量が多くなっている。いずれにしても流量
が平均からずれることになるので所定の蓄冷器の効率を
得ることができず、したがって蓄冷型冷凍機の冷凍能力
の効率も悪くなるという課題もあった。
【0011】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、蓄冷型冷凍機のモーターの1サイ
クル中の回転速度を変化させ、1サイクル中の流量を平
均化することにより、蓄冷器の熱交換の効率を高め、蓄
冷型冷凍機の冷凍能力の効率を向上することを目的とし
たものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に係
る蓄冷型冷凍機は、ステッピングモータの回転を往復運
動に変換することによりシリンダ内を往復運動する可動
部材と、可動部材の移動により容積がかわる閉鎖室を有
し、吸気バルブが開いたとき圧縮機から吐出されたガス
を蓄冷器を介し閉鎖室に導いて膨張させ、再びこの蓄冷
器を経て、排気バルブが開いたときガスを圧縮機に戻
し、1サイクルを終える蓄冷型冷凍機において、上記ス
テッピングモータを駆動するモータ駆動装置と、1サイ
クルの中で上記ステッピングモータの回転速度を変化さ
せるように、上記ステッピングモータを駆動する上記モ
ータ駆動装置のパルスの間隔を制御するパルス発振コン
トローラとを備えたものである。
【0013】また、この発明の請求項2に係る蓄冷型冷
凍機は、上記パルス発振コントローラが、上記排気バル
ブが開いてから上記可動部材が上死点に達するまでの期
間の上記モータの回転速度を遅く、他の期間は上記モー
タの回転速度を速くなるように、上記モータ駆動装置の
パルスの間隔を制御するようにしたものである。
【0014】また、この発明の請求項3に係る蓄冷型冷
凍機は、上記排気バルブが開くタイミングを上記可動部
材が上死点に達したタイミングと略同時にするととも
に、上記パルス発振コントローラが、上記可動部材が上
死点に達するタイミングの近傍の所定期間上記モータの
回転速度を遅くなるように、上記モータ駆動装置のパル
スの間隔を制御するようにしたものである。
【0015】また、この発明の請求項4に係る蓄冷型冷
凍機は、上記吸気バルブを閉じ、上記排気バルブを開く
タイミングを上記可動部材が上死点に達したタイミング
と略同時にするとともに、上記パルス発振コントローラ
が、上記可動部材が上死点に達するタイミングの近傍の
所定期間上記モータの回転速度を遅くなるように、上記
モータ駆動装置のパルスの間隔を制御するようにしたも
のである。
【0016】また、この発明の請求項5に係る蓄冷型冷
凍機は、上記パルス発振コントローラが、上記可動部材
の移動速度を上死点から下死点まであるいは下死点から
上死点まで等速直線運動させるように、上記モータ駆動
装置のパルスの間隔を制御するようにしたものである。
【0017】また、この発明の請求項6に係る蓄冷型冷
凍機は、上記パルス発振コントローラが、上記可動部材
が下死点から上死点まで移動する時間の方が上死点から
下死点まで移動する時間より長くなるように、上記モー
タ駆動装置のパルスの間隔を制御するようにしたもので
ある。
【0018】また、この発明の請求項7に係る蓄冷型冷
凍機は、モータの回転を往復運動に変換することにより
シリンダ内を往復運動する可動部材と、可動部材の移動
により容積がかわる閉鎖室を有し、吸気バルブを開いた
とき圧縮機から吐出されたガスを蓄冷器を介し閉鎖室に
導いて膨張させ、再びこの蓄冷器を経て、排気バルブが
開いたときガスを圧縮機に戻し、1サイクルを終える蓄
冷型冷凍機において、上記シリンダ下端の伝熱部の温度
を検出する温度センサーと、上記温度センサーで検出さ
れる上記伝熱部の温度レベルに応じて1サイクル中の上
記モータの回転速度を変化させるコントローラとを備え
たものである。
【0019】また、この発明の請求項8に係る蓄冷型冷
凍機は、モータの回転を往復運動に変換することにより
シリンダ内を往復運動する可動部材と、可動部材の移動
により容積がかわる閉鎖室を有し、吸気バルブを開いた
とき圧縮機から吐出されたガスを蓄冷器を介し閉鎖室に
導いて膨張させ、再びこの蓄冷器を経て、排気バルブが
開いたときガスを圧縮機に戻し、1サイクルを終える蓄
冷型冷凍機において、上記シリンダー内の圧力を測定す
る圧力センサーと、シリンダ下端の伝熱部の温度を検出
する温度センサーと、上記圧力センサーと上記温度セン
サーとの出力結果をもとに上記閉鎖室への流量を計算
し、その流量が1サイクルで一定となる様、1サイクル
中の上記モータの回転速度を変化させるコントローラと
を備えたものである。
【0020】
【作用】この発明の請求項1に係る蓄冷型冷凍機におい
ては、モータとしてステッピングモータを使用し、パル
ス発振コントロールにより、パルスの間隔をコントロー
ルして、容易に1サイクル内のステッピングモータの回
転速度を変化させることができる。そして、1サイクル
内のステッピングモータの回転速度を変化させることに
より、1サイクル内の流量を平均化させ、蓄冷器の効率
をあげ、冷凍機の効率を上げることができる。
【0021】また、この発明の請求項2、5、6に係る
蓄冷型冷凍機においては、排気バルブを開いてから可動
部材が上死点に達するまでの期間のモータの回転速度を
おそくしたり、可動部材の移動を上死点から下死点まで
あるいは下死点から上死点まで等速直線運動させたり、
可動部材が下死点から上死点まで移動する時間の方が上
死点から下死点まで移動する時間より長くすることによ
り、1サイクルの流量を平均化させ、蓄冷器の効率をあ
げ冷凍機の効率をあげることができる。
