JP2582550B2 - 有機物含有水の処理方法 - Google Patents
有機物含有水の処理方法Info
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 46
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 title claims description 9
- 238000011282 treatment Methods 0.000 title claims description 9
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims description 23
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N furosemide Chemical compound C1=C(Cl)C(S(=O)(=O)N)=CC(C(O)=O)=C1NCC1=CC=CO1 ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011276 addition treatment Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
- B01J19/122—Incoherent waves
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- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体工場等より排出された有機物含有排水
の処理や半導体工場にて使用される超純水の製造に用い
る有機物含有水の処理方法に関する。
の処理や半導体工場にて使用される超純水の製造に用い
る有機物含有水の処理方法に関する。
従来より上記の目的で有機物含有水を処理する方法と
して、紫外線照射下にて例えば酸化剤として被処理水中
にH2O2を添加し、有機物を酸化分解処理する方法が知ら
れている。被処理水中にH2O2を添加することにより下記
（１），（２）式の反応により有機物が酸化分解して被
処理水中より除去される。
して、紫外線照射下にて例えば酸化剤として被処理水中
にH2O2を添加し、有機物を酸化分解処理する方法が知ら
れている。被処理水中にH2O2を添加することにより下記
（１），（２）式の反応により有機物が酸化分解して被
処理水中より除去される。
Ｃ＋2O＊→CO2 （２） Ｏ＊は活性酸素 従来はその処理に際して被処理水中のTOC値に対し、
予め定められた量のH2O2を一度に添加することによって
行っていた。
予め定められた量のH2O2を一度に添加することによって
行っていた。
ところが、被処理水中に大過剰のH2O2が添加される
と、被処理水中のH2O2濃度が高くなり、第１図に示す如
く被処理水中の紫外線透過率が低下し、よって紫外線ラ
ンプより離れたところにおいては（１）式の反応に必要
な紫外線照度を得ることができなくなる。その結果、該
紫外線ランプより離れたところにおいては（１）式にお
ける活性酸素の生成量が低下し、（２）式の反応が進み
にくく有機物が未処理のまま残されることがある。従っ
て、従来法によるときには有機物の除去率が非常に低い
という問題点を有していた。
と、被処理水中のH2O2濃度が高くなり、第１図に示す如
く被処理水中の紫外線透過率が低下し、よって紫外線ラ
ンプより離れたところにおいては（１）式の反応に必要
な紫外線照度を得ることができなくなる。その結果、該
紫外線ランプより離れたところにおいては（１）式にお
ける活性酸素の生成量が低下し、（２）式の反応が進み
にくく有機物が未処理のまま残されることがある。従っ
て、従来法によるときには有機物の除去率が非常に低い
という問題点を有していた。
本発明の目的は上記従来法が有する諸問題を解決して
実用性に優れた有機物含有水の処理方法を提供すること
にある。
実用性に優れた有機物含有水の処理方法を提供すること
にある。
上記目的を達成するため、本発明による有機物含有水
の処理方法においては、酸化剤添加処理を有し、有機物
を含有する被処理水中に紫外線を照射して被処理水中の
有機物を酸化分解処理する有機物含有水の処理方法であ
って、 酸化剤添加処理は、被処理水中のTOC値によって決定さ
れる全投入量の酸化剤を酸化分解処理期間中の或る期間
の範囲内で分散して被処理水中に投入し、酸化分解処理
期間中，被処理水中の酸化剤の混入量を全被処理水中の
