JP2580361B2 - Board cutting method - Google Patents

Board cutting method

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JP2580361B2 JP2086818A JP8681890A JP2580361B2 JP 2580361 B2 JP2580361 B2 JP 2580361B2 JP 2086818 A JP2086818 A JP 2086818A JP 8681890 A JP8681890 A JP 8681890A JP 2580361 B2 JP2580361 B2 JP 2580361B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 セラミック基板の外形切断方法に関し、 手順を簡単にするとともに、切断時間を短縮すること
を目的とし、 スライシングマシンのテーブル上にセットしたセラミ
ック基板のアライメントマークを認識し、テーブルを回
転させてセラミック基板の切断線の方向をカッティング
ホイールまたはテーブルの送り方向に向けた後、カッテ
イングホイールを切断位置に移動させて切断する、セラ
ミック基板の外形切断方法において、認識されたアライ
メントマークに基づいてセラミック基板の方向及び重心
位置を1回だけ求め、この後、認識されたアライメント
マークに基づいてテーブルを回転させてセラミック基板
の切断線の方向をカッティングホイールまたはテーブル
の送り方向に向けた後、カッテイングホイールの位置を
セラミック基板の重心を基準にして切断位置に移動させ
て切断する構成とした。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Summary] Regarding a method for cutting the outer shape of a ceramic substrate, the purpose is to simplify the procedure and shorten the cutting time, and recognizes the alignment marks of the ceramic substrate set on a table of a slicing machine. Then, after rotating the table to direct the direction of the cutting line of the ceramic substrate to the cutting wheel or the feeding direction of the table, the cutting wheel is moved to the cutting position to cut, and the outer shape cutting method of the ceramic substrate is recognized. The direction of the ceramic substrate and the position of the center of gravity are determined only once based on the alignment mark, and thereafter, the table is rotated based on the recognized alignment mark to change the direction of the cutting line of the ceramic substrate to the cutting wheel or the feed direction of the table. After turning, cutting wheel Is moved to the cutting position with reference to the center of gravity of the ceramic substrate to perform cutting.

〔産業上の利用分野〕[Industrial applications]

本発明は、セラミック基板の外形切断方法に関する。 The present invention relates to a method for cutting an outer shape of a ceramic substrate.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のセラミック基板の外形切断方法においては、例
えば第3図に示すように、セラミック基板をスライシン
グマシンのテーブル上にセットした後(S101)、セラミ
ック基板の4隅に設けられたアライメントマークのう
ち、カッティングホイールの送り方向に並ぶ2点のアラ
イメントマークをカメラで認識し(S102)、認識した両
アライメントマークを基準にしてテーブルを回転させ
(S103)、これによりセラミック基板の切断線の方向を
カッティングホイールの送り方向に向ける。この後、認
識した両アライメントマークを基準にしてカッテイング
ホイールを送り方向と直角方向に移動させてカッテイン
グホイールを切断位置に移動させ(S104)、更にこの
後、カッテイングホイールを送り方向に移動させて外形
の最初の1辺を切断する(S105)。最初の1辺を切断し
た後、テーブルを180°回転させ(S106)、カッテイン
グホイールを送り方向と直角方向に移動させてカッティ
ングホイールを切断された1辺に対向する切断線の位置
に移動させ(S107)、カッテイングホイールを送り方向
に移動させてセラミック基板をこの切断線で切断する
(S108)。このようにして互いに対向する2辺を切断し
た後、テーブルを90°回転させ(S109)、改めてカッテ
ィングホイールの送り方向に並ぶ2点のアライメントマ
ークをカメラで認識し(S110)、同様にして他の2辺を
順次切断する(S110〜S116)。
In the conventional method for cutting the outer shape of a ceramic substrate, for example, as shown in FIG. 3, after the ceramic substrate is set on a table of a slicing machine (S101), among the alignment marks provided at the four corners of the ceramic substrate, The camera recognizes two alignment marks aligned in the feed direction of the cutting wheel with the camera (S102), and rotates the table with reference to both of the recognized alignment marks (S103), thereby determining the direction of the cutting line of the ceramic substrate with the cutting wheel. In the feed direction. Thereafter, the cutting wheel is moved to the cutting position by moving the cutting wheel in a direction perpendicular to the feed direction with reference to the two recognized alignment marks (S104). Is cut off at the first side (S105). After cutting the first side, the table is rotated 180 ° (S106), and the cutting wheel is moved in the direction perpendicular to the feed direction to move the cutting wheel to the position of the cutting line opposite to the cut side (S106). (S107), the cutting wheel is moved in the feed direction, and the ceramic substrate is cut along this cutting line (S108). After cutting the two sides facing each other in this manner, the table is rotated by 90 ° (S109), and two alignment marks aligned in the feed direction of the cutting wheel are recognized again by the camera (S110). Are sequentially cut (S110 to S116).