【0022】また、この発明の請求項3に係る蓄冷型冷
凍機においては、排気バルブを開くタイミングを可動部
材が上死点に達したタイミングと略同時にすることによ
り、図示仕事の損失をなくし冷凍機の効率をあげること
ができる。さらに、可動部材が上死点に達するタイミン
グの近傍でモータの回転速度を遅くすることにより、排
気バルブがゆっくり開かれ、急峻な開放にともなう流量
の大幅な変動が抑制され、流量の平均化が図られる。
【0023】また、この発明の請求項4に係る蓄冷型冷
凍機においては、吸気バルブを閉じ、排気バルブを開く
タイミングを可動部材が上死点に達したタイミングと略
同時にすることにより、図示仕事を大きくし、冷凍機の
効率をあげることができる。さらに、可動部材が上死点
に達するタイミングの近傍でモータの回転速度を遅くす
ることにより、排気バルブがゆっくり開かれ、急峻な開
放にともなう流量の大幅な変動が抑制され、流量の平均
化が図られる。
【0024】また、この発明の請求項7に係る蓄冷型冷
凍機においては、温度センサで検出される伝熱部の温度
レベルに基づいてコントローラによりモータの回転速度
を変化させて、温度レベルに最も適した回転速度で蓄冷
型冷凍機を動作させることができる。
【0025】また、この発明の請求項8に係る蓄冷型冷
凍機においては、コントローラにより圧力センサーと温
度センサーとの出力結果をもとに流量を計算し、その流
量が一定となるようにモータの回転速度を変化させてい
るので、1サイクルのモータの回転速度を最も効率があ
がるように設定することができる。
【0026】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。 実施例1. この実施例1は、この発明の請求項1、2に係る一実施
例である。図1はこの発明の実施例1による蓄冷型冷凍
機の概略構成を示す断面図であり、図において図18に
示す従来の蓄冷型冷凍機と同一または相当部分には同一
符号を付し、その説明を省略する。図において、1はス
テッピングモータ、2はステッピングモータ1のモータ
駆動装置、3はステッピングモータ1を駆動するパルス
の間隔をコントロールするパルス発振コントローラであ
る。なお、この実施例1による蓄冷型冷凍機では、モー
タ21をステッピングモータ1とする以外の構成は、図
18に示される蓄冷型冷凍機と同一である。
【0027】つぎに、上記実施例1の動作について説明
する。この実施例1では、排気バルブ9を開いてから可
動部材14が上死点に達するまでの時間を従来の2倍の
時間とり、その分それ以後の時間を短縮するように、パ
ルス発振コントローラ3によりステッピングモータ1の
回転速度を1サイクルの中でコントロールしている。こ
の時、サイクルの周期を1秒としたときの膨張空間に流
出入するガスの質量流量は、図2に示すようになってい
る。その結果、排気バルブ9を開いた瞬間の流量が、図
22に示される従来の流量に比べて1/2に減った。ま
た、全体的に流量が平均化された。これにより蓄冷器1
5の効率は2倍ほどよくなり、冷凍機の冷凍能力の効率
が向上された。
【0028】このように構成された上記実施例1によれ
ば、ステッピングモータ1の回転速度を1サイクルの中
で変化させているので、1サイクル内の流量を平均化さ
せることができ、蓄冷器15の効率を上げて、冷凍機の
冷凍能力を向上することができる。
【0029】また、パルス発振コントローラ3によりス
テッピングモータ1の回転速度をコントロールしている
ので、容易に高精度にステッピングモータ1の回転速度
を変えることができる。
【0030】また、排気バルブ9を開いてから可動部材
14が上死点に達するまでの時間を従来の2倍の時間と
り、その分それ以後の時間を短縮しているので、排気バ
ルブ9を開いた瞬間の流量が、従来の流量に比べて1/
2にまで低減され、全体的に流量の平均化が図られ、こ
れにより蓄冷器15の効率は2倍ほどよくなり、冷凍機
の冷凍能力の効率を向上することができる。
【0031】実施例2. この実施例2は、この発明の請求項1、2に係る他の実
施例である。図3はこの発明の実施例2による蓄冷型冷
凍機の概略構成を示す断面図である。この実施例2にお
ける上記実施例1と異なるところは、シリンダ13の下
方に設けたシリンダ13よりも容積の小さいシリンダ2
3と、可動部材14の下方に設けられ、シリンダ23内
を往復運動し、内部には蓄冷器25と、この蓄冷器25
に通じるガス通路24a,24bを有する可動部材24
と、可動部材24とシリンダ23とで囲まれ形成された
第3の閉鎖室27と、第2の閉鎖室17と第3の閉鎖室
27とを隔離するシール28と、伝熱部30とを設けた
点であり、この場合も上記実施例1と同様の作用効果が
得られる。なお、動作については前述と同様であるので
その説明を省略する。
【0032】実施例3. この実施例3は、この発明の請求項1、2に係るさらに
他の実施例である。図4はこの発明の実施例3による蓄
冷型冷凍機の概略構成を示す断面図である。この実施例
3において上記実施例1と異なるところは3段式にした
ところであり、シリンダ23よりも容積の小さいシリン
ダ33と、可動部材24の下方に設けられ、シリンダ3
3内を往復運動し内部には蓄冷器35とこの蓄冷器35
に通じるガス通路34a,34bを有する可動部材34
と、可動部材34とシリンダ33とで囲まれ形成された
第4の閉鎖室37と、第3の閉鎖室27と第4の閉鎖室
37とを隔離するシール38とを設けている。この場合
も上記実施例1と同様の作用効果が得られる。なお、動
作については前述と同様であるのでその説明を省略す
る。
【0033】実施例4. この実施例4は、この発明の請求項1、2に係るさらに