TOC値に対して１〜５倍当量の範囲に保持させるもので
ある。
の処理方法においては、酸化剤添加処理を有し、有機物
を含有する被処理水中に紫外線を照射して被処理水中の
有機物を酸化分解処理する有機物含有水の処理方法であ
って、 酸化剤添加処理は、被処理水中のTOC値によって決定さ
れる全投入量の酸化剤を酸化分解処理期間中の或る期間
の範囲内で分散して被処理水中に投入し、酸化分解処理
期間中，被処理水中の酸化剤の混入量を全被処理水中の
TOC値に対して１〜５倍当量の範囲に保持させるもので
ある。
本発明は有機物含有水の処理に際し、該有機物含有水
に紫外線を照射しながら全被処理水中のTOC値に対して
１〜５倍当量の酸化剤としてH2O2を例えばｎ回（ｎ≧
２）に分けて添加すると、H2O2を一度に添加する場合に
比べてH2O2添加時の被処理水中のH2O2濃度は低下する。
したがって、該有機部含有水の流路において、紫外線ラ
ンプから離れたところにおいても（１）の反応に必要な
紫外線照度を得ることができる。その結果（１），
（２）式の反応が効果的に進み高い除去率で有機物が処
理される。
に紫外線を照射しながら全被処理水中のTOC値に対して
１〜５倍当量の酸化剤としてH2O2を例えばｎ回（ｎ≧
２）に分けて添加すると、H2O2を一度に添加する場合に
比べてH2O2添加時の被処理水中のH2O2濃度は低下する。
したがって、該有機部含有水の流路において、紫外線ラ
ンプから離れたところにおいても（１）の反応に必要な
紫外線照度を得ることができる。その結果（１），
（２）式の反応が効果的に進み高い除去率で有機物が処
理される。
酸化剤としてはH2O2の他にNaClO,O3等のいづれを用い
ても有効である。また有機物含有水の濃度、紫外線照射
量、被処理水の流量などの条件によっても異なるが、一
般に紫外線照射による酸化分解処理の適用が可能な条件
の下では酸化剤の添加量は該有機物含有水中のTOC値に
対して常時１倍当量より少ない量では酸化剤の量が有機
物の絶対量に対して不足しているため有機物は未分解で
残存し、除去率が低下する。一方酸化剤の添加量が該有
機物含有水中のTOC値に対して５倍当量より多い場合
は、酸化剤の過剰添加となり上記（１）式にて発生した
活性酸素の一部は有機物と反応せずに活性を失うため、
添加した酸化剤の一部が無駄となり、非常に不経済であ
る。
ても有効である。また有機物含有水の濃度、紫外線照射
量、被処理水の流量などの条件によっても異なるが、一
般に紫外線照射による酸化分解処理の適用が可能な条件
の下では酸化剤の添加量は該有機物含有水中のTOC値に
対して常時１倍当量より少ない量では酸化剤の量が有機
物の絶対量に対して不足しているため有機物は未分解で
残存し、除去率が低下する。一方酸化剤の添加量が該有
機物含有水中のTOC値に対して５倍当量より多い場合
は、酸化剤の過剰添加となり上記（１）式にて発生した
活性酸素の一部は有機物と反応せずに活性を失うため、
添加した酸化剤の一部が無駄となり、非常に不経済であ
る。
また酸化剤の定量をｎ回に分け等量ずつ添加する場合
に原則的にｎの数値が大きくなるほど１回に添加するH2
O2の量は少量であるため、該有機物含有水中のH2O2濃度
が薄くなり、紫外線の透過率が高くなる。したがって紫
外線照射の利用効率が高まり、含有水中の有機物の除去
率は高くなる。しかし、当然ながら最小限度の量を常に
維持する必要がある。
に原則的にｎの数値が大きくなるほど１回に添加するH2
O2の量は少量であるため、該有機物含有水中のH2O2濃度
が薄くなり、紫外線の透過率が高くなる。したがって紫
外線照射の利用効率が高まり、含有水中の有機物の除去
率は高くなる。しかし、当然ながら最小限度の量を常に
維持する必要がある。
更に本発明の有機物含有水の処理に使用する紫外線ラ
ンプとしては、（１）式の反応を進行させるために非常
に有効な波長253.7nmにエネルギーが集中している低圧
水銀ランプを使用することが望ましい。酸化剤の添加量
や添加の時期等については特に制約されるものではな
く、有機物の酸化分解期間中のある期間の範囲内に分散
させて投入すればよく、酸化剤の投入は、断続的、連続
的のいずれでもよい。濃度センサー、流量計などを用い
被処理水中の酸化剤濃度を監視しながらその添加の時
期、添加量を制御することもできる。
ンプとしては、（１）式の反応を進行させるために非常
に有効な波長253.7nmにエネルギーが集中している低圧
水銀ランプを使用することが望ましい。酸化剤の添加量