最初の1辺を切断した後、テーブルを90°ずつ回転さ
せて順次残りの3辺を切断する方法もあるが、この場合
には、テーブルを90°ずつ回転させる度に、2点のアラ
イメントマークを認識して、必要に応じてテーブルを回
転させてセラミック基板の方向を修正した後、カッティ
ングホイールの位置を切断線の位置に合わせている。
After cutting the first side, the table can be rotated 90 ° at a time, and the remaining three sides can be cut in sequence. In this case, every time the table is rotated 90 °, two alignment marks are used. Then, the table is rotated as necessary to correct the direction of the ceramic substrate, and then the position of the cutting wheel is adjusted to the position of the cutting line.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

従って、従来のセラミック基板の外形切断方法におい
てはテーブルにセットされた1枚のセラミック基板に対
して、第3図に示す従来例では2回合計4点のアライメ
ントマークの認識を繰り返すことになり、また、最初の
1辺を切断した後テーブルを90°ずつ回転させて順次残
りの3辺を切断する従来方法では、4回合計8点のアラ
イメントマークの認識を繰り返すことになり、手順が複
雑になるとともに、作業時間が長くなるきらいがある。
Therefore, in the conventional ceramic substrate outer shape cutting method, recognition of a total of four alignment marks is repeated twice for one ceramic substrate set on the table in the conventional example shown in FIG. Further, in the conventional method in which the first side is cut and then the table is rotated by 90 ° and the remaining three sides are sequentially cut, recognition of alignment marks of a total of eight points is repeated four times, which makes the procedure complicated. And the work time tends to be longer.

本発明は、上記の事情を鑑みてなされたものであり、
簡単な手順で短時間でセラミック基板の外形を切断でき
るセラミック基板の外形切断方法を提供することを目的
とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances,
An object of the present invention is to provide a method for cutting the outer shape of a ceramic substrate, which can cut the outer shape of the ceramic substrate in a short time with a simple procedure.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明は、例えば第2図に示すようなスライシングマ
シン1を使用して実施され、スライシングマシン1のテ
ーブル2上にセットしたセラミック基板3のアライメン
トマーク4を認識し、テーブル2を回転させてセラミッ
ク基板3の切断線の方向をカッティングホイール5の送
り方向に向けた後、カッテイングホイール5を切断位置
に移動させて切断する、セラミック基板の外形切断方法
を前提として、上記の目的を達成するため、次のような
手段を講じている。
The present invention is carried out using a slicing machine 1 as shown in FIG. 2, for example, and recognizes an alignment mark 4 of a ceramic substrate 3 set on a table 2 of the slicing machine 1 and rotates the table 2 to thereby form a ceramic. In order to achieve the above object, assuming that the cutting line of the substrate 3 is oriented in the feed direction of the cutting wheel 5 and then the cutting wheel 5 is moved to a cutting position and cut, the outer shape of the ceramic substrate is cut. The following measures have been taken.

即ち、認識されたアライメントマーク4に基づいてセ
ラミック基板3の方向及び重心位置を1回だけ求め、認
識されたアライメントマーク4に基づいてテーブル2を
回転させてセラミック基板3の切断線の方向をカッティ
ングホイール5の送り方向に向け、カッテイングホイー
ル5の位置をセラミック基板3の重心を基準にして切断
位置に移動させて切断する手順を繰り返す、という手段
を講じている。
That is, the direction and the position of the center of gravity of the ceramic substrate 3 are determined only once based on the recognized alignment mark 4, and the direction of the cutting line of the ceramic substrate 3 is cut by rotating the table 2 based on the recognized alignment mark 4. Means is taken to repeat the procedure of moving the cutting wheel 5 to the cutting position with the center of gravity of the ceramic substrate 3 as a reference in the feed direction of the wheel 5 and cutting.