他の実施例である。図5はこの発明の実施例4による蓄
冷型冷凍機の概略構成を示す断面図であり、この実施例
4において上記実施例1と異なるところは、蓄冷器15
をシリンダの外側に設置した点である。この場合も上記
実施例1と同様の作用効果が得られる。なお動作につい
ては前述と同様であるのでその説明を省略する。
【0034】実施例5. この実施例5は、この発明の請求項3に係る一実施例で
ある。図6の(a)〜(d)はそれぞれこの発明の実施
例5による蓄冷型冷凍機の可動部材の位置、吸気バルブ
の開度、排気バルブの開度、および第2の閉鎖室の圧力
変化と位相との関係を示したグラフである。この実施例
5における上記実施例1と異なるところは排気バルブ9
が開くタイミングを可動部材14が上死点に達したタイ
ミングと略同時にし、かつ、ステッピングモータ1の回
転速度を可動部材14が上死点に達する近傍の例えば3
0°の範囲で遅くしていることである。
【0035】上記実施例1では、排気バルブ9が開いて
から可動部材14が上死点に達するまでの期間を遅くし
た結果、P−V線図は図7の(a)にAで示すような部
分ができる可能性があった。これは図示仕事(P−V線
図の面積に等しい)の損失を招き、冷凍能力の損失を招
くことになる。この実施例5によれば、排気バルブ9が
開くタイミングと可動部材14が上死点に達するタイミ
ングとを略同時にした結果、図7の(b)に示すような
P−V線図になり、図示仕事の損失を招くことはない。
さらに、ステッピングモータ1の回転速度が可動部材1
4が上死点に達する近傍で遅くなり、つまり排気バルブ
9がゆっくり開けられて、排気バルブ9の急峻な開放に
ともなう流量の大幅な変化が抑制されて、流量の変化が
少なくなる。したがって、流量の平均化され、蓄冷器1
5の効率が上がり、冷凍機の冷凍能力が向上する。
【0036】実施例6. この実施例6は、この発明の請求項4に係る一実施例で
ある。図8はこの発明の実施例6による蓄冷型冷凍機の
可動部材の位置、吸気バルブの開度、排気バルブの開
度、および第2の閉鎖室の圧力変化と位相との関係を示
したグラフである。この実施例6における上記実施例1
と異なるところは、吸気バルブ7が閉じ、排気バルブ9
が開くタイミングを可動部材14が上死点に達したタイ
ミングと略同時にし、かつ、ステッピングモータ1の回
転速度を可動部材14が上死点に達する近傍で遅くして
いることである。その作用効果は上記実施例5とほぼ同
等であり、上記実施例5よりさらに図示仕事を大きくと
ることができるとともに、冷凍能力は向上する。
【0037】実施例7. この実施例7は、この発明の請求項5に係る一実施例で
ある。図9はこの発明の実施例7による蓄冷型冷凍機の
可動部材の位置と時間との関係を示したグラフであり、
この実施例7における上記実施例1と異なるところは、
可動部材14の動きを下死点から上死点までおよび上死
点から下死点までを等速直線運動としたことである。こ
の実施例7によれば、伝熱部20が4.2Kのときの第
2の閉鎖室17へのガスの流量は、図10に示すよう
に、可動部材14が等速直線運動しているためほぼ一定
となっている。したがって、蓄冷器15の設計が容易に
なり、また、効率も向上し、その結果冷凍機の効率も向
上する。
【0038】実施例8. この実施例8は、この発明の請求項6に係る一実施例で
ある。図11はこの発明の実施例8による蓄冷型冷凍機
の可動部材の位置と時間との関係を示すグラフであり、
可動部材14が下死点から上死点まで移動する時間を上
死点から下死点に移動する時間より長くしたものであ
る。この実施例8によれば、第2の閉鎖室17へのガス
の流量は、図12に示すように、ガスが第2の閉鎖室1
7へ流入するときの最大流量が減少し、第2の閉鎖室1
7から流出するときの最大流量とほぼ同じぐらいの大き
さになっている。したがって、流量が平均化されたこと
により蓄冷器15の効率があがり、蓄冷型冷凍機の効率
があがる。
【0039】実施例9. この実施例9は、この発明の請求項7に係る一実施例で
ある。図13はこの発明の実施例9による蓄冷型冷凍機
の概略構成を示す断面図である。この実施例13におけ
る上記実施例1と異なるところは、伝熱部20に温度セ
ンサー60を設置し、温度センサー60の出力によりス
テッピングモータ1の回転速度を伝熱部20の温度に応
じた回転速度に変えるパルス発振コントローラ3を設置
したことである。
【0040】つぎに、この実施例9の動作について説明
する。第2の閉鎖室17へ流出入するヘリウムの流量は
温度によってことなる。例えば、50Kの場合には図2
2に示すようなものになり、4.2Kの場合には図23
に示すようなものになる。それゆえ温度によってモータ
の回転速度を変更する必要がある。例えば、温度センサ
ー60が50Kを示しているとする。この温度センサー
60の出力はパルス発振コントローラ3に入力される。
パルス発振コントローラ3は、上記実施例1と同様に可
動部材14が動くようにステッピングモータ1の回転速
度をコントロールする。そして、伝熱部20の温度がだ
んだん下がっていき、温度センサー60が4.2Kを示
すようになるとパルス発振コントローラ3は、上記実施
例7と同様に可動部材14が動くようにステッピングモ
ータ1の回転速度をコントロールする。
【0041】このように上記実施例9によれば、伝熱部
20の温度を温度センサー60により検出し、パルス発
振コントローラ3が伝熱部20の温度に応じてステッピ
ングモータ1の回転速度を変更できるので、初期冷却か
ら到達温度に達するまで1サイクルの流量は常に平均化
されて、蓄冷器15の効率があがり、蓄冷型冷凍機の効