や添加の時期等については特に制約されるものではな
く、有機物の酸化分解期間中のある期間の範囲内に分散
させて投入すればよく、酸化剤の投入は、断続的、連続
的のいずれでもよい。濃度センサー、流量計などを用い
被処理水中の酸化剤濃度を監視しながらその添加の時
期、添加量を制御することもできる。
以下、本発明の実施例を第２図に示すUV酸化装置を用
いて説明する。また該UV酸化装置の構成を第１表に、本
発明の実施例に用いた有機物含有実排水の組成を第２表
に各々示した。
いて説明する。また該UV酸化装置の構成を第１表に、本
発明の実施例に用いた有機物含有実排水の組成を第２表
に各々示した。
第２図（ａ），（ｂ）において、１はステンレス材等
で構成された筒状の装置本体である。この装置本体１の
一端には被処理水の流入口５が、他端には流出口６が設
けてある。また、流入口５には酸化剤の添加口７が開口
されている。この装置本体１の内面は紫外線反射が効率
良く行われるように研磨されている。２は紫外線透過率
の良い材料、例えば高純度石英ガラスにより構成された
筒状のジャケットで装置本体１の内部に適数本配置して
ある。３はジャケット２の内部に収納した紫外線放電灯
であり、本発明においては、電極間距離1cmあたり２〜8
Wの負荷の低圧水銀ランプを使用している。
で構成された筒状の装置本体である。この装置本体１の
一端には被処理水の流入口５が、他端には流出口６が設
けてある。また、流入口５には酸化剤の添加口７が開口
されている。この装置本体１の内面は紫外線反射が効率
良く行われるように研磨されている。２は紫外線透過率
の良い材料、例えば高純度石英ガラスにより構成された
筒状のジャケットで装置本体１の内部に適数本配置して
ある。３はジャケット２の内部に収納した紫外線放電灯
であり、本発明においては、電極間距離1cmあたり２〜8
Wの負荷の低圧水銀ランプを使用している。
かかる装置を運転する場合は、被処理水を流入口５を
通して装置本体１内に注入する。この際、添加口７を通
じて被処理水に過酸化水素等の酸化剤を投入する。そし
て装置本体１内に注入した被処理水に低圧水銀ランプ３
により紫外線を照射し、被処理水中の有機物を酸化分解
させる。
通して装置本体１内に注入する。この際、添加口７を通
じて被処理水に過酸化水素等の酸化剤を投入する。そし
て装置本体１内に注入した被処理水に低圧水銀ランプ３
により紫外線を照射し、被処理水中の有機物を酸化分解
させる。
処理された水は流出口６を通して連続的に外部に取り
出される、なお、４は装置本体１に注入した被処理水を
撹拌して酸化分解を効率よく行わせるための乱流板であ
る。
出される、なお、４は装置本体１に注入した被処理水を
撹拌して酸化分解を効率よく行わせるための乱流板であ
る。
上記装置を用い、実排水を4.0m3/Hr,8.0m3/Hr,16.0m3
/Hrの流量で各々該UV酸化装置１の流入口５より連続的
に流しながら、35％H2O212kgをまず添加口７より一度に
添加したときの結果を比較例として各々第３図中（Ａ）
に示した。また、実施例１として35％H2O212kgを４回に
分けて、3kgづつ添加したときの結果を各々第３図中
（Ｂ）に示した。
/Hrの流量で各々該UV酸化装置１の流入口５より連続的
に流しながら、35％H2O212kgをまず添加口７より一度に
添加したときの結果を比較例として各々第３図中（Ａ）
に示した。また、実施例１として35％H2O212kgを４回に
分けて、3kgづつ添加したときの結果を各々第３図中
（Ｂ）に示した。
さらに実施例２として35％H2O212kgを８回に分けて、
1.5kgづつ添加したときの結果を各々第３図中（Ｃ）に
示した。
1.5kgづつ添加したときの結果を各々第３図中（Ｃ）に
示した。
第３図より明らかなように、比較例（Ａ）において
は、紫外線照射量 （KW・Hr/m3）1KW・Hr/m3でTOC除去率は38％、 紫外線照射量2KW・Hr/m3でTOC除去率は62％、 紫外線照射量4KW・Hr/m3でTOC除去率は79％ であった。それに対して本発明にて処理した場合、例え
ば実施例１（Ｂ）においては紫外線照射量1KW・Hr/m3で
TOC除去率は69％、紫外線照射量2KW・Hr/m3でTOC除去率
は88％、紫外線照射量4KW/Hr/m3でTOC除去率は92％であ
った。また実施例２（Ｃ）においては紫外線照射量1KW/
Hr/m3でTOC除去率は72％、紫外線照射量2KW・Hr/m3でTO
C除去率は90％、紫外線照射量4KW・Hr/m3でTOC除去率は
97％であった。なお、第３図に示す実施例では、UV酸化