〔作用〕[Action]

本発明においては、アライメントマークを認識してセ
ラミック基板3の各切断線の方向と重心位置を求めるこ
とができる。この重心位置から各切断線迄の距離は演算
によって簡単に求めることができる。
In the present invention, the direction and the center of gravity of each cutting line of the ceramic substrate 3 can be obtained by recognizing the alignment mark. The distance from the position of the center of gravity to each cutting line can be easily obtained by calculation.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第2図はスライシングマシンの平面図である。 FIG. 2 is a plan view of the slicing machine.

このスライシングマシン1は、ベッド6の上側に左右
方向(図上、左右方向)に水平移動可能に、かつ、水平
回転可能に設けたテーブル2と、ベッド6の横側に設け
たコラム7と、コラム7に前後方向(図上、上下方向)
に移動可能に支持させたスライド枠8と、スライド枠8
に昇降可能に支持させたヘッド9と、ヘッド9に支持さ
れたカッティングホイール5及び2台のカメラ10とを備
えている。この2台のカメラ10は左右方向に適当な間隔
をおいてカッティングホイール5の左方に配置される。
The slicing machine 1 includes a table 2 provided on the upper side of a bed 6 so as to be horizontally movable in the left-right direction (horizontal direction in the drawing) and rotatable horizontally, and a column 7 provided on the side of the bed 6. Column 7 front-back direction (vertical direction in the figure)
A slide frame 8 movably supported on the slide frame 8;
The head 9 is supported so as to be able to move up and down, a cutting wheel 5 supported by the head 9, and two cameras 10. The two cameras 10 are arranged on the left side of the cutting wheel 5 at an appropriate interval in the left-right direction.

セラミック基板3は4方の切断線の内側の4隅にアラ
イメントマーク4を付されていて、例えばガラス製のベ
ース板11の上面に接着した後、テーブル2の上に載置さ
れ、例えば真空吸着によってベース板11を固定すること
によりテーブル2にセットされる。
The ceramic substrate 3 is provided with alignment marks 4 at the four corners inside the four cutting lines, is adhered to the upper surface of, for example, a glass base plate 11, and is then placed on the table 2 and, for example, is vacuum-adsorbed. Is set on the table 2 by fixing the base plate 11.

第1図に示すように、セラミック基板3をテーブル2
にセットした後(S1)、カメラ10を使用してセラミック
基板3のアライメントマーク4が認識される(S2)。ア
ライメントマーク4が正方形の各頂点に位置する場合に
は、認識するアライメントマーク4の数は2点以上であ
ればよいが、ここでは、セラミック基板3の重心位置の
演算を容易にするため、4点のアライメントマーク4の
位置全てを認識するようにしている。
As shown in FIG.
After that, the alignment mark 4 on the ceramic substrate 3 is recognized using the camera 10 (S2). When the alignment marks 4 are located at the vertices of a square, the number of the alignment marks 4 to be recognized may be two or more. However, in order to facilitate the calculation of the center of gravity of the ceramic substrate 3, All the positions of the alignment marks 4 at the points are recognized.

この後、認識した4点のアライメントマーク4の位置
から、セラミック基板3の方向及び重心位置を演算して
求める(S3)。そして、求められた重心位置とアライメ
ントマーク4の位置とから各切断線の方向及び重心から
の距離が演算される。この後、この演算結果に基づきテ
ーブル2を回転させてセラミック基板3の最初の切断線
の方向をテーブル2の送り方向に向けた後(S4)、カッ
テイングホイール5をその送り方向と直角の前後に上記
重心位置より得られる切断線の位置迄移動させてカッテ
イングホイール5を最初の切断線の延長線上に位置させ
る(S5)。この後、テーブル2及びセラミック基板3を
左から右方向に送り、カッテイングホイール5でセラミ
ック基板3の外形の最初の1辺を切断した後(S6)、切
断が4ライン目でないことを確認して(S7)、セラミッ
ク基板3を90°回転させ(S8)、上記S5のステップに戻
り、カッテイングホイール5を次の切断線の延長線上に
位置させる(S5)を4回繰り返す。そして、切断が4ラ
イン目であることを確認した上で(S7)、プログラムを
終了する(S9)。
Thereafter, the direction and the center of gravity of the ceramic substrate 3 are calculated and obtained from the four positions of the recognized alignment marks 4 (S3). Then, the direction of each cutting line and the distance from the center of gravity are calculated from the calculated center of gravity position and the position of the alignment mark 4. Thereafter, based on the calculation result, the table 2 is rotated so that the direction of the first cutting line of the ceramic substrate 3 is directed to the feed direction of the table 2 (S4), and the cutting wheel 5 is moved back and forth at right angles to the feed direction. The cutting wheel 5 is moved to the position of the cutting line obtained from the position of the center of gravity to position the cutting wheel 5 on an extension of the first cutting line (S5). Thereafter, the table 2 and the ceramic substrate 3 are sent from left to right, and after cutting the first side of the outer shape of the ceramic substrate 3 with the cutting wheel 5 (S6), it is confirmed that the cutting is not the fourth line. (S7), the ceramic substrate 3 is rotated 90 ° (S8), and the process returns to the step of S5, and the step of positioning the cutting wheel 5 on the extension of the next cutting line (S5) is repeated four times. Then, after confirming that the cutting is the fourth line (S7), the program ends (S9).