率があがる。
【0042】実施例10. この実施例10は、この発明の請求項7に係る他の実施
例である。図14はこの発明の実施例10による蓄冷型
冷凍機の概略構成を示す断面図であり、この実施例10
では蓄冷器15,25をシリンダ16,23の外側に設
置したものである。ステッピングモータ51の回転運動
はベアリング50で往復運動に変換され、操作棒22を
介し、可動部材24を往復運動させるように構成してい
る。ステッピングモータ51はモータ駆動装置52で駆
動される。また、温度センサー60、61が伝熱部2
0、30に取り付けられている。
【0043】つぎに、上記実施例10の動作について説
明する。伝熱部20、30の温度は温度センサー60、
61により検出される。伝熱部30の温度は伝熱部20
の温度より低い。例えば、伝熱部20の温度が50K、
伝熱部30の温度が4.2Kとすると、第2の閉鎖室1
7への流量は図22に示すようになり、第3の閉鎖室2
7への流量は図23に示すようになる。したがって、ス
テッピングモータ1とステッピングモータ51の最適な
回転速度は異なる。そこで、ステッピングモータ1では
上記実施例1と同様に回転させ、ステッピングモータ5
1では上記実施例7と同様に回転させることにより、ど
ちらも最適な回転速度になり蓄冷器15,25の効率が
あがり、蓄冷型冷凍機の効率もあがる。
【0044】実施例11. この実施例11は、この発明の請求項7に係るさらに他
の実施例である。図15はこの発明の実施例11による
蓄冷型冷凍機の概略構成を示す断面図であり、蓄冷器1
5,25,35をシリンダ13,23,33の外側に設
置したものである。ステッピングモータ54の回転運動
はベアリング53で往復運動に変換され、操作棒32を
介し、可動部材34を往復運動させるように構成してい
る。ステッピングモータ54はモータ駆動装置55で駆
動される。また、温度センサー60、61、62が伝熱
部20、30、40に取り付けられている。この場合も
実施例10と同様の作用効果が得られる。なお、動作に
ついては前述と同様であるのでその説明を省略する。
【0045】実施例12. この実施例12は、この発明の請求項8に係る一実施例
である。図16はこの発明の実施例12による蓄冷型冷
凍機の概略構成を示す断面図であり、この実施例12で
は、温度センサー60を伝熱部20にとりつけるととも
に、圧力センサー63を圧力導管64を介し、伝熱部2
0にとりつけたものである。これにより第2の閉鎖室1
7への流量は次式で計算できる。 これをパルス発振コントローラ3に入力し、1サイクル
の流量を記憶させる。次のサイクルでは、前サイクルで
得た流量をもとに、1サイクルの流量が平均化するよう
上記実施例1、7または8のように可動部材14が動く
ように、パルス発振コントローラ3でステッピングモー
タ1の回転速度をコントロールする。これにより1サイ
クルの流量が平均化され、蓄冷器15の効率はあがり、
蓄冷型冷凍機の効率も向上する。
【0046】実施例13. この実施例13は、この発明の請求項8に係る他の実施
例である。図17はこの発明の実施例13による蓄冷型
冷凍機の概略構成を示す断面図であり、この実施例13
では、圧力センサー63を圧力導管64を介し、第1の
閉鎖室16にとりつけたものである。蓄冷器15の圧力
降下は小さいので十分正確に第2の閉鎖室17の圧力を
測定でき、また取り付け位置が室温なので取り付けも容
易にできる。この場合も上記実施例12と同様の作用効
果が得られる。なお、動作については前述と同様である
のでその説明を省略する。
【0047】なお、上記各実施例では、蓄冷型冷凍機の
1種であるギフォード・マクマホン冷凍機を用いて説明
しているが、本願発明は、他の蓄冷型冷凍機であるソル
ベイサイクル冷凍機、スターリング冷凍機、ビルマイヤ
ー冷凍機にも適用できることはいうまでもない。
【0048】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0049】この発明の請求項1に係る蓄冷型冷凍機
は、ステッピングモータの回転を往復運動に変換するこ
とによりシリンダ内を往復運動する可動部材と、可動部
材の移動により容積がかわる閉鎖室を有し、吸気バルブ
が開いたとき圧縮機から吐出されたガスを蓄冷器を介し
閉鎖室に導いて膨張させ、再びこの蓄冷器を経て、排気
バルブが開いたときガスを圧縮機に戻し、1サイクルを
終える蓄冷型冷凍機において、ステッピングモータを駆
動するモータ駆動装置と、1サイクルの中でステッピン
グモータの回転速度を変化させるように、ステッピング
モータを駆動するモータ駆動装置のパルスの間隔を制御
するパルス発振コントローラとを備えたので、1サイク
ル内の流量を平均化させ、蓄冷器の効率をあげ、冷凍機
の冷却能力の効率をあげることができる。また、パルス
発振コントローラによりステッピングモータの1サイク
ル内の回転速度を容易に変化させることができる。
【0050】また、この発明の請求項2に係る蓄冷型冷
凍機は、パルス発振コントローラが、排気バルブが開い
てから可動部材が上死点に達するまでの期間のモータの
回転速度を遅く、他の期間はモータの回転速度を速くな
るように、モータ駆動装置のパルスの間隔を制御するよ
うにしたので、1サイクルの流量を平均化させ、蓄冷器
の効率をあげ冷凍機の効率をあげることができる。
【0051】また、この発明の請求項3に係る蓄冷型冷
凍機は、排気バルブが開くタイミングを可動部材が上死
点に達したタイミングと略同時にするとともに、パルス
発振コントローラが、可動部材が上死点に達するタイミ
ングの近傍の所定期間モータの回転速度を遅くなるよう