装置の装置本体１として用いた反応槽は、第１表に掲げ
た通りその有効容量が500（リットル）のものを用いて
おり、またH2O2を分けて添加する際の時間間隔は、紫外
線照射量を2KW・Hr/m3,実排水を4.0m3/Hrにそれぞれ設
定した場合、４回に分けて添加する場合に1.9min
（分）,8回に分けて添加する場合に0.95min（分）とす
ることにより、第３図の（Ｂ）、（Ｃ）に示されるよう
なTOC除去率が得られた。
は、紫外線照射量 （KW・Hr/m3）1KW・Hr/m3でTOC除去率は38％、 紫外線照射量2KW・Hr/m3でTOC除去率は62％、 紫外線照射量4KW・Hr/m3でTOC除去率は79％ であった。それに対して本発明にて処理した場合、例え
ば実施例１（Ｂ）においては紫外線照射量1KW・Hr/m3で
TOC除去率は69％、紫外線照射量2KW・Hr/m3でTOC除去率
は88％、紫外線照射量4KW/Hr/m3でTOC除去率は92％であ
った。また実施例２（Ｃ）においては紫外線照射量1KW/
Hr/m3でTOC除去率は72％、紫外線照射量2KW・Hr/m3でTO
C除去率は90％、紫外線照射量4KW・Hr/m3でTOC除去率は
97％であった。なお、第３図に示す実施例では、UV酸化
装置の装置本体１として用いた反応槽は、第１表に掲げ
た通りその有効容量が500（リットル）のものを用いて
おり、またH2O2を分けて添加する際の時間間隔は、紫外
線照射量を2KW・Hr/m3,実排水を4.0m3/Hrにそれぞれ設
定した場合、４回に分けて添加する場合に1.9min
（分）,8回に分けて添加する場合に0.95min（分）とす
ることにより、第３図の（Ｂ）、（Ｃ）に示されるよう
なTOC除去率が得られた。
尚、実施例においては、TOC値で30mg/lの該実排水を
用いたが、TOC値で100mg/l及び1,000mg/lのいづれにお
いても同様の効果を得ることができた。
用いたが、TOC値で100mg/l及び1,000mg/lのいづれにお
いても同様の効果を得ることができた。
以上のように本発明の処理方法によれば有機物含有水
の有機物をより効果的に処理することができ、半導体の
製造に用いられた排水の処理並びに超純水の再生使用な
どに広く利用できる効果を有するものである。
の有機物をより効果的に処理することができ、半導体の
製造に用いられた排水の処理並びに超純水の再生使用な
どに広く利用できる効果を有するものである。
第１図は水層厚1cmにおけるH2O2濃度（mg/l）と紫外線
の吸収率（％）の関係のグラフを示す図、第２図（ａ）
は本発明の実施例を用いたUV酸化装置の断面図、（ｂ）
は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、第３図は紫外線照射量（KW
・Hr/m3）とTOC除去率（％）の関係のグラフを示す図で
ある。 １は本体、２はジャケット、３は低圧水銀ランプ、４は
乱流板、５は流入口、６は流出口、７はH2O2添加口であ
る。
の吸収率（％）の関係のグラフを示す図、第２図（ａ）
は本発明の実施例を用いたUV酸化装置の断面図、（ｂ）
は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、第３図は紫外線照射量（KW
・Hr/m3）とTOC除去率（％）の関係のグラフを示す図で
ある。 １は本体、２はジャケット、３は低圧水銀ランプ、４は
乱流板、５は流入口、６は流出口、７はH2O2添加口であ
る。
フロントページの続き (72)発明者 弦田 忍 行田市壱里山町１丁目１番地 岩崎電気 株式会社埼玉製作所内 (72)発明者 風間 正博 東京都港区三田１丁目４番28号 日本電 気環境エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 大野 茂 東京都港区三田１丁目４番28号 日本電 気環境エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 見目 善弘 東京都港区三田１丁目４番28号 日本電 気環境エンジニアリング株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】酸化剤添加処理を有し、有機物を含有する
被処理水中に紫外線を照射して被処理水中の有機物を酸
化分解処理する有機物含有水の処理方法であって、 酸化剤添加処理は、被処理水中のTOC値によって決定さ
れる全投入量の酸化剤を酸化分解処理期間中の或る期間