このセラミック基板3の外形切断方法では、上記のよ
うに、アライメントマーク4を認識してセラミック基板
3の方向及び位置を演算するのは1回だけであるから、
2回以上アライメントマーク4の認識とセラミック基板
3の方向及び位置の演算とを繰り返す従来方法に比べる
と手順が簡単になり、また、これらの処理を省略するこ
とにより作業時間を短縮できる。
In this method for cutting the outer shape of the ceramic substrate 3, the direction and the position of the ceramic substrate 3 are calculated only once by recognizing the alignment mark 4 as described above.
The procedure is simpler than the conventional method in which the recognition of the alignment mark 4 and the calculation of the direction and position of the ceramic substrate 3 are repeated twice or more, and the work time can be reduced by omitting these processes.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上のように、本発明によれば、アライメントマーク
の認識とセラミック基板の方向及び重心位置の演算が1
回だけになるので、手順が簡単になる上、作業時間を短
縮することができる。
As described above, according to the present invention, the recognition of the alignment mark and the calculation of the direction of the ceramic substrate and the position of the center of gravity are performed in one operation.
Since the number of times is only one, the procedure can be simplified and the working time can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例に係るセラミック基板の外形
切断方法の手順を示すフロー図であり、第2図は本発明
の一実施例の実施に使用するスライシングマシンの平面
図であり、第3図は従来のセラミック基板の外形切断方
法の手順を示すフロー図である。 図中、 1……スライシングマシン、2……テーブル、3……セ
ラミック基板、4……アライメントマーク、5……カッ
テイングホイール。
FIG. 1 is a flow chart showing a procedure of a method of cutting an outer shape of a ceramic substrate according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of a slicing machine used for carrying out one embodiment of the present invention. FIG. 3 is a flowchart showing a procedure of a conventional method of cutting the outer shape of a ceramic substrate. In the figure, 1 ... slicing machine, 2 ... table, 3 ... ceramic substrate, 4 ... alignment mark, 5 ... cutting wheel.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】スライシングマシン(1)のテーブル
(2)上にセットした基板(3)のアライメントマーク
(4)を認識し、テーブル(2)を回転させて基板
(3)の切断線の方向をカッティングホイール(5)ま
たはテーブル(2)の送り方向に向けた後、カッティン
グホイール(5)を切断位置に移動させて切断する基板
の外形切断方法において、 認識されたアライメントマーク(4)に基づいて基板
(3)の切断線及の方向及び重心位置を演算し、この
後、認識されたアライメントマーク(4)に基づいてテ
ーブルを回転させて基板(3)の切断線の方向をカッテ
ィングホイール(5)またはテーブル(2)の送り方向
に向け、カッティングホイール(5)の位置を基板
(3)の重心を基準にして切断位置に移動させて切断す
る手順を繰り返すことを特徴とする、基板の外形切断方
法。
An alignment mark (4) of a substrate (3) set on a table (2) of a slicing machine (1) is recognized, and the direction of a cutting line of the substrate (3) is rotated by rotating the table (2). In the method of cutting the outer shape of the substrate, in which the cutting wheel (5) is directed in the feed direction of the cutting wheel (5) or the table (2), and then the cutting wheel (5) is moved to the cutting position, based on the recognized alignment mark (4). Then, the direction of the cutting line and the position of the center of gravity of the substrate (3) are calculated, and then the table is rotated based on the recognized alignment mark (4) to change the direction of the cutting line of the substrate (3) with the cutting wheel ( 5) Or the procedure for moving the cutting wheel (5) to the cutting position with reference to the center of gravity of the substrate (3) in the feed direction of the table (2). A method of cutting the outer shape of a substrate, which is repeated.
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