に、モータ駆動装置のパルスの間隔を制御するようにし
たので、図示仕事の損失をなくし、冷凍機の効率をあげ
ることができる。
【0052】また、この発明の請求項4に係る蓄冷型冷
凍機は、吸気バルブを閉じ、排気バルブを開くタイミン
グを可動部材が上死点に達したタイミングと略同時にす
るとともに、パルス発振コントローラが、可動部材が上
死点に達するタイミングの近傍の所定期間モータの回転
速度を遅くなるように、モータ駆動装置のパルスの間隔
を制御するようにしたので、図示仕事を大きくし、冷凍
機の効率を一層あげることができる。
【0053】また、この発明の請求項5に係る蓄冷型冷
凍機は、パルス発振コントローラが、可動部材の移動速
度を上死点から下死点まであるいは下死点から上死点ま
で等速直線運動させるように、モータ駆動装置のパルス
の間隔を制御するようにしたので、1サイクルの流量を
平均化させ、蓄冷器の効率をあげ冷凍機の効率をあげる
ことができる。
【0054】また、この発明の請求項6に係る蓄冷型冷
凍機は、パルス発振コントローラが、可動部材が下死点
から上死点まで移動する時間の方が上死点から下死点ま
で移動する時間より長くなるように、モータ駆動装置の
パルスの間隔を制御するようにしたので、1サイクルの
流量を平均化させ、蓄冷器の効率をあげ冷凍機の効率を
あげることができる。
【0055】また、この発明の請求項7に係る蓄冷型冷
凍機は、シリンダ下端の伝熱部の温度を検出する温度セ
ンサーと、この温度センサーで検出される伝熱部の温度
レベルに応じて1サイクル中のモータの回転速度を変化
させるコントローラとを備えているので、伝熱部の温度
レベルによってモータの回転速度を変化させ、温度レベ
ルに最も適した回転速度で蓄冷型冷凍機を動作させるこ
とができる。
【0056】また、この発明の請求項8に係る蓄冷型冷
凍機は、シリンダ内の圧力を測定する圧力センサーと、
シリンダ下端の伝熱部の温度を検出する温度センサー
と、圧力センサーと温度センサーとの出力結果をもとに
閉鎖室への流量を計算し、その流量が1サイクルで一定
となるように、1サイクル中のモータの回転速度を変化
させるコントローラとを備えているので、流量を測定し
て、1サイクルの回転速度を最も効率があがるように設
定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施例1による蓄冷型冷凍機の概
略構成を示す断面図である。
【図2】 この発明の実施例1による蓄冷型冷凍機にお
ける第2の閉鎖室への流量の変化を示すグラフである。
【図3】 この発明の実施例2による蓄冷型冷凍機の概
略構成を示す断面図である。
【図4】 この発明の実施例3による蓄冷型冷凍機の概
略構成を示す断面図である。
【図5】 この発明の実施例4による蓄冷型冷凍機の概
略構成を示す断面図である。
【図6】 この発明の実施例5による蓄冷型冷凍機の可
動部材の位置、吸気バルブの開度、排気バルブの開度、
第2の閉鎖室の圧力変化と位相との関係を示すグラフで
ある。
【図7】 (a)、(b)はそれぞれこの発明の実施例
1および実施例5による蓄冷型冷凍機のP−V線図を示
すグラフである。
【図8】 この発明の実施例6による蓄冷型冷凍機の可
動部材の位置、吸気バルブの開度、排気バルブの開度、
第2の閉鎖室の圧力変化と位相との関係を示すグラフで
ある。
【図9】 この発明の実施例7による蓄冷型冷凍機の可
動部材の位置と時間との関係を示すグラフである。
【図10】 この発明の実施例7による蓄冷型冷凍機の
第2の閉鎖室への流量の変化を示すグラフである。
【図11】 この発明の実施例8による蓄冷型冷凍機の
可動部材の位置と時間との関係を示すグラフである。
【図12】 この発明の実施例8による蓄冷型冷凍機の
第2の閉鎖室への流量の変化を示すグラフである。
【図13】 この発明の実施例9による蓄冷型冷凍機の
概略構成を示す断面図である。
【図14】 この発明の実施例10による蓄冷型冷凍機
の概略構成を示す断面図である。
【図15】 この発明の実施例11による蓄冷型冷凍機
の概略構成を示す断面図である。
【図16】 この発明の実施例12による蓄冷型冷凍機
の概略構成を示す断面図である。
【図17】 この発明の実施例13による蓄冷型冷凍機
の概略構成を示す断面図である。
【図18】 従来の蓄冷型冷凍機の概略構成を示す断面
図である。
【図19】 従来の蓄冷型冷凍機の可動部材の位置、吸
気バルブの開度、排気バルブの開度、第2の閉鎖室の圧
力変化と位相との関係を示すグラフである。
【図20】 従来の蓄冷型冷凍機の可動部材の位置と時
間との関係を示すグラフである。
【図21】 従来の蓄冷型冷凍機の圧力変化を示すグラ
フである。
【図22】 従来の蓄冷型冷凍機の第2の閉鎖室への流
量の変化を示すグラフである。
【図23】 従来の蓄冷型冷凍機の第2の閉鎖室への流
量の変化を示すグラフである。
【符号の説明】
1 ステッピングモータ、2 モータ駆動装置、3 パ
ルス発振コントローラ、4 圧縮機、7 吸気バルブ、
9 排気バルブ、13 シリンダ、14 可動部材、1
5 蓄冷器、16 第1の閉鎖室、17 第2の閉鎖
室、20、30、40 伝熱部、60、61、62 温
度センサー、63 圧力センサー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森津 一樹 赤穂市天和651番地 三菱電機株式会社 赤穂製作所内 (72)発明者 松本 隆博 赤穂市天和651番地 三菱電機株式会社 赤穂製作所内 (72)発明者 中川 修一 赤穂市天和651番地 三菱電機株式会社 赤穂製作所内 (72)発明者 岸田 光弘 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電 機株式会社 中央研究所内 (72)発明者 安藤 収二 赤穂市天和651番地 三菱電機株式会社 赤穂製作所内