の範囲内で分散して被処理水中に投入し、酸化分解処理
期間中，被処理水中の酸化剤の混入量を全被処理水中の
TOC値に対して１〜５倍当量の範囲に保持させることを
特徴とする有機物含有水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61106227A JP2582550B2 (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 有機物含有水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61106227A JP2582550B2 (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 有機物含有水の処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62262792A JPS62262792A (ja) | 1987-11-14 |
| JP2582550B2 true JP2582550B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=14428244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61106227A Expired - Lifetime JP2582550B2 (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 有機物含有水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2582550B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4005488A1 (de) * | 1990-02-21 | 1991-08-22 | Wabner Dietrich | Verfahren und vorrichtung zur wasserentgiftung |
| DE4006234A1 (de) * | 1990-02-28 | 1991-08-29 | Goema Dr Goetzelmann Physikali | Verfahren zum abbau von in einer fluessigkeit enthaltenen schadstoffen |
| US5523001A (en) * | 1994-12-30 | 1996-06-04 | At&T Corp. | Treatment of electroless plating waste streams |
| JP2825081B2 (ja) * | 1996-04-05 | 1998-11-18 | 日本電気株式会社 | 有機物含有廃水の紫外線分解処理方法及び装置 |
| JP6128964B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2017-05-17 | オルガノ株式会社 | 有機物含有水の処理装置および処理方法 |
| CN111056615B (zh) * | 2019-12-31 | 2022-04-19 | 清华大学深圳国际研究生院 | 紫外线和过氧化氢间歇联用治理藻类水华或赤潮的方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5929073A (ja) * | 1982-08-09 | 1984-02-16 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 腐植酸含有廃水処理の自動制御方法 |
-
1986
- 1986-05-09 JP JP61106227A patent/JP2582550B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5929073A (ja) * | 1982-08-09 | 1984-02-16 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 腐植酸含有廃水処理の自動制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62262792A (ja) | 1987-11-14 |
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