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ステッピングモータの回転を往復運動に
    変換することによりシリンダ内を往復運動する可動部材
    と、可動部材の移動により容積がかわる閉鎖室を有し、
    吸気バルブが開いたとき圧縮機から吐出されたガスを蓄
    冷器を介し閉鎖室に導いて膨張させ、再びこの蓄冷器を
    経て、排気バルブが開いたときガスを圧縮機に戻し、1
    サイクルを終える蓄冷型冷凍機において、上記ステッピ
    ングモータを駆動するモータ駆動装置と、1サイクルの
    中で上記ステッピングモータの回転速度を変化させるよ
    うに、上記ステッピングモータを駆動する上記モータ駆
    動装置のパルスの間隔を制御するパルス発振コントロー
    を備えたことを特徴とする蓄冷型冷凍機。
  2. 【請求項2】 上記パルス発振コントローラが、上記排
    気バルブが開いてから上記可動部材が上死点に達するま
    での期間の上記モータの回転速度を遅く、他の期間は上
    記モータの回転速度を速くなるように、上記モータ駆動
    装置のパルスの間隔を制御するようにしたことを特徴と
    する請求項1記載の蓄冷型冷凍機。
  3. 【請求項3】 上記排気バルブが開くタイミングを上記
    可動部材が上死点に達したタイミングと略同時にすると
    ともに、上記パルス発振コントローラが、上記可動部材
    が上死点に達するタイミングの近傍の所定期間上記モー
    タの回転速度を遅くなるように、上記モータ駆動装置の
    パルスの間隔を制御するようにしたことを特徴とする
    求項1記載の蓄冷型冷凍機。
  4. 【請求項4】 上記吸気バルブを閉じ、上記排気バルブ
    を開くタイミングを上記可動部材が上死点に達したタイ
    ミングと略同時にするとともに、上記パルス発振コント
    ローラが、上記可動部材が上死点に達するタイミングの
    近傍の所定期間上記モータの回転速度を遅くなるよう
    に、上記モータ駆動装置のパルスの間隔を制御するよう
    したことを特徴とする請求項1記載の蓄冷型冷凍機。
  5. 【請求項5】 上記パルス発振コントローラが、上記可
    動部材の移動速度を上死点から下死点まであるいは下死
    点から上死点まで等速直線運動させるように、上記モー
    タ駆動装置のパルスの間隔を制御するようにしたことを
    特徴とする 求項1記載の蓄冷型冷凍機。
  6. 【請求項6】 上記パルス発振コントローラが、上記可
    動部材が下死点から上死点まで移動する時間の方が上死
    点から下死点まで移動する時間より長くなるように、
    記モータ駆動装置のパルスの間隔を制御するようにした
    ことを特徴とする請求項1記載の蓄冷型冷凍機。
  7. 【請求項7】 モータの回転を往復運動に変換すること
    によりシリンダ内を往復運動する可動部材と、可動部材
    の移動により容積がかわる閉鎖室を有し、吸気バルブを
    開いたとき圧縮機から吐出されたガスを蓄冷器を介し閉
    鎖室に導いて膨張させ、再びこの蓄冷器を経て、排気バ
    ルブが開いたときガスを圧縮機に戻し、1サイクルを終
    える蓄冷型冷凍機において、上記シリンダ下端の伝熱部
    の温度を検出する温度センサーと、上記温度センサーで
    検出される上記伝熱部の温度レベルに応じて1サイクル
    中の上記モータの回転速度を変化させるコントローラと
    を備えたことを特徴とする蓄冷型冷凍機。
  8. 【請求項8】 モータの回転を往復運動に変換すること
    によりシリンダ内を往復運動する可動部材と、可動部材
    の移動により容積がかわる閉鎖室を有し、吸気バルブを
    開いたとき圧縮機から吐出されたガスを蓄冷器を介し閉
    鎖室に導いて膨張させ、再びこの蓄冷器を経て、排気バ
    ルブが開いたときガスを圧縮機に戻し、1サイクルを終
    える蓄冷型冷凍機において、上記シリンダー内の圧力を
    測定する圧力センサーと、シリンダ下端の伝熱部の温度
    を検出する温度センサーと、上記圧力センサーと上記温
    度センサーとの出力結果をもとに上記閉鎖室への流量を
    計算し、その流量が1サイクルで一定となる様、1サイ
    クル中の上記モータの回転速度を変化させるコントロー
    ラとを備えたことを特徴とする蓄冷型冷凍機。
JP4247512A 1992-09-17 1992-09-17 蓄冷型冷凍機 Expired - Fee Related JP2583721B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4247512A JP2583721B2 (ja) 1992-09-17 1992-09-17 蓄冷型冷凍機
US08/118,717 US5398512A (en) 1992-09-17 1993-09-10 Cold accumulation type refrigerating machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4247512A JP2583721B2 (ja) 1992-09-17 1992-09-17 蓄冷型冷凍機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06101917A JPH06101917A (ja) 1994-04-12
JP2583721B2 true JP2583721B2 (ja) 1997-02-19

Family

ID=17164586

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4247512A Expired - Fee Related JP2583721B2 (ja) 1992-09-17 1992-09-17 蓄冷型冷凍機

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5398512A (ja)
JP (1) JP2583721B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150083073A (ko) * 2012-07-26 2015-07-16 스미토모 크라이어제닉스 오브 아메리카 인코포레이티드 브레이튼 사이클 엔진
US11333409B2 (en) 2019-02-19 2022-05-17 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryocooler, cryocooler diagnosis device, and cryocooler diagnosis method

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2783112B2 (ja) * 1992-03-31 1998-08-06 三菱電機株式会社 極低温冷凍機
JP2877094B2 (ja) * 1996-09-13 1999-03-31 ダイキン工業株式会社 極低温冷凍機及びその制御方法
JPH10132404A (ja) * 1996-10-24 1998-05-22 Suzuki Shiyoukan:Kk パルス管冷凍機
US5722243A (en) * 1996-11-13 1998-03-03 Reeves; James H. Pulsed heat engine for cooling devices
US7143587B2 (en) * 2005-03-10 2006-12-05 Praxair Technology, Inc. Low frequency pulse tube system with oil-free drive
US7249465B2 (en) * 2004-03-29 2007-07-31 Praxair Technology, Inc. Method for operating a cryocooler using temperature trending monitoring
US7024867B2 (en) * 2004-05-18 2006-04-11 Praxair Technology, Inc. Method for operating a cryocooler using on line contaminant monitoring
US7412835B2 (en) * 2005-06-27 2008-08-19 Legall Edwin L Apparatus and method for controlling a cryocooler by adjusting cooler gas flow oscillating frequency
EP2310768B1 (en) * 2008-05-21 2018-12-26 Brooks Automation, Inc. Linear drive cryogenic refrigerator
WO2009150576A1 (en) * 2008-06-10 2009-12-17 Koninklijke Philips Electronics N.V. Cryocooling system for mri providing reduced artifacts caused by vibrations
CN103062949B (zh) 2011-09-26 2015-05-20 住友重机械工业株式会社 超低温制冷装置
GB2496573B (en) * 2011-09-27 2016-08-31 Oxford Instr Nanotechnology Tools Ltd Apparatus and method for controlling a cryogenic cooling system
JP5878078B2 (ja) * 2011-09-28 2016-03-08 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍装置
JP2013174411A (ja) * 2012-02-27 2013-09-05 Sumitomo Heavy Ind Ltd 極低温冷凍機
JP5917331B2 (ja) * 2012-08-07 2016-05-11 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機
JP6284788B2 (ja) * 2014-03-10 2018-02-28 住友重機械工業株式会社 ディスプレーサ
GB2553946B (en) 2015-06-03 2020-09-30 Sumitomo Shi Cryogenics Of America Inc Gas balanced engine with buffer
WO2019181595A1 (ja) * 2018-03-23 2019-09-26 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機
CN117413149A (zh) * 2021-06-10 2024-01-16 住友重机械工业株式会社 超低温制冷机及超低温制冷机的运行方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4397155A (en) * 1980-06-25 1983-08-09 National Research Development Corporation Stirling cycle machines
US4543793A (en) * 1983-08-31 1985-10-01 Helix Technology Corporation Electronic control of cryogenic refrigerators
GB8525817D0 (en) * 1985-10-19 1985-11-20 Lucas Ind Plc Refrigeration apparatus
US5018357A (en) * 1988-10-11 1991-05-28 Helix Technology Corporation Temperature control system for a cryogenic refrigeration
US5092130A (en) * 1988-11-09 1992-03-03 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Multi-stage cold accumulation type refrigerator and cooling device including the same
KR930002428B1 (ko) * 1988-12-16 1993-03-30 산요덴끼 가부시끼가이샤 히이트 펌프장치
US4879876A (en) * 1989-02-03 1989-11-14 Robertson Warren A Cryogenic refrigeration apparatus
JP2609327B2 (ja) * 1989-05-26 1997-05-14 三菱電機株式会社 冷凍機
US5032772A (en) * 1989-12-04 1991-07-16 Gully Wilfred J Motor driver circuit for resonant linear cooler

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150083073A (ko) * 2012-07-26 2015-07-16 스미토모 크라이어제닉스 오브 아메리카 인코포레이티드 브레이튼 사이클 엔진
KR102131471B1 (ko) 2012-07-26 2020-07-07 스미토모 크라이어제닉스 오브 아메리카 인코포레이티드 브레이튼 사이클 엔진
US11333409B2 (en) 2019-02-19 2022-05-17 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryocooler, cryocooler diagnosis device, and cryocooler diagnosis method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06101917A (ja) 1994-04-12
US5398512A (en) 1995-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2583721B2 (ja) 蓄冷型冷凍機
US9829218B2 (en) Cryogenic refrigerator
JP2015004509A (ja) リニア駆動を利用した極低温冷凍機
US20170067669A1 (en) Cryogenic refrigerator
JPS6353469B2 (ja)
JPH05248720A (ja) 熱圧縮式ヒートポンプ
JP2877094B2 (ja) 極低温冷凍機及びその制御方法
JP2567369B2 (ja) クライオポンプ
JP2001330330A (ja) 圧力変動と位置変動の位相差を利用した蓄冷式冷凍機およびその制御方法
JPH10132405A (ja) 蓄冷式冷凍機およびその運転方法
JP2567196B2 (ja) 極低温冷凍機の運転方法
JPH01159473A (ja) フリーピストン型圧縮機
JPH0370942A (ja) 極低温冷凍機
JP2005283026A (ja) 蓄冷式冷凍機
JPH0678857B2 (ja) 極低温冷凍機
TWI762329B (zh) 具有多個致冷組件的史特靈冷機構造
JP3284484B2 (ja) 蓄冷式冷凍機による冷凍液化方法および装置
WO2019230419A1 (ja) パルス管冷凍機
JPH03282161A (ja) パルス管冷凍機
JPH0375456A (ja) 極低温冷凍機及びその運転制御方法
JP2000146339A (ja) ガス圧縮膨張機
JPH10122682A (ja) 極低温冷凍機及びその制御方法
JP2722717B2 (ja) 極低温冷凍機
JPH0375457A (ja) 極低温冷凍機装置
JPH031052A (ja) 冷凍機

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees